JP4905383B2 - Pressure sensor - Google Patents

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Description

本発明は、センサ素子を収納する圧力検出室をケースプラグとハウジングとを組み付けることにより形成し、この圧力検出室をケースプラグとハウジングとにより挟まれた部材で気密封止するようにした圧力センサに関するものである。   The present invention is a pressure sensor in which a pressure detection chamber for housing a sensor element is formed by assembling a case plug and a housing, and the pressure detection chamber is hermetically sealed by a member sandwiched between the case plug and the housing. It is about.

従来より、センサ素子を搭載したコネクタケースをハウジングに形成した凹部に収容し、ハウジングの凹部の開口端をかしめることで、コネクタケースとハウジングとを一体に組みつけた圧力センサが開示されている(例えば、特許文献1参照)。この圧力センサでは、センサ素子が直接測定媒体に曝されないように、メタルダイヤフラムで覆われた圧力検出室内にセンサ素子を収容し、メタルダイヤフラムに加えられた圧力がセンサ素子に伝達されるように、圧力検出室内を圧力伝達部材となるオイルで充填させている。そして、圧力検出室内に充填されたオイルがコネクタケースとメタルダイヤフラムとの間の隙間を通じて漏れないように、これらの間に圧力検出室を囲む耐オイル性を有するシリコーンゴム等で構成されたOリングを配置し、圧力検出室を気密封止している。   Conventionally, a pressure sensor has been disclosed in which a connector case on which a sensor element is mounted is housed in a recess formed in a housing, and the connector case and the housing are assembled together by caulking the opening end of the recess in the housing. (For example, refer to Patent Document 1). In this pressure sensor, the sensor element is accommodated in the pressure detection chamber covered with the metal diaphragm so that the sensor element is not directly exposed to the measurement medium, and the pressure applied to the metal diaphragm is transmitted to the sensor element. The pressure detection chamber is filled with oil serving as a pressure transmission member. The oil filled in the pressure detection chamber does not leak through the gap between the connector case and the metal diaphragm, and an O-ring made of oil-resistant silicone rubber or the like surrounding the pressure detection chamber between them. The pressure detection chamber is hermetically sealed.

このような圧力センサでは、メタルダイヤフラムに圧力が印加されると、圧力検出室内を充填するオイルを介してセンサ素子に圧力が印加され、センサ素子が圧力に応じたセンサ信号を出力することで圧力の検出が行われる。
特開2000−329633号公報
In such a pressure sensor, when a pressure is applied to the metal diaphragm, the pressure is applied to the sensor element via oil filling the pressure detection chamber, and the sensor element outputs a sensor signal corresponding to the pressure to thereby generate pressure. Is detected.
JP 2000-329633 A

しかしながら、上記した圧力センサでは、ハウジングのうちコネクタケースが収容される凹部の開口端をかしめることにより、ハウジングとコネクタケースとを一体に組付けているため、コネクタケースとハウジングとの間の隙間等による空気室が形成されることになる。このため、この空気室内に水が浸入することがある。例えば、圧力センサの使用環境が高温から常温に変化したときに結露水が発生すると、空気室内の圧力がセンサ外部よりも低くなっているため、容易に空気室に吸い込まれることになる。そして、圧力センサの使用環境が再び常温から高温に変化すると、空気室内に引き込まれた水滴が水蒸気へと変化する。このとき、圧力検出室の圧力が空気室の圧力より低いと、オイル封止のみを考慮したOリングの水蒸気透過性が高いため、空気室内の水蒸気が圧力検出室に侵入し、圧力検出室内の圧力を変動させ、センサ素子からのセンサ出力を変動させてしまうという問題がある。   However, in the above-described pressure sensor, since the housing and the connector case are assembled together by caulking the opening end of the recess in the housing in which the connector case is accommodated, there is a gap between the connector case and the housing. Thus, an air chamber is formed. For this reason, water may enter the air chamber. For example, when condensed water is generated when the usage environment of the pressure sensor changes from high temperature to room temperature, the pressure in the air chamber is lower than the outside of the sensor, so that it is easily sucked into the air chamber. And when the use environment of a pressure sensor changes from normal temperature to high temperature again, the water droplet drawn in into the air chamber changes into water vapor. At this time, if the pressure in the pressure detection chamber is lower than the pressure in the air chamber, the water vapor permeability of the O-ring considering only oil sealing is high, so that water vapor in the air chamber enters the pressure detection chamber, There is a problem that the sensor output from the sensor element is changed by changing the pressure.

本発明は上記点に鑑みて、水蒸気が圧力検出室内に侵入することを抑制し、センサ素子からのセンサ出力が変動してしまうことを防止できる圧力センサを提供することを目的とする。   In view of the above points, an object of the present invention is to provide a pressure sensor that can prevent water vapor from entering the pressure detection chamber and prevent fluctuations in sensor output from the sensor element.

上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、凹部(2)にセンサチップ(5)を含むセンサ部(4)が配置されたケースプラグ(1)をハウジング(11)の収容凹部(12)に挿入し、収容凹部(12)の開口端(13)をケースプラグ(1)にかしめることによりケースプラグ(1)とハウジング(11)とを組み付け、ケースプラグ(1)とハウジング(11)との間に凹部(2)を覆うようにメタルダイヤフラム(17a、17b)を備えることにより圧力検出室(19)を構成してこの圧力検出室(19)内を圧力伝達部材(20)で充填し、ケースプラグ(1)の一面に凹部(2)を囲むように環状の溝(21)を形成すると共に、この溝(21)に溝(21)の底面およびメタルダイヤフラム(17a、17b)と接触するように環状のシール部材(2〜24c)を配置し、シール部材(2〜24c)により圧力検出室(19)を気密封止する圧力センサであって、シール部材(24a〜24c)を耐オイル性を有する第1の部材(24a)と、第1の部材(24a)より水蒸気の透過性が低い第2の部材(24b)と、金属リング(24c)とを有して構成し、溝(21)に環状の金属リング(24c)を配置し、第1の部材(24a)および第2の部材(24b)を金属リング(24c)と溝(21)の底面との間および金属リング(24c)とメタルダイヤフラム(17a、17b)との間それぞれに備え、第1の部材(24a)および第2の部材(24b)を金属リング(24c)および溝(21)の底面に接触するように配置すると共に金属リング(24c)およびメタルダイヤフラム(17)に接触するように配置し、第2の部材(24b)を溝(21)のうち第1の部材(24a)より外周壁面(21a)側に配置することを特徴としている。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the case plug (1) in which the sensor portion (4) including the sensor chip (5) is disposed in the recess (2) is disposed in the housing recess of the housing (11). The case plug (1) and the housing (11) are assembled by inserting into the case plug (1) and caulking the open end (13) of the receiving recess (12) to the case plug (1). (11) is provided with a metal diaphragm (17a, 17b) so as to cover the recess (2), thereby forming a pressure detection chamber (19), and the pressure detection chamber (19) is filled with a pressure transmission member (20 ) And an annular groove (21) is formed on one surface of the case plug (1) so as to surround the recess (2), and the bottom surface of the groove (21) and the metal diaphragm (17a, 17a, 17b) and An annular seal member so as to touch the (2 4 a ~24c) arranged, a pressure sensor for hermetically sealing the pressure sensing chamber (19) by a sealing member (2 4 a ~24c), the seal member (24a To 24c) having a first member (24a) having oil resistance, a second member (24b) having a lower water vapor permeability than the first member (24a), and a metal ring (24c). An annular metal ring (24c) is disposed in the groove (21), and the first member (24a) and the second member (24b) are connected to the metal ring (24c) and the bottom surface of the groove (21). Between the metal ring (24c) and the metal diaphragm (17a, 17b), and the first member (24a) and the second member (24b) are provided on the bottom surface of the metal ring (24c) and the groove (21). Place to touch And the second member (24b) is disposed closer to the outer peripheral wall surface (21a) than the first member (24a) of the groove (21) in contact with the metal ring (24c) and the metal diaphragm (17). It is characterized in that.

このような圧力センサによれば、溝(21)のうち第1の部材(24a)よりも外周壁面(21a)側に水蒸気の透過性が第1の部材(24a)よりも低い第2の部材(24b)が配置されているので、従来の圧力センサよりも水蒸気が圧力検出室(19)内に侵入することを抑制することができ、センサチップ(5)からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することができる。   According to such a pressure sensor, in the groove (21), the second member having lower water vapor permeability than the first member (24a) on the outer peripheral wall surface (21a) side of the first member (24a). Since (24b) is arranged, it is possible to suppress water vapor from entering the pressure detection chamber (19) as compared with the conventional pressure sensor, and the sensor output from the sensor chip (5) varies. This can be prevented.

例えば、請求項に記載の発明のように、第1の部材(24a)および第2の部材(24b)を第1の部材(24a)および第2の部材(24b)における中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状となるようにすることができる。 For example, as in the invention described in claim 2 , the first member (24a) and the second member (24b) are arranged in the radial direction with respect to the central axis of the first member (24a) and the second member (24b). It is possible to make the cross section cut into a O-shape.

また、請求項に記載の発明のように、第1の部材(24a)および第2の部材(24b)を第1の部材(24a)および第2の部材(24b)における中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状となるようにすることができる。 Further, as in the third aspect of the present invention, the first member (24a) and the second member (24b) are arranged in the radial direction with respect to the central axis of the first member (24a) and the second member (24b). The cross section cut into two can be made into a rectangular shape.

さらに、請求項に記載の発明のように、シール部材(24a〜24c)を第1の部材(24a)と第2の部材(24b)とを接合して構成し、シール部材(24a〜24c)をシール部材(24a〜24c)における中心軸に対する径方向の断面がO型状または矩形状となるようにすることができる。 Further, as in the invention described in claim 4 , the seal members (24a to 24c) are configured by joining the first member (24a) and the second member (24b), and the seal members (24a to 24c). ) In the radial direction with respect to the central axis of the sealing members (24a to 24c) can be O-shaped or rectangular.

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

(第1実施形態)
本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図1は、本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図、図2は、図1に示す二点鎖線部分の拡大図である。これら図1、図2に基づいて本実施形態の圧力センサの構成について説明する。
(First embodiment)
A pressure sensor to which an embodiment of the present invention is applied will be described. FIG. 1 is an overall sectional view of a pressure sensor according to the present embodiment, and FIG. 2 is an enlarged view of a two-dot chain line portion shown in FIG. The configuration of the pressure sensor of this embodiment will be described with reference to FIGS.

図1に示されるように、圧力センサにはケースプラグ1が備えられており、このケースプラグ1は、例えば、断熱樹脂材料であるPPS(ポリフェニレンサルファイド)等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状をなしている。このケースプラグ1のうち一端部の一面には凹部2が形成されており、他端部には開口部3が形成されている。   As shown in FIG. 1, the pressure sensor is provided with a case plug 1. The case plug 1 is made by molding a resin such as PPS (polyphenylene sulfide) which is a heat insulating resin material, for example. In this embodiment, it is cylindrical. A recess 2 is formed on one surface of one end of the case plug 1, and an opening 3 is formed on the other end.

凹部2にはセンサ部4が備えられ、センサ部4はセンサチップ5と台座6とを有して構成されており、センサチップ5と台座6とは陽極接合されている。センサチップ5にはダイヤフラム7が形成されており、ダイヤフラム7には図示しないブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が備えられている。つまり、このセンサチップ5は、ダイヤフラム7に圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ出力信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。   The recess 2 is provided with a sensor unit 4, and the sensor unit 4 includes a sensor chip 5 and a base 6, and the sensor chip 5 and the base 6 are anodically bonded. A diaphragm 7 is formed on the sensor chip 5, and the diaphragm 7 is provided with a gauge resistor formed so as to constitute a bridge circuit (not shown). That is, in this sensor chip 5, when pressure is applied to the diaphragm 7, the resistance value of the gauge resistance changes, the voltage of the bridge circuit changes, and a sensor output signal is output in accordance with the change of the voltage. belongs to.

また、ケースプラグ1には、センサチップ5と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル8が備えられている。各ターミナル8はインサートモールドによりケースプラグ1と一体に成形されることによりケースプラグ1内に保持されている。   Further, the case plug 1 is provided with a plurality of metal rod-like terminals 8 for electrically connecting the sensor chip 5 and an external circuit or the like. Each terminal 8 is held in the case plug 1 by being integrally formed with the case plug 1 by insert molding.

具体的には、各ターミナル8はケースプラグ1を貫通しており、各ターミナル1のうち一端部はケースプラグ1から凹部2内に突出しており、他端部はケースプラグ1から開口部3内に突出している。凹部2内に突出している各ターミナル8の端部は、ボンディングワイヤ9を介してセンサチップ5と電気的に接続されており、開口部3内に突出している各ターミナル8の端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続されている。   Specifically, each terminal 8 passes through the case plug 1, one end of each terminal 1 protrudes from the case plug 1 into the recess 2, and the other end extends from the case plug 1 into the opening 3. Protruding. The end of each terminal 8 protruding into the recess 2 is electrically connected to the sensor chip 5 via a bonding wire 9, and the end of each terminal 8 protruding into the opening 3 is shown in the figure. It is electrically connected to an external circuit through an external wiring member such as a wire harness.

そして、凹部2のうちターミナル8が突出している部分には、例えば、シリコーン系樹脂からなるシール材10が配置されている。このシール材10は凹部2とターミナル8との隙間を封止するためのものである。   And the sealing material 10 which consists of silicone resin, for example is arrange | positioned in the part which the terminal 8 protrudes among the recessed parts 2. FIG. This sealing material 10 is for sealing the gap between the recess 2 and the terminal 8.

また、ケースプラグ1にはハウジング11が組みつけられている。具体的には、ハウジング11には収容凹部12が備えられており、この収容凹部12内にケースプラグ1のうち凹部2が形成されている一面が挿入され、ハウジング11のうち収容凹部12の開口端13をケースプラグ1にかしめることでケースプラグ1とハウジング11とが組みつけられている。ハウジング11は、例えば、SUS等の金属材料よりなるものであり、測定媒体を導入するための圧力導入孔14と圧力導入孔14の外周壁面に圧力センサを固定するためのねじ部15が備えられている。また、ケースプラグ1とハウジング11とはかしめることにより組みつけられているので、ケースプラグ1とハウジング11との間には空気室16が形成されている。   A housing 11 is assembled to the case plug 1. Specifically, the housing 11 is provided with a housing recess 12, and one surface of the case plug 1 where the recess 2 is formed is inserted into the housing recess 12, and the housing 11 has an opening of the housing recess 12. The case plug 1 and the housing 11 are assembled by caulking the end 13 to the case plug 1. The housing 11 is made of, for example, a metal material such as SUS, and includes a pressure introduction hole 14 for introducing the measurement medium and a screw portion 15 for fixing the pressure sensor to the outer peripheral wall surface of the pressure introduction hole 14. ing. Since the case plug 1 and the housing 11 are assembled by caulking, an air chamber 16 is formed between the case plug 1 and the housing 11.

そして、ハウジング11のうち収容凹部12の底面とケースプラグ1のうち凹部2が形成されている一面との間には、円形のメタルダイヤフラム17が配置されている。具体的には、このメタルダイヤフラム17は、薄膜で構成されていると共に測定媒体の圧力が印加されるダイヤフラム部17aと、ダイヤフラム部17aの外縁部に配置され、ダイヤフラム部17aの外縁部をハウジング11に対して固定するリングウェルド17bとを有して構成されている。そして、ハウジング11、ダイヤフラム部17aのうち外縁部およびリングウェルド17bがレーザ溶接などにより溶接された溶接部18にて接合されている。   A circular metal diaphragm 17 is disposed between the bottom surface of the housing recess 12 in the housing 11 and one surface of the case plug 1 where the recess 2 is formed. Specifically, the metal diaphragm 17 is formed of a thin film and is disposed at a diaphragm portion 17a to which the pressure of the measurement medium is applied, and an outer edge portion of the diaphragm portion 17a, and the outer edge portion of the diaphragm portion 17a is disposed on the housing 11. And a ring weld 17b that is fixed to the structure. And the outer edge part and the ring weld 17b are joined by the welding part 18 welded by laser welding etc. among the housing 11 and the diaphragm part 17a.

このように構成されたケースプラグ1とハウジング11とにおいて、凹部2およびメタルダイヤフラム17で囲まれる部分に圧力検出室19が構成されている。そして、圧力検出室19内にはメタルダイヤフラム17に印加された圧力をセンサチップ5に伝達するオイル20が充填されている。なお、本実施形態では、オイル20が圧力伝達部材に相当している。   In the case plug 1 and the housing 11 configured as described above, a pressure detection chamber 19 is configured in a portion surrounded by the recess 2 and the metal diaphragm 17. The pressure detection chamber 19 is filled with oil 20 that transmits the pressure applied to the metal diaphragm 17 to the sensor chip 5. In the present embodiment, the oil 20 corresponds to a pressure transmission member.

また、ケースプラグ1のうち凹部2が備えられる一面には、凹部2を囲むように環状の溝21が形成されている。そして、図2に示されるように、溝21に溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触するように環状のシール部材22が配置されており、シール部材22により圧力検出室19が気密封止されている。このシール部材22はOリング22aおよび金属部材22bを有して構成されており、Oリング22aの表面のうち溝21の外周壁面21a側に位置する部分が溝21の底面およびメタルダイヤフラム17に接触している金属部材22bにて全面が覆われている。なお、Oリング22aには従来と同様にシリコーンゴム等を用いることができ、金属部材22bにはAl等を用いることができる。   An annular groove 21 is formed on one surface of the case plug 1 where the recess 2 is provided so as to surround the recess 2. As shown in FIG. 2, an annular seal member 22 is disposed in the groove 21 so as to contact the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17, and the pressure detection chamber 19 is hermetically sealed by the seal member 22. ing. The seal member 22 includes an O-ring 22a and a metal member 22b, and a portion of the surface of the O-ring 22a located on the outer peripheral wall surface 21a side of the groove 21 contacts the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17. The entire surface is covered with the metal member 22b. Silicone rubber or the like can be used for the O-ring 22a as in the conventional case, and Al or the like can be used for the metal member 22b.

このような圧力センサは、基本的にはシール部材22を溝21に配置すること以外に関しては従来と同様(例えば、特開2000−329633号公報参照)にして製造される。シール部材22はOリング22aの表面のうち溝21の外周壁面21a側に位置する部分に蒸着などにより金属部材22bを配置することで製造され、ケースプラグ1とハウジング11とがかしめられる前に溝21に配置される。   Such a pressure sensor is basically manufactured in the same manner as the conventional one except that the seal member 22 is disposed in the groove 21 (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-329633). The seal member 22 is manufactured by disposing a metal member 22b by vapor deposition or the like on a portion of the surface of the O-ring 22a located on the outer peripheral wall surface 21a side of the groove 21, and the groove before the case plug 1 and the housing 11 are caulked. 21.

かかる圧力センサの基本的な検出作動について述べる。   The basic detection operation of such a pressure sensor will be described.

測定媒体が圧力導入孔14を通じてダイヤフラム部17bに印加されると、圧力検出室19内に充填されているオイル20を介してセンサチップ5に形成されているダイヤフラム7に圧力が印加される。ダイヤフラム7にはブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が備えられており、ダイヤフラム7に圧力が印加されるとピエゾ抵抗効果によりゲージ抵抗の抵抗値が変化する。このため、センサチップ5ではブリッジ回路の出力電圧が変化し、印加された圧力に応じたセンサ信号が出力される。このセンサ信号は、センサチップ5からボンディングワイヤ9およびターミナル8を介して外部に伝達され、これに基づいて測定媒体の圧力が検出される。   When the measurement medium is applied to the diaphragm portion 17 b through the pressure introduction hole 14, pressure is applied to the diaphragm 7 formed in the sensor chip 5 through the oil 20 filled in the pressure detection chamber 19. The diaphragm 7 is provided with a gauge resistor formed so as to constitute a bridge circuit. When pressure is applied to the diaphragm 7, the resistance value of the gauge resistor changes due to the piezoresistive effect. For this reason, in the sensor chip 5, the output voltage of the bridge circuit changes and a sensor signal corresponding to the applied pressure is output. This sensor signal is transmitted from the sensor chip 5 to the outside via the bonding wire 9 and the terminal 8, and based on this, the pressure of the measurement medium is detected.

このような圧力センサでは圧力センサの使用環境が高温から常温に変化すると圧力センサの外面に結露水が付着する。そして、空気室16内の圧力が圧力センサ外部より低くなっているため、この結露水が容易に空気室16内に引き込まれ、圧力センサの使用環境が再び常温から高温に変化すると空気室16内に引き込まれた結露水が水蒸気へと変化する。このとき、圧力検出室19内の圧力が空気室16より低いと、空気室16内の水蒸気が圧力検出室19内に侵入しようとする。しかしながら、本実施形態の圧力センサによれば、Oリング22aの表面のうち溝21の外周壁面21a側に位置する部分を溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触している金属部材22bにて全面覆っているため、金属部材22bにて水蒸気を透過させないようにできる。このため、水蒸気が圧力検出室19内へ侵入することを抑制することができ、センサチップ5からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することができる。   In such a pressure sensor, when the usage environment of the pressure sensor changes from high temperature to room temperature, condensed water adheres to the outer surface of the pressure sensor. And since the pressure in the air chamber 16 is lower than the outside of the pressure sensor, the condensed water is easily drawn into the air chamber 16, and when the usage environment of the pressure sensor changes from normal temperature to high temperature again, the inside of the air chamber 16 The condensed water drawn into the water changes into water vapor. At this time, if the pressure in the pressure detection chamber 19 is lower than that in the air chamber 16, the water vapor in the air chamber 16 tends to enter the pressure detection chamber 19. However, according to the pressure sensor of the present embodiment, the portion of the surface of the O-ring 22a located on the outer peripheral wall surface 21a side of the groove 21 is entirely covered by the metal member 22b in contact with the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17. Since it covers, water vapor can be prevented from permeating through the metal member 22b. For this reason, it can suppress that water vapor | steam penetrate | invades in the pressure detection chamber 19, and can prevent that the sensor output from the sensor chip 5 fluctuates.

(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、シール部材22の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the seal member 22 with respect to the first embodiment, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.

図3に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図3は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 3 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 3 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of the present embodiment are the same as those in FIG.

図3に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、環状のシール部材23が溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触するように配置されている。具体的には、本実施形態のシール部材23は成形等により形成された金属リング23aとされている。また、シール部材23には、かしめによるかしめ圧で押しつぶされるように、シール部材23の中心軸に対して周方向に一周する中空部23bが形成されている。そして、シール部材23は溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触し、弾性変形した状態で溝21の底面およびメタルダイヤフラム17との間に配置されている。なお、シール部材23を構成する金属リング23aは金属部材22bと同様にAl等を用いて製造され、中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状とされている。   As shown in FIG. 3, in the pressure sensor of the present embodiment, the annular seal member 23 is disposed so as to contact the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17. Specifically, the seal member 23 of the present embodiment is a metal ring 23a formed by molding or the like. Further, the sealing member 23 is formed with a hollow portion 23b that makes one round in the circumferential direction with respect to the central axis of the sealing member 23 so as to be crushed by caulking pressure by caulking. The seal member 23 is in contact with the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 and is disposed between the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 in an elastically deformed state. In addition, the metal ring 23a which comprises the sealing member 23 is manufactured using Al etc. similarly to the metal member 22b, and the cross section cut | disconnected in the radial direction with respect to the central axis is made into O shape.

このような圧力センサによれば、金属リング23aにて水蒸気を透過させないようにしつつ、圧力検出室19を気密封止することができるので上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、本実施形態のシール部材23は金属リング23aで構成されており、耐オイル性も備えているのでシール部材23が腐食して圧力検出室19からオイル20が漏れ出すこともない。また、本実施形態では、シール部材23を溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触させ、弾性変形させた状態で溝21の底面およびメタルダイヤフラム17との間に配置しているが、塑性変形させた状態で溝21の底面およびメタルダイヤフラム17との間に配置してもよい。   According to such a pressure sensor, since the pressure detection chamber 19 can be hermetically sealed while preventing the water vapor from being transmitted through the metal ring 23a, the same effect as in the first embodiment can be obtained. The seal member 23 of the present embodiment is composed of a metal ring 23a and has oil resistance, so that the seal member 23 does not corrode and the oil 20 does not leak from the pressure detection chamber 19. Further, in this embodiment, the seal member 23 is disposed between the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 in a state where the seal member 23 is brought into contact with the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 and is elastically deformed. You may arrange | position between the bottom face of the groove | channel 21, and the metal diaphragm 17 in the state where it met.

(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第2実施形態に対して、シール部材23の構造を変更したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the structure of the seal member 23 with respect to the second embodiment, and the other parts are the same as those of the second embodiment, and thus the description thereof is omitted here.

図4に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図4は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 4 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 4 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of this embodiment are the same as those in FIG.

図4に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、シール部材23は中心軸に対して周方向に一周する開口部23cが形成されており、シール部材23は中心軸に対する径方向に切断した断面がC型状とされている。そして、開口部23cが溝21の内周壁面21b側に向けられて溝21に配置されている。   As shown in FIG. 4, in the pressure sensor of the present embodiment, the seal member 23 is formed with an opening 23c that makes a round in the circumferential direction with respect to the central axis, and the seal member 23 is cut in the radial direction with respect to the central axis. The cross section is C-shaped. The opening 23 c is disposed in the groove 21 so as to face the inner peripheral wall surface 21 b of the groove 21.

このような圧力センサによれば、上記第2実施形態より金属リング23aと溝21の底面およびメタルダイヤフラム17との接触面積を増加させることができる。このため、上記第1実施形態と同様の効果を得つつ、圧力検出室19の気密封止性を向上させることも可能となる。   According to such a pressure sensor, the contact area between the metal ring 23a and the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 can be increased as compared with the second embodiment. For this reason, it is also possible to improve the hermetic sealing property of the pressure detection chamber 19 while obtaining the same effect as the first embodiment.

なお、本実施形態では、シール部材23は開口部23cが溝21の内周壁面21b側に向けられて配置されているが、開口部23cが溝21の外周壁面21a側に向けられて配置されていてもよい。さらに、本実施形態では、シール部材23の中心軸に対して径方向に切断した断面は溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触する部分が直線であるC型状とされているが、シール部材23のうち開口部23cの端部が溝21の底面およびメタルダイヤフラム17から離間されているC型状としてもよい。   In this embodiment, the seal member 23 is arranged with the opening 23c facing the inner peripheral wall 21b side of the groove 21, but the opening 23c is arranged facing the outer peripheral wall 21a side of the groove 21. It may be. Further, in the present embodiment, the cross section cut in the radial direction with respect to the central axis of the seal member 23 is a C-shape in which the bottom surface of the groove 21 and the portion in contact with the metal diaphragm 17 are straight. 23 may have a C shape in which the end of the opening 23 c is separated from the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17.

(第4実施形態)
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第3実施形態に対して、シール部材23の構成を変更したものであり、その他に関しては第3実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the seal member 23 with respect to the third embodiment, and the other components are the same as those of the third embodiment, and thus the description thereof is omitted here.

図5に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図5は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 5 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 5 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of the present embodiment are the same as those in FIG.

図5に示されるように、本実施形態の圧力センサは、シール部材23が金属リング23aおよびOリング23dを有して構成されており、金属リング23aの中空部23b内にOリング23dが配置されている。   As shown in FIG. 5, in the pressure sensor of this embodiment, the seal member 23 is configured to have a metal ring 23a and an O-ring 23d, and the O-ring 23d is disposed in the hollow portion 23b of the metal ring 23a. Has been.

このような圧力センサによれば、ケースプラグ1とハウジング11とをかしめにより組み付けてシール部材23をかしめ圧により押しつぶす際に、Oリング23dの弾性力により金属リング23aと溝21の底面およびメタルダイヤフラム17との接触性を向上させることができる。このため、上記第1実施形態と同様の効果を得つつ、圧力検出室19の気密封止性を向上させることも可能となる。   According to such a pressure sensor, when the case plug 1 and the housing 11 are assembled by caulking and the seal member 23 is crushed by caulking pressure, the metal ring 23a and the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm are caused by the elastic force of the O-ring 23d. The contact with 17 can be improved. For this reason, it is also possible to improve the hermetic sealing property of the pressure detection chamber 19 while obtaining the same effect as the first embodiment.

(第5実施形態)
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、シール部材22の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the seal member 22 with respect to the first embodiment, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.

図6に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図6は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 6 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 6 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of the present embodiment are the same as those in FIG.

図6に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、環状のシール部材24が溝21の底面およびメタルダイヤフラム17と接触するように配置されている。具体的には、シール部材24は耐オイル性を有する材質、例えば、シリコーンゴムで構成される第1の部材24aと、第1の部材24aより水蒸気の透過性が低い材質、例えば、エチレンプロピレンゴムで構成される第2の部材24bとを有して構成されている。これら第1の部材24aおよび第2の部材24bはそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状とされており、第2の部材24bが溝21内において、第1の部材24aよりも外周壁面21a側に位置するように配置されている。   As shown in FIG. 6, in the pressure sensor of this embodiment, the annular seal member 24 is disposed so as to contact the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17. Specifically, the seal member 24 is made of a material having oil resistance, for example, a first member 24a made of silicone rubber, and a material having a lower water vapor permeability than the first member 24a, for example, ethylene propylene rubber. And a second member 24b composed of Each of the first member 24a and the second member 24b has an O-shaped cross section cut in the radial direction with respect to the central axis, and the second member 24b is formed in the groove 21 from the first member 24a. Are also disposed on the outer peripheral wall surface 21a side.

このような圧力センサによれば、第1の部材24aにより圧力検出室19を気密封止することができる。そして、溝21のうち第1の部材24aよりも外周壁面21a側に配置された水蒸気の透過性が第1の部材24aよりも低い第2の部材24bにより、従来の圧力センサよりも水蒸気が圧力検出室19内に侵入することを抑制することができ、センサチップ5からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することができる。   According to such a pressure sensor, the pressure detection chamber 19 can be hermetically sealed by the first member 24a. Then, the second member 24b having a lower water vapor permeability than the first member 24a disposed on the outer peripheral wall surface 21a side of the first member 24a in the groove 21 causes the water vapor to have a pressure higher than that of the conventional pressure sensor. Intrusion into the detection chamber 19 can be suppressed, and the sensor output from the sensor chip 5 can be prevented from fluctuating.

(第6実施形態)
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第5実施形態に対して、シール部材24の構成を変更したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Sixth embodiment)
A sixth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the seal member 24 with respect to the fifth embodiment, and the other parts are the same as those of the fifth embodiment, and thus description thereof is omitted here.

図7に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図7は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 7 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 7 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of the present embodiment are the same as those in FIG.

本実施形態の圧力センサでは、シール部材24を構成する第1の部材24aおよび第2の部材24bはそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされている。そして、図7に示されるように、第1の部材24aおよび第2の部材24bは、かしめによるかしめ圧により溝21の底面およびメタルダイヤフラム17により押しつぶされることでそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面が太鼓型状とされている。   In the pressure sensor of the present embodiment, the first member 24a and the second member 24b constituting the seal member 24 have a rectangular cross section cut in the radial direction with respect to the central axis. Then, as shown in FIG. 7, the first member 24a and the second member 24b are cut in the radial direction with respect to the respective central axes by being crushed by the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 by caulking pressure due to caulking. The cross section is a drum shape.

このような圧力センサによれば、シール部材24と溝21の底面およびメタルダイヤフラム17との接触面積を増加させることができる。このため、上記第5実施形態と同様の効果を得つつ、圧力検出室19の気密封止性を向上させることができる。   According to such a pressure sensor, the contact area between the sealing member 24 and the bottom surface of the groove 21 and the metal diaphragm 17 can be increased. For this reason, the airtight sealing property of the pressure detection chamber 19 can be improved while obtaining the same effect as the fifth embodiment.

(第7実施形態)
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第5実施形態に対して、シール部材24の構成を変更したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Seventh embodiment)
A seventh embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the seal member 24 with respect to the fifth embodiment, and the other parts are the same as those of the fifth embodiment, and thus description thereof is omitted here.

図8に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図8は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 8 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 8 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of the present embodiment are the same as those in FIG.

図8に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、シール部材24は中心軸に対する断面が半円型状である第1の部材24aと第2の部材24bとを、それぞれの平面にて接合することで構成されている。そして、シール部材24の外壁面のうち第1の部材24aと第2の部材24bとの境界が溝21の底面と接触するように配置されていると共に、メタルダイヤフラム17と接触するように配置されている。このとき、上記第5実施形態と同様に、第2の部材24bが溝21内において、第1の部材24aよりも外周壁面21a側に位置するように配置されている。   As shown in FIG. 8, in the pressure sensor of the present embodiment, the seal member 24 includes a first member 24 a and a second member 24 b that are semicircular in cross section with respect to the central axis. It is configured by joining. The boundary between the first member 24 a and the second member 24 b of the outer wall surface of the seal member 24 is disposed so as to be in contact with the bottom surface of the groove 21, and is disposed so as to be in contact with the metal diaphragm 17. ing. At this time, similarly to the fifth embodiment, the second member 24b is disposed in the groove 21 so as to be positioned closer to the outer peripheral wall surface 21a than the first member 24a.

このような圧力センサとしても上記第5実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、このようなシール部材24は、中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状の第1の部材24aと第2の部材24bとをそれぞれ中心軸に対して周方向に二等分されるように切断し、これらを加硫接着により接着することで製造される。   Even with such a pressure sensor, the same effects as those of the fifth embodiment can be obtained. Note that the sealing member 24 has a cross section cut in the radial direction with respect to the central axis, and the O-shaped first member 24a and the second member 24b are each bisected in the circumferential direction with respect to the central axis. It cut | disconnects so that these may be bonded by vulcanization adhesion.

(第8実施形態)
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第5実施形態に対して、シール部材24の構成を変更したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Eighth embodiment)
An eighth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the seal member 24 with respect to the fifth embodiment, and the other parts are the same as those of the fifth embodiment, and thus description thereof is omitted here.

図9に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図9は、図1に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図1と同様である。   FIG. 9 shows a partially enlarged view of the pressure sensor of the present embodiment. 9 corresponds to the two-dot chain line portion shown in FIG. 1, and the other portions of the pressure sensor of the present embodiment are the same as those in FIG.

図9に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、シール部材24が第1の部材24a、第2の部材24bおよび金属リング24cを有して構成されている。金属リング24cは上記第3実施形態の金属リング23aと同様の形状とされて溝21に配置されており、第1の部材24aおよび第2の部材24bが金属リング24cと溝21の底面との間および金属リング24cとメタルダイヤフラム17との間それぞれに備えられている。   As shown in FIG. 9, in the pressure sensor of the present embodiment, the seal member 24 includes a first member 24a, a second member 24b, and a metal ring 24c. The metal ring 24 c has the same shape as the metal ring 23 a of the third embodiment and is disposed in the groove 21. The first member 24 a and the second member 24 b are formed between the metal ring 24 c and the bottom surface of the groove 21. And between the metal ring 24 c and the metal diaphragm 17.

具体的には、第1の部材24aおよび第2の部材24bは、金属リング24cおよび溝21の底面と接触するように配置されていると共に、金属リング24cおよびメタルダイヤフラム17と接触するように配置されている。また、本実施形態では、第1の部材24aおよび第2の部材24bはそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされている。このような圧力センサとしても、上記第5実施形態と同様の効果を得ることができる。   Specifically, the first member 24a and the second member 24b are disposed so as to be in contact with the metal ring 24c and the bottom surface of the groove 21, and are disposed so as to be in contact with the metal ring 24c and the metal diaphragm 17. Has been. In the present embodiment, the first member 24a and the second member 24b are rectangular in cross section cut in the radial direction with respect to the central axis. Even with such a pressure sensor, the same effect as that of the fifth embodiment can be obtained.

(他の実施形態)
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第2実施形態に上記第4実施形態を組み合わせて、金属リング23aの中空部23bにOリング23dを配置してもよい。また、上記第6実施形態と上記第7実施形態を組み合わせて、シール部材24を中心軸に対する断面が矩形状である第1の部材24aと第2の部材24bとを接合して構成し、シール部材24のうち第1の部材24aと第2の部材24bとの境界を、溝21の底面と接触するように配置すると共に、メタルダイヤフラム17と接触するように配置してもよい。
(Other embodiments)
You may comprise a pressure sensor combining the said each embodiment. For example, the O-ring 23d may be arranged in the hollow portion 23b of the metal ring 23a by combining the second embodiment with the fourth embodiment. Further, by combining the sixth embodiment and the seventh embodiment, the seal member 24 is formed by joining a first member 24a and a second member 24b having a rectangular cross section with respect to the central axis, and a seal. Of the members 24, the boundary between the first member 24 a and the second member 24 b may be disposed so as to contact the bottom surface of the groove 21 and may be disposed so as to contact the metal diaphragm 17.

さらに、上記第8実施形態では、金属リング24cを上記第2実施形態の金属リング23aと同様の形状としてもよい。また、第1の部材24aおよび第2の部材24bをそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状としてもよい。そして、上記第7実施形態のように、シール部材24を中心軸に対する断面が半円型状である第1の部材24aと第2の部材24bとを、それぞれの平面にて接合することで構成してもよい。   Furthermore, in the said 8th Embodiment, it is good also considering the metal ring 24c as the shape similar to the metal ring 23a of the said 2nd Embodiment. Moreover, the cross section which cut | disconnected the 1st member 24a and the 2nd member 24b in the radial direction with respect to each center axis | shaft is good also as O shape. Then, as in the seventh embodiment, the sealing member 24 is configured by joining the first member 24a and the second member 24b having a semicircular cross section with respect to the central axis on each plane. May be.

本発明の第1実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional structure of the pressure sensor in 1st Embodiment of this invention. 図1に示す二点鎖線部分の拡大図を示す図である。It is a figure which shows the enlarged view of the dashed-two dotted line part shown in FIG. 本発明の第2実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 6th Embodiment of this invention. 本発明の第7実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 7th Embodiment of this invention. 本発明の第8実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。It is a figure which shows the elements on larger scale of the pressure sensor concerning 8th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 ケースプラグ
2 凹部
5 センサチップ
11 ハウジング
12 収容凹部
17 メタルダイヤフラム
21 溝
22a Oリング
22b 金属部材
23a 金属リング
23b 中空部
23c 開口部
23d Oリング
24a 第1の部材
24b 第2の部材
24c 金属リング

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case plug 2 Recessed part 5 Sensor chip 11 Housing 12 Receiving recessed part 17 Metal diaphragm
21 groove 22a O-ring 22b metal member 23a metal ring 23b hollow portion 23c opening 23d O-ring 24a first member 24b second member 24c metal ring

Claims (4)

測定媒体の圧力に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ(5)を含むセンサ部(4)と、
一面に凹部(2)を備え、前記凹部(2)に前記センサ部(4)が備えられるケースプラグ(1)と、
収容凹部(12)を有すると共に、前記収容凹部(12)に前記ケースプラグ(1)が挿入され、前記収容凹部(12)の開口端(13)が前記ケースプラグ(1)にかしめられることにより前記ケースプラグ(1)と一体に組みつけられるハウジング(11)と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記ケースプラグ(1)の前記一面と前記ハウジング(11)のうち前記収容凹部(12)の底面との間に配置されるメタルダイヤフラム(17a、17b)と、
前記ケースプラグ(1)と前記ハウジング(11)とが組みつけられることで前記凹部(2)および前記メタルダイヤフラム(17a、17b)で囲まれる部分にて形成される圧力検出室(19)内に充填される圧力伝達部材(20)と、
前記ケースプラグ(1)の前記一面に前記凹部(2)を囲むように形成された環状の溝(21)と、
前記溝(21)に前記溝(21)の底面および前記メタルダイヤフラム(17a、17b)と接触するように配置され、前記圧力検出室(19)と前記圧力検出室(19)の外部とを区画すると共に、前記圧力検出室(19)を気密封止する環状のシール部材(24a〜24c)と、を備える圧力センサであって、
前記シール部材(24a〜24c)は、耐オイル性を有する第1の部材(24a)と、前記第1の部材(24a)より水蒸気の透過性が低い第2の部材(24b)と、金属リング(24c)とを有して構成されており、前記溝(21)に環状の金属リング(24c)が配置され、前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は前記金属リング(24c)と前記溝(21)の底面との間および前記金属リング(24c)と前記メタルダイヤフラム(17a、17b)との間それぞれに備えられ、前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は、前記金属リング(24c)および前記溝(21)の底面に接触するように配置されていると共に、前記金属リング(24c)および前記メタルダイヤフラム(17)に接触するように配置されており、前記第2の部材(24b)は前記溝(21)のうち前記第1の部材(24a)より外周壁面(21a)側に配置されていることを特徴とする圧力センサ。
A sensor unit (4) including a sensor chip (5) for outputting a sensor output signal corresponding to the pressure of the measurement medium;
A case plug (1) provided with a recess (2) on one surface, and the recess (2) with the sensor part (4);
By having a housing recess (12), the case plug (1) is inserted into the housing recess (12), and the opening end (13) of the housing recess (12) is caulked to the case plug (1). A housing (11) assembled integrally with the case plug (1);
Metal diaphragms (17a, 17b) disposed between the one surface of the case plug (1) and the bottom surface of the housing recess (12) of the housing (11), when pressure of the measurement medium is applied;
By assembling the case plug (1) and the housing (11), the pressure detection chamber (19) formed by the portion surrounded by the recess (2) and the metal diaphragm (17a, 17b) A pressure transmitting member (20) to be filled;
An annular groove (21) formed on the one surface of the case plug (1) so as to surround the recess (2);
The groove (21) is disposed so as to come into contact with the bottom surface of the groove (21) and the metal diaphragms (17a, 17b), and partitions the pressure detection chamber (19) and the outside of the pressure detection chamber (19). And an annular seal member (24a-24c) for hermetically sealing the pressure detection chamber (19),
The seal members (24a to 24c) include a first member (24a) having oil resistance, a second member (24b) having a lower water vapor permeability than the first member (24a), and a metal ring. (24c) , an annular metal ring (24c) is disposed in the groove (21), and the first member (24a) and the second member (24b) are the metal Provided between the ring (24c) and the bottom surface of the groove (21) and between the metal ring (24c) and the metal diaphragm (17a, 17b), respectively, the first member (24a) and the first The second member (24b) is disposed so as to contact the bottom surfaces of the metal ring (24c) and the groove (21), and is in contact with the metal ring (24c) and the metal diaphragm (17). Are arranged to, said second member (24b) is a pressure, characterized in that arranged on the outer peripheral wall surface (21a) side of said first member (24a) of said groove (21) Sensor.
前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)における中心軸に対する径方向に切断した断面がO型状とされていることを特徴とする請求項に記載の圧力センサ。 The first member (24a) and the second member (24b) have an O-shaped cross section cut in the radial direction with respect to the central axis of the first member (24a) and the second member (24b). The pressure sensor according to claim 1 , wherein the pressure sensor is provided. 前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)は前記第1の部材(24a)および前記第2の部材(24b)における中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされていることを特徴とする請求項に記載の圧力センサ。 The first member (24a) and the second member (24b) have a rectangular cross section cut in the radial direction with respect to the central axis of the first member (24a) and the second member (24b). The pressure sensor according to claim 1 , wherein: 前記シール部材(24a〜24c)は、前記シール部材(24a〜24c)における中心軸に対する径方向の断面がO型状または矩形状とされており、前記第1の部材(24a)と前記第2の部材(24b)とが接合されて構成されていることを特徴とする請求項に記載の圧力センサ。 The sealing members (24a to 24c) have an O-shaped or rectangular cross section in the radial direction with respect to the central axis of the sealing members (24a to 24c), and the first member (24a) and the second member The pressure sensor according to claim 1 , wherein the pressure sensor is joined to the member (24 b).
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