JP4899120B2 - 窒化酸化シリコン膜の組成評価方法及び物性評価方法 - Google Patents
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原料ガス:ジクロロシラン、亜酸化窒素、アンモニア。
総流量 :250sccm(なお、1sccm=10−6m3/分である)。
流量比 :亜酸化窒素/アンモニア=0.3〜0.95。
(ジクロロシラン:50sccm固定)
反応圧力:30Pa。
Claims (11)
- 基板上に形成された窒化酸化シリコン膜の組成を評価する方法であって、
前記窒化酸化シリコン膜について、光源としてレーザを用い、フォトルミネッセンススペクトルを計測し解析することによって得られた解析結果と、XPS法で計測された膜組成とから得られる、フォトルミネッセンス強度と膜組成との相関関係に基づいて、前記窒化酸化シリコン膜の組成又は組成分布を評価するようにした組成評価方法。 - 前記フォトルミネッセンススペクトルの計測において、フォトルミネッセンススペクトル強度の指標として1.7eV以上1.9eV以下、又は3.2eV以上3.4eV以下のエネルギー領域を用いる請求項1に記載の組成評価方法。
- 前記窒化酸化シリコン膜は、800℃において熱化学気相成長法により作製された膜である請求項1に記載の組成評価方法。
- 前記基板を、単結晶シリコン基板又はガラス基板とした請求項1に記載の組成評価方法。
- 前記窒化酸化シリコン膜の微小面積の組成又は組成分布を、非破壊で評価するようにした請求項1に記載の組成評価方法。
- 基板上に形成された窒化酸化シリコン膜の物性を評価する方法であって、
前記窒化酸化シリコン膜について、光源としてレーザを用い、フォトルミネッセンススペクトルを計測し解析することによって得られた解析結果と、XPS法で計測された膜組成とから得られる、フォトルミネッセンス強度と膜組成との相関関係に基づいて、前記窒化酸化シリコン膜の物性又は物性分布を評価するようにした物性評価方法。 - 前記物性は、応力又はガス透過率である請求項6に記載の物性評価方法。
- 前記フォトルミネッセンススペクトルの計測において、フォトルミネッセンススペクトル強度の指標として1.7eV以上1.9eV以下、又は3.2eV以上3.4eV以下のエネルギー領域を用いる請求項6に記載の物性評価方法。
- 前記窒化酸化シリコン膜は、800℃において熱化学気相成長法により作製された膜である請求項6に記載の物性評価方法。
- 前記基板を、単結晶シリコン基板又はガラス基板とした請求項6に記載の物性評価方法。
- 前記窒化酸化シリコン膜の微小面積の物性又は物性分布を、非破壊で評価するようにした請求項6に記載の物性評価方法。
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