JP4872991B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component and collective electronic component - Google Patents
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この発明は、積層セラミック電子部品の製造方法および複数の積層セラミック電子部品を取り出すことができる集合電子部品に関するもので、特に、セラミックグリーンシートの積層および圧着工程での位置ずれを低減するための改良に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component and a collective electronic component from which a plurality of multilayer ceramic electronic components can be taken out, and in particular, an improvement for reducing misalignment in the lamination and crimping steps of ceramic green sheets. It is about.
図11は、この発明にとって興味ある積層セラミック電子部品の一例としての多層セラミック基板1を図解的に示す断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer
多層セラミック基板1は、複数のセラミック層2をもって構成される積層構造を有している。セラミック層2に関連して、種々の配線導体が設けられる。図11には、配線導体の代表的なものが図示されている。
The multilayer
配線導体としては、セラミック層2間の特定の界面に沿って形成される内部導体膜3および4、特定のセラミック層2を貫通するように設けられるビアホール導体5、6および7、セラミック層2からなる積層体の外表面上に形成される、たとえばランドグリッドアレイタイプの外部端子電極8および9などがある。
As the wiring conductor,
図11に示した多層セラミック基板1にあっては、ビアホール導体5は、多層セラミック基板1上に搭載されるチップ部品10と外部端子電極8とを電気的に接続し、ビアホール導体6は、内部導体膜3および4間を電気的に接続し、ビアホール導体7は、内部導体膜4と外部端子電極9とを電気的に接続している。
In the multilayer
上述のような内部導体膜3および4ならびにビアホール導体5〜7は、多層セラミック基板1において必要な配線を与えるばかりでなく、たとえば、コンデンサやインダクタ等の受動素子を構成するものもある。
The
また、内部導体膜3および4、ビアホール導体5〜7ならびに外部端子電極8および9は、通常、導電性金属粉末を含む導電性ペーストの焼結体から構成され、外部端子電極8および9にあっては、さらに、必要に応じてめっき処理が施される。
The
上述のような多層セラミック基板1は、その製造の能率化を図るため、しばしば、図12に示すような集合電子部品11の状態で用意され、この集合電子部品11を、所定の分割線12に沿って分割することによって、複数の多層セラミック基板1を取り出すようにされる。この場合において、分割をチョコレートブレイク態様で能率的に進めることを可能とするため、通常、集合電子部品11の少なくとも一方の主面上には、分割線12に沿って、たとえば断面V字状のブレイク用溝が形成されている。
The multilayer
また、集合電子部品11の周縁部分は、多層セラミック基板1とならない不要部分13とされ、この不要部分13は、複数の多層セラミック基板1を取り出す際、除去される。
The peripheral portion of the collective
集合電子部品11は、多層セラミック基板1にとって必要な内部導体膜3および4、ビアホール導体5〜7ならびに外部端子電極8および9のような配線導体がそれぞれ設けられた複数のセラミックグリーンシートを用意し、これら複数のセラミックグリーンシートを積層しかつ積層方向に圧着し、それによって、集合電子部品11の生の状態のものを作製し、これを焼成することによって得られるものである。
The collective
上述した集合電子部品11の製造において、複数のセラミックグリーンシートを積層しかつ積層方向に圧着する際、セラミックグリーンシート相互間で位置ずれが生じないようにすることが重要である。しかしながら、たとえば、内部導体膜3および4の厚みが比較的厚いとき、あるいは、複数のセラミック層を貫通するように延びるビアホール導体5〜7が設けられる場合には、上述したような位置ずれが生じやすい(たとえば、特許文献1参照)。
In the manufacture of the collective
特に、図13を参照して以下に説明するような状況がもたらされるとき、ビアホール導体5〜7が原因となって、位置ずれがより生じやすい。図13には、ビアホール導体の形成からセラミックグリーンシートの積層までの工程が示されている。
In particular, when the situation described below with reference to FIG. 13 is brought about, misalignment is more likely to occur due to the via-
まず、図13(1)に示すように、キャリアフィルム15によって裏打ちされたセラミックグリーンシート16には、レーザあるいはパンチングにより貫通孔17が、キャリアフィルム15をも貫通するように設けられる。
First, as shown in FIG. 13 (1), the ceramic
次に、同じく図13(1)に示すように、貫通孔17内にキャリアフィルム15側から導電性ペースト18が充填される。
Next, as shown in FIG. 13 (1), the
次に、図13(2)に示すように、導電性ペースト18が乾燥される。これによって、導電性ペースト18の体積が幾分減少する。
Next, as shown in FIG. 13B, the
次に、図13(3)に示すように、キャリアフィルム15がセラミックグリーンシート16から剥がされる。このとき、キャリアフィルム15側に位置していた導電性ペースト18は、その一部がキャリアフィルム15に伴って除去されるが、その一部がセラミックグリーンシート16側に残されることがある。その結果、セラミックグリーンシート16には、導電性ペースト18による突起19が形成される。
Next, as shown in FIG. 13 (3), the
次に、図13(4)に示すように、複数のセラミックグリーンシート16が積層される。このとき、導電性ペースト18による突起19の存在のため、隣り合うセラミックグリーンシート16間に隙間20が形成されることがある。
Next, as shown in FIG. 13 (4), a plurality of ceramic
上述した突起19による隙間20は、まず、セラミックグリーンシート16の積層工程での位置ずれをもたらす原因となる。
The
次に、積層された複数のセラミックグリーンシート16が積層方向に圧着される。その結果、図14または図15に示すような位置ずれがもたらされることがある。
Next, the plurality of laminated ceramic
すなわち、圧着工程は、複数のセラミックグリーンシート16の積層体を金型によって上下から挟んだ状態で実施されるので、積層体の上下にそれぞれ位置するセラミックグリーンシート16にあっては位置ずれが生じにくい。これに対して、積層体の中間部に位置するセラミックグリーンシート16にあっては、金型からの拘束力があまり働かないので、位置ずれが生じやすい。
That is, the crimping process is performed in a state in which a laminated body of a plurality of ceramic
上述のような状況下において、図13(4)に示したように、導電性ペースト18による突起19が形成されている場合、セラミックグリーンシート16の材質より導電性ペースト18の材質の方が硬いため、圧着のための圧力が加えられたとき、各セラミックグリーンシート16に設けられた導電性ペースト18の互いの当接により、導電性ペースト18の連なりは、図14に示すように座屈したり、図15に示すように、屈曲または湾曲したりする。
Under the above-described situation, as shown in FIG. 13 (4), when the
その結果、図14においては、セラミックグリーンシート16には、矢印21および22で示すように、位置ずれが生じ、図15においては、セラミックグリーンシート16には、矢印23、24および25で示すように、位置ずれが生じてしまう。
As a result, in FIG. 14, the ceramic
なお、圧着の方式として、1枚のセラミックグリーンシート16を積層する毎に圧着を行なう方式(逐次圧着方式)と、すべてのセラミックグリーンシート16の積層を終えた後に一括して圧着する方式(一括圧着方式)とがあるが、図14または図15に示すような位置ずれは、特に、後者の一括圧着方式を採用した場合に生じやすい。
In addition, as a method of pressure bonding, a method of performing pressure bonding every time the ceramic
また、図14または図15に示した位置ずれは、導電性ペースト18の連なりの数が多いほど、すなわち、たとえば図11に示したビアホール導体5のように、貫通するセラミック層2の積層数が多いほど、生じやすい。
そこで、この発明の目的は、上述したような位置ずれの問題が生じにくい、積層セラミック電子部品の製造方法および複数の積層セラミック電子部品を取り出すことができる集合電子部品を提供しようとすることである。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component and a collective electronic component from which a plurality of multilayer ceramic electronic components can be taken out, in which the problem of displacement as described above is unlikely to occur. .
この発明は、所定の分割線に沿って分割することによって複数の積層セラミック電子部品を取り出すことができる集合電子部品を作製する工程と、この集合電子部品を分割線に沿って分割し、それによって、複数の積層セラミック電子部品を取り出すとともに、積層セラミック電子部品とならない不要部分を除去する工程とを備える、積層セラミック電子部品の製造方法にまず向けられる。 The present invention includes a step of producing an aggregate electronic component from which a plurality of multilayer ceramic electronic components can be taken out by dividing along a predetermined dividing line, and dividing the assembled electronic component along the dividing line, thereby First, the present invention is directed to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, which includes a step of removing a plurality of multilayer ceramic electronic components and removing unnecessary portions that do not become multilayer ceramic electronic components.
上述した集合電子部品を作製する工程は、積層セラミック電子部品にとって必要な配線導体がそれぞれ設けられた複数のセラミックグリーンシートを用意する工程と、複数のセラミックグリーンシートを積層しかつ積層方向に圧着し、それによって、生の状態の集合電子部品を作製する工程と、生の状態の集合電子部品を焼成する工程とを備えている。 The process of manufacturing the above-described collective electronic component includes the steps of preparing a plurality of ceramic green sheets each provided with wiring conductors necessary for the multilayer ceramic electronic component, and laminating the plurality of ceramic green sheets and pressing them in the stacking direction. Thereby, a process of producing a collective electronic component in a raw state and a process of firing the collective electronic component in a raw state are provided.
そして、この発明では、上述した技術的課題を解決するため、セラミックグリーンシートを用意する工程において、隣り合うセラミックグリーンシート間について、積層方向に互いに重ならないが、セラミックグリーンシートの主面方向に並ぶように位置合わせされた導電性ペースト体を、セラミックグリーンシートにおける不要部分に対応する領域内に設ける工程を実施することを特徴とするとともに、上記導電性ペースト体が、セラミックグリーンシートの積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミックグリーンシートに設けられた複数の導電性ペースト体の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシートに設けられた導電性ペースト体が位置するように位置合わせされることを特徴としている。 In the present invention, in order to solve the technical problem described above, in the step of preparing the ceramic green sheets, the adjacent ceramic green sheets do not overlap each other in the stacking direction but are arranged in the main surface direction of the ceramic green sheets. The conductive paste body thus aligned is provided in a region corresponding to an unnecessary portion in the ceramic green sheet, and the conductive paste body is arranged in the stacking direction of the ceramic green sheets. On the cross section, the conductive paste bodies provided on the other adjacent ceramic green sheet are positioned so that the conductive paste bodies provided on the other adjacent ceramic green sheet are positioned in the space between the plurality of conductive paste bodies provided on the adjacent one ceramic green sheet. It is characterized by that.
上述した導電性ペースト体は、セラミックグリーンシートの積層時および圧着時において、セラミックグリーンシートの位置ずれを生じさせにくくするように作用する。 The conductive paste described above acts so as to make it difficult for the ceramic green sheet to be misaligned when the ceramic green sheet is laminated and pressed.
導電性ペースト体は、たとえば、ビアホール導体のように、セラミックグリーンシートを貫通するように設けられる。この場合、導電性ペースト体は、隣り合うセラミックグリーンシート間で互いに一部が係合するように位置合わせされることがより好ましい。 The conductive paste body is provided so as to penetrate the ceramic green sheet, for example, like a via-hole conductor. In this case, it is more preferable that the conductive paste bodies are aligned so that the ceramic green sheets adjacent to each other are partially engaged with each other.
導電性ペースト体は、セラミックグリーンシート上に設けられた厚膜によって与えられてもよい。 The conductive paste body may be provided by a thick film provided on the ceramic green sheet.
好ましくは、導電性ペースト体は、セラミックグリーンシートの主面方向に沿ってジグザグ状にそれぞれ並ぶように配列され、隣り合う一方のセラミックグリーンシートに設けられた導電性ペースト体の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシートに設けられた導電性ペースト体が位置するように位置合わせされる。 Preferably, the conductive paste bodies are arranged in a zigzag manner along the main surface direction of the ceramic green sheet, and are adjacent to the space between the conductive paste bodies provided on one adjacent ceramic green sheet. It aligns so that the electrically conductive paste body provided in the other ceramic green sheet to fit may be located.
このような導電性ペースト体が設けられる不要部分は、セラミックグリーンシートの周縁領域に与えられても、セラミックグリーンシートの中央部を横切る所定の幅の帯状領域に与えられてもよい。 The unnecessary portion provided with such a conductive paste body may be provided in the peripheral region of the ceramic green sheet or may be provided in a band-like region having a predetermined width across the central portion of the ceramic green sheet.
前述した積層セラミック電子部品にとって必要な配線としては、たとえば、複数のセラミックグリーンシートを貫通するように延びるビアホール導体があり、このようなビアホール導体が設けられる場合において、この発明が特に有利に適用される。 Wiring necessary for the multilayer ceramic electronic component described above includes, for example, a via hole conductor extending so as to penetrate a plurality of ceramic green sheets, and the present invention is particularly advantageously applied when such a via hole conductor is provided. The
この発明は、また、複数のセラミック層をもって構成される積層構造を有し、かつ所定の分割線に沿って分割することによって複数の積層セラミック電子部品を取り出すことができる、集合電子部品にも向けられる。 The present invention is also directed to a collective electronic component having a multilayer structure composed of a plurality of ceramic layers and capable of taking out a plurality of multilayer ceramic electronic components by dividing along a predetermined dividing line. It is done.
この発明に係る集合電子部品は、積層セラミック電子部品とならない不要部分に、隣り合うセラミック層間について、積層方向に互いに重ならないが、セラミック層の主面方向に並ぶように位置合わせされた導電性ペーストの焼結体からなる導体が設けられていることを特徴とするとともに、上記導体が、セラミック層の積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミック層に設けられた複数の導体の間隔部分に、隣り合う他方のセラミック層に設けられた導体が位置するように位置合わせされていることを特徴としている。 The collective electronic component according to the present invention is an electrically conductive paste that is not overlapped with each other in the stacking direction between adjacent ceramic layers, but is aligned in the main surface direction of the ceramic layer, on unnecessary portions that do not become a multilayer ceramic electronic component together with and being provided conductor made of a sintered body, the conductor, on the cross section along the stacking direction of the ceramic layers, a plurality of vignetting set on one of the ceramic layers adjacent conductor spacing the portion, conductor kicked set in ceramic layer adjacent the other is characterized in that it is aligned to be located.
上述の導体は、たとえば、セラミック層を貫通するように設けられる。この場合において、導体は、隣り合うセラミック層間で互いに一部が係合するように位置合わせされていることがより好ましい。 The above-described conductor is provided so as to penetrate the ceramic layer, for example. In this case, it is more preferable that the conductors are aligned such that parts of the conductors engage with each other between adjacent ceramic layers.
また、導体は、セラミック層間の界面に沿って設けられた厚膜状をなしていてもよい。 The conductor may have a thick film shape provided along the interface between the ceramic layers.
好ましくは、導体は、セラミック層の主面方向に沿ってジグザグ状にそれぞれ並ぶように配列され、隣り合う一方のセラミック層に設けられた導体の間隔部分に、隣り合う他方のセラミック層に設けられた導体が位置するように位置合わせされる。 Preferably, the conductor is arranged so as to be aligned respectively along the main surface direction of the ceramic layers in a zigzag fashion, the spacing portion of the eclipse set on one of the ceramic layers adjacent conductors, set the adjacent other ceramic layer The aligned conductors are aligned.
また、導体が設けられる不要部分は、セラミック層の周縁領域に位置していても、セラミック層の中央部を横切る所定の幅の帯状領域に位置していても、これら双方の領域に位置していてもよい。 In addition, the unnecessary portion where the conductor is provided is located in the peripheral region of the ceramic layer or in a belt-like region having a predetermined width across the central portion of the ceramic layer. May be.
この発明によれば、積層セラミック電子部品を製造するために作製される集合電子部品の生の状態のものにおいて、隣り合うセラミックグリーンシート間について、積層方向に互いに重ならないが、セラミックグリーンシートの主面方向に並ぶように位置合わせされた導電性ペースト体が、セラミックグリーンシートにおける不要部分に対応する領域内に設けられているので、複数のセラミックグリーンシートを積層しかつ積層方向に圧着する工程において、セラミックグリーンシートの位置ずれが生じにくくすることができる。したがって、この発明に従って得られた集合電子部品によれば、高い歩留まりをもって、積層セラミック電子部品を製造することができる。 According to the present invention, in the raw state of the assembled electronic component produced for manufacturing the multilayer ceramic electronic component, the adjacent ceramic green sheets do not overlap each other in the stacking direction, but the main part of the ceramic green sheet In the process of laminating a plurality of ceramic green sheets and pressing them in the laminating direction, since the conductive paste bodies aligned so as to be aligned in the plane direction are provided in a region corresponding to an unnecessary portion in the ceramic green sheets. Further, it is possible to make the positional deviation of the ceramic green sheet difficult to occur. Therefore, according to the collective electronic component obtained according to the present invention, a multilayer ceramic electronic component can be manufactured with a high yield.
また、この発明によれば、導電性ペースト体が、セラミックグリーンシートの積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミックグリーンシートに設けられた複数の導電性ペースト体の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシートに設けられた導電性ペースト体が位置するように位置合わせされるので、導電性ペースト体による位置ずれ防止効果を高めることができる。 Further, according to the present invention, the conductive paste body is adjacent to the interval between the plurality of conductive paste bodies provided on one adjacent ceramic green sheet on the cross section along the stacking direction of the ceramic green sheets. Since the conductive paste body provided on the other ceramic green sheet is aligned so as to be positioned, it is possible to enhance the effect of preventing misalignment by the conductive paste body.
また、導電性ペースト体は、積層セラミック電子部品にとって必要な配線導体を形成するための導電性ペーストと同じ導電性ペーストを用いながら、配線導体を形成する工程と同時の工程で形成することができるので、導電性ペースト体を設けるために、特別な工程を必要としない。また、導電性ペースト体は、セラミックグリーンシートの焼成工程と同時に焼結させることができる。このようなことから、導電性ペースト体を設けることによる積層セラミック電子部品の生産性の低下を招かない。 In addition, the conductive paste body can be formed at the same time as the step of forming the wiring conductor while using the same conductive paste as the conductive paste for forming the wiring conductor necessary for the multilayer ceramic electronic component. Therefore, no special process is required to provide the conductive paste body. The conductive paste body can be sintered simultaneously with the firing process of the ceramic green sheet. For this reason, the productivity of the multilayer ceramic electronic component is not reduced by providing the conductive paste body.
この発明において、導電性ペースト体が、セラミックグリーンシートの主面方向に沿ってジグザグ状にそれぞれ並ぶように配列され、隣り合う一方のセラミックグリーンシートに設けられた導電性ペースト体の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシートに設けられた導電性ペースト体が位置するように位置合わせされると、導電性ペースト体による位置ずれ防止効果をより高めることができる。 In this invention, the conductive paste bodies are arranged so as to be arranged in a zigzag shape along the main surface direction of the ceramic green sheets, respectively, and in the interval part of the conductive paste bodies provided in one adjacent ceramic green sheet, When the conductive paste body is aligned so that the conductive paste body provided on the other adjacent ceramic green sheet is positioned, the effect of preventing the displacement by the conductive paste body can be further enhanced.
また、積層セラミック電子部品にとって必要な配線導体として、複数のセラミックグリーンシートを貫通するように延びるビアホール導体が設けられる場合には、位置ずれがより生じやすいため、この発明による効果がより顕著に発揮される。 In addition, when a via-hole conductor extending so as to penetrate through a plurality of ceramic green sheets is provided as a wiring conductor necessary for the multilayer ceramic electronic component, misalignment is more likely to occur, and thus the effect of the present invention is more remarkable. Is done.
図1ないし図3は、この発明の第1の実施形態を説明するためのものである。ここで、まず、図1は、集合電子部品31を示す平面図である。
1 to 3 are for explaining a first embodiment of the present invention. Here, FIG. 1 is a plan view showing the collective
集合電子部品31は、所定の分割線32に沿って分割することによって、たとえば図11に示した多層セラミック基板1のような複数の積層セラミック電子部品33を取り出すことができるように構成されている。したがって、集合電子部品31を分割線32に沿って分割したとき、複数の積層セラミック電子部品33を取り出すことができる。また、集合電子部品31のたとえば周縁領域は、積層セラミック電子部品33とならない不要部分34であり、この不要部分34は除去される。
The collective
なお、上述した分割をチョコレートブレイク態様で能率的に進めることを可能とするため、集合電子部品31の少なくとも一方の主面上には、分割線32に沿って、たとえば断面V字状のブレイク用溝が形成されることが好ましい。
In addition, in order to make it possible to efficiently advance the above-described division in a chocolate break mode, on at least one main surface of the collective
集合電子部品31を作製するにあたっては、たとえば図11に示した内部導体膜3および4、ビアホール導体5〜7ならびに外部端子電極8および9のような積層セラミック電子部品33にとって必要な配線導体がそれぞれ設けられた複数のセラミックグリーンシートが用意される。これらセラミックグリーンシートのうちの代表的なものが、図2および図3に示したセラミックグリーンシート35および36である。
In producing the collective
次に、セラミックグリーンシート35および36を含む複数のセラミックグリーンシートが積層されかつ積層方向に圧着される。これによって、集合電子部品31の生の状態のものが得られ、これを焼成することによって、図1に示すような集合電子部品31が得られる。
Next, a plurality of ceramic green sheets including the ceramic
このような集合電子部品31の製造方法において、この発明の特徴的工程として、セラミックグリーンシートが次のように用意される。
In such a method of manufacturing the collective
図2は、隣り合うセラミックグリーンシート35および36の各々の一部を示す平面図である。セラミックグリーンシート35および36における前述した不要部分34に対応する領域内には、導電性金属粉末を含む導電性ペーストからなる導電性ペースト体37および38がそれぞれ設けられる。
FIG. 2 is a plan view showing a part of each of the adjacent ceramic
これら導電性ペースト体37および38は、隣り合うセラミックグリーンシート35および36間について、積層方向に互いに重ならないが、セラミックグリーンシート35および36の主面方向に並ぶように位置合わせされる。この実施形態では、導電性ペースト体37および38は、それぞれ、セラミックグリーンシート35および36の主面方向に沿ってジグザグ状にそれぞれ並ぶように配列され、隣り合う一方のセラミックグリーンシート35に設けられた導電性ペースト体37の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシート36に設けられた導電性ペースト体38が位置するように位置合わせされる。
These
図3には、複数のセラミックグリーンシート35および36を積層した状態が断面図で示されている。
FIG. 3 is a sectional view showing a state in which a plurality of ceramic
この実施形態では、図3によく示されるように、導電性ペースト体37および38は、それぞれ、セラミックグリーンシート35および36を貫通するように設けられる。すなわち、ビアホール導体と同様の態様で、導電性ペースト体37および38が設けられる。
In this embodiment, as well shown in FIG. 3, the
導電性ペースト体37および38の形成は、たとえば図11に示したビアホール導体5〜7のような積層セラミック電子部品33にとって必要なビアホール導体と同時に形成することができ、また、積層セラミック電子部品33にとって必要な配線導体を形成するための導電性ペーストと同じ導電性ペーストを用いて形成することができる。したがって、後述する焼成工程において、セラミックグリーンシート35および36と同時に焼成することができる。
The
このようなセラミックグリーンシート35および36が積層されたとき、図3に示すように、導電性ペースト体37および38は、セラミックグリーンシート35および36の積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミックグリーンシート35に設けられた複数の導電性ペースト体37の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシート36に設けられた導電性ペースト体38が位置するように位置合わせされる。
When such ceramic
このような構造が実現されることにより、複数のセラミックグリーンシート35および36を積層したとき、その位置ずれが生じにくく、また、積層方向に圧着したときにおいても、位置ずれが生じにくくすることができる。
By realizing such a structure, when a plurality of ceramic
特に、この実施形態では、図3に示すように、導電性ペースト体37および38は、隣り合うセラミックグリーンシート35および36間で互いに一部が係合するように位置合わせされる。これによって、上述した位置ずれ防止の効果がより高められる。
In particular, in this embodiment, as shown in FIG. 3, the
導電性ペースト体37および38の各一部が互いに係合する状態は、特に圧着工程の後に実現される。すなわち、導電性ペースト体37および38は、その材質がセラミックグリーンシート35および36の材質よりも硬く、そのため、圧着時において、セラミックグリーンシート35および36よりも潰れにくい。したがって、導電性ペースト体37および38の厚み方向寸法は、セラミックグリーンシート35および36の厚み方向寸法より大きくなり、上述したような係合状態が得られる。
The state in which each part of the
また、前述の図13を参照して説明した導電性ペースト18の場合と同様、この導電性ペースト体37および38をセラミックグリーンシート35および36に設けた場合、突起19と同様の突起が形成されることも、係合状態がもたらされることに寄与している。
Similarly to the case of the
このようにして、集合電子部品31の生の状態のものが得られた後、焼成工程が実施され、それによって、図1に示すような集合電子部品31が得られる。この集合電子部品31において、前述した導電性ペースト体37および38は、その位置および形態を維持しながら、導電性ペーストの焼結体からなる導体39となり、また、セラミックグリーンシート35および36は焼結したセラミック層となる。導体39は、不要部分34に対応するセラミック層の周縁領域に位置している。したがって、導体39は、取り出された積層セラミック電子部品33には何らの影響も及ぼさない。
Thus, after the thing of the raw state of the collective
上述した不要部分34は、集合電子部品31に備えるセラミック層の周縁領域すなわち集合電子部品31を製造するために用意されるセラミックグリーンシート35および36の周縁領域に与えられたが、図1において破線で示すように、セラミック層すなわちセラミックグリーンシートの中央部を横切る所定の幅の帯状領域に不要部分34aが与えられてもよい。この不要部分34aは、たとえば、「+」状に延びている。
The
これら不要部分34または34aをいずれの領域に設けるかについては、集合電子部品31の設計に応じて任意に選べばよく、不要部分34および34aの双方が与えられてもよい。
In which region these
図4および図5は、この発明の第2の実施形態を説明するためのものである。ここで、図4は、図2に対応する図であって、図5は、図3に対応する図である。図4および図5において、図2および図3に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。 4 and 5 are for explaining a second embodiment of the present invention. 4 is a diagram corresponding to FIG. 2, and FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 4 and 5, elements corresponding to those shown in FIGS. 2 and 3 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
この第2の実施形態においても、隣り合うセラミックグリーンシート35および36の各々の不要部分34に対応する領域内にそれぞれ設けられた導電性ペースト体41および42は、セラミックグリーンシート35および36の各々を貫通するように設けられる。
Also in the second embodiment, the
また、隣り合うセラミックグリーンシート35および36間について、導電性ペースト体41および42は、積層方向に互いに重ならないが、セラミックグリーンシート35および36の主面方向に並ぶように位置合わせされるとともに、図5に示すように、導電性ペースト体41および42は、セラミックグリーンシート35および36の積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミックグリーンシート35に設けられた複数の導電性ペースト体41の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシート36に設けられた導電性ペースト体42が位置するように位置合わせされる。
Further, between the adjacent ceramic
前述した第1の実施形態の場合と異なるところは、導電性ペースト体41および42の各々について、その間隔が広げられ、そのため、図5に示すように、導電性ペースト体41および42は、隣り合うセラミックグリーンシート35および36間で互いに係合しないようにされていることである。
The difference from the case of the first embodiment described above is that the interval between the
なお、導電性ペースト体41および42は、断面円形をなしているが、このことは、本質的な特徴ではなく、第1の実施形態における導電性ペースト体37および38の場合と同様、断面矩形とされてもよい。
The
第2の実施形態によれば、図5に示すように、セラミックグリーンシート35および36を積層しかつ積層方向に圧着したとき、セラミックグリーンシート35および36が、導電性ペースト体41および42に当接しながら湾曲し、それによって、セラミックグリーンシート35および36の位置ずれが生じにくくすることができる。
According to the second embodiment, as shown in FIG. 5, when the ceramic
図6および図7は、この発明の第3の実施形態を説明するためのものである。ここで、図6は、前述の図2に対応する図であり、図7は、前述の図3に対応する図である。図6および図7において、図2および図3に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。 6 and 7 are for explaining a third embodiment of the present invention. Here, FIG. 6 is a diagram corresponding to FIG. 2 described above, and FIG. 7 is a diagram corresponding to FIG. 3 described above. 6 and 7, elements corresponding to those shown in FIGS. 2 and 3 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
この第3の実施形態では、導電性ペースト体44および45が、それぞれ、セラミックグリーンシート35および36上に設けられた厚膜によって与えられることを特徴としている。なお、導電性ペースト体44および45は、図示のものでは、円形の平面形状を有しているが、このことは本質的な特徴ではなく、たとえば矩形の平面形状に変更されてもよい。
In the third embodiment, the
導電性ペースト体44および45の形成は、たとえば図11に示した内部導体膜3および4のような積層セラミック電子部品にとって必要な導体膜と同時に形成することができ、また、積層セラミック電子部品にとって必要な配線導体を形成するための導電性ペーストと同じ導電性ペーストを用いて形成することができる。したがって、焼成工程において、セラミックグリーンシート35および36と同時に焼成することができる。
The
第3の実施形態においても、導電性ペースト体44および45は、隣り合うセラミックグリーンシート35および36間について、積層方向に互いに重ならないが、セラミックグリーンシート35および36の主面方向に並ぶように位置合わせされる。
Also in the third embodiment, the
また、導電性ペースト体44および45は、セラミックグリーンシート35および36の主面方向に沿ってジグザグ状にそれぞれ並ぶように配列され、隣り合う一方のセラミックグリーンシート35に設けられた導電性ペースト体44の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシート36に設けられた導電性ペースト体45が位置するように位置合わせされる。
In addition, the
さらに、導電性ペースト体44および45は、セラミックグリーンシート35および36の積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミックグリーンシート35に設けられた複数の導電性ペースト体44の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシート36に設けられた導電性ペースト体45が位置するように位置合わせされる。
Furthermore, the
この第3の実施形態によっても、複数のセラミックグリーンシート35および36を積層しかつ積層方向に圧着したとき、図7に示されるように、導電性ペースト体44および45の存在により、セラミックグリーンシート35および36が湾曲し、これによって、セラミックグリーンシート35および36の位置ずれが生じにくくすることができる。
Also according to the third embodiment, when the plurality of ceramic
焼成工程が実施されることによって、導電性ペースト体44および45は、その位置および形態を維持しながら、導電性ペーストの焼結体からなる厚膜状の導体となり、また、セラミックグリーンシート35および36は焼結したセラミック層となる。そして、厚膜状の導体は、セラミック層の界面に沿って位置される。
By performing the firing step, the
図8は、この発明の第4の実施形態を説明するためのもので、前述の図2に対応する図である。図8において、図2に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。 FIG. 8 is a diagram for explaining a fourth embodiment of the present invention and corresponds to FIG. 2 described above. In FIG. 8, elements corresponding to those shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
この第4の実施形態では、導電性ペースト体47および48は、それぞれ、セラミックグリーンシート35および36上に設けられた厚膜によって与えられるが、その平面形状に特徴がある。すなわち、導電性ペースト体47および48は、不要部分34に対応する領域において、帯状に延びるように設けられる。
In the fourth embodiment, the
この実施形態においても、導電性ペースト体47および48は、隣り合うセラミックグリーンシート35および35間について、積層方向に互いに重ならないが、セラミックグリーンシート35および36の主面方向に並ぶように位置合わせされる。そして、導電性ペースト体47および48は、図示しないが、セラミックグリーンシート35および36の積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方のセラミックグリーンシート35に設けられた2つの導電性ペースト体47の間隔部分に、隣り合う他方のセラミックグリーンシート36に設けられた導電性ペースト体48が位置するように位置合わせされる。
Also in this embodiment, the
図9は、この発明にとって興味ある参考例を説明するためのものである。図9は、前述の図3に対応する図であるが、セラミックグリーンシート35および36の相対向する両端部を図示している。図9において、図3に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
FIG. 9 is for explaining a reference example of interest to the present invention. FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 3 described above, but illustrates opposite ends of the ceramic
この参考例は、セラミックグリーンシート35および36の位置ずれが生じにくくするため、両端部に位置する導電性ペースト体37および38が協働していることを示すためのものである。すなわち、一方の端部側に設けられた導電性ペースト体37および38だけでは、セラミックグリーンシート35および36の各々の一方方向への位置ずれ防止にしか有効に働かないが、他方方向への位置ずれに対しては、他方の端部側に設けられた導電性ペースト体37および38が有効に働くようにされている。
This reference example is intended to show that the
したがって、導電性ペースト体37および38の各々は、セラミックグリーンシート35および36の各々の一辺に沿って、単に1列に設けられているだけでもよいことがわかるが、効果の向上のためには、2列以上、さらには3列以上というように、導電性ペースト体の列数が増やされることが好ましい。
Therefore, it can be understood that each of the
図10は、この発明の第5の実施形態を説明するための、前述の図3に対応する図である。図10において、図3に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。 FIG. 10 is a view corresponding to FIG. 3 described above for explaining the fifth embodiment of the present invention. 10, elements corresponding to those shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
この第5の実施形態は、たとえば導電性ペースト体38が設けられたセラミックグリーンシート36が互いに隣り合うように積層される部分があってもよいことを示すためのものである。
The fifth embodiment is intended to show that there may be a portion where the ceramic
この第5の実施形態からわかるように、位置ずれが生じにくくするための導電性ペースト体37および38等は、積層されるべきすべてのセラミックグリーンシートに設けられる必要はない。たとえば、ビアホール導体が設けられ、そのため、位置ずれが生じやすいセラミックグリーンシートにのみ、導電性ペースト体が設けられてもよい。
As can be seen from the fifth embodiment, the
以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、たとえば導電性ペースト体の配置態様に関して、その他、種々の変形例が可能である。より具体的には、導電性ペースト体は、セラミックグリーンシートの4隅にのみ設けられていても、また、セラミックグリーンシートの端から端まで分布するように設けられるのではなく、途中で途切れるなどして、断続的に分布するように設けられてもよく、後者の場合、その分布箇所の数は任意に選ぶことができる。 As described above, the present invention has been described with reference to the illustrated embodiment, but various modifications can be made within the scope of the present invention, for example, regarding the arrangement of the conductive paste bodies. More specifically, even if the conductive paste body is provided only at the four corners of the ceramic green sheet, it is not provided so as to be distributed from end to end of the ceramic green sheet, but is interrupted in the middle. In this case, the number of distribution points can be arbitrarily selected.
また、この発明は、積層セラミック電子部品として、多層セラミック基板に限らず、その他、たとえば、積層セラミックコンデンサ、積層インダクタ、積層型複合電子部品のような積層セラミック電子部品の製造に対しても適用することができる。 In addition, the present invention is not limited to a multilayer ceramic substrate as a multilayer ceramic electronic component, but can be applied to the manufacture of multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors, multilayer inductors, and multilayer composite electronic components. be able to.
31 集合電子部品
32 分割線
33 積層セラミック電子部品
34,34a 不要部分
35,36 セラミックグリーンシート
37,38,41,42,44,45,47,48 導電性ペースト体
39 導体
31 Collective
Claims (9)
前記集合電子部品を前記分割線に沿って分割し、それによって、複数の前記積層セラミック電子部品を取り出すとともに、前記積層セラミック電子部品とならない不要部分を除去する工程とを備え、
前記集合電子部品を作製する工程は、前記積層セラミック電子部品にとって必要な配線導体がそれぞれ設けられた複数のセラミックグリーンシートを用意する工程と、複数の前記セラミックグリーンシートを積層しかつ積層方向に圧着し、それによって、生の状態の集合電子部品を作製する工程と、前記生の状態の集合電子部品を焼成する工程とを備え、
前記セラミックグリーンシートを用意する工程は、隣り合う前記セラミックグリーンシート間について、積層方向に互いに重ならないが、前記セラミックグリーンシートの主面方向に並ぶように位置合わせされた導電性ペースト体を、前記セラミックグリーンシートにおける前記不要部分に対応する領域内に設ける工程を備え、
前記導電性ペースト体は、前記セラミックグリーンシートの積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方の前記セラミックグリーンシートに設けられた複数の前記導電性ペースト体の間隔部分に、隣り合う他方の前記セラミックグリーンシートに設けられた前記導電性ペースト体が位置するように位置合わせされる、
積層セラミック電子部品の製造方法。 Producing a collective electronic component from which a plurality of laminated ceramic electronic components can be taken out by dividing along a predetermined dividing line;
Dividing the collective electronic component along the dividing line, thereby removing a plurality of the multilayer ceramic electronic components and removing unnecessary portions that do not become the multilayer ceramic electronic components;
The step of producing the collective electronic component includes a step of preparing a plurality of ceramic green sheets each provided with wiring conductors necessary for the multilayer ceramic electronic component, a step of laminating the plurality of ceramic green sheets, and pressing in the stacking direction. And thereby producing a raw collective electronic component, and firing the raw collective electronic component,
In the step of preparing the ceramic green sheet, between the adjacent ceramic green sheets, the conductive paste bodies that do not overlap with each other in the stacking direction but are aligned in the main surface direction of the ceramic green sheet, A step of providing in a region corresponding to the unnecessary portion in the ceramic green sheet,
The conductive paste body is adjacent to the other ceramic adjacent to a space between the plurality of conductive paste bodies provided on the adjacent ceramic green sheet on a cross section along the stacking direction of the ceramic green sheets. Aligned so that the conductive paste body provided on the green sheet is located,
Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component.
前記積層セラミック電子部品とならない不要部分に、隣り合う前記セラミック層間について、積層方向に互いに重ならないが、前記セラミック層の主面方向に並ぶように位置合わせされた導電性ペーストの焼結体からなる導体が設けられ、
前記導体は、前記セラミック層の積層方向に沿う断面上で、隣り合う一方の前記セラミック層に設けられた複数の前記導体の間隔部分に、隣り合う他方の前記セラミック層に設けられた前記導体が位置するように位置合わせされている、
集合電子部品。 A collective electronic component having a multilayer structure constituted by a plurality of ceramic layers and capable of taking out a plurality of multilayer ceramic electronic components by dividing along a predetermined dividing line,
An unnecessary portion that does not become the multilayer ceramic electronic component is formed of a sintered body of conductive paste that is adjacent to the ceramic layer but does not overlap with each other in the stacking direction but is aligned in the main surface direction of the ceramic layer. A conductor is provided,
Said conductor, on the cross section along the stacking direction of the ceramic layers, the spacing portion of the plurality of the conductors kicked set to one adjacent the ceramic layer, the which kicked set on the ceramic layer adjacent the other Aligned so that the conductor is located,
Collective electronic components.
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