JP4860617B2 - 二重隔膜弁 - Google Patents
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Description
従来のメソポンプ構造を使用する弁が費用のかからない部品から作られ得るなら、さらなる利点となるであろう。
その他の利点および特徴は本明細書から以下に明らかとなろう。
本図面では、同じ参照符号が、複数の図を通して同一のまたは対応する構成部品およびユニットを示す。
フィルム23およびフィルム25の穴29は、このフィルムの中心から等しい間隔に配置されて図2に示されている。図1において、フィルム23の穴29はフィルム25の穴29よりも中心により接近している。これは穴29の存在のしかたを例示するために示されるにすぎない。穴29は、例えばフィルム23およびフィルム25の外周により近く、あるいは、いくつかのまたはすべての穴が残りの穴に対して異なる配置にあるパターンにおいてなど、フィルム23およびフィルム25のどこにでも配置され得る。フィルム23の穴の配置はフィルム25の穴の配置と同じでなくてもよい。穴の個数は、1個のように少なくても、所望の個数のように多くてもよい。任意のパターンを用いることができる。この穴の機能は、隔膜29がフィルム23もしくはフィルム25またはそれら双方との容量状態を変化させ得るように装置に圧力変化を伝えることを可能にすることである。好ましい実施形態では、フィルムへの最初の転動接触によりフィルムの外縁部でそれらが接合すると、フィルム25の穴29は、フィルム23の不浸透性部によって閉鎖されることになる。増大する圧力下では、あるいは静電起動を強めることにより、フィルム23の穴29もフィルム25の不浸透性部との接触によって閉鎖される。
本発明の弁は、大気、ガスポンプ、化学反応、および電解反応等などのガスを含む、あるいは、反応器、試験器具、およびポンプ等などの液体を含む任意の流体で使用できる。
Claims (14)
- 流体の流れのための第1の開口(19)を有する第1のチャンバ画定部品(11)と、
2つの面を有し、前記第1のチャンバ画定部品(11)と連通して一方の面に取り付けられた第1の可撓性隔膜(23)であって、導電性表面、およびそれを通して流体を流すための前記導電性表面に少なくとも1つの穴(29)を有する前記第1の可撓性隔膜(23)と、
流体の流れのための第2の開口(21)を有する第2のチャンバ画定部品(15)と、
2つの面を有し、第2のチャンバ画定部品(15)と連通して一方の面に取り付けられた第2の可撓性隔膜(25)であって、導電性表面、および前記表面に少なくとも1つの穴(29)を有し、前記第1の可撓性隔膜(23)の前記少なくとも1つの穴(29)が、前記第2の可撓性隔膜(25)の前記少なくとも1つの穴(29)から偏位している前記第2の可撓性隔膜(25)と、
前記第1の可撓性隔膜(23)と第2の可撓性隔膜(25)との間に配置され、通常は前記第1の可撓性隔膜(23)および第2の可撓性隔膜(25)を分離して前記第1の可撓性隔膜(23)と第2の可撓性隔膜(25)の双方の前記少なくとも1つの穴(29)を通る流体の流れを可能にするように位置合わせされたスペーサ要素(27)と、
前記第1の可撓性隔膜(23)および前記第2の可撓性隔膜(25)を接触させる電気的接続部(31)であって、該電気的接続部(31)が前記2つの可撓性隔膜(23、25)間のキャパシタンスを変化させて前記2つの可撓性隔膜(23、25)のうちの一方の可撓性隔膜を前記2つの可撓性隔膜のうちの他方の可撓性隔膜に対して移動させ、それにより前記各隔膜(23、25)の前記少なくとも1つの穴(29)が前記隔膜の他方の閉じた表面との接触によって密封される、前記電気的接続部(31)と
を備える、流体の流れを調整するための弁装置。 - 前記第1の可撓性隔膜(23)および第2の可撓性隔膜(25)のそれぞれが少なくとも2つの穴(29)を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の可撓性隔膜(23)および第2の可撓性隔膜(25)のうちの一方の前記少なくとも2つの穴(29)が、前記第1の可撓性隔膜(23)および第2の可撓性隔膜(25)のうちの他方の前記少なくとも2つの穴(29)と違った、前記一方の可撓性隔膜の異なる部分に配置された、請求項2に記載の装置。
- 前記スペーサ要素(27)が、前記第1の可撓性隔膜(23)と第2の可撓性隔膜(25)との間でその中央に配置された非導電性の球状要素(27)を含み、前記スペーサ要素(27)が、前記2つの可撓性隔膜(23、25)の少なくとも1つが静電起動すると前記2つの可撓性隔膜(23、25)での転動を可能にしながら、前記2つの可撓性隔膜(23、25)を分離する、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の可撓性隔膜(23)および第2の可撓性隔膜(25)が、それらの表面に導電部を有するプラスチックフィルムである、請求項1に記載の装置。
- 前記導電部が金属被膜表面である、請求項5に記載の装置。
- 前記導電部が誘電体膜である、請求項5に記載の装置。
- 流体の流れのための第1の開口(19)を有する第1のチャンバ画定部品手段(11)と、
2つの面を有し、前記第1のチャンバ画定部品(11)と連通して一方の面に取り付けられた、静電移動のための第1の可撓性隔膜手段(23)であって、導電性表面、およびそれを通して流体を流すための前記表面の少なくとも1つの穴(29)を有する前記第1の可撓性隔膜手段(23)と、
流体の流れのための第2の開口(21)を有する第2のチャンバ画定部品手段(15)と、
2つの面を有し、第2のチャンバ画定部品手段(15)と連通して一方の面に取り付けられた第2の可撓性隔膜手段(25)であって、導電性表面、および前記表面に少なくとも1つの穴(29)を有し、前記第1の可撓性隔膜手段(23)の前記少なくとも1つの穴(29)が、前記第2の可撓性隔膜手段(25)の前記少なくとも1つの穴(29)から偏位している前記第2の可撓性隔膜手段(25)と、
前記第1の可撓性隔膜手段(23)と第2の可撓性隔膜手段(25)との間に配置され、通常は前記第1の可撓性隔膜手段(23)と第2の可撓性隔膜手段(25)とを分離して前記第1の可撓性隔膜手段(23)と第2の可撓性隔膜手段(25)の双方の前記少なくとも1つの穴(29)を通る流体の流れを可能にするように位置合わせされたスペーサ要素手段(27)と、
前記第1の可撓性隔膜手段(23)および前記第2の可撓性隔膜手段(25)を接触させるための電気的接続部手段(31)であって、これにより電気的接続部手段(31)が前記2つの可撓性隔膜手段(23、25)間のキャパシタンスを変化させて、前記2つの可撓性隔膜手段(23、25)のうちの一方の可撓性隔膜手段を前記2つの可撓性隔膜手段(23、25)のうちの他方の可撓性隔膜手段に対して移動させ、それにより各可撓性隔膜手段(23、25)の前記少なくとも1つの穴(29)が前記他方の可撓性隔膜手段の閉じた表面との接触によって密封されるように構成された電気的接続部手段(31)と
を備える、流体の流れを調整するための弁装置。 - 前記第1の可撓性隔膜手段(23)および第2の可撓性隔膜手段(25)のそれぞれが少なくとも2つの穴(29)を有する、請求項8に記載の装置。
- 前記第1の可撓性隔膜手段(23)および第2の可撓性隔膜手段(25)のうち一方の可撓性隔膜手段における前記少なくとも2つの穴(29)が、前記第1の可撓性隔膜手段(23)および第2の可撓性隔膜手段(25)の他方の可撓性隔膜手段における前記少なくとも2つの穴(29)と違った、前記一方の可撓性隔膜手段の異なる部分に配置された、請求項9に記載の装置。
- 前記スペーサ要素手段(27)が、前記第1の可撓性隔膜手段(23)と第2の可撓性隔膜手段(25)との間でその中央に配置された非導電性の球状要素を含み、前記スペーサ要素手段(27)が、前記2つの可撓性隔膜手段(23、25)のうち少なくとも1つが静電起動すると前記2つの可撓性隔膜手段(23、25)によって転動接触を可能にしながら前記2つの可撓性隔膜手段(23、25)を分離する、請求項8に記載の装置。
- 前記第1の可撓性隔膜手段(23)および第2の可撓性隔膜手段(25)が、それらの表面に導電部を有するプラスチックフィルムを含む、請求項8に記載の装置。
- 前記導電部が金属被膜表面である、請求項12に記載の装置。
- 前記導電部が誘電体膜である、請求項12に記載の装置。
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