JP4838812B2 - 孔検出装置及び孔検出方法 - Google Patents
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Description
12 シート(被検査物)
12’ 管(被検査物)
13、13’ 孔
20 温度感知センサ(ヒートフローセンサ)
24 センサ部
24b 薄膜
28 吹出スリーブ(吹出部材)
34 電熱コイル
38 処理装置
40 二次元移動ステージ
60 吹出ボックス(吹出部材)
図1は本発明の第1実施形態による孔検出装置10を表す概略斜視図である。図において、孔検出装置10には、被検査物であるシート12が通過するようになっている。この例でシート12はプラスチックフィルムであり、シート12は、搬送装置によって搬送されている。孔検出装置10を通過する前にシート12は孔加工装置14を経ており、ここで、微細な孔13、例えば、直径10μm以下の孔がレーザ加工されている。この例では、CO2レーザ、Nd−YAGレーザ、エキシマレーザ、半導体レーザ、ファイバーレーザ等からなる複数のレーザ照射器16がシートの搬送方向に直交する方向に互いに間隔を空けて配置されており、一定時間間隔のレーザ照射によってシート12の長手方向に一定間隔で孔13が穿設される。
図4は、参考形態を表す概略斜視図であり、この例では、被検査物に対して温度感知センサ20が移動することにより、孔の有無を検出するものである。
図5は、別の参考形態にかかる孔検出装置の断面図である。この例では、被検査物12’が管であり、その管内部を流体が流れている。そして、吹出部材は省略されている。
Claims (6)
- 一定の方向に搬送される被検査物に対して、搬送方向に一定間隔をあけて且つ搬送方向に直交する方向に互いに間隔をあけて形成された孔の検出を行う孔検出装置であって、
被検査物の一方向面側に配置され、前記被検査物の一方面にむけて流体を吹出す吹出部材と、
被検査物の他方面に向けて、且つ前記形成された孔に対応して搬送方向に直交する方向に互いに間隔をあけて配置された複数の温度感知センサと、
前記温度感知センサが感知する温度に基づく信号を処理する処理装置とを備え、
前記流体は、前記温度感知センサにおいて、孔を流体が貫通する状態と被検査物によって流体が貫通できない状態とで温度差を発生することができる温度に設定されており、
前記処理装置は、前記孔を貫通した流体が前記温度感知センサに作用した状態において前記温度感知センサが感知した温度に基づく信号と、孔を流体が貫通することができず、前記温度感知センサに流体が作用しない状態において前記温度感知センサが感知した温度に基づく信号と、の差異により孔を検出し、
前記温度感知センサは、異方性の熱電気力を持つ結晶性固体の薄膜からなる検出面を有するフローセンサであり、流体の作用に対して100ns以下の応答時間を有する、孔検出装置。 - 前記温度感知センサは、常温に対して加熱及び冷却のいずれか一つがなされる一方で、前記流体は常温である請求項1記載の孔検出装置。
- 前記温度感知センサには電熱線が巻回されており、温度感知センサが所定温度に加熱される請求項2記載の孔検出装置。
- 前記処理装置は、孔を貫通した流体が温度感知センサに作用した状態の信号のピーク強度によって、孔の大きさを評価する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の孔検出装置。
- 一定の方向に搬送される被検査物に対して、搬送方向に一定間隔をあけて且つ搬送方向に直交する方向に互いに間隔をあけて形成された孔の検出を行う孔検出方法であって、
被検査物の一方向面側に前記被検査物の一方面にむけて流体を吹出す吹出部材と、被検査物の他方面に向けて、且つ前記形成された孔に対応して搬送方向に直交する方向に互いに間隔をあけて複数の温度感知センサとを配置する工程と、
前記温度感知センサが感知する温度に基づく信号を受信して処理する工程と、を備え、
前記流体は、前記温度感知センサにおいて、孔を流体が貫通する状態と被検査物によって流体が貫通できない状態とで温度差を発生することができる温度に設定されており、
前記処理工程は、前記孔を貫通した流体が前記温度感知センサに作用した状態において前記温度感知センサが感知した温度に基づく信号と、孔を流体が貫通することができず、前記温度感知センサに流体が作用しない状態において前記温度感知センサが感知した温度に基づく信号と、の差異により孔を検出し、
前記温度感知センサは、異方性の熱電気力を持つ結晶性固体の薄膜からなる検出面を有するフローセンサであり、流体の作用に対して100ns以下の応答時間を有する、孔検出方法。 - 前記処理工程は、前記孔を貫通した流体が温度感知センサに作用した状態の信号のピーク強度により孔の寸法を評価することを含む、請求項5記載の孔検出方法。
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