JP4837373B2 - Work transfer device - Google Patents
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- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000012858 resilient material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
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- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
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Description
本発明はチップ型電子部品などのワークをターンテーブルに設けられたワーク収納孔に収納して搬送するワーク搬送装置に係り、とりわけワーク収納孔に不完全な状態で収納されたワークを排除することができるワーク搬送装置に関する。 The present invention relates to a workpiece transfer device that stores and transfers a workpiece such as a chip-type electronic component in a workpiece storage hole provided in a turntable, and particularly eliminates a workpiece stored in an incomplete state in the workpiece storage hole. The present invention relates to a workpiece transfer device capable of
図5(a)(b)は従来技術のワーク搬送装置を示す図、図6(a)(b)は他の従来技術のワーク搬送装置を示す図である。このうち図5(a)はワーク搬送装置の正面図、図5(b)はその側面図、図6(a)はワーク搬送装置の正面図、図6(b)はその側面図である。 5 (a) and 5 (b) are diagrams showing a prior art work transfer device, and FIGS. 6 (a) and 6 (b) are diagrams showing another prior art work transfer device. 5A is a front view of the workpiece transfer device, FIG. 5B is a side view thereof, FIG. 6A is a front view of the workpiece transfer device, and FIG. 6B is a side view thereof.
図5(a)(b)において、基盤2上を間欠回転するターンテーブル3の周縁部にワーク収納孔4が複数設けられ、ワーク収納孔4にワーク20が収納されて搬送される。この間、ワーク収納孔4内に正しくワーク20が収納されなかった場合、次工程、例えば電気特性測定部などにおいて正しく測定が行えなくなる。またワーク20によって測定装置を破損する恐れがあり、従って次工程に搬送される前にワーク20を排出させる必要がある。
5 (a) and 5 (b), a plurality of
このため、図5(a)(b)に示すように、ターンテーブル3上に設置されたアッパープレート16にワイパーブロック31を介してターンテーブル3と直交するようにワイパー32が設けられ、このワイパー32によりワーク収納孔4内に完全に収納されていないワーク20を掻き出している。
Therefore, as shown in FIGS. 5A and 5B, a
しかしながらワイパー32は、ターンテーブル3の表面と僅かな隙間を設けて配設されているため、ワイパー32はワーク収納孔4周縁の窪み4a内までは届かず、従って、窪み4a内に留まりワーク収納孔4内に完全に収納されていないワーク20を外方に排出することができない。
However, since the
また、ワイパー32の材質としては、ワーク20に擦過傷などを与えないために、比較的やわらかい素材、例えば樹脂シートが用いられるため、ワーク20による摩耗によってワイパー32に摩耗孔32aが発生してしまい、ワイパー32を頻繁に交換する必要がある。
Further, as the material of the
図6(a)(b)は、窪み4a内に留まったワーク20を排除するとともに、ワーク20による摩耗を減少させるために設けられたブラシ33を示している。図6(a)(b)において、ブラシ33は窪み4aの内部まで到達する長さに設定されているため、窪み4a内に留まったワーク20を排除することは可能である。また、ブラシ33を構成する毛は柔軟であるためワーク20に擦過傷などのダメージを与えることは無い。しかしながら、ブラシ33の毛では剛性が低くワークから毛が逃げ易いためワーク20を十分排除することがむずかしいうえ、排除されたワークが毛にからんで残留することも有る。
6 (a) and 6 (b) show a
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ワーク収納孔内に不完全な状態で収納されたワークを外方へ確実に排出することができるワーク搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above points, and provides a workpiece transfer device that can reliably discharge a workpiece stored in an incomplete state in a workpiece storage hole to the outside. Objective.
本発明は、ワークを搬送するワーク搬送装置において、垂直に配置された基盤と、基盤上に回転自在に設けられ周縁部に複数のワーク収納孔が円周状に配置されたターンテーブルと、ターンテーブルに設けられ、ターンテーブルのワーク収納孔にワークを供給するワーク供給部と、ターンテーブルのワーク供給部下流側であってワーク供給部の上方に設けられ、ワーク収納孔内に不完全な状態で収納されたワークを排除して落下させることにより当該ワークをワーク供給部に戻すワイパーと、ターンテーブルのワイパー下流側であってワイパーの上方に設けられ、ワイパーにより排除されたワークを受けて、ワークを落下させることにより当該ワークをワーク供給部に戻すブレード機構とを備え、ワイパーはワイパー本体と、ワイパー本体のターンテーブル側に設けられ弾性材料からなる多数の歯部とを有することを特徴とするワーク搬送装置である。 The present invention relates to a workpiece transfer device for transferring a workpiece, a vertically arranged base, a turntable that is rotatably provided on the base and has a plurality of work storage holes arranged circumferentially at a peripheral portion, and a turntable provided Le, a work supply section for supplying a work to the work receiving hole of the turntable, is provided a workpiece supply section downstream of the turntable above the workpiece supply unit, an incomplete condition workpiece storage hole The wiper that returns the workpiece to the workpiece supply unit by dropping the workpiece stored in the workpiece and dropping it, and the wiper downstream of the turntable and above the wiper, receiving the workpiece removed by the wiper, a blade mechanism for returning the workpiece to the workpiece supply section by dropping the workpiece, the wiper and the wiper body, the wiper body Is a work transfer apparatus characterized by having a number of teeth of resilient material provided over down table side.
本発明は、ブレード機構は複数のブレードからなることを特徴とするワーク搬送装置である。 The present invention is the workpiece transfer device, wherein the blade mechanism is composed of a plurality of blades.
本発明は、ワイパーの多数の歯部は、ワーク収納孔の配置円の接線方向に対して傾斜する方向に直線状に延びていることを特徴とするワーク搬送装置である。 The present invention is the workpiece transfer device characterized in that the numerous tooth portions of the wiper extend linearly in a direction inclined with respect to the tangential direction of the arrangement circle of the workpiece storage hole.
以上のように本発明によれば、ワイパーはワイパー本体と、弾性材料からなる多数の歯部とを有しているので、この歯部によってワーク収納孔内に完全に収納できないワークを確実に掻き出すことができる。このとき、ワイパーによってワークに対して損傷を与えることはなく、またワイパー側が摩耗することもない。 As described above, according to the present invention, since the wiper has the wiper body and a large number of teeth made of an elastic material, the teeth can reliably scrape out a workpiece that cannot be completely stored in the workpiece storage hole. be able to. At this time, the work is not damaged by the wiper, and the wiper side is not worn.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1乃至図4(a)(b)は、本発明によるワーク搬送装置の一実施の形態を示す図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 thru | or FIG. 4 (a) (b) is a figure which shows one Embodiment of the workpiece conveyance apparatus by this invention.
図1乃至図4(a)(b)に示すように、ワーク搬送装置1はワーク20を搬送しながら、このワーク20に対して各種の電気的な測定を行なうものである。
As shown in FIG. 1 to FIG. 4A and FIG. 4B, the workpiece transfer device 1 performs various electrical measurements on the
このようなワーク搬送装置1は、垂直方向に配置された基盤2と、基盤2上に矢印L方向に回転自在に設けられ、周縁部に複数のワーク収納孔4が円周状に配置されたターンテーブル3と、ターンテーブル3近傍に設けられターンテーブルのワーク収納孔4内にワーク20を供給するワーク供給部9とを備えている。
Such a workpiece transfer device 1 is provided with a
また基盤2には、ターンテーブル3外縁に位置するカバーリング6と、ターンテーブル3を案内するガイド7とが設けられている。
The
さらに基盤2には、ターンテーブル3から離間してアッパープレート16が設けられ、このアッパープレート16のターンテーブル3側の面には、ワーク供給部9のターンテーブル3の走行方向下流側に向ってワイパーブロック13、ガードシートブロック11およびセンサブロック10が順次固定されている。
Further, the
ワイパーブロック13には板状のワイパー14、および板状の第1ブレード15が取付けられており、ガードシードブロック11には板状の第2ブレード12が取付けられている。さらにセンサブロック10には受光部17aが設けられ、基板2には受光部17aに対向して投光部17bが設けられ、投光部17bからの光によってワーク収納孔4内のワーク20の有無を検出するようになっている。
A plate-
なお第1ブレード15および第2ブレード12によりブレード機構が構成される。
The
また、ワーク供給部9には、図示しないワーク供給機構から分配シュータ8を介してワーク20が供給されるようになっている。
The workpiece supply unit 9 is supplied with a
なおターンテーブル3に設けられた複数のワーク収納孔4は2列の同心円状に設けられ、それぞれのワーク収納孔4は、吸引溝5を介して基盤2に設けられた負圧供給手段に連通されて、ワーク収納孔4が負圧化されてワーク20を保持するようになっている。
The plurality of
またワーク収納孔4の周縁には窪み4aが形成されており、ワーク収納孔4内に完全に収納することができなかったワーク20は、この窪み4aに引掛ることが想定される。図2において、上述のようにターンテーブル3から離間して設けられたアッパープレート16のターンテーブル3側の面には、ワーク供給部9のターンテーブル3の走行方向前方(下流側)に向かって、ワイパーブロック13、ガードシートブロック11及びセンサブロック10が順次固定して設けられている。ワイパーブロック13に設けられたワイパー14はターンテーブル3の表面と直交しており、ワイパーブロック13に設けられた第1ブレード15およびガードシートブロック11に設けられた第2ブレード12も、ターンテーブル3の表面に直交している。
Further, a
ワイパー14は図3に示すように、全体として弾性材料からなり、ワイパー本体14bと、ワイパー本体14bのターンテーブル3側に設けられ、ターンテーブル3に当接し、少なくとも先端側が弾力性を有する多数の歯部14aとを有している。このうち各歯部14aの先端はワーク収納孔4周縁の窪み4aに接する長さに設定されている。ワイパー14の歯部14aは、ワイパー本体14bの先端側に多数のカットを設けることにより形成されている。このような構成からなるワイパー14は板状に形成されており、またワイパー14の多数の歯部14aも直線状に延びている。
As shown in FIG. 3, the
さらにワイパー14は、多数の歯部14aがワーク収納孔4の配置円(2列の円)4bの接線方向に対して傾斜する方向に延びるように配置されている。また第1ブレード15及び第2ブレード12の先端は、ターンテーブル3表面と平行で、かつターンテーブル3表面に僅かに接しているか、若しくは僅かに離間するように配置されている。
Further, the
図2に示すように、センサブロック10側に受光部17aが設けられ、ターンテーブル3を挟んで基盤2側に投光部17bが設けられ、これら受光部17aと投光部17bとによってワーク収納孔4内のワーク20の有無を検出するセンサ17が構成される。
As shown in FIG. 2, a
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。 Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.
図1において、図示しないワーク供給手段から供給されたワーク20は、分配シュータ8によりターンテーブル3のワーク供給部9に供給され、ワーク20は次にワーク供給部9からターンテーブル3のワーク収納孔4内に収納される。このときワーク収納孔4は、吸引溝5により、図示しない負圧供給手段に連通して負圧化され、ワーク20がワーク収納孔4に1個毎分離されて吸引収納される。ワーク収納孔4内にワーク20が収納されると、ターンテーブル3は矢印L方向へ間欠回転してワーク20は次工程、例えば電気特性測定部(図示せず)に搬送される。この間、図2に示すように、ワーク20の寸法不良やワーク収納孔4の吸引不良など何等かの要因により、ワーク収納孔4内にワーク20が正しく収納されない場合が発生する。この場合、ワーク収納孔4内に正しく収納されない不完全収納ワーク20aは、ワイパー14の歯部14aの弾力性によりワーク収納孔4から掻き出されて落下し、ワーク供給部9に戻される。
In FIG. 1, a
不完全収納ワーク20aの掻き出し作用について、図4(a)(b)により、更に詳述する。
The scraping action of the incompletely stored
図4(a)に示すように、不完全収納ワーク20aがワイパー14により掻き出される際にワイパー14の歯部14aで起こされ、矢印L1で示す方向に飛散しようとするが、ワイパー14の下流側に設けられた第1ブレード15により不完全収納ワーク20aの上方への飛散が抑制され、ワイパー14と第1ブレード15との間から不完全収納ワーク20aが排出されて落下する。
As shown in FIG. 4 (a), the
ところでチップ部品などのワーク20の寸法が極小化されると、静電気などの要因によりターンテーブル3表面やワーク収納孔4の窪み4a部などに不完全収納ワーク20aが張り付いてしまい、不完全収納ワーク20aがワーク供給部9に落下しないことも考えられる。この場合、図4(b)に示すように、不完全収納ワーク20aは第1ブレード15上方へ飛散するが、不完全収納ワーク20aはその後、第2ブレード12によりガードされ、このことにより不完全収納ワーク20aの飛散が抑制されて、不完全収納ワーク20aを確実にワーク供給部9に戻すことができる。
By the way, when the size of the
また、ワイパー14の多数の歯部14aは、ワーク収納孔4の配置円4bの接線方向に対して傾斜して配置されているため、各歯部14aはターンテーブル3表面とワーク収納孔4の窪み4aに交互に接触する。各歯部14aがターンテーブル3表面とワーク収納孔4の窪み4aに交互に接触する間、各歯部14aに振動が発生する。このため歯部14a間に不完全収納ワーク20aが挟まった場合でも、歯部14aの振動により歯部14a間に挟まった不完全収納ワーク20aを直ちに落下させることができる。
Further, since the
なお、ワイパー14、第1ブレード15及び第2ブレード12は何れも耐摩耗性、柔軟性及び低摩擦性を兼ね備えた材質、例えばフッ素ゴムなどから形成される。
The
以上のように実施の形態によれば、ワイパー14はワイパー本体14bと、弾性材料からなる多数の歯部14aとを有しており、該歯部14aの剛性が前記ブラシの毛に比べ幅方向、厚さ方向共高いので、この歯部14aによってワーク収納孔4内に完全に収納できない不完全収納ワーク20aを確実に掻き出すことができる。このとき、1枚のワイパーに比べ歯部は低剛性なため不完全収納ワーク20aに対する損傷が殆ど無く、またワイパー14側の摩耗も極めて少い。
As described above, according to the embodiment, the
1 ワーク搬送装置
2 基盤
3 ターンテーブル
4 ワーク収納孔
4a 窪み
4b 配置円
5 吸引溝
6 カバーリング
7 ガイド
8 分配シュータ
9 ワーク供給部
10 センサブロック
11 ガードシートブロック
12 第2ブレード
13 ワイパーブロック
14 ワイパー
14a 歯部
14b ワイパー本体
15 第1ブレード
16 アッパープレート
17 センサ
17a 受光部
17b 投光部
20 ワーク
20a 不完全収納ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (3)
垂直に配置された基盤と、
基盤上に回転自在に設けられ周縁部に複数のワーク収納孔が円周状に配置されたターンテーブルと、
ターンテーブルに設けられ、ターンテーブルのワーク収納孔にワークを供給するワーク供給部と、
ターンテーブルのワーク供給部下流側であってワーク供給部の上方に設けられ、ワーク収納孔内に不完全な状態で収納されたワークを排除して落下させることにより当該ワークをワーク供給部に戻すワイパーと、
ターンテーブルのワイパー下流側であってワイパーの上方に設けられ、ワイパーにより排除されたワークを受けて、ワークを落下させることにより当該ワークをワーク供給部に戻すブレード機構とを備え、
ワイパーはワイパー本体と、ワイパー本体のターンテーブル側に設けられ弾性材料からなる多数の歯部とを有することを特徴とするワーク搬送装置。 In a workpiece transfer device that transfers workpieces,
A vertically arranged base,
A turntable that is rotatably provided on the base and has a plurality of workpiece storage holes arranged circumferentially on the peripheral edge;
Provided turntable, and a work supply section for supplying a work to the work receiving hole of the turntable,
A workpiece supply section downstream of the turntable provided above the workpiece supply section, and returns the workpiece to the workpiece supply section by dropping the exclusion of workpieces housed in an incomplete state workpiece storage hole With wiper ,
A blade mechanism that is provided on the downstream side of the wiper of the turntable and above the wiper, receives the workpiece removed by the wiper, and returns the workpiece to the workpiece supply unit by dropping the workpiece;
The wiper has a wiper body, and a plurality of tooth portions made of an elastic material provided on the turntable side of the wiper body.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005356255A JP4837373B2 (en) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | Work transfer device |
TW095141551A TW200746941A (en) | 2005-12-09 | 2006-11-09 | Workpiece conveying device |
KR1020060116399A KR100858301B1 (en) | 2005-12-09 | 2006-11-23 | Work transporting device |
CNB2006101641959A CN100470753C (en) | 2005-12-09 | 2006-12-08 | Work transporting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005356255A JP4837373B2 (en) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | Work transfer device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007161355A JP2007161355A (en) | 2007-06-28 |
JP4837373B2 true JP4837373B2 (en) | 2011-12-14 |
Family
ID=38130899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005356255A Active JP4837373B2 (en) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | Work transfer device |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4837373B2 (en) |
KR (1) | KR100858301B1 (en) |
CN (1) | CN100470753C (en) |
TW (1) | TW200746941A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6312200B2 (en) * | 2014-02-07 | 2018-04-18 | 株式会社ヒューモラボラトリー | Chip capacitor inspection and sorting equipment |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4936215Y1 (en) * | 1970-11-13 | 1974-10-02 | ||
US5151715A (en) * | 1991-07-30 | 1992-09-29 | Hewlett-Packard Company | Printhead wiper for ink-jet printers |
JP2004001952A (en) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Victor Co Of Japan Ltd | Washer separation and alignment mechanism |
JP2004114613A (en) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Konica Minolta Holdings Inc | Wiper for cleaning discharge head and liquid discharge device |
-
2005
- 2005-12-09 JP JP2005356255A patent/JP4837373B2/en active Active
-
2006
- 2006-11-09 TW TW095141551A patent/TW200746941A/en unknown
- 2006-11-23 KR KR1020060116399A patent/KR100858301B1/en active IP Right Grant
- 2006-12-08 CN CNB2006101641959A patent/CN100470753C/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI330051B (en) | 2010-09-01 |
JP2007161355A (en) | 2007-06-28 |
KR20070061354A (en) | 2007-06-13 |
KR100858301B1 (en) | 2008-09-11 |
TW200746941A (en) | 2007-12-16 |
CN1979793A (en) | 2007-06-13 |
CN100470753C (en) | 2009-03-18 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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