JP4820609B2 - 圧電共振器を用いたフィルタモジュール、共用器及び通信機器並びにその製造方法 - Google Patents
圧電共振器を用いたフィルタモジュール、共用器及び通信機器並びにその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4820609B2 JP4820609B2 JP2005262465A JP2005262465A JP4820609B2 JP 4820609 B2 JP4820609 B2 JP 4820609B2 JP 2005262465 A JP2005262465 A JP 2005262465A JP 2005262465 A JP2005262465 A JP 2005262465A JP 4820609 B2 JP4820609 B2 JP 4820609B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric layer
- filter module
- substrate
- electrode
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
図1は本発明の第1の実施形態に係るフィルタモジュール用いたフィルタの回路図である。図1に示すように、6つの共振器からなるラダー型のフィルタモジュール101の入出力端子115A及び入出力端子115Bにそれぞれインダクタ113A及びインダクタ113Bが接続され、接地端子116A及び接地端子116Bがそれぞれインダクタ113C及びインダクタ113Dを介して接地されてフィルタが形成されている。
図8は第2の実施形態の一変形例に係るフィルタモジュールを用いたフィルタの回路構成を示す。図8に示すように本実施形態のフィルタモジュール102は、共振器のユニット114C及びユニット114Dが直列に接続されて形成されている。
図10は第2の実施形態の一変形例に係るフィルタモジュールを用いたフィルタの回路構成を示す。図10に示すように本実施形態のフィルタモジュール102は、共振器のユニット114E及びユニット114Fが直列に接続されて形成されており、ユニット114Eの共振器111Eと並列に共振器111F及び共振器111Gが接続されている。
以下に、第3の実施形態に係るフィルタモジュール及びその製造方法について図を参照しながら説明する。なお、本実施形態のフィルタモジュールの等価回路は図1と同一であり、平面構成は図2と同一である。また、以下においては共振器111B及び共振器111Dの形成について説明するが、共振器111A、共振器111C、共振器111E及び共振器111Fも同様にして基板上に一体に形成する。
以下に、第4の実施形態に係るフィルタモジュール及びその製造方法について図を参照しながら説明する。なお、本実施形態のフィルタモジュールの回路構成は図1と同一であり、平面構成は図2と同一である。また、以下においては共振器111B及び共振器111Dの形成について説明するが、共振器111A、共振器111C、共振器111E及び共振器111Fも同様にして基板上に一体に形成する。
以下に、第4の実施形態に係るフィルタモジュールについて図を参照しながら説明する。なお、本実施形態のフィルタモジュールの等価回路は図1と同一であり、平面構成は図2と同一である。
以下に、第6の実施形態に係る共用器について図を参照しながら説明する。図19は本実施形態の共用器の等価回路を示している。
以下に、第7の実施形態に係る通信機器について図を参照しながら説明する。図20は本実施形態の通信機器の構成を示している。
以下に、第8の実施形態に係る通信機器について図を参照しながら説明する。図21は本実施形態の通信機器の構成を示している。
102 フィルタモジュール
103 フィルタモジュール
111A 共振器
111B 共振器
111C 共振器
111D 共振器
111E 共振器
111F 共振器
111G 共振器
111H 共振器
111I 共振器
111J 共振器
112A 容量素子
112B 容量素子
113A インダクタ
113B インダクタ
113C インダクタ
113D インダクタ
113E インダクタ
115A 入出力端子
115B 入出力端子
114 共振器ユニット
114A 共振器ユニット
114B 共振器ユニット
114C 共振器ユニット
114D 共振器ユニット
114E 共振器ユニット
114F 共振器ユニット
116A 接地端子
116B 接地端子
116C 接地端子
151A 下部電極
151B 下部電極
151C 下部電極
151D 下部電極
151E 下部電極
151F 下部電極
151G 下部電極
151H 下部電極
151I 下部電極
151J 下部電極
151A 上部電極
151B 上部電極
151C 上部電極
151D 上部電極
151E 上部電極
151F 上部電極
151G 上部電極
151H 上部電極
151I 上部電極
151J 上部電極
153 配線
154 配線
155 配線
160 基板
161 空洞部
162 絶縁体層
163 圧電体層
164 支持部材
166 振動部
167 低インピーダンス層
168 高インピーダンス層
169 音響多層膜
170 凹部
171 犠牲層
173 レジスト材
174 凹部
175 保持部材
182 形成基板
183 バッファ層
184 接着層
185 接着層
201 共用器
202 送信フィルタ
203 受信フィルタ
204 移相回路
207 Tx端子
208 Rx端子
209 アンテナ端子
301A 共用器
301B 共用器
311 アンテナ
312 分配器
401A フィルタ
401B フィルタ
411A アンテナ
411B アンテナ
412 スイッチ
Claims (16)
- 基板と、
それぞれが前記基板の上に形成され、前記基板の主面上に該主面に沿って保持された圧電体層を有し、該圧電体層の厚さ方向の縦振動を利用する複数の共振器と、
前記圧電体層の上側又は下側に設けられ、外部の回路と電気的に接続される複数の外部接続端子と、
前記圧電体層の前記外部接続端子と同じ側に設けられた第1の配線と、
前記圧電体層を挟んで前記第1の配線と反対側に設けられた第2の配線と、
前記圧電体層を容量絶縁膜とする容量素子とを備え、
前記圧電体層は、前記複数の共振器及び前記容量素子に跨って一体に形成され、
前記複数の共振器及び前記容量素子は、前記圧電体層の前記外部接続端子と同じ側に形成された第1の電極と、前記圧電体層を挟んで前記第1の電極と反対側に形成された第2の電極とを有し、
前記第1の配線は、前記第1の電極同士及び前記外部接続端子と前記第1の電極とを接続し、
前記第2の配線は、前記第2の電極同士を接続し、
2つの前記外部接続端子の間に直列に接続されている前記共振器及び前記容量素子の数の和は偶数であることを特徴とするフィルタモジュール。 - 前記第1の電極及び前記第2の電極の一方は、前記圧電体層よりも前記基板側に設けられた下部電極であり、
前記下部電極の下には、空洞部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフィルタモジュール。 - 前記第1の電極及び前記第2の電極の一方は、前記圧電体層よりも前記基板側に設けられた下部電極であり、
前記下部電極の下には、音響多層膜が設けられており、
前記音響多層膜は、第1の薄膜と、該第1の薄膜と比べて音響インピーダンスが高い第2の薄膜とが交互に積層され、且つ、最上層が第1の薄膜であることを特徴とする請求項1に記載のフィルタモジュール。 - 前記複数の外部接続端子は、前記圧電体層の上側に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のフィルタモジュール。
- 前記複数の外部接続端子は、前記圧電体層の下側に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のフィルタモジュール。
- 第1のフィルタと第2のフィルタと移相回路とを備え、
前記第1のフィルタ及び前記第2のフィルタは、それぞれ請求項1から5のいずれか1項に記載のフィルタモジュールからなることを特徴とする共用器。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のフィルタモジュールを備えていることを特徴とする通信機器。
- 請求項6に記載の共用器を備えていることを特徴とする通信機器。
- 基板の上に形成された複数の共振器からなるフィルタモジュールの製造方法であって、
第1の基板の上に圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層の上に複数の下部電極を形成する工程と、
前記圧電体層における該圧電体層を挟んで前記各下部電極と対向する領域に上部電極をそれぞれ形成する工程と、
第2の基板の上に複数の凹部を備えた保持構造を形成する工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板とを、前記複数の下部電極が形成された前記圧電体層と前記複数の凹部が形成された前記保持構造とを対向させて貼り合わせることにより、前記各下部電極の下に空洞部がそれぞれ設けられた貼り合わせ構造を形成する工程と、
前記貼り合わせ構造を形成した後に、前記第1の基板を剥離する工程と、
前記圧電体層の前記上部電極と同じ側又は前記下部電極と同じ側に、外部の回路と接続される複数の外部接続端子を形成する工程と、
前記圧電体層の前記上部電極と同じ側に、前記上部電極同士を接続する第1の配線を形成する工程と
前記圧電体層の前記下部電極と同じ側に、前記下部電極同士を接続する第2の配線を形成する工程とを備え、
前記上部電極と前記第1の配線とは一体に形成し、
前記下部電極と前記第2の配線とは一体に形成し、
前記外部接続端子は、前記圧電体層における前記外部接続端子と同じ側に形成されている、前記上部電極及び前記第1の配線と、前記下部電極及び前記第2の配線とのいずれか一方と一体に形成されていることを特徴とするフィルタモジュールの製造方法。 - 前記上部電極は、前記第1の基板を剥離した後に形成することを特徴とする請求項9に記載のフィルタモジュールの製造方法。
- 前記貼り合わせ構造を形成する工程は、共晶接合を用いて前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせることを特徴とする請求項9又は10に記載のフィルタモジュールの製造方法。
- 前記貼り合わせ構造を形成する工程よりも前に、
前記下部電極の上に第1の接着層を形成する工程及び前記保持構造の上に第2の接着層を形成する工程のうち少なくとも一方をさらに備えていることを特徴とする請求項9から11のいずれか1項に記載のフィルタモジュールの製造方法。 - 前記第1の接着層及び前記第2の接着層は、金又は金を含む合金であることを特徴とする請求項12に記載のフィルタモジュールの製造方法。
- 前記複数の凹部を備えた保持構造は、前記第2の基板上に格子状の開口部を有するマスクパターンを形成し、前記開口部を埋めるように保持部材を形成した後、前記マスクパターンを除去することにより形成することを特徴とする請求項9から13のいずれか1項に記載のフィルタモジュールの製造方法。
- 前記複数の下部電極の一部の下には前記空洞部が形成されておらず、
前記空洞部の上に位置する前記上部電極、前記圧電体層及び前記下部電極は共振器を構成し、
前記空洞部以外の部分の上に位置する前記上部電極、前記圧電体層及び前記下部電極は容量素子を構成し、
2つの前記外部接続端子の間に直列に接続されている前記共振器及び前記容量素子の数の和は偶数であることを特徴とする請求項9から14のいずれか1項に記載のフィルタモジュールの製造方法。 - 基板の上に形成された複数の共振器からなるフィルタモジュールの製造方法であって、
前記基板の上に複数の凹部を形成する工程と、
前記各凹部を犠牲層により埋める工程と、
前記基板の前記各犠牲層が形成された領域を含む複数の領域の上に下部電極をそれぞれ形成する工程と、
前記下部電極が形成された前記基板の上に圧電体層を形成する工程と、
前記各犠牲層を除去して、前記複数の下部電極の一部の下に空洞部を形成する工程と、
前記圧電体層における該圧電体層を挟んで前記各下部電極と対向する領域に上部電極をそれぞれ形成する工程と、
前記圧電体層の前記上部電極又は前記下部電極と同じ側に、外部の回路と接続される複数の外部接続端子を形成する工程と、
前記圧電体層の前記上部電極と同じ側に、前記上部電極同士を接続する第1の配線を形成する工程と
前記圧電体層の前記下部電極と同じ側に、前記下部電極同士を接続する第2の配線を形成する工程とを備え、
前記上部電極と前記第1の配線とは一体に形成し、
前記下部電極と前記第2の配線とは一体に形成し、
前記外部接続端子は、前記圧電体層における前記外部接続端子と同じ側に形成されている、前記上部電極及び前記第1の配線と、前記下部電極及び前記第2の配線とのいずれか一方と一体に形成し、
前記空洞部の上に位置する前記上部電極、前記圧電体層及び前記下部電極は共振器を構成し、
前記空洞部以外の部分の上に位置する前記上部電極、前記圧電体層及び前記下部電極は容量素子を構成し、
2つの前記外部接続端子の間に直列に接続されている前記共振器及び前記容量素子の数の和は偶数であることを特徴とするフィルタモジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005262465A JP4820609B2 (ja) | 2004-09-10 | 2005-09-09 | 圧電共振器を用いたフィルタモジュール、共用器及び通信機器並びにその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004264158 | 2004-09-10 | ||
JP2004264158 | 2004-09-10 | ||
JP2005262465A JP4820609B2 (ja) | 2004-09-10 | 2005-09-09 | 圧電共振器を用いたフィルタモジュール、共用器及び通信機器並びにその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006109431A JP2006109431A (ja) | 2006-04-20 |
JP4820609B2 true JP4820609B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=36378561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005262465A Expired - Fee Related JP4820609B2 (ja) | 2004-09-10 | 2005-09-09 | 圧電共振器を用いたフィルタモジュール、共用器及び通信機器並びにその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4820609B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4963229B2 (ja) * | 2006-12-26 | 2012-06-27 | 日本碍子株式会社 | 圧電薄膜デバイス |
FR2968861B1 (fr) * | 2010-12-10 | 2013-09-27 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de fabrication d'un résonateur a ondes acoustiques comprenant une membrane suspendue |
CN104221285B (zh) * | 2012-04-10 | 2016-12-21 | 株式会社村田制作所 | 梯型弹性表面波滤波器 |
CN107231138A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-10-03 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 | 带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及其制备方法 |
CN107222181A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-09-29 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 | 基于soi基片的薄膜体声波谐振器及其制备方法 |
CN110957989B (zh) * | 2018-09-26 | 2024-01-26 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 薄膜体声波谐振器及其制作方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0964682A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Murata Mfg Co Ltd | 共振子装置およびその周波数調整方法 |
EP0951068A1 (en) * | 1998-04-17 | 1999-10-20 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | Method of fabrication of a microstructure having an inside cavity |
US6262637B1 (en) * | 1999-06-02 | 2001-07-17 | Agilent Technologies, Inc. | Duplexer incorporating thin-film bulk acoustic resonators (FBARs) |
DE19931297A1 (de) * | 1999-07-07 | 2001-01-11 | Philips Corp Intellectual Pty | Volumenwellen-Filter |
DE19962028A1 (de) * | 1999-12-22 | 2001-06-28 | Philips Corp Intellectual Pty | Filteranordnung |
JP3684991B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2005-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | セラミックス薄膜デバイスの製造方法及びセラミックス薄膜デバイス |
JP2002134806A (ja) * | 2000-10-19 | 2002-05-10 | Canon Inc | 圧電膜型アクチュエータおよび液体噴射ヘッドとその製造方法 |
US6617249B2 (en) * | 2001-03-05 | 2003-09-09 | Agilent Technologies, Inc. | Method for making thin film bulk acoustic resonators (FBARS) with different frequencies on a single substrate and apparatus embodying the method |
JP3952464B2 (ja) * | 2002-02-27 | 2007-08-01 | Tdk株式会社 | デュプレクサ |
WO2003098801A1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Bulk wave resonator and bulk wave filter |
-
2005
- 2005-09-09 JP JP2005262465A patent/JP4820609B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006109431A (ja) | 2006-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7554422B2 (en) | Filter module using piezoelectric resonators, duplexer, communication device, and method for fabricating filter module | |
EP1898525B1 (en) | Acoustic resonator and filter | |
CN111865248B (zh) | 谐振器组件及其制造方法、半导体器件、电子设备 | |
CN107317561B (zh) | 体声波谐振器及其制造方法 | |
JP4820609B2 (ja) | 圧電共振器を用いたフィルタモジュール、共用器及び通信機器並びにその製造方法 | |
KR102449355B1 (ko) | 음향 공진기 및 그의 제조 방법 | |
US10951195B2 (en) | Acoustic resonator filter package | |
JP2008048040A (ja) | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 | |
JP2008211392A (ja) | 共振器及びその製造方法 | |
US11323093B2 (en) | Bulk-acoustic wave resonator | |
JP4997961B2 (ja) | 集積化分波器 | |
TWI723606B (zh) | 聲波諧振器及其製造方法 | |
US11437977B2 (en) | Bulk-acoustic resonator and elastic wave filter device | |
US11050409B2 (en) | Acoustic resonator and acoustic resonator filter | |
US20200350892A1 (en) | Front end module | |
KR20210023944A (ko) | 음향 공진기 | |
CN112688659A (zh) | 体声波谐振器 | |
US20230084640A1 (en) | Acoustic resonator package | |
US11843365B2 (en) | Bulk-acoustic wave resonator | |
CN112087215B (zh) | 体声波谐振器 | |
JP2010147869A (ja) | Baw共振装置およびその製造方法 | |
US20230008635A1 (en) | Acoustic resonator package | |
TW202306205A (zh) | 聲波共振器 | |
TW202139596A (zh) | 體聲波共振器和體聲波濾波器元件 | |
KR20200073968A (ko) | 체적 음향 공진기 및 탄성파 필터 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110905 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |