JP4807585B2 - LSI tester positioning mechanism - Google Patents

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Description

本発明は、テストヘッドとDUTIFユニットを有するLSIテスタの位置決め機構に関し、DUTIFユニットとこのDUTIFユニットを覆うカバーを一体化して組付け工数の簡素化をはかったLSIテスタの位置決め機構に関するものである。   The present invention relates to an LSI tester positioning mechanism having a test head and a DUTIF unit, and more particularly to an LSI tester positioning mechanism in which a DUTIF unit and a cover covering the DUTIF unit are integrated to simplify the assembly process.

LSIテスタを構成するテストヘッドに関する位置決め機構としては下記の先行技術文献がある。   The following prior art documents are available as positioning mechanisms related to the test head constituting the LSI tester.

実開平05−062872号公報Japanese Utility Model Publication No. 05-062872 特開平05−312900号公報Japanese Patent Laid-Open No. 05-312900

図2はLSIテスタのTH(テストヘッド)カードを交換するために先立って行われるテストヘッドとDUTIFユニットの要部分解工程を示す図である。
図において、THカードの交換に際しては、
工程1において、DUTIFユニット11に取付けられたケーブル側のDUTIFカバー11aおよびスイッチボックス側に取り付けられたDUTIFカバー11bを取り外す。
FIG. 2 is a diagram showing a main part disassembling process of the test head and the DUTIF unit that is performed prior to replacing the TH (test head) card of the LSI tester.
In the figure, when replacing the TH card,
In step 1, the cable-side DUTIF cover 11a attached to the DUTIF unit 11 and the DUTIF cover 11b attached to the switch box side are removed.

工程2において、DUTIFユニット11を取り外す。
工程3において、DIFボード12を取り外す。
工程4において、THカバー14aおよび14bを取り外す。
工程5において、テンプレート13を取り外す。
このようにテストヘッド上に取り付けられた上記部品を全て取り外した後THカード15を交換することが可能となる。
In step 2, the DUTIF unit 11 is removed.
In step 3, the DIF board 12 is removed.
In step 4, the TH covers 14a and 14b are removed.
In step 5, the template 13 is removed.
In this way, it is possible to replace the TH card 15 after removing all the parts mounted on the test head.

THカード15を交換した後は前述の工程を逆に辿って組立てを行う。
即ち、テンプレート13の一方の面に突き出して取り付けられた2本の第1ガイドピン13aをテストヘッド14に形成された第1ガイド穴14cに挿入し、THカード15を覆う。
After the TH card 15 is replaced, assembly is performed by reversing the above steps.
That is, the two first guide pins 13 a that protrude from one surface of the template 13 and are attached are inserted into the first guide holes 14 c formed in the test head 14 to cover the TH card 15.

次にTHカバー14aおよび14bを取りつける。
次にDIFボード12の2箇所に形成された第2ガイド穴12aにテンプレート13の他方の側に突出して取付けられた第2ガイドピン13bを挿入してテンプレート13を覆う。
Next, the TH covers 14a and 14b are attached.
Next, the second guide hole 12a formed at two locations on the DIF board 12 is inserted with second guide pins 13b that are attached to the other side of the template 13 so as to cover the template 13.

次にDUTIFユニット11に形成された第3ガイド穴11cにDIFボード12を貫通した第2ガイドピン13bを挿入し、その後DUTIFカバー11aおよびDUTIFカバー11bを取り付ける。   Next, the 2nd guide pin 13b which penetrated DIF board 12 is inserted in the 3rd guide hole 11c formed in DUTIF unit 11, and after that, DUTIF cover 11a and DUTIF cover 11b are attached.

ところで、上述の従来のLSIテスタの位置決め機構では、THカード15を交換するたびに前述の取付け取外しの作業が発生し、多くの工数がかかる。その対策としてDUTIFユニット11にDUTIFカバー11aおよびDUTIFカバー11bを一体として取り付けることにより取付け取外しの作業を簡素化することが考えられる。   By the way, in the conventional LSI tester positioning mechanism described above, every time the TH card 15 is replaced, the above-described mounting / removal work occurs, which takes a lot of man-hours. As a countermeasure, it is conceivable to simplify the attaching / detaching work by attaching the DUTIF cover 11a and the DUTIF cover 11b to the DUTIF unit 11 as one body.

しかしながら、DUTIFユニット11にDUTIFカバー11aおよびDUTIFカバー11bを一体として取り付けて、DUTIFユニット11に形成された第3ガイド穴を第2ガイドピン13bに入れようとした場合、カバー11a,11bによって第3ガイド穴11cが隠されてしまい、目視による確認ができないので第2ガイドピン13bと第3ガイド穴の位置合わせが難しく更に工数がかかるという問題があった。DUTIFカバーに目視のための穴を形成することも考えられるがデザイン上好ましくない。   However, when the DUTIF cover 11a and the DUTIF cover 11b are integrally attached to the DUTIF unit 11 and the third guide hole formed in the DUTIF unit 11 is to be inserted into the second guide pin 13b, the cover 11a, 11b causes the third Since the guide hole 11c is hidden and cannot be visually confirmed, there is a problem that it is difficult to align the second guide pin 13b and the third guide hole, and further man-hours are required. Although it is conceivable to form a visual hole in the DUTIF cover, it is not preferable in terms of design.

ちなみに、DUTIFユニット11は例えば25kg程度の重量があり、取付け取外しに際してはDUTIFユニット11に形成された把手16を持って4人程度で抱えながら行う。その結果、位置合わせに長い時間がかかり疲労に伴う危険が伴うという問題があった。   Incidentally, the DUTIF unit 11 has a weight of, for example, about 25 kg, and when attaching / detaching, the DUTIF unit 11 is held while holding the handle 16 formed on the DUTIF unit 11 with about four people. As a result, there has been a problem that alignment takes a long time and there is a risk associated with fatigue.

本発明は、従来技術の問題点を解決するためになされたもので、DUTIFユニット11にDUTIFカバー11aおよびDUTIFカバー11bを一体として取付けた状態でも位置合わせが容易であり、組立工数を削減可能なLSIテスタの位置決め機構を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and can be easily aligned even when the DUTIF cover 11a and the DUTIF cover 11b are integrally attached to the DUTIF unit 11, thereby reducing the number of assembly steps. An object of the present invention is to provide an LSI tester positioning mechanism.

このような課題を達成するための本発明のLSIテスタの位置決め機構は、請求項1においては、
THカードが格納され第1ガイド穴を有するテストヘッドと、
該テストヘッド上に前記THカードを覆って配置され、一方の側に前記第1ガイド穴に挿入される第1ガイドピンを有するテンプレートと、
該テンプレートを覆って配置され、該テンプレートの他方の側に配置された第2ガイドピンが貫通する第2ガイド穴を有するDIFボードと、
該DIFボード上に配置され、該DIFボードを貫通した第2ガイドピンが貫通する第3ガイド穴を有するDUTIFユニットと、該DUTIFユニットを覆って配置されたカバーを具備するLSIテスタの位置決め機構において、前記DUTIFユニットの外周部に少なくとも3本のラフガイドピンを設けるとともに前記テンプレートに前記ラフガイドピンと係合する位置決め部を設け、前記ラフガイドピンの長さを前記DUTIFユニットを取外して床面に載置したときに前記DUTIFユニットを支持可能な程度の長さに形成したことを特徴とする。
An LSI tester positioning mechanism of the present invention for achieving such a problem is as follows.
A test head in which a TH card is stored and having a first guide hole;
A template having a first guide pin which is disposed on the test head so as to cover the TH card and is inserted into the first guide hole on one side;
A DIF board disposed over the template and having a second guide hole through which a second guide pin disposed on the other side of the template passes;
In an LSI tester positioning mechanism comprising a DUTIF unit disposed on the DIF board and having a third guide hole through which a second guide pin penetrating the DIF board passes, and a cover disposed covering the DUTIF unit. And at least three rough guide pins on the outer periphery of the DUTIF unit , and a positioning portion for engaging with the rough guide pin on the template. The length of the rough guide pin is removed from the DUTIF unit on the floor surface. The DUTIF unit is formed to a length that can support the DUTIF unit when placed .

以上説明したことから明らかなように本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
DUTIFユニットの外周部に少なくとも3本のラフガイドピンを設けるとともに前記テンプレートに前記ラフガイドピンと係合する位置決め部を設け、前記ラフガイドピンの長さを前記DUTIFユニットを取外して床面に載置したときに前記DUTIFユニットを支持可能な程度の長さに形成したので、ラフガイドピンが位置決め部に係合する位置と第2ガイドピンと第3ガイド穴の位置を合わせておくことで、目視による位置あわせが可能となり、短時間での組立てが可能となる。また、ラフガイドピンは前記DUTIFユニットを取外して床面に載置したときに前記ラフガイドピンで前記DUTIFユニットを支持可能な程度の長さを有しているので、DUTIFユニットの置き場所の選択に自由度を持たせることができる。
As is apparent from the above description, according to claim 1 of the present invention, the following effects can be obtained.
At least three rough guide pins are provided on the outer periphery of the DUTIF unit , and a positioning portion that engages with the rough guide pin is provided on the template, and the length of the rough guide pin is removed from the DUTIF unit and placed on the floor surface. Since the DUTIF unit is formed to a length that can support the DUTIF unit, the position where the rough guide pin engages with the positioning portion is aligned with the positions of the second guide pin and the third guide hole. This makes it possible to perform positioning by means of and enables assembly in a short time. The rough guide pin has a length that allows the DUTIF unit to be supported by the rough guide pin when the DUTIF unit is removed and placed on the floor surface. Can have a degree of freedom.

図1は本発明の一実施例を示すLSIテスタの位置決め機構の要部分解工程を示す図である。
図1において、図2の従来例に示した部品とは同一形状であるが、本図においては簡略して示している。
1はカバー一体型DUTIFユニットであり、図2に示すDUTIFユニット11とケーブル側のDUTIFカバー11aおよびスイッチボックス側に取り付けられたDUTIFカバー11bが一体として形成されている。
FIG. 1 is a diagram showing a main part disassembling process of an LSI tester positioning mechanism according to an embodiment of the present invention.
In FIG. 1, the parts shown in the conventional example of FIG. 2 have the same shape, but are simply shown in this drawing.
Reference numeral 1 denotes a cover-integrated DUTIF unit, in which a DUTIF unit 11 shown in FIG. 2, a DUTIF cover 11a on the cable side, and a DUTIF cover 11b attached on the switch box side are integrally formed.

この状態において、DUTIFユニット1aに形成された第3ガイド穴1cはカバー1bの下に隠れている。6はDUTIFユニット1aの外周のBで示す4箇所に形成されたラフガイドピンであり、このラフガイドピンの長さはDUTIFユニット1aに一体として取付けられたカバー1bの厚さよりも長く形成されていて、この4本のラフガイドピン6でカバー一体型DUTIFユニット1を床面に支持できるようになっている。   In this state, the third guide hole 1c formed in the DUTIF unit 1a is hidden under the cover 1b. Reference numeral 6 denotes rough guide pins formed at four locations indicated by B on the outer periphery of the DUTIF unit 1a. The length of the rough guide pins is longer than the thickness of the cover 1b attached integrally to the DUTIF unit 1a. The four rough guide pins 6 can support the cover-integrated DUTIF unit 1 on the floor surface.

2は図2に示すDIFボード12と同様のDIFボードであり、対向する2辺の中央縁部に2つの第2ガイド穴2aが形成されている。
3はテンプレートで、図2に示すテンプレート13と同様であるが、対向する辺の4箇所にラフガイドピン6の位置にあわせてAで示す半円状の切欠き7が形成されている。
2 is a DIF board similar to the DIF board 12 shown in FIG. 2, and two second guide holes 2 a are formed at the center edges of two opposing sides.
Reference numeral 3 denotes a template, which is the same as the template 13 shown in FIG. 2, except that semicircular notches 7 indicated by A are formed at four locations on opposite sides in accordance with the positions of the rough guide pins 6.

ここで、4本のラフガイドピン6を切欠き7に係合させた状態で、テンプレート3の表面に形成した第2ガイドピン3bの先端がカバー一体型DUTIFユニットに形成した第3ガイド穴に挿入されるようになっている。   Here, with the four rough guide pins 6 engaged with the notches 7, the tips of the second guide pins 3b formed on the surface of the template 3 are in the third guide holes formed in the cover-integrated DUTIF unit. It is supposed to be inserted.

上述の構成において、THカードの交換に際しては、
工程1において、カバー一体型DUTIFユニット1を取り外す。
工程2において、DIFボード2を取り外す。
工程3において、テンプレート3を取り外す。
工程4において、図1では省略してあるが図2と同様にTHカバーを取り外す。
工程5において、テンプレート3を取り外す。
このようにしてテストヘッド上に取り付けられた上記部品を全て取り外した後THカード5を交換する。
In the above configuration, when replacing the TH card,
In step 1, the cover integrated DUTIF unit 1 is removed.
In step 2, the DIF board 2 is removed.
In step 3, the template 3 is removed.
In step 4, although not shown in FIG. 1, the TH cover is removed as in FIG.
In step 5, the template 3 is removed.
After all the parts mounted on the test head in this way are removed, the TH card 5 is replaced.

THカード5を交換した後は前述の工程を逆に辿って組立てを行う。
即ち、テンプレート3の一方の面に突き出して取り付けられた2本の第1ガイドピン3a(図示省略)をテストヘッド4に形成された第1ガイド穴4cに挿入し、THカード5を覆う。
After the replacement of the TH card 5, assembly is performed by reversing the above steps.
That is, two first guide pins 3 a (not shown) attached to protrude from one surface of the template 3 are inserted into the first guide holes 4 c formed in the test head 4 to cover the TH card 5.

次にTHカバーを取りつける(図2参照)。
次にDIFボード2の2箇所に形成された第2ガイド穴2aにテンプレート3の他方の側に突出して取付けられた第2ガイドピン3bを挿入してテンプレート3を覆う。
Next, the TH cover is attached (see FIG. 2).
Next, the second guide pin 3b that protrudes and is attached to the other side of the template 3 is inserted into the second guide hole 2a formed at two locations of the DIF board 2 to cover the template 3.

次にラフガイドピン6とテンプレート3に形成されたAで示す切欠き7を視認しながら、一体型DUTIFユニット1を降下させてラフガイドピン6を係合させる。これにより第2ガイドピン3bが第3ガイド穴1cに挿入されて組立て工程が完了する。   Next, while visually confirming the rough guide pin 6 and the notch 7 indicated by A formed on the template 3, the integrated DUTIF unit 1 is lowered to engage the rough guide pin 6. Thereby, the second guide pin 3b is inserted into the third guide hole 1c, and the assembly process is completed.

上述の組立て工程によれば、第2ガイドピン3bと第3ガイド穴1cが見えなくてもガイドピン3bが第3ガイド穴1cに挿入可能である。
また、ラフガイドピン6がカバー1bの厚さより長く形成されているのでカバー一体型DUTIFユニット1を床に降ろすときの自由度が大きくなり、コスト的にも有利である。
According to the assembly process described above, the guide pin 3b can be inserted into the third guide hole 1c even if the second guide pin 3b and the third guide hole 1c are not visible.
Further, since the rough guide pin 6 is formed longer than the thickness of the cover 1b, the degree of freedom when the cover-integrated DUTIF unit 1 is lowered to the floor is increased, which is advantageous in terms of cost.

なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。例えばラフガイドピンと半円状の切欠きは3個ずつであってもよく、要はカバーをDUTIFユニットと一体にしたために視認しずらくなったものが容易に挿入できればよい。また、テンプレートに形成するラフガイドピンとの係合の切欠きは半円状としたが穴であっても良い。また、第1,第2ガイドピンはテンプレートを貫通する1本のピンであっても良い。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention. For example, there may be three rough guide pins and three semicircular cutouts. In short, it is only necessary that a cover that is difficult to visually recognize because it is integrated with the DUTIF unit can be easily inserted. In addition, the notch for engagement with the rough guide pin formed on the template is semicircular, but it may be a hole. The first and second guide pins may be a single pin that penetrates the template.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.

本発明を適用したLSIテスタの位置決め機構の要部構成図である。It is a principal part block diagram of the positioning mechanism of the LSI tester to which this invention is applied. 従来のLSIテスタの位置決め機構の要部構成図である。It is a principal part block diagram of the positioning mechanism of the conventional LSI tester.

符号の説明Explanation of symbols

1 カバー一体型DUTIFユニット
1a,11 DUTIFユニット
1b カバ―
1c 第3ガイド穴
2,12 DIFボード
2a 第2ガイド穴
3,13 テンプレート
3a 第1ガイドピン
3b 第2ガイドピン
4,14 テストヘッド
4c 第1ガイド穴
5,15 THカード
6 ラフガイドピン
7 半円状切欠き
11a,11b DUTIFカバー
16 把手
1 Cover-integrated DUTIF unit 1a, 11 DUTIF unit 1b Cover
1c 3rd guide hole 2,12 DIF board 2a 2nd guide hole 3,13 Template 3a 1st guide pin 3b 2nd guide pin 4,14 Test head 4c 1st guide hole 5,15 TH card 6 Rough guide pin 7 Half Circular cutout 11a, 11b DUTIF cover 16 Handle

Claims (1)

THカードが格納され第1ガイド穴を有するテストヘッドと、
該テストヘッド上に前記THカードを覆って配置され、一方の側に前記第1ガイド穴に挿入される第1ガイドピンを有するテンプレートと、
該テンプレートを覆って配置され、該テンプレートの他方の側に配置された第2ガイドピンが貫通する第2ガイド穴を有するDIFボードと、
該DIFボード上に配置され、該DIFボードを貫通した第2ガイドピンが貫通する第3ガイド穴を有するDUTIFユニットと、該DUTIFユニットを覆って配置されたカバーを具備するLSIテスタの位置決め機構において、前記DUTIFユニットの外周部に少なくとも3本のラフガイドピンを設けるとともに前記テンプレートに前記ラフガイドピンと係合する位置決め部を設け、前記ラフガイドピンの長さを前記DUTIFユニットを取外して床面に載置したときに前記DUTIFユニットを支持可能な程度の長さに形成したことを特徴とするLSIテスタの位置決め機構。
A test head in which a TH card is stored and having a first guide hole;
A template having a first guide pin which is disposed on the test head so as to cover the TH card and is inserted into the first guide hole on one side;
A DIF board disposed over the template and having a second guide hole through which a second guide pin disposed on the other side of the template passes;
In an LSI tester positioning mechanism comprising a DUTIF unit disposed on the DIF board and having a third guide hole through which a second guide pin penetrating the DIF board passes, and a cover disposed covering the DUTIF unit. And at least three rough guide pins on the outer periphery of the DUTIF unit , and a positioning portion for engaging with the rough guide pin on the template. The length of the rough guide pin is removed from the DUTIF unit on the floor surface. An LSI tester positioning mechanism characterized in that the DUTIF unit is formed to a length that can support the DUTIF unit when placed .
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