JP4801631B2 - Measuring apparatus and measuring system - Google Patents

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Description

本発明は、測定装置、及び測定システムに関する。   The present invention relates to a measuring apparatus and a measuring system.

従来より、検出光を用いて被検出物を検出する光学式の測定装置が広く知られている。この種の装置は受光側に一次元、或いは二次元のイメージセンサが用途に応じて使用されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, optical measuring devices that detect an object to be detected using detection light are widely known. In this type of apparatus, a one-dimensional or two-dimensional image sensor is used on the light receiving side depending on the application.

係る光学式の測定装置では、測定を行うに先立って、いわゆる光軸調整作業(投光側と受光側との向きを合わせる作業)を行う必要がある。光軸調整作業を行う場合、受光側の受光面が二次元のイメージセンサで構成されていれば、ある程度検出光軸の向きが傾いていても、投光側の光が撮像面上に入光して受光スポットが出来るから、光軸調整作業を進めるときに、検出光軸の位置を把握し易いというメリットがある。   In such an optical measurement apparatus, it is necessary to perform a so-called optical axis adjustment operation (operation for aligning the direction of the light projecting side and the light receiving side) prior to performing the measurement. When performing the optical axis adjustment work, if the light-receiving surface on the light-receiving side is composed of a two-dimensional image sensor, the light on the light-projecting side is incident on the imaging surface even if the direction of the detection optical axis is tilted to some extent. Since the light receiving spot is formed, there is an advantage that it is easy to grasp the position of the detection optical axis when the optical axis adjustment operation is advanced.

一方、二次元のイメージセンサは画素数が多いから、受光スポットの当たらない測定に無駄な画素が生じ易く、また信号の読み出し等に時間にかかる。従って、処理の高速化が要求されるような用途であって、一次元のイメージセンサで検出が可能なケースでは、測定の側面から見ると、一次元のイメージセンサを用いることが好ましい。   On the other hand, since a two-dimensional image sensor has a large number of pixels, it is easy to generate useless pixels for measurement where a light receiving spot does not hit, and it takes time to read out signals. Therefore, in applications where high-speed processing is required and detection is possible with a one-dimensional image sensor, it is preferable to use a one-dimensional image sensor from the viewpoint of measurement.

従って、処理の高速化への対応、光軸調整の作業性の双方を求める場合には、一次元のイメージセンサ、二次元のイメージセンサを併用してやればよい。   Therefore, when both the response to the high-speed processing and the workability of optical axis adjustment are required, a one-dimensional image sensor and a two-dimensional image sensor may be used in combination.

尚、光学式の測定装置において、1次元のイメージセンサと、2次元のイメージセンサの双方のセンサを備えたものは下記特許文献に開示されている。このものを使用すれば、上記要請に一応は応ずることが可能である。
特開2002−116013公報
An optical measuring device including both a one-dimensional image sensor and a two-dimensional image sensor is disclosed in the following patent document. If this is used, it is possible to meet the above request.
JP 2002-1116013 A

上記構成のものは、1次元のイメージセンサと、2次元のイメージセンサの双方を設けているから部品点数が多くなり、コスト高となる。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、部品点数を増加させることなく、処理の高速化の要請、光軸調整作業の容易化の要請に応じることが可能な測定装置、及びそれを使用した測定システムを提供することを目的とする。
In the above configuration, since both a one-dimensional image sensor and a two-dimensional image sensor are provided, the number of parts increases and the cost increases.
The present invention has been completed based on the above-described circumstances, and is capable of responding to a request for speeding up processing and a request for facilitating optical axis adjustment without increasing the number of parts. An object is to provide an apparatus and a measurement system using the apparatus.

本発明の測定装置は、二次元状に配置される複数の受光素子からなるとともに、受光信号の読み出しが、同一方向に並ぶ読み出しラインのうち任意の読み出しラインを指定して行うことが可能とされた撮像部を有する受光手段と、検出光を出射し前記受光手段と共に被検出物を検出する検出光軸を構成する投光手段と、前記撮像部を構成する前記受光素子から受光信号を読み出す信号読出手段と、前記撮像部の全読み出しラインの中から一ライン上の受光素子を、外部装置の指示に基づいて検出範囲として設定する検出範囲設定手段と、前記検出範囲の設定を行う準備モードと、設定された検出範囲を構成する受光素子に基づいて測定を行う測定モードとにモードを切り換えるモード切替手段と、前記信号読出手段に読出指令を与える制御手段と、測定手段と、からなる測定装置であって、前記制御手段は、前記準備モードが選択されている場合には、連続する複数の読み出しラインの受光信号を読み出す旨の読出指令を前記信号読出手段に与えると共に、前記信号読出手段にて読み出された各読み出しラインの受光信号を外部の表示装置に対して出力させる一方、前記測定モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段により設定された検出範囲の受光信号のみを読み出す旨の読出指令を前記信号読出手段に与え、前記測定手段は、前記測定モードにおいて、前記信号読出手段を通じて読み出された各受光信号のレベルが入光レベルにあるか、遮光レベルにあるかを検出する処理を行うことにより、検出範囲上において受光信号のレベルが入光レベルから遮光レベル、或いは遮光レベルから入光レベルに切り替わる入遮光位置を測定して出力するところに特徴を有する。   The measuring apparatus according to the present invention includes a plurality of light receiving elements arranged in a two-dimensional manner, and can read a received light signal by designating an arbitrary read line among read lines arranged in the same direction. A light receiving unit having an image pickup unit, a light projecting unit forming a detection optical axis that emits detection light and detects an object to be detected together with the light receiving unit, and a signal for reading a light reception signal from the light receiving element forming the image pickup unit A reading means; a detection range setting means for setting a light receiving element on one line out of all the reading lines of the imaging unit as a detection range based on an instruction from an external device; and a preparation mode for setting the detection range; A mode switching means for switching the mode to a measurement mode for performing measurement based on the light receiving elements constituting the set detection range, and a control means for giving a read command to the signal reading means And a measuring means, wherein the control means, when the preparation mode is selected, reads out the signal read command to read out the light reception signals of a plurality of continuous readout lines. And when the measurement mode is selected, the detection range setting unit is configured to output a light reception signal of each readout line read by the signal readout unit to an external display device. The signal reading means is given a read command to read out only the light receiving signal within the detection range set by the measuring means, and the measuring means inputs the level of each light receiving signal read through the signal reading means in the measurement mode. By performing the process of detecting whether the light level or the light shielding level, the level of the received light signal is changed from the incident light level to the light shielding level on the detection range. There has characterized in that output by measuring the input light shielding position switch from shading level to the light input level.

本発明では、二次元状に配置される複数の受光素子からなる撮像部をモードに応じて使い分けている。すなわち準備モードでは撮像部を二次元的に使用し、測定モードでは撮像部を一次元的に使用している。従って、撮像部それ自体は1つで済むから部品増とならない上、二次元としてのメリット(光軸調整作業の容易化)、及び一次元としてのメリット(高速処理)の双方を共に発揮することが可能である。また、本発明では、外部装置を介して指示を行うことで、撮像部の全読み出しラインの中から一ラインの受光素子を検出範囲として選択できるので、以下のメリットも得られる。   In the present invention, an image pickup unit composed of a plurality of light receiving elements arranged two-dimensionally is used depending on the mode. That is, the imaging unit is used two-dimensionally in the preparation mode, and the imaging unit is used one-dimensionally in the measurement mode. Therefore, since only one imaging unit is required, the number of components is not increased, and both the two-dimensional advantage (easiness of optical axis adjustment work) and the one-dimensional advantage (high-speed processing) are exhibited together. Is possible. Further, in the present invention, by performing an instruction via an external device, one line of light receiving elements can be selected as a detection range from all the readout lines of the imaging unit, and the following advantages are also obtained.

例えば、固定的に設定された、狭い1次元の検出範囲に受光スポットを合わせようとすると、投光側と受光側の向きを微調整することが必要となる。このような微調整作業は、作業者の経験、手馴れに頼るところが大きく、経験が浅い場合には一般に手間が掛かり、作業性を悪くする。   For example, in order to align the light receiving spot with a fixed one-dimensional detection range that is fixedly set, it is necessary to finely adjust the directions of the light projecting side and the light receiving side. Such fine adjustment work relies heavily on the experience and familiarity of the operator. If the experience is inexperienced, it usually takes time and deteriorates workability.

この点、本発明では、外部装置を介して指示を行うことで検出範囲を選択できるようにしてあるから、撮像部から受光スポットが外れないように位置合わせを行う大まかな光軸調整は必要なものの、撮像部上に受光スポットが入れば、それに合わせて検出範囲を設定できる。従って、微調整作業を廃止することができ、光軸の調整作業が大幅に簡素化できる。尚、この場合、受光スポットの位置に合わせて検出範囲を設定する作業それ自体は必要であるが、検出範囲の設定はキー操作等により行うことが可能であるから、光軸の微調整に比べて極めて簡単に実施できる。   In this regard, in the present invention, since the detection range can be selected by giving an instruction via an external device, rough optical axis adjustment is necessary to perform alignment so that the light receiving spot is not removed from the imaging unit. However, if a light receiving spot enters the imaging unit, the detection range can be set accordingly. Therefore, the fine adjustment work can be eliminated and the optical axis adjustment work can be greatly simplified. In this case, the operation itself of setting the detection range according to the position of the light receiving spot is necessary. However, since the detection range can be set by a key operation or the like, compared with fine adjustment of the optical axis. It is very easy to implement.

この発明の実施態様として以下の構成がより好ましい。
・前記受光手段は、前記撮像部として二次元のCMOSイメージセンサと、前記検出光を前記CMOSイメージセンサ上に集光させつつ入光させる集光レンズと、を備える。CMOS(シーモス)イメージセンサであれば、汎用性のものをそのまま使用でき、コスト面で有利になる。
The following configuration is more preferable as an embodiment of the present invention.
The light receiving unit includes a two-dimensional CMOS image sensor as the imaging unit, and a condensing lens that enters the detection light while condensing the detection light on the CMOS image sensor. A CMOS (Seamos) image sensor can be used as it is, and is advantageous in terms of cost.

・前記検出範囲設定手段は、読み出し方向に沿った同一ライン上に位置する一列全ての受光素子のうち、一部の受光素子を、外部装置からの指示に基づいて、検出範囲として設定する。このようにしておけば、測定に必要な受光素子だけを検出範囲として設定することが可能となる。 The detection range setting means sets a part of the light receiving elements among all the light receiving elements located on the same line along the reading direction as a detection range based on an instruction from an external device. In this way, it is possible to set only the light receiving elements necessary for measurement as the detection range.

・前記外部装置が前記測定装置より取り外し可能とされたものにおいて、前記検出範囲設定手段は、前記外部装置からの指示に基づいてのみ前記検出範囲の設定を変更する。このようにしておけば、検出範囲の設定作業が完了した後、外部装置を測定装置から取り外すと、再び外部装置を接続して検出範囲の再設定作業を行わない限り、設定した検出範囲の設定を維持でき、意に反して検出範囲が勝手に変更されてしまうことを、未然に防止できる。 In the case where the external device is removable from the measuring device, the detection range setting unit changes the setting of the detection range only based on an instruction from the external device. In this way, if the external device is removed from the measuring device after the detection range setting work is completed, the set detection range is set unless the external device is connected again and the detection range is reset. Therefore, it is possible to prevent the detection range from being changed unexpectedly.

・不揮発性の記憶手段と、前記検出範囲設定手段で設定された検出範囲を前記記憶手段に記憶させる記憶制御手段とを設け、前記検出範囲設定手段は、電源が再投入されることを条件として、検出範囲を前記記憶手段に記憶される検出範囲に書き換える処理を行う構成とする。ここで仮に、不揮発性の記憶手段を設けないとすると、電源の入り切りに伴い、検出範囲の設定が初期に戻ってしまった場合には、検出範囲を再設定し直す必要性に迫られるが、本構成のようにしておけば、電源が再投入されたときには、検出範囲設定手段が検出範囲を前記記憶手段に記憶される検出範囲に自動的に書き換える。従って、再設定作業を、作業者がわざわざ行う必要がなく、使い勝手がよい。 A non-volatile storage means and a storage control means for storing the detection range set by the detection range setting means in the storage means are provided, and the detection range setting means is provided on condition that power is turned on again. The detection range is rewritten to the detection range stored in the storage unit. If the non-volatile storage means is not provided here, when the setting of the detection range has returned to the initial state due to the turning on / off of the power, it is necessary to reset the detection range. With this configuration, when the power is turned on again, the detection range setting means automatically rewrites the detection range to the detection range stored in the storage means. Therefore, it is not necessary for the operator to perform the resetting work, which is easy to use.

・前記制御手段は、前記準備モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段によって検出範囲が設定変更されるごとに、前記検出範囲の位置情報と共に、前記信号読出手段にて読み出された各読み出しラインの受光信号を前記外部の表示装置に対して出力させる構成とする。このようにしておけば、表示装置の表示画面上に受光像と検出範囲の双方を表示させることが可能となる。 -When the preparation mode is selected, the control means reads out the signal reading means together with the position information of the detection range every time the detection range is changed by the detection range setting means. The received light signal of each readout line is output to the external display device. In this way, both the received light image and the detection range can be displayed on the display screen of the display device.

本発明は、移動する移動物体の姿勢を検出する測定システムであって、前記移動物体の移動経路に対して検出光軸が交差するように前記移動経路を間に挟んで前記投光手段と前記受光手段とを対向配置した請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の測定装置と、前記測定装置の測定手段から出力される前記入遮光位置に基づいて前記移動物体の姿勢を検出する姿勢検出装置と、からなることを特徴とする。本システムであれば、高速処理が可能であるから、ある程度高速で移動する移動物体の姿勢を問題なく検出できる。   The present invention is a measurement system for detecting the posture of a moving moving object, wherein the light projecting means and the light projecting means are sandwiched between the moving path so that a detection optical axis intersects the moving path of the moving object. The measuring apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein a light receiving means is disposed opposite to the light receiving means, and an attitude for detecting an attitude of the moving object based on the incident / shielding position output from the measuring means of the measuring apparatus. And a detection device. Since this system can perform high-speed processing, the posture of a moving object that moves at a certain high speed can be detected without any problem.

本発明は、請求項6に記載の測定装置と、表示装置と、前記外部装置としての外部設定装置と、からなる測定システムであって、前記外部設定装置は前記検出範囲を設定変更操作するための設定操作部を備え、同設定操作部の操作に対応する前記指示を前記測定装置の検出範囲設定手段に送る構成であると共に、前記測定装置の検出範囲設定手段は、前記準備モードが選択されている場合に、前記指示に基づいて前記検出範囲を設定変更する処理を行い、前記測定装置の前記制御手段は、前記準備モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段によって検出範囲が設定変更されるごとに、前記検出範囲の位置情報と共に、前記信号読出手段にて読み出された各読み出しラインの受光信号を前記外部の表示装置に対して出力させ、前記表示装置は、前記各読み出しラインの受光信号の信号レベルの高低を像として表した受光像と、前記検出範囲の双方を、互いの相対的な位置関係が目視可能なように表示画面上に同時に表示させるところに特徴を有する。本システムであれば、表示装置の表示画面上に受光像と検出範囲の双方を、互いの相対的な位置関係が目視可能なように同時に表示させる構成としてあるから、表示部上の表示内容を参照しつつ検出範囲を設定してやれば、検出範囲を受光像の中心に正確に設定できる。   The present invention is a measurement system comprising the measurement device according to claim 6, a display device, and an external setting device as the external device, wherein the external setting device performs a setting change operation on the detection range. The setting operation unit is configured to transmit the instruction corresponding to the operation of the setting operation unit to the detection range setting unit of the measurement apparatus, and the preparation mode is selected as the detection range setting unit of the measurement apparatus. When the preparation mode is selected, the control means of the measuring device performs a process of changing the setting of the detection range based on the instruction. Each time the setting is changed, together with the position information of the detection range, the light reception signal of each readout line read by the signal readout means is output to the external display device, The display device simultaneously displays a light reception image representing the level of the light reception signal level of each readout line as an image and the detection range on the display screen so that the relative positional relationship between them can be visually observed. It has a feature to be displayed. In this system, both the received light image and the detection range are displayed on the display screen of the display device at the same time so that the relative positional relationship between them can be visually observed. If the detection range is set with reference, the detection range can be accurately set at the center of the received light image.

本発明によれば、二次元状に配置される複数の受光素子からなる撮像部をモードに応じてソフト的に使い分けている。すなわち準備モードでは撮像部を二次元的に使用し、測定モードでは撮像部を一次元的に使用している。従って、撮像部それ自体は1つで済むから部品増とならない上、二次元としてのメリット(光軸調整作業の容易化)、及び一次元としてのメリット(高速処理)の双方を共に発揮することが可能である。   According to the present invention, the image pickup unit composed of a plurality of light receiving elements arranged two-dimensionally is used properly in accordance with the mode. That is, the imaging unit is used two-dimensionally in the preparation mode, and the imaging unit is used one-dimensionally in the measurement mode. Therefore, since only one imaging unit is required, the number of components is not increased, and both the two-dimensional advantage (easiness of optical axis adjustment work) and the one-dimensional advantage (high-speed processing) are exhibited together. Is possible.

本発明の一実施形態を図1ないし図12によって説明する。
本実施形態は、本発明に係る測定装置50を部品実装機10に搭載したものである。部品実装機10は基台11の中央に基板搬送用のコンベア15を設けており、実装対像の基板Fを基台11上に搬入させた後、基台中央寄りの作業位置にて停止させるようになっている。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the present embodiment, the measuring apparatus 50 according to the present invention is mounted on a component mounter 10. The component mounting machine 10 is provided with a substrate transporting conveyor 15 at the center of the base 11, and after mounting the image F to be mounted on the base 11, it is stopped at a work position near the center of the base. It is like that.

そして、作業位置の側方にあたる図1の下部側には部品供給部16が設けられている。係る部品供給部16にはフィーダ40が多数個横並び状に設置されている。フィーダ40は基板Fに実装される部品Wを供給する機能を担うものである。   A component supply unit 16 is provided on the lower side of FIG. A large number of feeders 40 are installed side by side in the component supply unit 16. The feeder 40 has a function of supplying a component W mounted on the board F.

また、基台11の左右両側には作業位置を間に挟んで、一対のガイドレール21が設置されるとともに、同ガイドレール21を左右に架設してヘッド支持体22が設置されている。係るヘッド支持体22は左右のガイドレール21に沿って図1の上下方向に移動自在な構成となっている。   In addition, a pair of guide rails 21 are installed on both the left and right sides of the base 11 with a work position interposed therebetween, and a head support 22 is installed with the guide rails 21 extending from side to side. The head support 22 is configured to be movable in the vertical direction in FIG. 1 along the left and right guide rails 21.

そして、上記ヘッド支持体22には、ヘッドユニット30が装着されている。ヘッドユニット30は、ヘッド支持体22の長手方向に移動自在な構成とされる。これにより、ヘッド支持体22をガイドレール21に沿って上下方向に移動させつつ、ヘッド支持体22に沿ってヘッドユニット30を左右方向に移動させることで、基台11上の任意の位置にヘッドユニット30を水平移動させることができる構成となっている。   A head unit 30 is attached to the head support 22. The head unit 30 is configured to be movable in the longitudinal direction of the head support 22. Accordingly, the head unit 22 is moved in the left-right direction along the head support 22 while moving the head support 22 in the up-down direction along the guide rail 21, so that the head can be placed at an arbitrary position on the base 11. The unit 30 can be moved horizontally.

そして、ヘッドユニット30の下面部には、下方に突出するようにして吸着ヘッド31が取り付けられている(図1中は省略、図2参照)。係る吸着ヘッド31はヘッドユニット30に対して昇降可能な構成とされ、先端には吸着ノズル35を設けている。そして、吸着ノズル35には図外の負圧手段から負圧が供給され、ヘッド先端に吸引力を生じさせる構成となっている。   A suction head 31 is attached to the lower surface of the head unit 30 so as to protrude downward (omitted in FIG. 1, see FIG. 2). The suction head 31 is configured to be movable up and down with respect to the head unit 30, and a suction nozzle 35 is provided at the tip. A negative pressure is supplied to the suction nozzle 35 from a negative pressure means (not shown) to generate a suction force at the tip of the head.

上記の如く構成することで、フィーダ40上の部品Wを以下の要領で取り出すことができる。まず、ヘッドユニット30をフィーダ40上に移動させ、フィーダ40の上方にて停止させる(図1に示す(A)の位置)。   By configuring as described above, the part W on the feeder 40 can be taken out in the following manner. First, the head unit 30 is moved onto the feeder 40 and stopped above the feeder 40 (position (A) shown in FIG. 1).

その後、吸着ヘッド31を下降させつつ、下降タイミングに合わせて吸着ヘッド31に負圧を供給する。これにより、フィーダ40を通じて供給される部品Wを吸着ヘッド31にて吸着保持できる。   Thereafter, the suction head 31 is lowered, and negative pressure is supplied to the suction head 31 in accordance with the lowering timing. Thereby, the component W supplied through the feeder 40 can be sucked and held by the suction head 31.

あとは、下降状態にある吸着ヘッド31を上昇させてやれば、吸着保持された部品Wは吸着ヘッド31とともに上昇する。これにて、フィーダ40より部品Wが取り出される。   Thereafter, if the suction head 31 in the lowered state is raised, the component W held by suction rises together with the suction head 31. Thus, the part W is taken out from the feeder 40.

そして、部品Wの取り出し作業が完了したら、次に、基板F上に部品を実装するべく、フィーダ上方に位置するヘッドユニット30を作業位置に停止する基板Fの上方に向けて移動させる処理が行われる。   When the work for taking out the component W is completed, a process of moving the head unit 30 located above the feeder toward the upper side of the substrate F stopped at the work position is then performed in order to mount the component on the substrate F. Is called.

これにより、図1の例では、部品Wを保持したヘッドユニット30は基台奥側にあたる図1の紙面上方に移動することとなるが、本実施形態のものは、係る移動過程で後に説明する測定装置50の検出光軸Lを吸着ヘッド31の先端に吸着保持された部品Wが横切ることで(図2参照)、吸着ヘッド31に吸着保持された部品Wの姿勢が検査(以下、検出ともいう)される構成となっている。   Accordingly, in the example of FIG. 1, the head unit 30 holding the component W moves to the upper side of the paper of FIG. 1 on the back side of the base, but this embodiment will be described later in the movement process. When the component W sucked and held at the tip of the suction head 31 crosses the detection optical axis L of the measuring device 50 (see FIG. 2), the posture of the component W sucked and held by the suction head 31 is inspected (hereinafter, both detected) It is configured to say.

そして、検査の結果、部品姿勢に異常がなければ、ヘッドユニット30による部品の実装処理が進められ、作業位置に停止する基板F上に部品Wが実装される。   If there is no abnormality in the component posture as a result of the inspection, the component mounting process by the head unit 30 is advanced, and the component W is mounted on the substrate F that stops at the work position.

次に、測定装置50について説明する。
測定装置50は検出光を出射する投光ユニット60と、出射された検出光を受ける受光ユニット70とから構成されている。両ユニット60、70は共にケーシング61、71内に各種装置を内蔵させたものである。
Next, the measuring apparatus 50 will be described.
The measuring device 50 includes a light projecting unit 60 that emits detection light and a light receiving unit 70 that receives the emitted detection light. Both units 60 and 70 are ones in which various devices are built in casings 61 and 71.

図3に示すように、投光ユニット60は、レーザダイオード等の投光素子62を備えている。係る投光ユニット60は、受光ユニット70と電気的に連なっており、受光ユニット70側の制御回路110より発せられる投光指令に従って、投光素子62をドライブして検出光を出射する構成となっている。   As shown in FIG. 3, the light projecting unit 60 includes a light projecting element 62 such as a laser diode. The light projecting unit 60 is electrically connected to the light receiving unit 70 and is configured to drive the light projecting element 62 and emit detection light in accordance with a light projecting command issued from the control circuit 110 on the light receiving unit 70 side. ing.

受光ユニット70は、投光ユニット60から出射された検出光を受ける受光部80を備えている。受光部80は集光レンズ81とイメージセンサ85とから構成されている。集光レンズ81は検出光を集光させつつイメージセンサ85上に入光させる機能を担うものであり、イメージセンサ85の前方に設置されている。   The light receiving unit 70 includes a light receiving unit 80 that receives the detection light emitted from the light projecting unit 60. The light receiving unit 80 includes a condenser lens 81 and an image sensor 85. The condenser lens 81 has a function of causing the detection light to be incident on the image sensor 85 while condensing the detection light, and is disposed in front of the image sensor 85.

イメージセンサ85は図4に示すように、受光素子(以下、画素とも言う)Pを行列状に配置して受光面86を形成した二次元のものであり、本実施形態のものは、各受光素子Pに増幅素子を組み込んだCMOS(シーモス)ディバイス構造のCOMSイメージセンサを使用している。   As shown in FIG. 4, the image sensor 85 is a two-dimensional sensor in which light receiving elements (hereinafter also referred to as pixels) P are arranged in a matrix to form a light receiving surface 86. A CMOS image sensor having a CMOS (Seamos) device structure in which an amplifying element is incorporated in the element P is used.

尚、CMOSイメージセンサは受光面を構成する複数の受光素子Pの中から、ある受光素子Pを選択して受光信号(信号電荷を内部で増幅して信号電圧にしたもの)を読み出すことが可能なランダムアクセスタイプのディバイスとして知られている。そして、本実施形態に適用のCMOSイメージセンサ85は受光信号の読み出しが垂直ラインVごとに行われる形式となっており、また、読み出し対像となる垂直ラインV1〜V16を任意選択できる。   The CMOS image sensor can read a light reception signal (a signal charge is amplified internally to be a signal voltage) by selecting a light reception element P from a plurality of light reception elements P constituting the light reception surface. It is known as a random access type device. The CMOS image sensor 85 applied to the present embodiment has a format in which a light reception signal is read out for each vertical line V, and the vertical lines V1 to V16 that are read-out images can be arbitrarily selected.

また、CMOSイメージセンサ85が本発明の撮像部に相当しており、垂直ラインV1〜V16が本発明の読み出しラインに相当している。   The CMOS image sensor 85 corresponds to the imaging unit of the present invention, and the vertical lines V1 to V16 correspond to the readout line of the present invention.

図3に戻って、説明を続けると、受光ユニット70には、ユニット全体を制御統括する制御回路110、信号読出回路90、測定回路100が設けられている。   Returning to FIG. 3, the description will be continued. The light receiving unit 70 is provided with a control circuit 110 that controls and controls the entire unit, a signal readout circuit 90, and a measurement circuit 100.

信号読出回路90は制御回路110より与えられる読出指令に従って、CMOSイメージセンサ85から受光信号の読み出しを行うものである。測定回路100は読み出された受光信号のレベルを、予め設定されたレベルと比較することで、読み出しの対像となった受光素子Pが入光レベルにあるか、遮光レベルにあるかを判別するものである。そして、測定回路100により測定された結果は、受光ユニット70とは別に設けられた姿勢検出装置180に信号線を介して出力される構成となっている。   The signal readout circuit 90 reads out the received light signal from the CMOS image sensor 85 in accordance with a readout command given from the control circuit 110. The measurement circuit 100 compares the read light reception signal level with a preset level to determine whether the light receiving element P that is the read image is at the light incident level or the light shielding level. To do. Then, the result measured by the measurement circuit 100 is output to a posture detection device 180 provided separately from the light receiving unit 70 via a signal line.

また、制御回路110には、切り替えスイッチ120、設定部130、記憶部140、入出力部150が電気的に連なっている。   The control circuit 110 is electrically connected to a changeover switch 120, a setting unit 130, a storage unit 140, and an input / output unit 150.

切り替えスイッチ120は、モードの切り替えを行う機能を担うものである。本実施形態では、準備モードと測定モードの2種のモードが設定されており、切り替えスイッチ120により、いずれかのモードを選択できる構成となっている。尚、切り替えスイッチ120の設置場所は作業者が操作し易い場所であれば特に制約はなく、本例では、受光ユニット70のケーシング上面に設けてある(図2参照)。   The changeover switch 120 has a function of switching modes. In the present embodiment, two types of modes, a preparation mode and a measurement mode, are set, and one of the modes can be selected by the changeover switch 120. In addition, there is no restriction | limiting in particular if the installation place of the changeover switch 120 is a place where an operator can operate easily, In this example, it is provided in the casing upper surface of the light-receiving unit 70 (refer FIG. 2).

入出力部150はいわゆるインターフェースであって、そこには、ノート型パーソナルコンピュータ(以下、単にノート型パソコン)200を外部接続できる構成となっている。このようにノート型パソコン200を外部接続するのは、準備モードにおいて行う各種設定作業をノート型パソコン200の機能を借りて行うためである。   The input / output unit 150 is a so-called interface, in which a notebook personal computer (hereinafter simply referred to as a notebook personal computer) 200 can be externally connected. The reason why the notebook personal computer 200 is externally connected is that various setting operations performed in the preparation mode are performed by borrowing the function of the notebook personal computer 200.

ノート型パソコン200の構成は図3、図5に示す通りであり演算機能、制御機能を有するCPU210、表示装置220、ユーザインターフェース(キーボード、タッチパット等)240、入出力部250などから構成されている。尚、ノート型パソコン200は、受光ユニット70に設けられるコネクタ155に接続ケーブルUを介して外部接続される構成となっており、必要に応じて、簡単に取り外せる。   The configuration of the notebook personal computer 200 is as shown in FIG. 3 and FIG. 5, and includes a CPU 210 having a calculation function and a control function, a display device 220, a user interface (keyboard, touch pad, etc.) 240, an input / output unit 250, and the like. Yes. Note that the notebook personal computer 200 is externally connected to a connector 155 provided in the light receiving unit 70 via a connection cable U, and can be easily detached as necessary.

設定部130はノート型パソコン200の指示の下、検出ライン(後に詳しく説明する)Vを設定、変更する機能を担うものである。また、記憶部140は不揮発性とされ、例えばEEPROM、NVRAMより構成される。   The setting unit 130 has a function of setting and changing a detection line (described in detail later) V under the instruction of the notebook computer 200. The storage unit 140 is non-volatile, and is composed of, for example, an EEPROM or NVRAM.

尚、設定部が本発明の検出範囲設定手段に相当しており、また検出ラインV上の受光素子Pが受光面86上において占める範囲が本発明の「検出範囲」に相当している。   The setting unit corresponds to the detection range setting means of the present invention, and the range occupied by the light receiving element P on the detection line V on the light receiving surface 86 corresponds to the “detection range” of the present invention.

上記した両ユニット60、70は各ケーシング61、71の前面が投受光窓63、73とされており、これら投受光窓63、73を対向させつつ、基台11の図1に示す下部寄りの領域において、左右両側に振り分けられて配置される。これにより、両ユニット60、70により形成される検出光軸Lが部品Wの移動経路にほぼ直交し、フィーダ40から基板Fへ向かう部品Wが検出光軸Lを横切る設定となる。   In the above-described units 60 and 70, the front surfaces of the casings 61 and 71 are the light projecting and receiving windows 63 and 73, respectively. In the area, they are arranged on both the left and right sides. As a result, the detection optical axis L formed by the units 60 and 70 is substantially orthogonal to the movement path of the component W, and the component W heading from the feeder 40 to the substrate F crosses the detection optical axis L.

以下、両ユニット60、70の取り付け作業が完了した後、部品Wの検出が行われるまでの一連の流れについて説明する。   Hereinafter, a series of flows from the completion of the mounting operation of both units 60 and 70 to the detection of the component W will be described.

投光ユニット60、受光ユニット70を図1に示すように大まか対向配置できたら、続いて光軸調整作業を行う必要がある。   If the light projecting unit 60 and the light receiving unit 70 can be roughly arranged opposite to each other as shown in FIG.

それには、まず切り替えスイッチ120を操作して準備モードを選択するとともに、接続ケーブルUを介して受光ユニット70にノート型パソコン200を外部接続させる。そして、投光ユニット60より検出光を出射させ、これを受光ユニット70により受光させる作業を行う。   For this purpose, first, the selector switch 120 is operated to select the preparation mode, and the notebook personal computer 200 is externally connected to the light receiving unit 70 via the connection cable U. Then, the detection light is emitted from the light projecting unit 60 and the light receiving unit 70 receives the detection light.

本実施形態では、準備モードが選択されている場合には、制御回路110が信号読出回路90に全垂直ラインV1〜V16(すなわち、1フレーム)の受光信号を読み出す旨の読出指令を与える。   In the present embodiment, when the preparation mode is selected, the control circuit 110 gives the signal readout circuit 90 a readout command for reading out the received light signals of all the vertical lines V1 to V16 (that is, one frame).

これにより、信号読出回路90は各垂直ラインVごとに受光信号を順に読み出してゆく。そして、読み出された受光信号は制御回路110の指令の下、読み出し元となった受光素子Pの位置情報と共に、入出力部150を通じてノート型パソコン200に送られる。尚、ここでいう、受光素子Pの位置情報というのは、受光素子Pの列アドレス、行アドレスのことである。   As a result, the signal readout circuit 90 sequentially reads the received light signal for each vertical line V. Then, under the instruction of the control circuit 110, the read light reception signal is sent to the notebook computer 200 through the input / output unit 150 together with the position information of the light receiving element P that is the reading source. Here, the position information of the light receiving element P is a column address and a row address of the light receiving element P.

一方、ノート型パソコン200では受光素子Pの位置情報、受光信号を受けると、CPU210の指令の下、表示制御がなされて表示装置220の表示画面230上に、COMSイメージセンサ85上に入光した検出光の受光像Zを表示させる。   On the other hand, when the notebook personal computer 200 receives the position information and light reception signal of the light receiving element P, display control is performed under the instruction of the CPU 210 and the light enters the COMS image sensor 85 on the display screen 230 of the display device 220. A received light image Z of the detection light is displayed.

より具体的に説明すると、本実施形態のものは図6に示すように、表示装置220の表示画面230は第一表示領域231と、第二表示領域235に区分されており、図6に示す左側の第一表示領域231中に受光像Zが表示される。   More specifically, as shown in FIG. 6, the display screen 230 of the display device 220 is divided into a first display area 231 and a second display area 235, as shown in FIG. The received light image Z is displayed in the first display area 231 on the left side.

尚、このとき、検出光がイメージセンサ85の受光面86に対して受光面中央から外れた位置に入光している場合には、それに対応して受光像Zは第一表示領域231の中央から外れた位置に表示される。   At this time, when the detection light is incident on the light receiving surface 86 of the image sensor 85 at a position deviating from the center of the light receiving surface, the received light image Z correspondingly corresponds to the center of the first display region 231. It is displayed at a position off the screen.

従って、第一表示領域231中に表示される受光像Zの位置を参照することで、投光ユニット60より出射された検出光が、CMOSイメージセンサ85の中央部分に正しく入光しているか、どうか簡単に視認により判別できる。   Therefore, by referring to the position of the light reception image Z displayed in the first display area 231, whether the detection light emitted from the light projecting unit 60 is correctly incident on the central portion of the CMOS image sensor 85, It can be easily discriminated by visual recognition.

図6の例では、受光像Zが第一表示領域231の中心から左に外れているから、このような場合には、投光ユニット60の設置角度を表示画面を参照しつつ調整することで、図7に示すように、投光ユニット60より出射された検出光が、CMOSイメージセンサ85の中央部分に正しく入光するように、検出光軸Lの向きを簡単に調整できる。   In the example of FIG. 6, the received light image Z deviates to the left from the center of the first display area 231. In such a case, the installation angle of the light projecting unit 60 can be adjusted with reference to the display screen. As shown in FIG. 7, the direction of the detection optical axis L can be easily adjusted so that the detection light emitted from the light projecting unit 60 is correctly incident on the central portion of the CMOS image sensor 85.

尚、第一表示領域231の表示内容が図6の表示内容から図7の表示内容に更新されるのは、準備モード中、受光ユニット70が定期的に受光信号の読み出しを行い、これをノート型パソコン200に送信しているからである。すなわち、受光ユニット70では、制御回路110の指令の下、全垂直ラインV1〜V16(すなわち、1フレーム)の受光信号を読み出す処理を定期的に行なっており、信号の読み出し処理を行う都度、読み出し元となった受光素子Pの位置情報と受光信号とをノート型パソコン200に送信している。そして、受光素子Pの位置情報、受光信号を受けると、ノート型パソコン200側ではCPU210の指令の下、表示内容を更新する処理が行なわれる結果、準備モード中、第一表示領域231の表示内容が常に更新される構成となっている。   Note that the display content of the first display area 231 is updated from the display content of FIG. 6 to the display content of FIG. 7 because the light receiving unit 70 periodically reads the light reception signal during the preparation mode. This is because it is transmitted to the personal computer 200. That is, in the light receiving unit 70, under the command of the control circuit 110, the process of reading the light reception signals of all the vertical lines V1 to V16 (that is, one frame) is periodically performed. The original position information and light reception signal of the light receiving element P are transmitted to the notebook computer 200. When the position information and light reception signal of the light receiving element P are received, the notebook personal computer 200 side performs a process of updating the display content under the instruction of the CPU 210. As a result, the display content of the first display area 231 is displayed during the preparation mode. Is constantly updated.

さて、ここまで述べてきたように、準備モードにおいては、CMOSイメージセンサ85を二次元的に使用して、検出光がCMOSイメージセンサ85上に入光して出来る受光像を2次元的な平面画像として表示させた。   As described above, in the preparation mode, the CMOS image sensor 85 is used two-dimensionally, and a received light image formed by detecting light entering the CMOS image sensor 85 is displayed in a two-dimensional plane. It was displayed as an image.

これに対して、後に説明する測定モードにおいては、CMOSイメージセンサ85を一次元的に使用、すなわち一の垂直ラインVだけ使用し、他のラインについては使用しない構成をとっている。   On the other hand, in the measurement mode described later, the CMOS image sensor 85 is used one-dimensionally, that is, only one vertical line V is used and the other lines are not used.

そのため、図7に示すように、出射された検出光がCMOSイメージセンサ85の中央部分に正しく入光するように光軸調整することができたら、測定モードにて使用する垂直ライン、すなわち検出ラインVを設定する必要がある。   Therefore, as shown in FIG. 7, if the optical axis can be adjusted so that the emitted detection light is correctly incident on the central portion of the CMOS image sensor 85, the vertical line used in the measurement mode, that is, the detection line is used. V needs to be set.

本実施形態では、受光ユニット70の設定部130が、検出ラインVの設定を管轄しており、検出ラインVの位置情報を記憶保管しているが、これをノート型パソコン200にて変更操作できるようになっている。   In this embodiment, the setting unit 130 of the light receiving unit 70 has jurisdiction over the setting of the detection line V, and stores and stores the position information of the detection line V. However, this can be changed by the notebook computer 200. It is like that.

具体的に説明すると、ユーザインターフェース240を用いて第二表示領域235の下部側に表示されている「ライン表示」のパネルを選択すると、CPU210の表示制御の下、第一表示領域231上に、受光像Zと検出ラインVが同時表示される設定となっている(図8参照)。すなわち、第一表示領域231のうち、その時点において設定されている検出ラインVに対応する一列が、色付きのラインなどで表示される。   More specifically, when the “line display” panel displayed on the lower side of the second display area 235 is selected using the user interface 240, the first display area 231 is displayed under the display control of the CPU 210. The received light image Z and the detection line V are set to be displayed simultaneously (see FIG. 8). That is, in the first display area 231, one column corresponding to the detection line V set at that time is displayed with a colored line or the like.

上記により、本発明の「前記表示装置は、前記各読み出しラインの受光信号の信号レベルの高低を像として表した受光像と、前記検出範囲(ここでは、検出ラインV)の双方を、互いの相対的な位置関係が目視可能なように表示画面上に同時に表示させる」が具現化されている。   As described above, according to the present invention, “the display device displays both the received light image representing the level of the received light signal level of each readout line as an image and the detection range (here, the detection line V). “Display simultaneously on the display screen so that the relative positional relationship is visible” is embodied.

そして、検出ラインVが第一表示領域231上に表示されている状態で、ユーザインターフェース240を用いて所定操作(例えば、左右キーを押す)を行うと、係る操作をノート型パソコン200のCPU210が読み取って、検出ラインVの位置を操作方向に変更させる指示を受光ユニット70に送る。   When a predetermined operation (for example, pressing a left / right key) is performed using the user interface 240 in a state where the detection line V is displayed on the first display area 231, the CPU 210 of the notebook computer 200 performs the operation. An instruction to read and change the position of the detection line V in the operation direction is sent to the light receiving unit 70.

上記により、本発明の「前記外部設定装置(ここでは、ノート型パソコン200)は前記検出範囲を設定変更操作するための設定操作部(ここでは、ユーザインターフェース240)を備え、同設定操作部の操作に対応する前記指示を前記測定装置(ここでは、受光ユニット70)の検出範囲設定手段(設定部130)に送る構成」が具現化されている。   As described above, the “external setting device (here, the notebook personal computer 200) of the present invention includes the setting operation unit (here, the user interface 240) for performing the setting change operation of the detection range. A configuration in which the instruction corresponding to the operation is sent to the detection range setting means (setting unit 130) of the measurement apparatus (here, the light receiving unit 70) is embodied.

CPU250より送られた変更指示は、受光ユニット70の設定部130に入力される。これにより、設定部130では検出ラインVの位置を操作方向に変更する処理が行われる。すなわち、記憶保管されている検出ラインVの位置情報が書き換えられる。   The change instruction sent from the CPU 250 is input to the setting unit 130 of the light receiving unit 70. Thereby, the setting unit 130 performs a process of changing the position of the detection line V in the operation direction. That is, the stored position information of the detection line V is rewritten.

そして、検出ラインVの位置情報が設定部130により書き換えられると、制御回路110の指令の下、書き換えられた検出ラインVの位置情報を記憶部140にバックアップさせる処理が行われる。   When the position information of the detection line V is rewritten by the setting unit 130, a process for backing up the rewritten position information of the detection line V in the storage unit 140 is performed under the instruction of the control circuit 110.

上記処理が終了すると、今度は、制御回路110の指令の下、受光ユニット70側からノート型パソコン200側に変更された最新の検出ラインVについての位置情報が送信される。尚、このとき、信号読出回路90により読み出された全垂直ラインV1〜V16の受光信号についても、読み出し元の受光素子Pの位置情報と共にノート型パソコン200に同時に送信される。   When the above process is completed, the position information about the latest detection line V changed from the light receiving unit 70 side to the notebook personal computer 200 side is transmitted under the instruction of the control circuit 110. At this time, the light reception signals of all the vertical lines V1 to V16 read by the signal reading circuit 90 are simultaneously transmitted to the notebook computer 200 together with the position information of the light receiving element P as a reading source.

上記により、本発明の「前記測定装置の前記制御手段(ここでは、制御回路110)は、前記準備モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段(ここでは、設定部130)によって検出範囲(ここでは、検出ライン)が設定変更されるごとに、前記検出範囲の位置情報と共に、前記信号読出手段(ここでは、信号読出回路90)にて読み出された各読み出しライン(ここでは、全垂直ライン)の受光信号を前記外部の表示装置に対して出力させる」が具現化されている。   As described above, according to the present invention, the “control means (here, the control circuit 110) of the measuring device is controlled by the detection range setting means (here, the setting unit 130) when the preparation mode is selected. Each time the setting of the detection range (here, the detection line) is changed, together with the position information of the detection range, each readout line (here, the signal readout circuit 90) read out by the signal readout means (here, the signal readout circuit 90). , All vertical lines) are output to the external display device.

その後、ノート型パソコン200では、CPU210の指令の下、送信されてきた検出ラインVの位置情報、受光信号についての各情報に基づいて、第一表示領域231上の表示内容を更新する。   Thereafter, the notebook personal computer 200 updates the display content on the first display area 231 based on the transmitted position information of the detection line V and information on the received light signal under the instruction of the CPU 210.

かくして、検出ラインVを変更するべくユーザインターフェース240に対して行った操作が第一表示領域231中に反映される。すなわち、検出ラインVを左に移動させる操作を行った場合であれば、第一表示領域231内に表示される検出ラインVの位置が左に移動する。尚、このとき、第一表示領域231内には受光像Zも無論同時表示され、互いの相対的な位置関係を確認することができるようになっている。   Thus, the operation performed on the user interface 240 to change the detection line V is reflected in the first display area 231. That is, if an operation for moving the detection line V to the left is performed, the position of the detection line V displayed in the first display area 231 moves to the left. At this time, the received light image Z is of course simultaneously displayed in the first display area 231 so that the relative positional relationship between them can be confirmed.

従って、上記変更操作を繰り返し行うことで、図8に示すように受光像Zの中心から外れた状態にある検出ラインVを、図9に示すように受光像Zの中心に簡単に位置合わせできる。   Therefore, by repeatedly performing the above change operation, the detection line V in a state deviated from the center of the received light image Z as shown in FIG. 8 can be easily aligned with the center of the received light image Z as shown in FIG. .

これにて、準備モードにて必要な設定作業は全て完了する。あとは、接続ケーブルUを受光ユニット70のコネクタ185から外してやれば、ノート型パソコン200を受光ユニット70から取り外せる。   This completes all the setting operations required in the preparation mode. After that, if the connection cable U is disconnected from the connector 185 of the light receiving unit 70, the notebook computer 200 can be detached from the light receiving unit 70.

そして、本実施形態では、ノート型パソコン200の取り外し作業を行うと、受光ユニット70の設定部130にアクセスする術がなくなり、再びノート型パソコン200を外部接続しない限り検出ラインVの設定を変更できないようになっている。このようにしておけば、検出ラインVの位置が意に反して勝手に変更されてしまうことを、未然に防止できる。   In this embodiment, when the notebook personal computer 200 is removed, there is no way to access the setting unit 130 of the light receiving unit 70, and the setting of the detection line V cannot be changed unless the notebook personal computer 200 is externally connected again. It is like that. By doing so, it is possible to prevent the position of the detection line V from being changed unexpectedly.

尚、本実施形態では、上記した検出ラインVの設定操作の過程で、第二表示領域235の下部に表示される「画素指定」のパネルを選択すると、検出ラインV上に一列状に並ぶ全受光素子Pの中から、一部の受光素子Pを検出対像として指定することができる。   In the present embodiment, when the “pixel designation” panel displayed in the lower part of the second display area 235 is selected in the process of setting the detection line V, all the lines arranged in a line on the detection line V are selected. Among the light receiving elements P, a part of the light receiving elements P can be designated as a detection image.

例えば、図10に示すように、検出ラインとしてV10のラインを選択し、更に、同ラインV10に並ぶ全受光素子P1〜P14のうち、中央部分のP4〜P11の受光素子を検出対像として指定できる。   For example, as shown in FIG. 10, the line V10 is selected as the detection line, and among all the light receiving elements P1 to P14 arranged in the line V10, the light receiving elements P4 to P11 in the central portion are designated as the detection image. it can.

このような構成としておけば、図11に示すように受光像(受光スポット)Zの大きさに合わせて検出ラインVを設定できる。言い換えれば、検出ラインV上の画素を絞り込むことで、検出対像の画素数を減らすことができから、受光信号の読み出しに必要な時間、その他読み出された信号を処理するのに必要な時間を短縮でき、検出処理を高速で行なうことが可能となる。   With such a configuration, the detection line V can be set in accordance with the size of the light reception image (light reception spot) Z as shown in FIG. In other words, by narrowing down the pixels on the detection line V, it is possible to reduce the number of pixels in the detected image, so that the time required to read the received light signal and the other time required to process the read signal And the detection process can be performed at high speed.

尚、上記例では検出対像としてP4〜P11の受光素子を指定してあるが、係る例におけるP4〜P11の受光素子が受光面86上において占める範囲が本発明の「検出範囲」となる。   In the above example, the light receiving elements P4 to P11 are designated as the detection image, but the range occupied by the light receiving elements P4 to P11 on the light receiving surface 86 in this example is the “detection range” of the present invention.

そして、「画素指定」のパネルを選択して操作を行った情報は、検出ラインVの位置情報と共に、受光ユニット70の設定部130により記憶保管され、また記憶部140にバックアップされる構成となっている。   Information obtained by selecting and operating the “pixel designation” panel is stored and stored by the setting unit 130 of the light receiving unit 70 together with the position information of the detection line V, and is backed up in the storage unit 140. ing.

さて、ここからは、測定装置50、姿勢検出装置180により行われる部品姿勢の検査処理を具体的に説明してゆく。検査処理を開始するには、切り替えスイッチ120を操作してモードを準備モードから測定モードに切り替えてやればよく、これを行うと、制御回路110は設定部130から検出ラインVに関する情報を読み出し、信号読出回路90に検出ラインVの受光信号のみを読み出す旨の読出指令を与える。   Now, the component posture inspection processing performed by the measurement device 50 and the posture detection device 180 will be specifically described. In order to start the inspection process, it is only necessary to operate the changeover switch 120 to switch the mode from the preparation mode to the measurement mode. When this is done, the control circuit 110 reads the information about the detection line V from the setting unit 130, A readout command for reading out only the light reception signal of the detection line V is given to the signal readout circuit 90.

これにより、CMOSイメージセンサ85は準備モードの二次元的な使用状態から、一ラインのみ使用する一次元的な使用状態に自動的に切り替わる。   Thereby, the CMOS image sensor 85 automatically switches from the two-dimensional use state in the preparation mode to the one-dimensional use state in which only one line is used.

あとは、部品実装機10側の制御回路(不図示)から、吸着ヘッド31の移動タイミングを知らせるタイミング信号Srが入力されると、以下の要領で測定が自動的に開始される。   After that, when a timing signal Sr notifying the movement timing of the suction head 31 is input from a control circuit (not shown) on the component mounter 10 side, the measurement is automatically started in the following manner.

順に説明してゆくと、制御回路110は上記タイミング信号Srを受けると、吸着ヘッド31に吸着保持された部品Wが検出光軸Lを横切るタイミングに合わせて投光ユニット60に投光指令を与えて投光素子62をパルス点灯させる。   To explain sequentially, upon receiving the timing signal Sr, the control circuit 110 gives a light projection command to the light projecting unit 60 in accordance with the timing at which the component W sucked and held by the suction head 31 crosses the detection optical axis L. Then, the light projecting element 62 is turned on in pulses.

すると、投光素子62より出射された検出光は、集光レンズ81により集光されつつ、CMOSイメージセンサ85の受光面86上に入光する。このとき、検出光の一部が吸着ヘッド31及び、それに吸着保持された部品Wに遮られる。従って、CMOSイメージセンサ85の受光面86には、図12に示すように遮られた部分(同図においてハッチングで示す)だけ信号レベルが低い、部分欠けの受光像Zができる。   Then, the detection light emitted from the light projecting element 62 enters the light receiving surface 86 of the CMOS image sensor 85 while being collected by the condenser lens 81. At this time, a part of the detection light is blocked by the suction head 31 and the part W held by suction. Accordingly, a partially missing light-receiving image Z having a low signal level can be formed on the light-receiving surface 86 of the CMOS image sensor 85 as shown in FIG.

そして、受光像Zの形成に合わせて、信号読出回路90は検出ラインV上の受光素子Pから受光信号を順に読み出してゆく。その後、読み出された受光信号は測定回路100に入力される。   Then, in accordance with the formation of the received light image Z, the signal readout circuit 90 sequentially reads the received light signal from the light receiving element P on the detection line V. Thereafter, the read light reception signal is input to the measurement circuit 100.

測定回路100では、読み出された各受光信号のレベルが入光レベルにあるか、遮光レベルにあるかを検出する処理が行なわれ、検出ラインV上において受光信号のレベルが入光レベルから遮光レベル、或いは遮光レベルから入光レベルに切り替わる入遮光位置が測定される。   In the measurement circuit 100, processing is performed to detect whether the read light receiving signal level is at the incident light level or the light shielding level, and the light receiving signal level is shielded from the incident light level on the detection line V. The level or the incident / light-shielding position at which the light-shielding level is switched to the incident light level is measured.

本例であれば、部品下面より上側は遮光状態となるのに対して、部品下面より下側は入光状態となる。   In this example, the upper side from the lower surface of the component is in a light shielding state, whereas the lower side from the lower surface of the component is in a light incident state.

従って、吸着ヘッド31に部品Wが正しく保持された図12の(1)の場合には、入遮光位置は(c)の位置となる。一方、吸着ヘッド31に部品Wが立った姿勢で保持された図12の(2)の場合には、(d)の位置が入遮光位置となる。   Accordingly, in the case of (1) in FIG. 12 in which the component W is correctly held on the suction head 31, the incident / light-shielding position is the position (c). On the other hand, in the case of (2) in FIG. 12 in which the component W is held on the suction head 31 in a standing posture, the position (d) is the incident light shielding position.

そして、入遮光位置のデータは測定回路100から姿勢検出装置180に出力され、姿勢検出装置180にて入遮光位置のデータに応じた処理が行われる。   Then, the light incident / shielding position data is output from the measurement circuit 100 to the posture detection device 180, and the posture detection device 180 performs processing according to the data of the light shielding / shading position.

すなわち、姿勢検出装置180は入遮光位置は(c)の位置であるとするデータを受け取った場合、「正常保持」と判定し、部品実装処理を進める旨の制御信号を部品実装機10に送る。これにより、部品実装機10の主導の下、作業位置に停止する基板Fに部品Wを実装する実装処理が進められることとなる。   That is, when the posture detection device 180 receives data indicating that the incident / light-shielding position is the position (c), the posture detection device 180 determines “normally held” and sends a control signal to the component mounter 10 to advance the component mounting process. . As a result, under the initiative of the component mounter 10, the mounting process of mounting the component W on the board F stopped at the work position is advanced.

一方、姿勢検出装置180は入遮光位置は(d)の位置であるとするデータを受け取った場合、「保持エラー」と判定し、エラー信号を部品実装機10に送る。これにより、部品実装機10においてエラー処理が行われることとなる。   On the other hand, when the posture detection device 180 receives data indicating that the incident / light-shielding position is the position (d), it determines that it is a “holding error” and sends an error signal to the component mounter 10. As a result, error processing is performed in the component mounter 10.

そして、上記要領で部品Wの姿勢検出、部品Wの実装処理が繰り返し行われることで、基板Fに対する部品Wの実装処理が進められることとなる。   Then, the mounting process of the component W on the board F is advanced by repeatedly performing the posture detection of the component W and the mounting process of the component W in the above manner.

さて、実装処理が一通り完了すると、部品実装機10、測定装置50はいずれも電源を落とされることとなるが、本実施形態の測定装置50では、電源の再投入時には、バックアップされている検出ラインVの情報を記憶部140から読み出す処理を制御回路100が行うようにしてある。そして、制御回路100指令の下、設定部130が検出ラインの情報を、バックアップされていた検出ラインVの情報に書き換える処理を行うように構成してある。   Now, when the mounting process is completed, both the component mounter 10 and the measuring device 50 are turned off. However, in the measuring device 50 of this embodiment, when the power is turned on again, the backup detection is performed. The control circuit 100 is configured to perform processing for reading the information on the line V from the storage unit 140. Then, under the control circuit 100 command, the setting unit 130 is configured to perform a process of rewriting the information on the detection line with the information on the detection line V that has been backed up.

このようにしておけば、電源の入り切りに拘わらず、作業者により設定された検出ラインVの設定が維持されるので、使い勝手がよい。   By doing so, the setting of the detection line V set by the operator is maintained regardless of whether the power is turned on or off, which is convenient.

次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態では、CMOSイメージセンサ85をモードに応じてソフト的に使い分けている。すなわち準備モードではCMOSイメージセンサ85を二次元的に使用し、測定モードではCMOSイメージセンサ85を一次元的に使用している。従って、CMOSイメージセンサ85それ自体は1つで済むから部品増とならない上、二次元としてのメリット(光軸調整作業の容易化)、及び一次元としてのメリット(高速処理)の双方を共に発揮することが可能である。
Next, the effect of this embodiment will be described.
In this embodiment, the CMOS image sensor 85 is properly used in accordance with the mode. That is, the CMOS image sensor 85 is used two-dimensionally in the preparation mode, and the CMOS image sensor 85 is used one-dimensionally in the measurement mode. Therefore, since only one CMOS image sensor 85 is required, the number of components is not increased, and both the two-dimensional advantage (easiness of optical axis adjustment work) and the one-dimensional advantage (high-speed processing) are exhibited. Is possible.

また、本実施形態のものは、ノート型パソコン200を介して指示を行うことで、検出ラインVの位置を変更できるので、以下のメリットも得られる。   Moreover, since the position of the detection line V can be changed by giving an instruction via the notebook computer 200 in the present embodiment, the following advantages can also be obtained.

例えば、固定的に設定された、狭い1次元の検出ラインVに受光像Zの位置を合わせようとすると、投光側と受光側の向きを微調整することが必要となる。このような微調整作業は、作業者の経験、手馴れに頼るところが大きく、経験が浅い場合には一般に手間が掛かり、作業性を悪くする。   For example, in order to align the position of the received light image Z with a fixed one-dimensional detection line V that is fixedly set, it is necessary to finely adjust the directions of the light projecting side and the light receiving side. Such fine adjustment work relies heavily on the experience and familiarity of the operator. If the experience is inexperienced, it usually takes time and deteriorates workability.

この点、本実施形態では、検出ラインVの位置を変更できるから、二次元イメージセンサCMOS85の受光面86から受光像(受光スポット)Zが外れないように位置合わせを行う大まかな光軸調整は必要なものの、受光面86上に受光像Zが入れば、その位置に合わせて検出ラインVを設定できる。   In this respect, in the present embodiment, since the position of the detection line V can be changed, rough optical axis adjustment for performing alignment so that the light reception image (light reception spot) Z does not deviate from the light reception surface 86 of the two-dimensional image sensor CMOS 85 is performed. Although necessary, if the received light image Z enters the light receiving surface 86, the detection line V can be set according to the position.

従って、検出光軸Lの微調整作業(固定的に設定された一次元の検出ラインに対して受光像を合わせ込む作業)を廃止することができ、光軸の調整作業を大幅に簡素化できる。尚、この場合、受光像Zの位置に合わせて検出ラインVを設定する作業それ自体は必要であるが、検出ラインVの設定はキー操作等により行うことが可能であるから、検出光軸Lを微調整することに比べて極めて簡単に実施できる。   Therefore, the fine adjustment work of the detection optical axis L (the work of aligning the received light image with the fixed one-dimensional detection line) can be eliminated, and the optical axis adjustment work can be greatly simplified. . In this case, the operation itself of setting the detection line V in accordance with the position of the received light image Z is necessary. However, since the detection line V can be set by a key operation or the like, the detection optical axis L Compared with fine-tuning, it is very easy to implement.

また、本実施形態の構成(イメージセンサ85を2次元的な使用と一次元的な使用に、ソフト的に使い分ける)を満足するには、イメージセンサ85は任意ラインを指定して信号の読み出しが出来るものであることが必要とされる。この点、CMOSイメージセンサ85であれば、汎用品でも上記要請に対応できるから、本測定装置50の構成として最適である。   In addition, in order to satisfy the configuration of the present embodiment (the image sensor 85 is used for two-dimensional use and one-dimensional use in terms of software), the image sensor 85 designates an arbitrary line and reads out a signal. It must be possible. In this regard, the CMOS image sensor 85 is optimal as the configuration of the measuring apparatus 50 because a general-purpose product can meet the above-described requirements.

<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

(1)上記実施形態では、2次元のCMOSイメージセンサ85を受光部80に用いたが、受光素子を二次元的に配置し、かつ任意ラインを選択して、受光信号を読み出すことができるものであれよく、例えば、一次元のラインセンサを複数個並べて受光面を構成するものであってもよい。   (1) In the above embodiment, the two-dimensional CMOS image sensor 85 is used for the light receiving unit 80. However, the light receiving element can be two-dimensionally arranged and an arbitrary line can be selected to read a light reception signal. For example, a light receiving surface may be configured by arranging a plurality of one-dimensional line sensors.

(2)上記実施形態では、準備モードが選択されている場合に、2次元のCMOSイメージセンサ85の全垂直ラインV1〜V16(すなわち、1フレーム)の受光信号を読み出すようにしたが、2次元な使用であればよく、例えば、CMOSイメージセンサ85の全垂直ラインV1〜V16のうち、中央寄りのライン(例えば、V3〜V14など)の受光信号のみを読み出す構成としてもよい。   (2) In the above embodiment, when the preparation mode is selected, the light reception signals of all the vertical lines V1 to V16 (that is, one frame) of the two-dimensional CMOS image sensor 85 are read. For example, a configuration may be adopted in which only the light reception signals of the lines closer to the center (for example, V3 to V14) of all the vertical lines V1 to V16 of the CMOS image sensor 85 are read out.

本実施形態に適用された部品実装機の平面図Plan view of a component mounter applied to this embodiment 吸着ヘッドに保持された部品が検出光軸を横切る状態を示す斜視図The perspective view which shows the state in which the components hold | maintained at the suction head cross a detection optical axis 測定装置の電気的構成を示すブロック図Block diagram showing the electrical configuration of the measuring device CMOSイメージセンサの受光面を示す図The figure which shows the light-receiving surface of the CMOS image sensor 受光ユニットにノート型パソコンを接続した状態を示す図The figure which shows the state where the notebook type personal computer is connected to the light receiving unit ノート型パソコンの表示画面を示す図Figure showing the display screen of a notebook computer ノート型パソコンの表示画面を示す図Figure showing the display screen of a notebook computer ノート型パソコンの表示画面を示す図Figure showing the display screen of a notebook computer ノート型パソコンの表示画面を示す図Figure showing the display screen of a notebook computer 検出ラインの中から一部の画素を指定した様子を示す図A figure showing how some pixels are specified from the detection line ノート型パソコンの表示画面を示す図Figure showing the display screen of a notebook computer 部品の姿勢と入射光位置の関係を示す図Diagram showing the relationship between component posture and incident light position

符号の説明Explanation of symbols

50…測定装置
60…投光ユニット
61…投光素子(本発明の「投光手段」に相当)
70…受光ユニット
80…受光部(本発明の「受光手段」に相当)
81…集光レンズ
85…CMOSイメージセンサ(本発明の「撮像部」に相当)
90…信号読出回路(本発明の「信号読出手段」に相当)
100…測定回路(本発明の「測定手段」に相当)
110…制御回路(本発明の「制御手段」、「記憶制御手段」に相当)
120…切り替えスイッチ(本発明の「モード切替手段」に相当)
130…設定部(本発明の「検出範囲設定手段」に相当)
140…記憶部(本発明の「記憶手段」に相当)
180…姿勢検出装置
200…ノート型パソコン(本発明の「外部装置」、「外部設定装置」に相当)
210…CPU
220…表示装置
240…ユーザインターフェース(本発明の「設定操作部」に相当)
L…検出光軸
W…部品(本発明の「移動物体」、「被検出物」に相当)
V1〜V16…垂直ライン(本発明の「読み出しライン」に相当)
V…検出ライン(本発明の「検出範囲」に相当)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 ... Measuring apparatus 60 ... Light projection unit 61 ... Light projection element (equivalent to the "light projection means" of this invention)
70: Light receiving unit 80: Light receiving unit (corresponding to “light receiving means” of the present invention)
81 ... Condensing lens 85 ... CMOS image sensor (corresponding to "imaging part" of the present invention)
90... Signal readout circuit (corresponding to “signal readout means” of the present invention)
100: Measuring circuit (corresponding to “measuring means” of the present invention)
110... Control circuit (corresponding to “control means” and “storage control means” of the present invention)
120... Changeover switch (corresponding to “mode switching means” of the present invention)
130... Setting unit (corresponding to “detection range setting means” of the present invention)
140... Storage section (corresponding to “storage means” of the present invention)
180 ... posture detection device 200 ... notebook type personal computer (corresponding to "external device" and "external setting device" of the present invention)
210 ... CPU
220 ... display device 240 ... user interface (corresponding to "setting operation unit" of the present invention)
L: Detection optical axis W: Parts (corresponding to “moving object” and “detected object” of the present invention)
V1 to V16... Vertical line (corresponding to “read line” of the present invention)
V: Detection line (corresponding to “detection range” of the present invention)

Claims (8)

二次元状に配置される複数の受光素子からなるとともに、受光信号の読み出しが、同一方向に並ぶ読み出しラインのうち任意の読み出しラインを指定して行うことが可能とされた撮像部を有する受光手段と、
検出光を出射し前記受光手段と共に被検出物を検出する検出光軸を構成する投光手段と、
前記撮像部を構成する前記受光素子から受光信号を読み出す信号読出手段と、
前記撮像部の全読み出しラインの中から一ライン上の受光素子を、外部装置の指示に基づいて検出範囲として設定する検出範囲設定手段と、
前記検出範囲の設定を行う準備モードと、設定された検出範囲を構成する受光素子に基づいて測定を行う測定モードとにモードを切り換えるモード切替手段と、
前記信号読出手段に読出指令を与える制御手段と、
測定手段と、からなる測定装置であって、
前記制御手段は、前記準備モードが選択されている場合には、連続する複数の読み出しラインの受光信号を読み出す旨の読出指令を前記信号読出手段に与えると共に、前記信号読出手段にて読み出された各読み出しラインの受光信号を外部の表示装置に対して出力させる一方、
前記測定モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段により設定された検出範囲の受光信号のみを読み出す旨の読出指令を前記信号読出手段に与え、
前記測定手段は、前記測定モードにおいて、前記信号読出手段を通じて読み出された各受光信号のレベルが入光レベルにあるか、遮光レベルにあるかを検出する処理を行うことにより、検出範囲上において受光信号のレベルが入光レベルから遮光レベル、或いは遮光レベルから入光レベルに切り替わる入遮光位置を測定して出力することを特徴とする測定装置。
A light receiving means comprising a plurality of light receiving elements arranged two-dimensionally, and having an image pickup unit that can read out a received light signal by designating an arbitrary read line among read lines arranged in the same direction. When,
A light projecting means that constitutes a detection optical axis that emits detection light and detects the object to be detected together with the light receiving means;
A signal reading means for reading a light reception signal from the light receiving element constituting the imaging unit;
Detection range setting means for setting a light receiving element on one line out of all readout lines of the imaging unit as a detection range based on an instruction from an external device;
Mode switching means for switching the mode between a preparation mode for setting the detection range and a measurement mode for performing measurement based on a light receiving element constituting the set detection range;
Control means for giving a read command to the signal reading means;
A measuring device comprising measuring means,
When the preparation mode is selected, the control means gives a read command for reading the light reception signals of a plurality of continuous read lines to the signal read means and is read by the signal read means. While outputting the light reception signal of each readout line to an external display device,
When the measurement mode is selected, a read command for reading only the light reception signal in the detection range set by the detection range setting unit is given to the signal reading unit,
In the measurement mode, the measuring means performs processing for detecting whether the level of each received light signal read out through the signal reading means is at the incident light level or the light shielding level, and thereby on the detection range. A measuring apparatus for measuring and outputting an incident / light-shielding position at which a level of a light-receiving signal switches from an incident light level to a light-shielding level, or from a light-shielding level to an incident light level.
前記受光手段は、
前記撮像部として二次元のCMOSイメージセンサと、
前記検出光を前記CMOSイメージセンサ上に集光させつつ入光させる集光レンズと、を備えることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
The light receiving means is
A two-dimensional CMOS image sensor as the imaging unit;
The measuring apparatus according to claim 1, further comprising: a condensing lens that condenses the detection light on the CMOS image sensor while entering the light.
前記検出範囲設定手段は、読み出し方向に沿った同一ライン上に位置する一列全ての受光素子のうち、一部の受光素子を、外部装置からの指示に基づいて、検出範囲として設定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の測定装置。 The detection range setting means sets a part of the light receiving elements among all the light receiving elements located on the same line along the reading direction as a detection range based on an instruction from an external device. The measuring apparatus according to claim 1 or 2. 前記外部装置が前記測定装置より取り外し可能とされたものにおいて、
前記検出範囲設定手段は、前記外部装置からの指示に基づいてのみ前記検出範囲の設定を変更することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の測定装置。
In the external device that is removable from the measuring device,
The measurement apparatus according to claim 1, wherein the detection range setting unit changes the setting of the detection range only based on an instruction from the external device.
不揮発性の記憶手段と、
前記検出範囲設定手段で設定された検出範囲を前記記憶手段に記憶させる記憶制御手段とを設け、前記検出範囲設定手段は、電源が再投入されることを条件として、検出範囲を前記記憶手段に記憶される検出範囲に書き換える処理を行うことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の測定装置。
Non-volatile storage means;
Storage control means for storing the detection range set by the detection range setting means in the storage means, and the detection range setting means stores the detection range in the storage means on condition that power is turned on again. The measurement apparatus according to claim 1, wherein a process of rewriting the stored detection range is performed.
前記制御手段は、前記準備モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段によって検出範囲が設定変更されるごとに、前記検出範囲の位置情報と共に、前記信号読出手段にて読み出された各読み出しラインの受光信号を前記外部の表示装置に対して出力させることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の測定装置。 When the preparation mode is selected, the control means is read by the signal reading means together with the position information of the detection range every time the detection range is set and changed by the detection range setting means. 6. The measuring apparatus according to claim 1, wherein a light reception signal of each readout line is output to the external display device. 移動する移動物体の姿勢を検出する測定システムであって、
前記移動物体の移動経路に対して検出光軸が交差するように前記移動経路を間に挟んで前記投光手段と前記受光手段とを対向配置した請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の測定装置と、
前記測定装置の測定手段から出力される前記入遮光位置に基づいて前記移動物体の姿勢を検出する姿勢検出装置と、からなることを特徴とする測定システム。
A measurement system for detecting the attitude of a moving moving object,
7. The light projecting unit and the light receiving unit are arranged to face each other with the moving path interposed therebetween so that a detection optical axis intersects the moving path of the moving object. Measuring device,
And a posture detection device that detects the posture of the moving object based on the incident / light-shielding position output from the measurement means of the measurement device.
請求項6に記載の測定装置と、
表示装置と、
前記外部装置としての外部設定装置と、からなる測定システムであって、
前記外部設定装置は前記検出範囲を設定変更操作するための設定操作部を備え、同設定操作部の操作に対応する前記指示を前記測定装置の検出範囲設定手段に送る構成であると共に、
前記測定装置の検出範囲設定手段は、前記準備モードが選択されている場合に、前記指示に基づいて前記検出範囲を設定変更する処理を行い、
前記測定装置の前記制御手段は、前記準備モードが選択されている場合には、前記検出範囲設定手段によって検出範囲が設定変更されるごとに、前記検出範囲の位置情報と共に、前記信号読出手段にて読み出された各読み出しラインの受光信号を前記外部の表示装置に対して出力させ、
前記表示装置は、前記各読み出しラインの受光信号の信号レベルの高低を像として表した受光像と、前記検出範囲の双方を、互いの相対的な位置関係が目視可能なように表示画面上に同時に表示させることを特徴とする測定システム。
A measuring device according to claim 6;
A display device;
An external setting device as the external device, and a measurement system comprising:
The external setting device includes a setting operation unit for performing a setting change operation on the detection range, and is configured to send the instruction corresponding to the operation of the setting operation unit to a detection range setting unit of the measurement device,
When the preparation mode is selected, the detection range setting means of the measuring device performs a process of setting and changing the detection range based on the instruction,
When the preparation mode is selected, the control means of the measuring device provides the signal reading means together with the position information of the detection range each time the detection range is changed by the detection range setting means. Output the light reception signal of each readout line read out to the external display device,
The display device displays both a light reception image representing the level of a light reception signal level of each readout line as an image and the detection range on a display screen so that a relative positional relationship between them can be visually observed. A measurement system characterized by displaying simultaneously.
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