JP4789970B2 - スペックル低減方法およびeuv干渉法のためのシステム - Google Patents
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- 光学システムの波面を測定するための方法において、
放射源にて電磁放射を生成するステップと、
電磁放射を前記光学システムの対象平面に集束化するステップと、
レチクルが配置されたレチクルステージを用いて、当該レチクルではなくて、互いに並列な複数の線群を含む第1のグレーティングを前記光学システムの電磁放射を対象平面に定める光路内に位置付けするステップと、
投影光学系によりイメージ平面と対象平面を光学的に共役させるステップと、
第2のグレーティング下方に位置づけられる検出器により前記放射源のイメージを受信すると同時に第1のグレーティングを前記レチクルステージを用いて前記線群に並行にのみ移動させるステップと、
第1のグレーティングのイメージを投影光学系によりイメージ平面にある第2のグレーティングへ投影させ、当該第2のグレーティングにより干渉縞パターンを生成させ、波面パラメータを前記イメージから決定するステップとを含んでいることを特徴とする方法。 - 光学システムの波面を測定するための方法において、
1)放射源にて電磁放射を生成するステップと、
2)電磁放射を光学システムの対象平面に集束化するステップと、
3)レチクルが配置されたレチクルステージを用いて、当該レチクルではなくて、互いに並列な複数の線群を含む第1のグレーティングを光学システムの電磁放射を対象平面に定める光路内に位置付けするステップと、
4)投影光学系によりイメージ平面と対象平面を共役させるステップと、
5)検出器をイメージ平面の下方に位置付け、第2のグレーティングをイメージ平面に位置付けるステップと、
6)第2のグレーティングを通して放射源のイメージを受信すると同時に第1のグレーティングを前記レチクルステージを用いて前記線群に並行にのみ移動させるステップと、
7)第1のグレーティングのイメージを投影光学系によりイメージ平面にある第2のグレーティングへ投影させ、当該第2のグレーティングにより干渉縞パターンを生成させ、波面パラメータをイメージから算出するステップとを含んでいることを特徴とする方法。
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