JP4767769B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
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Description
また、請求項4に係る本発明では、前記請求項2に係る本発明において、前記カバー体は、前記超音波発振手段の発振面に対してそれぞれ左右外方に傾斜させた前記支持体の底部に覆設することにした。
また、請求項5に係る本発明では、前記請求項1〜請求項4のいずれかに係る本発明において、前記カバー体は、前記被洗浄体支持具の表面との間に間隙を形成した状態で前記被洗浄体支持具に覆設することにした。
3 キャリア 4 キャリア搬入出部
5 バッチ 6 バッチ編成部
7 基板処理部 8 キャリアステージ
9 開閉扉 10 キャリア搬送機構
11 キャリアストック 12 キャリア載置台
13 開閉扉 14 基板搬送機構
15 バッチ形成機構 16 配列順序変更機構
17 バッチ搬送機構 18 ウエハ収容状態検出センサー
19 ノッチアライナー 20 洗浄乾燥機構
21 洗浄機構 22 ウエハ昇降機構
23 基板洗浄乾燥ユニット 24 搬送機構洗浄ユニット
25 超音波洗浄装置 26,27 洗浄ユニット
28,29,30 薬液処理用の洗浄部 31,32,33 純水処理用の洗浄部
34,35,36 搬送機構 37 容器
38 基台 39 基枠
40 パッキン 41 洗浄槽
42 超音波発振手段 43 周壁
44 振動板 45 超音波振動子
46,47 洗浄薬液吐出ノズル 48,48',48" ウエハボート(被洗浄体支持具)
49 アーム 50,50',51,51',51",52,52',52",53,53' 支持体
54,55 連結体 56,57,58,59 支持溝
60 芯材 61 被覆材
62,63 底面
64,64',64",65,65',65" カバー体
67 貫通孔 68 ピン
69 座部 70 挿通ピン部
71 係止部
Claims (7)
- 超音波発振手段を有する洗浄槽の内部に被洗浄体を支持するための被洗浄体支持具を配設した超音波洗浄装置において、
前記被洗浄体支持具に被洗浄体を支持するために芯材を樹脂で被覆した支持体を設け、
超音波を減衰させるとともに反射させるカバー体を前記支持体の前記超音波発振手段の発振面と対向する面に覆設したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記カバー体は、前記超音波発振手段の発振面に対して傾斜させた状態で前記被洗浄体支持具に覆設したことを特徴とする請求項1に記載の超音波洗浄装置。
- 前記カバー体は、先鋭状に形成した前記支持体の底部に覆設したことを特徴とする請求項2に記載の超音波洗浄装置。
- 前記カバー体は、前記超音波発振手段の発振面に対してそれぞれ左右外方に傾斜させた前記支持体の底部に覆設したことを特徴とする請求項2に記載の超音波洗浄装置。
- 前記カバー体は、前記被洗浄体支持具の表面との間に間隙を形成した状態で前記被洗浄体支持具に覆設したことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の超音波洗浄装置。
- 前記カバー体は、表裏に貫通する貫通孔を有することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の超音波洗浄装置。
- 前記カバー体は、前記被洗浄体支持具に突設した係止具に前記貫通孔を係止することで前記被洗浄体支持具に着脱自在に装着できるように構成したことを特徴とする請求項6に記載の超音波洗浄装置。
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