JP4761090B2 - 軟x線ミラー用のエピタキシャル多層膜の作製方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、2.3nm〜4.4nmの軟X線領域に用いる多層膜ミラーを作製する方法に関するものであり、多層膜をエピタキシャル成長で積層させることにより多層膜内の結晶欠陥を減少させ、軟X線の反射率を向上させるものである。
【0002】
【従来技術】
従来、真空蒸着法やスパッタリング成膜法により軟X線用の多層膜ミラーの作製が行われているが、これまでの多層膜は多結晶構造のものがほとんどで、特に原子層レベルでの平坦性が必要とされる軟X線(2.3nm〜4.4nm)の多層膜ミラーを作製することは困難であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は多層膜をエピタキシャル成長で積層させることにより、多層膜内の結晶欠陥を減少させ、平坦な多層膜の界面を形成し、軟X線の反射率を向上させることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、2.3nm〜4.4nmの軟X線領域に用いる多層膜ミラーを作製する手段として、超高真空下でチタン、コバルト、銅などの真空蒸着法により、高反射率が期待されるチタンと銅、及びチタンとコバルトのエピタキシャル多層膜を耐熱性、化学的安定性に優れたサファイア単結晶基板上に結晶方位、基板温度、蒸着速度を制御して作製するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
超高真空下でチタン、コバルト、銅などの高純度金属材料を電子ビーム加熱により蒸発させ、温度制御されたサファイア単結晶の基板上にエピタキシャル成長させるものである。作製した多層膜はX線回折、ラザフォード後方散乱法を用いて構造評価した。この作製条件としては、サファイア基板の面方位、成膜中の基板温度及び成膜速度が重要な項目である。
【0006】
即ち、本発明の成膜においては、蒸着速度が0.1nm/secのとき、(0001)面のサファイア基板上に(0001)面のチタンをエピタキシャル成長させる基板温度は、400℃〜800℃、好ましくは500℃〜750℃、最も好ましくは650℃〜700℃に制御され、(0001)面のチタン膜上に(111)面の銅をエピタキシャル成長させる基板温度は、100℃〜300℃、好ましくは150℃〜250℃、最も好ましくは200℃に制御され、(111)面の銅膜上に(0001)面のチタンをエピタキシャル成長させる基板温度は、400℃〜600℃、好ましくは450℃〜550℃、最も好ましくは500℃に制御される。
【0007】
一方、本発明の他の成膜においては、蒸着速度が0.1nm/secのとき、(0001),(11−20)及び(01−12)面のサファイア基板上に(0001)面のコバルトをエピタキシャル成長させる基板温度は、300℃〜500℃、好ましくは350℃〜450℃、最も好ましくは400℃に制御され、(0001)面のコバルト膜上に(0001)面のチタンをエピタキシャル成長させる基板温度は、250℃〜450℃、好ましくは300℃〜400℃、最も好ましくは350℃に制御され、(0001)面のチタン膜上に(0001)面のコバルトをエピタキシャル成長させる基板温度は、250℃〜450℃、好ましくは300℃〜400℃、最も好ましくは350℃に制御される。以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0008】
【実施例1】
真空蒸着法により基板温度を200℃、300℃、400℃、500℃、600℃、700℃、800℃に制御して(0001)面のサファイア単結晶基板上に約5×10-8Torrの真空下で成膜を行った。基板は鏡面研磨処理をした大きさ8mm×8mm、厚さ0.5mmのものを用いた。蒸着速度0.1nm/秒で25分間の成膜で厚さ約150nmのチタン膜を作製した。X線回折によりこれらのチタン膜の結晶構造及び結晶性をを評価した結果、(0001)面のサファイア基板上に(0001)面のチタンがエピタキシャル成長していることが確認できた。また、基板温度を700℃に制御して作製したチタン膜は完全結晶に対して95%の結晶性を示した。
【0009】
基板温度を700℃に制御して(0001)面のサファイア単結晶基板上に厚さ150nmのチタン膜の蒸着を行い、さらに基板温度を200℃に制御し、同様の成膜条件でチタン膜上に厚さ200nmの銅膜の蒸着を行った。X線回折及びラザフォード後方散乱測定によりこのチタン/銅の二層膜の構造評価を行った結果、(0001)面のチタン膜上に(111)面の銅がエピタキシャル成長していることを確認した。
【0010】
即ち、図1は(0001)面のサファイア単結晶基板上に成膜したCu/Ti膜のX線回折(θ―2θ)図である。2θの角度が38.4°,41.7°及び43.4°にあるピークはそれぞれTi(0002),α−Al2O3(0006)及びCu(111)からのピークであり、(0001)面のサファイア基板上にCu(111)/Ti(0001)面がエピタキシャル成長していることが確認できる。つまり膜の成長方向に対してCu(111)/Ti(0001)/α−Al2O3(0001)基板、膜の面内方向に対してCu[1−21]/Ti[01−10]/α−Al2O3[01−10]基板の結晶方位関係でエピタキシャル成長していることが確認できた。
【0011】
次に、基板温度を700℃に制御して(0001)面のサファイア単結晶基板上に厚さ150nmのチタン膜、次にチタン膜上に基板温度を200℃に制御して厚さ200nmの銅膜の蒸着を行い、さらに基板温度を500℃に制御して、銅膜上に厚さ200nmのチタン膜の蒸着を行った。構造評価した結果、(111)面の銅膜上に(0001)面のチタンがエピタキシャル成長していることを確認した。
【0012】
【実施例2】
実施例1と同様の条件で基板温度を700℃に制御して(0001)面のサファイア単結晶基板上に厚さ150nmのチタン膜の蒸着を行い、さらに基板温度を350℃に制御してチタン膜上に厚さ200nmのコバルト膜の蒸着を行った。実施例1と同様に構造評価を行った結果、(0001)面のチタン膜上に(0001)面のコバルトがエピタキシャル成長していることを確認した。
【0013】
即ち、図2は(0001)面のサファイア単結晶基板上に成膜したCo/Ti膜のX線回折(θ−2θ)図である。2θの角度が38.4°、41.7°及び44.6°にあるピークは、それぞれ、Ti(0002)、α−Al2O3(0006)及びCo(0002)からのピークであり、(0001)面のサファイア基板上にCo(0001)/Ti(0001)面がエピタキシャル成長していることが確認できる。
【0014】
つまり、膜の成長方向に対してCo(0001)/Ti(0001)/α−Al2O3(0001)基板、膜の面内方向に対してCo[01−10]/Ti[01−10]/α−Al2O3[01−10]基板の結晶方位関係でエピタキシャル成長していることが確認できた。
【0015】
【実施例3】
実施例1と同様の条件で基板温度を300℃、400℃、450℃、500℃、600℃に制御して(0001)面のサファイア単結晶基板上に厚さ100nmのコバルト膜の蒸着を行った。実施例1と同様にこれらのコバルト膜の結晶構造及び結晶性を評価した結果、(0001)面のサファイア基板上に(0001)面のコバルトがエピタキシャル成長していることが確認できた。
【0016】
また、基板温度を400℃に制御して作製したコバルト膜は完全結晶に対して85%の結晶性を示した。基板温度を600℃に制御して作製したコバルト膜は、表面が凸凹になり島状成長した膜構造であった。
【0017】
次に基板温度を350℃に制御しコバルト膜上に厚さ150nmのチタン膜の蒸着を行った。実施例1と同様に構造評価を行った結果、(0001)面のコバルト膜上に(0001)面のチタンがエピタキシャル成長することがわかった。
【0018】
つまり、膜の成長方向に対してTi(0001)/Co(0001)/α−Al2O3(0001)基板、膜の面内方向に対してTi[01−10]/Co[01−10]/α−Al2O3[01−10]基板の結晶方位関係でエピタキシャル成長していることが確認できた。
【0019】
【実施例4】
実施例1と同様の条件で基板温度を400℃に制御して(0001)面のサファイア単結晶基板上に厚さ100nmのコバルト膜、次にコバルト膜上に基板温度を350℃に制御して厚さ200nmのチタン膜の蒸着を行い、さらに基板温度を350℃に制御してチタン膜上に厚さ100nmのコバルト膜の蒸着を行った。実施例1と同様に構造評価した結果、膜の成長方向に対してCo(0001)/Ti(0001)/Co(0001)/α−Al2O3(0001)基板の結晶方位関係でエピタキシャル成長していることが確認できた。
【0020】
【発明の効果】
エピタキシャル成長で積層した多層膜は、結晶欠陥が減少するために平坦な界面が形成され、軟X線の反射率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、(0001)面のサファイア単結晶基板上に成膜したCu/Ti膜のX線回折(θ−2θ)図である。2θ:38.4°,41.7°及び43.4°にあるピークはそれぞれTi(0002),α−Al2O3(0006)及びCu(111)からのピークであり、(0001)面のサファイア基板上にCu(111)/Ti(0001)面がエピタキシャル成長していることが確認できる。
【図2】図2は、(0001)面のサファイア単結晶基板上に成膜したCo/Ti膜のX線回折(θ−2θ)図である。2θ:38.4°,41.7°及び44.6°にあるピークはそれぞれTi(0002),α−Al2O3(0006)及びCo(0002)からのピークであり、(0001)面のサファイア基板上にCo(0001)/Ti(0001)面がエピタキシャル成長していることが確認できる。
Claims (4)
- 真空蒸着法によって、サファイア(α−Al2O3)単結晶基板上にチタン(Ti)をエピタキシャル成長させ、次いでチタン(Ti)上に銅(Cu)をエピタキシャル成長させることを含む、チタン(Ti)と銅(Cu)のエピタキシャル多層膜を作製する方法。
- 真空蒸着法によって、サファイア(α−Al2O3)単結晶基板上にチタン(Ti)またはコバルト(Co)をエピタキシャル成長させ、次いで、サファイア基板上にチタン(Ti)を成長させた場合にはチタン(Ti)上にコバルト(Co)を、サファイア基板上にコバルト(Co)を成長させた場合にはコバルト(Co)上にチタン(Ti)をエピタキシャル成長させることを含む、チタン(Ti)とコバルト(Co)のエピタキシャル多層膜を作製する方法。
- 蒸着速度が0.05nm/sec〜0.15nm/secのとき、(0001)面のサファイア基板上に(0001)面のチタンをエピタキシャル成長させる基板温度は、400℃〜800℃の範囲に制御され、(0001)面のチタン膜上に(111)面の銅をエピタキシャル成長させる基板温度は、100℃〜300℃の範囲に制御される請求項1に記載の方法。
- サファイア(α−Al 2 O 3 )単結晶基板上にコバルト(Co)をエピタキシャル成長させ、次いでコバルト(Co)上にチタン(Ti)をエピタキシャル成長させることを含む請求項2に記載の方法であって、蒸着速度が0.05nm/sec〜0.15nm/secのとき、(0001)、(11−20)及び(01−12)面のサファイア基板上に(0001)面のコバルトをエピタキシャル成長させる基板温度は、300℃〜500℃の範囲に制御され、(0001)面のコバルト膜上に(0001)面のチタンをエピタキシャル成長させる基板温度は、250℃〜450℃の範囲に制御される、前記方法。
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