JP4760615B2 - Electronic component thermocompression bonding equipment - Google Patents

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本発明は、圧着ツールにて電子部品を基板に圧着する電子部品の熱圧着装置に関し、特に圧着ツールとその側面に配置したヒータブロックとの間に隙間を生じず、圧着ツールの先端に温度むらが発生しないようにした電子部品の熱圧着装置に関するものである。   The present invention relates to an electronic component thermocompression bonding apparatus that crimps an electronic component to a substrate with a crimping tool, and in particular, there is no gap between the crimping tool and a heater block disposed on the side surface, and temperature unevenness occurs at the tip of the crimping tool. The present invention relates to a thermocompression bonding apparatus for electronic parts that prevents the occurrence of the above.

従来、加熱された圧着ツールの先端を電子部品に押し当ててこの電子部品を基板に圧着する電子部品の熱圧着装置において、固定ブロックに長手方向に沿って配列された複数の高さ調整手段を介して圧着ツールを支持し、この圧着ツールを固定ブロックに固定支持されたヒータブロックの側面に接触させて圧着ツールを加熱するようにするとともに、その際ヒータブロックがヒータの熱により上下に変形しても圧着ツールが相対摺動して変形荷重を受けないように、ばねによって圧着ツールをヒータブロックの側面に押圧するようにしたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, in an electronic component thermocompression bonding apparatus that presses the tip of a heated crimping tool against an electronic component and crimps the electronic component to a substrate, a plurality of height adjusting means arranged in a longitudinal direction on a fixed block are provided. The crimping tool is supported via the heater block, and the crimping tool is brought into contact with the side of the heater block fixedly supported by the fixed block to heat the crimping tool. At that time, the heater block is deformed up and down by the heat of the heater. However, it is known that the crimping tool is pressed against the side of the heater block by a spring so that the crimping tool does not slide and receive a deformation load (see, for example, Patent Document 1).

また、圧着ツールの側面にヒータブロックを接触配置して圧着ツールを加熱するようにした熱圧着装置において、圧着ツールの先端の反り変形の補正を効率的に行えるように、圧着ツールの一側面に、先端温度を制御するヒータブロックと上下方向の反りを補正するヒータブロックを上下2段に配置し、他側面に水平方向の反りを補正するヒータブロックを配置したものも知られている(例えば、特許文献2参照)。   In addition, in a thermocompression bonding equipment that heats the crimping tool by placing a heater block in contact with the side of the crimping tool, it is attached to one side of the crimping tool so that the warp deformation of the tip of the crimping tool can be corrected efficiently. A heater block that controls the tip temperature and a heater block that corrects vertical warpage are arranged in two stages, and a heater block that corrects horizontal warpage is arranged on the other side surface (for example, Patent Document 2).

また、圧着ツールの側面にヒータブロックを接触させ、ヒータブロックに、長手方向及び上下方向に複数のヒータを配置し、各ヒータをそれぞれ独立して温度調整することによって、圧着ツールの先端の平面度を調整するようにしたものも知られている(例えば、特許文献3参照)。
特開2002−26494号公報 特開2002−158425号公報 特開平9−186201号公報
In addition, the heater block is brought into contact with the side surface of the crimping tool, a plurality of heaters are arranged in the longitudinal direction and the vertical direction on the heater block, and the temperature of each heater is adjusted independently, thereby the flatness of the tip of the crimping tool. There is also known one that adjusts (see, for example, Patent Document 3).
JP 2002-26494 A JP 2002-158425 A JP-A-9-186201

ところで、特許文献1に記載された構成では、圧着ツールをヒータブロックの側面にばねにて弾性的に圧接させて摺動できるようにして、ヒータブロックが上下方向に熱変形してもその影響を受けないようにしたものであるが、圧着ツールとヒータブロックをばねで圧接させているだけであるため、圧着ツールとヒータブロックの両者間に場所によって部分的に微小な隙間が発生するのを防止することができず、その部分でヒータブロックから圧着ツールへの熱伝達が悪くなって圧着ツールの先端に温度むらが発生し、熱圧着性能が低下するという問題がある。また、圧着ツールの先端が最高400℃にもなる温度条件で、長期間にわたって安定して所定のばね特性を維持できるばねを得るのは困難であり、上記微小な隙間を無くすようなばねは実際的に実現できないという問題がある。   By the way, in the configuration described in Patent Document 1, the crimping tool can be slid elastically against the side of the heater block with a spring so that the heater block is thermally deformed in the vertical direction. Although it is not received, only the crimping tool and the heater block are pressed against each other with a spring, so that it is possible to prevent a small gap from being partially generated between the crimping tool and the heater block. There is a problem that heat transfer from the heater block to the crimping tool is deteriorated at that portion, and temperature unevenness occurs at the tip of the crimping tool, and the thermocompression performance is deteriorated. In addition, it is difficult to obtain a spring that can stably maintain a predetermined spring characteristic over a long period of time under a temperature condition where the tip of the crimping tool is as high as 400 ° C. There is a problem that cannot be realized.

また、特許文献2や特許文献3に記載された構成でも、圧着ツールにヒータブロックに隙間を生じないように密着させるための機構や構成についての開示がなく、高温での使用時に圧着ツールやヒータブロックが熱変化し、それらの間に隙間を生じて熱伝導が悪くなり、圧着ツールの先端に温度むらが発生するという問題を解決することはできない。   In addition, even in the configurations described in Patent Document 2 and Patent Document 3, there is no disclosure of a mechanism or a configuration for bringing the crimping tool into close contact with the heater block so as not to cause a gap, and the crimping tool and the heater when used at high temperatures. It is impossible to solve the problem that the blocks are thermally changed and a gap is generated between them, resulting in poor heat conduction and uneven temperature at the tip of the crimping tool.

また、上記何れの特許文献においても、ヒータブロックは、ブロック体に穴を形成し、その穴にヒータを挿入配置した構成とされているが、ヒータが損傷した時に交換しようとすると、ヒータブロックを取り外してしまう必要があり、保守に手間がかかるという問題があった。   In any of the above patent documents, the heater block has a structure in which a hole is formed in the block body, and the heater is inserted and arranged in the hole. There was a problem that it was necessary to remove it and maintenance was troublesome.

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、圧着ツールとその側面に配置したヒータブロックとの間に隙間を生じず、圧着ツールの先端に温度むらが発生しないようにして熱圧着性能を向上できる電子部品の熱圧着装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described conventional problems, and does not create a gap between the crimping tool and the heater block disposed on the side surface thereof, and prevents thermal unevenness from occurring at the tip of the crimping tool. It is an object of the present invention to provide an electronic component thermocompression bonding apparatus that can be improved.

本発明の電子部品の熱圧着装置は、加熱された圧着ツールの先端を電子部品に押し当ててこの電子部品を基板に圧着する電子部品の熱圧着装置であって、圧着ツールと、ヒータを保持したヒータブロックと、ヒータブロックを圧着ツールの側面に押し当てて固定するヒータブロック取付手段とを備え、ヒータブロック取付手段に、ヒータブロックの圧着ツール長手方向に沿う水平方向の傾斜角と圧着ツールの先端に対する遠近方向に沿う垂直方向の傾斜角とを調整する角度調整手段を設け、角度調整手段は、ヒータブロックの上部中央部を圧着ツール側面に押し付ける支点押付ボルトと、支点押付ボルトの下部両側にそれぞれ間隔をあけた位置でヒータブロックを圧着ツール側面に押し付ける一対の調整押付ボルトとからなるものである。 The electronic component thermocompression bonding apparatus of the present invention is an electronic component thermocompression bonding device that presses the tip of a heated crimping tool against the electronic component and crimps the electronic component to a substrate, and holds the crimping tool and the heater. And a heater block mounting means for pressing and fixing the heater block against the side surface of the crimping tool. The heater block mounting means has a horizontal inclination angle along the longitudinal direction of the crimping tool of the heater block and the crimping tool. An angle adjusting means for adjusting the vertical inclination angle along the perspective direction with respect to the tip is provided , and the angle adjusting means is provided on the both sides of the lower part of the fulcrum pressing bolt and the fulcrum pressing bolt that presses the upper center portion of the heater block against the side of the crimping tool. It consists of a pair of adjustment pressing bolts that press the heater block against the side surface of the crimping tool at positions spaced apart from each other.

この構成によれば、ヒータブロック及び圧着ツールが高温になって、圧着ツールの側面とヒータブロックの接触面間に微小な隙間を発生させるような熱変形を生じた場合でも、角度調整手段でヒータブロックの水平方向と垂直方向の傾斜角を調整することによって、ヒータブロックを圧着ツールの側面に隙間を生じないように押し当てることができ、ヒータブロックの熱を効率的かつ均等に圧着ツールに伝達でき、圧着ツールの先端の温度分布の均一性及び平面度を向上することができ、熱圧着性能を向上することができる。   According to this configuration, even when the heater block and the crimping tool are heated to cause a thermal deformation that generates a minute gap between the side surface of the crimping tool and the contact surface of the heater block, the angle adjustment means can be used to heat the heater. By adjusting the horizontal and vertical tilt angles of the block, the heater block can be pressed against the side of the crimping tool without creating a gap, and the heat of the heater block is transferred to the crimping tool efficiently and evenly. The uniformity and flatness of the temperature distribution at the tip of the crimping tool can be improved, and the thermocompression performance can be improved.

また、角度調整手段が、ヒータブロックの上部中央部を圧着ツール側面に押し付ける支点押付ボルトと、支点押付ボルトの下部両側にそれぞれ間隔をあけた位置でヒータブロックを圧着ツール側面に押し付ける一対の調整押付ボルトとからなり、ヒータブロックを、その上部中央部とその下部両側の3点で圧着ツール側面に押し付けるようにすると、簡単な構成及び調整作業にて圧着ツール側面にヒータブロックを隙間なく接触させることができる。 In addition, the angle adjustment means has a fulcrum pressing bolt that presses the upper center of the heater block against the side of the crimping tool, and a pair of adjustment pressings that press the heater block against the side of the crimping tool at positions spaced on both sides of the bottom of the fulcrum pressing bolt. If the heater block is pressed against the side of the crimping tool at three points, the center of the upper part and the lower part of the heater block, the heater block can be brought into contact with the side of the crimping tool without any gaps with a simple configuration and adjustment. Can do.

また、ヒータブロック取付手段は、ヒータブロックの上部を片持状態で支持し、ヒータブロックはその下部にヒータを保持していると、ヒータブロックを圧着ツールの側面の下部に配置することができ、そのヒータブロックの下部にヒータを保持しているので、ヒータと圧着ツールの先端との距離を短くでき、圧着ツールの先端を所定温度に加熱するのに効率的にかつ制御応答性良く加熱することができる。   Further, the heater block mounting means supports the upper part of the heater block in a cantilever state, and when the heater block holds the heater at its lower part, the heater block can be arranged at the lower part of the side surface of the crimping tool, Since the heater is held at the bottom of the heater block, the distance between the heater and the tip of the crimping tool can be shortened, and the tip of the crimping tool can be heated efficiently and with good control responsiveness to heat it to the specified temperature. Can do.

また、ヒータブロックを、ヒータブロック取付手段にて圧着ツールの側面に当接して取付けられるとともにその当接面の反対面にヒータを配置したヒータ配置板と、ヒータをヒータ配置板との間で挟持する挟持板にて構成すると、ヒータ損傷などによってヒータを交換する場合に、挟持板を取り外すことによって簡単にヒータだけを交換することができ、ヒータブロックごと交換する場合のようにヒータブロックの着脱に伴う取付調整などを行う必要がなく、メンテナンスの作業性が格段に向上する。   In addition, the heater block is attached to the side surface of the crimping tool by the heater block attachment means, and the heater is disposed between the heater arrangement plate and the heater arrangement plate opposite to the contact surface. When the heater is replaced due to damage to the heater, etc., the heater can be replaced simply by removing the clamping plate. There is no need to perform installation adjustment and the maintenance workability is greatly improved.

また、圧着ツールの上下反り補正用ヒータが圧着ツールの上方に配設され、ヒータブロック取付手段が、上下反り補正用ヒータより下部に配置された構成とすると、ヒータブロックの熱がその取付手段を介して圧着ツールの上部に伝達されるが、その熱伝達部位が上下反り補正用ヒータより下部に位置しているので、上下反り補正用ヒータを加熱してその部位を熱膨張させることで圧着ツールの上下反りを補正する際に、ヒータブロックからの熱が補正ヒータ付近に伝わりにくく、主にヒータブロックからの伝達熱による熱膨張はそれより下方位置に生じるため、その熱膨張による反りを含めて上下反り補正用ヒータの加熱によって効率的にかつ制御性良く補正することができる。これに対して、ヒータブロック取付手段が上下反り補正用ヒータより上部に配置されている場合には、ヒータブロックからの伝達熱によって生じた熱膨張が、上下反り補正用ヒータの付近を加熱してその部位を熱膨張させることで圧着ツールの上下反りを補正する作用を阻害するために、上下反り補正用ヒータの加熱によって圧着ツールの上下反りを補正することが困難となる。   Further, when the heater for correcting vertical warping of the crimping tool is disposed above the crimping tool and the heater block mounting means is disposed below the heater for correcting vertical warping, the heat of the heater block causes the mounting means to be attached. Is transmitted to the upper part of the crimping tool, but the heat transfer part is located below the vertical warp correction heater, so that the crimp tool is heated by heating the vertical warp correction heater and thermally expanding the part. When correcting the vertical warpage of the heater, the heat from the heater block is difficult to be transmitted to the vicinity of the correction heater, and the thermal expansion mainly due to the heat transferred from the heater block occurs at a lower position than that, including the warpage due to the thermal expansion. Correction can be made efficiently and with good controllability by heating the vertical warp correction heater. On the other hand, when the heater block mounting means is disposed above the vertical warp correction heater, the thermal expansion caused by the heat transferred from the heater block heats the vicinity of the vertical warp correction heater. In order to inhibit the action of correcting the vertical warping of the crimping tool by thermally expanding the portion, it is difficult to correct the vertical warping of the crimping tool by heating the heater for correcting vertical warping.

また、ヒータブロック及びヒータブロック取付手段が、圧着ツールの長手方向に複数配設されていると、圧着ツールが大型化した場合にも、所要数のヒータブロックを配設することで容易に対応することができ、かつ各ヒータブロックを加熱制御することで、圧着ツールの先端の全長にわたって温度むらが発生せず、圧着ツールの先端の温度分布の均一性及び平面度を確保して高い熱圧着性能を得ることができる。   Further, when a plurality of heater blocks and heater block mounting means are arranged in the longitudinal direction of the crimping tool, even when the crimping tool is enlarged, it is possible to easily cope by arranging the required number of heater blocks. By controlling the heating of each heater block, temperature unevenness does not occur over the entire length of the tip of the crimping tool, ensuring high uniformity of temperature distribution and flatness at the tip of the crimping tool, and high thermocompression performance Can be obtained.

また、放熱特性が部分的に大きい加熱対象物の場合に、放熱特性の大きい部分に対応するヒータブロックの温度を高く設定すると、そのような加熱対象物の場合にも圧着ツールの先端の温度分布の均一性及び平面度を確保して高い熱圧着性能を維持できる。   In addition, if the temperature of the heater block corresponding to the part with large heat dissipation characteristics is set high when the object to be heated has partial heat dissipation characteristics, the temperature distribution at the tip of the crimping tool is also applied to such a heating object. It is possible to maintain high thermocompression bonding performance while ensuring uniformity and flatness.

本発明の電子部品の熱圧着装置によれば、ヒータブロック及び圧着ツールが高温になって、圧着ツールの側面とヒータブロックの接触面間に微小な隙間を発生させるような熱変形を生じた場合でも、角度調整手段でヒータブロックの水平方向と垂直方向の傾斜角を調整することによって、ヒータブロックを圧着ツールの側面に隙間を抑制するように押し当てることができ、ヒータブロックの熱を効率的かつ均等に圧着ツールに伝達でき、圧着ツールの先端の温度分布の均一性及び平面度を向上することができ、熱圧着性能を向上することができる。   According to the thermocompression bonding apparatus for electronic parts of the present invention, when the heater block and the crimping tool become high temperature and thermal deformation occurs causing a minute gap between the side surface of the crimping tool and the contact surface of the heater block. However, by adjusting the horizontal and vertical inclination angles of the heater block with the angle adjustment means, the heater block can be pressed against the side of the crimping tool so as to suppress the gap, and the heat of the heater block is efficiently And it can transmit to a crimping tool equally, the uniformity and flatness of the temperature distribution of the front-end | tip of a crimping tool can be improved, and thermocompression-bonding performance can be improved.

以下、本発明の電子部品の熱圧着装置の各実施形態について、図1〜図7を参照しながら説明する。   Hereinafter, each embodiment of the thermocompression bonding apparatus for electronic parts according to the present invention will be described with reference to FIGS.

(第1の実施形態)
まず、本発明の電子部品の熱圧着装置の第1の実施形態について、 図1〜図6を参照して説明する。本実施形態の熱圧着装置は、フラットパネルディスプレイ(FPD)の一例である液晶パネルに接合されたTCPやFPCなどの電子部品を、プリント基板を熱圧着するものである。
(First embodiment)
First, a first embodiment of an electronic component thermocompression bonding apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. The thermocompression bonding apparatus of the present embodiment is for thermocompression bonding of a printed circuit board with electronic components such as TCP and FPC joined to a liquid crystal panel which is an example of a flat panel display (FPD).

図1において、熱圧着装置1は、所定の供給位置(図示せず)で液晶パネル2を受け取って支持した状態で、水平なX方向及びY方向に移動及び位置決めするとともに、任意のX、Y位置で垂直軸芯回りの任意の回転位置に位置決め可能な移動位置決め手段3と、この移動位置決め手段3で支持されて移動する液晶パネル2の側端縁部の移動範囲の一側部に配置された圧着手段4を備えている。圧着手段4は、下端に圧着面5aを有する圧着ツール5を有する圧着ヘッド部6と、圧着ヘッド部6を昇降駆動して圧着力を負荷する加圧手段7と、圧着面5aに対向してその下方に固定設置され、圧着部位を下方から受けて支持する圧着ステージ8にて構成されている。   In FIG. 1, the thermocompression bonding apparatus 1 moves and positions in the horizontal X direction and the Y direction in a state where the liquid crystal panel 2 is received and supported at a predetermined supply position (not shown), and arbitrary X, Y The movable positioning means 3 that can be positioned at an arbitrary rotational position around the vertical axis at the position, and one side portion of the moving range of the side edge of the liquid crystal panel 2 that is supported and moved by the moving positioning means 3 The crimping means 4 is provided. The crimping means 4 includes a crimping head part 6 having a crimping tool 5 having a crimping surface 5a at the lower end, a pressurizing means 7 that drives the crimping head part 6 up and down to apply a crimping force, and is opposed to the crimping surface 5a. A crimping stage 8 that is fixedly installed below and receives and supports the crimping part from below.

本実施形態では、液晶パネル2の1又は複数の側端縁部に予め電子部品(ICやTCPやFPCなど)9が接合されており、熱圧着装置1にて、図2に示すように、その電子部品9をプリント基板10に熱圧着するものである。プリント基板10は、図1の圧着ステージ8の奥側(移動位置決め手段3とは反対側)に配設された部品供給手段(図示せず)にてその圧着部位が圧着ステージ8上に位置するように供給される。   In the present embodiment, an electronic component (IC, TCP, FPC, etc.) 9 is bonded in advance to one or a plurality of side edge portions of the liquid crystal panel 2, and the thermocompression bonding apparatus 1 as shown in FIG. The electronic component 9 is thermocompression bonded to the printed circuit board 10. The printed circuit board 10 is positioned on the pressure-bonding stage 8 by component supply means (not shown) disposed on the back side (opposite to the moving positioning means 3) of the pressure-bonding stage 8 of FIG. Supplied as

次に、本発明の要部である圧着ヘッド部6の構成について、図3を参照して説明する。圧着ヘッド部6は、圧着ツール5とほぼ同一長さでかつ断面形状が縦長の長方形でその下端両側に取付フランジ12が突設された形状で、上下方向中間部に断熱材13が介在されたヘッド本体11を備えており、このヘッド本体11の下端面11aに圧着ツール5の上端面が当接されている。ヘッド本体11の断熱材13より下部位置に、 ほぼ全長にわたるように複数(図示例では3つの)上下反り補正用ヒータ14が配設され、それぞれの中央部近傍に熱電対からなる温度検出センサ15が配設されている。上下反り補正用ヒータ14は、具体的には、図3(b)に示すように、ヘッド本体11の一側部に凹入形成された配置凹部16内に収容配置され、蓋部材17にて挟圧固定され、上下反り補正用ヒータ14の交換・補修を容易に行えるように構成されている。   Next, the configuration of the pressure-bonding head portion 6 that is the main part of the present invention will be described with reference to FIG. The crimping head part 6 has a shape that is substantially the same length as the crimping tool 5 and has a vertically long cross-sectional shape with protruding mounting flanges 12 on both sides of the lower end, and a heat insulating material 13 is interposed in the middle part in the vertical direction. The head main body 11 is provided, and the upper end surface of the crimping tool 5 is brought into contact with the lower end surface 11 a of the head main body 11. A plurality of (three in the illustrated example) vertical warp correction heaters 14 are disposed at positions below the heat insulating material 13 of the head body 11 so as to extend over almost the entire length, and a temperature detection sensor 15 made of a thermocouple is provided in the vicinity of each central portion. Is arranged. Specifically, as shown in FIG. 3 (b), the vertical warp correction heater 14 is housed and disposed in a placement recess 16 that is recessed and formed on one side of the head body 11. It is fixed so that the heater 14 for correcting vertical warpage can be easily replaced and repaired.

取付フランジ12の下面外側部には、その長手方向に等間隔置きに複数(図示例では5つ)の取付ブラケット18が垂設され、取付フランジ12と取付ブラケット18にて、ヒータブロック20の上部中央部を片持状態で支持してヒータブロック20を圧着ツール5の側面に押し当てて固定するヒータブロック取付手段19が構成されている。ヒータブロック20は、ヒータブロック取付手段19にて圧着ツール5の側面に当接して取付けられるヒータ配置板22と挟持板23との間でヒータ21を挟持した構成とされ、ヒータ配置板22の下部にヒータ21は配置されかつヒータ21の中央の下部に温度検出センサ24が配設されている。   A plurality (five in the illustrated example) of mounting brackets 18 are vertically arranged at equal intervals in the longitudinal direction of the lower surface of the mounting flange 12, and the upper portion of the heater block 20 is formed by the mounting flange 12 and the mounting bracket 18. Heater block mounting means 19 is configured to support the center portion in a cantilever state and press the heater block 20 against the side surface of the crimping tool 5 and fix it. The heater block 20 is configured such that the heater 21 is sandwiched between a heater placement plate 22 and a sandwich plate 23 that are attached to the side surface of the crimping tool 5 by the heater block attachment means 19. The heater 21 is disposed, and a temperature detection sensor 24 is disposed at the lower center of the heater 21.

各ヒータブロック20は、制御部(図示せず)にて温度検出センサ24による検出温度が所定温度となるように各別に温度制御されている。また、図2に示すように、プリント基板10の形状が圧着ツール5の長手方向に均一でなく、部分的に面積の大きい部分が存在してその部分の放熱特性が大きい場合には、その放熱特性の大きい部分に対応するヒータブロック20の加熱温度が高く設定されている。   Each heater block 20 is temperature-controlled by a control unit (not shown) so that the temperature detected by the temperature detection sensor 24 becomes a predetermined temperature. In addition, as shown in FIG. 2, when the shape of the printed circuit board 10 is not uniform in the longitudinal direction of the crimping tool 5 and there is a part with a large area and the heat dissipation characteristic of the part is large, the heat dissipation is performed. The heating temperature of the heater block 20 corresponding to a portion having a large characteristic is set high.

ヒータブロック取付手段19には、ヒータブロック20の圧着ツール5長手方向に沿う水平方向の傾斜角と圧着ツール5の先端に対する遠近方向に沿う垂直方向の傾斜角とを調整する角度調整手段25が設けられている。角度調整手段25は、ヒータブロック20の上部中央部を圧着ツール5の側面に押し付ける支点押付ボルト26と、支点押付ボルト26の下部両側にそれぞれ間隔をあけた位置でヒータブロック20を圧着ツール5の側面に押し付ける一対の調整押付ボルト27a、27bと、一対の調整押付ボルト27a、27bの中間位置でヒータブロック20を圧着ツール5より離れる方向に調整する引張りボルト28にて構成されている。   The heater block mounting means 19 is provided with angle adjusting means 25 for adjusting the horizontal inclination angle along the longitudinal direction of the pressure bonding tool 5 of the heater block 20 and the vertical inclination angle along the perspective direction with respect to the tip of the pressure bonding tool 5. It has been. The angle adjusting means 25 is configured to place the heater block 20 on the crimping tool 5 at a position spaced from the fulcrum pressing bolt 26 that presses the upper central portion of the heater block 20 against the side surface of the crimping tool 5 and on both lower sides of the fulcrum pressing bolt 26. A pair of adjustment pressing bolts 27a, 27b pressed against the side surfaces and a tension bolt 28 for adjusting the heater block 20 in a direction away from the crimping tool 5 at an intermediate position between the pair of adjustment pressing bolts 27a, 27b.

この角度調整手段25においては、図4(a)に示すように、支点押付ボルト26にて上部中央部を圧着ツール5の側面に押し付けた状態で、その下部位置の引き上げボルト28による圧着ツール5より離れる方向の調整量を任意に調整することで、圧着ツール5の先端の圧着面5aに対する遠近方向に沿う垂直方向、すなわち上下方向におけるヒータブロック20の傾斜角αを調整し、また、図4(b)に示すように、引張りボルト28の両側の左右一対の調整押付ボルト27a、27bの押し付け量を任意に調整することで、圧着ツール5長手方向に沿う水平方向におけるヒータブロック20の傾斜角βを調整することができる。   In this angle adjusting means 25, as shown in FIG. 4A, the crimping tool 5 with the lifting bolt 28 at the lower position in a state where the upper center portion is pressed against the side surface of the crimping tool 5 by the fulcrum pressing bolt 26. By arbitrarily adjusting the adjustment amount in the further away direction, the inclination angle α of the heater block 20 in the vertical direction along the perspective direction with respect to the crimping surface 5a at the tip of the crimping tool 5, that is, the vertical direction is adjusted. As shown in (b), the inclination angle of the heater block 20 in the horizontal direction along the longitudinal direction of the crimping tool 5 by arbitrarily adjusting the pressing amount of the pair of left and right adjustment pressing bolts 27a and 27b on both sides of the tension bolt 28. β can be adjusted.

以上の構成によれば、ヒータブロック20及び圧着ツール5が高温になって、圧着ツール5の側面とヒータブロック20の接触面間に微小な隙間を発生させるような熱変形が生じるような場合に、角度調整手段25にて、図4(a)、(b)で説明したようにヒータブロック20の垂直方向の傾斜角αと水平方向の傾斜角βを調整することによって、ヒータブロック20を圧着ツール5の側面に隙間を生じないように押し当てることができる。かくして、ヒータブロック20の熱を効率的かつ均等に圧着ツール5に伝達でき、圧着ツール5の圧着面5aの温度分布の均一性及び平面度を向上することができ、熱圧着性能を向上することができる。   According to the above configuration, when the heater block 20 and the crimping tool 5 become high temperature and thermal deformation that causes a minute gap between the side surface of the crimping tool 5 and the contact surface of the heater block 20 occurs. Then, the angle adjusting means 25 press-fits the heater block 20 by adjusting the vertical inclination angle α and the horizontal inclination angle β of the heater block 20 as described in FIGS. 4 (a) and 4 (b). The tool 5 can be pressed so as not to cause a gap. Thus, the heat of the heater block 20 can be transmitted to the crimping tool 5 efficiently and uniformly, the uniformity and flatness of the temperature distribution of the crimping surface 5a of the crimping tool 5 can be improved, and the thermocompression performance is improved. Can do.

また、角度調整手段25が、ヒータブロック20の上部中央部を圧着ツール5の側面に押し付ける支点押付ボルト26と、支点押付ボルト26の下部両側にそれぞれ間隔をあけた位置でヒータブロック20を圧着ツール5の側面に押し付ける一対の調整押付ボルト27a、27bを有する構成とし、ヒータブロック20を、その上部中央部とその下部両側の3点で圧着ツール5の側面に押し付けるようにしているので、簡単な構成及び調整作業にて圧着ツール5の側面にヒータブロック20を隙間なく接触させることができる。   In addition, the angle adjusting means 25 presses the heater block 20 at a position spaced apart from a fulcrum pressing bolt 26 that presses the upper center portion of the heater block 20 against the side surface of the crimping tool 5 and the lower side of the fulcrum pressing bolt 26. Since the heater block 20 is pressed against the side surface of the crimping tool 5 at three points, that is, the upper center portion and the lower side of the heater block 20, a simple structure is provided. The heater block 20 can be brought into contact with the side surface of the crimping tool 5 without any gap in the configuration and adjustment operations.

また、ヒータブロック取付手段19が、ヒータブロック20の上部を片持状態で支持するように構成され、ヒータブロック20はその下部にヒータ21を保持した構成されているので、ヒータブロック20を圧着ツール5の側面の下部に配置することができ、そのヒータブロック20の下部にヒータ21を保持しているので、ヒータ21と圧着ツール5の先端の圧着面5aとの距離を短くでき、圧着面5aを所定温度に加熱するのに効率的にかつ制御応答性良く加熱することができる。   Further, the heater block mounting means 19 is configured to support the upper part of the heater block 20 in a cantilever state, and the heater block 20 is configured to hold the heater 21 at the lower part thereof. Since the heater 21 is held at the lower part of the heater block 20, the distance between the heater 21 and the crimping surface 5a at the tip of the crimping tool 5 can be shortened, and the crimping surface 5a Can be heated efficiently to a predetermined temperature with good control response.

また、ヒータブロック20が、ヒータブロック取付手段19にて圧着ツール5の側面に当接して取付けられるヒータ配置板22と挟持板23との間で挟持した構成としているので、ヒータ21の損傷などによってヒータ21を交換する場合に、挟持板23を取り外すことによって簡単にヒータ21だけを交換することができる。かくして、ヒータブロック20ごと交換する場合のようにヒータブロック20の着脱に伴う取付・調整作業などを行う必要がなく、メンテナンスの作業性が格段に向上する。   In addition, since the heater block 20 is sandwiched between the heater placement plate 22 and the sandwiching plate 23 that are attached to the side surface of the crimping tool 5 by the heater block mounting means 19, When the heater 21 is replaced, only the heater 21 can be easily replaced by removing the clamping plate 23. Thus, there is no need to perform attachment / adjustment work associated with the attachment / detachment of the heater block 20 as in the case where the heater block 20 is replaced, and maintenance workability is greatly improved.

また、ヒータブロック取付手段19が、図5(a)に示すように、圧着ツール5の上下反り補正用ヒータ14より下部に配置されているので、ヒータブロック20の熱はその取付手段19を介して矢印29の如く圧着ツール5の上部に伝達されるが、その熱伝達部位が上下反り補正用ヒータ14より下部に位置しているので、上下反り補正用ヒータ14を加熱してその部位を熱膨張させることで圧着面5aの上下反りを補正する際に、ヒータブロック20からの伝達熱による熱膨張はそれより下方位置に生じているため、図5(b)に示すように、ヒータブロック20からの伝達熱による熱膨張は圧着面5aの両端を引き上げるような変形を生じさせるように作用し、これに対して上下反り補正用ヒータ14を加熱して熱膨張させることによって、ヒータブロック20からの熱膨張による反りを含めて効率的にかつ制御性良く補正することができる。一方、図6(a)に示すように、ヒータブロック取付手段19が上下反り補正用ヒータ14より上部に配置されている場合には、ヒータブロック20の熱はその取付手段19を介して矢印30の如く上下反り補正用ヒータ14より上部に伝達されるので、図6(b)に示すように、ヒータブロック20からの伝達熱による熱膨張は圧着面5aの両端を押し下げるような変形を生じさせるように作用し、これに対して上下反り補正用ヒータ14を加熱してその部位を熱膨張させることで圧着面5aの上下反りを補正しようとしてもその補正作用を阻害されるため、上下反り補正用ヒータ14の加熱によって圧着面5aの上下反りを補正することが困難となる。   Further, as shown in FIG. 5A, the heater block mounting means 19 is disposed below the vertical warp correction heater 14 of the crimping tool 5, so that the heat of the heater block 20 passes through the mounting means 19. As shown by the arrow 29, the heat is transmitted to the upper part of the crimping tool 5, but since the heat transfer part is located below the vertical warp correction heater 14, the vertical warp correction heater 14 is heated to heat the part. When the vertical warping of the crimping surface 5a is corrected by expanding, the thermal expansion due to the heat transferred from the heater block 20 occurs at a lower position than that, and as shown in FIG. 5B, the heater block 20 The thermal expansion due to the heat transferred from the plate acts so as to cause a deformation that pulls up both ends of the crimping surface 5a. On the other hand, the vertical warpage correction heater 14 is heated and thermally expanded. Te, can be efficiently and with good controllability correction including warping due to thermal expansion of the heater block 20. On the other hand, as shown in FIG. 6A, when the heater block mounting means 19 is disposed above the up / down warp correction heater 14, the heat of the heater block 20 passes through the mounting means 19 and the arrow 30. As shown in FIG. 6B, the thermal expansion due to the heat transmitted from the heater block 20 causes deformation that pushes down both ends of the crimping surface 5a. In contrast to this, even if an attempt is made to correct the vertical warp of the crimping surface 5a by heating the vertical warp correction heater 14 to thermally expand the portion, the correction action is hindered, so the vertical warp correction is performed. It becomes difficult to correct the vertical warping of the pressure-bonding surface 5a by the heating of the heater 14.

また、ヒータブロック20及びヒータブロック取付手段19を、圧着ツール5の長手方向に複数配設しているので、圧着ツール5が大型化した場合にも、所要数のヒータブロック20を配設することで容易に対応することができ、かつ各ヒータブロック20を加熱制御することによって、圧着ツール5の先端の圧着面5aの温度むらが全長にわたって発生せず、圧着面5aの温度分布の均一性及び平面度を向上して、熱圧着性能を向上することができる。   In addition, since a plurality of heater blocks 20 and heater block mounting means 19 are arranged in the longitudinal direction of the crimping tool 5, even when the crimping tool 5 is enlarged, the required number of heater blocks 20 should be arranged. By controlling the heating of each heater block 20, the temperature unevenness of the crimping surface 5a at the tip of the crimping tool 5 does not occur over the entire length, and the temperature distribution on the crimping surface 5a is uniform. Flatness can be improved and thermocompression bonding performance can be improved.

また、圧着ツール5の長手方向に沿って部分的に面積の大きいプリント基板10の圧着を行う場合に、面積が大きく放熱特性が大きい部分に対応するヒータブロック20の温度を高く設定するようにしているので、そのようなプリント基板10を圧着する場合にも、圧着時における圧着ツール5の圧着面5aの温度分布の均一性及び平面度を確保して高い熱圧着性能を維持できる。   Further, when the printed circuit board 10 having a large area is partially crimped along the longitudinal direction of the crimping tool 5, the temperature of the heater block 20 corresponding to the portion having a large area and a large heat dissipation characteristic is set high. Therefore, even when such a printed circuit board 10 is pressure-bonded, it is possible to maintain high thermocompression bonding performance by ensuring uniformity and flatness of the temperature distribution of the pressure-bonding surface 5a of the pressure-bonding tool 5 at the time of pressure bonding.

(第2の実施形態)
次に、本発明の部品実装装置の第2の実施形態について、図7を参照して説明する。尚、本実施形態の説明では、上記第1の実施形態と同一の構成要素については同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the component mounting apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. In the description of the present embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and only differences are mainly described.

上記実施形態では、角度調整手段25が、支点押付ボルト26と、一対の調整押付ボルト27a、27bと、引張りボルト28にて構成されたものを例示したが、本実施形態では、図7(a)〜(d)に示すように、支点押付ボルト31と、一対の調整押付ボルト32a、32bにて構成し、ヒータブロック20の上部を、その中央位置とその下部両側の3点で圧着ツール5の側面に押し付けることによって、ヒータブロック20を圧着ツール5の側面に沿わせて当接させ、両者間に隙間が生じないようにしている。   In the above embodiment, the angle adjusting means 25 is exemplified by the fulcrum pressing bolt 26, the pair of adjusting pressing bolts 27a and 27b, and the tension bolt 28. However, in this embodiment, FIG. ) To (d), the fulcrum pressing bolt 31 and a pair of adjustment pressing bolts 32a and 32b are used. The heater block 20 is brought into contact with the side surface of the crimping tool 5 so as not to generate a gap between them.

なお、本実施形態の角度調整手段25では、3本の押付ボルトにてヒータブロック20の3点位置を押し付けるだけであり、圧着ツール5を交換等のために取り外した状態では、各ヒータブロック20が下方に脱落することになるため、図7(d)に示すように、支点押付ボルト31の先端に圧入係合部33を設け、ヒータブロック20のヒータ配置板22の上部中央位置に、圧入係合部33が嵌入する凹部34を設けることで、支点押付ボルト31にてヒータブロック20を保持するように構成されている。   In the angle adjusting means 25 of the present embodiment, only the three positions of the heater block 20 are pressed by three pressing bolts, and each heater block 20 is removed in a state where the crimping tool 5 is removed for replacement or the like. As shown in FIG. 7D, a press-fit engagement portion 33 is provided at the tip of the fulcrum pressing bolt 31 and press-fitted at the upper center position of the heater arrangement plate 22 of the heater block 20 as shown in FIG. By providing the recess 34 into which the engaging portion 33 is fitted, the heater block 20 is held by the fulcrum pressing bolt 31.

本実施形態においては、角度調整手段25が3本の押付ボルトだけで構成されているので、部品点数が少なく、調整作業も容易である。   In the present embodiment, since the angle adjusting means 25 is composed of only three pressing bolts, the number of parts is small and the adjustment work is easy.

以上の実施形態の説明では、本発明の熱圧着装置を、液晶パネル2などのフラットパネルディスプレイに接合されたTCPやFPCなどの電子部品9をプリント基板10に熱圧着する場合に適用した例についてのみ示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、フラットパネルディスプレイにICやTCPやFPCなどの電子部品を熱圧着する場合にも当然同様に適用でき、さらに任意の各種基板に各種電子部品を熱圧着する場合にも好適に適用することができる。   In the above description of the embodiment, the thermocompression bonding apparatus of the present invention is applied to a case where an electronic component 9 such as TCP or FPC joined to a flat panel display such as the liquid crystal panel 2 is thermocompression bonded to the printed circuit board 10. However, the present invention is not limited to this, and can naturally be applied in the same way to thermocompression bonding of electronic components such as IC, TCP, and FPC on a flat panel display. The present invention can also be suitably applied when electronic parts are thermocompression bonded.

本発明の電子部品の熱圧着装置によれば、ヒータブロック及び圧着ツールが高温になって、圧着ツールの側面とヒータブロックの接触面間に微小な隙間を発生させるような熱変形を生じた場合でも、角度調整手段でヒータブロックの水平方向と垂直方向の傾斜角を調整することによって、ヒータブロックを圧着ツールの側面に隙間を生じないように押し当てることができ、ヒータブロックの熱を効率的かつ均等に圧着ツールに伝達でき、圧着ツールの先端の温度分布の均一性及び平面度を向上することができ、熱圧着性能を向上することができるので、各種基板に電子部品を熱圧着する熱圧着装置に好適に利用することができる。   According to the thermocompression bonding apparatus for electronic parts of the present invention, when the heater block and the crimping tool become high temperature and thermal deformation occurs causing a minute gap between the side surface of the crimping tool and the contact surface of the heater block. However, by adjusting the horizontal and vertical inclination angles of the heater block with the angle adjustment means, the heater block can be pressed against the side of the crimping tool without creating a gap, and the heat of the heater block can be efficiently It can be transmitted evenly to the crimping tool, the uniformity and flatness of the temperature distribution at the tip of the crimping tool can be improved, and the thermocompression performance can be improved. It can utilize suitably for a crimping | compression-bonding apparatus.

本発明の電子部品の熱圧着装置の第1の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。The perspective view which shows the whole schematic structure of 1st Embodiment of the thermocompression bonding apparatus of the electronic component of this invention. 同実施形態の要部を拡大して示した斜視図。The perspective view which expanded and showed the principal part of the same embodiment. 同実施形態の要部の詳細構成を示し、(a)は正面図、(b)は(a)のA−A矢視拡大断面図、(c)は(a)の部分拡大図。The detailed structure of the principal part of the embodiment is shown, (a) is a front view, (b) is an AA arrow enlarged sectional view of (a), (c) is a partial enlarged view of (a). 同実施形態における角度調整方法を示し、(a)は図3(c)のB−B矢視断面図、(b)は図3(c)のC−C矢視断面図。The angle adjustment method in the embodiment is shown, (a) is a BB arrow sectional view of FIG. 3 (c), (b) is a CC arrow sectional view of FIG. 3 (c). 同実施形態における圧着ヘッドの反り調整の説明図であり、(a)は図3(b)と同様の断面図、(b)は調整状態の説明図。It is explanatory drawing of the curvature adjustment of the crimping head in the embodiment, (a) is sectional drawing similar to FIG.3 (b), (b) is explanatory drawing of an adjustment state. 同実施形態とは異なった構成とした場合の圧着ヘッドの反り調整の説明図であり、(a)は図3(b)と同様の断面図、(b)は調整不能状態の説明図。It is explanatory drawing of the curvature adjustment of the crimping head at the time of setting it as the structure different from the embodiment, (a) is sectional drawing similar to FIG.3 (b), (b) is explanatory drawing of an unadjustable state. 本発明の電子部品の熱圧着装置の第2の実施形態における角度調整手段を示し、(a)は正面図、(b)は(a)のD−D矢視断面図、(c)は(a)のE−E矢視断面図、(d)は(c)のF部拡大詳細図。The angle adjustment means in 2nd Embodiment of the thermocompression bonding apparatus of the electronic component of this invention is shown, (a) is a front view, (b) is DD sectional view taken on the line of (a), (c) is ( The EE arrow sectional drawing of a), (d) is F section enlarged detail drawing of (c).

符号の説明Explanation of symbols

1 熱圧着装置
5 圧着ツール
5a 先端の圧着面
9 電子部品
10 プリント基板
14 上下反り補正用ヒータ
19 ヒータブロック取付手段
20 ヒータブロック
21 ヒータ
22 ヒータ配置板
23 挟持板
25 角度調整手段
26 支点押付ボルト
27a、27b 調整押付ボルト
31 支点押付ボルト
32a、32b 調整押付ボルト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thermocompression bonding apparatus 5 Crimping tool 5a Tip crimping surface 9 Electronic component 10 Printed circuit board 14 Vertical warp correction heater 19 Heater block mounting means 20 Heater block 21 Heater 22 Heater arrangement plate 23 Holding plate 25 Angle adjustment means 26 Supporting point pressing bolt 27a 27b Adjusting push bolt 31 Supporting point push bolt 32a, 32b Adjusting push bolt

Claims (6)

加熱された圧着ツールの先端を電子部品に押し当ててこの電子部品を基板に圧着する電子部品の熱圧着装置であって、圧着ツールと、ヒータを保持したヒータブロックと、ヒータブロックを圧着ツールの側面に押し当てて固定するヒータブロック取付手段とを備え、ヒータブロック取付手段に、ヒータブロックの圧着ツール長手方向に沿う水平方向の傾斜角と圧着ツールの先端に対する遠近方向に沿う垂直方向の傾斜角とを調整する角度調整手段を設け、角度調整手段は、ヒータブロックの上部中央部を圧着ツール側面に押し付ける支点押付ボルトと、支点押付ボルトの下部両側にそれぞれ間隔をあけた位置でヒータブロックを圧着ツール側面に押し付ける一対の調整押付ボルトとからなることを特徴とする電子部品の熱圧着装置。 An electronic component thermocompression bonding apparatus that presses the tip of a heated crimping tool against an electronic component and crimps the electronic component to a substrate, the crimping tool, a heater block holding a heater, and the heater block of the crimping tool. A heater block mounting means that is pressed against the side surface and fixed. The heater block mounting means has a horizontal inclination angle along the longitudinal direction of the crimping tool of the heater block and a vertical tilt angle along the perspective direction with respect to the tip of the crimping tool. The angle adjustment means crimps the heater block at positions spaced apart on both sides of the lower part of the fulcrum pressing bolt and the fulcrum pressing bolt that presses the upper center of the heater block against the side of the crimping tool. thermocompression bonding apparatus that electronic components to characterized by comprising a pair of adjusting the pressing bolt for pressing the tool side. ヒータブロック取付手段は、ヒータブロックの上部を片持状態で支持し、ヒータブロックはその下部にヒータを保持していることを特徴とする請求項1記載の電子部品の熱圧着装置。 Heater block mounting means supports the upper portion of the heater block in cantilever fashion, the heater block thermocompression bonding apparatus for an electronic component according to claim 1 Symbol mounting, characterized in that holding the heater in its lower part. ヒータブロックは、ヒータブロック取付手段にて圧着ツールの側面に当接して取付けられるとともにその当接面の反対面にヒータを配置したヒータ配置板と、ヒータをヒータ配置板との間で挟持する挟持板にて構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の熱圧着装置。 The heater block is mounted in contact with the side surface of the crimping tool by the heater block mounting means, and the heater arrangement plate having the heater disposed on the opposite side of the contact surface and the heater is sandwiched between the heater arrangement plate thermocompression bonding apparatus for an electronic component according to claim 1 or 2, characterized in that constituted by a plate. 圧着ツールの上下反り補正用ヒータが圧着ツールの上方に配設され、ヒータブロック取付手段は、上下反り補正用ヒータより下部に配置したことを特徴とする請求項1〜の何れかに記載の電子部品の熱圧着装置。 Vertical warp correction heater crimping tool is disposed above the bonding tool, the heater block mounting means, according to any one of claims 1 to 3, characterized in that from the top and bottom warp correction heater disposed below Electronic parts thermocompression bonding equipment. ヒータブロック及びヒータブロック取付手段が、圧着ツールの長手方向に複数配設されていることを特徴とする請求項1〜の何れかに記載の電子部品の熱圧着装置。 Heater block and the heater block mounting means, the thermocompression bonding device for an electronic component according to any one of claims 1-4, characterized in that it is more arranged in the longitudinal direction of the crimping tool. 放熱特性が部分的に大きい加熱対象物の場合に、放熱特性の大きい部分に対応するヒータブロックの温度を高く設定することを特徴とする請求項記載の電子部品の熱圧着装置。 6. The thermocompression bonding apparatus for an electronic component according to claim 5 , wherein, in the case of a heating object having a partly large heat radiation characteristic, the temperature of the heater block corresponding to the part having a large heat radiation characteristic is set high.
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