JP4752691B2 - Ceramic green sheet, multilayer ceramic electronic component using the same, and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、セラミックグリーンシートとそれを用いた積層セラミック電子部品及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a ceramic green sheet, a multilayer ceramic electronic component using the same, and a method for manufacturing the same.

従来、積層セラミック電子部品は積層セラミックコンデンサの技術をもとに積層インダクタ、LCフィルタあるいはノイズフィルタとして高密度実装を実現するための電子部品として発展してきている。この積層セラミック電子部品の代表例である積層セラミックコンデンサは以下のように製造されている。   Conventionally, multilayer ceramic electronic components have been developed as electronic components for realizing high-density mounting as multilayer inductors, LC filters, or noise filters based on multilayer ceramic capacitor technology. A multilayer ceramic capacitor, which is a representative example of this multilayer ceramic electronic component, is manufactured as follows.

まず、水もしくは有機溶剤等の分散媒にBaTiO3などを主成分とする誘電体組成物、有機バインダ、可塑剤等を加えた後、混合して誘電体のスラリーを作製し、その後ドクターブレード法などによりシート成型して所定厚みの誘電体のセラミックグリーンシート(以下、単にセラミックグリーンシートと呼ぶ)を得る。次に、前記セラミックグリーンシートに電極ペーストを用いてスクリーン印刷法などにより電極パターンを形成した後、この印刷形成された電極が、個片化したときに個片の両端面に交互に表出させて外部電極と接続できるように位置あわせを行いながら複数枚積層して積層体を得る。この得られた積層体を個片化した後1300℃前後の焼成温度で焼成し、その後個片化した焼成体の両端に表出した電極に接続するように一対の外部電極を形成することにより作製されている。 First, a dielectric composition mainly composed of BaTiO 3 , an organic binder, a plasticizer, and the like are added to a dispersion medium such as water or an organic solvent, and then mixed to prepare a dielectric slurry, and then a doctor blade method. A dielectric ceramic green sheet (hereinafter simply referred to as a ceramic green sheet) having a predetermined thickness is obtained by sheet molding. Next, after an electrode pattern is formed on the ceramic green sheet using an electrode paste by a screen printing method or the like, the printed electrodes are alternately exposed on both end faces of the individual pieces when separated into individual pieces. Then, a plurality of stacked layers are obtained by aligning them so that they can be connected to external electrodes. By separating the obtained laminate into individual pieces, firing at a firing temperature of about 1300 ° C., and then forming a pair of external electrodes so as to connect to the electrodes exposed at both ends of the separated fired body. Have been made.

また、高容量の積層セラミックコンデンサを得るためにセラミックグリーンシートを薄くする場合には電極パターンをセラミックグリーンシートに直接印刷する方法の他に、たとえば特許文献1、特許文献2などに開示されているように、電極パターンをPETフィルムなどの支持体に形成した後セラミックグリーンシートに圧着して電極パターンを転写する方法などが提案されている。
特開昭63−31104号公報 特開昭63−32909号公報
In addition, when thinning the ceramic green sheet to obtain a high-capacity multilayer ceramic capacitor, in addition to the method of directly printing the electrode pattern on the ceramic green sheet, it is disclosed in, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2 As described above, a method of transferring an electrode pattern by forming an electrode pattern on a support such as a PET film and then pressing it onto a ceramic green sheet has been proposed.
JP-A-63-31104 JP-A-63-32909

しかしながら、上記前者の従来方法のようにセラミックグリーンシートに直接印刷する場合、高容量を得るためにセラミックグリーンシートを薄くしていくと、電極パターンの印刷時に起こる電極ペーストによるセラミックグリーンシートの侵食の悪影響が顕著となり、ショート率の増加や絶縁耐圧の低下などを招きやすいという問題点を有していた。   However, when printing directly on the ceramic green sheet as in the former conventional method, if the ceramic green sheet is thinned in order to obtain a high capacity, the erosion of the ceramic green sheet by the electrode paste that occurs at the time of electrode pattern printing will occur. Adverse effects become prominent, and there is a problem that the short circuit rate is increased and the dielectric breakdown voltage is liable to be lowered.

また、上記後者の従来方法のように電極パターンをPETフィルムなど他の支持体に形成した後セラミックグリーンシートに転写する方法では、電極ペーストによるセラミックグリーンシートの侵食がないことから比較的セラミックグリーンシートの厚みを薄くすることができるものの、例えばセラミックグリーンシートの厚みが2.5μmを切り、300層を超える高積層品になる場合には、セラミックグリーンシート自体の強度不足による工程中のダメージ、積層時のシートずれやシート伸びなどの影響が顕著になり、その結果、ショート率の増加や絶縁耐圧の低下などを招きやすいという問題点を有していた。   Further, in the method of transferring the electrode pattern to the ceramic green sheet after forming the electrode pattern on another support such as the PET film as in the latter conventional method, the ceramic green sheet is relatively free from the erosion of the ceramic green sheet by the electrode paste. For example, when the thickness of the ceramic green sheet is less than 2.5 μm and becomes a highly laminated product exceeding 300 layers, the ceramic green sheet itself is damaged due to insufficient strength. The effects of sheet displacement and sheet elongation at the time become remarkable, and as a result, there is a problem that an increase in the short-circuit rate and a decrease in dielectric strength are likely to occur.

本発明は上記従来の課題を解決するものであり、誘電体層を薄層化してもショート率の増加・絶縁耐圧の低下を抑制できるセラミックグリーンシートとそれを用いた積層セラミック電子部品及びその製造方法を提供することを目的とするものである。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described conventional problems, and a ceramic green sheet that can suppress an increase in short-circuit rate and a decrease in dielectric strength even when a dielectric layer is thinned, a multilayer ceramic electronic component using the same, and a production thereof It is intended to provide a method.

前記目的を達成するために本発明は以下の構成を有する。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明は、特に、Tgが30℃以下の、ポリエステル系樹脂、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一つを含むものであり、これにより、ショート率の増加、絶縁耐圧の低下を抑制することができる。また、シートの強度向上だけではなく、積層時の電極段差吸収、接着性を発現させることができる。 This onset Ming, especially, Tg of 30 ° C. or less, a polyester resin, EVA - those containing the (ethylene-vinyl acetate copolymer) resin, polyamide resin, at least one selected from the group consisting of polypropylene resin Thus, it is possible to suppress an increase in the short-circuit rate and a decrease in the withstand voltage. Moreover, not only the strength of the sheet can be improved, but also electrode step absorption and adhesion during lamination can be exhibited.

また本発明は、引張り強度において、常温での弾性定数が300N/mm以上、積層温度での破断点ひずみが20%以上であることとしたものであり、これにより、薄層化しても積層性に優れるとともにショート率の増加、絶縁耐圧の低下を抑制することができる。 This onset Ming also in tensile strength, elastic constant at room temperature is 300N / mm 2 or more, the strain at break of at lamination temperature is obtained by the fact that 20% or more, thereby, be thinned As well as being excellent in lamination properties, it is possible to suppress an increase in short-circuit rate and a decrease in dielectric strength voltage.

また本発明は、可塑剤を非添加としたものであり、これにより、積層時のシートずれやシート伸びなどのクリープ現象を起こりにくくすることができる。 The present onset bright is obtained by the non-addition of a plasticizer, it can thereby be less likely to creep phenomena such as sheet misalignment or sheet elongation at the time of stacking.

また本発明は、セラミックグリーンシートを用いた積層セラミックコンデンサであり、上記セラミックグリーンシートを用いることでショート率の増加、絶縁耐圧の低下を抑制することができる。 Further, the present invention is a multilayer ceramic capacitor using a ceramic green sheet, and the use of the ceramic green sheet can suppress an increase in short-circuit rate and a decrease in dielectric strength.

また本発明は、上下の最外有効層の厚みが略同じとしたものであり、これにより、積層工程によりシートの伸びを抑制することができ、その結果、ショート率の増加、絶縁耐圧の低下を抑制することができる。 In the present invention, the thicknesses of the upper and lower outermost effective layers are substantially the same, thereby suppressing the elongation of the sheet by the laminating process. As a result, the short circuit ratio is increased and the withstand voltage is decreased. Can be suppressed.

また本発明は、セラミックグリーンシートを60℃以上に加熱した後積層することとしたものであり、セラミックグリーンシートを積層前に加熱することにより、常温時には高弾性率、積層圧着時では内部電極の段差吸収、接着性などの積層性に優れたものを実現することができ、短時間で高信頼性の積層セラミック電子部品を製造することができる。 In the present invention, the ceramic green sheet is laminated after being heated to 60 ° C. or higher. By heating the ceramic green sheet before lamination, a high elastic modulus is obtained at room temperature, and the internal electrode is laminated at the time of lamination pressure bonding. It is possible to realize an excellent laminate property such as step absorption and adhesion, and it is possible to manufacture a highly reliable multilayer ceramic electronic component in a short time.

本発明のセラミックグリーンシートは、常温時には弾性率が高く工程中のシートへのダメージ、シート倒れやシート縮みの影響を低減し、積層圧着時には電極段差吸収、接着性を発現し積層性に優れたものであるため、誘電体薄層化時でもショート率の増加、絶縁耐圧の低下を招くことなく、高信頼性の積層セラミック電子部品を製造することができるという効果が得られるものである。   The ceramic green sheet of the present invention has a high elastic modulus at room temperature, reduces the damage to the sheet in the process, the effect of sheet collapse and sheet shrinkage, and expresses the step difference absorption and adhesion at the time of laminating and bonding, and has excellent laminating properties. Therefore, even when the dielectric layer is thinned, an effect that a highly reliable multilayer ceramic electronic component can be manufactured without increasing the short-circuit rate and lowering the withstand voltage is obtained.

(実施の形態1)
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1、2、4、5に記載の発明について説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the first and second aspects of the present invention will be described with reference to the first embodiment.

なお、積層セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサを用いて説明する。また、以下、実施の形態においては、Tgが30℃以下の、ポリエステル系樹脂、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂を総称して高結晶性樹脂と記す。   In addition, it demonstrates using a multilayer ceramic capacitor as a multilayer ceramic electronic component. In the following embodiments, a polyester resin, EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) resin, polyamide resin, and polypropylene resin having a Tg of 30 ° C. or lower are collectively referred to as a highly crystalline resin. I write.

まず、セラミック原料に分子量20000〜200000のブチラール系樹脂を、高結晶性樹脂として分子量5000〜50000のポリエステル系樹脂をそれぞれ加えて酢酸ブチル溶媒中で十分に分散することによって誘電体スラリーを作製し、この誘電体スラリーを用いてドクターブレード法によって約1.6μmの厚みの誘電体グリーンシートを作製した。   First, a dielectric slurry is prepared by adding a butyral resin having a molecular weight of 20,000 to 200,000 to a ceramic raw material, and adding a polyester resin having a molecular weight of 5,000 to 50,000 as a highly crystalline resin and sufficiently dispersing in a butyl acetate solvent, Using this dielectric slurry, a dielectric green sheet having a thickness of about 1.6 μm was prepared by a doctor blade method.

次に、この誘電体グリーンシートにスクリーン印刷によって内部電極のパターンを形成した後、この印刷形成された内部電極が、個片化したときに個片の両端面にて交互に一対の外部電極と接続できるように表出するように位置あわせを行いながら、300枚積層圧着した積層体を作製した。積層条件は温度70〜130℃、圧力80〜120kgf/cm2とした。 Next, after forming a pattern of internal electrodes on the dielectric green sheet by screen printing, when the printed internal electrodes are separated into pieces, a pair of external electrodes are alternately formed on both end faces of the pieces. While aligning so that it could be connected, 300 laminated laminates were produced. The lamination conditions were a temperature of 70 to 130 ° C. and a pressure of 80 to 120 kgf / cm 2 .

この得られた積層体を個片化した後、脱バインダ処理、還元雰囲気中で焼成した後、一対の外部電極を形成して積層セラミックコンデンサを得た。   The obtained multilayer body was separated into individual pieces, then treated to remove the binder and fired in a reducing atmosphere, and then a pair of external electrodes were formed to obtain a multilayer ceramic capacitor.

以下、実施例にて具体的に説明する。   Hereinafter, specific examples will be described.

(実施例1)
チタン酸バリウムを主成分とするセラミック材料100部に対して、ブチラール系樹脂を8部用い、高結晶性樹脂としてポリエステル系樹脂(Tg:−10℃)を5部用いて、上述した製造方法により誘電体グリーンシートを作製した。
Example 1
Using 100 parts of ceramic material mainly composed of barium titanate, using 8 parts of butyral resin and 5 parts of polyester resin (Tg: −10 ° C.) as a high crystalline resin A dielectric green sheet was prepared.

そして、この誘電体グリーンシートを用い、上述した条件にて積層体を得、この積層体を個片化した後、脱バインダ処理、焼成を行い、焼結体を作製し、外部電極を形成して積層セラミックコンデンサを作製した。   Then, using this dielectric green sheet, a laminate was obtained under the conditions described above, and after the laminate was separated into pieces, binder removal and firing were performed to produce a sintered body, and external electrodes were formed. Thus, a multilayer ceramic capacitor was produced.

(実施例2)
チタン酸バリウムを主成分とするセラミック材料100部に対して、ブチラール系樹脂を8部用い、高結晶性樹脂としてポリエステル系樹脂(Tg:−20℃)を5部用いた。それ以外は、実施例1と同様の方法により積層セラミックコンデンサを作製した。
(Example 2)
8 parts of butyral resin was used for 100 parts of the ceramic material mainly composed of barium titanate, and 5 parts of polyester resin (Tg: −20 ° C.) was used as the highly crystalline resin. Otherwise, a multilayer ceramic capacitor was produced by the same method as in Example 1.

(実施例3)
チタン酸バリウムを主成分とするセラミック材料100部に対して、ブチラール系樹脂を8部用い、高結晶性樹脂としてポリエステル系樹脂(Tg:30℃)を5部用いた。それ以外は、実施例1と同様の方法により積層セラミックコンデンサを作製した。
(Example 3)
8 parts of butyral resin was used for 100 parts of the ceramic material mainly composed of barium titanate, and 5 parts of polyester resin (Tg: 30 ° C.) was used as the highly crystalline resin. Otherwise, a multilayer ceramic capacitor was produced by the same method as in Example 1.

(比較例1)
チタン酸バリウムを主成分とするセラミック材料100部に対して、ブチラール系樹脂を8部用い、高結晶性樹脂の代わりに可塑剤としてフタル酸ブチルベンジルを2.5部用いた。それ以外は、実施例1と同様の方法により積層セラミックコンデンサを作製した。
(Comparative Example 1)
8 parts of butyral resin was used for 100 parts of the ceramic material mainly composed of barium titanate, and 2.5 parts of butylbenzyl phthalate was used as a plasticizer instead of the highly crystalline resin. Otherwise, a multilayer ceramic capacitor was produced by the same method as in Example 1.

(比較例2)
チタン酸バリウムを主成分とするセラミック材料100部に対して、ブチラール系樹脂を8部用い、高結晶性樹脂の代わりに可塑剤としてフタル酸ブチルベンジルを5部用いた。それ以外は、実施例1と同様の方法により積層セラミックコンデンサを作製した。
(Comparative Example 2)
8 parts of butyral-based resin was used for 100 parts of the ceramic material mainly composed of barium titanate, and 5 parts of butylbenzyl phthalate was used as a plasticizer instead of the highly crystalline resin. Otherwise, a multilayer ceramic capacitor was produced by the same method as in Example 1.

(比較例3)
チタン酸バリウムを主成分とするセラミック材料100部に対して、ブチラール系樹脂を8部用い、高結晶性樹脂としてポリエステル系樹脂(Tg:35℃)を5部用いた。それ以外は、実施例1と同様の方法により積層セラミックコンデンサを作製した。
(Comparative Example 3)
8 parts of butyral resin was used for 100 parts of the ceramic material mainly composed of barium titanate, and 5 parts of polyester resin (Tg: 35 ° C.) was used as the highly crystalline resin. Otherwise, a multilayer ceramic capacitor was produced by the same method as in Example 1.

上記実施例1〜3および比較例1〜3により作製された積層セラミックコンデンサについて、それぞれ500個中ずつBDVave(絶縁耐圧の平均値)、ショート率を測定した。その結果を(表1)に示す。 With respect to the multilayer ceramic capacitors produced according to Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3, BDV ave (average value of dielectric strength) and the short-circuit rate were measured for each 500 pieces. The results are shown in (Table 1).

Figure 0004752691
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(表1)から明らかなように、Tgが30℃以下の高結晶性樹脂をグリーンシートの構成成分に含む実施例1〜3では、ブチラール系樹脂に可塑剤を添加した比較例1、2のものよりも、常温では高弾性率(300N/mm2以上)、積層圧着時には高破断点ひずみ(20%以上)を実現することができ、ショート率が15%以下と低いことがわかる。また、Tgが30℃を超える高結晶性樹脂を含む比較例3については破断点ひずみが20%未満になりショート率が増加することがわかる。 As apparent from (Table 1), in Examples 1 to 3 containing a highly crystalline resin having a Tg of 30 ° C. or less as a constituent component of the green sheet, those of Comparative Examples 1 and 2 in which a plasticizer was added to a butyral resin. It can be seen that a higher elastic modulus (300 N / mm 2 or more) can be achieved at room temperature, and a high strain at break (20% or more) can be achieved at the time of laminating and crimping, and the short-circuit rate can be as low as 15% or less. Moreover, about the comparative example 3 containing highly crystalline resin whose Tg exceeds 30 degreeC, it turns out that a fracture | rupture at break point becomes less than 20% and a short circuit rate increases.

図1は実施例1〜3、比較例1〜3のそれぞれについて常温での弾性率、積層温度での破断点ひずみとショート率との関係についてプロットした図である。なお、弾性率、破断点ひずみは、厚さ15〜20μmのグリーンシートを用いて引っ張り試験機により測定したものである。   FIG. 1 is a graph plotting the relationship between the elastic modulus at normal temperature, the strain at break at the lamination temperature, and the short rate for each of Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3. The elastic modulus and the strain at break are measured by a tensile tester using a green sheet having a thickness of 15 to 20 μm.

図1より、グリーンシートの弾性率300N/mm2未満のものに関してはショート率が高くなっており、弾性率300N/mm2以上且つ破断点ひずみが20%以上のものに関してはショート率が低く、弾性率が高くとも破断点ひずみが20%未満のものに関してはショート率が高くなっていることがわかる。 According to FIG. 1, the green sheet has an elastic modulus of less than 300 N / mm 2 , and the short ratio is high, and the elastic modulus is 300 N / mm 2 or more and the strain at break is 20% or more, the short ratio is low. It can be seen that even when the elastic modulus is high, the short-circuit rate is high for those having a strain at break of less than 20%.

これは、弾性率300N/mm2未満のものに関してはセラミックグリーンシート自体の強度不足が原因で工程中のダメージ、積層時のシート倒れやシート伸びの影響が顕著になるためで、弾性率300N/mm2以上のものに関しては強度が増加しその影響が少なくなったためである。弾性率が増加しても積層温度での破断点ひずみが20%未満になったときにショート率が増加するのは、グリーンシートの電極段差吸収や接着性を発現することが出来なくなるためである。 This is because for the elastic modulus less than 300 N / mm 2 , the influence of damage during the process, sheet collapse during lamination and sheet elongation becomes remarkable due to insufficient strength of the ceramic green sheet itself. This is because the strength is increased and the influence is less for those of mm 2 or more. Even when the elastic modulus increases, the short-circuit rate increases when the strain at break at the lamination temperature is less than 20% because it becomes impossible to exhibit electrode level difference absorption and adhesion of the green sheet. .

(実施の形態2)
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項3に記載の発明について説明する。
(Embodiment 2)
The second aspect of the present invention will be described below with reference to the second embodiment.

可塑性を有する物質(可塑剤)とは、具体的には、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジ-2-エチルヘキシル、フタル酸ジノルマルオクチル、フタル酸ジイソノニル、フタル酸ジノニル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブチルベンジル、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリセリン、ジイソデシルフタレート、ジエチルフタレート、パラフィン、ジブチルフタレートなどが挙げられる。   Specific examples of the plastic material (plasticizer) include dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, di-2-ethylhexyl phthalate, dinormaloctyl phthalate, diisononyl phthalate, dinonyl phthalate, Examples include diisodecyl phthalate, butyl benzyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin, diisodecyl phthalate, diethyl phthalate, paraffin, and dibutyl phthalate.

そして、グリーンシートの構成成分として可塑剤が含まれているものと含まれていないもので製造した積層セラミックコンデンサのショート率について比較したものを(表2)に示す。なお、積層セラミックコンデンサを作製する工程については、実施の形態1と同様であり、また、BDVave(絶縁耐圧の平均値)、ショート率の測定方法も同様に行った。 Table 2 shows a comparison of the short-circuit rates of multilayer ceramic capacitors manufactured with and without a plasticizer as a constituent component of the green sheet. The process for manufacturing the multilayer ceramic capacitor is the same as that in the first embodiment, and the measurement method of BDV ave (the average value of the withstand voltage) and the short-circuit rate was also performed in the same manner.

Figure 0004752691
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(表2)より明らかなように、可塑剤を含んでいない高結晶性樹脂を用いたグリーンシート(実施例4)のショート率が良好である。この理由を図2を用いて説明する。   As is clear from (Table 2), the short rate of the green sheet (Example 4) using the highly crystalline resin containing no plasticizer is good. The reason for this will be described with reference to FIG.

図2は、本実施の形態2における積層セラミックコンデンサの断面図である。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor according to the second embodiment.

図2において、誘電体層1と内部電極2が交互に積層されており、内部電極2は交互に一対の外部電極3と接続されている。ここで、誘電体層1のうち積層セラミックコンデンサの厚み方向に対して最も外側に位置する有効層で上方に位置するものが上最外有効層4、下方に位置するものが下最外有効層5である。   In FIG. 2, dielectric layers 1 and internal electrodes 2 are alternately stacked, and the internal electrodes 2 are alternately connected to a pair of external electrodes 3. Here, among the dielectric layers 1, the effective layer located on the outermost side with respect to the thickness direction of the multilayer ceramic capacitor is the upper outermost effective layer 4 and the lower is the lower outermost effective layer. 5.

セラミックグリーンシートに可塑剤を含む場合はクリープ現象により積層圧着時にシート伸びが発生し、最初に積層した層ほどその厚みが薄くなり、最後に積層した層の厚みが最も厚くなってしまう。   When the ceramic green sheet contains a plasticizer, the sheet is stretched at the time of laminating and crimping due to the creep phenomenon, and the thickness of the layer laminated first becomes thinner, and the thickness of the layer laminated last becomes the largest.

実際、(表2)の膜厚伸び率(%)(膜厚伸び率(%):100×(最初に積層した下最外有効層の膜厚)−(最後に積層した上最外有効層の膜厚))/(最に積層した上最外有効層の膜厚)を比較すると、可塑剤を含んだものが−7%に対し、高結晶性樹脂を用いたものが−0.5%とシート伸びが軽減されている。このように本発明のセラミックグリーンシートを用いれば、上下最外有効層4,5の厚みを略同一にすることができるので、ショート率の増加、絶縁耐圧の低下を抑制することができる。通常、ショート率の増加、BDVaveの低下は膜厚が薄いほど起こり易くなるため、誘電体層の薄層化に対して本発明のグリーンシートは有効である。なお、膜厚伸び率は−5〜0%であることが好ましい。 In fact, the film thickness growth rate (Table 2) (%) (film thickness elongation (%): 100 × 5 (thickness of the first laminated the lower outermost effective layer) - 4 (outermost on the last laminated comparing the film thickness of the active layer)) / 4 (the thickness of the outermost effective layer on laminated at the end), those ones containing a plasticizer to -7%, using high crystalline resin Sheet elongation is reduced by -0.5%. Thus, if the ceramic green sheet of this invention is used, since the thickness of the upper and lower outermost effective layers 4 and 5 can be made substantially the same, the increase in a short circuit rate and the fall of a dielectric strength voltage can be suppressed. Usually, the increase in the short-circuit rate and the decrease in BDV ave are more likely to occur as the film thickness is thinner. Therefore, the green sheet of the present invention is effective for making the dielectric layer thinner. The film thickness elongation is preferably -5 to 0%.

(実施の形態3)
以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項6に記載の発明について説明する。積層セラミックコンデンサを作製する工程については、セラミックグリーンシートを積層する前に加熱する工程を入れること以外は実施の形態1と同様である。
(Embodiment 3)
The third aspect of the present invention will be described below with reference to the third embodiment. The process for producing the multilayer ceramic capacitor is the same as that of the first embodiment except that a heating process is performed before the ceramic green sheets are laminated.

図3は積層セラミックコンデンサの製造工程を示した斜視図であり、図3(a)は切断工程、図3(b)は加熱工程、図3(c)は積層圧着工程をそれぞれ示している。   3A and 3B are perspective views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor. FIG. 3A shows a cutting process, FIG. 3B shows a heating process, and FIG. 3C shows a multilayer crimping process.

図3(a)の切断工程において、内部電極の転写されたセラミックグリーンシート6を7cm×7cmの寸法になるよう切断機7により切断し、図3(b)に示した加熱工程において、切断したセラミックグリーンシート6を加熱機9にて赤外線により加熱し、不要な支持体としてのPETフィルムをセラミックグリーンシート6から剥がし位置合わせをした後に、図3(c)に示す積層圧着工程において、加熱圧着装置11により積層圧着を行う。ここでの積層時の圧力は100kgf/cm2とした。以降、実施の形態1と同様なので省略する。このようにセラミックグリーンシートをあらかじめ60℃以上に加熱しておけばその直後の積層の際、セラミックグリーンシートが内部電極の段差吸収をしやすくなるとともに接着性を向上させることができる。なお、加熱工程と積層圧着工程は、セラミックグリーンシートの温度ができるだけ低下しないように連続して行うことが好ましく、加熱工程と積層圧着工程の間に、加熱したグリーンシートを保温するような手段を設けることも可能である。 In the cutting process of FIG. 3A, the ceramic green sheet 6 to which the internal electrode has been transferred is cut by the cutting machine 7 so as to have a size of 7 cm × 7 cm, and cut in the heating process shown in FIG. The ceramic green sheet 6 is heated by infrared rays with a heater 9 and the PET film as an unnecessary support is peeled off from the ceramic green sheet 6 and aligned. Then, in the laminating and crimping step shown in FIG. Lamination pressing is performed by the apparatus 11. The pressure during lamination here was 100 kgf / cm 2 . Since the subsequent steps are the same as those in the first embodiment, a description thereof will be omitted. If the ceramic green sheet is heated to 60 ° C. or higher in advance as described above, the ceramic green sheet can easily absorb the step difference of the internal electrode and improve the adhesion during the subsequent lamination. In addition, it is preferable to perform a heating process and a lamination | stacking crimping | compression-bonding process continuously so that the temperature of a ceramic green sheet may not fall as much as possible, and the means which keeps the heated green sheet warm between a heating process and a lamination | stacking crimping | compression-bonding process. It is also possible to provide it.

図4はセラミックグリーンシートを積層する前に加熱する温度に対する必要な積層圧着時間を示した図である。ここで、積層圧着時間とはセラミックグリーンシートが内部電極の段差を吸収し、かつ、セラミックグリーンシートが剥がれることなく安定して接着するために必要な最短時間のことを表している。   FIG. 4 is a diagram showing the required lamination pressure bonding time with respect to the temperature to be heated before laminating the ceramic green sheets. Here, the lamination pressure bonding time represents the shortest time required for the ceramic green sheet to absorb the step of the internal electrode and to adhere stably without peeling off the ceramic green sheet.

図4より明らかなように、加熱温度を60℃以上にすることで積層圧着時間を大幅に短縮することができる。したがって、図3(b)に示した加熱工程を図3(c)に示した積層圧着工程の直前に設け、かつ、加熱温度を60℃以上にすることによってセラミックグリーンシートが剥がれることなく接着し、積層の時間が短縮され効率的に高信頼性の積層セラミックコンデンサを製造することができる。   As is apparent from FIG. 4, the lamination pressure bonding time can be significantly shortened by setting the heating temperature to 60 ° C. or higher. Therefore, the heating step shown in FIG. 3 (b) is provided immediately before the laminating and crimping step shown in FIG. 3 (c), and the heating temperature is set to 60 ° C. or higher so that the ceramic green sheet is bonded without peeling off. Thus, the lamination time is shortened, and a highly reliable multilayer ceramic capacitor can be manufactured efficiently.

これは、通常の加熱がない工程では、積層時に温度を上昇させグリーンシートが柔らかくなり(GSのTgを超える)、電極の段差吸収、接着性などの積層性を発現させることができるまでに時間を要するのに対し、加熱工程がある場合は加熱段階で、ある程度の積層性が発現し積層圧着時間が短縮できたためである。   This is because in a process without normal heating, the temperature is raised during lamination, the green sheet becomes soft (exceeds the Tg of GS), and it takes time to develop lamination properties such as electrode step absorption and adhesion. On the other hand, when there is a heating step, a certain degree of lamination property is exhibited in the heating stage, and the lamination pressure bonding time can be shortened.

なお、本発明では、高結晶性樹脂として上述した樹脂を挙げたが、高結晶性の樹脂であれば用いることができ、同様の作用効果を有するものである。   In the present invention, the above-described resins are exemplified as the highly crystalline resin. However, any highly crystalline resin can be used and has the same effect.

また、本実施の形態においては、積層セラミックコンデンサを例に用いたが、これに限定されることはなく、例えば、積層インダクタ、LCフィルタあるいはノイズフィルタなどグリーンシートを積層してつくられる積層セラミック電子部品についても用いることができる。   In this embodiment, a multilayer ceramic capacitor is used as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, a multilayer ceramic electronic formed by stacking green sheets such as a multilayer inductor, an LC filter, or a noise filter is used. It can also be used for parts.

本発明にかかるセラミックグリーンシートは、誘電体層の薄層化時において、ショート率の増加・絶縁耐圧の低下を抑制できるという効果を有し、特に、薄型化、高容量化、又は、高信頼性化が必要とされる積層セラミック電子部品に有用である。   The ceramic green sheet according to the present invention has an effect of suppressing an increase in a short-circuit rate and a decrease in a withstand voltage when the dielectric layer is thinned. In particular, the ceramic green sheet is thinned, increased in capacity, or highly reliable. This is useful for monolithic ceramic electronic components that require characterization.

セラミックグリーンシートの弾性率・破断点ひずみとショート率の関係を示した図Diagram showing the relationship between elastic modulus, strain at break and short rate of ceramic green sheet 本発明の実施の形態2における積層セラミックコンデンサの断面図Sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor in Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態3における積層セラミックコンデンサの製造工程を示した斜視図The perspective view which showed the manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor in Embodiment 3 of this invention セラミックグリーンシートの加熱温度と積層圧着時間の関係を示した図Diagram showing the relationship between the heating temperature of the ceramic green sheet and the lamination pressure bonding time

符号の説明Explanation of symbols

1 誘電体層
2 内部電極
3 外部電極
4 上最外有効層
5 下最外有効層
6 セラミックグリーンシート
7 切断機
9 加熱機
11 加熱圧着装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dielectric layer 2 Internal electrode 3 External electrode 4 Upper outermost effective layer 5 Lower outermost effective layer 6 Ceramic green sheet 7 Cutting machine 9 Heating machine 11 Thermocompression bonding apparatus

Claims (6)

セラミック原料と、ブチラール系樹脂もしくはアクリル系樹脂と、Tgが30℃以下の、ポリエステル系樹脂、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一つを含み、
引張り強度において、常温での弾性定数が300N/mm 以上、積層温度での破断点ひずみが20%以上であることを特徴とするセラミックグリーンシート。
Selected from the group consisting of ceramic raw material, butyral resin or acrylic resin, and polyester resin, EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) resin, polyamide resin, and polypropylene resin having a Tg of 30 ° C. or less. at least one only contains,
A ceramic green sheet characterized by an elastic constant at room temperature of 300 N / mm 2 or more in tensile strength and a strain at break at a lamination temperature of 20% or more.
セラミック原料と、ブチラール系樹脂もしくはアクリル系樹脂と、Tgが30℃以下の、ポリエステル系樹脂、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一つを含み、Selected from the group consisting of ceramic raw material, butyral resin or acrylic resin, and polyester resin, EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) resin, polyamide resin, and polypropylene resin having a Tg of 30 ° C. or less. Including at least one
引張り強度において、常温での弾性定数が300N/mmIn tensile strength, the elastic constant at room temperature is 300 N / mm 2 以上、70℃〜130℃での破断点ひずみが20%以上であることを特徴とするセラミックグリーンシート。As described above, a ceramic green sheet having a breaking strain at 70 ° C. to 130 ° C. of 20% or more.
可塑剤を非添加とした請求項1に記載のセラミックグリーンシート。 The ceramic green sheet according to claim 1, wherein a plasticizer is not added. 請求項1〜3のいずれか一つに記載のセラミックグリーンシートを用いた積層セラミック電子部品。 The multilayer ceramic electronic component using the ceramic green sheet as described in any one of Claims 1-3. セラミック原料と、ブチラール系樹脂もしくはアクリル系樹脂と、Tgが30℃以下の、ポリエステル系樹脂、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリプロピレン系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも一つを含み、Selected from the group consisting of ceramic raw material, butyral resin or acrylic resin, and polyester resin, EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) resin, polyamide resin, and polypropylene resin having a Tg of 30 ° C. or less. Including at least one
下最外有効層の膜厚と上最外有効層の膜厚の差を上最外有効層の膜厚で除した膜厚伸び率が−5〜0%である積層セラミック電子部品。A multilayer ceramic electronic component having a film thickness elongation of -5 to 0% obtained by dividing a difference between a film thickness of a lower outermost effective layer and a film thickness of an upper outermost effective layer by a film thickness of an upper outermost effective layer.
積層セラミックコンデンサの製造方法であって、請求項1〜3のいずれか一つに記載のセラミックグリーンシートを60℃以上に加熱した後積層することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, comprising: heating the ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 3 to 60 ° C. or more and then stacking the ceramic green sheets.
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