JP4752049B2 - 二ホウ化マグネシウムの製造方法 - Google Patents
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Description
このため、例えば有機材料の上に二ホウ化マグネシウムの薄膜を形成すると、有機材料が融解してしまうため、有機レジストを用いたリフトオフ法による微細加工ができない。
従って、MgB2を利用した超伝導デバイスを、現在の集積回路に組込むことが困難になってしまう。
このMBE法とは、超高真空中に保ったチャンバーの中で基板に分子線を入射させ、基板上にエピタキシャル成長層を形成する方法の総称であって、半導体、金属、超伝導体、絶縁体等の広範囲の材料がMBE法で作成可能である。
(1)成長速度が遅く、成長温度も低温であるので、極めて薄い原子レベルの薄膜の制御が可能である。
(2)成長途中の薄膜の状態をモニターすることができると共に、連続して他の真空プロセスを行うことができる。
(3)高純度の成長層が得られる。
また、成膜時の圧力は1×10−5Pa以下とすることが望ましい。
それぞれの蒸着量は、マグネシウムの蒸着量を0.126〜0.9Å/sの範囲内(0.0126〜0.09nm/s)とし、ボロンの蒸着量を0.0563〜0.275Å/sの範囲内(0.00563〜0.0275nm/s)とする。さらに好ましくは、二ホウ化マグネシウムを形成する際の基板の温度を100℃とし、マグネシウムの蒸着量を0.126〜0.9Å/sの範囲内とし、ボロンの蒸着量を0.1064〜0.275Å/sの範囲内とし、マグネシウムの蒸着量とホウ素の蒸着量との比を、1.0〜4.10の範囲内とする。
基板の表面状態は特に限定されず、洗浄や表面処理がなされた基板でも、全く処理が行われていない基板でもよい。
なお、蒸着量の比を上記範囲を超えて大きくすると、基板温度を100℃よりも高くしないと二ホウ化マグネシウムを形成することができなくなる。
即ち、本発明により、100℃以下という比較的低温で、二ホウ化マグネシウムを形成することが可能になる。
また、本発明により製造される二ホウ化マグネシウムは、ジョセフソン素子、超伝導量子干渉計(SQUID)への応用が考えられる。
従って、本発明により、半導体装置等の集積回路に、二ホウ化マグネシウム薄膜から成るデバイスを組み込むことが可能になる。
Kセル3は、真空計による計測で厳密な蒸発量を保つことができるものである。EBガン4は、電子線を当てることにより、融点が非常に高い物質であっても蒸発させることができるものである。
基板ホルダー8は、基板11とは反対側にヒーター9が設けられている。
そして、EBガン4と、基板ホルダー8に保持された基板11との間に、膜厚計7が設けられている。
さらに、反応室2には、図示しないが、反応室2内を真空にするために、真空ポンプ等が設けられる。
そして、真空ポンプ等により反応室2内を真空にした後、ヒーター9により基板11の温度が100℃以下、より好ましくは0℃〜100℃の範囲内にあるように制御する。このとき、反応室2内の圧力は、1×10−8Pa以下の高真空とする。
これにより、基板11に、マグネシウム及びボロンが蒸着されて、二ホウ化マグネシウム薄膜が形成される。
なお、マグネシウム及びボロンを蒸発させて、基板11上に薄膜を形成しているとき(成膜時)には、反応室2内の圧力を1×10−5Pa以下に制御することが望ましい。
また、Kセル3からのマグネシウムの蒸発量を、真空計(図示せず)により計測し、EBガン4からのボロンの蒸発量を、膜厚計7により計測する。
これにより、二ホウ化マグネシウム薄膜の膜厚をモニターすることができ、所望の膜厚の二ホウ化マグネシウム薄膜が形成されたときに蒸着を停止すれば、形成する二ホウ化マグネシウム薄膜の膜厚を制御することができる。
EBガン4からのボロンの蒸発量は、EBガンの電流値により、制御することができる。なお、カーボン製ルツボ6内のボロンの状態によって、電流値と蒸発量との関係が変化するが、例えば、時間の経過とともに電流値を増加させることにより、蒸発量を一定に保つことも可能である。
上述した本発明方法により、実際に二ホウ化マグネシウム薄膜を形成して、特性を調べた。
図1に示した構成のMBE装置1を使用して、基板温度を25℃・50℃・100℃と変えて、また、マグネシウムの蒸着量(Mgレート)とホウ素の蒸着量(Bレート)を様々に変えて、基板11上に二ホウ化マグネシウム薄膜を形成した薄膜の試料を作製した。なお、基板11としては、シリコン基板を使用した。
また、この蒸着量の比(レート比)から、形成される薄膜の組成として、Mg/B2比(原子比)を算出した。原子比は、マグネシウムの原子量24、ボロンの原子量11、マグネシウムの密度(1.738g/cm3)、ボロンの密度(2.37g/cm3)を用いて、次式(1)により算出することができる。
原子比=レート比×{(ボロンの原子量/ボロンの原子量)/(マグネシウムの原子量/マグネシウムの密度)}×2=レート比×0.66 (1)
そして、マイスナー効果が確認された試料について、磁場が変化し始めた温度を、超伝導転移温度Tcと定義した。
なお、No.4の試料は、従来の高い基板温度で採用されているレート比に近い値(26.9)としたものであるが、この場合、形成した薄膜が超伝導特性(マイスナー効果)を示さなかった。
即ち、レート比を従来よりも充分に小さくしないと、基板温度100℃で超伝導特性を示す二ホウ化マグネシウム薄膜を形成することができないことがわかる。
次に、有機レジスト上に、基板温度50℃で二ホウ化マグネシウム薄膜を成膜し、リフトオフ法により、微細加工を行った。
この微細加工によりパターニングされたMgB2薄膜を、顕微鏡により観察したところ、幅20μmの微細加工パターンが崩れることなく、加工ができていることがわかった。
Claims (2)
- マグネシウムの蒸着源と、ホウ素の蒸着源と、基板とを反応室内に配置し、
前記反応室内で、マグネシウムとホウ素とを同時に蒸着することにより、前記基板上に二ホウ化マグネシウムを形成する方法であって、
前記二ホウ化マグネシウムを形成する際の前記基板の温度を100℃以下とし、
マグネシウムの蒸着量を0.126〜0.9Å/sの範囲内とし、ホウ素の蒸着量を0.0563〜0.275Å/sの範囲内とし、マグネシウムの蒸着量とホウ素の蒸着量との比を、1.0〜9.0の範囲内とする
ことを特徴とする二ホウ化マグネシウムの製造方法。 - 前記二ホウ化マグネシウムを形成する際の前記基板の温度を100℃とし、マグネシウムの蒸着量を0.126〜0.9Å/sの範囲内とし、ホウ素の蒸着量を0.1064〜0.275Å/sの範囲内とし、マグネシウムの蒸着量とホウ素の蒸着量との比を、1.0〜4.10の範囲内とすることを特徴とする請求項1に記載の二ホウ化マグネシウムの製造方法。
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