JP4743437B2 - 発光用基板およびその製造方法、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板およびその製造方法、液滴材料着弾精度の測定方法、電気光学装置ならびに電子機器 - Google Patents
発光用基板およびその製造方法、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板およびその製造方法、液滴材料着弾精度の測定方法、電気光学装置ならびに電子機器 Download PDFInfo
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Description
(A)本発明は、カラーフィルタにおいて、
遮光領域および前記遮光領域によって区画される透過領域を有する画素領域と、
前記画素領域以外に位置する着弾精度試験用領域と、
前記遮光領域に設けられる第1の遮光層と、
前記透過領域に設けられる色要素と、
前記着弾精度試験用領域に設けられる第2の遮光層と、
少なくとも前記第2の遮光層を覆うように前記着弾精度試験用領域に設けられる着弾精度試験用層と、
を備え、
前記着弾精度試験用領域には、前記第2の遮光層によって区画される評価領域が設けられていることを特徴とするカラーフィルタである。
遮光領域、および前記遮光領域に囲まれた透過領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記透過領域に形成された色要素と、
前記画素領域に隣り合って配置され、且つ遮光領域を有する周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記周辺領域の遮光領域に囲まれることによって前記透過領域の形状に対応した形状を有する評価領域と、
を備えることを特徴とする。
遮光領域、および前記遮光領域に囲まれた透過領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記透過領域に形成された色要素と、
前記画素領域に隣り合って配置され、且つ遮光領域を有する周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記周辺領域の遮光領域に囲まれた評価領域と、
前記評価領域に囲まれた領域を覆うように前記周辺領域に設けられ、且つ前記液滴材料をはじく性質を有する層と、
を備えることを特徴とする。
遮光領域、および前記遮光領域に囲まれた複数の透過領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記透過領域に形成された色要素と、
前記画素領域に隣り合って配置され、且つ遮光領域を有する周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記周辺領域の遮光領域に囲まれた評価領域と、を備え、
前記複数の透過領域および前記評価領域は、配列されていることを特徴とする。
本発明のカラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板は、遮光層と、少なくとも該遮光層を覆うように形成された着弾精度試験用層とを含む着弾精度試験用領域を含み、
前記着弾精度試験用領域には、前記遮光層によって区画される評価領域が設けられている。
本発明は、カラーフィルタの製造方法において、
(a)画素領域において、所定のマトリクスパターンを有する第1の遮光層を形成することにより、該第1の遮光層を含む遮光領域を設ける工程、
前記画素領域以外に位置する着弾精度試験用領域において、所定のマトリクスパターンを有する第2の遮光層を形成することにより、該第2の遮光層によって区画される評価領域を形成する工程、
(b)前記着弾精度試験用領域において、少なくとも前記第2の遮光層を覆うように着弾精度試験用層を形成する工程、および
(c)前記画素領域において、色要素形成領域に色要素を形成することにより、前記遮光領域によって区画される透過領域を形成する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
本発明は、カラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法において、
(a)所定のマトリクスパターンを有する遮光層を形成することにより、該遮光層によって区画される評価領域を形成する工程、および
(b)少なくとも該遮光層を覆うように着弾精度試験用層を形成することにより、着弾精度試験用領域を形成する工程を備えることを特徴とするカラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法である。
(A)本発明は、発光用基板において、
バンク領域および前記バンク領域によって区画される発光領域を有する画素領域と、
前記画素領域以外に位置する着弾精度試験用領域と、
前記発光領域に設けられる機能層と、
前記着弾精度試験用領域に設けられる着弾精度試験用層と、
を備えることを特徴とする発光用基板である。
区画領域および前記区画領域に囲まれた発光領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記発光領域に形成された機能層と、
前記画素領域に隣り合って配置された周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記発光領域の形状に対応した形状を有する評価領域と、
前記評価領域を覆うように前記周辺領域に設けられ、且つ前記液滴材料をはじく性質を有する層と、
を備えることを特徴とする。
区画領域および前記区画領域に囲まれた複数の発光領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記発光領域に形成された機能層と、
前記画素領域に隣り合って配置され、且つ遮光領域を有する周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記発光領域の形状に対応した形状を有する評価領域と、を備え、
前記複数の発光領域および前記評価領域は、配列されていることを特徴とする。
前記着弾精度試験用領域を構成する前記第2の絶縁層は、前記画素領域において前記バンク領域を構成する前記第1の絶縁層と同じ基体からの高さに形成され、かつ、同じパターンを有することができる。
前記着弾精度試験用領域に形成されるスイッチング素子と、前記画素領域に形成される前記スイッチング素子とは同じ構造を有することができる。
前記バーニア層は、前記金属配線層と同じ基体からの高さに形成することができる。
本発明の発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板は、基板上に形成されたスイッチング素子、前記スイッチング素子に接続される電極層、所定のパターンを有するバンク絶縁層、および前記電極層上に形成された前記着弾精度試験用層を含む。
本発明は、発光用基板の製造方法において、
(a)画素領域において、所定のパターンを有するバンク領域を形成する工程、
(b)前記画素領域に以外に位置する着弾精度試験用領域において、着弾精度試験用層を形成する工程、および
(c)前記画素領域において、前記バンク領域によって区画される領域に機能層を形成することにより、前記バンク領域によって区画される発光領域を形成する工程を含むことを特徴とする発光用基板の製造方法である。
前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層とを同じ基体からの高さに形成し、かつ、同じパターンに形成することができる。
前記バーニア層を、前記金属配線層と同じ基体からの高さに形成することができる。
本発明は、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法において、
(a)スイッチング素子、電極層、および所定のパターンを有するバンク絶縁層を基板上に形成する工程、および
(b)前記電極層上に、着弾精度試験用層を形成する工程を含むことを特徴とする発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法である。
(1)本発明に係る電気光学装置は、上述した本発明のカラーフィルタと、
該カラーフィルタと所定間隔を置いて配置される対向基板と、
前記カラーフィルタと前記対向基板との間に配置される電気光学材料層と、を含む。
前記発光用基板を構成する前記機能層は、エレクトロルミネッセンスによって発光可能である。
(1)本発明は、成膜方法において、
膜形成領域以外に位置する着弾精度試験用領域において、着弾精度確認用パターンを形成する工程と、
前記着弾精度試験用領域において、少なくとも前記着弾精度確認用パターンを覆うように着弾精度試験用層を形成する工程と、
前記着弾精度試験用層上の前記着弾精度確認用パターン位置に対応する位置に、液滴材料を吐出することによって凸状層を形成する工程と、
前記着弾精度確認用パターンおよび前記凸状層の相対位置に基づいて着弾精度を評価する工程と、
を備えることを特徴とする。
膜形成領域以外に位置する着弾精度試験用領域において、着弾精度確認用パターンを形成する工程と、
前記着弾精度試験用領域において、少なくとも前記着弾精度確認用パターンを覆うように着弾精度試験用層を形成する工程と、
前記着弾精度試験用層上の前記着弾精度確認用パターン位置に対応する位置に、液滴材料を吐出することによって複数の凸状層を形成する工程と、
前記複数の凸状層の相対位置に基づいて着弾精度を評価する工程と、
を備えることを特徴とする。
(1)本発明は、成膜装置において、
液滴材料を吐出するためのノズルを備え、
膜形成領域以外に位置する着弾精度試験用領域において、着弾精度確認用パターンを形成し、
前記着弾精度試験用領域において、少なくとも前記着弾精度確認用パターンを覆うように着弾精度試験用層を形成し、
少なくとも前記着弾精度確認用パターンを覆うように形成された前記着弾精度試験用層上の前記着弾精度確認用パターン位置に対応する位置に、前記ノズルから液滴材料を吐出することによって凸状層を形成し、
前記着弾精度確認用パターンおよび前記凸状層の相対位置に基づいて着弾精度を評価することを特徴とする。
液滴材料を吐出するためのノズルを備え、
膜形成領域以外に位置する着弾精度試験用領域において、着弾精度確認用パターンを形成し、
前記着弾精度試験用領域において、少なくとも前記着弾精度確認用パターンを覆うように着弾精度試験用層を形成し、
少なくとも前記着弾精度確認用パターンを覆うように形成された前記着弾精度試験用層上の前記着弾精度確認用パターン位置に対応する位置に、前記ノズルから液滴材料を吐出することによって複数の凸状層を形成し、
前記複数の凸状層の相対位置に基づいて着弾精度を評価することを特徴とする。
(カラーフィルタ)
図1は、本発明の第1の実施の形態にかかるカラーフィルタを模式的に示す部分平面図であり、図2は、図1のA−A線に沿った部分を模式的に示す部分断面図である。
画素領域100は、図1および図2に示すように、遮光領域20と、遮光領域20によって区画される透過領域30とを含む。遮光領域20は光(可視光)が実質的に透過しない領域であり、透過領域30は光が透過可能な領域である。画素領域100においては、図1に示すように、遮光領域20と透過領域30とが所定のマトリクスパターンで配列している。
着弾精度試験用領域200は前記周辺領域に含まれる。この着弾精度試験用領域200は、前記周辺領域に含まれ、且つ前記周辺領域の遮光領域(ここでは第2の遮光層122)に囲まれることによって透過領域30の形状に対応した形状を有する領域を含む。前記周辺領域の遮光領域に囲まれた領域は配列されている。具体的には、着弾精度試験用領域200は、図2に示すように、第2の遮光層122(遮光領域)および着弾精度試験用層26を含む。
次に、図3〜図5を参照しながら、本実施の形態のカラーフィルタの製造方法について説明する。図3および図4は、各工程において図1のB−B線に対応する部分の層構造を模式的に示す断面図である。図5は、図3および図4に示す工程により得られたカラーフィルタを模式的に示す部分平面図であり、図1のA−A線の近傍を拡大した図である。
まず、図3(A)に示すように、画素領域100および着弾精度試験用領域200において、透明な基板10上に、ドライメッキ法、たとえばスパッタ法、蒸着法、化学蒸着法で金属層220を、膜厚0.1〜0.5μmで堆積させる。金属層220の材料としては、前述したように、クロム,ニッケル,アルミニウムなどの各種の金属を用いることができる。ついで、金属層220の表面に所定のパターンを有するレジスト層R1をフォトリソグラフィーによって形成する。ここで、画素領域100および着弾精度試験用領域200で同じパターンを有するマスクを使用してフォトリソグラフィ工程を行なう。その後、このレジスト層R1をマスクとしてエッチングを行い、金属層220のパターニングを行う。このようにして、図3(B)に示すように、画素領域100および着弾精度試験用領域200において、基板10上に所定のマトリクスパターンを有する第1および第2の遮光層22,122がそれぞれ形成される。ここで、第1および第2の遮光層22,122は同じパターンを有する。
ついで、図3(C)に示すように、画素領域100および着弾精度試験用領域200において、第1および第2の遮光層22,122が形成された基板10の上に、樹脂層240を形成する。この樹脂層は、ネガ型あるいはポジ型のレジストによって形成できる。樹脂層240は、たとえばウレタン系あるいはアクリル系などの光硬化型(ネガ型)の感光性樹脂からなる。そして、フォトマスクM1を用いて露光を行い、さらに現像を行うことにより、樹脂層240をパターニングする。これによって、図3(D)に示すように、画素領域100にバンク層24が形成されて、遮光領域20が形成されるとともに、着弾精度試験用領域200に着弾精度試験用層26が形成される。バンク層24および着弾精度試験用層26の構成については、既に述べたのでその記載を省略する。この工程で、画素領域100において、遮光領域20によって区画された色要素形成領域330が所定のマトリクスパターンで形成される。
次に、画素領域100において色要素32を形成する前に、着弾精度試験用領域200において、色要素32の形成の際に用いる液滴材料を着弾精度試験用層26上に着弾させて、当該液滴材料の着弾精度を測定する。
つづいて、実際に画素となる色要素32を形成する。まず、図4(B)に示すように、画素領域100において、第1の遮光層22およびバンク層24によって区画される色要素形成領域330に液滴材料を付与して液滴材料層を形成することにより、色要素32(32g,32r,32b)を形成する。本実施の形態では、液滴材料を付与する方法として、前述した液滴材料着弾精度試験で用いた液滴吐出法を適用する。
ついで、図4(C)に示すように、色要素32の形成の後、必要に応じて、平滑表面を得るためのオーバーコート層40を形成する。さらに、図4(D)に示すように、オーバーコート層40の表面に、必要に応じて、共通電極50を形成することにより、カラーフィルタ1000が得られる。これらのオーバーコート層40および共通電極50は、カラーフィルタが適用される電気光学装置の構成に応じて設けることができる。
以下に、本実施の形態のカラーフィルタの主な作用効果を述べる。
(カラーフィルタ)
図6は、本発明の第2の実施の形態にかかるカラーフィルタを模式的に示す部分平面図であり、図7は、図6のA−A線に沿った部分を模式的に示す部分断面図である。
次に、図8〜図10を参照しながら、本実施の形態のカラーフィルタ1001の製造方法について説明する。図8および図9は、各工程において図6のB−B線に対応する部分の層構造を模式的に示す断面図である。図10は、図8および図9に示す工程により得られたカラーフィルタを模式的に示す部分平面図であり、図6のA−A線の近傍を拡大した図である。なお、各製造工程において、第1の実施の形態にかかるカラーフィルタ1000の製造工程と実質的に同じ部分については、詳細な説明を省略する。
本実施の形態においては、第1および第2の遮光層22,122およびバーニア層28が同じ工程で形成される。まず、図8(A)に示すように、画素領域100および着弾精度試験用領域200において、透明な基板10上に、金属層220を堆積させた後、金属層220の表面に所定のパターンを有するレジスト層R2をフォトリソグラフィーによって形成する。その後、このレジスト層R2をマスクとしてエッチングを行い、金属層220のパターニングを行い、図8(B)に示すように、画素領域100において基板10上に所定のマトリクスパターンを有する第1の遮光層22を形成するとともに、着弾精度試験用領域200において、第2の遮光層122ならびにバーニア層28を形成する。この工程において、バーニア層28は、第2の遮光層122で区画される領域(評価領域)内に形成される。
以下に示す工程は、第1の実施の形態のカラーフィルタの製造工程と同様である。すなわち、図8(C)に示すように、画素領域100および着弾精度試験用領域200において、第1および第2の遮光層22,122が形成された基板10の上に樹脂層240を形成した後、フォトマスクM1を用いて露光を行い、さらに現像を行うことにより、樹脂層240をパターニングして、図8(D)に示すように、画素領域100にバンク層24が形成されて、遮光領域20が形成されるとともに、着弾精度試験用領域200に着弾精度試験用層26が形成される。さらに、この工程で、遮光領域20によって区画された色要素形成領域330が所定のマトリクスパターンで形成される。ついで、必要に応じて、後に行なう色要素の形成工程の前に、基板表面の表面処理を行う。
次に、画素領域100において色要素32を形成する前に、着弾精度試験用領域200において、色要素32の形成の際に用いる液滴材料を着弾精度試験用層26上に着弾させて、液滴材料の着弾精度を測定する。本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様に、液滴材料吐出法を適用して色要素32を形成する。すなわち、本実施の形態においては、第1の実施の形態と同様の方法にて、着弾精度試験用領域200にて液滴材料着弾精度を測定する。
(カラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板)
図11は、本発明の第3の実施の形態にかかるカラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板を模式的に示す部分平面図であり、図12は、図11のA−A線に沿った部分を模式的に示す部分断面図である。
カラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板1002は、第2の実施の形態のカラーフィルタ1001において着弾精度試験用領域200を形成する工程と同様の工程にて製造することができる。また、本実施の形態において、液滴材料の着弾精度試験は、第2の実施の形態における図9に示す工程と同様の工程にて行なうことができる。この場合、前述したように、液滴材料着弾精度試験基板1002に対する液滴材料の着弾精度試験は、実際に製造するカラーフィルタの製造前に行なわれる。
(電気光学装置)
図14に、第1の実施の形態のカラーフィルタ1000を組み込んだ電気光学装置の一例として、カラー液晶表示装置の断面図を示す。なお、図14においては、カラーフィルタ1000のうち、画素領域100部分のみを示す。
(発光用基板および電気光学装置)
図15は、発光用基板1003と、発光用基板1003を組み込んだ電気光学装置の一例として、カラーEL表示装置1200の断面図を示す。また、図16は、図15に示す発光用基板1003を模式的に示す平面図である。本実施の形態においては、発光用基板1003がカラー発光用基板である場合について説明する。なお、第1の実施の形態にかかるカラーフィルタ1000と同様の構造を有し、同様の作用および効果を有する部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
画素領域110は、図15および図16に示すように、バンク領域(区画領域)220と、発光領域230とを含む。このバンク領域220および発光領域230は基体111上に形成されている。また、発光領域230は、バンク領域220によって区画されている。具体的には、図16に示すように、この画素領域110において、発光領域230はバンク領域220によって区画されている。
着弾精度試験用領域210は前記周辺領域に含まれる。この着弾精度試験用領域210は、前記周辺領域に含まれ、且つ発光領域230の形状に対応した形状を有する領域を含む。前記発光領域230の形状に対応した形状を有する領域は配列されている。具体的には、着弾精度試験用領域210には、図15に示すように、着弾精度試験用層226が形成されている。また、着弾精度試験用領域210には、画素領域110と同様に、基板111上に形成されたスイッチング素子202、隣接するスイッチング素子202を分離するバンク絶縁層(第2の絶縁層)222、主にバンク絶縁層222上に形成され、かつスイッチング素子202と接続される第1電極層227、および隣接する第1電極層227を分離するバンク絶縁層222とが形成されている。
次に、図15に示す発光用基板1003が形成されたカラーEL表示装置1200の動作および作用について説明する。
次に、図17および図18を参照しながら、本実施の形態の発光用基板1003の製造方法について説明する。図17(A)〜(C)ならびに図18(A)〜(C)はいずれも、図16に示す発光用基板1003の製造工程を模式的に示す部分断面図であり、図16のC−C面に沿って切断した断面を示す図である。
まず、図17(A)に示すように、画素領域110および着弾精度試験用領域210において、基板111上にスイッチング素子202、隣り合うスイッチング素子202を分離する絶縁層221、第1電極層227、および所定のパターンを有するバンク絶縁層(第1および第2の絶縁層)222を順に公知の方法にて形成する。ここで、図17(A)に示すように、第1電極層227の形成前に、絶縁層221の所定の領域(スイッチング素子202上に位置する領域)に開口部を形成した後、この絶縁層221上に第1電極層227を形成することにより、スイッチング素子202と第1電極層227とを電気的に接続する。また、後述する工程において、図16に示すように、バンク絶縁層222が形成されていない部分に発光領域230が形成される。
つづいて、図17(B)および図17(C)に示すように、液滴材料吐出方式で用いられる、液滴材料吐出ヘッド500による液滴材料吐出法を適用して、機能層形成領域430に正孔輸送/注入層204を形成する。正孔輸送/注入層204を形成するための材料502としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォネートとの混合物を用いることができる。なお、本実施の形態では、各カラードットとも同じ材質の正孔輸送/注入層を形成したが、場合によっては、各発光層毎に発光層に適した正孔輸送/注入材料を用いて正孔輸送/注入層を形成してもよい。
次に、画素領域110において発光層42を形成する前に、着弾精度試験用領域210において、これらの発光層42の形成の際に用いる液滴材料を着弾精度試験用層226上に着弾させて、当該液滴材料の着弾精度を測定する。
つづいて、実際に画素となる発光層42(42g,42r,42b)を形成する。まず、図18(B)に示すように、液滴材料吐出法により、赤色発光層用液滴材料、緑色発光層用液滴材料、および青色発光層用液滴材料を、正孔輸送/注入層204上にそれぞれ塗布する。その後、溶媒を除去し、続けて窒素雰囲気中で熱処理を行ない、液滴材料組成物を硬化または共役化させて、図18(C)に示すように、赤、緑、青の3原色の赤色発光層42r,緑色発光層42g,および青色発光層42bを形成する。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。以上の工程により、図15に示す発光領域230が形成される。
ついで、図15に示すように、陰極として第2電極層229を形成する。第2電極層229としては金属薄膜を用いることができる。第2電極層229を構成する金属としては、たとえばマグネシウム、銀、アルミニウム、リチウムなどが挙げられる。また、これらの他に仕事関数が小さい材料を用いることができ、たとえばアルカリ金属や、カリウムなどのアルカリ土類金属およびこれらを含む合金を用いることができる。また、金属のフッ素化物も適用できる。このような第2電極層229は、蒸着法およびスパッタ法などにより形成することができる。
(電子機器)
以下に、本発明に係る電気光学装置として液晶表示装置を用いた電子機器の例を示す。
本発明の第4の実施の形態に係る液晶表示装置1100をファインダに用いたディジタルスチルカメラについて説明する。図19は、このディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図であり、さらに外部機器との接続についても簡易的に示すものである。
図20(A)、(B)、および(C)は、本発明に係る電気光学装置として液晶表示装置を用いた、他の電子機器の例を示す外観図である。図20(A)は、携帯電話機3000であり、その前面上方に液晶表示装置1100を備えている。図20(B)は、腕時計4000であり、本体の前面中央に液晶表示装置1100を用いた表示部が設けられている。図20(C)は、携帯情報機器5000であり、液晶表示装置1100からなる表示部と入力部5100とを備えている。
(発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板)
図21は、本発明の第7の実施の形態にかかる発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板1004を模式的に示す部分平面図である。
発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板1004は、第5の実施の形態の発光用基板1003において着弾精度試験用領域210を形成する工程と同様の工程にて製造することができる。また、本実施の形態において、液滴材料の着弾精度試験は、第5の実施の形態における図18(A)に示す工程と同様の工程にて行なうことができる。この場合、前述したように、液滴材料着弾精度試験基板1004に対する液滴材料の着弾精度試験は、実際に製造する発光用基板の製造前に行なわれる。
24 バンク層、 26 着弾精度試験用層、 28 バーニア層、 30 透過領域、 32,32r,32g,32b 色要素、 40 オーバーコート層、 42,42r,42g,42b 発光層、 50 共通電極、 52 画素電極、 60,62 配向膜、 70 液晶層、 80 基板、 90,92 偏光板、 100,110 画素領域、 108a 層、 111 基板、 112 基体、 113 第2電極層、 122 遮光層(第2の遮光層)、 122a 第2の遮光層122の縁部、 200,210 着弾試験用領域、 202 スイッチング素子、 204 正孔輸送/注入層、 220 バンク領域、 221 絶縁層、 222 バンク絶縁層、 222a 絶縁層222の縁部、 224 樹脂層、 226 着弾精度試験用層、 227 第1電極層、 228 バーニア層、 229 第2電極層、 230 発光領域、 240 樹脂層、 320,420 凸状層、 330 色要素形成領域、 430 機能層形成領域、 500,600 液滴材料吐出ヘッド、 502 正孔輸送/注入層形成用材料、 602,604,606 液滴材料、 1000,1001 カラーフィルタ、 1002 カラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板、 1003 発光用基板、 1004 発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板、 1100 液晶表示装置、 1200 EL表示装置、 2000 ディジタルスチルカメラ、 2002 ケース、 2204 光学ユニット、 2206 シャッタボタン、 2208 回路基板、 2212 ビデオ信号出力端子、 2214 データ通信用の入出力端子、 2300 テレビモニタ、 2400 パーソナルコンピュータ、 3000 携帯電話機、 4000 腕時計、 5000 携帯情報機器、 5100 入力部、 M1,M2 マスク、 R1,R2,R3 レジスト層
Claims (31)
- 発光用基板において、
バンク領域および前記バンク領域によって区画された複数の発光領域を有する画素領域と、
前記画素領域以外に設けられた着弾精度試験用領域と、
前記発光領域に設けられた機能層と、
前記着弾精度試験用領域に設けられた着弾精度試験用層と、
を備え、
前記着弾精度試験用領域において、バーニア層が設けられており、
前記バンク領域は、第1の絶縁層を含み、
前記着弾精度試験用領域は、前記第1の絶縁層と同じパターンを有する第2の絶縁層を含み、
前記基板と垂直な方向からみて、前記バーニア層は、前記第2の絶縁層の縁部に囲まれた領域内に設けられている、発光用基板。 - 請求項1において、
前記機能層は、一対の電極層の間に形成されている、発光用基板。 - 請求項1または2において、
前記バンク領域は、前記第1の絶縁層および樹脂層が順に積層されて構成されている、発光用基板。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記第2の絶縁層は、前記第1の絶縁層と同じ基体からの高さに形成されている、発光用基板。 - 請求項1〜4のいずれかにおいて、
前記画素領域および前記着弾精度試験用領域はそれぞれ、スイッチング素子を含み、
前記着弾精度試験用領域に設けられたスイッチング素子と、前記画素領域に設けられた
スイッチング素子とは同じ構造を有する、発光用基板。 - 請求項5において、
前記画素領域に設けられたスイッチング素子は、金属配線層を含み、
前記バーニア層は、前記金属配線層と同じ基体からの高さに形成されている、発光用基板。 - 請求項1〜6のいずれかにおいて、
前記着弾精度試験用層上に、凸状層が形成されている、発光用基板。 - 請求項1〜6に記載のいずれかの発光用基板を用い、前記着弾精度試験用層上に液滴材料を着弾させて、凸状層を形成する、発光用基板の液滴材料着弾精度の測定方法。
- 基板上に形成されたスイッチング素子およびバーニア層、前記スイッチング素子に接続された電極層、所定のパターンを有するバンク絶縁層、および前記電極層上に形成された着弾精度試験用層を含み、
前記電極層は、前記バンク絶縁層の開口部に形成され、
前記基板と垂直な方向からみて、前記バーニア層は、前記バンク絶縁層の縁部に囲まれた領域内に設けられている、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板。 - 請求項9において、
前記バーニア層は、金属層からなる、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板。 - 請求項9または10において、
前記着弾精度試験用層上に、凸状層が形成されている、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板。 - 請求項9または10に記載のいずれかの発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板を用い、前記着弾精度試験用層上に液滴材料を着弾させて、凸状層を形成する、液滴材料着弾精度の測定方法。
- 発光用基板の製造方法において、
(a)画素領域において、第1の絶縁層を形成し、前記画素領域以外に設けられた着弾精度試験用領域において、第2の絶縁層を形成し、該画素領域に所定のパターンを有するバンク領域を形成し、前記着弾精度試験用領域において、バーニア層を形成する工程、
(b)前記着弾精度試験用領域に着弾精度試験用層を形成する工程、および
(c)前記画素領域において、前記バンク領域によって区画される領域に機能層を形成することにより、前記バンク領域によって区画された複数の発光領域を形成する工程を含み、
前記工程(a)において、前記第1の絶縁層を有する前記バンク領域を形成し、前記第2の絶縁層を前記第1の絶縁層と同じパターンに形成し、前記基板と垂直な方向からみて、前記第2の絶縁層の縁部に囲まれた領域内に前記バーニア層を形成する、発光用基板の製造方法。 - 請求項13において、
さらに、(d)前記画素領域において、前記機能層に電荷を付加する一対の電極層を形成する工程を含む、発光用基板の製造方法。 - 請求項13または14において、
前記工程(a)において、前記バンク領域は、前記第1の絶縁層上に樹脂層を積層する
ことにより形成される、発光用基板の製造方法。 - 請求項13〜15のいずれかにおいて、
前記工程(a)において、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層とを同じ基体からの高さに形成する、発光用基板の製造方法。 - 請求項15において、
前記工程(a)において、前記樹脂層は、前記画素領域に感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフィーによって該感光性樹脂層をパターニングすることにより形成される、発光用基板の製造方法。 - 請求項13〜17のいずれかにおいて、
前記工程(b)において、前記着弾精度試験用層は、前記着弾精度試験用領域に感光性樹脂層を形成した後、該感光性樹脂層をフォトリソグラフィーによってパターニングすることにより形成される、発光用基板の製造方法。 - 請求項15において、
前記工程(a)において、前記樹脂層を形成する工程と、前記工程(b)において、前記着弾精度試験用層を形成する工程とを同一工程にて行なう、発光用基板の製造方法。 - 請求項13〜19のいずれかにおいて、
さらに、(e)前記画素領域および前記着弾精度試験用領域において、同じ構造を有するスイッチング素子をそれぞれ形成する工程を含む、発光用基板の製造方法。 - 請求項20において、
前記工程(e)において、前記画素領域に設けられた前記スイッチング素子は、金属配線層を含み、
前記バーニア層を、前記金属配線層と同じ基体からの高さに形成する、発光用基板の製造方法。 - 請求項13〜21のいずれかにおいて、
さらに、(f)前記着弾精度試験用層上に液滴材料を含む液滴を着弾させて、凸状層を形成する工程を含む、発光用基板の製造方法。 - 請求項13〜22のいずれかにおいて、
前記工程(c)は、前記バンク領域によって区画される領域に、液滴材料吐出ヘッドを用いて液滴材料を付与して前記機能層を形成する工程を含む、発光用基板の製造方法。 - 発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法において、
(a)スイッチング素子、バーニア層、電極層、および所定のパターンを有するバンク絶縁層を基板上に形成する工程、および
(b)前記電極層上に、着弾精度試験用層を形成する工程を含み、
前記工程(a)において、前記電極層を前記バンク絶縁層の開口部に形成し、前記基板と垂直な方向からみて、前記バンク絶縁層の縁部に囲まれた領域内に前記バーニア層を形成する、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法。 - 請求項24において、
前記工程(b)は、前記着弾精度試験用層を、前記電極層および前記バンク絶縁層上に形成する工程である、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法。 - 請求項24または25において、
さらに、(c)前記着弾精度試験用層上に液滴材料を着弾させて、凸状層を形成する工程を含む、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法。 - 請求項24〜26のいずれかにおいて、
前記工程(b)は、感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフィーによって該感光性樹脂層をパターニングすることにより前記着弾精度試験用層を形成する工程である、発光用基板用液滴材料着弾精度試験基板の製造方法。 - 請求項1〜6に記載のいずれかの発光用基板を含み、
前記機能層は、エレクトロルミネッセンスによって発光可能である、電気光学装置。 - 請求項28に記載のいずれかの電気光学装置を含む、電子機器。
- 発光用基板において、
区画領域および前記区画領域に囲まれた複数の発光領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記発光領域に形成された機能層と、
前記画素領域に隣り合って配置された周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記発光領域と同じパターンを有する評価領域と、
前記評価領域を覆うように前記周辺領域に設けられ、且つ前記液滴材料をはじく性質を有する層と、
を備え、
前記評価領域は、開口部を有するバンク絶縁層を含んで構成され、
前記評価領域には、バーニア層が設けられ、
前記バーニア層は、前記基板と垂直な方向から見て、前記バンク絶縁層の開口部に形成されている、発光用基板。 - 発光用基板において、
区画領域および前記区画領域に囲まれた複数の発光領域を有する画素領域と、
液滴材料を吐出することによって前記発光領域に形成された機能層と、
前記画素領域に隣り合って配置され、且つ遮光領域を有する周辺領域と、
前記周辺領域に含まれ、且つ前記発光領域と同じパターンを有する評価領域と、
前記評価領域に設けられた着弾精度試験用層と、
を備え、
前記複数の発光領域および前記評価領域は、配列され、
前記評価領域は、開口部を有するバンク絶縁層を含んで構成され、
前記評価領域には、バーニア層が設けられ、
前記バーニア層は、前記基板と垂直な方向から見て、前記バンク絶縁層の開口部に形成されている、発光用基板。
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