JP4721794B2 - 微細構造物の作製方法 - Google Patents
微細構造物の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4721794B2 JP4721794B2 JP2005201368A JP2005201368A JP4721794B2 JP 4721794 B2 JP4721794 B2 JP 4721794B2 JP 2005201368 A JP2005201368 A JP 2005201368A JP 2005201368 A JP2005201368 A JP 2005201368A JP 4721794 B2 JP4721794 B2 JP 4721794B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- thin film
- etching
- etched
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
ファラデーカップとは、開口を有する円筒状の導電部材の内部に、前記開口を介して電子線、X線等の荷電粒子線を入射させ、これに伴い発生する電流変化を検出することで、前記孔の径との関係で前記荷電粒子線の線束を検出するものである。かかるファラデーカップを平面のXY方向に多数並設しておけばXY平面における電子線の分布を知ることができ、この性質を利用して電子ビーム描画システムにおける電子線の検出に利用されている(例えば、特開2004−200549号公報(特許文献1)参照)。電子線描画システムにおける各ファラデーカップは微細加工により形成される。そこで、かかるファラデーカップを、特にマイクロファラデーカップと呼んでいる。
力学量センサとは、計測部分に作用する荷重、加速度等の力学的な物理量を検出するものであり、半導体力学量センサもその一種である。この半導体力学量センサは、シリコン基板に形成した横方向に伸びる空洞、ベースプレートである支持部から前記空洞の上方に突出する片持ち梁構造の複数の突出部、前記空洞に連通して縦方向に伸びるとともに隣接する前記突出部間の空間となる溝部とを有している(例えば、特開2002-202318号公報(特許文献2)参照)。かかる構造において、前記突出部に力が作用した場合、この突出部は変位するので、この変位に伴う隣接する突出部間の静電容量の変化を測定することにより、前記荷重、加速度等の力学的な物理量を検出することができる。
マイクロリアクタとは、消費電力の大きい携帯機器にも十分使用することができる小型で反応効率の高い燃料電池に適用して好適なもので、例えば基板の片面に薄膜ヒータと給電用の電極とを有するとともに、他方の面には流路を有し、ガラス板等により密封されている。また、前記流路の内面は、アルコール等の燃料を水素に変換するための触媒が固定されている。かくして、燃料が流路を流通する過程で、前記薄膜ヒータにより加熱されて基板内で気化し、気化した燃料を前記触媒により水素に変換する(例えば、特開2003−331896号公報(特許文献3)参照)。
多くの工程を経る必要がある点とも相俟ってその作製に多大の時間を要している。特に、電子線を入射させる開口に続く空間であるキャビティの形成はエッチングに依るにしても最も時間を要する作業となっていた。
特に、複数の突出部の下方で横方向に伸びる空洞をシリコン基板に形成する工程における工数が多い結果、この工程に多大の時間を要する。
燃料が流通する流路の加工は、一般にサンドブラスト法、ダイシング法乃至フライス法により行われており、この場合の流路の幅は600μm程度である。これをリソグラフィ法により形成した場合でも、流路の幅は、10μm程度にまでしか狭くすることはできない。それ以上の微細な流路を形成することは現状の技術では不可能である。また、流路の加工のための加工時間自体が多大の時間を要する。
1) プラズマの解離反応; Cl2→2Cl*
2) エッチング反応; Me+Cl*→MeCl(g)
3) 基板への吸着反応; MeCl(g)→MeCl(ad)
4) 成膜反応; MeCl(ad)+Cl*→Me+Cl2↑・・・(1)
Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材がハロゲンラジカルでエッチングされて貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体が形成され、相対的な低温部である基板に前記前駆体が吸着されるとともに吸着された前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成するモードである成膜モードとして、エッチング部位に対応する位置で基板に形成した孔の底部に前記薄膜を形成する工程と、
前記薄膜がハロゲンラジカルでエッチングされるエッチングモードとして、前記薄膜を触媒とする前記基板のエッチングを行うことにより前記孔の下方で急激にエッチングを進行させて前記基板内に空間を形成する工程とを有することを特徴とする微細構造物の作製方法である。
Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材をハロゲンラジカルでエッチングして得られる貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体を、マトリクス状に基板の表面に多数配設した微細孔のそれぞれの底部に、前記基板を相対的な低温部として吸着させるとともに、吸着させた前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成する工程と、
ハロゲンラジカルで前記薄膜がエッチングされるエッチングモードとして前記薄膜を触媒とするエッチングを急激に進行させることで前記基板内における前記各微細孔の下方にキャビティを形成する工程とを有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法である。
上記第2の態様において、
さらに前記基板を相対的な低温部に保持した状態で、重金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより少なくとも前記各キャビティの内周面に前記重金属の薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法である。
上記第3の態様において、
前記基板の表面に形成された重金属の薄膜に、ハロゲンラジカルを作用させてこのハロゲンラジカルのエッチング作用により前記薄膜を除去する工程をさらに有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法である。
上記第4の態様において、
前記基板を相対的な低温部に保持した状態で、電極を構成する金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより、前記重金属の薄膜を除去した基板の表面に、前記金属の薄膜電極を形成する工程と、
前記基板の裏面から前記キャビティに向かうように前記基板に形成した他の微細孔に、リード部材を構成する金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより前記金属の薄膜を積層して埋め込むことにより前記リード部材を形成する工程とを有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法である。
Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材をハロゲンラジカルでエッチングして得られる貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体を、櫛刃状に基板の表面に配設した微細孔のそれぞれの底部に、前記基板を相対的な低温部として吸着させるとともに、吸着させた前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成する工程と、
ハロゲンラジカルで前記薄膜がエッチングされるエッチングモードで前記薄膜を触媒とするエッチングを急激に進行させることで前記基板内における前記各微細孔の下方に空洞を形成するとともに隣接する各空洞が相互に連通されるように形成することで支持体から前記空洞の上方に突出する片持ち梁構造部材であって、荷重等、力学量の作用により変位する複数の突出部を形成する工程とを有することを特徴とする力学量センサの作製方法である。
Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材をハロゲンラジカルでエッチングして得られる貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体を、形成したい流路に沿った位置で基板の表面に形成した微細孔のそれぞれの底部に、前記基板を相対的な低温部として吸着させるとともに、吸着させた前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成する工程と、
ハロゲンラジカルで前記薄膜がエッチングされるエッチングモードで前記薄膜を触媒とするエッチングを急激に進行させることで前記基板内における前記各微細孔の下方に空洞を形成するとともに隣接する各空洞が相互に連通されるように形成することで入口から出口まで連通される一本の流路を形成する工程とを有することを特徴とするマイクロリアクタの作製方法である。
上記第7の態様において、
さらに前記基板を相対的な低温部に保持した状態で、触媒金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより前記流路の内周面に前記触媒金属の薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマイクロリアクタの作製方法である。
本形態は後に詳述する微細構造物の作製方法を実現するその作製装置、特に微細構造物の基板に複数種類の所望の薄膜を形成したり、またエッチングにより所定のエッチング加工を行うとともに所定の形状を加工形成する場合に適用して有用な装置に関するものである。
ここで、Cl*は塩素ラジカルを表す。
ここで、Meは被エッチング部材11の材料となっている金属、sは固体状態、gはガス状態を表す。式(2)は、Cuがガスプラズマ(塩素ラジカルCl*)によりエッチングされ、前駆体とされた状態である。
ここで、adは吸着状態であることを示す。
本形態は微細構造物であるマイクロファラデーカップの作製方法に関するものである。本方法は、例えば前記第1の実施の形態に係る装置を利用することにより好適に実現し得る。
本形態は微細構造物である力学量センサの作製方法に関するものである。本方法は、例えば前記第1の実施の形態に係る装置を利用することにより好適に実現し得る。
本形態は微細構造物であるマイクロリアクタの作製方法に関するものである。本方法は、例えば前記第1の実施の形態に係る装置を利用することにより好適に実現し得る。
2 支持台
3 基板
7 天井板
8 プラズマアンテナ
9 整合器
10 電源
11 被エッチング部材
12 固定治具
13 係止部材
14 シリンダ
15 ノズル
18 排気口
21 作用ガス(Cl2ガス)
22、36 ゲートバルブ
23 搬送室
24 ロボットアーム
25 回転リンク
26 回動リンク
27 フォーク部
31 支持棒
51 薄膜
52 キャビティ
53 微細孔
54 電極薄膜
55 リード部材
56 SiO2膜
57 貴金属薄膜
61 空洞
63 突出部
64 溝部
65 電極薄膜
71 流路
72 蓋部材
73 触媒金属薄膜
Claims (8)
- Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材がハロゲンラジカルでエッチングされて前記貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体が形成され、相対的な低温部である基板に前記前駆体が吸着されるとともに吸着された前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成するモードである成膜モードとして、エッチング部位に対応する位置で基板に形成した孔の底部に前記薄膜を形成する工程と、
前記薄膜がハロゲンラジカルでエッチングされるエッチングモードとして、前記薄膜を触媒とする前記基板のエッチングを行うことにより前記孔の下方で急激にエッチングを進行させて前記基板内に空間を形成する工程とを有することを特徴とする微細構造物の作製方法。 - Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材をハロゲンラジカルでエッチングして得られる前記貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体を、マトリクス状に基板の表面に多数配設した微細孔のそれぞれの底部に、前記基板を相対的な低温部として吸着させるとともに、吸着させた前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成する工程と、
ハロゲンラジカルで前記薄膜がエッチングされるエッチングモードとして前記薄膜を触媒とするエッチングを急激に進行させることで前記基板内における前記各微細孔の下方にキャビティを形成する工程とを有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法。 - 請求項2において、
さらに前記基板を相対的な低温部に保持した状態で、重金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより少なくとも前記各キャビティの内周面に前記重金属の薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法。 - 請求項3において、
前記基板の表面に形成された重金属の薄膜に、ハロゲンラジカルを作用させてこのハロゲンラジカルのエッチング作用により前記薄膜を除去する工程をさらに有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法。 - 請求項4において、
前記基板を相対的な低温部に保持した状態で、電極を構成する金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより、前記重金属の薄膜を除去した基板の表面に、前記金属の薄膜電極を形成する工程と、
前記基板の裏面から前記キャビティに向かうように前記基板に形成した他の微細孔に、リード部材を構成する金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより前記金属の薄膜を積層して埋め込むことにより前記リード部材を形成する工程とを有することを特徴とするマイクロファラデーカップの作製方法。 - Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材をハロゲンラジカルでエッチングして得られる前記貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体を、櫛刃状に基板の表面に配設した微細孔のそれぞれの底部に、前記基板を相対的な低温部として吸着させるとともに、吸着させた前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成する工程と、
ハロゲンラジカルで前記薄膜がエッチングされるエッチングモードで前記薄膜を触媒とするエッチングを急激に進行させることで前記基板内における前記各微細孔の下方に空洞を形成するとともに隣接する各空洞が相互に連通されるように形成することで支持体から前記空洞の上方に突出する片持ち梁構造部材であって、荷重等、力学量の作用により変位する複数の突出部を形成する工程とを有することを特徴とする力学量センサの作製方法。 - Irからなる貴金属を材料とする被エッチング部材をハロゲンラジカルでエッチングして得られる前記貴金属成分とハロゲンとからなる前駆体を、形成したい流路に沿った位置で基板の表面に形成した微細孔のそれぞれの底部に、前記基板を相対的な低温部として吸着させるとともに、吸着させた前駆体にハロゲンラジカルを作用させて還元することにより前記貴金属の薄膜を形成する工程と、
ハロゲンラジカルで前記薄膜がエッチングされるエッチングモードで前記薄膜を触媒とするエッチングを急激に進行させることで前記基板内における前記各微細孔の下方に空洞を形成するとともに隣接する各空洞が相互に連通されるように形成することで入口から出口まで連通される一本の流路を形成する工程とを有することを特徴とするマイクロリアクタの作製方法。 - 請求項7において、
さらに前記基板を相対的な低温部に保持した状態で、触媒金属を材料とする被エッチング部材を用いた成膜モードにより前記流路の内周面に前記触媒金属の薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマイクロリアクタの作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201368A JP4721794B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 微細構造物の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201368A JP4721794B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 微細構造物の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007019375A JP2007019375A (ja) | 2007-01-25 |
JP4721794B2 true JP4721794B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=37756241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005201368A Expired - Fee Related JP4721794B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 微細構造物の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4721794B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5004565B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2012-08-22 | キヤノンアネルバ株式会社 | 薄膜作製装置 |
US8049168B2 (en) * | 2008-12-18 | 2011-11-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Time-of-flight segmented Faraday |
US8802545B2 (en) * | 2011-03-14 | 2014-08-12 | Plasma-Therm Llc | Method and apparatus for plasma dicing a semi-conductor wafer |
JP6441025B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2018-12-19 | 株式会社東芝 | 半導体チップの製造方法 |
US11587802B2 (en) * | 2019-10-30 | 2023-02-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor fabrication tool having gas manifold assembled by jig |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3168703B2 (ja) * | 1992-05-18 | 2001-05-21 | 日新電機株式会社 | 気相成長装置 |
JP3643807B2 (ja) * | 2001-11-14 | 2005-04-27 | 三菱重工業株式会社 | エッチング方法及びエッチング装置 |
-
2005
- 2005-07-11 JP JP2005201368A patent/JP4721794B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007019375A (ja) | 2007-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20240060754A (ko) | 개선된 게르마늄 식각 시스템들 및 방법들 | |
US8291581B2 (en) | Method for production of substrate electrode for plasma processing | |
TWI520259B (zh) | 配置處理腔室中之基板的設備與方法 | |
JP7337786B2 (ja) | 空間分離を伴う単一ウエハの処理環境 | |
US7427526B2 (en) | Deposited thin films and their use in separation and sacrificial layer applications | |
TWI500810B (zh) | 沉積層之方法與裝置 | |
KR100684910B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 그의 클리닝 방법 | |
KR20170031041A (ko) | 반도체 산업계 안팎에서 ale 평활도 | |
WO2014168096A1 (ja) | 回転型セミバッチald装置およびプロセス | |
CN115241052A (zh) | 使用ale和选择性沉积蚀刻衬底 | |
JP4721794B2 (ja) | 微細構造物の作製方法 | |
KR100724571B1 (ko) | 인시투 클리닝 기능을 갖는 플라즈마 처리장치 및 그사용방법 | |
TWI790265B (zh) | 改良之金屬接觸定位結構 | |
JP2007317772A (ja) | 静電チャック装置 | |
US20220392747A1 (en) | Atomic layer etching and smoothing of refractory metals and other high surface binding energy materials | |
EP1280617A2 (en) | Deposited thin films and their use in separation and sarcrificial layer applications | |
US11131022B2 (en) | Atomic layer self aligned substrate processing and integrated toolset | |
EP2879167B1 (en) | Plasma processing method and plasma processing device | |
US8507385B2 (en) | Method for processing a thin film micro device on a substrate | |
KR20240003446A (ko) | 고 종횡비 피쳐들에서의 금속 식각 | |
KR101213973B1 (ko) | 불순물을 이용한 표면 요철부를 갖는 나노 스케일의 구조물 제조 방법 | |
JP3975207B2 (ja) | 金属膜作製装置及び金属膜作製方法 | |
JP2004149917A (ja) | 薄膜製造装置およびその装置を用いた薄膜製造方法 | |
KR20050078609A (ko) | 촉매층이 형성된 기판을 이용하는 반응챔버의 클리닝 방법 | |
JP2024040123A (ja) | マンドレル及びスペーサを形成するための方法、関連する構造及びシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061030 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20061116 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070215 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080312 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20081125 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20081125 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090219 |
|
AA92 | Notification of invalidation |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971092 Effective date: 20090317 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090908 |
|
AA92 | Notification of invalidation |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971092 Effective date: 20090929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110405 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |