JP4719569B2 - パターン検査方法および検査装置 - Google Patents
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- パターンが形成された試料を検査する検査装置において、
電子源で発生した電子線を対物レンズにより集束して前記試料に照射することにより得られる二次電子又は反射電子起因の信号を検出する電子光学系と、
前記試料に対してゼロ又は負の電圧を印加するリターディング電源と、
前記対物レンズと試料の間に配置される帯電制御電極と、
当該帯電制御電極へ可変電圧を印加する帯電制御電極用電源と、
前記検出された信号に基づいて前記パターンの電子線画像を形成する画像処理系とを備え、
前記帯電制御電極又は前記試料に対して印加する電圧を変化させて得られる画像から当該画像の明るさ又はコントラストの変化する電圧を求め、
当該明るさ又はコントラストの変化する電圧を基準として前記帯電制御電極への印加電圧又は前記試料に対して印加する電圧を定めることを特徴とする検査装置。 - 前記明るさ又はコントラストと、当該明るさ又はコントラストと対応する前記電圧のそれぞれとを表示させる表示手段を有する請求項1に記載の検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、
前記帯電制御電極又は前記試料に対して印加する電圧を変化させる際に、前記試料が正帯電から負帯電となるよう前記電圧の範囲を設定することを特徴とする検査装置。 - パターンが形成された試料を検査する検査装置において、
電子源で発生した電子線を対物レンズにより集束して前記試料に照射することにより得られる二次電子又は反射電子起因の信号を検出する電子光学系と、
該電子光学系により検出された信号に基づいて前記パターンの電子線画像を形成する画像化手段と、
試料側の電圧又は試料の前記電子源側に設けられた電極の電圧の少なくともいずれか一方を変化させる電圧調整手段と、を有し、
該電圧調整手段により調整された複数の電圧において前記画像化手段により形成された前記電子線画像を取得し、該電子線画像の明るさ又はコントラストが減少し始める電圧を前記電圧調整手段が印加する電圧として設定することを特徴とする検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記電圧調整手段により試料の電圧あるいは試料上部の電極電圧を変化させる場合に、前記試料が正帯電から負帯電となるよう前記電圧の範囲を設定することを特徴とする検査装置。 - パターンが形成された被検査試料表面に電子線を照射し走査する手段と、当該走査により前記試料から二次的に発生する信号を検出する手段と、前記被検査試料の上方に配置された帯電制御電極と、検出された信号を画像化して表示する手段とを備える装置を用いて実行される検査方法であって、
前記帯電制御電極に印加する電圧を変化させ、各電圧における電子線画像を取得し、
前記電圧と前記電子線画像の明るさ又はコントラストとの関係から、前記明るさ又はコントラストが変化する電圧を求め、
当該明るさ又はコントラストが変化する電圧を基準として前記帯電制御電極に印加する電圧を定め、
当該定めた電圧条件で前記信号を検出して画像化し、検査を行うことを特徴とする検査方法。 - パターンが形成された被検査試料表面に電子線を照射し走査する手段と、当該走査により前記試料から二次的に発生する信号を検出する手段と、前記被検査試料にゼロ又は負の電圧を印加する手段と、検出された信号を画像化して表示する手段とを備える装置を用いて実行される検査方法であって、
前記被検査試料に印加する電圧を変化させ、各電圧における電子線画像を取得し、
前記電圧と前記電子線画像の明るさ又はコントラストとの関係から、前記明るさ又はコントラストが変化する電圧を求め、
当該明るさ又はコントラストが変化する電圧を基準として前記被検査試料に対して印加する電圧を定め、
当該定めた電圧条件で前記信号を検出して画像化し、検査を行うことを特徴とする検査方法。 - 請求項6又は7に記載の検査方法において、
前記電圧を変化させる際に、
前記電圧を広範囲に数段階に変化させて前記電子線画像を取得する工程と、
取得された該電子線画像の明るさ又はコントラストが減少する変化点を求める工程と、
該変化点の付近でさらに細かく前記電圧を変化させて前記電子線画像を再取得する工程と、
該再取得した画像情報から再度変化点を求める工程とを実行する検査方法。 - 請求項6又は7に記載の検査方法において、
前記電圧を変化させる際に、前記被検査試料が正帯電条件側から負帯電条件になる順に前記電圧を変化させることを特徴とする検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004377778 | 2004-12-27 | ||
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JP2005372669A JP4719569B2 (ja) | 2004-12-27 | 2005-12-26 | パターン検査方法および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006208367A JP2006208367A (ja) | 2006-08-10 |
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JP (1) | JP4719569B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10629546B2 (en) | 2018-01-29 | 2020-04-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor device |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09320505A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-12-12 | Hitachi Ltd | 電子線式検査方法及びその装置並びに半導体の製造方法及びその製造ライン |
JP2004239877A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-08-26 | Renesas Technology Corp | 回路パターンの検査方法および半導体装置の製造方法 |
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JP2006208367A (ja) | 2006-08-10 |
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