JP4713334B2 - 半透過型液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
このような限界を克服するために、半透過型液晶表示装置が提案された。
下部基板21は、アレイ基板とも呼ばれる。下部基板21は、複数のゲートライン25と複数のデータライン39とが垂直に交差し、ゲートライン25とデータライン39との交差点に、スイッチング素子として機能する薄膜トランジスタTが配置される。ゲートライン25とデータライン39との交差により、画素領域Pが定義される。
これと同時に、画素領域Pを定義するゲートライン25の一部領域の上部に島状の金属層43を形成する。
エッチング溝48は、以後の工程で形成する反射電極の透過孔に対応する部分である。
反射電極49は、反射部Dで誘導絶縁層47と透明電極61との凹凸構造に沿って凹凸をなす。
しかし、従来の半透過型液晶表示装置の下部基板で、反射電極49形成するためにエッチング工程を行う場合、エッチング液が透明導電性金属である透明電極61、ゲートパッド端子電極63、データパッド端子電極65に浸透して、不良を誘発させるという問題点があった。
また、本発明は、透明電極、ゲートパッド端子電極、及びデータパッド端子電極の各々の終端フレームが外部に露出されないため、反射電極を形成するためにエッチング工程を行う場合、エッチング液が透明電極に浸透しなくなるので、透明電極がリフトオフされるのを防止して、製品不良を低減して信頼性を向上させるという効果がある。
金属層143は、透明電極161と直接接触されている。
ゲート絶縁層129は、シリコン窒化物(SiNx)と酸化シリコン(SiO2)とを含む無機絶縁物質グループの中から選択されたいずれかを蒸着して形成する。
これにより、ゲート電極123の上部のゲート絶縁層129上に、島状のアクティブ層132とオーミックコンタクト層133とを形成する。
同時に、画素領域Pを定義するゲートライン125の一部領域の上部に、島状の金属層143を形成する。
保護層145は、シリコン窒化物(SiNx)または酸化シリコン(SiO2)を蒸着して形成したシリコン絶縁層である。
シリコン絶縁層は、アクティブ層132との界面特性に優れているので、界面に電子を捕獲する捕獲準位が存在しないようにする。
したがって、アクティブ層132を流れるキャリアの移動度を改善できる。
凹凸型パターンの形成方法について詳細に説明すれば、感光性誘導絶縁層147上に、マスクを使用して光を照射する写真エッチング工程を行って、反射部Dに四角形状の凹凸形状である感光性誘導パターンが形成される。
誘導絶縁層147及び保護層145をエッチングして、画素領域Pの一部領域をエッチングして、エッチング溝148を形成し、ゲートパッド電極127の上部のゲートパッド端子電極163の一部領域を露出させるゲートパッドコンタクト孔157と、データパッド電極141の上部のデータパッド端子電極165の一部領域を露出するデータパッドコンタクト孔159を形成する。
したがって、ドレイン電極137を介して印加された画素信号は、透明電極161に伝達されて、反射電極149に印加される。したがって、反射電極149と透明電極161とは、1つの画素電極を形成する。
125 ゲートライン125
139 データライン
T 薄膜トランジスタ
Claims (28)
- 反射部と透過部とを有する画素領域が定義された基板と、
前記基板上に互いに交差して配置され、画素領域を定義するゲートライン及びデータラインと、
前記ゲートラインと前記データラインとの間で前記基板上に形成されたゲート絶縁層と、
前記ゲートラインと前記データラインとの交差点に形成された薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタのドレイン電極と接続され、前記画素領域に形成された透明電極と、
前記ゲートライン上に形成されたストレージ電極と、
前記反射部に形成された反射電極と、
前記ゲート絶縁層上で前記データラインの一端に形成された第1パッド電極と、
前記第1パッド電極を覆い、前記第1パッド電極と接触し、及び透明導電性物質を使って形成された第1パッド端子電極と、
前記反射部に形成された凹凸型パターンを有し、前記第1パッド電極上で前記第1パッド端子電極を露出するコンタクト孔を有する絶縁層と、
前記ゲートラインと前記第1パッド電極とを接続するためのジャンプ電極と
を含み、
前記反射部での前記絶縁層は、前記透明電極と前記反射電極との間に配置され、
前記反射電極と前記ジャンプ電極は、同一層及び同一物質で形成されることを特徴とする半透過型液晶表示装置。 - 前記ゲート絶縁層に形成され、前記ゲートラインの一端から離れている第2パッド電極をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 半導体層パターンは、前記第1及び第2パッド電極の下部に形成されることを特徴とする請求項2に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記第1及び第2パッド電極は、同一層及び同一物質で形成されることを特徴とする請求項2に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記ジャンプ電極は、前記反射電極と同一層及び同一物質で形成されることを特徴とする請求項2に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記第2パッド電極上に形成された第2パッド端子電極をさらに含み、前記第2パッド端子電極は前記第2パッド電極を覆うことを特徴とする請求項2に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記第2パッド端子電極及び前記透明電極は、同一層及び同一物質で形成されることを特徴とする請求項6に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記透明電極は、前記絶縁層の下部に配置され、前記反射電極は、前記絶縁層の上部に配置されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記絶縁層は、感光性誘導絶縁物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記ゲートラインと前記ストレージ電極との間にストレージキャパシタが形成されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記凹凸パターンは、前記反射部の前記絶縁層の表面上で前記絶縁層と一体に形成されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記透明電極は、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と前記ストレージ電極とにそれぞれ電気的に接続されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記ストレージ電極と前記データラインとは、同一層に形成されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記透明電極は、透明な導電性物質からなることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記反射電極は、前記透過部と前記反射部との境界で前記透明電極と電気的に接続されることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 反射部と透過部とを有する画素領域が定義された基板を提供するステップと、
前記基板上にゲートライン、及び前記ゲートラインと接続されたゲート電極を形成するステップと、
前記ゲートラインを含む基板の全面に、第1絶縁層を形成するステップと、
前記ゲート電極の上部の前記第1絶縁層上の半導体層と、前記半導体層と接触するソース/ドレイン電極と、前記ソース電極と接続され、前記ゲートラインと交差するデータラインと、前記ゲートライン上のストレージ電極と、前記第1絶縁層上で前記データラインの一端に形成された第1パッド電極と、前記第1絶縁層に形成され、前記ゲートラインの一端から一定間隔離れている第2パッド電極とをそれぞれ形成するステップと、
前記ドレイン電極と前記ストレージ電極との間の前記第1絶縁層上に、透明電極と、前記第1及び第2パッド電極とに電気的に接続された第1及び第2パッド端子電極とを形成するステップと、
前記反射部に第2絶縁層を形成するステップと、
前記反射部の前記第2絶縁層上に、凹凸型パターンを有する第3絶縁層を形成するステップと、
前記透過部に透過孔と、前記第1パッド電極上に前記第1パッド端子電極を露出する第1パッド端子コンタクト孔と、前記第2パッド電極上に前記2パッド端子電極を露出する第2パッド端子コンタクト孔と、前記第1パッド電極及びゲートラインを露出させた第1及び第2ジャンプコンタクト孔とをそれぞれ形成するステップと、
前記第1及び第2ジャンプコンタクト孔を通して、前記反射部の反射電極、及び前記ゲートラインと前記第2パッド電極とを接続するためのジャンプ電極を形成するステップと
を含み、
前記反射電極と前記ジャンプ電極は、同一層及び同一物質で形成されることを特徴とする半透過型液晶表示装置の製造方法。 - 前記第1パッド電極、前記第2パッド電極及び前記ストレージ電極の下に半導体層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2絶縁層はシリコン窒化物(SiN2)又は酸化シリコン(SiO2)で形成されることを特徴とする請求項17に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記透過部で第2絶縁層及び第3絶縁層が除去されることを特徴とする請求項17に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3絶縁層は、感光性誘導絶縁物質で形成されることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記ゲートラインと前記ストレージ電極との間にストレージキャパシタが形成されることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記透明電極は、前記ドレイン電極と前記ストレージ電極との間の前記第1絶縁層上に形成されることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記透明電極は、前記ドレイン電極と前記ストレージ電極とにそれぞれ電気的に接続されることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記透明電極は、透明な導電性物質からなることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記反射電極は、前記透過部で前記透明電極と電気的に接続されることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記反射部で前記透明電極は、前記第2絶縁層の下部に形成され、前記反射電極は、前記第3絶縁層の上部に形成されることを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記凹凸型パターンを有する第3絶縁層を形成するステップは、前記第2絶縁層上に前記第3絶縁層を形成するステップと、前記第3絶縁層上にマスクを形成するステップと、前記マスクを使ってフォトリソグラフィ処理を実行することによって、前記反射部で前記第3絶縁層の表面に絶縁パターンを形成するステップと、前記反射部で前記第3絶縁層の表面に溶融及び硬化処理を実行することによって、前記凹凸パターンを形成するステップとを含むことを特徴とする請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1及び第2パッド端子コンタクト孔と、前記第1及び第2ジャンプコンタクト孔とは前記マスクを使って前記第3絶縁層に前記凹凸パターンを形成するステップの間に形成されることを特徴とする請求項27に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
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