KR20070072299A

KR20070072299A - 액정표시장치 및 그의 제조방법

Info

Publication number: KR20070072299A
Application number: KR1020060021183A
Authority: KR
Inventors: 김동영
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2005-12-29
Filing date: 2006-03-07
Publication date: 2007-07-04

Abstract

본 발명은 액정표시장치(liquid crystal display device)에 관한 것으로, 특히, 반사모드(reflect mode)와 투과모드(transmit mode)를 선택적으로 사용할 수 있는 반사투과형 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 반사투과형 액정표시장치를 제조하는 데 있어서 컬러필터 기판에 반사 전극, 듀얼셀갭을 위한 식각홈, 요철구조를 형성함으로써 어레이 기판의 제조 공정이 단순해지고, 어레이 기판의 불량을 감소시키고 제조수율을 향상시킬 수 있으며 일반적인 투과형 액정표시장치용 어레이 기판을 이용하여 반사투과형 액정표시장치를 용이하고 단순하게 제조할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 듀얼 셀갭을 위한 식각홈 및 요철구조를 블랙매트릭스에 형성할 수 있어 박형의 액정표시장치를 형성할 수 있으며, 공정 불량을 저감시키고 제조 코스트를 저감시킬 수 있다.

듀얼 셀갭, 식각홈, 요철형 패턴, 반사투과형

Description

액정표시장치 및 그의 제조방법{Liquid Crystal Display device and the fabrication method}

도 1 은 일반적인 반사투과형 컬러액정표시장치를 도시한 분해 사시도.

도 2는 일반적인 반사투과형 액정표시장치를 도시한 단면도.

도 3은 반사 투과형 어레이기판의 일부를 도시한 확대평면도.

도 4는 도 3에서 도시한 종래의 반사투과형 어레이기판의 Ⅱ-Ⅱ`와 Ⅲ-Ⅲ`과 Ⅳ-Ⅳ`를 따라 절단하여 보여주는 단면도.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치를 구체적으로 도시한 단면도.

도 6은 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 어레이 기판을 구체적으로 도시한 단면도.

도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 컬러필터 기판의 제조 공정을 순서대로 도시한 공정 단면도.

도 8은 본 발명에 따른 제 2 실시예로서, 액정표시장치를 구체적으로 도시한 단면도.

도 9는 본 발명에 따른 제 3 실시예로서, 액정표시장치를 구체적으로 도시한 단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

121 : 어레이 기판 122 : 컬러필터 기판

123 : 게이트 전극 129 : 게이트 절연막

131 : 액티브층 133 : 오믹콘택층

135 : 소스 전극 137 : 드레인 전극

145 : 보호막 147 : 유기절연막

147a : 요철형 패턴 148 : 식각홈

148a : 요홈부 149 : 반사판

153 : 드레인 콘택홀 161 : 화소 전극

162 : 공통 전극 175 : 블랙 매트릭스

180 : 컬러필터 181, 182 : 제 1, 2 편광판

190 : 마스크 191 : 백라이트

본 발명은 액정표시장치(liquid crystal display device)에 관한 것으로, 특히, 반사모드(reflect mode)와 투과모드(transmit mode)를 선택적으로 사용할 수 있는 반사투과형의 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치는 백라이트를 광원으로 이용하는 투과형 액정표시장치와, 백라이트를 광원으로 이용하지 않고 자연광 및 인조광을 이용하는 반사형 액정표시장치로 분류할 수 있다.

이때 투과형 액정표시장치는 백라이트를 광원으로 이용하여 어두운 외부환경에서도 밝은 화상을 구현한다. 하지만, 밝은 곳에서는 사용이 불가하고, 전력소모가 크다는 문제점이 있다.

반면, 반사형 액정표시장치는 백라이트를 사용하지 않기 때문에 소비전력은 줄일 수 있지만 외부 자연광이 어두울 때에는 사용이 불가능하다는 한계가 있다.

이러한 한계들을 극복하기 위한 대안으로서 나온 것이 반사투과형 액정표시장치이다.

이와 같은 반사투과형 액정표시장치는 단위 화소영역내에 반사부와 투과부를 동시에 구비하여 투과형 액정표시장치와 반사형 액정표시장치의 기능을 동시에 지닌 것으로, 백라이트(backlight)의 빛과 외부의 자연광원 또는 인조광원을 모두 이용할 수 있음으로 주변환경에 제약을 받지 않고, 전력소비(power consumption)를 줄일 수 있는 장점이 있다.

도 1 은 일반적인 반사투과형 컬러액정표시장치를 도시한 분해 사시도이다.

도시한 바와 같이, 일반적인 반사투과형 액정표시장치(11)는 블랙매트릭스(16)와 서브 컬러필터(17)상에 투명한 공통전극(13)이 형성된 상부기판(15)과, 화소영역(P)으로 구성되며, 스위칭소자(T)와 어레이배선(25,39)이 형성된 하부기판(21)으로 구성된다.

상기 화소영역은 상기 투과홀(A)을 포함하는 반사전극(도 2의 49)과 투명전극(도 2의 61)을 구성되어 투과부(B)와 반사부(D)로 정의된다.

또한, 상기 상부기판(15)과 하부기판(21) 사이에는 액정(14)이 충진되어 있다.

도 2는 일반적인 반사투과형 액정표시장치를 도시한 단면도이다.

도시한 바와 같이, 반사투과형 액정표시장치(11)는 공통전극(13)이 형성된 상부기판(15)과, 투과홀(A)을 포함한 반사전극(49)과 투명전극(61)으로 구성된 화소전극이 형성된 하부기판(21)과, 상기 상부기판(15)과 하부기판(21)의 사이에 충진된 액정(14)과, 상기 하부기판(21)의 하부에 위치한 백라이트(41)로 구성된다.

이러한 구성을 갖는 반사투과형 액정표시장치(11)를 반사모드(reflective mode)로 사용할 경우에는 빛의 대부분을 외부의 자연광원 또는 인조광원을 사용하게 된다.

전술한 구성을 참조로 반사모드일 때와 투과모드일 때의 액정표시장치의 동작을 설명한다.

반사모드일 경우, 액정표시장치는 외부의 자연광원 또는 인조광원을 사용하게 되며, 상기 액정표시장치의 상부기판(15)으로 입사된 빛(F2)은 상기 반사전극(49)에 반사되어 상기 반사전극과 상기 공통전극(13)의 전계에 의해 배열된 액정(14)을 통과하게 되고, 상기 액정(14)의 배열에 따라 액정을 통과하는 빛(F2)의 양이 조절되어 이미지(Image)를 구현하게 된다.

반대로, 투과모드(Transmission mode)로 동작할 경우에는, 광원을 상기 하부 기판(21)의 하부에 위치한 백라이트(41)의 빛(F1)을 사용하게 된다. 상기 백라이트(41)로부터 출사한 빛은 상기 투명전극(61)을 통해 상기 액정(14)에 입사하게 되 며, 상기 투과홀 하부의 투명전극(61)과 상기 공통전극(13)의 전계에 의해 배열된 액정(14)에 의해 상기 하부 백라이트(41)로부터 입사한 빛의 양을 조절하여 이미지를 구현하게 된다.

도 3은 반사 투과형 어레이기판의 일부를 도시한 확대평면도이다.

상기 하부기판(21)은 어레이기판이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(T)를 교차하는 게이트배선(25)과 데이터배선(39)이 형성된다.

상기 게이트배선(25)의 일 끝단에는 게이트 패드전극(27) 형성되어 있고, 상기 게이트 패드전극(27)은 게이트배선(25)에 비해 큰 폭을 가지도록 구성된다.

상기 데이터배선(39)의 일 끝단에는 데이터 패드전극(41)이 형성되어 있고, 상기 데이터 패드전극(41) 또한 데이터배선(39)에 비해 큰 폭을 가지도록 형성된다.

상기 게이트 패드전극(27)과 데이터 패드전극(41)은 각각 외부의 신호를 직접 인가 받는 수단인 투명한 게이트 패드 단자전극(63)과 데이터 패드 단자전극(65)과 접촉하여 구성된다.

이때, 상기 게이트배선(25)과 데이터배선(39)이 교차하여 정의되는 영역을 화소영역(P)이라 정의한다.

상기 게이트배선(25)의 일부 상부에 스토리지 캐패시터(C)가 구성되고, 상기 화소 영역에 구성된 투명한 화소전극과 회로적으로 병렬로 연결된다.

상기 박막트랜지스터(T)는 게이트 전극(23)과 소스 전극(35)및 드레인 전극 (37)과 상기 게이트전극 상부에 구성된 액티브층(31)으로 이루어진다.

상기 화소영역(P)에는 투명전극(61)과 투과홀(A)을 포함하는 반사전극(49)이 구성되며, 이로 인해 화소영역(P)은 투과부(B)와 반사부(D)로 정의된다.

전술한 구성에서, 상기 캐패시터(C)는 게이트 배선(25)의 일부를 제 1 캐패시터 전극으로 하고, 상기 게이트 배선의 일부 상부에 위치하고 상기 드레인 전극(37)과 동일층 동일물질로 형성한 소스-드레인 금속층(43)을 제 2 캐패시터 전극으로 한다.

상기 제 2 캐패시터 전극(43)은 콘택홀(55)을 통해 상기 화소전극(61)과 연결할 수 도 있고, 상기 드레인 전극(37)에 상기 반사전극(49)의 하부를 통해 상기 게이트 배선(25)의 상부로 연장하여 형성할 수 있다. 이러할 경우에는 상기 콘택

홀(55)을 필요치 않다.

도 4는 도 3에서 도시한 종래의 반사투과형 어레이기판의 Ⅱ-Ⅱ`와 Ⅲ-Ⅲ`과 Ⅳ-Ⅳ`를 따라 절단하여 보여주는 단면도이다.

기판(21)상에 게이트전극(23)과 게이트배선(25)과 상기 게이트배선의 일 끝단에 게이트 패드전극(27)을 형성한다.

상기 게이트 배선(25)등이 형성된 기판(21)의 전면에 제 1 절연막인 게이트 절연막(29)을 형성한다.

상기 게이트전극(23)상부의 게이트 절연막(29)상에 아일랜드 형태로 액티브층(31)(active layer)과 오믹콘택층(33)(ohmic contact layer)을 형성한다.

다음으로, 상기 오믹 콘택층(33)이 형성된 기판(21)의 전면에 상기 오믹 콘 택층(33)과 접촉하는 소스전극(35)과 드레인전극(37)과, 상기 소스전극(35)과 연결된 데이터배선(39)과 상기 데이터배선의 일 끝단에 데이터 패드전극(41)를 형성한다.

동시에, 상기 화소영역(P)을 정의하는 게이트배선(25)의 일부 상부에 아일랜드 형태의 소스-드레인 금속층(43)을 형성한다.

상기 데이터배선(39)등이 형성된 기판(21)상에 절연물질을 증착하여, 제 2 절연막인 보호막(45)을 형성한다.

상기 보호막(45)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiO₂)을 증착하 여 형성한 무기 절연막이다.

상기 보호막(45)의 상부에 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함한 투명한 유기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 도포하여 제 3 절연막인 유기절연막(47)을 형성한다.

상기 유기절연막 상부의 반사부에는 요철형 패턴(47b)이 형성되어 있다.

상기 화소영역의 일부에는 게이트 절연막, 보호막, 유기절연막(29,45,47)을 식각하여 식각홈(48)을 형성한다.

상기 식각홈(48)은 이후 공정에서 형성하는 반사 전극의 투과홀에 대응하는 부분이다.

한편, 상기 드레인 전극(37)과, 소스-드레인 금속층(43)과, 데이터 패드 전극(41) 상부의 보호막, 유기 절연막(45,47)과, 상기 게이트 패드전극(27) 상부의 게이트 절연막, 보호막, 유기절연막(29,45,47)을 식각하여, 상기 드레인 전극(37)의 일부를 노출하는 드레인 콘택홀(53)과, 상기 소스-드레인 금속층(43)의 일부를 노출하는 스토리지 콘택홀(55)과, 상기 게이트 패드 전극(27)의 일부를 노출하는 게이트 패드 콘택홀(57)과, 상기 데이터 패드 전극(41)의 일부를 노출하는 데이터 패드 콘택홀(59)을 형성한다.

상기 다수의 콘택홀이 형성된 기판(21)의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 드레인 전극(37)과 상기 소스-드레인 금속층(43)과 동시에 접촉하면서 화소영역(P)에 구성되는 투명 화소전극(61)과, 상기 게이트 패드전극(27)과 접촉하는 게이트 패드 단자전극(63)과, 상기 데이터 패드전극(41)과 접촉하는 데이터 패드 단자전극(65)를 형성한다.

그리고, 상기 화소 전극(61)은 상기 반사부(D)에서 유기절연막(47)의 요철형 패턴(47b)을 따라 요철 구조로 형성된다.

그리고, 상기 식각홈(48)이 형성된 기판(21)의 전면에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금과 같이 반사율이 뛰어난 금속을 증착하고 패턴하여, 상기 식각홈(48)에 대응하는 부분에 투과홀(A)을 구성한 반사 전극(49)을 형성한다.

이때, 상기 반사 전극(49)은 상기 반사부(B)에서 상기 유기 절연막(47)과 화소 전극(61)의 요철 구조를 따라 요철을 이룬다.

전술한 바와 같은 방법으로 종래의 반사투과형 액정표시장치용 어레이기판을 제작할 수 있다.

그러나, 상기와 같은 종래 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판은 상기 요철 구조를 형성하기 위하여 별도의 유기 절연막을 마련하여 요철형 패턴을 형성하여야 했으나, 상기 어레이 기판 상에 상기 유기 절연막을 증착하고 패터닝하는 여러가지 공정을 수반하므로 제조 수율을 저하시키는 문제점이 있다.

특히, 어레이 기판에는 요철형 패턴을 형성하기 이전에 박막 트랜지스터와 같은 스위칭 소자들이 형성되어 있으므로, 상기 유기 절연막을 증착하고 패터닝하는 공정 중에 불량 발생시 제조 비용을 증가시킬 뿐만 아니라, 제조 수율을 저하시키게 된다.

또한, 상기 요철 구조를 가지는 유기 절연막 상부 또는 하부에 보호막을 형성하거나 화소 전극을 형성할 시에 어드히젼(adhesion) 문제가 발생되어 제품 품질을 저하시키는 문제점이 발생된다.

본 발명은 액정표시장치를 제조하는 데 있어서 하부 기판에 반사판, 듀얼셀갭을 위한 식각홈, 요철구조를 형성하고 상부 기판에 어레이 소자를 형성함으로써 반사투과형 액정표시장치의 제조 공정이 단순해지고, 어레이 기판의 불량을 감소시키고 제조수율을 향상시킬 수 있으며 일반적인 투과형 액정표시장치용 어레이 기판을 이용하여 공정이 단순해진 액정표시장치 및 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.

또한, 본 발명은 듀얼 셀갭을 위한 식각홈 및 요철구조를 블랙매트릭스에 형성하여 박형의 액정표시장치 및 제조 방법을 제공하는 데 다른 목적이 있다.

상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치는, 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 교차 배치되어 화소 영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차점에 형성된 박막 트랜지스터와; 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극과; 상기 제 1 기판과 대향되어 화소 영역에 반사부와 투과부가 정의된 제 2 기판과; 상기 제 2 기판 상의 투과부에 식각홈이 형성된 절연막과; 상기 절연막 상의 반사부에 형성된 반사판과; 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법은, 제 1 기판에 게이트 전극 및 이와 연결된 게이트 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극 및 게이트 배선이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극 상부에 액티브층과 오믹콘택층, 상기 오믹 콘택층과 접촉하는 소스 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결되고 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 화소 영역에 상기 드레인 전극과 접촉하는 화소 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 대향하며 반사부와 투과부를 정의하는 제 2 기판을 준비하는 단계와; 상기 제 2 기판상에 유기절연막을 도포하고 상기 투과부에 식각홈을 형성하는 단계와; 상기 유기절연막 상의 반사부에 반사판을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치는, 다수의 화소 영역으로 정의되고, 화소 영역에 적어도 하나의 스위칭 소자와 이와 연결된 화소 전극을 가지는 제 1 기판과; 상기 제 1 기판과 대향하며 반사판을 구비한 제 2 기판과; 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 형성된 액정층과; 상기 제 2 기판으로 빛을 입사시키는 백라이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법은, 제 1 기판 상에 다수의 화소 영역을 정의하고 상기 화소 영역에 적어도 하나의 스위칭 소자와 이와 연결된 화소 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판에 반사판을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계와; 상기 제 2 기판으로 빛을 입사시키는 백라이트를 배치시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 액정표시장치를 구체적으로 설명한다.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치를 구체적으로 도시한 단면도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반사 투과형 액정 표시 장치는 백라이트(191)와 상기 백라이트(191)로부터 광이 입사되는 하부 기판(122)과, 상기 하부 기판(122)과 소정 간격 이격되어 대향 합착되는 상부 기판(121)과, 상기 하부 기판(122) 및 상부 기판(121)의 외면에 부착된 제 1, 2 편광판(181, 182)을 구비한 다.

본 발명에 따르면, 반사투과형 액정 표시 장치에서 상기 하부 기판(122)은 반사판(149)을 구비하고 있으며, 듀얼셀갭 구조를 가지기 위한 식각홈(148)과 같은 유기절연막(147) 패턴을 더 형성하고 있다.

또한, 상기 하부 기판(122)은 반사판(149)과 함께 반사 효율을 더욱 향상시키기 위한 요철형 패턴(147a)을 포함할 수 있다.

상기 반사투과형 액정표시장치에서, 상부 기판(121)은 스위칭 소자인 박막트랜지스터(TFT)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(TFT)는 다수의 게이트배선과 데이터 배선이 교차되는 지점에 형성된다. 그리고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차하여 정의되는 영역을 화소영역(P)이라 정의한다. 그리고, 상기 화소영역(P)은 투과부(TA)와 반사부(RA)로 정의된다.

상기 게이트 배선 및 게이트 전극(123)이 형성된 기판(121)의 전면에 제 1 절연막인 게이트 절연막(129)을 형성한다.

그리고, 상기 박막트랜지스터(T)는 게이트 전극(123)과 소스 전극(135)및 드레인 전극(137)과 상기 게이트 전극(123) 상부에 구성된 액티브층(131)으로 이루어진다.

즉, 상기 게이트전극(123) 상부의 게이트 절연막(129)상에 아일랜드 형태로 액티브층(131)(active layer)과 오믹 콘택층(133)(ohmic contact layer)을 형성한다.

상기 오믹 콘택층(133)은 소스 영역과 드레인 영역으로 분리되어 서로 소정 간격 이격되어 있다.

다음으로, 상기 오믹 콘택층(133)과 접촉하는 소스 전극(135)과 드레인 전극(137)이 형성되어 있으며, 상기 소스 전극(135)은 상기 데이터 배선(139)과 연결되어 있으며, 상기 소스 전극(135)과 드레인 전극(137)은 서로 소정 간격 이격되어 있다.

그리고, 상기 데이터 배선이 형성된 기판(121)상에 절연 물질을 증착하여, 제 2 절연막인 보호막(145)을 형성한다.

상기 보호막(145)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiO₂)을 증착하여 형성된 무기 절연막이다.

그리고, 상기 기판(121)의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 화소영역(P)에 구성되는 투명 화소전극(161)을 형성한다.

상기 화소 전극(161)은 상기 드레인 전극(137)과 드레인 콘택홀(153)을 통해서 서로 접속한다.

또한, 이와 같이 형성된 상부 기판(121)과 일정간격 이격하여 서로 대향하여 형성된 하부 기판(122)은, 식각홈(148)과 요철형 패턴(147a)을 형성하는 유기절연막(147)과, 상기 유기절연막(147) 상에서 상기 반사부(RA)에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금과 같이 반사율이 뛰어난 금속을 증착하고 패턴하여, 반사판(149)을 형성한다.

그리고, 상기 유기 절연막(147) 상에는 상기 박막 트랜지스터(TFT)에 대응하는 위치와 화소 영역(P)의 경계부에 대응되는 위치에 블랙매트릭스(175)를 형성하고, 상기 반사부(RA)와 투과부(TA)를 가지는 화소 영역(P)에 컬러필터(180)를 더 형성한다.

상기 하부 기판(122)의 투과부(TA)에 형성된 유기절연막(147)의 식각홈(148)에 의해 상기 반사투과형 액정표시장치는 반사부(RA)와 투과부(TA)에서 듀얼셀갭(dual cell gap)을 형성하게 된다.

즉, 상기 투과부(TA)의 셀 갭(d1)은 상기 반사부(RA)의 셀 갭(d2)의 약 두배가 되도록 함으로써 반사부(RA)와 투과부(TA)의 광효율을 향상시키고 있다.

한편, 상기 식각홈(148)과 요철형 패턴(147a)이 형성된 유기절연막을 대신하여 무기절연막을 사용할 수도 있다.

또한, 상기 반사판은 금속 물질로 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 광을 반사시킬 수 있는 무기물, 유기물을 모두 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.

이로써, 본 발명은 일반적인 투과형 액정표시장치용 상부 기판을 이용하여 공정을 단순화시켜 반사투과형 액정표시장치를 제조할 수 있어, 반사투과형 액정표시장치용 상부 기판을 제조하기 위한 공정 및 설비 라인 설계가 필요하지 않으므로 제조비용이 절감되고 공정이 단순화되는 장점이 있다.

도 6은 본 발명에 따른 제 1 실시예로서, 반사투과형 액정표시장치의 상부 기판을 구체적으로 도시한 단면도이고, 도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 하부 기판의 제조 공정을 순서대로 도시한 공정 단면도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 상부 기판(121)은, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(TFT)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(TFT)는 다수의 게이트배선(도시되지 않음)과 데이터 배선(도시되지 않음)이 교차되는 지점에 형성된다.

이때, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차하여 정의되는 영역을 화소 영역(pixel area)이라 정의한다. 그리고, 상기 화소 영역(P)은 투과부(TA)와 반사부(RA)로 정의된다.

상기 게이트 배선에서 상기 화소 영역(P)으로 소정 돌출되며 게이트 전극(123)을 형성한다. 그리고, 상기 게이트 전극(123) 등이 형성된 기판(121)의 전면에 제 1 절연막인 게이트 절연막(129)을 형성한다.

상기 게이트 절연막(129)은 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO₂)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성한다.

상기 게이트전극(123) 상부의 게이트 절연막(129) 상에 아일랜드 형태로 액티브층(131)(active layer)과 오믹콘택층(133)(ohmic contact layer)을 형성한다.

상기 액티브층(131)은 일반적으로 순수한 비정질 실리콘(a-Si:H)으로 형성하 고, 상기 오믹 콘택층(133)은 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H )으로 형성한다.

한편, 상기 액티브층(131) 및 오믹 콘택층(133)은 순수한 비정질 실리콘을 레이저 등을 이용하여 결정화시킴으로써 결정질 실리콘(poly silicon)으로 이루어 진 액티브층을 형성하여 전자의 이동도를 개선할 수 있고, 상기 결정질 실리콘으로 이루어진 액티브층에 불순물이 주입되어 소스 및 드레인 불순물 영역을 형성함으로써 오믹 콘택층을 대신할 수도 있다.

다음으로, 상기 오믹 콘택층(133)이 형성된 기판(121)의 전면에 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 오믹 콘택층(133)과 접촉하는 소스전극(135)과 드레인전극(137), 상기 소스전극(135)과 연결되어 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터배선을 형성한다.

이때, 상기 액티브층(131)과 오믹 콘택층(133), 소스 및 드레인 전극(135, 137)은 연속 증착하여 회절 마스크 또는 하프-톤 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정으로 한번에 형성할 수도 있다.

그리고, 상기 상부 기판(121) 전면에 제 2 절연막인 보호막(145)을 형성한다.

상기 보호막(145)은 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiO₂)을 증착하여 형성한 실리콘 절연막이다. 이때, 상기 실리콘 절연막은 상기 액티브층(131)과의 계면 특성이 우수하기 때문에, 계면에 전자를 트랩하는 트랩 준위가 존재하지 않도록 하므로, 상기 액티브층(131)을 흐르는 캐리어(carrier)의 이동도를 개선할 수 있다.

상기 보호막(145)에는 상기 드레인 전극(137)의 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(153)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 드레인 콘택홀(153)을 통하여 상기 드레인 전극(137)과 접속되도록 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여 상기 화소영역(P)에 투명 화소 전극(161)을 형성한다.

상기와 같이 구성되는 반사투과형 액정표시장치의 상부 기판은 화소 영역(P)에 투명 화소 전극(161)이 형성되어 투과형 모델의 액정표시장치용 상부 기판과 동일하므로, 반사투과형 액정표시장치와 투과형 액정표시장치에 상관없이 어레이 기판을 제조할 수 있으므로 제조 수율 및 양산에 유리한 장점이 있다.

또한, 상기 하부 기판(122)에서 기판 상에 유기절연막(147)을 형성하고 패터닝하는 공정이 이루어지므로 불량 발생을 방지할 수 있다.

도 7a 내지 도 7d는 상기 반사투과형 액정표시장치의 상부 기판과 대향되어 합착되는 하부 기판을 제조하는 공정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 하부 기판(122)은, 화소 영역에 반사부(RA)와 투과부(TA)로 정의될 수 있으며, 투명한 기판 상에 벤조사이클로부텐(BCB)과 포토아크릴(photoacryl)계 수지(resin)를 포함한 투명한 감광성 유기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 도포하여 유기절연막(147)을 형성한다.

상기 유기 절연막(147) 상부에 하프 톤 마스크(half-tone-mask)(또는 회절 마스크)(190)를 간격을 두고 배치시켜서 하프 톤 노광 공정 및 현상 공정을 수행한 다.

상기 하프 톤 노광 공정에 대해서 간단히 설명하면, 광 흡수도가 위치에 따라 다르게 형성된 광 흡수 마스크를 이용하여 상기 하프 톤 마스크(190)를 통과하는 자외선 광량을 조절함으로써 두께가 다른 포토 레지스트 패턴, 여기서는 감광성 유기절연막(147)을 형성하는 것이다.

따라서, 상기 하프 톤 마스크(190)는 차광영역(A)과 투과영역(B)과 부분 투과영역(C)의 3영역으로 나뉘어 지며, 상기 부분 투과 영역은 경우에 따라 다양한 광투과도를 가지도록 여러가지 부분 투과 영역(C)을 형성할 수 있다.

도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 하프 톤 마스크(190)의 차광 영역(A)은 감광성 유기 절연막(147)이 전혀 현상되지 않으며, 상기 투과 영역(C)은 투과된 광에 의해 현상되어 감광성 유기절연막(190)이 제거되어 투과부(TA)의 식각홈(148)이 형성된다.

그리고, 상기 하프 톤 마스크(190)의 부분 투과 영역(C)에 의해서 상기 반사부(RA)의 감광성 유기절연막(147)에 요철형 패턴(147a)의 요홈부(148a)가 형성된다.

이때, 상기 감광성 유기 절연막(147)의 요철형 패턴(147a)은 상기 반사부(RA)의 감광성 유기절연막(147)의 요홈부(148a)의 깊이에 의해 형성되며, 상기 요철형 패턴(147a)은 엠보싱(embossing) 패턴 등으로 원형, 상각형 모양 등으로 랜덤하게 형성할 수 있다.

이때, 상기 모서리가 각진 요철형 패턴(147a)에 대하여 용융 및 경화처리를 하게 되면 모서리가 둥근형상을 띠는 요철형 패턴(147a)이 반사부(RA)에 형성될 수 있다.

그리고, 상기 투과부(TA)의 유기 절연막(147)의 식각홈(148)에 의해 상기 기판이 노출된다.

한편, 상기 감광성 유기 절연막(147)의 광 반응 특성에 따라 상기 하프 톤 마스크(190)에 의해 현상되는 영역이 반대로 이루어질 수도 있다.

따라서, 상기 식각홈(148)에 의해 상기의 투과부(TA)의 셀 갭(d1)은 상기 반사부(RA)의 셀 갭(d2)의 약 두배가 될 수 있음으로써 반사부(RA)와 투과부(TA)의 광효율을 향상시킬 수 있게 된다.

도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 요철형 패턴(147a)과 식각홈(148)을 가지는 유기절연막(147)이 형성된 기판(122)의 전면에 알루미늄(Al)또는 알루미늄 합금(예를 들어, AlNd)과 같이 반사율이 뛰어난 금속을 증착하고 패턴하여, 상기 반사부(RA)에 반사판(149)을 형성한다.

그러나, 상기 반사판은 금속 물질로 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 광을 반사시킬 수 있는 무기물, 유기물을 모두 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.

이때, 상기 반사판(149)은 상기 유기 절연막(147) 상의 요철형 패턴(147a)에 의해 엠보싱 구조를 가지며 반사율이 더욱 향상된다.

그리고, 도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 화소 영역의 주변 경계부와 박막트랜지스터 형성 영역과 대응되는 위치에 빛샘 방지를 위하여 블랙 매트릭스(175)를 형성한다.

상기 블랙 매트릭스(175)는 크롬(Cr)과 같은 금속을 이용하여 단일층으로 형성할 수도 있고, 크롬/크롬옥사이드(Cr/CrOx)의 이중층 또는 블랙의 레진(resin)으로 형성할 수도 있다.

이어서, 상기 블랙 매트릭스(175)에 의해 구획된 화소 영역에 컬러필터(180)를 형성한다.

도시하지는 않았지만, 상기 컬러필터(180)는 다수의 화소영역에 적색, 녹색, 청색의 컬러필터를 이용하여 순서대로 패터닝하여 형성된다.

그리고, 상기 컬러필터(180) 상의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 이용하여 공통 전극(162)을 형성한다.

상기 하부 기판(122)에는 평탄화를 위한 오버코트층(overcoat layer)를 더 형성할 수도 있다.

전술한 바와 같은 공정으로 본 발명에 따른 반사투과형 액정 표시 장치의 하부 기판을 제작할 수 있다.

한편, 상기 본 발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 컬러필터 기판은 하부 기판으로 사용되며 상기 어레이 기판은 상부 기판으로 사용된다.

이는, 상기 반사투과형 액정표시장치의 반사부(RA)에서 외부 광이 액정층을 통과한 후 하부 기판인 상기 하부 기판(122)에 형성된 반사판(149)에 의해 반사되어 상기 액정층을 다시 통과하게 함으로써 상기 반사부(RA)에서의 광경로와 상기 투과부(TA)에서 백라이트로부터 입사된 광이 액정층을 통과할 때의 광경로가 거의 일치될 수 있도록 하여 상기의 투과부(TA)의 셀 갭(d1)은 상기 반사부(RA)의 셀 갭(d2)의 약 두배가 되도록 함으로써 반사부(RA)와 투과부(TA)의 광효율을 향상시키고 있다.

도 8은 본 발명에 따른 제 2 실시예로서, 액정표시장치를 구체적으로 도시한 단면도이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반사 투과형 액정 표시 장치는 백라이트(191)와 상기 백라이트(191)로부터 광이 입사되는 하부 기판(122)과, 상기 하부 기판(122)과 소정 간격 이격되어 대향 합착되는 상부 기판(121)과, 상기 하부 기판(122) 및 상부 기판(121)의 외면에 부착된 제 1, 2 편광판(181, 182)을 구비한다.

본 발명에 따르면, 반사투과형 액정 표시 장치에서 상기 하부 기판(122)은 반사판(149)을 구비하고 있으며, 듀얼셀갭 구조를 가지기 위한 식각홈(148)과 같은 유기절연막(147) 패턴을 더 형성하고 있으며, 상부 기판(121)은 어레이 소자와 함께 컬러 필터 및 블랙 매트릭스를 형성하고 있다.

상기 반사투과형 액정표시장치에서, 상부 기판(121)은 스위칭 소자인 박막트랜지스터(TFT)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(TFT)는 다수의 게이트배선과 데이터 배선이 교차되는 지점에 형성된다. 그리고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차하여 정의되는 영역을 화소영역(P)이 라 정의한다. 그리고, 상기 화소영역(P)은 투과부(TA)와 반사부(RA)로 정의된다.

그리고, 상기 상부 기판(121)의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 화소영역(P)에 구성되는 투명 화소전극(161)을 형성한다.

그리고, 상기 상부 기판(121) 상에는 상기 박막 트랜지스터(TFT)에 대응하는 위치와 화소 영역(P)의 경계부에 대응되는 위치에 블랙매트릭스(175)를 형성하고, 상기 화소 영역(P)에 컬러필터(180)를 더 형성한다.

상기 반사판(149)은 금속 물질로 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 광을 반사시킬 수 있는 무기물, 유기물을 모두 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.

이로써, 본 발명은 일반적인 투과형 액정표시장치용 어레이 기판에 블랙매트릭스 및 컬러필터를 형성하고 이를 본발명에 따른 반사투과형 액정표시장치의 상부기판으로 이용하고 하부 기판은 반사판 구조만 형성함으로써 공정을 단순화시켜 반사투과형 액정표시장치를 제조할 수 있다.

도 9는 본 발명에 따른 제 3 실시예로서, 액정표시장치를 구체적으로 도시한 단면도이다.

여기서, 도 8에 도시된 도면과 동일한 부분에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반사 투과형 액정 표시 장치는 백라이트(191)와 상기 백라이트(191)로부터 광이 입사되는 하부 기판(122)과, 상기 하부 기판(122)과 소정 간격 이격되어 대향 합착되는 상부 기판(121)과, 상기 하부 기판(122) 및 상부 기판(121)의 외면에 부착된 제 1, 2 편광판(181, 182)을 구비한다.

본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 상기 반사투과형 액정표시장치에서, 상부 기판(121)은 스위칭 소자인 박막트랜지스터(TFT)가 매트릭스 형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(TFT)는 다수의 게이트배선과 데이터 배선이 교차되는 지점에 형성된다. 그리고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차하여 정의되는 영역을 화소영역(P)이라 정의한다. 그리고, 상기 화소영역(P)은 투과 부(TA)와 반사부(RA)로 정의된다.

상기 반사투과형 액정 표시 장치에서 상기 하부 기판(122)은 반사판(149)을 구비하고 있으며, 듀얼셀갭 구조를 가지기 위하여 투과부(TA)에 식각홈(148)을 구비하며 빛샘 발생 영역을 차단할 수 있는 블랙 매트릭스(147)를 더 형성하고 있다.

또한, 상기 하부 기판(122)은 반사판(149)과 함께 반사 효율을 더욱 향상시키기 위한 요철형 패턴(147a)을 블랙 매트릭스(147)의 반사부(RA) 상면에 더 형성할 수 있다.

상기 블랙 매트릭스(147)는 상기 박막 트랜지스터(TFT)에 대응하는 위치와 화소 영역(P)의 경계부와 반사부(RA)에 대응되는 위치에 형성되고, 상기 반사부(RA)와 투과부(TA)를 포함하는 상기 화소 영역(P)에 컬러필터(180)를 더 형성한다.

상기 하부 기판(122)의 투과부(TA)에 형성된 블랙매트릭스(147)의 식각홈(148)에 의해 상기 반사투과형 액정표시장치는 반사부(RA)와 투과부(TA)에서 듀얼셀갭(dual cell gap)을 형성하게 된다.

이로써, 본 발명은 듀얼 셀갭을 위한 식각홈 및 요철구조를 블랙매트릭스(147)에 형성할 수 있어 박형의 액정표시장치를 형성할 수 있으며, 공정 불량을 저감시키고 제조 코스트를 저감시킬 수 있다.

이상 전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치 및 그 제조 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.

본 발명은 액정표시장치를 제조하는 데 있어서 컬러필터 기판에 반사판, 듀얼셀갭을 위한 식각홈, 요철구조를 형성하고 상기 컬러필터 기판을 하부 기판으로, 어레이 기판을 상부 기판으로 제조함으로써 어레이 기판의 불량을 감소시키고 제조수율을 향상시키는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 일반적인 투과형 액정표시장치용 어레이 기판을 이용하여 공정을 단순화시켜 반사투과형 액정표시장치를 제조할 수 있어, 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판을 제조하기 위한 공정 및 설비 라인 설계가 필요하지 않으므로 제조비용이 절감되고 공정이 단순화되는 다른 효과가 있다.

Claims

제 1 기판과;

상기 제 1 기판 상에 교차 배치되어 화소 영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과;

상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차점에 형성된 박막 트랜지스터와;

상기 박막 트랜지스터와 연결되어 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극과;

상기 제 1 기판과 대향되어 화소 영역에 반사부와 투과부가 정의된 제 2 기판과;

상기 제 2 기판 상의 투과부에 식각홈이 형성된 절연막과;

상기 절연막 상의 반사부에 형성된 반사판과;

상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 제 2 기판의 반사부에서 상기 절연막에 요철형 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 2항에 있어서,

상기 요철형 패턴은 상기 절연막에 형성된 요홈부에 의해 형성된 것을 특징 으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 컬러필터 상에 공통 전극이 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 컬러필터 상에 오버코트층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 식각홈에 의해 상기 제 2 기판이 노출된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 제 2 기판 외면에 백라이트가 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 투과부의 셀갭은 상기 반사부의 셀갭의 거의 두배인 것을 특징으로 하 는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 절연막은 유기절연막 또는 무기절연막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반사투과형 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 반사판은 금속, 무기물, 유기물중에서 선택된 어느 한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와;

상기 제 2 기판의 화소 영역에 대응되는 위치에 형성된 컬러필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 제 1 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와;

상기 제 1 기판 상의 화소 영역에 형성된 컬러필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
다수의 화소 영역으로 정의되고, 화소 영역에 적어도 하나의 스위칭 소자와 이와 연결된 화소 전극을 가지는 제 1 기판과;

상기 제 1 기판과 대향하며 반사판을 구비한 제 2 기판과;

상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 형성된 액정층과;

상기 제 2 기판으로 빛을 입사시키는 백라이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 반사판은 상기 화소 영역의 반사부에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 반사판 하부에 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 스위칭 소자와 상기 화소 영역의 경계부 및 상기 반사부와 대응되는 제 2 기판에 블랙 매트릭스가 더 형성되며, 상기 반사부에 형성된 블랙매트릭스 상에는 상기 반사판이 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 16항에 있어서,

상기 반사부에 형성된 블랙 매트릭스는 요철형 패턴이 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 반사판 상에 공통 전극이 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 15항에 있어서,

상기 절연막은 유기절연막 또는 무기절연막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반사투과형 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 반사판은 금속, 무기물, 유기물중에서 선택된 어느 한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와;

상기 제 2 기판의 화소 영역에 대응되는 위치에 형성된 컬러필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 13항에 있어서,

상기 제 1 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와;

상기 제 1 기판 상의 화소 영역에 형성된 컬러필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 1 기판에 게이트 전극 및 이와 연결된 게이트 배선을 형성하는 단계와;

상기 게이트 전극 및 게이트 배선이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연막을 형성하는 단계와;

상기 게이트 전극 상부에 액티브층과 오믹콘택층, 상기 오믹 콘택층과 접촉하는 소스 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결되고 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;

상기 화소 영역에 상기 드레인 전극과 접촉하는 화소 전극을 형성하는 단계와;

상기 제 1 기판과 대향하며 반사부와 투과부를 정의하는 제 2 기판을 준비하는 단계와;

상기 제 2 기판상에 유기절연막을 도포하고 상기 투과부에 식각홈을 형성하는 단계와;

상기 유기절연막 상의 반사부에 반사판을 형성하는 단계와;

상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 유기 절연막을 도포하고 상기 투과부에 식각홈을 형성하는 단계에서,

상기 유기 절연막 상의 반사부에 요철형 패턴이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 유기절연막을 도포하고 상기 투과부에 식각홈을 형성하는 단계는,

상기 제 2 기판 상에 유기 절연막을 도포하는 단계와;

상기 유기 절연막 상에 마스크를 배치하는 단계와;

상기 마스크 상에 광 조사하고 상기 유기절연막을 현상하여 상기 유기절연막상의 투과부에 식각홈과 반사부에 소정의 요홈부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 공통 전극을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 투과부의 셀갭은 상기 반사부의 셀갭의 거의 두배인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 유기절연막은 감광성 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와 상기 화소 영역에 대응되는 위치에 컬러필터를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 제 1 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와 상기 화소 영역에 대응되는 위치에 컬러필터를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 23항에 있어서,

상기 반사판은 금속, 무기물, 유기물중에서 선택된 어느 한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 1 기판 상에 다수의 화소 영역을 정의하고 상기 화소 영역에 적어도 하나의 스위칭 소자와 이와 연결된 화소 전극을 형성하는 단계와;

상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판에 반사판을 형성하는 단계와;

상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계와;

상기 제 2 기판으로 빛을 입사시키는 백라이트를 배치시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제 32항에 있어서,

상기 반사판은 상기 화소 영역의 반사부에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 반사판 하부에 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 스위칭 소자와 상기 화소 영역의 경계부 및 상기 반사부와 대응되는 제 2 기판에 블랙 매트릭스가 더 형성되며, 상기 반사부에 형성된 블랙매트릭스 상에 는 상기 반사판이 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 35항에 있어서,

상기 반사부에 형성된 블랙 매트릭스의 상면에는 요철형 패턴이 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 공통 전극이 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 34항에 있어서,

상기 절연막은 유기절연막 또는 무기절연막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반사투과형 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 반사판은 금속, 무기물, 유기물중에서 선택된 어느 한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 제 2 기판 상에 화소 영역 경계부와 스위칭 소자에 대응되는 위치에 블 랙 매트릭스를 형성하는 단계와;

상기 제 2 기판의 화소 영역에 대응되는 위치에 컬러필터를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 제 1 기판 상의 화소 영역 경계부를 포함한 영역에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와;

상기 제 1 기판의 화소 영역 상에 컬러필터를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제 32항에 있어서,

상기 화소 영역은 듀얼 셀갭을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.