JP4710296B2 - Pattern forming method and pattern forming apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタなどの細かいパターンの繰り返しを組み合わせてなる組み合わせ部分を有する複合パターンを形成する方法とその形成装置に関するものである。   The present invention relates to a method of forming a composite pattern having a combination portion formed by combining repetition of fine patterns such as a color filter used in a liquid crystal display device, and the forming apparatus.

従来、液晶表示装置用のカラーフィルタの製造には、フォトレジスト材を用いたフォトリソ手法が採用されているが、画素材料である前記フォトレジスト材の大部分をスピンコートの時点で捨てることとなり、このフォトレジスト材の経済的な使用が図れないという問題がある。また、色ごとに露光、現像などの工程を経ることから全体としての作業効率が低いとともに、露光装置、現像装置などの高価な光学機器を要しており、これによってコストを引き下げることができないという問題もある。   Conventionally, a photolithographic method using a photoresist material has been adopted for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device, but most of the photoresist material as a pixel material is discarded at the time of spin coating, There is a problem that this photoresist material cannot be used economically. In addition, the overall work efficiency is low because the process of exposure and development is performed for each color, and expensive optical equipment such as an exposure apparatus and a development apparatus is required, which makes it impossible to reduce the cost. There is also a problem.

そのため、近年においては印刷によりこのカラーフィルタを得ようとする試みがある。例えば黒（ブラックマトリックス）、赤、緑、青の４色のパターン構成色によりパターンを得る場合、各パターン構成色のパターン毎に凹版又は平版の印刷版を用意して、その版から前記パターン構成色ごとのローラに着色樹脂組成物（例えば、色インキ）を転写してローラそれぞれにパターンを転写させ、そして黒（ブラックマトリックス）のパターンの位置を基準として、その間に赤、次に緑、青とそれぞれ各パターン構成色を基板に転写する方法がある。
また、各パターン構成色のパターンごとに凸版である除去版を用意し、パターン構成色ごとのローラにパターン構成色の着色樹脂組成物を定厚で塗布し、このローラをパターン構成色に対応する前記除去版に押圧して、除去版の凸部にてパターン以外の余剰の着色樹脂組成物を転写除去することで、パターン構成色ごとのローラにパターンを形成し、これらのパターンを上述と同様に黒のパターンの位置を基準として、その間に赤、次に緑、青とそれぞれ各パターン構成色が重ならないように基板に転写することで、カラーフィルタとしてのパターンを得る装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）
特開平１１−０５８９２１１号公報（段落番号０００８、図１） Therefore, in recent years, there are attempts to obtain this color filter by printing. For example, when obtaining a pattern with four pattern constituent colors of black (black matrix), red, green, and blue, an intaglio or lithographic printing plate is prepared for each pattern constituent color, and the pattern constituent is prepared from the plate. A colored resin composition (for example, color ink) is transferred to each color roller to transfer the pattern to each roller, and the black (black matrix) pattern position is used as a reference, and then red, then green, blue And a method of transferring each pattern constituent color to the substrate.
In addition, a removal plate that is a relief plate is prepared for each pattern constituent color pattern, and a colored resin composition of the pattern constituent color is applied to a roller for each pattern constituent color at a constant thickness, and this roller corresponds to the pattern constituent color. By pressing the removal plate and transferring and removing excess colored resin composition other than the pattern at the convex portion of the removal plate, a pattern is formed on the roller for each pattern constituent color, and these patterns are the same as described above. A device for obtaining a pattern as a color filter by transferring the pattern pattern color to the substrate so that each of the red, green, and blue colors does not overlap each other with the position of the black pattern as a reference is proposed. (For example, see Patent Document 1)
JP 11-058921 A (paragraph number 0008, FIG. 1)

上述した印刷によるカラーフィルタの製造では、フォトリソ手法に比べて露光装置や現像装置などを必要としないため、製造コストの低減が図り易いものである。
しかしながら、上述した印刷手法によるパターン形成装置では、パターン構成色ごとに一つの塗布ローラが対応して多くの塗布ローラを備え、そしてこれらの多くの塗布ローラを該塗布ローラの移動方向に並ぶように配置することとなり、形成装置が大型化するという不都合があり、特にカラーフィルタの大型化が要望される傾向にある現状において、印刷手法を用いるパターン形成装置で実施しようとした場合には、装置の長手方向の寸法が長くなってしまうという問題がある。
この問題は液晶表示装置用のカラーフィルタの場合だけでなく、パターン構成色が異なってパターン形状が同一の複数のパターンを組み合わせる部分を有した複合パターンを印刷で形成するときに生じる問題である。
そこで、本発明は上記事情に鑑み、塗布ローラの数を減らすことを課題とし、その塗布ローラそれぞれに形成されたパターンを基板に転写して良好な複合パターンを得ることができる小型の形成装置を得ることを目的とするものである。 The manufacturing of the color filter by printing described above does not require an exposure apparatus or a developing apparatus as compared with the photolithography method, and therefore it is easy to reduce the manufacturing cost.
However, in the pattern forming apparatus based on the printing method described above, one application roller corresponding to each pattern constituent color includes a number of application rollers, and these many application rollers are arranged in the moving direction of the application roller. There is an inconvenience that the forming apparatus becomes large in size, and in the current situation where there is a tendency that a large size of the color filter is required, in particular, when the pattern forming apparatus using the printing method is used, There is a problem that the longitudinal dimension becomes long.
This problem occurs not only in the case of a color filter for a liquid crystal display device, but also when a composite pattern having a portion combining a plurality of patterns having different pattern constituent colors and the same pattern shape is formed by printing.
Therefore, in view of the above circumstances, the present invention has an object to reduce the number of coating rollers, and a compact forming apparatus that can transfer a pattern formed on each coating roller to a substrate to obtain a good composite pattern. It is intended to obtain.

（請求項１）
本発明は上記課題を考慮してなされたもので、基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを塗布ローラを介して転写して、
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色のパターンを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成するに際し、
一つの塗布ローラに、前記四色のパターン構成色を対応させて、
パターン構成色ごとに、
一色のパターン構成色の塗布液を塗布液供給手段から前記塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、
前記塗布液供給工程を経た塗布ローラを、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版に押圧して、塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去工程と、
前記転写除去工程を経た塗布ローラを基板に押圧して、前記塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程と
からなる、一色のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を繰り返して、前記複合パターンを基板に形成する
ことを特徴とするパターン形成方法であり、このパターン形成方法を提供して上記課題を解消するものである。
（請求項２）
また、もう一つの発明は、基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを二つの塗布ローラを介して転写して、
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色のパターンを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成するに際し、
一つの塗布ローラを、前記パターン組み合わせ部分の前記三色のパターン構成色に対応させるとともに、もう一つの塗布ローラを、前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色に対応させ、
前記もう一つの塗布ローラにて、
黒のパターン構成色の塗布液を塗布液供給手段から前記もう一つの塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、
前記塗布液供給工程を経た前記塗布ローラを、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版に押圧して、前記塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去工程と、
前記転写除去工程を経た前記塗布ローラを基板に押圧して、前記塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程とからなる、黒のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を行なって、前記基板に黒のパターン構成色のパターンを形成し、
前記一つの塗布ローラにて、
前記パターン組み合わせ部分のパターン構成色ごとに、
前記パターン組み合わせ部分の一色のパターン構成色の塗布液を塗布液供給手段から前記一つの塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、
前記塗布液供給工程を経た前記一つの塗布ローラを、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版に押圧して、前記一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去工程と、
前記転写除去工程を経た前記一つの塗布ローラを基板に押圧して、前記塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程と
からなる、一色のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を繰り返して、前記黒のパターン構成色のパターンに前記パターン組み合わせ部分を組み合わせて前記複合パターンを基板に形成する
ことを特徴とするパターン形成方法であり、このパターン形成方法を提供して上記課題を解消するものである。
（請求項３）
上記発明において、上記塗布液供給手段により塗布液を定厚で供給することが可能である。 (Claim 1)
The present invention has been made in consideration of the above problems, and a substrate is provided with a pattern composed of a red pattern constituent color, a pattern composed of a green pattern constituent color, a pattern composed of a blue pattern constituent color, and a black matrix. Transfer the pattern consisting of black pattern constituent color through the application roller,
A black color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part and a pattern combination part combining a pattern consisting of the red pattern constituent color, a pattern consisting of the green pattern constituent color, and a blue pattern constituent color of the color filter. When forming a composite pattern consisting of the pattern constituent color pattern on the substrate,
In correspondence with the four pattern constituent colors to one application roller,
For each pattern composition color,
A coating liquid supply step of supplying a coating liquid of one color pattern constituent color from the coating liquid supply means to the coating roller;
The application roller that has undergone the application liquid supply step is pressed against a plate-shaped application liquid removal plate having a convex portion that is a negative pattern of the pattern composition color of the supplied application liquid, and the negative pattern is applied from the application roller. A transfer removal step of transferring and removing the liquid;
A transfer step of pressing the application roller that has undergone the transfer removal step against the substrate and transferring a pattern of the application liquid of the application roller to the substrate;
Forming the composite pattern on the substrate by repeating the steps from the supply of the coating liquid of one color pattern constituting color to the transfer to the substrate by the pattern of the coating liquid consisting of This method provides the pattern forming method and solves the above-mentioned problems.
(Claim 2)
According to another aspect of the invention, the substrate includes a pattern composed of a red pattern constituent color, a pattern composed of a green pattern constituent color, a pattern composed of a blue pattern constituent color, and a black pattern constituent color of a black matrix. The pattern to be transferred through two application rollers,
A black color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part and a pattern combination part combining a pattern consisting of the red pattern constituent color, a pattern consisting of the green pattern constituent color, and a blue pattern constituent color of the color filter. When forming a composite pattern consisting of the pattern constituent color pattern on the substrate,
One application roller is made to correspond to the three color constituent colors of the pattern combination part, and the other application roller is made to correspond to the black pattern constituent color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part. Let
With the other application roller,
A coating liquid supply step of supplying a coating liquid of a black pattern constituent color from the coating liquid supply means to the another coating roller;
The application roller that has undergone the application liquid supply step is pressed against a plate-shaped application liquid removal plate having a convex portion that is a negative pattern of the pattern composition color of the supplied application liquid, and the negative pattern is applied from the application roller. A transfer removal step of transferring and removing the coating liquid;
The application roller having been subjected to the transfer removal step is pressed against the substrate, and a transfer step of transferring the pattern by the application liquid of the application roller to the substrate is performed. Perform the process up to the transfer to the substrate by the pattern, to form a black pattern constituent color pattern on the substrate,
With the one application roller,
For each pattern constituent color of the pattern combination part,
A coating liquid supply step of supplying a coating liquid of one pattern constituting color of the pattern combination part from the coating liquid supply means to the one coating roller;
The one application roller that has undergone the application liquid supply step is pressed against a plate-shaped application liquid removal plate having a convex portion that is a negative pattern of the pattern composition color of the supplied application liquid, and the one application A transfer removal step of transferring and removing the negative pattern coating liquid from the roller;
A transfer step of pressing the one application roller that has undergone the transfer removal step against the substrate, and transferring a pattern of the application liquid of the application roller to the substrate;
The composite pattern is formed by repeating the steps from the supply of the coating liquid of one color pattern constituent color to the transfer to the substrate by the pattern of the coating liquid, and combining the pattern combination portion with the pattern of the black pattern constituent color. On the substrate
This pattern forming method is characterized by providing this pattern forming method and solving the above-mentioned problems.
(Claim 3)
In the above invention, the coating liquid can be supplied at a constant thickness by the coating liquid supply means.

（請求項４）
また、もう一つの発明は、基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを塗布ローラを介して転写して、
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色のパターンと緑のパターン構成色のパターンと青のパターン構成色のパターンとを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成する装置において、
前記四色のパターン構成色に対応する一つの塗布ローラと、前記四色のパターン構成色の塗布液を前記一つの塗布ローラに供給する塗布液供給手段と、前記複数のパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版とを備え、
パターン構成色ごとに、前記塗布液供給手段からパターン構成色の塗布液を前記一つの塗布ローラに供給し、この一つの塗布ローラを前記塗布液除去版に押圧して、前記一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去し、前記転写除去を行なった前記一つの塗布ローラの塗布液によるパターンを前記基板に転写する工程が繰り返されて、基板に複合パターンが形成される構成としたことを特徴とするパターン形成装置であり、このパターン形成装置を提供して上記課題を解消するものである。
（請求項５）
また、もう一つの発明は、基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを塗布ローラを介して転写して、
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色のパターンと緑のパターン構成色のパターンと青のパターン構成色のパターンとを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成する装置において、
前記パターン組み合わせ部分の三色のパターン構成色に対応する一つの塗布ローラと、前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色に対応するもう一つの塗布ローラと、前記パターン構成色の塗布液を、該塗布液のパターン構成色に対応する塗布ローラに供給する塗布液供給手段と、前記複数のパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版とを備え、
前記黒のパターン構成色に対応する前記もう一つの塗布ローラに対する前記塗布液供給手段からの塗布液供給と、このもう一つの塗布ローラを黒のパターン構成色に対応する前記塗布液除去版を押圧して前記もう一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去と、前記転写除去を行なった前記もう一つの塗布ローラの塗布液によるパターンの前記基板への転写とにより前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンが形成され、
前記パターン組み合わせ部分のパターン構成色に対応する前記一つの塗布ローラに対する前記塗布液供給手段からの塗布液供給と、この一つの塗布ローラを前記パターン組み合わせ部分のパターン構成色に対応する前記塗布液除去版を押圧して前記一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去と、前記転写除去を行なった前記一つの塗布ローラの塗布液によるパターンの前記基板への転写とをパターン組み合わせ部分のパターン構成色毎に行なって、前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとの組み合わせよりなる前記複合パターンが前記基板に形成される構成としたことを特徴とするパターン形成装置であり、このパターン形成装置を提供して上記課題を解消するものである。
（請求項６）
上記発明において、上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給することが可能である。 (Claim 4 )
According to another aspect of the invention, the substrate includes a pattern composed of a red pattern constituent color, a pattern composed of a green pattern constituent color, a pattern composed of a blue pattern constituent color, and a black pattern constituent color of a black matrix. And the pattern to be transferred through the application roller,
A pattern combination part combining the red pattern constituent color pattern, the green pattern constituent color pattern and the blue pattern constituent color pattern of the color filter, and the black matrix of the black matrix which is a part other than the pattern combination part In an apparatus for forming a composite pattern consisting of a pattern constituent color pattern on the substrate,
One application roller corresponding to the four color pattern constituent colors, application liquid supply means for supplying the four color pattern constituent colors to the one application roller, and a negative pattern of the plurality of patterns With a plate-shaped coating liquid removal plate having a convex part,
For each pattern constituent color, a coating liquid of a pattern constituent color is supplied from the coating liquid supply means to the one application roller, and the one application roller is pressed against the application liquid removing plate, The process of transferring the negative pattern coating solution to the substrate and transferring the pattern with the coating solution of the one application roller after the transfer removal to the substrate is repeated to form a composite pattern on the substrate. The pattern forming apparatus is characterized by providing the pattern forming apparatus to solve the above problems.
(Claim 5 )
According to another aspect of the invention, the substrate includes a pattern composed of a red pattern constituent color, a pattern composed of a green pattern constituent color, a pattern composed of a blue pattern constituent color, and a black pattern constituent color of a black matrix. And the pattern to be transferred through the application roller,
A pattern combination part combining the red pattern constituent color pattern, the green pattern constituent color pattern and the blue pattern constituent color pattern of the color filter, and the black matrix of the black matrix which is a part other than the pattern combination part In an apparatus for forming a composite pattern consisting of a pattern constituent color pattern on the substrate,
One application roller corresponding to the three pattern constituent colors of the pattern combination part, another application roller corresponding to the black pattern constituent color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part, and the pattern A coating liquid supply means for supplying a coating liquid of a constituent color to a coating roller corresponding to a pattern constituent color of the coating liquid, and a plate-like coating liquid removing plate having a convex portion as a negative pattern of the plurality of patterns Prepared,
Supplying the application liquid from the application liquid supply means to the other application roller corresponding to the black pattern constituent color, and pressing the application liquid removal plate corresponding to the black pattern constituent color. Then, the black matrix is obtained by transferring and removing the negative pattern coating liquid from the other coating roller, and transferring the pattern to the substrate by the coating liquid from the other coating roller that has been transferred and removed. The black pattern constituent color pattern is formed,
Application liquid supply from the application liquid supply means to the one application roller corresponding to the pattern composition color of the pattern combination part, and removal of the application liquid corresponding to the pattern composition color of the pattern combination part. Transfer combination for transferring and removing the negative pattern coating liquid from the one coating roller by pressing the plate, and pattern transfer to the substrate by the coating liquid of the one coating roller that has been transferred and removed A pattern forming apparatus characterized in that the composite pattern is formed on the substrate by combining the black pattern constituent color pattern of the black matrix, which is performed for each pattern constituent color of the black matrix, The pattern forming apparatus is provided to solve the above problems.
(Claim 6 )
In the above invention, the coating solution supply means can supply the coating solution at a constant thickness.

（パターン形成方法）
請求項１の発明のパターン形成方法により、パターン形成装置を構成したときの装置形状を小型のものとすることができる。また、複数色のパターン構成色の塗布液が供給された塗布ローラにおける転写除去時や基板への転写時のローラの動作の特性を、その塗布ローラから得られる複数のパターンに対して反映させることができる。即ち、同一の動作特性の下で複数のパターンを基板に形成できるようになる。
また、請求項２の発明のパターン形成方法により、一つの塗布ローラの転写除去時や基板への転写時に他の塗布ローラからの振動や応力の影響を無くすことができるようになる。
また、請求項３の発明のパターン形成方法によれば、塗布液が定厚にして塗布ローラに供給されるので、基板に転移した塗布液の膜厚が均一となって、色むらをより確実に防止できるようになる。 (Pattern formation method)
According to the pattern forming method of the first aspect of the invention, the shape of the apparatus when the pattern forming apparatus is configured can be made small. In addition, the characteristics of the operation of the roller at the time of transfer removal and transfer to the substrate in the coating roller supplied with coating liquids of a plurality of pattern constituent colors are reflected on the plurality of patterns obtained from the coating roller. Can do. That is, a plurality of patterns can be formed on the substrate under the same operating characteristics.
According to the pattern forming method of the second aspect of the present invention, it is possible to eliminate the influence of vibration and stress from other coating rollers when transferring and removing one coating roller or transferring to a substrate.
Further, according to the pattern forming method of the invention of claim 3, since the coating liquid is supplied to the coating roller with a constant thickness, the film thickness of the coating liquid transferred to the substrate becomes uniform, and color unevenness is more reliably ensured. Will be able to prevent.

（パターン形成装置）
また、請求項４、５の発明のパターン形成装置により、塗布ローラのローラ数が少なくなり、装置を小型のものとすることができる。また、複数色のパターン構成色の塗布液が供給された塗布ローラにおける転写除去時や基板への転写時のローラの動作の特性を、その塗布ローラから得られる複数のパターンに対して反映させることができる。
また、請求項６の発明のパターン形成装置により、基板に転移した塗布液の膜厚が均一となって、色むらをより確実に防止できるようになる。 (Pattern forming device)
Further, according to the pattern forming apparatus of the fourth and fifth aspects of the invention, the number of application rollers can be reduced, and the apparatus can be made compact. In addition, the characteristics of the operation of the roller at the time of transfer removal and transfer to the substrate in the coating roller supplied with coating liquids of a plurality of pattern constituent colors are reflected on the plurality of patterns obtained from the coating roller. Can do.
According to the pattern forming apparatus of the sixth aspect of the invention, the film thickness of the coating liquid transferred to the substrate becomes uniform, and color unevenness can be prevented more reliably .

つぎに本発明を液晶表示装置用のカラーフィルタを複合パターンとして得る場合に用いた例を示して説明する。
（第一の実施の形態）
（パターン形成装置）
図中１はパターン形成装置で、該パターン形成装置１は図１に示すカラーフィルタパターンとしての複合パターンＰを形成するものである。この複合パターンＰは、図２に示すように三色のパターン構成色である赤、緑、青（Ｒ、Ｇ、Ｂ）において、赤のパターン構成色からなりストライプが一定間隔で並ぶパターンＰｒと緑のパターン構成色からなりストライプが一定間隔で並ぶパターンＰｇと青のパターン構成色からなりストライプが一定間隔で並ぶパターンＰｂとを各パターンのストライプが一定間隔をおいて順に並ぶように組み合わせて、組み合わせ部分Ｐ１を形成し、ブラックマトリックスとする黒のパターン構成色のパターンＰ２を、前記組み合わせ部分Ｐ１以外の部分として形成し、これらＰ１とＰ２とから前記複合パターンＰが形成されている。
組み合わせ部分Ｐ１を構成するパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂは相互にストライプ位置が異なるが、ストライプ幅、長さ、ピッチが同じ或いは類似しているため、パターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂのパターン形状は同一或いは類似している。 Next, the present invention will be described with reference to an example in which a color filter for a liquid crystal display device is obtained as a composite pattern.
(First embodiment)
(Pattern forming device)
In the figure, reference numeral 1 denotes a pattern forming apparatus, which forms the composite pattern P as the color filter pattern shown in FIG. As shown in FIG. 2, this composite pattern P is composed of a pattern Pr composed of red pattern constituent colors and stripes arranged at regular intervals in the three pattern constituent colors red, green, and blue (R, G, B). A pattern Pg composed of green pattern constituent colors and stripes arranged at regular intervals and a pattern Pb composed of blue pattern constituent colors and arranged stripes at regular intervals are combined so that the stripes of each pattern are arranged in order at regular intervals. A combination portion P1 is formed, and a black pattern constituent color pattern P2 serving as a black matrix is formed as a portion other than the combination portion P1, and the composite pattern P is formed from these P1 and P2.
The patterns Pr, Pg, and Pb constituting the combination part P1 have different stripe positions, but the stripe width, length, and pitch are the same or similar, so the pattern shapes of the patterns Pr, Pg, and Pb are the same or similar. is doing.

このカラーフィルタとする複合パターンＰを形成するパターン形成装置１は、図３に示すように塗布ローラ移動機構部２、塗布液供給部３、塗布液除去部４、基板支持部５とからなるものである。
（塗布ローラ移動機構部）
前記塗布ローラ移動機構部２は、一つの塗布ローラ２０を図示しない支持体で回転可能に支持し、前記塗布液除去部４、基板支持部５それぞれの上方位置に移動できるように設けられているものである。そして、前記塗布ローラ２０の周面が塗布液受け領域６であって、塗布液供給部３からブラックマトリックスとする黒インキ、赤パターンＰｒを得るための赤インキ、緑パターンＰｇを得るための緑インキ、青パターンＰｂを得るための青インキを下記に示すように順次塗布液受け領域６に受けることができる。なお、塗布液受け面を以降、ブランケットと記載する。 As shown in FIG. 3, a pattern forming apparatus 1 for forming a composite pattern P as a color filter comprises an application roller moving mechanism unit 2, a coating solution supply unit 3, a coating solution removal unit 4, and a substrate support unit 5. It is.
(Coating roller moving mechanism)
The application roller moving mechanism unit 2 is provided so as to rotatably support one application roller 20 by a support (not shown) and to be moved to an upper position of the application liquid removing unit 4 and the substrate support unit 5. Is. The peripheral surface of the coating roller 20 is a coating liquid receiving region 6, and the black ink used as the black matrix from the coating liquid supply unit 3, the red ink for obtaining the red pattern Pr, and the green for obtaining the green pattern Pg. The blue ink for obtaining the ink and the blue pattern Pb can be sequentially received in the coating liquid receiving area 6 as shown below. The coating liquid receiving surface is hereinafter referred to as a blanket.

（塗布液供給部）
塗布液供給部３は、上記塗布ローラ２０に対して設定されているパターン構成色の塗布液としてのインキをこの塗布ローラ２０に供給するものであり、黒インキを供給する定厚塗布液供給ユニット３ＢＭ、赤インキを供給する定厚塗布液供給ユニット３Ｒ、緑インキを供給する定厚塗布液供給ユニット３Ｇ、青インキを供給する定厚塗布液供給ユニット３Ｂから構成され、そして、待機位置にあるときの塗布ローラ移動機構部２の塗布ローラ２０に、塗布液供給ユニット３ＢＭ、３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ各インキが定厚にして上記ブランケットに塗布されるようにしている。
なお、第一の実施の形態では、以下に示すように一色のパターン構成色のパターン形成が行われるごとに塗布ローラ移動機構部２が塗布液供給部３側の待機位置に戻って塗布ローラ２０がつぎのパターン構成色の塗布液供給ユニットに対応位置するように復帰動作するように設定されており、待機位置で全てのパターン構成色の塗布液の供給を受けるものではない。また、塗布ローラ移動機構部２が待機したときに前記塗布ローラ２０が常に定まった位置とする場合には、塗布液供給部３側が、つぎのパターン構成色の定厚塗布液供給ユニットと塗布ローラ２０とが対応するように移動する構成としてもよい。 (Coating liquid supply part)
The coating liquid supply unit 3 supplies the coating roller 20 with ink as the coating liquid of the pattern color set for the coating roller 20, and is a constant thickness coating liquid supply unit that supplies black ink. 3BM, a constant thickness coating liquid supply unit 3R for supplying red ink, a constant thickness coating liquid supply unit 3G for supplying green ink, and a constant thickness coating liquid supply unit 3B for supplying blue ink, and are in a standby position. The coating liquid supply units 3BM, 3R, 3G, and 3B are applied to the blanket at a constant thickness on the coating roller 20 of the coating roller moving mechanism 2 at that time.
In the first embodiment, the application roller moving mechanism unit 2 returns to the standby position on the application liquid supply unit 3 side every time pattern formation of one pattern constituent color is performed as described below. Is set so as to return to the position corresponding to the coating liquid supply unit of the next pattern constituent color, and the supply of the coating liquid of all pattern constituent colors is not received at the standby position. Further, when the application roller 20 is always in a fixed position when the application roller moving mechanism unit 2 stands by, the application liquid supply unit 3 side has a constant thickness application liquid supply unit and an application roller of the next pattern constituent color. It is good also as a structure which moves so that 20 may respond | correspond.

（塗布液除去部）
塗布液除去部４は、四つの板状とした塗布液除去版４ＢＭ、４Ｒ、４Ｇ、４Ｂを塗布ローラ移動機構部２の移動方向（図上、左方向）に並ぶようにして配置したものであり、これら四つの塗布液除去版４ＢＭ、４Ｒ、４Ｇ、４Ｂそれぞれが、前後左右上下への移動調整、そして回転調整できる支持盤からなる位置調整手段４１に支持されて、互いに独立して位置調整が行えるように設けられている。このようにした四つの塗布液除去版４ＢＭ、４Ｒ、４Ｇ、４Ｂを備えた塗布液除去部４は、塗布液供給手段として上記塗布液供給部３での定厚塗布液供給ユニット３ＢＭ、３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの一つから塗布液が供給された塗布ローラ移動機構部２の前記塗布ローラ２０が塗布液除去部４に達して、その塗布ローラ２０に供給された塗布液のパターン構成色に対応する一つの塗布液除去版と回転移動する前記塗布ローラ２０との接触によって、塗布ローラ２０のブランケット６上から余剰の塗布液を転写除去するものである。 (Coating solution removal unit)
The coating liquid removing unit 4 is configured by arranging four plate-shaped coating liquid removing plates 4BM, 4R, 4G, and 4B so as to be arranged in the moving direction (left direction in the figure) of the coating roller moving mechanism unit 2. Yes, these four coating liquid removal plates 4BM, 4R, 4G, 4B are supported by position adjusting means 41 comprising a support plate that can be adjusted for movement in the front / rear, left / right and up / down directions, and can be adjusted independently of each other. It is provided so that it can do. The coating liquid removal unit 4 including the four coating liquid removal plates 4BM, 4R, 4G, and 4B thus formed has constant thickness coating liquid supply units 3BM, 3R, The coating roller 20 of the coating roller moving mechanism 2 to which the coating liquid is supplied from one of 3G and 3B reaches the coating liquid removing unit 4 and corresponds to the pattern constituting color of the coating liquid supplied to the coating roller 20 The excess coating liquid is transferred and removed from the blanket 6 of the coating roller 20 by the contact between the coating liquid removing plate that rotates and the coating roller 20 that rotates.

まず、塗布液除去版４Ｒは赤色であるパターン構成色に対応しているものであり、上記組み合わせ部分Ｐ１を構成するそれぞれ形状同一のパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂ中のパターンＰｒのネガパターンにした凸部ａを備え、塗布液除去版４Ｇは緑色であるパターン構成色に対応しているものであり、前記パターンＰｇのネガパターンにした凸部ａを備え、塗布液除去版４Ｂは青色であるパターン構成色に対応しているものであり、前記パターンＰｂのネガパターンにした凸部ａを備えている。また、塗布液除去版４ＢＭはブラックマトリックスの黒色であるパターン構成色に対応しているものであり、上記組み合わせ部分以外のパターンＰ２のネガパターンにした凸部ａを備えている。なお、凸部ａは色ごとに同一であっても、異なった形状であってもよい。   First, the coating liquid removal plate 4R corresponds to the pattern constituent color which is red, and the convex portion which is a negative pattern of the pattern Pr in the patterns Pr, Pg and Pb having the same shape constituting the combination part P1. The coating liquid removal plate 4G includes a portion a, and corresponds to the pattern constituent color that is green. The coating liquid removal plate 4B includes a convex portion a that is a negative pattern of the pattern Pg, and the coating liquid removal plate 4B is blue. Corresponding to the constituent color, it is provided with a convex part a which is a negative pattern of the pattern Pb. The coating liquid removal plate 4BM corresponds to the black pattern constituent color of the black matrix, and includes a convex portion a that is a negative pattern of the pattern P2 other than the combination portion. In addition, the convex part a may be the same for every color, or may have a different shape.

本実施の形態のパターン形成装置１において上述した塗布液除去版４ＢＭ、４Ｒ、４Ｇ、４Ｂによる転写除去それぞれをつぎに説明する。上記塗布液供給部３から黒インキが塗布供給された塗布ローラ２０にあっては、そのブランケット６を、塗布液除去版４ＢＭに押圧して塗布ローラ２０の回転移動によって、前記ブランケット６から余剰の塗布液が塗布液除去版４ＢＭの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る塗布液がパターンＰ２となるようにしている。また、塗布液供給部３から赤インキが塗布供給された塗布ローラ２０の場合にあっては、ブランケット６を、塗布液除去版４Ｒに押圧して塗布ローラ２０の回転移動によって、ブランケット６から余剰の塗布液が塗布液除去版４Ｒの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る塗布液がパターンＰｒとなる。塗布液供給部３から緑インキが塗布供給された塗布ローラ２０の場合にあっては、ブランケット６を、塗布液除去版４Ｇに押圧して塗布ローラ２０の回転移動によって、ブランケット６から余剰の塗布液が塗布液除去版４Ｇの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る塗布液がパターンＰｇとなる。そして、塗布液供給部３から青インキが塗布供給された塗布ローラ２０の場合にあっては、ブランケット６を、塗布液除去版４Ｂに押圧して塗布ローラ２０の回転移動によって、ブランケット６から余剰の塗布液が塗布液除去版４Ｂの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る塗布液がパターンＰｂとなる。   Each of the transfer removal by the coating liquid removal plates 4BM, 4R, 4G, and 4B described above in the pattern forming apparatus 1 of the present embodiment will be described next. In the application roller 20 to which the black ink is applied and supplied from the application liquid supply unit 3, the blanket 6 is pressed against the application liquid removal plate 4BM, and the application roller 20 is rotated and moved to move the surplus from the blanket 6. The coating liquid is transferred to and removed from the convex portion a of the coating liquid removing plate 4BM so that the coating liquid remaining on the blanket 6 becomes a pattern P2. Further, in the case of the application roller 20 to which the red ink is applied and supplied from the application liquid supply unit 3, the blanket 6 is pressed against the application liquid removal plate 4 </ b> R and the application roller 20 rotates to move the surplus from the blanket 6. The coating liquid is transferred and removed to the convex portion a of the coating liquid removing plate 4R, and the coating liquid remaining on the blanket 6 becomes a pattern Pr. In the case of the application roller 20 to which the green ink is applied and supplied from the application liquid supply unit 3, the blanket 6 is pressed against the application liquid removal plate 4G and the application roller 20 is rotated to move the excess application from the blanket 6. The liquid is transferred to and removed from the convex portion a of the coating liquid removal plate 4G, and the coating liquid remaining on the blanket 6 becomes a pattern Pg. In the case of the application roller 20 to which the blue ink is applied and supplied from the application liquid supply unit 3, the blanket 6 is pressed against the application liquid removal plate 4 </ b> B and the application roller 20 is rotated and moved, so that the surplus from the blanket 6. The coating liquid is transferred and removed to the convex portion a of the coating liquid removing plate 4B, and the coating liquid remaining on the blanket 6 becomes a pattern Pb.

なお、上記塗布液除去部４にはその上方に残存塗布液除去装置７が移動可能に設けられていて、転写除去により凸部ａに転移した塗布液をこの残存塗布液除去装置７で除去するようにしている。なお、前記残存塗布液除去装置７での除去方法は、溶剤吹付けによる塗布液の除去と空気吹付けによる乾燥との組み合わせなど、公知の手法によって行われるものであり、残存塗布液除去装置７での塗布液除去によって清浄な除去版が得られるようにしている。   The coating solution removing unit 4 is provided with a remaining coating solution removing device 7 movably above the coating solution removing unit 4. The coating solution transferred to the convex portion a by transfer removal is removed by the remaining coating solution removing device 7. I am doing so. The removal method by the residual coating liquid removing apparatus 7 is performed by a known method such as a combination of removal of the coating liquid by solvent spraying and drying by air spraying, and the residual coating liquid removing apparatus 7. A clean removal plate can be obtained by removing the coating solution in step (b).

（基板支持部）
上記基板支持部５はカラーフィルタの基材とするガラス板などの基板５０を、ＸＹθ駆動可能定盤５１に取り付けて位置決めしてなるものである。 (Substrate support part)
The substrate support portion 5 is formed by attaching and positioning a substrate 50 such as a glass plate as a base material of a color filter on an XYθ driveable surface plate 51.

（パターン形成）
上述した本実施の形態のパターン形成装置１により、複合パターンＰを基板５０に形成するにあたっては、パターン構成色ごとに前記基板５０に塗布液によるパターンを転写するようにしていて、一色のパターン構成色の塗布液を、該塗布液のパターン構成色に対応する塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、前記塗布液供給工程を経た塗布ローラから、該塗布ローラに対応するパターン構成色のパターンのネガパターンにして塗布液を転写除去する転写除去工程と、前記転写除去工程を経た塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程とからなる、一色のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を、パターン構成色ごとに繰り返すようにしている。 (Pattern formation)
When the composite pattern P is formed on the substrate 50 by the pattern forming apparatus 1 according to the present embodiment described above, the pattern formed by the coating liquid is transferred to the substrate 50 for each pattern constituent color. A coating liquid supply process for supplying a color coating liquid to a coating roller corresponding to the pattern constituent color of the coating liquid, and a pattern having a pattern constituent color corresponding to the coating roller from the coating roller that has undergone the coating liquid supply process. From supply of the coating liquid of a single color pattern comprising a transfer removal process for transferring and removing the coating liquid as a negative pattern and a transfer process for transferring the pattern by the coating liquid of the coating roller that has undergone the transfer removal process to the substrate The process up to the transfer to the substrate by the pattern of the coating liquid is repeated for each pattern constituent color.

（黒インキによるパターン形成、図４〜６）
例えば、ブラックマトリックスとする組み合わせ部分以外のパターンＰ２を始めに形成するものとした場合、待機位置にある塗布ローラ移動機構部２の塗布ローラ２０と塗布液供給部３の黒インキの定厚塗布液供給ユニット３ＢＭとが対応位置し、定位置回転する塗布ローラ２０のブランケット６に定厚塗布液供給ユニット３ＢＭから黒インキが供給され、ブランケット６上に定厚にした黒インキが塗布される（塗布液供給工程、図４）。
塗布ローラ２０に塗布液の供給を終えた塗布ローラ移動機構部２は、上記基板支持部５側に移動を開始し、塗布液除去部４の塗布液除去版４ＢＭに向う。この塗布液除去版４ＢＭに塗布ローラ２０のブランケット６が押圧する前に、この塗布ローラ２０の塗布液を転写除去する部分、即ち、ブランケット６上において形成する黒インキによるパターンＰ２（上記基材支持部５側で設定される黒インキによるパターンＰ２の位置に対応するパターン）のネガパターンに、塗布液除去版４ＢＭの凸部ａが対応位置するように上記位置調整手段４１により塗布液除去版４ＢＭを位置合わせする。なお、塗布ローラ移動機構部２の移動に際して、塗布ローラ２０とこの塗布ローラ２０に供給された塗布液のパターン構成色に対応しない塗布液除去版との干渉を避けるため、塗布液のパターン構成色に対応しない塗布液除去版が一旦降下したり、塗布ローラ移動機構部がそれらから若干離れた上方を移動するように設けられている。この点は、以下のパターン形成に際しても同じである。
この位置合わせが塗布ローラ２０による押圧の前に終了する。そして、塗布ローラ２０が接触してから回転移動し、塗布ローラ２０のブランケット６が塗布液除去版４ＢＭを押圧して、塗布液除去版４ＢＭの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の黒インキを転写除去し、これによって塗布ロール２０のブランケット６に黒インキによるパターンＰ２が形成される（転写除去工程、図５）。
上記塗布液除去版４ＢＭの位置合わせと黒インキの転写除去によるパターンＰ２の形成を塗布ローラ２０で行なった黒インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ移動機構部２が再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ移動機構部２が塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には、上記残存塗布液除去装置７により塗布液除去部４での上記塗布液除去版４ＢＭの凸部ａに転写除去された黒インキを除去し、この塗布液除去版４ＢＭを清浄化する。
塗布ローラ移動機構部２の移動により塗布ローラ２０が基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、黒インキによるパターンＰ２をブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰ２の基板５０での形成が終了する（転写工程、図６）。
黒インキのパターンＰ２の転写が終了すれば、塗布液移動機構部２は塗布液除去部４、基板支持部５、残存塗布液除去装置７との干渉を回避しながら待機位置に戻るように設けられている。そして待機位置に塗布ローラ移動機構部２が戻れば、つぎのパターンＰｒの形成を行なう。 (Pattern formation with black ink, FIGS. 4 to 6)
For example, when the pattern P2 other than the combination portion to be a black matrix is formed first, the constant thickness coating liquid of black ink of the coating roller 20 of the coating roller moving mechanism section 2 and the coating liquid supply section 3 at the standby position. The black ink is supplied from the constant-thickness coating liquid supply unit 3BM to the blanket 6 of the coating roller 20 which is in a corresponding position with the supply unit 3BM and rotates at a fixed position, and the black ink having a constant thickness is applied on the blanket 6 (coating) Liquid supply process, FIG. 4).
The application roller moving mechanism 2 that has finished supplying the application liquid to the application roller 20 starts moving toward the substrate support 5 and moves toward the application liquid removal plate 4BM of the application liquid removal unit 4. Before the blanket 6 of the coating roller 20 is pressed against the coating liquid removing plate 4BM, the portion of the coating roller 20 where the coating liquid is transferred and removed, that is, the pattern P2 made of black ink formed on the blanket 6 (the above-mentioned substrate support Coating liquid removing plate 4BM by the position adjusting means 41 so that the convex portion a of the coating liquid removing plate 4BM corresponds to the negative pattern (pattern corresponding to the position of the pattern P2 with black ink set on the portion 5 side). Align. In order to avoid interference between the application roller 20 and the application liquid removal plate that does not correspond to the pattern composition color of the application liquid supplied to the application roller 20 when the application roller moving mechanism unit 2 moves, the pattern composition color of the application liquid. The coating liquid removal plate that does not correspond to the above is once lowered, or the coating roller moving mechanism is moved so as to move slightly above. This also applies to the following pattern formation.
This alignment ends before pressing by the application roller 20. Then, after the coating roller 20 comes into contact with the coating roller 20, the blanket 6 of the coating roller 20 presses the coating liquid removal plate 4 BM, and the convex portion a of the coating liquid removal plate 4 BM becomes an excess portion of black ink from the blanket 6. As a result, a black ink pattern P2 is formed on the blanket 6 of the coating roll 20 (transfer removal step, FIG. 5).
When the black ink transfer removal process in which the pattern P2 is formed by the application roller 20 by aligning the coating liquid removal plate 4BM and transferring the black ink is removed, the application roller moving mechanism 2 moves again to support the substrate. Head to part 5.
After the coating roller moving mechanism unit 2 moves away from the coating solution removal unit 4 and moves to the substrate support unit 5 side, the projection portion of the coating solution removal plate 4BM in the coating solution removal unit 4 by the residual coating solution removal device 7 is used. The black ink transferred to a is removed, and the coating liquid removal plate 4BM is cleaned.
When the application roller 20 reaches the substrate 50 of the substrate support 5 by the movement of the application roller moving mechanism 2, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the black ink pattern P 2 is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. Transcript to. This completes the formation of the pattern P2 on the substrate 50 (transfer process, FIG. 6).
When the transfer of the black ink pattern P2 is completed, the coating liquid moving mechanism section 2 is provided so as to return to the standby position while avoiding interference with the coating liquid removing section 4, the substrate support section 5, and the remaining coating liquid removing apparatus 7. It has been. When the application roller moving mechanism 2 returns to the standby position, the next pattern Pr is formed.

（赤インキによるパターン形成、図７、８）
赤インキによるパターンＰｒの形成も同様の工程を経るものである。待機位置にある塗布ローラ移動機構部２の塗布ローラ２０と塗布液供給部３の赤インキの定厚塗布液供給ユニット３Ｒとが対応位置し、この定厚塗布液供給ユニット３Ｒからブランケット６に赤インキが供給され、ブランケット６上に定厚にした赤インキを塗布させる（塗布液供給工程）。
塗布ローラ移動機構部２が基板支持部５側に移動し、塗布液除去部４の塗布液除去版４Ｒに向う。塗布液除去版４Ｒに塗布ローラ２０のブランケット６が押圧する前に、塗布ローラ２０の塗布液を転写除去する部分に、塗布液除去版４Ｒの凸部ａが対応位置するように塗布液除去版４Ｒを位置合わせする。
この位置合わせ後、塗布ローラ２０が接触してから回転移動し、塗布ローラ２０のブランケット６が塗布液除去版４Ｒを押圧して、塗布液除去版４Ｒの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の赤インキを転写除去し、これによってブランケット６に赤インキによるパターンＰｒが形成される（転写除去工程、図７）。
上記赤インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ移動機構部２が再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ移動機構部２が塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には、上述したパターンＰ２の形成の場合と同じように残存塗布液除去装置７による塗布液除去版４Ｒの清浄化が行われる。
塗布ローラ移動機構部２の移動により塗布ローラ２０が基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、赤インキによるパターンＰ２をブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰｒの基板５０での形成が終了する（転写工程、図８）。
赤インキのパターンＰｒの転写が終了すれば、塗布液移動機構部２は待機位置に戻り、つぎのパターンＰｇの形成を行なう。 (Pattern formation with red ink, FIGS. 7 and 8)
Formation of the pattern Pr with red ink goes through the same process. The coating roller 20 of the coating roller moving mechanism unit 2 in the standby position and the constant thickness coating solution supply unit 3R of red ink of the coating solution supply unit 3 are in a corresponding position, and red is transferred from the constant thickness coating solution supply unit 3R to the blanket 6. Ink is supplied, and red ink having a constant thickness is applied onto the blanket 6 (application liquid supply step).
The coating roller moving mechanism unit 2 moves to the substrate support unit 5 side and faces the coating solution removal plate 4R of the coating solution removal unit 4. Before the blanket 6 of the coating roller 20 is pressed against the coating liquid removing plate 4R, the coating liquid removing plate is so positioned that the convex portion a of the coating solution removing plate 4R is located at the portion where the coating liquid of the coating roller 20 is transferred and removed. Align 4R.
After this alignment, the coating roller 20 contacts and rotates, the blanket 6 of the coating roller 20 presses the coating liquid removal plate 4R, and the convex portion a of the coating liquid removal plate 4R becomes an excess portion from the blanket 6. The red ink is transferred and removed, whereby a pattern Pr of red ink is formed on the blanket 6 (transfer removal step, FIG. 7).
When the transfer removal process in the red ink is completed, the application roller moving mechanism unit 2 moves again and moves toward the substrate support unit 5.
After the coating roller moving mechanism unit 2 moves away from the coating solution removing unit 4 and moves to the substrate support unit 5 side, the coating solution removing plate 4R by the remaining coating solution removing device 7 is formed in the same manner as in the case of forming the pattern P2 described above. Is cleaned.
When the application roller 20 reaches the substrate 50 of the substrate support unit 5 by the movement of the application roller moving mechanism 2, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the pattern P 2 made of red ink is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. Transcript to. This completes the formation of the pattern Pr on the substrate 50 (transfer process, FIG. 8).
When the transfer of the red ink pattern Pr is completed, the coating liquid moving mechanism unit 2 returns to the standby position, and the next pattern Pg is formed.

（緑インキによるパターン形成、図９、１０）
緑インキによるパターンＰｇの形成も同様である。待機位置にある塗布ローラ移動機構部２の塗布ローラ２０と塗布液供給部３の緑インキの定厚塗布液供給ユニット３Ｇとが対応位置し、この定厚塗布液供給ユニット３Ｇからブランケット６に緑インキが供給され、ブランケット６上に定厚にした緑インキを塗布させる（塗布液供給工程）。
塗布ローラ移動機構部２が基板支持部５側に移動し、塗布液除去部４の塗布液除去版４Ｇに向う。塗布液除去版４Ｇに塗布ローラ２０のブランケット６が押圧する前に、塗布ローラ２０の塗布液を転写除去する部分に、塗布液除去版４Ｇの凸部ａが対応位置するように塗布液除去版４Ｇを位置合わせする。
この位置合わせ後、塗布ローラ２０が接触してから回転移動し、塗布ローラ２０のブランケット６が塗布液除去版４Ｇを押圧して、塗布液除去版４Ｇの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の緑インキを転写除去し、これによってブランケット６に緑インキによるパターンＰｇが形成される（転写除去工程、図９）。
上記緑インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ移動機構部２が再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ移動機構部２が塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には残存塗布液除去装置７による塗布液除去版４Ｇの清浄化が行われる。
塗布ローラ移動機構部２の移動により塗布ローラ２０が基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、緑インキによるパターンＰｇをブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰｇの基板５０での形成が終了する（転写工程、図１０）。
緑インキのパターンＰｇの転写が終了すれば、塗布液移動機構部２は待機位置に戻り、つぎのパターンＰｂの形成を行なう。 (Pattern formation with green ink, FIGS. 9 and 10)
The same applies to the formation of the pattern Pg with green ink. The coating roller 20 of the coating roller moving mechanism unit 2 in the standby position and the green ink constant thickness coating solution supply unit 3G of the coating solution supply unit 3 correspond to each other, and the green is transferred from the constant thickness coating solution supply unit 3G to the blanket 6. Ink is supplied and green ink having a constant thickness is applied on the blanket 6 (application liquid supply step).
The coating roller moving mechanism unit 2 moves to the substrate support unit 5 side and faces the coating solution removal plate 4G of the coating solution removal unit 4. Before the blanket 6 of the application roller 20 is pressed against the application liquid removal plate 4G, the application liquid removal plate is arranged so that the convex portion a of the application liquid removal plate 4G corresponds to the portion where the application liquid of the application roller 20 is transferred and removed. Align 4G.
After this alignment, the coating roller 20 contacts and rotates, the blanket 6 of the coating roller 20 presses the coating liquid removal plate 4G, and the convex portion a of the coating solution removal plate 4G becomes an excess portion from the blanket 6. The green ink is transferred and removed, thereby forming a green ink pattern Pg on the blanket 6 (transfer removal step, FIG. 9).
When the transfer removal process in the green ink is completed, the application roller moving mechanism unit 2 moves again and moves toward the substrate support unit 5.
After the coating roller moving mechanism section 2 moves away from the coating liquid removing section 4 and moves to the substrate support section 5 side, the remaining coating liquid removing apparatus 7 cleans the coating liquid removing plate 4G.
When the application roller 20 reaches the substrate 50 of the substrate support 5 by the movement of the application roller moving mechanism 2, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the green ink pattern Pg is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. Transcript to. This completes the formation of the pattern Pg on the substrate 50 (transfer process, FIG. 10).
When the transfer of the green ink pattern Pg is completed, the coating liquid moving mechanism unit 2 returns to the standby position, and the next pattern Pb is formed.

（青インキによるパターン形成、図１１、１２）
青インキによるパターンＰｂの形成も同様である。待機位置にある塗布ローラ移動機構部２の塗布ローラ２０と塗布液供給部３の青インキの定厚塗布液供給ユニット３Ｂとが対応位置し、この定厚塗布液供給ユニット３Ｂからブランケット６に青インキが供給され、ブランケット６上に定厚にした青インキを塗布させる（塗布液供給工程）。
塗布ローラ移動機構部２が基板支持部５側に移動し、塗布液除去部４の塗布液除去版４Ｂに向う。塗布液除去版４Ｂに塗布ローラ２０のブランケット６が押圧する前に、塗布ローラ２０の塗布液を転写除去する部分に、塗布液除去版４Ｂの凸部ａが対応位置するように塗布液除去版４Ｂを位置合わせする。
この位置合わせ後、塗布ローラ２０が接触してから回転移動し、塗布ローラ２０のブランケット６が塗布液除去版４Ｂを押圧して、塗布液除去版４Ｂの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の青インキを転写除去し、これによってブランケット６に青インキによるパターンＰｂが形成される（転写除去工程、図１１）。
上記青インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ移動機構部２が再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ移動機構部２が塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には残存塗布液除去装置７による塗布液除去版４Ｂの清浄化が行われる。
塗布ローラ移動機構部２の移動により塗布ローラ２０が基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、青インキによるパターンＰｂをブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰｂの基板５０での形成が終了する（転写工程、図１２）。
青インキのパターンＰｂの転写が終了すれば、塗布液移動機構部２は待機位置に戻る。このようにして基板５０にパターンＰ２、Ｐｒ、Ｐｇ、Ｐｂが順次転写され、黒インキによるパターンＰ２と、赤インキ、緑インキ、青インキによる組み合わせ部分Ｐ１でおパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂとからなる複合パターンＰの形成が完了する。なお、各パターンＰｒ、Ｐｇ、ＰｂはＰ２に一部重なっていてもよい。また、パターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂがお互いに部分的に堰重していてもよい。 (Pattern formation with blue ink, FIGS. 11 and 12)
The same applies to the formation of the pattern Pb by the blue ink. The coating roller 20 of the coating roller moving mechanism unit 2 in the standby position and the blue ink constant thickness coating solution supply unit 3B of the coating solution supply unit 3 correspond to each other, and the blue color is applied to the blanket 6 from the constant thickness coating solution supply unit 3B. Ink is supplied, and a blue ink having a constant thickness is applied on the blanket 6 (application liquid supply step).
The coating roller moving mechanism unit 2 moves to the substrate support unit 5 side and faces the coating solution removal plate 4B of the coating solution removal unit 4. Before the blanket 6 of the application roller 20 is pressed against the application liquid removal plate 4B, the application liquid removal plate is arranged so that the convex portion a of the application liquid removal plate 4B is located at the portion where the application liquid of the application roller 20 is transferred and removed. Align 4B.
After this alignment, the coating roller 20 contacts and rotates, the blanket 6 of the coating roller 20 presses the coating liquid removal plate 4B, and the convex portion a of the coating solution removal plate 4B becomes an excess portion from the blanket 6. The blue ink is transferred and removed, whereby a pattern Pb of blue ink is formed on the blanket 6 (transfer removal step, FIG. 11).
When the transfer removal process for the blue ink is completed, the application roller moving mechanism unit 2 moves again and moves toward the substrate support unit 5.
After the coating roller moving mechanism unit 2 moves away from the coating solution removing unit 4 and moves to the substrate support unit 5 side, the remaining coating solution removing device 7 cleans the coating solution removing plate 4B.
When the application roller 20 reaches the substrate 50 of the substrate support 5 by the movement of the application roller moving mechanism 2, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate and the blue ink pattern Pb is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. Transcript to. This completes the formation of the pattern Pb on the substrate 50 (transfer process, FIG. 12).
When the transfer of the blue ink pattern Pb is completed, the coating liquid moving mechanism unit 2 returns to the standby position. In this way, the patterns P2, Pr, Pg, and Pb are sequentially transferred to the substrate 50. The pattern P2 is made of black ink, and the pattern Pr, Pg, and Pb is composed of the combination portion P1 made of red ink, green ink, and blue ink. The formation of the composite pattern P is completed. Each pattern Pr, Pg, and Pb may partially overlap P2. Further, the patterns Pr, Pg, and Pb may be partially dammed with each other.

なお、上記転写工程に際し、印刷移動方向での各パターンＰ２、Ｐｒ、Ｐｇ、Ｐｂの位置がより適正に位置合わせされるようにするために、塗布ローラ２０の周方向でのパターン位置を、塗布ローラ２０の回転で調整されるようにしている。また、基板５０へのパターンの転写順位において後転写となるパターンの転写では、塗布ローラ２０のブランケット６が、基板５０に先に転写されたパターンに接することになるが、基板５０側が塗布液を保持する強度が高く設けられていて、よって、後転写となる塗布ローラのブランケットに対して基板５０上から塗布液が再転移することがない。このように基板５０側での塗布液を保持する強度（接着強度）を、ブランケットと塗布液との間での剥離強度より大きくする方法の一つとして、前記基板５０の表面に透明な接着剤層を設けるようにすることが挙げられる。   In the transfer step, the pattern position in the circumferential direction of the application roller 20 is applied in order to more appropriately align the positions of the patterns P2, Pr, Pg, and Pb in the printing movement direction. Adjustment is made by rotation of the roller 20. In the transfer of the pattern which is the subsequent transfer in the transfer order of the pattern to the substrate 50, the blanket 6 of the coating roller 20 comes into contact with the pattern previously transferred to the substrate 50, but the substrate 50 side applies the coating liquid. The holding strength is high, so that the coating liquid does not re-transfer from the substrate 50 to the blanket of the coating roller to be post-transferred. As one method for making the strength (adhesive strength) for holding the coating solution on the substrate 50 side larger than the peel strength between the blanket and the coating solution, a transparent adhesive on the surface of the substrate 50 is used. It is possible to provide a layer.

以上のようにして複合パターンＰの形成が終了すれば、塗布ローラ移動機構部２が待機位置にあるときに基板５０の交換を行なう。本実施の形態のパターン形成装置１ではこの基板５０の交換が完了すれば、再び上述した工程を行なうように設けられているものである。   When the formation of the composite pattern P is completed as described above, the substrate 50 is replaced when the application roller moving mechanism unit 2 is at the standby position. The pattern forming apparatus 1 according to the present embodiment is provided to perform the above-described process again when the replacement of the substrate 50 is completed.

（第二の実施の形態）
（パターン形成装置）
上記第一の実施の形態では、パターン形成装置１の塗布ローラ移動機構部２において、一つの塗布ローラ２０を有して、一色のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程（塗布液供給工程、転写除去工程、転写工程）を、パターン構成色ごとに繰り返すようにしている。そして、つぎに示す第二の実施の形態では、前記塗布ローラ移動機構部２において二つの塗布ローラを有するパターン形成装置１によりパターン形成を行なうものである。なお、塗布液供給部２、基板支持部５は第一の実施の形態と同じである。
（塗布ローラ移動機構部）
第二の実施の形態におけるパターン形成装置１にあっては、図１３に示されているように塗布ローラ移動機構部２に組み合わせ部分以外のパターンＰ２のパターン構成色に対応した塗布ローラ２ＢＭと組み合わせ部分Ｐ１を構成するパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂのパターン構成色に対応した塗布ローラ２ＲＧＢとが並べ設けられているものである。
このように第二の実施の形態のパターン形成装置１では、第一の実施の形態における一つの塗布ローラ２０での複数のパターン形成を、二つの塗布ローラ２ＢＭ、２ＲＧＢで行なうようにしたものであり、塗布ローラ２ＢＭでパターンＰ２の形成を行ない、塗布ローラ２ＲＧＢでパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂを順次形成する。そして、後述するように塗布液の供給から基板への転写までの工程（塗布液供給工程、転写除去工程、転写工程）を、パターン構成色ごとに繰り返すようにしている。 (Second embodiment)
(Pattern forming device)
In the first embodiment, the coating roller moving mechanism unit 2 of the pattern forming apparatus 1 has a single coating roller 20, and a substrate based on the pattern of the coating liquid from the supply of the coating liquid having a single color constituting the pattern. The processes up to the transfer to (the coating liquid supply process, the transfer removal process, and the transfer process) are repeated for each pattern constituent color. In the second embodiment described below, the pattern is formed by the pattern forming apparatus 1 having two application rollers in the application roller moving mechanism 2. The coating liquid supply unit 2 and the substrate support unit 5 are the same as those in the first embodiment.
(Coating roller moving mechanism)
In the pattern forming apparatus 1 according to the second embodiment, as shown in FIG. 13, the application roller moving mechanism unit 2 is combined with the application roller 2BM corresponding to the pattern constituent color of the pattern P2 other than the combination part. The application rollers 2RGB corresponding to the pattern constituent colors of the patterns Pr, Pg, and Pb constituting the portion P1 are provided side by side.
As described above, in the pattern forming apparatus 1 according to the second embodiment, a plurality of patterns are formed by the one application roller 20 in the first embodiment using the two application rollers 2BM and 2RGB. Yes, the pattern P2 is formed by the application roller 2BM, and the patterns Pr, Pg, and Pb are sequentially formed by the application roller 2RGB. Then, as will be described later, the processes from the supply of the coating liquid to the transfer to the substrate (coating liquid supply process, transfer removal process, transfer process) are repeated for each pattern constituent color.

（塗布液除去部）
また、第二の実施の形態における塗布液除去部４では、塗布液除去版４ＢＭと塗布液除去版４ＲＧＢとを塗布ローラ移動機構部２の移動方向に並ぶようにして配置していて、この二つの塗布液除去版４ＢＭ、４ＲＧＢそれぞれが、前後左右上下への移動調整、そして回転調整ができる支持盤からなる位置調整手段４１に支持され、互いに独立して位置調整が行えるように設けられている。
塗布液除去版４ＢＭは、上記第一の実施の形態での塗布液除去版４ＢＭと同じであり、組み合わせ部分以外のパターンＰ２のネガパターンにして凸部ａを備えている。そして、黒インキが塗布供給された塗布ローラ２ＢＭのブランケット６を、塗布液除去版４ＢＭに押圧して塗布ローラ２ＢＭの回転移動によって、ブランケット６から余剰の黒インキが塗布液除去版４ＢＭの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る黒インキがパターンＰ２となる。
一方、塗布液除去版４ＲＧＢは、それぞれ形状同一のパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂのネガパターンにして凸部ａを備えている。そして、例えば赤インキが塗布ローラ２ＲＧＢに供給された場合、塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６を塗布液除去版４ＲＧＢに押圧し、塗布ローラ２ＲＧＢが回転移動すれば、前記ブランケット６から余剰の赤インキが塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る赤インキがパターンＰｒとなるようにしている。また、緑インキが塗布ローラ２ＲＧＢに供給された場合、塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６を塗布液除去版４ＲＧＢに押圧し、塗布ローラ２ＲＧＢが回転移動すれば、ブランケット６から余剰の緑インキが塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａに転写除去され、そのブランケット６に残る緑インキがパターンＰｇとなる。さらに青インキが塗布ローラ２ＲＧＢに供給された場合、塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６を塗布液除去版４ＲＧＢに押圧し、塗布ローラ２ＲＧＢが回転移動すれば、ブランケット６から余剰の青インキが塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａに転写除去され、ブランケット６に残る青インキがパターンＰｂとなる。 (Coating solution removal unit)
Further, in the coating liquid removing unit 4 in the second embodiment, the coating liquid removing plate 4BM and the coating solution removing plate 4RGB are arranged so as to be aligned in the moving direction of the coating roller moving mechanism unit 2. Each of the four coating liquid removal plates 4BM, 4RGB is supported by a position adjusting means 41 including a support plate that can be adjusted to move forward, backward, left, right, and up and rotate, and is provided so that the position can be adjusted independently of each other. .
The coating liquid removal plate 4BM is the same as the coating liquid removal plate 4BM in the first embodiment described above, and has a convex portion a as a negative pattern of the pattern P2 other than the combination portion. Then, the blanket 6 of the coating roller 2BM supplied with black ink is pressed against the coating liquid removal plate 4BM and the coating roller 2BM is rotated to move the excess black ink from the blanket 6 to the convex portion of the coating liquid removal plate 4BM. The black ink which is transferred and removed to a and remains on the blanket 6 becomes the pattern P2.
On the other hand, the coating liquid removing plate 4RGB has a convex portion a having a negative pattern of patterns Pr, Pg and Pb having the same shape. For example, when red ink is supplied to the application roller 2RGB, the blanket 6 of the application roller 2RGB is pressed against the application liquid removal plate 4RGB, and if the application roller 2RGB rotates, the excess red ink is applied from the blanket 6. The red ink remaining on the blanket 6 is transferred to and removed from the convex portion a of the liquid removal plate 4RGB so that the pattern Pr is formed. Further, when green ink is supplied to the application roller 2RGB, the blanket 6 of the application roller 2RGB is pressed against the application liquid removal plate 4RGB, and if the application roller 2RGB rotates, excess green ink is removed from the blanket 6. The green ink remaining on the blanket 6 is transferred to and removed from the convex portions a of the plate 4RGB to form a pattern Pg. Further, when the blue ink is supplied to the application roller 2RGB, the blanket 6 of the application roller 2RGB is pressed against the application liquid removal plate 4RGB, and if the application roller 2RGB rotates, the excess blue ink is removed from the blanket 6 with the application liquid removal plate. The blue ink remaining on the blanket 6 is transferred to and removed from the 4RGB projections a to form a pattern Pb.

（黒インキによるパターン形成、図１４〜１６）
本実施の形態のパターン形成装置１では塗布ローラ移動機構部２の印刷移動方向における前位側にパターンＰ２を形成するための上記塗布ローラ２ＢＭが位置しており、パターンＰ２の形成を始めとして動作する。待機位置にある塗布ローラ移動機構部２の塗布ローラ２ＢＭと塗布液供給部３の黒インキの定厚塗布液供給ユニット３ＢＭとが対応位置し、定位置回転する塗布ローラ２ＢＭのブランケット６に定厚塗布液供給ユニット３ＢＭから黒インキが供給され、ブランケット６上に定厚にした黒インキを塗布させる（塗布液供給工程、図１４）。
黒インキの供給を受けた塗布ローラ２ＢＭは、上記塗布ローラ２ＲＧＢから離れて単独で上記基板支持部５側に移動を開始し、塗布液除去部４の塗布液除去版４ＢＭに向う。この塗布液除去版４ＢＭに塗布ローラ２ＢＭのブランケット６が押圧する前に、この塗布ローラ２ＢＭの塗布液を転写除去する部分に、塗布液除去版４ＢＭの凸部ａが対応位置するように上記位置調整手段４１により塗布液除去版４ＢＭを位置合わせする。
この位置合わせが塗布ローラ２ＢＭによる押圧の前に終了する。そして、塗布ローラ２ＢＭが接触してから回転移動し、塗布ローラ２ＢＭのブランケット６が塗布液除去版４ＢＭを押圧して、塗布液除去版４ＢＭの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の黒インキを転写除去し、これによって塗布ロール２ＢＭのブランケット６に黒インキによるパターンＰ２が形成される（転写除去工程、図１５）。
上記塗布液除去版４ＢＭの位置合わせと黒インキの転写除去によるパターンＰ２の形成を塗布ローラ２ＢＭで行なった黒インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ２ＢＭが再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ２ＢＭが塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には、上記残存塗布液除去装置７により塗布液除去部４での上記塗布液除去版４ＢＭの凸部ａに転写除去された黒インキを除去し、この塗布液除去版４ＢＭを清浄化する。
塗布ローラ２ＢＭが移動して基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、黒インキによるパターンＰ２をブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰ２の基板５０での形成が終了する（転写工程、図１６）。
第二の実施の形態の場合、黒インキのパターンＰ２の転写が終了すると、つぎの塗布ローラ２ＲＧＢでのパターン形成の動作に干渉しない位置に待機する。なお、この第二の実施の形態の場合、塗布ローラ移動機構部２での二つの塗布ローラ２ＢＭ、２ＲＧＢが離れた状態で独立して移動することから、残存塗布液除去装置７は塗布ローラ２ＢＭ、２ＲＧＢの移動方向と直交する方向にも水平移動できるようにしている。
塗布ローラ２ＢＭでのパターンＰ２の形成が終了し、その塗布ローラ２ＢＭが、例えば基板支持部５の上方であって塗布ローラ２ＲＧＢの移動に干渉しない位置に待機した後、つぎのパターンＰｒの形成を行なう。 (Pattern formation with black ink, FIGS. 14 to 16)
In the pattern forming apparatus 1 of the present embodiment, the application roller 2BM for forming the pattern P2 is positioned on the front side in the printing movement direction of the application roller moving mechanism unit 2, and the operation starts from the formation of the pattern P2. To do. The coating roller 2BM of the coating roller moving mechanism 2 at the standby position and the black ink constant thickness coating liquid supply unit 3BM of the coating liquid supply unit 3 are in a corresponding position, and the constant thickness is applied to the blanket 6 of the coating roller 2BM rotating at a fixed position. Black ink is supplied from the coating liquid supply unit 3BM, and black ink with a constant thickness is applied onto the blanket 6 (coating liquid supply process, FIG. 14).
The coating roller 2BM that has been supplied with the black ink starts to move toward the substrate support unit 5 independently from the coating roller 2RGB and moves toward the coating liquid removal plate 4BM of the coating liquid removal unit 4. Before the blanket 6 of the application roller 2BM presses against the application liquid removal plate 4BM, the position of the application liquid removal plate 4BM is positioned so that the convex portion a of the application liquid removal plate 4BM corresponds to the portion where the application liquid of the application roller 2BM is transferred and removed. The adjusting liquid 41 aligns the coating solution removal plate 4BM.
This alignment ends before pressing by the application roller 2BM. Then, after the coating roller 2BM comes into contact, the coating roller 2BM rotates and moves, the blanket 6 of the coating roller 2BM presses the coating liquid removal plate 4BM, and the convex portion a of the coating liquid removal plate 4BM is moved from the blanket 6 to the excess black ink. As a result, a black ink pattern P2 is formed on the blanket 6 of the coating roll 2BM (transfer removal step, FIG. 15).
When the black ink transfer removal process, in which the application roller 2BM performs the alignment of the coating liquid removal plate 4BM and the formation of the pattern P2 by the black ink transfer and removal, the coating roller 2BM is moved again to the substrate support 5. Head over.
After the coating roller 2BM moves away from the coating liquid removing unit 4 and moves to the substrate support unit 5, the residual coating liquid removing apparatus 7 transfers the coating roller 2BM to the convex portion a of the coating liquid removing plate 4BM in the coating liquid removing unit 4 The removed black ink is removed, and the coating liquid removing plate 4BM is cleaned.
When the application roller 2BM moves and reaches the substrate 50 of the substrate support portion 5, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the pattern P2 made of black ink is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. This completes the formation of the pattern P2 on the substrate 50 (transfer process, FIG. 16).
In the case of the second embodiment, when the transfer of the black ink pattern P2 is completed, it waits at a position where it does not interfere with the pattern forming operation of the next coating roller 2RGB. In the case of the second embodiment, since the two application rollers 2BM and 2RGB in the application roller moving mechanism 2 move independently in a separated state, the remaining application liquid removing device 7 is applied to the application roller 2BM. The horizontal movement is also possible in the direction orthogonal to the moving direction of 2RGB.
After the formation of the pattern P2 on the application roller 2BM is completed and the application roller 2BM waits at a position above the substrate support 5 and does not interfere with the movement of the application roller 2RGB, for example, the next pattern Pr is formed. Do.

（Ｐｒ、Ｐｇ、Ｐｂのパターン形成）
赤インキによるパターンＰｒの形成、緑インキによるパターンＰｇの形成、青インキによるパターンＰｂの形成は、塗布ローラ２ＲＧＢに対して塗布液供給部３からの塗布液の供給によって行われるものであり、上述した第一の実施の形態における一つの塗布ローラ２０によるパターンＰｒ、Ｐｇ、Ｐｂの形成と同じように、一色のパターン構成色の塗布液の供給からその塗布液によるパターンを基板に転写するまでの工程を、一つの塗布ローラでパターン構成色ごとに行なう点は同じであり、転写除去が一つの塗布液除去版４ＲＧＢにより行なう点で異なっている。 (Pr, Pg, Pb pattern formation)
The formation of the pattern Pr with the red ink, the formation of the pattern Pg with the green ink, and the formation of the pattern Pb with the blue ink are performed by supplying the application liquid from the application liquid supply unit 3 to the application roller 2RGB. In the same manner as the formation of the patterns Pr, Pg, and Pb by the single application roller 20 in the first embodiment, from the supply of the coating liquid of one pattern constituent color to the transfer of the pattern by the coating liquid to the substrate The process is the same for each pattern constituent color by one application roller, and the difference is that the transfer removal is performed by one application liquid removal plate 4RGB.

（赤インキによるパターンＰｒの形成、図１７〜１９）
上述した塗布ローラ２ＢＭによるパターンＰ２の転写が終了すれば、つぎに待機位置にある塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６に、塗布液供給部３の定厚塗布液供給ユニット３Ｒから赤インキを定厚にして塗布させる（塗布液供給工程、図１７）。
赤インキの供給を受けた塗布ローラ２ＲＧＢは、上記基板支持部５側に移動を開始し、塗布液除去部４の塗布液除去版４ＲＧＢに向う。この塗布液除去版４ＲＧＢに塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６が押圧する前に、この塗布ローラ２ＲＧＢの塗布液を転写除去する部分（パターンＰｒのネガパターンとなる部分）に、塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａが対応位置するように上記位置調整手段４１により塗布液除去版４ＲＧＢを位置合わせする。
この位置合わせが塗布ローラ２ＲＧＢによる押圧の前に終了する。そして、塗布ローラ２ＲＧＢが接触してから回転移動し、塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６が塗布液除去版４ＲＧＢを押圧して、塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の赤インキを転写除去し、これによって塗布ロール２ＲＧＢのブランケット６に赤インキによるパターンＰｒが形成される（転写除去工程、図１８）。
上記塗布液除去版４ＲＧＢの位置合わせと赤インキの転写除去によるパターンＰｒの形成を塗布ローラ２ＲＧＢで行なった赤インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ２ＲＧＢが再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ２ＲＧＢが塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には、上記残存塗布液除去装置７により塗布液除去部４での上記塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａに転写除去された赤インキを除去し、この塗布液除去版４ＲＧＢを清浄化する。
塗布ローラ２ＲＧＢが移動して基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、赤インキによるパターンＰｒをブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰｒの基板５０での形成が終了する（転写工程、図１９）。 (Formation of pattern Pr with red ink, FIGS. 17 to 19)
When the transfer of the pattern P2 by the coating roller 2BM described above is completed, the thickness of the red ink is then made constant from the constant thickness coating liquid supply unit 3R of the coating liquid supply unit 3 to the blanket 6 of the coating roller 2RGB in the standby position. Application is performed (application liquid supply step, FIG. 17).
The coating roller 2RGB that has received the supply of red ink starts moving toward the substrate support unit 5 and faces the coating solution removal plate 4RGB of the coating solution removal unit 4. Before the blanket 6 of the coating roller 2RGB is pressed against the coating liquid removal plate 4RGB, the coating liquid removal plate 4RGB is projected to the portion where the coating liquid of the coating roller 2RGB is transferred and removed (the portion that becomes the negative pattern of the pattern Pr). The position adjusting means 41 aligns the coating liquid removal plate 4RGB so that the part a is in a corresponding position.
This alignment ends before pressing by the application roller 2RGB. Then, after the coating roller 2RGB comes into contact with the coating roller 2RGB, the blanket 6 of the coating roller 2RGB presses the coating liquid removal plate 4RGB, and the convex portion a of the coating liquid removal plate 4RGB is moved from the blanket 6 to the excess red ink. As a result, a pattern Pr of red ink is formed on the blanket 6 of the coating roll 2RGB (transfer removal step, FIG. 18).
When the transfer removal process in red ink, in which the coating Pr 2RGB is formed by the alignment of the coating liquid removal plate 4RGB and the transfer and removal of the red ink by the coating roller 2RGB, the coating roller 2RGB is moved again to the substrate support 5 Head over.
After the coating roller 2RGB moves away from the coating liquid removal unit 4 and moves to the substrate support unit 5 side, it is transferred to the convex portion a of the coating liquid removal plate 4RGB in the coating liquid removal unit 4 by the residual coating liquid removal unit 7. The removed red ink is removed, and the coating liquid removing plate 4RGB is cleaned.
When the coating roller 2RGB moves and reaches the substrate 50 of the substrate support portion 5, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the pattern Pr made of red ink is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. This completes the formation of the pattern Pr on the substrate 50 (transfer process, FIG. 19).

（緑インキによるパターンＰｇの形成、図２０〜２２）
パターンＰｒの転写が終了すれば、塗布ローラ２ＲＧＢが待機位置に復帰する。そして、ブランケット６に、塗布液供給部３の定厚塗布液供給ユニット３Ｇから緑インキを定厚にして塗布させる（塗布液供給工程、図２０）。
緑インキの供給を受けた塗布ローラ２ＲＧＢは、上記基板支持部５側に移動を開始し、塗布液除去部４の塗布液除去版４ＲＧＢに向う。この塗布液除去版４ＲＧＢに塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６が押圧する前に、この塗布ローラ２ＲＧＢの塗布液を転写除去する部分（パターンＰｇのネガパターンとなる部分）に、塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａが対応位置するように位置調整手段４１により塗布液除去版４ＲＧＢを位置合わせする。
この位置合わせが塗布ローラ２ＲＧＢによる押圧の前に終了する。そして、塗布ローラ２ＲＧＢが接触してから回転移動し、塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６が塗布液除去版４ＲＧＢを押圧して、塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の緑インキを転写除去し、これによって塗布ロール２ＲＧＢのブランケット６に緑インキによるパターンＰｇが形成される（転写除去工程、図２１）。
上記塗布液除去版４ＲＧＢの位置合わせと緑インキの転写除去によるパターンＰｇの形成を塗布ローラ２ＲＧＢで行なった緑インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ２ＲＧＢが再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ２ＲＧＢが塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には、上記残存塗布液除去装置７により塗布液除去部４での上記塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａに転写除去された緑インキを除去し、この塗布液除去版４ＲＧＢを清浄化する。
塗布ローラ２ＲＧＢが移動して基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、緑インキによるパターンＰｇをブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰｇの基板５０での形成が終了する（転写工程、図２２）。 (Formation of pattern Pg with green ink, FIGS. 20 to 22)
When the transfer of the pattern Pr is completed, the application roller 2RGB returns to the standby position. Then, the green ink is applied to the blanket 6 at a constant thickness from the constant thickness coating liquid supply unit 3G of the coating liquid supply unit 3 (coating liquid supply process, FIG. 20).
The coating roller 2RGB that has received the supply of green ink starts moving toward the substrate support 5 and faces the coating liquid removal plate 4RGB of the coating liquid removal unit 4. Before the blanket 6 of the coating roller 2RGB is pressed against the coating liquid removal plate 4RGB, the coating liquid removal plate 4RGB is projected to the portion where the coating liquid of the coating roller 2RGB is transferred and removed (the portion that becomes the negative pattern of the pattern Pg). The position adjusting means 41 aligns the coating liquid removal plate 4RGB so that the part a is in a corresponding position.
This alignment ends before pressing by the application roller 2RGB. Then, after the coating roller 2RGB comes into contact with the coating roller 2RGB, the blanket 6 of the coating roller 2RGB presses the coating liquid removal plate 4RGB, and the convex portion a of the coating liquid removal plate 4RGB is moved from the blanket 6 to the excess portion of green ink. As a result, a green ink pattern Pg is formed on the blanket 6 of the application roll 2RGB (transfer removal step, FIG. 21).
When the transfer removal process for green ink, in which the coating roller removal RGB 4 RGB is performed by the application roller 2 RGB and the pattern Pg is formed by the alignment of the coating liquid removal plate 4 RGB and the transfer removal of the green ink, the application roller 2 RGB is moved again to the substrate support 5. Head over.
After the coating roller 2RGB moves away from the coating liquid removal unit 4 and moves to the substrate support unit 5 side, it is transferred to the convex portion a of the coating liquid removal plate 4RGB in the coating liquid removal unit 4 by the residual coating liquid removal unit 7. The removed green ink is removed, and the coating liquid removing plate 4RGB is cleaned.
When the coating roller 2RGB moves and reaches the substrate 50 of the substrate support portion 5, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the pattern Pg made of green ink is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. This completes the formation of the pattern Pg on the substrate 50 (transfer process, FIG. 22).

（青インキによるパターンＰｂの形成、図２３〜２５）
パターンＰｇの転写が終了すれば、塗布ローラ２ＲＧＢが待機位置に復帰する。そして、ブランケット６に、塗布液供給部３の定厚塗布液供給ユニット３Ｂから青インキを定厚にして塗布させる（塗布液供給工程、図２３）。
青インキの供給を受けた塗布ローラ２ＲＧＢは、上記基板支持部５側に移動を開始し、塗布液除去部４の塗布液除去版４ＲＧＢに向う。この塗布液除去版４ＲＧＢに塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６が押圧する前に、この塗布ローラ２ＲＧＢの塗布液を転写除去する部分（パターンＰｂのネガパターンとなる部分）に、塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａが対応位置するように位置調整手段４１により塗布液除去版４ＲＧＢを位置合わせする。
この位置合わせが塗布ローラ２ＲＧＢによる押圧の前に終了する。そして、塗布ローラ２ＲＧＢが接触してから回転移動し、塗布ローラ２ＲＧＢのブランケット６が塗布液除去版４ＲＧＢを押圧して、塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａが前記ブランケット６から余剰部分の青インキを転写除去し、これによって塗布ロール２ＲＧＢのブランケット６に青インキによるパターンＰｂが形成される（転写除去工程、図２４）。
上記塗布液除去版４ＲＧＢの位置合わせと青インキの転写除去によるパターンＰｂの形成を塗布ローラ２ＲＧＢで行なった青インキにおける転写除去工程が終了すると、塗布ローラ２ＲＧＢが再び移動し、基板支持部５に向う。
塗布ローラ２ＲＧＢが塗布液除去部４から離れて基板支持部５側に移動した後には、上記残存塗布液除去装置７により塗布液除去部４での上記塗布液除去版４ＲＧＢの凸部ａに転写除去された青インキを除去し、この塗布液除去版４ＲＧＢを清浄化する。
塗布ローラ２ＲＧＢが移動して基板支持部５の基板５０に達すれば、ブラケット６を基板５０に押圧して回転移動し、青インキによるパターンＰｂをブランケット６から基板５０の表面に転写する。これによってパターンＰｂの基板５０での形成が終了する（転写工程、図２５）。 (Formation of pattern Pb with blue ink, FIGS. 23 to 25)
When the transfer of the pattern Pg is completed, the application roller 2RGB returns to the standby position. Then, the blue ink is applied to the blanket 6 at a constant thickness from the constant thickness coating liquid supply unit 3B of the coating liquid supply unit 3 (coating liquid supply process, FIG. 23).
The coating roller 2RGB that has received the blue ink starts moving toward the substrate support portion 5 and moves toward the coating liquid removal plate 4RGB of the coating liquid removal portion 4. Before the blanket 6 of the coating roller 2RGB is pressed against the coating liquid removal plate 4RGB, the coating liquid removal plate 4RGB is projected to the portion where the coating liquid of the coating roller 2RGB is transferred and removed (the portion that becomes the negative pattern of the pattern Pb). The position adjusting means 41 aligns the coating liquid removal plate 4RGB so that the part a is in a corresponding position.
This alignment ends before pressing by the application roller 2RGB. Then, after the coating roller 2RGB comes into contact with the coating roller 2RGB, the blanket 6 of the coating roller 2RGB presses the coating liquid removing plate 4RGB, and the convex portion a of the coating liquid removing plate 4RGB is moved from the blanket 6 to the excess blue ink. As a result, a pattern Pb of blue ink is formed on the blanket 6 of the coating roll 2RGB (transfer removal step, FIG. 24).
When the transfer removal process for the blue ink in which the coating liquid removal plate 4RGB is aligned and the pattern Pb is formed by the transfer removal of the blue ink by the application roller 2RGB is completed, the application roller 2RGB moves again and moves to the substrate support 5. Head over.
After the coating roller 2RGB moves away from the coating liquid removal unit 4 and moves to the substrate support unit 5 side, it is transferred to the convex portion a of the coating liquid removal plate 4RGB in the coating liquid removal unit 4 by the residual coating liquid removal unit 7. The removed blue ink is removed, and the coating liquid removing plate 4RGB is cleaned.
When the coating roller 2RGB moves and reaches the substrate 50 of the substrate support portion 5, the bracket 6 is pressed against the substrate 50 to rotate, and the pattern Pb made of blue ink is transferred from the blanket 6 to the surface of the substrate 50. This completes the formation of the pattern Pb on the substrate 50 (transfer process, FIG. 25).

基板５０での複合パターンＰの形成が終了すれば、塗布ローラ２ＢＭ、２ＲＧＢが隣り合った状態となった塗布ローラ移動機構部２が塗布液供給部３側の待機位置に戻る。第一の実施の形態、また第二の実施の形態では、パターン構成色の色数（４）より塗布ローラのローラ数が少なく、そのためパターン形成装置１はコンパクトなものとなる。   When the formation of the composite pattern P on the substrate 50 is completed, the application roller moving mechanism 2 in which the application rollers 2BM and 2RGB are adjacent to each other returns to the standby position on the application liquid supply unit 3 side. In the first embodiment and the second embodiment, the number of application rollers is smaller than the number of pattern constituent colors (4), so that the pattern forming apparatus 1 is compact.

上記実施の形態は液晶表示装置用のカラーフィルタを複合パターンとした例を示し、塗布液をインキとして説明しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、塗布液が有色発光する物質であってもよい。例えばＥＬ材料であってもよい。また、基板はガラス基板のような剛性のものに限られず、フィルムのようなフレキシブルのものであってもよい。   The above embodiment shows an example in which a color filter for a liquid crystal display device is a composite pattern, and the coating liquid is described as ink, but the present invention is not limited to this, and the coating liquid emits colored light. It may be a substance. For example, an EL material may be used. The substrate is not limited to a rigid substrate such as a glass substrate, and may be a flexible substrate such as a film.

複合パターンを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a composite pattern. 複合パターンにおける組み合わせ部分の赤のパターンと緑のパターンと青のパターンと組み合わせ部分以外のパターンとを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the red pattern of the combination part in a composite pattern, the green pattern, the blue pattern, and patterns other than a combination part. 本発明に係るパターン形成装置の第一の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows 1st embodiment of the pattern formation apparatus which concerns on this invention. 第一の実施の形態において塗布ローラに対する黒インキの供給を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows supply of the black ink with respect to an application roller in 1st embodiment. 第一の実施の形態において塗布ローラに対する黒インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the black ink with respect to an application roller in 1st embodiment. 第一の実施の形態において基板に対する黒インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the black ink with respect to a board | substrate in 1st embodiment. 第一の実施の形態において塗布ローラに対する赤インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the red ink with respect to an application roller in 1st embodiment. 第一の実施の形態において基板に対する赤インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the red ink with respect to a board | substrate in 1st embodiment. 第一の実施の形態において塗布ローラに対する緑インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the green ink with respect to the application roller in 1st embodiment. 第一の実施の形態において基板に対する緑インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the green ink with respect to a board | substrate in 1st embodiment. 第一の実施の形態において塗布ローラに対する青インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the blue ink with respect to an application roller in 1st embodiment. 第一の実施の形態において基板に対する青インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the blue ink with respect to a board | substrate in 1st embodiment. パターン形成装置の第二の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows 2nd embodiment of a pattern formation apparatus. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する黒インキの供給を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows supply of the black ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する黒インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the black ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において基板に対する黒インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the black ink with respect to a board | substrate in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する赤インキの供給を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows supply of the red ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する赤インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the red ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において基板に対する赤インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the red ink with respect to a board | substrate in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する緑インキの供給を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows supply of the green ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する緑インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the green ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において基板に対する緑インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the green ink with respect to a board | substrate in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する青インキの供給を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows supply of the blue ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において塗布ローラに対する青インキの転写除去を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer removal of the blue ink with respect to an application roller in 2nd embodiment. 第二の実施の形態において基板に対する青インキの転写を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows transfer of the blue ink with respect to a board | substrate in 2nd embodiment.

１…パターン形成装置
２…塗布ローラ移動機構部
２０、２ＢＭ、２ＲＧＢ…塗布ローラ
３…塗布液供給部
３ＢＭ、３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ…定厚塗布液供給ユニット
４…塗布液除去部
ａ…凸部
４ＢＭ、４Ｒ、４Ｇ、４Ｂ、４ＲＧＢ…塗布液除去版
４１…位置情勢手段
５…基板支持部
５０…基板
６…、６ＢＭ、６Ｒ、６Ｇ、６Ｂ…ブランケット
Ｐ…複合パターン
Ｐｒ…赤のパターン
Ｐｇ…緑のパターン
Ｐｂ…青のパターン
Ｐ１…組み合わせ部分
Ｐ２…ＢＭのパターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Pattern formation apparatus 2 ... Application roller moving mechanism part 20, 2BM, 2RGB ... Application roller 3 ... Application liquid supply part 3BM, 3R, 3G, 3B ... Constant thickness application liquid supply unit 4 ... Application liquid removal part a ... Convex part 4BM, 4R, 4G, 4B, 4RGB, coating liquid removal plate 41, position condition means 5, substrate support section 50, substrate 6, ..., 6BM, 6R, 6G, 6B, blanket P, composite pattern Pr, red pattern Pg, etc. Green pattern Pb ... Blue pattern P1 ... Combination portion P2 ... BM pattern

Claims (6)

基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを塗布ローラを介して転写して、
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色のパターンを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成するに際し、
一つの塗布ローラに、前記四色のパターン構成色を対応させて、
パターン構成色ごとに、
一色のパターン構成色の塗布液を塗布液供給手段から前記塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、
前記塗布液供給工程を経た塗布ローラを、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版に押圧して、塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去工程と、
前記転写除去工程を経た塗布ローラを基板に押圧して、前記塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程と
からなる、一色のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を繰り返して、前記複合パターンを基板に形成する
ことを特徴とするパターン形成方法。 A pattern consisting of a red pattern constituent color, a pattern consisting of a green pattern constituent color, a pattern consisting of a blue pattern constituent color and a pattern consisting of a black pattern constituent color of a black matrix are applied to a substrate through a coating roller. Transcribe
A black color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part and a pattern combination part combining a pattern consisting of the red pattern constituent color, a pattern consisting of the green pattern constituent color, and a blue pattern constituent color of the color filter. When forming a composite pattern consisting of the pattern constituent color pattern on the substrate,
In correspondence with the four pattern constituent colors to one application roller,
For each pattern composition color,
A coating liquid supply step of supplying a coating liquid of one color pattern constituent color from the coating liquid supply means to the coating roller;
The application roller that has undergone the application liquid supply step is pressed against a plate-shaped application liquid removal plate having a convex portion that is a negative pattern of the pattern composition color of the supplied application liquid, and the negative pattern is applied from the application roller. A transfer removal step of transferring and removing the liquid;
A transfer step of pressing the application roller that has undergone the transfer removal step against the substrate and transferring a pattern of the application liquid of the application roller to the substrate;
Forming the composite pattern on the substrate by repeating the steps from the supply of the coating liquid of one color pattern constituting color to the transfer to the substrate by the pattern of the coating liquid consisting of Method. 基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを二つの塗布ローラを介して転写して、Two coating rollers on a substrate, a pattern consisting of a red pattern constituent color, a pattern consisting of a green pattern constituent color, a pattern consisting of a blue pattern constituent color, and a pattern consisting of a black pattern constituent color of a black matrix on a color filter Transcript through
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色のパターンを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成するに際し、A black color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part and a pattern combination part combining a pattern consisting of the red pattern constituent color, a pattern consisting of the green pattern constituent color, and a blue pattern constituent color of the color filter. When forming a composite pattern consisting of the pattern constituent color pattern on the substrate,
一つの塗布ローラを、前記パターン組み合わせ部分の前記三色のパターン構成色に対応させるとともに、もう一つの塗布ローラを、前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色に対応させ、One application roller is made to correspond to the three color constituent colors of the pattern combination part, and the other application roller is made to correspond to the black pattern constituent color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part. Let
前記もう一つの塗布ローラにて、With the other application roller,
黒のパターン構成色の塗布液を塗布液供給手段から前記もう一つの塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、A coating liquid supply step of supplying a coating liquid of a black pattern constituent color from the coating liquid supply means to the another coating roller;
前記塗布液供給工程を経た前記塗布ローラを、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版に押圧して、前記塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去工程と、The application roller that has undergone the application liquid supply step is pressed against a plate-shaped application liquid removal plate having a convex portion that is a negative pattern of the pattern composition color of the supplied application liquid, and a negative pattern is applied from the application roller. A transfer removal step of transferring and removing the coating liquid;
前記転写除去工程を経た前記塗布ローラを基板に押圧して、前記塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程とからなる、黒のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を行なって、前記基板に黒のパターン構成色のパターンを形成し、The application roller having been subjected to the transfer removal step is pressed against the substrate, and a transfer step of transferring the pattern by the application liquid of the application roller to the substrate is performed. Perform the process up to the transfer to the substrate by the pattern, to form a black pattern constituent color pattern on the substrate,
前記一つの塗布ローラにて、With the one application roller,
前記パターン組み合わせ部分のパターン構成色ごとに、For each pattern constituent color of the pattern combination part,
前記パターン組み合わせ部分の一色のパターン構成色の塗布液を塗布液供給手段から前記一つの塗布ローラに供給する塗布液供給工程と、A coating liquid supply step of supplying a coating liquid of one pattern constituting color of the pattern combination part from the coating liquid supply means to the one coating roller;
前記塗布液供給工程を経た前記一つの塗布ローラを、供給された塗布液のパターン構成色によるパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版に押圧して、前記一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去工程と、The one application roller that has undergone the application liquid supply step is pressed against a plate-shaped application liquid removal plate having a convex portion that is a negative pattern of the pattern composition color of the supplied application liquid, and the one application A transfer removal step of transferring and removing the negative pattern coating liquid from the roller;
前記転写除去工程を経た前記一つの塗布ローラを基板に押圧して、前記塗布ローラの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程とA transfer step of pressing the one application roller that has undergone the transfer removal step against the substrate, and transferring a pattern of the application liquid of the application roller to the substrate;
からなる、一色のパターン構成色の塗布液の供給から該塗布液のパターンによる基板への転写までの工程を繰り返して、前記黒のパターン構成色のパターンに前記パターン組み合わせ部分を組み合わせて前記複合パターンを基板に形成するThe composite pattern is formed by repeating the steps from the supply of the coating liquid of one color pattern constituent color to the transfer to the substrate by the pattern of the coating liquid, and combining the pattern combination portion with the pattern of the black pattern constituent color. On the substrate
ことを特徴とするパターン形成方法。The pattern formation method characterized by the above-mentioned. 上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給する請求項１または２の何れかに記載のパターン形成方法。 The above coating liquid supply unit pattern forming method according to claim 1 or 2 for supplying a coating liquid Teiatsu. 基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを塗布ローラを介して転写して、
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色のパターンと緑のパターン構成色のパターンと青のパターン構成色のパターンとを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成する装置において、
前記四色のパターン構成色に対応する一つの塗布ローラと、前記四色のパターン構成色の塗布液を前記一つの塗布ローラに供給する塗布液供給手段と、前記複数のパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版とを備え、
パターン構成色ごとに、前記塗布液供給手段からパターン構成色の塗布液を前記一つの塗布ローラに供給し、この一つの塗布ローラを前記塗布液除去版に押圧して、前記一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去し、前記転写除去を行なった前記一つの塗布ローラの塗布液によるパターンを前記基板に転写する工程が繰り返されて、基板に複合パターンが形成される構成としたことを特徴とするパターン形成装置。 A pattern consisting of a red pattern constituent color, a pattern consisting of a green pattern constituent color, a pattern consisting of a blue pattern constituent color and a pattern consisting of a black pattern constituent color of a black matrix are applied to a substrate through a coating roller. Transcribe
A pattern combination part combining the red pattern constituent color pattern, the green pattern constituent color pattern and the blue pattern constituent color pattern of the color filter, and the black matrix of the black matrix which is a part other than the pattern combination part In an apparatus for forming a composite pattern consisting of a pattern constituent color pattern on the substrate,
One application roller corresponding to the four color pattern constituent colors, application liquid supply means for supplying the four color pattern constituent colors to the one application roller, and a negative pattern of the plurality of patterns With a plate-shaped coating liquid removal plate having a convex part,
For each pattern constituent color, a coating liquid of a pattern constituent color is supplied from the coating liquid supply means to the one application roller, and the one application roller is pressed against the application liquid removing plate, The process of transferring the negative pattern coating solution to the substrate and transferring the pattern with the coating solution of the one application roller after the transfer removal to the substrate is repeated to form a composite pattern on the substrate. A pattern forming apparatus. 基板に、カラーフィルタにおける赤のパターン構成色からなるパターンと緑のパターン構成色からなるパターンと青のパターン構成色からなるパターンとブラックマトリックスの黒のパターン構成色からなるパターンとを塗布ローラを介して転写して、A pattern consisting of a red pattern constituent color, a pattern consisting of a green pattern constituent color, a pattern consisting of a blue pattern constituent color and a pattern consisting of a black pattern constituent color of a black matrix are applied to a substrate through a coating roller. Transcribe
カラーフィルタの前記赤のパターン構成色のパターンと緑のパターン構成色のパターンと青のパターン構成色のパターンとを組み合わせたパターン組み合わせ部分と前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとからなる複合パターンを、前記基板に形成する装置において、A pattern combination part combining the red pattern constituent color pattern, the green pattern constituent color pattern and the blue pattern constituent color pattern of the color filter, and the black matrix of the black matrix which is a part other than the pattern combination part In an apparatus for forming a composite pattern consisting of a pattern constituent color pattern on the substrate,
前記パターン組み合わせ部分の三色のパターン構成色に対応する一つの塗布ローラと、前記パターン組み合わせ部分以外の部分である前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色に対応するもう一つの塗布ローラと、前記パターン構成色の塗布液を、該塗布液のパターン構成色に対応する塗布ローラに供給する塗布液供給手段と、前記複数のパターンのネガパターンとした凸部を有する板状の塗布液除去版とを備え、One application roller corresponding to the three pattern constituent colors of the pattern combination part, another application roller corresponding to the black pattern constituent color of the black matrix which is a part other than the pattern combination part, and the pattern A coating liquid supply means for supplying the coating liquid of the constituent color to the coating roller corresponding to the pattern constituent color of the coating liquid; and a plate-shaped coating liquid removing plate having a convex portion as a negative pattern of the plurality of patterns. Prepared,
前記黒のパターン構成色に対応する前記もう一つの塗布ローラに対する前記塗布液供給手段からの塗布液供給と、このもう一つの塗布ローラを黒のパターン構成色に対応する前記塗布液除去版を押圧して前記もう一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去と、前記転写除去を行なった前記もう一つの塗布ローラの塗布液によるパターンの前記基板への転写とにより前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンが形成され、Supplying the application liquid from the application liquid supply means to the other application roller corresponding to the black pattern constituent color, and pressing the application liquid removal plate corresponding to the black pattern constituent color. Then, the black matrix is obtained by transferring and removing the negative pattern coating liquid from the other coating roller, and transferring the pattern to the substrate by the coating liquid from the other coating roller that has been transferred and removed. The black pattern constituent color pattern is formed,
前記パターン組み合わせ部分のパターン構成色に対応する前記一つの塗布ローラに対する前記塗布液供給手段からの塗布液供給と、この一つの塗布ローラを前記パターン組み合わせ部分のパターン構成色に対応する前記塗布液除去版を押圧して前記一つの塗布ローラからネガパターンの塗布液を転写除去する転写除去と、前記転写除去を行なった前記一つの塗布ローラの塗布液によるパターンの前記基板への転写とをパターン組み合わせ部分のパターン構成色毎に行なって、前記ブラックマトリックスの黒のパターン構成色のパターンとの組み合わせよりなる前記複合パターンが前記基板に形成される構成としたことを特徴とするパターン形成装置。Application liquid supply from the application liquid supply means to the one application roller corresponding to the pattern composition color of the pattern combination part, and removal of the application liquid corresponding to the pattern composition color of the pattern combination part. Transfer combination for transferring and removing the negative pattern coating liquid from the one coating roller by pressing the plate, and pattern transfer to the substrate by the coating liquid of the one coating roller that has been transferred and removed A pattern forming apparatus characterized in that the composite pattern is formed on the substrate, which is formed for each pattern constituent color of a portion and is formed by a combination with a black pattern constituent color pattern of the black matrix. 上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給するものである請求項４または５の何れかに記載のパターン形成装置。 The pattern forming apparatus according to claim 4 , wherein the coating liquid supply means supplies the coating liquid at a constant thickness.
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