JP4705457B2 - Irradiance measuring method and irradiance measuring apparatus using radiation intensity meter - Google Patents

Irradiance measuring method and irradiance measuring apparatus using radiation intensity meter Download PDF

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Description

本発明は、試験片を曝光させることにより、試験片を構成する材質の光に対する安定性を評価するために人工光源からの光を試験片に照射する装置に係り、試験片への曝光量を計測するための方法及び技術に関する。   The present invention relates to an apparatus for irradiating a test piece with light from an artificial light source in order to evaluate the stability of the material constituting the test piece to light by exposing the test piece. It relates to a method and technique for measuring.

プラスチックや塗料といった材質は、屋外で使用され太陽光に曝されると変質あるいは変色することは周知の事実である。これらは一般に劣化といわれ、初期に設定されていた機能が損なわれることになる。これらの変色や変質は光化学反応により材料が変質したために発生すると考えられている。   It is a well-known fact that materials such as plastic and paint change or change color when used outdoors and exposed to sunlight. These are generally referred to as deterioration, and the function set in the initial stage is lost. These discoloration and alteration are thought to occur because the material has been altered by photochemical reaction.

医薬品は、製造工場から出荷されると、輸送、貯蔵・保管を経た後、患者に投与され使用されることになるが、その間に太陽光あるいは照明等の人工光源からの光に曝される。ある種の医薬品では投与中あるいは使用中にこれらの光に曝されることがある。医薬品では、光反応により主要成分が変質し効能が低下したり、更に危険な場合には、光反応がきっかけとなり人体に有害な物質が生成したりすると、被投与者に甚大な被害を及ぼすことになる。   When a pharmaceutical product is shipped from a manufacturing factory, it is transported, stored and stored, and then administered to a patient for use. In the meantime, the pharmaceutical product is exposed to light from an artificial light source such as sunlight or lighting. Certain pharmaceuticals may be exposed to these lights during administration or use. In pharmaceuticals, the main components are altered by photoreaction and their efficacy is reduced, and if it is more dangerous, if the photoreaction triggers the production of harmful substances to the human body, it can cause serious damage to the recipient. become.

上記の材料である有機化合物は、一般に長時間にわたり光の照射を受けると、わずかずつでも光化学反応が進行し、長時間の使用あるいは曝光により有意な変化が生じることは良く知られた事実である。光化学反応を極力抑制するために、材質の変更、該光化学反応を遅延あるいは抑制するための添加剤の添加、あるいは光反応をある許容範囲内に制限するために、輸送、貯蔵、保管、使用時において光照射に対する制約を設ける等の対応策が必要な場合もある。従って、上記のような製品が市場に出荷されるまでには、光安定性試験と称される試験が必ず実施され、光化学反応による影響が許容範囲内にあることを確認することが必須である。   It is a well-known fact that organic compounds, which are the above materials, generally undergo a photochemical reaction even when they are exposed to light over a long period of time, resulting in significant changes due to prolonged use or exposure. . In order to suppress photochemical reaction as much as possible, change the material, add additives to delay or suppress the photochemical reaction, or limit the photoreaction to a certain allowable range, during transportation, storage, storage, use In some cases, it is necessary to take countermeasures such as providing restrictions on light irradiation. Therefore, before such products are shipped to the market, it is essential to carry out a test called a photostability test and confirm that the influence of the photochemical reaction is within an acceptable range. .

該光安定性試験装置は、地上に到達する太陽光に含まれる光の成分を含有する人工光源を用い、これらの人工光源の光路に設置された試験片に該人工光源からの光を照射するものである。試験片がある一定量の光に曝光された後に試験片を分析し、材料の変質の程度を精査することにより、安定性が評価され、あるいは上記の対応策が決定されることになる。このような光の照射による材料の変質の原因となる光化学反応の進行度合いは、材料に照射された光の量に比例すると考えられており、光安定性試験を実施するに当たっては、材料への曝光量が規定されているのが通常である。従って、光安定性試験装置において曝光量を測定することは非常に重要な試験要素である。   The light stability test apparatus uses an artificial light source containing a component of light included in sunlight that reaches the ground, and irradiates light from the artificial light source onto a test piece installed in the optical path of these artificial light sources. Is. By analyzing the specimen after the specimen has been exposed to a certain amount of light and examining the extent of material alteration, the stability can be evaluated or the above countermeasures can be determined. The degree of progress of the photochemical reaction that causes the alteration of the material due to such light irradiation is considered to be proportional to the amount of light irradiated to the material, and in conducting the light stability test, Usually, the amount of exposure is defined. Therefore, it is a very important test element to measure the exposure dose in the light stability test apparatus.

曝光量の測定には、通常、照度計や紫外線強度計といった計器が使用される。照度計は波長が380〜780nmの可視光の照度を計測するために使用される。紫外線強度計は一般的に315〜400nmないし320〜400nmの波長範囲の紫外線の強度を測定するために使用される。この波長範囲の紫外線は一般にUV-Aと称される。地上に到達する太陽光には、波長800nm以上の赤外光も含まれているが、該光化学反応は通常、波長の短い光により引き起こされると考えられており、波長の長い赤外光は計測対象とはなっていない。また、場合によっては波長300nm以下のUV-B(280〜315nmないし290〜320nm)やUV-C(180〜290nmないし100〜280nm)といった更に短波長の紫外線の影響を試験することもあり、各々の波長域に対応した放射強度計がその暴露量の測定に使用される。   An instrument such as an illuminance meter or an ultraviolet intensity meter is usually used for measuring the exposure light amount. The illuminometer is used to measure the illuminance of visible light having a wavelength of 380 to 780 nm. An ultraviolet intensity meter is generally used to measure the intensity of ultraviolet rays in the wavelength range of 315 to 400 nm to 320 to 400 nm. Ultraviolet light in this wavelength range is generally referred to as UV-A. Sunlight reaching the ground includes infrared light with a wavelength of 800 nm or more, but the photochemical reaction is usually considered to be caused by light with a short wavelength, and long-wavelength infrared light is measured. It is not the target. In some cases, UV-B (280 to 315 nm to 290 to 320 nm) having a wavelength of 300 nm or less and UV-C (180 to 290 nm to 100 to 280 nm), such as UV-C (180 to 290 nm to 100 to 280 nm), may be tested. A radiation intensity meter corresponding to the wavelength range of is used to measure the amount of exposure.

光を、構成する波長ごとに分解することを分光というが、太陽光や人工光源の光を分光すると、よく知られているようにスペクトルが得られる。可視光のスペクトルは人間の目には光の波長ごとに異なる色として認識されるが、これを波長毎の強度の相対値で表わしたものがスペクトルである。このスペクトルの各波長における相対強度を、W/m2等の単位で表わされる絶対強度に値付けしたものが分光放射照度と定義され、太陽光の場合は図1のようになる。ある波長範囲の光の放射照度とは、図1の分光放射照度をその波長範囲で積分したものである。図1で、可視光(波長380〜780nm)の放射照度は、該波長範囲での分光放射照度曲線の積分値である。同様に、紫外域(例えば、UV-Aでは320〜400nm)の放射照度は、該波長域部分での分光放射照度曲線の積分値である。これらの測定量は総称して放射量と呼ばれる。ここで、本発明が対象とする光学の分野で一般的に理解されているように、分光放射照度とスペクトルは以下のように規定し、使い分ける。分光放射照度は各波長における絶対的な光の強度を表わし、スペクトルは相対的な強度分布を表わすものとする。即ち、この両者は互いに比例関係にあり、これを式で表わすと Decomposing light for each wavelength that constitutes it is called spectroscopy, but when light from sunlight or light from an artificial light source is dispersed, a spectrum is obtained as is well known. The visible light spectrum is perceived by the human eye as a different color for each wavelength of light, and this is expressed by the relative value of the intensity for each wavelength. Spectral irradiance is defined as the value obtained by assigning the relative intensity at each wavelength of this spectrum to the absolute intensity expressed in units such as W / m 2. In the case of sunlight, it is as shown in FIG. The irradiance of light in a certain wavelength range is obtained by integrating the spectral irradiance of FIG. 1 in the wavelength range. In FIG. 1, the irradiance of visible light (wavelength 380 to 780 nm) is an integral value of a spectral irradiance curve in the wavelength range. Similarly, the irradiance in the ultraviolet region (for example, 320 to 400 nm in UV-A) is an integral value of the spectral irradiance curve in the wavelength region portion. These measured quantities are collectively called radiation quantities. Here, as is generally understood in the field of optics targeted by the present invention, the spectral irradiance and the spectrum are defined as follows and used separately. The spectral irradiance represents the absolute light intensity at each wavelength, and the spectrum represents the relative intensity distribution. In other words, the two are in a proportional relationship with each other.

Figure 0004705457
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となる。ここに、E(λ)は分光放射照度、S(λ)はスペクトル、aは比例定数である。 It becomes. Here, E (λ) is a spectral irradiance, S (λ) is a spectrum, and a is a proportionality constant.

この放射量に対し、照度は光の計測量のうちでも測光量と呼ばれているものの一つで、人間の目の感度を基準として光の強度を測定するものである。この量の測定のために使用される照度計は、国際照明学会で規定している比視感度に近似した感度分布(分光応答度と称される)を持つようにフィルター等を利用して調整されている。このような分光応答度を有する照度計で太陽光を計測した場合の様子を図2に示す。1)は国際照明学会で規定されている比視感度を示したものである。この比視感度は380〜780nmの波長範囲で規定されており、それ以外の波長域ではゼロである。図1の太陽光の場合の、上記の定義から分かるように、太陽光の分光放射照度に比視感度を乗じたもの(図2の2)で示される曲線)の積分値に、ある定数を乗じて得られる数値が照度である。このことから分かるように、照度計は国際的に規定された分光応答度を持つ計測器で測定された可視光域の光の強度と考えることが出来る。   In contrast to this radiation amount, illuminance is one of the light measurement amounts, which is called light measurement, and measures the light intensity based on the sensitivity of the human eye. The illuminometer used to measure this amount is adjusted using a filter or the like so that it has a sensitivity distribution (referred to as spectral response) that approximates the relative luminous efficiency specified by the International Academy of Illumination. Has been. FIG. 2 shows a state in which sunlight is measured with an illuminometer having such spectral response. 1) shows the relative luminous efficiency specified by the International Lighting Association. This specific visual sensitivity is specified in the wavelength range of 380 to 780 nm, and is zero in other wavelength ranges. As can be seen from the above definition in the case of sunlight in FIG. 1, a certain constant is added to the integral value of the spectral irradiance of sunlight multiplied by the relative visibility (curve shown by 2 in FIG. 2). The numerical value obtained by multiplication is the illuminance. As can be seen from this, the illuminometer can be considered as the intensity of light in the visible light range measured by a measuring instrument having an internationally defined spectral response.

一方、紫外線強度の測定においては、照度のように国際的に規定された分光応答度がなく、従って、測光量に相当する量はない。従って、紫外域での特定波長範囲における光の強度を表すことができるのは、光源の分光放射照度を該波長範囲で積分した放射照度という放射量が唯一のものになる。この放射照度を、対象とする光をスペクトルに分解することなく単一の装置で計測するには、該波長域において1の感度を有し、その他の波長域では感度がゼロという計測器が必要となる。しかるに、現実にはこのような分光応答度を有する計測器を作成することは不可能で、該波長域の光を透過するフィルター等を組み合わせることにより、図3に示したような分光応答度を有する計測器を作製し、測定せざるを得ないのが現状である。本発明では、このような分光応答度を有する計測器を放射強度計あるいは紫外線強度計と称す。   On the other hand, in the measurement of ultraviolet intensity, there is no internationally defined spectral response like illuminance, and therefore there is no amount corresponding to the photometric quantity. Therefore, the intensity of light in a specific wavelength range in the ultraviolet region can be expressed only by the amount of radiation called irradiance obtained by integrating the spectral irradiance of the light source in the wavelength range. In order to measure this irradiance with a single device without decomposing the target light into a spectrum, a measuring instrument that has a sensitivity of 1 in the wavelength range and zero sensitivity in the other wavelength ranges is required. It becomes. However, in reality, it is impossible to create a measuring instrument having such spectral response, and by combining a filter that transmits light in the wavelength range, the spectral response as shown in FIG. At present, it is necessary to manufacture and measure a measuring instrument. In the present invention, a measuring instrument having such spectral response is referred to as a radiation intensity meter or an ultraviolet intensity meter.

尚、特許文献1には、予め分光特性のわかった紫外線受光素子によって測定された実測値から、特定の作用曲線に対する特定の紫外線情報を手軽に常時測定するために、紫外線受光素子によって測定された実測値、当該実測値を、紫外線受光素子の分光感度と太陽分光放射スペクトルとから予測される全体領域の予測値、及び特定の作用曲線と前記分光感度と太陽分光放射スペクトルとから予測される特定領域の予測値に基づき補正し、特定の紫外線情報を求める技術が開示されている。また、特許文献2や特許文献3には、光度測定法に関する技術が開示されている。
特開2004−317318号公報 Paper published in Measurements of Optical Radiation Hazards-A Reference Book Based on Presentations Given on Optical Radiation Hazards, September 1-3, 1998 Gaithersburg, Maryland, ICNIRP 6/98, CIEx016-1998, 445-453(1998) ”Photometry-The CIE V(λ) Function and What Can be Learned from Photometry” by Y.Ohno and A.E. Thompson National Institute of Standards and Technology Gaithersburg, MD, USA ”Gigahertz-Optik Application & Product Guide 2004” Page 146-Calibration Service a(z)Calibration Correction Factor for known Light Sources
In Patent Document 1, in order to easily and always measure specific ultraviolet information for a specific action curve from an actual measurement value measured by an ultraviolet light receiving element whose spectral characteristics are known in advance, it was measured by an ultraviolet light receiving element. The actual measurement value, the actual measurement value is predicted from the spectral sensitivity of the ultraviolet light receiving element and the solar spectral emission spectrum, the predicted value of the entire region, and the specific action curve and the specific prediction predicted from the spectral sensitivity and the solar spectral emission spectrum A technique is disclosed that corrects based on a predicted value of a region and obtains specific ultraviolet ray information. Further, Patent Document 2 and Patent Document 3 disclose techniques relating to a photometric measurement method.
JP 2004-317318 A Paper published in Measurements of Optical Radiation Hazards-A Reference Book Based on Presentations Given on Optical Radiation Hazards, September 1-3, 1998 Gaithersburg, Maryland, ICNIRP 6/98, CIEx016-1998, 445-453 (1998) '' Photometry-The CIE V (λ) Function and What Can be Learned from Photometry ”by Y. Ohno and AE Thompson National Institute of Standards and Technology Gaithersburg, MD, USA “Gigahertz-Optik Application & Product Guide 2004” Page 146-Calibration Service a (z) Calibration Correction Factor for known Light Sources

紫外線強度計の受光素子は通常光電変換素子が使用され、この素子は光を受けるとその強度に比例した電流を発生する。このことを利用して、ある電流値が計測されたときには、ある特定の放射照度として出力するように校正されている。校正は対象波長範囲(ここでは300〜400nm)において分光放射照度が既知の光源の光を測定し、
〔該光源の対象波長範囲での分光放射照度の積分値、即ち放射照度〕=〔校正係数〕×〔そのとき計測された電流値〕 (2)
となるように校正係数を決めることで行われる。
A photoelectric conversion element is usually used as the light receiving element of the ultraviolet intensity meter, and when this element receives light, it generates a current proportional to the intensity. Using this fact, when a certain current value is measured, it is calibrated so that it is output as a specific irradiance. Calibration measures light from a light source with a known spectral irradiance in the target wavelength range (300-400 nm here)
[Integral value of spectral irradiance in the target wavelength range of the light source, that is, irradiance] = [calibration coefficient] × [current value measured at that time] (2)
This is done by determining the calibration coefficient so that

校正を行う場合、分光放射照度既知の光源として、当該波長域に強い発光を有するものが用いられる。その一つがブラックライトである。図4にブラックライトの分光放射照度1)と紫外線強度計の分光応答度2)、及びこの両者を乗じたもの3)を示す。ブラックライトの光を受けると、紫外線強度計は3)の曲線の波長積分値に比例した電流を発生し、(2)式の関係が成立するように校正係数を決める。このようにして校正された紫外線強度計を使用してブラックライトを測定する場合、そのスペクトルは校正に使用したブラックライトと相似の関係があり、紫外線強度計から読み取られる数値は測定に供したブラックライトの放射照度を表わしている。   When calibration is performed, a light source having a strong light emission in the wavelength range is used as a light source having a known spectral irradiance. One of them is black light. Fig. 4 shows the spectral irradiance 1) of the black light, the spectral response 2) of the UV intensity meter, and 3) multiplied by both. When receiving the light of the black light, the UV intensity meter generates a current proportional to the wavelength integral value of the curve in 3), and determines the calibration coefficient so that the relationship of equation (2) is established. When measuring black light using a UV intensity meter calibrated in this way, its spectrum is similar to that of the black light used for calibration, and the numerical value read from the UV intensity meter is the black used for the measurement. It represents the irradiance of the light.

ここで、光安定性試験装置に使用される光源はブラックライトばかりではなく、キセノンランプ、白色昼光蛍光ランプ、メタルハライドランプ等が使用され、これらのランプはブラックライトとは大きく異なるスペクトルを有する。ブラックライトで校正された紫外線強度計を使用して、ブラックライトとは異なるスペクトルを有する光源の光を測定した場合、紫外線強度計から放射照度として出力される数値は、測定対象光源の実際の放射照度を反映しておらず、物理的に意味のない数値となる。   Here, not only the black light but also a xenon lamp, a white daylight fluorescent lamp, a metal halide lamp or the like is used as a light source used in the light stability test apparatus, and these lamps have a spectrum that is significantly different from that of the black light. When using a UV intensity meter calibrated with a black light and measuring light from a light source with a spectrum different from that of the black light, the numerical value output as irradiance from the UV intensity meter is the actual radiation of the light source being measured. It does not reflect illuminance and is a physically meaningless value.

模式的な図を使って、更に具体的に現象を説明する。図5はブラックライトを使用して紫外線強度計を校正する手順を模式的に示したものである。縦軸は紫外線強度計の分光応答度あるいはブラックライトの分光放射照度を表わし、横軸は光の波長を表わす。1)は紫外線強度計の分光応答度を模擬したもの、2)はブラックライトの分光放射照度を模擬したものである。ブラックライトの放射照度は2)の線の下の部分の面積で表わされ、実際に積分計算をすることで1/2と求まる。一方、紫外線強度計はブラックライトの光を3)のように検知している。3)は1)と2)を掛け合わせたものである。第5図に示した状況で紫外線強度計がブラックライトの照射を受けているときには、紫外線強度計は3)の下の面積(1/3)に比例する電流を出力する。比例定数を1と仮定して、この出力を1/3アンペアとする。このとき、この出力電流に3/2を乗じて得られる1/2が実際の放射照度であるので、紫外線強度計の出力電流に3/2を乗じて、放射照度の単位(例えばW/m2)で表示するようにすることが校正である。このように校正された紫外線強度計は図52)に相似のスペクトルの光源を計測する場合には常に正しい放射照度の値を出力する。 The phenomenon will be described more specifically using schematic diagrams. FIG. 5 schematically shows a procedure for calibrating the ultraviolet intensity meter using a black light. The vertical axis represents the spectral response of the ultraviolet intensity meter or the spectral irradiance of black light, and the horizontal axis represents the wavelength of light. 1) simulates the spectral response of the UV intensity meter, and 2) simulates the spectral irradiance of the black light. The irradiance of black light is expressed by the area under the line of 2), and can be obtained as 1/2 by actually performing integral calculation. On the other hand, the UV intensity meter detects black light as shown in 3). 3) is the product of 1) and 2). When the UV intensity meter is irradiated with black light in the situation shown in FIG. 5, the UV intensity meter outputs a current proportional to the area (1/3) under 3). Assuming a proportionality constant of 1, this output is 1/3 amp. At this time, since 1/2 is obtained by multiplying this output current by 3/2, the actual irradiance is multiplied by 3/2 and the unit of irradiance (for example, W / m). Calibration is to display in 2 ). The UV intensity meter calibrated in this way always outputs a correct irradiance value when measuring a light source having a spectrum similar to that shown in FIG.

次に、この紫外線強度計を用いて異なるスペクトルを持つ光源を測定した場合を模式的に考える。図6は、この状況を模式的に示したものである。1)は紫外線強度計の分光応答度を模擬したもの、2)は本光源の分光放射照度を模擬したものである。本光源の放射照度は2)の線の下の部分の面積であり、実際に積分計算をすることで1と求まる。一方、紫外線強度計は本光源の光を3)のように検知している。3)は1)と2)を掛け合わせたものである。図6に示した状況で紫外線強度計が本光源の照射を受けているときには、紫外線強度計は3)の下の面積(1/2)に比例する電流を出力する。先ほど、比例定数を1としたので、この出力は1/2アンペアとなる。このとき、この出力電流に、先ほど得た校正係数3/2を乗じて得られる3/4が、このときの本光源の放射照度として紫外線強度計が表示す
る値となる。上述したように、本光源の放射照度は1であり、紫外線強度計の出力である3/4は実態を反映しないものになっている。このように、あるスペクトルの光源で校正した紫外線強度計を、異なるスペクトルを有する別の光源の測定に使用すると、測定対象光源の実際の放射照度とは異なる数値を出力する。
Next, a case where a light source having a different spectrum is measured using this ultraviolet intensity meter will be schematically considered. FIG. 6 schematically shows this situation. 1) simulates the spectral response of the UV intensity meter, and 2) simulates the spectral irradiance of this light source. The irradiance of this light source is the area under the line of 2). On the other hand, the UV intensity meter detects the light from this light source as shown in 3). 3) is the product of 1) and 2). When the ultraviolet intensity meter is irradiated with this light source in the situation shown in FIG. 6, the ultraviolet intensity meter outputs a current proportional to the area (1/2) under 3). Since the proportionality constant was set to 1 earlier, this output is 1/2 ampere. At this time, 3/4 obtained by multiplying the output current by the previously obtained calibration coefficient 3/2 is a value displayed by the ultraviolet intensity meter as the irradiance of the light source at this time. As described above, the irradiance of this light source is 1, and 3/4 which is the output of the ultraviolet intensity meter does not reflect the actual situation. As described above, when an ultraviolet intensity meter calibrated with a light source having a certain spectrum is used for measurement of another light source having a different spectrum, a numerical value different from the actual irradiance of the light source to be measured is output.

上記のことは、光源の異なる個別の光安定性試験装置で試験をした場合、それらの結果を相互に比較することが出来ないということを意味しており、光安定性試験の信頼性を著しく損なうことになっている。これは、紫外線強度計の校正方法が本質的に抱える問題であり、上述のように物理的に意味のない計測値として測定していることに問題の原因がある。紫外領域での光の曝光量を規定する場合には、分光放射照度の当該波長範囲での積分値である放射照度を用いて規定することで、物理的に意味のある数値を規定することが可能となる。   The above means that the results cannot be compared with each other when testing with separate light stability test equipment with different light sources, and the reliability of the light stability test is remarkably increased. To be damaged. This is a problem inherent in the calibration method of the ultraviolet intensity meter, and the cause of the problem is that the measurement value is physically meaningless as described above. When prescribing the light exposure in the ultraviolet region, it is possible to prescribe a physically meaningful numerical value by using the irradiance, which is the integral value of the spectral irradiance in the wavelength range. It becomes possible.

上記では、光により電流を発生する光電変換素子を例に本発明になる方法を説明したが、本発明になる方法は、他の方式の受光素子を用いた場合にも適用でき、上記の説明は本発明の範囲を限定するものではない。   In the above description, the method according to the present invention has been described using a photoelectric conversion element that generates a current by light as an example. However, the method according to the present invention can also be applied to cases where other types of light receiving elements are used. Does not limit the scope of the invention.

本発明は紫外線強度計で計測した値を放射照度に変換する方法及びその手段を有する放射照度測定装置を提供し、光安定性試験装置に適用することで、その結果の信頼性を向上することを目的とする。   The present invention provides a method for converting a value measured by an ultraviolet intensity meter into irradiance and an irradiance measuring apparatus having the means, and improves the reliability of the result by applying it to a light stability test apparatus. With the goal.

以上の記述から分かるとおり、校正に使用した光源と異なる種類の光源の光を紫外線強度計で計測する場合、スペクトルの形が異なるためにその光源の放射照度を正しく表示しないことがこの問題の原因である。この課題を解決するための手段として下記の方法が考えられる。   As can be seen from the above description, when measuring the light of a light source of a different type from the light source used for calibration, the cause of this problem is that the irradiance of the light source is not displayed correctly because the spectrum shape is different. It is. The following methods can be considered as means for solving this problem.

1)測定対象とする光源と同一のスペクトルを有する光源で紫外線強度計を校正し、複数のスペクトルの異なる光源を測定対象とするときには、測定対象と同一スペクトルの光源で校正した紫外線強度計を複数個(光源のスペクトルの種類と同一数)用意して、測定対象に合わせて使い分ける。 1) When a UV intensity meter is calibrated with a light source having the same spectrum as the light source to be measured and a light source having a plurality of different spectra is to be measured, a plurality of UV intensity meters calibrated with a light source having the same spectrum as the measurement target are used. Prepare the same number (the same number as the type of light source spectrum) and use it according to the measurement target.

2)紫外線強度計の出力値を測定対象光源のスペクトルに合わせて補正する。 2) Correct the output value of the UV intensity meter according to the spectrum of the light source to be measured.

1)は、上記で述べたとおりの方法で、測定対象と同一の光源を使用して紫外線強度計を校正すれば目的を達成できる。しかし、この方法では、校正のために必要な光学系が煩雑になり、また、測定対象の光源ごとに、それと同じスペクトルを有する標準光源で校正した紫外線強度計が必要となるため、コストが上昇すると共に、機器の汎用性という見地からも望ましいものとはいえない。   1) can achieve the object by calibrating the ultraviolet intensity meter using the same light source as that to be measured by the method described above. However, this method complicates the optical system necessary for calibration, and requires a UV intensity meter calibrated with a standard light source having the same spectrum for each light source to be measured, which increases costs. At the same time, it is not desirable from the viewpoint of versatility of equipment.

2)が本発明になる放射照度の測定法であり、上記の課題は以下の方法により解決される。即ち、本発明になる放射照度の測定法は、特定の分光応答度を有し、特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計を用いて測定対象光源の特定波長範囲における放射照度を測定する方法であって、前記放射強度計によって測定された測定値を、該放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルの当該波長範囲での積分値と、放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルと放射強度計の分光応答度の積を当該波長範囲で積分して得た値と、測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルの当該波長範囲での積分値と、測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルと放射強度計の分光応答度の積を当該波長範囲で積分して得た値とに基づき補正し、当該波長範囲における測定対象光源の放射照度を求めることを特徴とする。 2) is a method for measuring irradiance according to the present invention, and the above problem is solved by the following method. That is, the irradiance measurement method according to the present invention uses a radiation intensity meter calibrated by a light source having a specific spectral response, a specific spectrum, and a spectral irradiance valued. A method for measuring irradiance in a specific wavelength range, wherein the measured value measured by the radiant intensity meter is a spectral irradiance of a light source used for calibration of the radiant intensity meter or an integral value of the spectrum in the wavelength range. And the value obtained by integrating the product of the spectral irradiance or spectrum of the light source used for calibration of the radiant intensity meter and the spectral response of the radiant intensity meter in the wavelength range, and the spectral irradiance or spectrum of the light source to be measured. Correct based on the integral value in the wavelength range and the value obtained by integrating the spectral irradiance of the light source to be measured or the spectrum and the spectral response of the radiometer in the wavelength range. And obtaining the irradiance of the measurement target light source in the wavelength range.

これは、図6で説明した状況の元に得られた紫外線強度計の表示値3/4を、紫外線強度計の分光応答度、紫外線強度計校正時に使用した光源のスペクトル(ここではブラックライトのスペクトル)、及び測定対象とする光源のスペクトルを用いて測定対象光源の実際の放射照度の値を算出する方法である。その手順は以下の通りである。紫外線強度計が計測値として表示値3/4を表示する工程は、先述の通り紫外線強度計の出力電流1/2アンペアに校正係数として組み込まれた3/2を乗じるものであるので、まず、紫外線強度計の表示値3/4を校正係数3/2で除することにより、紫外線強度計の本光源計測時の出力電流である1/2アンペアを算出する。このとき、実際の本光源の放射照度は1であるので、本光源に対する校正値は2と設定できる。このようにすることで、出力電流1/2アンペアに本光源のスペクトルに対応した校正係数2を乗じると、実際の本光源の放射照度である1を求めることが可能となる。   This is because the display value 3/4 of the UV intensity meter obtained under the situation described in FIG. 6 is used for the spectral response of the UV intensity meter and the spectrum of the light source used in the calibration of the UV intensity meter (here, the black light intensity). Spectrum) and the spectrum of the light source to be measured, and the actual irradiance value of the light source to be measured is calculated. The procedure is as follows. The process of displaying the display value 3/4 as a measurement value by the UV intensity meter is to multiply the output current 1/2 amp of the UV intensity meter by 3/2 incorporated as a calibration factor as described above. By dividing the displayed value 3/4 of the ultraviolet intensity meter by the calibration coefficient 3/2, 1/2 ampere, which is the output current when measuring the main light source of the ultraviolet intensity meter, is calculated. At this time, since the actual irradiance of the main light source is 1, the calibration value for the main light source can be set to 2. In this way, when the output current of 1/2 ampere is multiplied by the calibration coefficient 2 corresponding to the spectrum of the main light source, 1 that is the actual irradiance of the main light source can be obtained.

以上のことから、a)紫外線強度計の分光応答度、b)紫外線強度計の校正時に使用した光源のスペクトル、及びc)測定対象とする光源のスペクトルが分かれば、図62)に例示したスペクトルを持つ光源を測定した場合でも、対象光源の放射照度を計測することが可能となる。上述したように、分光放射照度とスペクトルは比例関係にあるので、上記b)及びc)においてスペクトルを分光放射照度と読み替えてもなんら問題はない。なお、いうまでもないことであるが、a)b)c)のデータは別個に測定可能なもので、紫外線強度計の校正及び該紫外線強度計を用いた本光源の計測とは独立に計測し、入手可能なデータである。   From the above, if the spectral response of the UV intensity meter, b) the spectrum of the light source used during calibration of the UV intensity meter, and c) the spectrum of the light source to be measured are known, the spectrum illustrated in Fig. 62) Even when a light source having a light source is measured, the irradiance of the target light source can be measured. As described above, since the spectral irradiance and the spectrum are in a proportional relationship, there is no problem even if the spectrum is read as the spectral irradiance in the above b) and c). Needless to say, the data in a), b) and c) can be measured separately, and are measured independently from the calibration of the UV intensity meter and the measurement of the light source using the UV intensity meter. And available data.

紫外線強度計の校正用光源と測定対象光源のスペクトルが一致していないことに起因する不具合は、上記のように紫外線強度計の指示値が物理的に意味を持たないということだけではない。紫外線強度計は通常シリコンフォトダイオードをセンサーとして校正されているが、規定の分光応答度を持たせるために、センサーの手前にフィルターや拡散板を設置している。これらの材料は製造ロットにより性状にバラツキがあり、また同一ロットでも全く均一というわけではなく、使用する場所により光の透過特性が多少変化していることは製造工程上やむをえないことである。従って、これらの材料を使用して製造された紫外線強度計は、上記の材料特性のバラツキの結果として、その分光応答度に個体差を持つことになる。   The inconvenience caused by the fact that the spectrum of the calibration light source of the UV intensity meter and the light source to be measured do not match is not only that the indicated value of the UV intensity meter has no physical meaning as described above. The UV intensity meter is normally calibrated using a silicon photodiode as a sensor, but a filter or diffuser is placed in front of the sensor to provide the specified spectral response. These materials vary in properties depending on the production lot, and are not uniform even in the same lot. The fact that the light transmission characteristics slightly change depending on the place of use is unavoidable in the production process. Therefore, ultraviolet intensity meters manufactured using these materials have individual differences in their spectral responsivity as a result of the above-described variation in material characteristics.

本発明になる方法を用いることにより、測定対象光源の放射照度を測定することが可能となると共に、紫外線強度計の分光応答度の個体差による測定値のバラツキをも同時に補正することが可能となり、曝光量の測定精度、即ち、光安定性試験の信頼性を大幅に向上することが可能となる。   By using the method according to the present invention, it becomes possible to measure the irradiance of the light source to be measured, and simultaneously correct variations in measured values due to individual differences in the spectral response of the UV intensity meter. It is possible to greatly improve the measurement accuracy of exposure dose, that is, the reliability of the light stability test.

また、本発明になる放射照度測定装置は、特定の分光応答度を有し、特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計と、該放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ放射強度計の分光応答度のデータ及び測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを入力する手段と、上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ、及び該放射強度計の分光応答度のデータを保存する手段と、上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを特定波長範囲で積分し、上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分する演算部と、これらの積分値を用いることにより、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値に対する補正係数を算出し、保存する手段と、上記補正係数に基づき、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値を補正することにより、測定対象光源の当該波長範囲における放射照度を求める手段を有することを特徴とする。 The irradiance measuring apparatus according to the present invention includes a radiance meter calibrated by a light source having a specific spectral response, a specific spectrum, and a spectral irradiance valued, and calibration of the radiance meter. means for inputting spectral irradiance or spectral data of the light source, the data of the spectral responsivity of the radiation intensity meter, and the data of the spectral irradiance or the spectrum of the measurement target light source used for, use in the calibration of the radiation intensity meter Means for storing the spectral irradiance or spectrum data of the light source, the spectral irradiance or spectrum data of the light source to be measured, and the spectral response data of the radiation intensity meter, and the light source used for calibration of the radiation intensity meter. spectroscopic data of the irradiance or spectral integrated at a specific wavelength range, the spectral irradiance or scan of the light source used for calibration of the radiation intensity meter The product of the data of the spectral responsivity of the data and the radiation intensity meter vector is integrated by the specific wavelength range, the data of the spectral irradiance or spectrum of the measurement target light source is integrated with said specific wavelength range, of the measurement target light source A calculation unit that integrates the product of spectral irradiance or spectral data and spectral responsiveness data of the radiance intensity meter in the specific wavelength range, and using these integration values, the radiance intensity meter uses the light of the light source to be measured. By calculating and storing a correction coefficient for the output value obtained by measuring and correcting the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source with the radiation intensity meter based on the correction coefficient, It has a means which calculates | requires the irradiance in the said wavelength range of a measuring object light source.

以下、実施例により本発明の効果を更に詳細に説明する。   Hereinafter, the effects of the present invention will be described in more detail with reference to examples.

なお、本発明になる方法は以下の実施例で説明する波長範囲に限定されるものではなく、発明の原理から容易に推察できるように、波長積分型の光計測装置であればその計測波長範囲にかかわりなく適用できるものである。   Note that the method according to the present invention is not limited to the wavelength range described in the following examples, and can be easily inferred from the principle of the invention. It can be applied regardless of whether or not.

本発明に係る放射照度測定方法及び放射照度測定装置を適用することにより、さまざまなスペクトルを有する多様な光源の対象波長域における放射照度を測定することが可能となる。   By applying the irradiance measuring method and the irradiance measuring apparatus according to the present invention, it becomes possible to measure the irradiance in the target wavelength range of various light sources having various spectra.

本発明に係る放射照度測定方法及び放射照度測定装置を適用することにより、光安定性試験装置において紫外線照射による曝光量の正確な測定が可能となり、信頼性の高い光安定性試験を実施することが出来る。   By applying the irradiance measuring method and the irradiance measuring apparatus according to the present invention, it is possible to accurately measure the amount of exposure by ultraviolet irradiation in the light stability test apparatus, and to carry out a reliable light stability test. Can do.

発明の実施の形態を実施例に基づき、図面を参照して説明する。   An embodiment of the invention will be described based on an example with reference to the drawings.

ブラックライトで校正した紫外線強度計を用いて、ブラックライトとは異なるスペクトルを持つキセノン光源(Xeランプと称す)の紫外線強度を測定し場合の例を示す。図41)で示した分光放射照度を有するブラックライトを用いて校正した第4図2)で示した分光応答度を有する紫外線強度計を用いて、図71)に示すスペクトルを有するXeランプの紫外線強度を測定した。ちなみに、図71)に示したXeランプのスペクトルは、光源から分光放射照度測定面までの間にフィルター、反射鏡等を設置して、スペクトルの調整がなされた後に測定面まで到達した光のスペクトルである。   An example in which the ultraviolet intensity of a xenon light source (referred to as an Xe lamp) having a spectrum different from that of black light is measured using an ultraviolet intensity meter calibrated with black light is shown. 4) Using the ultraviolet intensity meter having the spectral response shown in FIG. 4) calibrated with the black light having the spectral irradiance shown in FIG. 41), the ultraviolet ray of the Xe lamp having the spectrum shown in FIG. The strength was measured. By the way, the spectrum of the Xe lamp shown in Fig. 71) is the spectrum of the light that reaches the measurement surface after adjusting the spectrum by installing a filter, reflector, etc. between the light source and the spectral irradiance measurement surface. It is.

前項で説明した補正係数の考え方を、数式を用いてさらに具体的に説明する。以下、紫外線強度等で対象波長領域における積分を用いるが、本実施例の対象とする紫外領域は300〜400nmの波長範囲とし、本実施例の説明で使用する積分式の積分範囲は、特に断りがない限りこの領域とする。ブラックライトの分光放射照度をE(λ)、紫外線強度計の分光応答度をR(λ)とすると、図41)の対象領域での積分値で表される放射照度は   The concept of the correction coefficient described in the previous section will be described more specifically using mathematical expressions. Hereinafter, integration in the target wavelength region is used for ultraviolet intensity, etc., but the target ultraviolet region of this embodiment is a wavelength range of 300 to 400 nm, and the integration range of the integration formula used in the description of this embodiment is not particularly specified. This area is assumed unless there is. If the spectral irradiance of the black light is E (λ) and the spectral response of the UV intensity meter is R (λ), the irradiance represented by the integrated value in the target area in Fig. 41) is

Figure 0004705457
Figure 0004705457

、同じく3)で表わされる紫外線強度計の分光応答度と分光放射照度の積の積分値は The integrated value of the product of the spectral response and spectral irradiance of the UV intensity meter represented by 3) is

Figure 0004705457
Figure 0004705457

で表わされる。ここで、
λは300、λは400nmである。Xeランプのスペクトルの相対強度をS(λ)とすると、図71)のXeランプのスペクトルの積分値は
It is represented by here,
λ 1 is 300 and λ 2 is 400 nm. If the relative intensity of the spectrum of the Xe lamp is S (λ), the integral value of the spectrum of the Xe lamp in Fig. 71) is

Figure 0004705457
Figure 0004705457

、図72)で示されるスペクトルと紫外線強度計の分光応答度の積の積分は The integral of the product of the spectrum shown in Fig. 72) and the spectral response of the UV intensity meter is

Figure 0004705457
Figure 0004705457

で表わされる。 It is represented by

前項の説明から分かるとおり、該紫外線強度計でXeランプを測定した場合の補正係数は   As can be seen from the explanation in the previous section, the correction coefficient when measuring the Xe lamp with the UV intensity meter is

Figure 0004705457
Figure 0004705457

で表わされる。上記(3)式の各積分値をデータの数値積分で求めると、本実施例における(3)式で表わされる補正係数は1.43と求まる。即ち、該紫外線強度計でXeランプを計測した場合の表示値に1.43を乗じることで、Xeランプの放射照度の値が求まる。逆に言うと、この紫外線強度計でこのXe ランプの光を測定し得られた指示値は、このXeランプの実際の当該紫外域での放射照度の1/1.43でしかないということである。 It is represented by When each integral value of the above equation (3) is obtained by numerical integration of data, the correction coefficient represented by the equation (3) in this embodiment is obtained as 1.43. That is, the irradiance value of the Xe lamp can be obtained by multiplying the display value when the Xe lamp is measured with the ultraviolet intensity meter by 1.43. Conversely, the indication value obtained by measuring the light of the Xe lamp with this ultraviolet intensity meter is only 1 / 1.43 of the actual irradiance in the ultraviolet region of the Xe lamp.

なお、(3)式で分光応答度の代わりに相対分光応答度を用いても、これら2者の間には比例関係が成立するので、結果は同じである。   Even if the relative spectral response is used instead of the spectral response in equation (3), a proportional relationship is established between the two, and the result is the same.

次に、Xeランプの電源を調整することでランプの発光強度を調節しながら分光放射照度計で測定し、同一条件において紫外線強度計で該ランプの光を測定した。得られた分光放射照度計のデータを数値積分することで、300〜400nmでの積分値を算出し、この波長範囲における実際の放射照度を求めた。これらの結果をプロットしたものを図8に示す。当然のことながら、直線関係が成り立ち、最小二乗法を用いて近似直線を求めるとその傾きが1.433と求まる。この傾きが、上述した補正係数に相当するもので、前述の数値とはよく一致していることが分かる。   Next, the power of the Xe lamp was adjusted, and the emission intensity of the lamp was adjusted to measure with a spectral irradiance meter. Under the same conditions, the light of the lamp was measured with an ultraviolet intensity meter. By integrating the data of the obtained spectral irradiance meter numerically, the integrated value at 300 to 400 nm was calculated, and the actual irradiance in this wavelength range was obtained. A plot of these results is shown in FIG. Naturally, a straight line relationship is established, and when an approximate straight line is obtained using the least square method, the slope is obtained as 1.433. It can be seen that this inclination corresponds to the above-described correction coefficient and is in good agreement with the above-mentioned numerical value.

本実施例から、本発明で開示した方法を用いることにより、紫外線強度計の校正に用いた光源のものと異なるスペクトルを持つ光源の光を該紫外線強度計で計測しても、その計測値から放射照度の値を求めることが可能となった。   From this example, by using the method disclosed in the present invention, even if light of a light source having a spectrum different from that of the light source used for calibration of the ultraviolet intensity meter is measured with the ultraviolet intensity meter, The value of irradiance can be obtained.

分光応答度の異なる紫外線強度計を3種類用意した。図9にその分光応答度を示す。図10は校正に使用したブラックライトのスペクトル(4))と、各々の紫外線強度計の分光応答度とブラックライトのスペクトル相対強度の積を示す。図中の1)〜3)の番号は、図9の各々の紫外線強度計の番号と対応している。これらの紫外線強度計を用いてXeランプのスペクトルを測定した場合の紫外線強度計の分光応答度とXeランプのスペクトル相対強度の積を図11に示す。図11中の4)は測定に使用したXeランプのスペクトルを示し、1)〜3)の番号は図10と同様に各々の紫外線強度計の番号と対応している。図10と図11を基に(3)式の各々の項を算出することにより、各々の紫外線強度計の補正係数を求めることが出来、その値を第1表に示す。補正係数が最大となった紫外線強度計1)は最小の2)に比べ約26%大きい。即ち、同一の条件で同一のXeランプの光を測定しても、紫外線強度計1)の指示値は2)に比べて26%小さい。   Three types of UV intensity meters with different spectral responses were prepared. FIG. 9 shows the spectral response. FIG. 10 shows the spectrum of the black light used for calibration (4)) and the product of the spectral response of each UV intensity meter and the spectral relative intensity of the black light. The numbers 1) to 3) in the figure correspond to the numbers of the respective ultraviolet intensity meters in FIG. FIG. 11 shows the product of the spectral response of the ultraviolet intensity meter and the relative spectral intensity of the Xe lamp when the spectrum of the Xe lamp is measured using these ultraviolet intensity meters. 4) in FIG. 11 shows the spectrum of the Xe lamp used for the measurement, and the numbers 1) to 3) correspond to the numbers of the respective ultraviolet intensity meters as in FIG. By calculating each term of the equation (3) based on FIG. 10 and FIG. 11, the correction coefficient of each ultraviolet intensity meter can be obtained, and the value is shown in Table 1. The UV intensity meter 1) with the maximum correction factor is approximately 26% larger than the minimum 2). That is, even if the light of the same Xe lamp is measured under the same conditions, the indicated value of the ultraviolet intensity meter 1) is 26% smaller than that of 2).

実施例1と同様に、別途校正された分光放射照度計により測定したXeランプの分光放射照度を用いて、300〜400nmの積分をすることにより該Xeランプの該波長範囲における放射照度の真値を求めた。本実施例で使用した3種類の紫外線強度計を用い、同一の光学的条件で測定を行い、その結果に第1表の補正係数を乗じて求めた数値は、当然のことであるが、上記の分光放射照度の積分値と非常に良い一致を示した。   Similar to Example 1, using the spectral irradiance of the Xe lamp measured by a separately calibrated spectral irradiance meter, by integrating from 300 to 400 nm, the true value of the irradiance in the wavelength range of the Xe lamp Asked. Using the three types of UV intensity meters used in this example, measurements were performed under the same optical conditions, and the numerical value obtained by multiplying the result by the correction coefficient in Table 1 is of course the above. It showed a very good agreement with the integrated value of spectral irradiance.

本実施例より、本発明による方法を使用して紫外線強度計での計測値を補正することにより、紫外線強度計のバラツキによる個体差をも補正できることが明らかである。   From this example, it is apparent that individual differences due to variations in the UV intensity meter can be corrected by correcting the measurement value of the UV intensity meter using the method according to the present invention.

図12は、本発明の実施形態に係る放射照度測定装置の構成を示す概略構成図である。本実施形態の説明では、上記の実施例と同様に紫外線強度計を具体例として用いるが、前記したように、これにより本発明の範囲が紫外線強度計に限定されるものではない。   FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing the configuration of the irradiance measuring apparatus according to the embodiment of the present invention. In the description of the present embodiment, an ultraviolet intensity meter is used as a specific example in the same manner as in the above-described examples. However, as described above, the scope of the present invention is not limited to the ultraviolet intensity meter.

通常の紫外線強度計は紫外線受光素子22、増幅器23、A/D変換器24及び表示部26で構成される。本発明の実施形態の放射照度測定装置は、特定の分光応答度を有する紫外線強度計の校正に使用した光源のスペクトル、該紫外線強度計の分光応答度、及び測定対象光源のスペクトルを入力する入力部10〜12、これらのデータを保存する保存部13〜15、これらのデータ及び分光応答度とスペクトルの積の波長積分及び積分値の乗除計算を行い測定対象光源に対する補正係数を算出する演算部16〜20、この補正係数を保存する保存部21、保存部13に保存されているスペクトルを有する校正用光源で校正された紫外線強度計22〜24、該紫外線強度計の出力値と補正係数の積を計算して結果を出力する演算部25、およびこの結果を表示する表示部26より構成される。   A normal ultraviolet intensity meter includes an ultraviolet light receiving element 22, an amplifier 23, an A / D converter 24, and a display unit 26. The irradiance measurement apparatus according to the embodiment of the present invention inputs an input of a spectrum of a light source used for calibration of an ultraviolet intensity meter having a specific spectral response, a spectral response of the ultraviolet intensity meter, and a spectrum of a light source to be measured. Units 10 to 12, storage units 13 to 15 for storing these data, calculation units for calculating the correction coefficient for the light source to be measured by performing wavelength integration and multiplication / division calculation of the product of these data and spectral response and spectrum. 16 to 20, a storage unit 21 for storing the correction coefficient, ultraviolet intensity meters 22 to 24 calibrated with a calibration light source having a spectrum stored in the storage unit 13, output values and correction coefficients of the ultraviolet intensity meter The calculation unit 25 calculates the product and outputs the result, and the display unit 26 displays the result.

異なるスペクトルを有する複数の光源の測定に対応するために、入力部〜補正係数保存部10〜21を複数個備え、測定対象とする光源に合わせて切り替えるようにすることも出来る。   In order to support measurement of a plurality of light sources having different spectra, a plurality of input units to correction coefficient storage units 10 to 21 may be provided and switched according to the light source to be measured.

入力部10〜12は外部メモリースロットとし、あらかじめデータを入力した差し込み式メモリーを差し込むことで、保存部13〜15を兼ねることができる。あるいは、スペクトル及び分光応答度のデータを規定値として入力しておくことで、入力部10〜12を省くことも可能である。更に、16〜19で実行される積分の結果を保存したメモリーを10〜19に置き換えることも可能である。   The input units 10 to 12 are external memory slots, and can be used as the storage units 13 to 15 by inserting a plug-in memory into which data has been input in advance. Alternatively, the input units 10 to 12 can be omitted by inputting spectrum and spectral response data as specified values. Furthermore, it is possible to replace the memory storing the result of the integration executed in 16-19 with 10-19.

入力部12、保存部15、演算部19を複数個備え、複数の光源に対応するデータを各々に用い、補正係数の演算に使用するデータを測定対象とする光源にあわせて選定することにより、複数の光源に対応することも可能である。   By providing a plurality of input unit 12, storage unit 15, and calculation unit 19, each using data corresponding to a plurality of light sources, by selecting the data used for calculation of the correction coefficient according to the light source to be measured, It is also possible to support a plurality of light sources.

放射強度計の感度は、使用状況に応じて経時的に変化することが知られている。このため、ある一定期間毎に校正を行い、その精度を保持することが一般的に行われる。校正の度毎に、校正用光源のスペクトル及び放射強度計の分光応答度を入力しなおすことで、本発明になる放射照度測定装置の精度を保持することが可能である。   It is known that the sensitivity of the radiation intensity meter changes with time according to the use situation. For this reason, calibration is generally performed every certain period and the accuracy is maintained. It is possible to maintain the accuracy of the irradiance measuring apparatus according to the present invention by inputting the spectrum of the calibration light source and the spectral response of the radiation intensity meter again every time calibration is performed.

太陽光の分光放射照度の表を示す図である。It is a figure which shows the table | surface of the spectral irradiance of sunlight. 照度計により太陽光を測定した場合に照度計が感知する光に関する分光放射照度と相対分光応答度との比を示す図である。It is a figure which shows the ratio of the spectral irradiance regarding the light which an illuminometer senses when measuring sunlight with an illuminometer, and relative spectral response. 紫外線強度計の相対分光応答度の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relative spectral response of an ultraviolet-ray intensity meter. 紫外線強度計によりブラックライトを測定した場合に紫外線強度計が感知する光に関する分光放射照度と相対分光応答度との比を示す図である。It is a figure which shows the ratio of the spectral irradiance regarding the light which an ultraviolet-ray intensity meter senses when a black light is measured with an ultraviolet-ray intensity meter, and a relative spectral response. 紫外線強度計の校正を説明するための図で、相対分光強度・応答度と波長との関係を示す図である。It is a figure for demonstrating the calibration of a ultraviolet-ray intensity meter, and is a figure which shows the relationship between relative spectral intensity and a response, and a wavelength. 紫外線強度計で異なるスペクトルを有する光源を測定した場合を説明するための図で、相対分光強度・応答度と波長との関係を示す図である。It is a figure for demonstrating the case where the light source which has a different spectrum with an ultraviolet-ray intensity meter, and is a figure which shows the relationship between a relative spectral intensity and a response, and a wavelength. 紫外線強度計でXeランプを測定した場合の状態を説明するための図で、相対分光強度と波長との関係を示す図である。It is a figure for demonstrating the state at the time of measuring a Xe lamp with a ultraviolet-ray intensity meter, and is a figure which shows the relationship between relative spectral intensity and a wavelength. Xeランプ光源の分光放射照度積分値(放射照度)と紫外線強度計での表示値関係を示す図である。It is a figure which shows the display value relationship in the spectral irradiance integral value (irradiance) of a Xe lamp light source, and a ultraviolet-ray intensity meter. 紫外線強度計の相対分光応答度を示す図である。It is a figure which shows the relative spectral response degree of a ultraviolet-ray intensity meter. 実施例において、紫外線強度計によりブラックライトを測定した場合に紫外線強度計が感知する光に関し相対分光強度と波長との関係を示す図である。In an Example, it is a figure which shows the relationship between relative spectral intensity and a wavelength regarding the light which an ultraviolet intensity meter senses when measuring black light with an ultraviolet intensity meter. 実施例において、紫外線強度計でXeランプを測定した場合の状態を説明するための図で、相対分光強度・応答度と波長との関係を示す図である。In an Example, it is a figure for demonstrating the state at the time of measuring a Xe lamp with an ultraviolet-ray intensity meter, and is a figure which shows the relationship between relative spectral intensity and a response, and a wavelength. 本発明になる紫外線強度計放射照度測定装置の構成を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the structure of the ultraviolet intensity meter irradiance measuring apparatus which becomes this invention. 各紫外線強度計のXeランプに対する補正係数を示す表である。It is a table | surface which shows the correction coefficient with respect to Xe lamp of each ultraviolet-ray intensity meter.

10 校正用光源スペクトル入力部
11 紫外線強度計分光応答度入力部
12 測定対象光源スペクトル入力部
13 校正用光源スペクトル保存部
14 紫外線強度計分光応答度保存部
15 測定対象光源スペクトル保存部
16 積分演算部
17 積の積分演算部
18 積の積分演算部
19 積分演算部
20 乗除演算部
21 乗除演算結果保存部
22 紫外線受光素子
23 増幅器
24 A/D変換器
25 積の演算部
26 表示部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Calibration light source spectrum input part 11 Ultraviolet intensity meter spectral response input part 12 Measurement target light source spectrum input part 13 Calibration light source spectrum storage part 14 Ultraviolet intensity meter spectral response storage part 15 Measurement target light source spectrum storage part 16 Integration calculation part 17 Integral Calculation Unit 18 Product Integral Calculation Unit 19 Integral Calculation Unit 20 Multiplication / Division Calculation Unit 21 Multiplication / Division Calculation Result Storage Unit 22 Ultraviolet Light Receiving Element 23 Amplifier 24 A / D Converter 25 Product Calculation Unit 26 Display Unit

Claims (4)

特定の分光応答度を有し、特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計を用いて測定対象光源の特定波長範囲における放射照度を測定する方法であって、
前記放射強度計によって測定された測定値を、該放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルの当該波長範囲での積分値と、
放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルと放射強度計の分光応答度の積を当該波長範囲で積分して得た値と、
測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルの当該波長範囲での積分値と、
測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルと放射強度計の分光応答度の積を当該波長範囲で積分して得た値とに基づき補正し、
当該波長範囲における測定対象光源の放射照度を求めることを特徴とする放射照度の測定方法。
A method of measuring irradiance in a specific wavelength range of a light source to be measured using a radiance meter calibrated by a light source having a specific spectral response, a specific spectrum, and a spectral irradiance valued. ,
The measured value measured by the radiant intensity meter, the spectral irradiance of the light source used for calibration of the radiant intensity meter or the integrated value in the wavelength range of the spectrum,
The value obtained by integrating the spectral irradiance of the light source used for calibration of the radiant intensity meter or the product of the spectrum and the spectral response of the radiant intensity meter in the wavelength range,
The spectral irradiance of the light source to be measured or the integral value of the spectrum in the wavelength range;
Correct based on the spectral irradiance of the light source to be measured or the product obtained by integrating the spectrum and the spectral response of the radiometer in the wavelength range,
A method for measuring irradiance, characterized in that the irradiance of a measurement target light source in the wavelength range is obtained.
特定の分光応答度を有し、特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計と、
該放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ放射強度計の分光応答度のデータ及び測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを入力する手段と、
上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ、及び該放射強度計の分光応答度のデータを保存する手段と、
上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを特定波長範囲で積分し、上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分する演算部と、
これらの積分値を用いることにより、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値に対する補正係数を算出し、保存する手段と、
上記補正係数に基づき、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値を補正することにより、測定対象光源の当該波長範囲における放射照度を求める手段を有することを特徴とする放射照度測定装置。
A radiation intensity meter calibrated by a light source having a specific spectral response, a specific spectrum and a spectral irradiance value;
Means for inputting said spectral irradiance or spectral data of the light source used for calibration of the radiation intensity meter, the spectral responsivity of the radiation intensity meter data, and the data of the spectral irradiance or spectral measurement target light source,
Means for storing spectral irradiance or spectral data of a light source used for calibration of the radiation intensity meter, spectral irradiance or spectral data of a light source to be measured, and spectral response data of the radiation intensity meter ;
Integrated in a specific wavelength range of data of the spectral irradiance or spectrum of the light source used for calibration of the radiation intensity meter, spectroscopy of the spectral irradiance of the light source used for calibration of the radiation intensity meter or the spectral data radiation intensity meter The product of response data is integrated in the specific wavelength range, the spectral irradiance or spectral data of the measurement target light source is integrated in the specific wavelength range, and the spectral irradiance or spectral data and radiation of the measurement target light source are integrated. An arithmetic unit that integrates the product of spectral response data of the intensity meter in the specific wavelength range ;
By using these integral values, means for calculating and storing a correction coefficient for the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source with the radiation intensity meter, and
Based on the correction coefficient, the radiation intensity meter has means for calculating irradiance in the wavelength range of the measurement target light source by correcting the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source. Irradiance measuring device.
特定の分光応答度を有し、特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計と、
該放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ放射強度計の分光応答度のデータ及び測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを入力する手段と、
上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ、及び該放射強度計の分光応答度のデータを保存する手段と、
上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを特定波長範囲で積分し、上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分する演算部と、
これらの積分値を用いることにより、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値に対する補正係数を算出し、保存する手段と、
上記補正係数に基づき、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値を補正することにより、測定対象光源の当該波長範囲における放射照度を求める手段を有することを特徴とする放射照度測定装置であって、
異なるスペクトルを有する複数の測定対象光源A、B、Cに対する分光放射照度あるいはスペクトルのデータを保存する複数の手段A’、B’、C’を有し、A’にはAの、B’にはBの、C’にはCのデータを保存するようにし、
該放射照度測定装置に設けた切り替えスイッチにより測定対象光源の種類を指定し、指定された測定対象光源に対応する分光放射照度あるいはスペクトルのデータを上記演算部にて使用することにより指定された測定対象光源に対応する放射照度を求め、
このようにして求めた放射照度、及び指定された測定対象光源の種類を表示する手段を有することを特徴とする放射照度測定装置。
A radiation intensity meter calibrated by a light source having a specific spectral response, a specific spectrum and a spectral irradiance value;
Means for inputting said spectral irradiance or spectral data of the light source used for calibration of the radiation intensity meter, the spectral responsivity of the radiation intensity meter data, and the data of the spectral irradiance or spectral measurement target light source,
Means for storing spectral irradiance or spectral data of a light source used for calibration of the radiation intensity meter, spectral irradiance or spectral data of a light source to be measured, and spectral response data of the radiation intensity meter ;
Integrated in a specific wavelength range of data of the spectral irradiance or spectrum of the light source used for calibration of the radiation intensity meter, spectroscopy of the spectral irradiance of the light source used for calibration of the radiation intensity meter or the spectral data radiation intensity meter The product of the response data is integrated in the specific wavelength range, the spectral irradiance or spectrum data of the measurement target light source is integrated in the specific wavelength range, and the spectral irradiance or spectrum data and radiation of the measurement target light source is integrated. An arithmetic unit that integrates the product of spectral response data of the intensity meter in the specific wavelength range ;
By using these integral values, means for calculating and storing a correction coefficient for the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source with the radiation intensity meter, and
Based on the correction coefficient, the radiation intensity meter has means for calculating the irradiance in the wavelength range of the measurement target light source by correcting the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source. An irradiance measuring device,
A plurality of measurement target light source A with different spectrum, B, a plurality of means A for storing the data of the spectral irradiance or spectral against the C ', B', 'have, A' C of A in, B ' To store data for B and C for C '
Measurement specified by specifying the type of light source to be measured with the change-over switch provided in the irradiance measuring device and using the spectral irradiance or spectrum data corresponding to the specified light source to be measured in the arithmetic unit Find the irradiance corresponding to the target light source,
An irradiance measuring apparatus comprising means for displaying the irradiance thus obtained and the type of the designated light source to be measured.
特定の分光応答度を有し、特定のスペクトルを持ち分光放射照度が値付けされた光源により校正された放射強度計と、
該放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ放射強度計の分光応答度のデータ及び測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを入力する手段と、
上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータ、及び該放射強度計の分光応答度のデータを保存する手段と、
上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを特定波長範囲で積分し、上記放射強度計の校正に使用した光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータを該特定波長範囲で積分し、上記測定対象光源の分光放射照度あるいはスペクトルのデータと放射強度計の分光応答度のデータの積を該特定波長範囲で積分する演算部と、
これらの積分値を用いることにより、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値に対する補正係数を算出し、保存する手段と、
上記補正係数に基づき、該放射強度計で測定対象光源の光を測定して得られる出力値を補正することにより、測定対象光源の当該波長範囲における放射照度を求める手段を有することを特徴とする放射照度測定装置であって、
該放射照度測定装置に設けた切り替えスイッチにより上記補正の有無を指定し、補正有りの場合は放射照度を、補正なしの場合は該放射強度計の出力値を表示する手段と、補正の有無を表示する手段を有することを特徴とする放射照度測定装置。
A radiation intensity meter calibrated by a light source having a specific spectral response, a specific spectrum and a spectral irradiance value;
Means for inputting said spectral irradiance or spectral data of the light source used for calibration of the radiation intensity meter, the spectral responsivity of the radiation intensity meter data, and the data of the spectral irradiance or spectral measurement target light source,
Means for storing spectral irradiance or spectral data of a light source used for calibration of the radiation intensity meter, spectral irradiance or spectral data of a light source to be measured, and spectral response data of the radiation intensity meter ;
Integrated in a specific wavelength range of data of the spectral irradiance or spectrum of the light source used for calibration of the radiation intensity meter, spectroscopy of the spectral irradiance of the light source used for calibration of the radiation intensity meter or the spectral data radiation intensity meter The product of response data is integrated in the specific wavelength range, the spectral irradiance or spectral data of the measurement target light source is integrated in the specific wavelength range, and the spectral irradiance or spectral data and radiation of the measurement target light source are integrated. An arithmetic unit that integrates the product of spectral response data of the intensity meter in the specific wavelength range ;
By using these integral values, means for calculating and storing a correction coefficient for the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source with the radiation intensity meter, and
Based on the correction coefficient, the radiation intensity meter has means for calculating irradiance in the wavelength range of the measurement target light source by correcting the output value obtained by measuring the light of the measurement target light source. An irradiance measuring device,
The changeover switch provided in the irradiance measuring device designates the presence or absence of the correction, and means for displaying the irradiance when there is correction, the output value of the radiance intensity meter when there is no correction, and whether or not correction is performed. An irradiance measuring device comprising means for displaying.
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