JP4699494B2 - IC chip mounting package and image display device having the same - Google Patents

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Description

本発明は、例えばファインピッチの端子を有するＩＣチップを実装した実装パッケージ、及びこの実装パッケージを備えた画像表示装置に関する。   The present invention relates to a mounting package on which an IC chip having, for example, fine pitch terminals is mounted, and an image display apparatus including the mounting package.

液晶表示装置に搭載される液晶ドライバ（ＩＣチップ）は、液晶表示装置の高精細化・高性能化に伴って、更なる多出力化が要求されている。   The liquid crystal driver (IC chip) mounted on the liquid crystal display device is required to have a higher output as the liquid crystal display device has higher definition and higher performance.

一般的にＩＣチップの多出力化は、チップサイズの縮小化や、チップに設けられるバンプのファインピッチ（微細）化等によって実現される。最近では、ファインピッチ化が可能な、ベアチップ液晶ドライバを実装するＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）が多用されている。   In general, increasing the number of outputs of an IC chip is realized by reducing the chip size, making fine pitches (fineness) of bumps provided on the chip, or the like. Recently, COF (Chip On Film) mounting a bare chip liquid crystal driver capable of fine pitch is widely used.

最新のＣＯＦパッケージでは、テープキャリアとＩＣチップとを導通させる際、加熱加圧することでＩＣチップ上のバンプとテープキャリア上のインナーリードとを接合させている。しかしながら、このような接合方法の場合、バンプ位置とインナーリード位置との位置ズレを無くすために、熱変形が小さく、且つ高精細なキャリアテープ材料を用いる必要がある。すなわち、ファインピッチを実現しようとするほど、テープキャリアとして使用できる材料は限定されてしまうという欠点があった。   In the latest COF package, when the tape carrier and the IC chip are brought into conduction, the bumps on the IC chip and the inner leads on the tape carrier are joined by heating and pressing. However, in the case of such a joining method, it is necessary to use a high-definition carrier tape material that is small in thermal deformation and eliminates the positional deviation between the bump position and the inner lead position. That is, there is a drawback that the material that can be used as the tape carrier is limited as the fine pitch is achieved.

このような欠点を解決する方法として、インターポーザ基板を介してＩＣチップを回路基板（テープキャリア）に接続する方法が特許文献１に開示されている。図１３に、特許文献１より引用したパッケージ構造の断面図を示す。   As a method for solving such a drawback, Patent Document 1 discloses a method of connecting an IC chip to a circuit substrate (tape carrier) through an interposer substrate. FIG. 13 shows a cross-sectional view of the package structure cited from Patent Document 1.

ＩＣチップ１０４は、図１３に示すように、インターポーザ基板１０１にフリップチップ接続され、さらにインターポーザ基板１０１は、回路基板１０７の電極パターン１１０にバンプ接続されている。インターポーザ基板１０１はシリコン（Ｓｉ）基板であり、Ｓｉウエハプロセスにより形成されるため、ＩＣチップ１０４が接続される電極はＩＣチップ１０４の電極と同等なファインピッチに形成することが可能である。一方、回路基板１０７に接続される電極は、回路基板１０７の電極ピッチ、すなわち比較的幅広なピッチに合わせて形成される。そして、ＩＣチップ１０４に接続される電極と回路基板１０７に接続される電極は、対応する電極同士がインターポーザ基板１０１上で接続されている。尚、回路基板１０７として、テープキャリアを用いることができる。   As shown in FIG. 13, the IC chip 104 is flip-chip connected to the interposer substrate 101, and the interposer substrate 101 is bump-connected to the electrode pattern 110 of the circuit substrate 107. Since the interposer substrate 101 is a silicon (Si) substrate and is formed by a Si wafer process, the electrodes to which the IC chip 104 is connected can be formed at the same fine pitch as the electrodes of the IC chip 104. On the other hand, the electrodes connected to the circuit board 107 are formed in accordance with the electrode pitch of the circuit board 107, that is, a relatively wide pitch. The electrodes connected to the IC chip 104 and the electrodes connected to the circuit board 107 are connected to each other on the interposer substrate 101. Note that a tape carrier can be used as the circuit board 107.

このようにインターポーザ基板１０１を介在させることによって、ＩＣプロセスレベルのファインピッチをテープキャリアレベルの電極ピッチに変換することが可能となる。そのため、ＩＣチップのサイズ縮小や多出力化により、接続電極が高度にファインピッチ化されたＩＣチップを実装するＣＯＦパッケージにおいても、テープキャリア基材の選択肢の制限を緩めることが可能となる。   By interposing the interposer substrate 101 in this way, it becomes possible to convert the fine pitch at the IC process level to the electrode pitch at the tape carrier level. Therefore, by reducing the size of the IC chip and increasing the number of outputs, it is possible to relax restrictions on the choice of the tape carrier base material even in a COF package that mounts an IC chip in which connection electrodes are highly fine pitched.

また、ファインピッチに対応するため、ＩＣチップ１０４とインターポーザ基板１０１の接続には比較的硬く、且つ融点の高い金属または合金製バンプが用いられる。一例を挙げれば、Ａｕバンプを用いたＡｕ−Ａｕ接合である。このような材料を用いることによって、バンプの変形が抑えられ、隣り合うバンプ間での接触の問題を解決できるので、２５μｍ程度まで端子ピッチを縮小することが可能となり、ＩＣチップの多出力化を可能にしている。   In order to cope with the fine pitch, bumps made of metal or alloy having a relatively hard and high melting point are used for the connection between the IC chip 104 and the interposer substrate 101. As an example, Au-Au bonding using Au bumps. By using such a material, deformation of the bump can be suppressed and the problem of contact between adjacent bumps can be solved. Therefore, the terminal pitch can be reduced to about 25 μm, and the output of the IC chip can be increased. It is possible.

一方、インターポーザ基板とテープキャリアとの接続は、ＩＣチップの接続端子より広いピッチ、例えば５０〜１００μｍ程度のピッチを持つ端子間の接続とすることができる。   On the other hand, the connection between the interposer substrate and the tape carrier can be made between terminals having a wider pitch than the connection terminals of the IC chip, for example, a pitch of about 50 to 100 μm.

ところで、パッケージの製造過程において回路基板１０７とインターポーザ基板１０１とを貼り合わせる際、回路基板１０７がテープキャリアやフィルムキャリアのように、回路基板１０７を隔てて反対側のものを透視できる程度に薄い材料からなる場合は、回路基板１０７のインターポーザ基板１０１実装面とは反対側の面から透視することによって、回路基板１０７とインターポーザ基板１０１との位置合わせができる。しかしながら、インターポーザ基板１０１とＩＣチップ１０４とを貼り合わせる場合は、インターポーザ基板１０１が、例えばＳｉから構成される基板で、且つ上記したように透視することは不可能な厚みを有しており、また、ＩＣチップ１０４も透視することは不可能である構成であるため、インターポーザ基板１０１とＩＣチップ１０４との位置合わせには上記のような透視という手法は採用できない。   By the way, when the circuit board 107 and the interposer board 101 are bonded together in the manufacturing process of the package, the circuit board 107 is a material that is thin enough to allow the circuit board 107 to be seen through the other side of the circuit board 107 like a tape carrier or a film carrier When the circuit board 107 is configured, the circuit board 107 and the interposer substrate 101 can be aligned by seeing through the surface of the circuit board 107 opposite to the mounting surface of the interposer substrate 101. However, when the interposer substrate 101 and the IC chip 104 are bonded together, the interposer substrate 101 is a substrate made of, for example, Si and has a thickness that cannot be seen through as described above. Since the IC chip 104 cannot be seen through, the above-described technique of seeing-through cannot be adopted for alignment between the interposer substrate 101 and the IC chip 104.

また、ＩＣチップは、製造設備等の関係で、その性能に影響はしないものの、ダイシングによって外形が一部変形して設計サイズ通りにならないものがある。そのため、仮に、インターポーザ基板に、ＩＣチップの外形と位置合わせできるように設計したマークを形成しておいたとしても、このマークは設計サイズ通りに製造されるＩＣチップに併せて配置されるので、上記したような変形ＩＣチップが実装される場合は正確な位置合わせができない。   In addition, although IC chips do not affect the performance due to manufacturing facilities and the like, there are some IC chips whose outer shape is partially deformed by dicing and does not conform to the design size. Therefore, even if a mark designed to be aligned with the outer shape of the IC chip is formed on the interposer substrate, this mark is arranged together with the IC chip manufactured according to the design size. When the above-described modified IC chip is mounted, accurate alignment cannot be performed.

そこで、特許文献２では、図１４に示すアライメントマークを用いて２枚の基板を位置合わせする技術が開示されている。図１４は、本発明の一実施例におけるアラインメントマークの形状、およびそのアラインメントマークを用いた位置合わせの方法を模式するものであり、図中の（ａ）は各基板の平面図、（ｂ）は各基板のＡ−Ａ’線およびＢ−Ｂ’線に沿う断面図、（ｃ）は重ね合せた際の状態を示す図である。図１４に示すように、（１００）面を有する第１のシリコン基板Ｓ1 には、アライメントマーク２０１として、〈１１０〉方向に沿う２つの長矩形のアライメント溝２０１ａおよび２０１ａが形成されている。一方、（１００）面を有する第２のシリコン基板Ｓ2 においても同様に、アライメントマーク２０２として、〈１１０〉方向に沿う２つの長矩形のアライメント溝２０２ａおよび２０２ａが相互に離間して平行に配置されて形成されている。第２の基板Ｓ2 のアライメント溝２０２ａおよび２０２ａは、第１のシリコン基板Ｓ1 におけるアライメント溝２０１ａおよび２０１ａとは、ちょうど９０°回転した状態にある。そして、特許文献２では、第１の基板Ｓ1 と第２の基板Ｓ2とを貼り合せた状態で赤外線やＸ線等の透過光を利用してアライメント溝を観察する構成となっている。第１の基板Ｓ1 と第２の基板Ｓ2 とが正しく位置合わせされていると、図１４の（ｃ）に示すような、２つのマーク２０１，２０２が重なったパターンが観察される。
特開２００４−２０７５６６号公報（２００４年７月２２日公開） 特開平８−１５３７７２号公報（１９９６年６月１１日公開） Therefore, Patent Document 2 discloses a technique for aligning two substrates using the alignment mark shown in FIG. FIG. 14 schematically illustrates the shape of an alignment mark and an alignment method using the alignment mark in an embodiment of the present invention, where (a) is a plan view of each substrate, and (b). FIG. 4 is a cross-sectional view taken along lines AA ′ and BB ′ of each substrate, and FIG. As shown in FIG. 14, the first silicon substrate S 1 having a (100) plane, as an alignment mark 201 are formed two long rectangular alignment grooves 201a and 201a along the <110> direction. On the other hand, in the second silicon substrate S 2 having the (100) plane, similarly, as the alignment mark 202, two long rectangular alignment grooves 202a and 202a along the <110> direction are spaced apart from each other and arranged in parallel. Has been formed. Alignment grooves 202a and 202a of the second substrate S 2 is the alignment groove 201a and 201a of the first silicon substrate S 1, it is in a state of being rotated exactly 90 °. Then, in Patent Document 2, it has been using transmitted light such as infrared rays or X-rays and configured to observe the alignment groove in a state where the bonded first substrate S 1 and a second substrate S 2. When the first substrate S 1 and the second substrate S 2 are correctly aligned, a pattern in which two marks 201 and 202 overlap as shown in FIG. 14C is observed.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-207566 (released on July 22, 2004) JP-A-8-153772 (released on June 11, 1996)

図１４に示したアライメントマーク２０１，２０２は、当該矩形を組み合わせたホトマスクパターンを用いて、常法に基づき（１００）シリコン基板にレジストパターニングし、その後さらに異方性エッチング等の手法によって、深さ３０μｍ以上のエッチング溝を形成する工程で作製される。しかしながら、この作製工程は図１３のパッケージを製造する上で無関係な工程であるため、採用する場合は、新たな工程として製造過程に付加しなくてはならない。これは、パッケージ製造のスループットを低下させ、製造コストを上げることにつながり、上記と同じく大量生産を行うことを目的とする場合は、生産性を著しく低下させてしまう要因となる。   Alignment marks 201 and 202 shown in FIG. 14 are formed by resist patterning on a (100) silicon substrate based on a conventional method using a photomask pattern in which the rectangles are combined, and then further by a method such as anisotropic etching. It is produced in a process of forming an etching groove of 30 μm or more. However, since this manufacturing process is an irrelevant process in manufacturing the package of FIG. 13, when it is adopted, it must be added to the manufacturing process as a new process. This leads to a decrease in package manufacturing throughput and an increase in manufacturing cost. When the purpose of mass production is the same as described above, it becomes a factor of remarkably reducing productivity.

また、ＩＣ実装パッケージの場合は、上記したような、インターポーザ基板の表面に対して平行な方向の位置合わせを行う以外に、ＩＣチップとインターポーザ基板との間の距離（ギャップ）を管理することも好ましい。しかしながら、そのような内容は、特許文献１，２の何れにも教示も示唆もされていない。   In the case of an IC mounting package, in addition to the alignment in the direction parallel to the surface of the interposer substrate as described above, the distance (gap) between the IC chip and the interposer substrate may be managed. preferable. However, such contents are neither taught nor suggested in any of Patent Documents 1 and 2.

そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＩＣチップとインターポーザ基板とを位置決めするための位置決め部材を、パッケージ製造のスループットを低下させることなく配設することができるＩＣチップ実装パッケージ、及びこれを用いた画像表示装置を提供するものである。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to dispose a positioning member for positioning an IC chip and an interposer substrate without reducing the throughput of package manufacture. An IC chip mounting package that can be used, and an image display device using the same are provided.

本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上述した課題を解決するために、ＩＣチップを、インターポーザ基板を介してパッケージ基材に実装しており、上記ＩＣチップには、上記インターポーザ基板との対向面に電極が設けられており、上記インターポーザ基板には、上記電極と電気的に接続するＩＣチップ側接続端子と、上記パッケージ基材と電気的に接続するパッケージ基材側接続端子とを有する配線導体が設けられており、上記電極と、上記ＩＣチップ側接続端子とはバンプを介して電気的に接続されているＩＣチップ実装パッケージであって、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向位置に、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定するための第１ギャップ測定用部材を有しており、上記インターポーザ基板における上記ＩＣチップとの対向位置に、第１ギャップ測定用部材と対を成す第２ギャップ測定用部材を有しており、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、光を反射させる材料から構成され、且つ上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときの面積は少なくとも１５μｍ ２ であり、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面の中心で観察される位置に配設されていることを特徴としている。 In order to solve the above-described problems, an IC chip mounting package according to the present invention has an IC chip mounted on a package substrate via an interposer substrate, and the IC chip has a surface facing the interposer substrate. The interposer substrate has a wiring conductor having an IC chip side connection terminal electrically connected to the electrode and a package substrate side connection terminal electrically connected to the package substrate. An IC chip mounting package in which the electrode and the IC chip side connection terminal are electrically connected via bumps, at a position facing the interposer substrate in the IC chip, A first gap measuring member for measuring the gap between the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate; The interposer substrate has a second gap measuring member that is paired with the first gap measuring member at a position facing the IC chip, and the first gap measuring member and the second gap measuring member are The first gap measuring member and the second gap are made of a material that reflects light and have an area of at least 15 μm 2 when viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. The measurement member is disposed at a position observed at the center of the facing surface between the IC chip and the interposer substrate when viewed from a direction perpendicular to the facing surface between the IC chip and the interposer substrate. It is a feature.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記の構成に加えて、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、並んで観察されるように配設されていることが好ましい。Further, in the IC chip mounting package according to the present invention, in addition to the above configuration, the first gap measuring member and the second gap measuring member are perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. It is preferable that they are arranged so that they are observed side by side when viewed from the side.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記の構成に加えて、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面は、四角形であり、上記第１ギャップ測定用部材は、上記四角形の４つの角領域内に設けられていることが好ましい。In addition to the above configuration, the IC chip mounting package according to the present invention has a quadrilateral surface facing the interposer substrate in the IC chip, and the first gap measuring member includes four of the quadrangular shapes. It is preferable to be provided in the corner region.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記の構成に加えて、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面は、四角形であり、上記第１ギャップ測定用部材は、上記四角形における中心を挟んで対向する２つの角領域内に設けられていることが好ましい。In addition to the above configuration, the IC chip mounting package according to the present invention has a quadrangular surface facing the interposer substrate in the IC chip, and the first gap measuring member has a center in the quadrilateral. It is preferable that they are provided in two corner regions facing each other.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記の構成に加えて、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面は、長方形であり、上記角領域内とは、該長方形の角から、長方形の長辺の１０分の１の長さまでの範囲であって、且つ、該長方形の角から、長方形の短辺の５分の１の長さまでの範囲で示される領域内であることを特徴とする請求項３または４に記載のＩＣチップ実装パッケージ。Further, in the IC chip mounting package according to the present invention, in addition to the above configuration, the surface facing the interposer substrate in the IC chip is a rectangle, and the inside of the corner region is a rectangle from the corner of the rectangle. And within the region indicated by the range from the corner of the rectangle to the length of one fifth of the short side of the rectangle. The IC chip mounting package according to claim 3 or 4.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記の構成に加えて、上記インターポーザ基板は、電気回路が形成された半導体基板であり、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、半導体を透過する光を反射させる材料から構成されることが好ましい。In addition to the above configuration, the IC chip mounting package according to the present invention is such that the interposer substrate is a semiconductor substrate on which an electric circuit is formed, and the first gap measurement member and the second gap measurement member are It is preferably made of a material that reflects light transmitted through the semiconductor.

また、本発明に係る画像表示装置は、上述した課題を解決するために、上記構成を具備するＩＣチップ実装パッケージと、上記ＩＣチップ実装パッケージの上記パッケージ基材に接続され、上記ＩＣチップから出力される信号を用いて画像表示を行う表示画像表示体とを備えたことを特徴としている。In order to solve the above-described problems, an image display device according to the present invention is connected to an IC chip mounting package having the above-described configuration and the package base material of the IC chip mounting package, and outputs from the IC chip. And a display image display body that displays an image using the generated signal.

本発明に係る別のＩＣチップ実装パッケージは、以上のように、ＩＣチップを、インターポーザ基板を介してパッケージ基材に実装しており、上記ＩＣチップには、上記インターポーザ基板との対向面に電極が設けられており、上記インターポーザ基板には、上記電極と電気的に接続するＩＣチップ側接続端子と、上記パッケージ基材と電気的に接続するパッケージ基材側接続端子とを有する配線導体が設けられており、上記電極と、上記ＩＣチップ側接続端子とはバンプを介して電気的に接続されているＩＣチップ実装パッケージであって、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向位置に、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定するための第１ギャップ測定用部材を有しており、上記インターポーザ基板における上記ＩＣチップとの対向位置に、第１ギャップ測定用部材と対を成す第２ギャップ測定用部材を有しており、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、光を反射させる材料から構成され、且つ上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときの面積は少なくとも１５μｍ ２ であり、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面の中心で観察される位置に配設されていることを特徴としている。 In another IC chip mounting package according to the present invention , as described above, the IC chip is mounted on the package base via the interposer substrate, and the IC chip has electrodes on the surface facing the interposer substrate. The interposer substrate is provided with a wiring conductor having an IC chip side connection terminal electrically connected to the electrode and a package substrate side connection terminal electrically connected to the package substrate. An IC chip mounting package in which the electrode and the IC chip side connection terminal are electrically connected via bumps, and the IC chip is located at a position facing the interposer substrate in the IC chip. And a first gap measuring member for measuring a gap between the facing surfaces of the interposer substrate and the interposer substrate. A second gap measuring member that forms a pair with the first gap measuring member at a position facing the IC chip on the substrate, wherein the first gap measuring member and the second gap measuring member are The first gap measuring member and the second gap are made of a material that reflects light and have an area of at least 15 μm 2 when viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. The measurement member is disposed at a position observed at the center of the facing surface between the IC chip and the interposer substrate when viewed from a direction perpendicular to the facing surface between the IC chip and the interposer substrate. It is a feature.

以上の構成とすれば、ＩＣチップとインターポーザ基板との間の距離（ギャップ）を管理することができ、ＩＣチップの電極と、インターポーザ基板のＩＣチップ側接続端子とが、バンプによって良好に接続できているかを判断することができる。   With the above configuration, the distance (gap) between the IC chip and the interposer substrate can be managed, and the IC chip electrode and the IC chip side connection terminal of the interposer substrate can be satisfactorily connected by the bump. Can be determined.

また、上記した面積にすることによって、例えば、上記のように半導体を透過する光を用いてギャップを測定する手法を採用した場合に、光を効果的に第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材でとらえることができるので、安定した測定データを収集することが可能となる。In addition, by using the above-described area, for example, when the method of measuring the gap using the light transmitted through the semiconductor as described above is employed, the first gap measuring member and the second gap can be effectively used. Since it can be captured by the measurement member, stable measurement data can be collected.

また、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面の中心においてギャップを測定することができることから、より一層正確な貼り合わせを実現でき、良好な品質のＩＣチップ実装パッケージを提供することができる。In addition, since the gap can be measured at the center of the facing surface between the IC chip and the interposer substrate, more accurate bonding can be realized, and an IC chip mounting package with good quality can be provided.

また、本発明に係る表示画像表示体は、以上のように、上記した構成のＩＣチップ実装パッケージと、上記ＩＣチップ実装パッケージの上記パッケージ基材に接続され、上記ＩＣチップから出力される信号を用いて画像表示を行う表示画像表示体とを備えたことを特徴としている。   Further, as described above, the display image display body according to the present invention is connected to the IC chip mounting package having the above-described configuration, and the signal output from the IC chip connected to the package substrate of the IC chip mounting package. And a display image display body that performs image display using the display device.

以上の構成とすれば、信頼性の高い画像表示装置を提供することができる。   With the above configuration, a highly reliable image display device can be provided.

本発明に係る液晶ドライバ実装パッケージ（ＩＣチップ実装パッケージ）についての一実施形態を説明する。なお、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲が以下の実施形態および図面に限定されるものではない。   An embodiment of a liquid crystal driver mounting package (IC chip mounting package) according to the present invention will be described. In the following description, various technically preferable limitations for implementing the present invention are given, but the scope of the present invention is not limited to the following embodiments and drawings.

まず、図１ないし図８に基づいて本発明に係る液晶ドライバ実装パッケージについて説明する。   First, a liquid crystal driver mounting package according to the present invention will be described with reference to FIGS.

図１は本実施形態における液晶ドライバ実装パッケージの構成を示した平面図であり、インターポーザ基板４ａ側から見た状態を示す平面図である。図２は図１に示す液晶ドライバ実装パッケージ１を切断線Ａ−Ａ’において切断した状態を示した矢視断面図である。なお図２は、説明の便宜上、インターポーザ基板４ａを図面の下方にした状態で示し、且つ、切断線Ａ−Ａ’において切断した断面の一部を示している。   FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a liquid crystal driver mounting package in the present embodiment, and is a plan view showing a state viewed from the interposer substrate 4a side. FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid crystal driver mounting package 1 shown in FIG. 1 taken along the cutting line A-A ′. Note that FIG. 2 shows the interposer substrate 4a in a state where the interposer substrate 4a is at the lower side of the drawing, and shows a part of a cross section cut along a cutting line A-A ′.

本実施形態の液晶ドライバ実装パッケージ１は、表示面を有する液晶表示体を駆動すべく当該表示面の周辺において当該液晶表示体に隣接配置される液晶表示体駆動装置として用いることができる。そのため、液晶ドライバ実装パッケージ１は、図１に示すように、フィルム基材（パッケージ基材）２と、液晶ドライバ（ＩＣチップ）３と、インターポーザ基板４ａとを少なくとも備えている。液晶ドライバ実装パッケージ１は、図２に示すように、液晶ドライバ３を、フィルム基材２に設けられたデバイスホール８に配設しており、液晶ドライバ３は、インターポーザ基板４ａを介してフィルム基材２に固定されている。尚、本実施形態では、フィルム基材２上に形成された配線導体（インナーリード）と、インターポーザ基板４ａに形成された配線導体とが向き合う形で構成されたＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）形態の液晶ドライバ実装パッケージについて説明する。   The liquid crystal driver mounting package 1 of the present embodiment can be used as a liquid crystal display drive device that is disposed adjacent to the liquid crystal display around the display surface in order to drive a liquid crystal display having a display surface. Therefore, as shown in FIG. 1, the liquid crystal driver mounting package 1 includes at least a film base (package base) 2, a liquid crystal driver (IC chip) 3, and an interposer substrate 4a. As shown in FIG. 2, the liquid crystal driver mounting package 1 has a liquid crystal driver 3 disposed in a device hole 8 provided in the film base 2, and the liquid crystal driver 3 is disposed on a film substrate via an interposer substrate 4a. It is fixed to the material 2. In the present embodiment, a liquid crystal in a COF (Chip On Film) configuration in which the wiring conductor (inner lead) formed on the film base 2 and the wiring conductor formed on the interposer substrate 4a face each other. The driver mounting package will be described.

上記液晶ドライバ３は、複数の液晶駆動用回路（不図示）を備えており、液晶表示体を駆動する機能を有している。液晶駆動用回路には、図２に示すように、駆動信号を出力するための駆動信号出力用端子３ａ（電極）と、画像データ信号等を入力するための信号入力用端子３ｂ（電極）とが設けられている。本実施形態の液晶ドライバ実装パッケージ１に実装される液晶ドライバ３としては、インターポーザ基板４ａと対向する面が例えば１×８ｍｍであるチップサイズのものを実装できる。また、チップを研磨することによって、薄層化することも可能である。   The liquid crystal driver 3 includes a plurality of liquid crystal driving circuits (not shown) and has a function of driving a liquid crystal display. As shown in FIG. 2, the liquid crystal driving circuit includes a driving signal output terminal 3a (electrode) for outputting a driving signal, and a signal input terminal 3b (electrode) for inputting an image data signal and the like. Is provided. As the liquid crystal driver 3 mounted on the liquid crystal driver mounting package 1 of the present embodiment, a chip size having a surface facing the interposer substrate 4a of, for example, 1 × 8 mm can be mounted. Further, the chip can be thinned by polishing the chip.

上記インターポーザ基板４ａは、半導体材料、好ましくはシリコンから構成することができる。サイズは特に限定されるものではないが、例えば２ｍｍ×２０ｍｍで、厚さ４００μｍとすることができる。   The interposer substrate 4a can be made of a semiconductor material, preferably silicon. The size is not particularly limited. For example, the size can be 2 mm × 20 mm and the thickness can be 400 μm.

図２に示す充填材１５は、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの対向領域、及び、フィルム基材２のデバイスホール８と、フィルム上配線５・６とを被覆するように設けられており、接続部を外部環境から保護するために設けられている。   The filler 15 shown in FIG. 2 is provided so as to cover the facing region between the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a, the device hole 8 of the film base 2, and the on-film wirings 5 and 6. It is provided to protect the connection from the external environment.

次に、本発明の特徴的構成を備える液晶ドライバ３及びインターポーザ基板４ａについての詳細を説明する。   Next, details of the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a having the characteristic configuration of the present invention will be described.

図３は、図１に示した液晶ドライバ実装パッケージ１から、液晶ドライバ３及びインターポーザ基板４ａを取り出した状態の斜視図であり、インターポーザ基板４ａに液晶ドライバ３が実装されたままの状態、つまりインターポーザ基板４ａと液晶ドライバ３とが貼り合わされた状態のものを示している。一方、図４は、インターポーザ基板４ａと液晶ドライバ３との貼り合わせを外して、インターポーザ基板４ａ及び液晶ドライバ３の、双方の対向面の構成を示した図である。尚、説明の便宜上、図３のインターポーザ基板４ａには、図２に示したフィルム基材２の配線導体の端子と接続するフィルム基材接続用端子の上に形成されたフィルム基材接続用バンプ４１のみを示しており、上記フィルム基材接続用端子をその一端に有するインターポーザ基板上の配線導体は図示していない。また、図４についても、説明の便宜上、インターポーザ基板上の配線導体は図示していない。   FIG. 3 is a perspective view of a state in which the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are taken out from the liquid crystal driver mounting package 1 shown in FIG. 1, and the state in which the liquid crystal driver 3 is still mounted on the interposer substrate 4a, that is, the interposer. The substrate 4a and the liquid crystal driver 3 are shown in a bonded state. On the other hand, FIG. 4 is a diagram showing the configuration of the opposing surfaces of the interposer substrate 4a and the liquid crystal driver 3 after the pasting of the interposer substrate 4a and the liquid crystal driver 3 is removed. For convenience of explanation, the interposer substrate 4a shown in FIG. 3 has film substrate connection bumps formed on the film substrate connection terminals connected to the wiring conductor terminals of the film substrate 2 shown in FIG. No. 41 is shown, and the wiring conductor on the interposer substrate having the film base connecting terminal at one end thereof is not shown. Also for FIG. 4, the wiring conductor on the interposer substrate is not shown for convenience of explanation.

上記液晶ドライバ３は、上記したように駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂ（図２）が設けられている。本実施形態では、液晶ドライバ３がフィルム基材に直接実装された構成ではなく、インターポーザ基板４ａを介してフィルム基材と接続しているため、フィルム基材に直接実装する場合と比較して、フィルム基材の配線構造に併せて液晶ドライバ３の端子を配置する必要がないことから、端子を比較的自由に配置することができる。そこで、本実施形態に実装される液晶ドライバ３では、駆動信号出力用端子３ａを図４に示すように複数の列になるように配置することができる。このように複数の列を形成するように駆動信号出力用端子３ａを設けることによって、駆動信号出力用端子液晶ドライバの長辺に沿って１つの列になるように並んだ構成と比較して、チップサイズを縮小することができる。そして、更に具体的に言えば、本実施形態の液晶ドライバ３の駆動信号出力用端子３ａ群は、図４に示すように、或る１つの列に構成される或る２つの端子の間に、隣の列に構成される１つの端子が位置するように配設されている。このように配設することで、液晶ドライバ３のチップサイズをより一層縮小することができる。尚、本実施形態の液晶ドライバ３は、駆動信号出力用端子３ａのみが上記したような配置になっていて、信号入力用端子３ｂは１つの列に並んで配設されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、信号入力用端子３ｂも図４に示した駆動信号出力用端子３ａと同じように配置してもよい。   As described above, the liquid crystal driver 3 is provided with the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b (FIG. 2). In the present embodiment, the liquid crystal driver 3 is not directly mounted on the film base material, but is connected to the film base material via the interposer substrate 4a. Since it is not necessary to arrange the terminals of the liquid crystal driver 3 in accordance with the wiring structure of the film substrate, the terminals can be arranged relatively freely. Therefore, in the liquid crystal driver 3 mounted in the present embodiment, the drive signal output terminals 3a can be arranged in a plurality of rows as shown in FIG. In this way, by providing the drive signal output terminals 3a so as to form a plurality of columns, as compared to the configuration in which the drive signal output terminals are arranged in one column along the long side of the liquid crystal driver, The chip size can be reduced. More specifically, as shown in FIG. 4, the drive signal output terminal 3a group of the liquid crystal driver 3 of the present embodiment is between two certain terminals arranged in one certain column. , One terminal configured in an adjacent row is disposed. By disposing in this way, the chip size of the liquid crystal driver 3 can be further reduced. In the liquid crystal driver 3 of this embodiment, only the drive signal output terminals 3a are arranged as described above, and the signal input terminals 3b are arranged in one row. However, the signal input terminal 3b may be arranged in the same manner as the drive signal output terminal 3a shown in FIG.

図２に示した駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂの上には、図４に示すようにバンプが形成されている。図４では、上記信号入力用端子の上のバンプを入力バンプ３０ａとして、上記駆動信号出力用端子の上のバンプを出力バンプ３０ｂしている。尚、入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂの配置位置は図４で示した構成に限定されるものではなく、駆動信号出力用端子及び信号入力用端子の配置位置によって、適宜変更できる。   Bumps are formed on the drive signal output terminals 3a and the signal input terminals 3b shown in FIG. 2 as shown in FIG. In FIG. 4, bumps on the signal input terminals are input bumps 30a, and bumps on the drive signal output terminals are output bumps 30b. The arrangement positions of the input bumps 30a and the output bumps 30b are not limited to the configuration shown in FIG. 4, and can be appropriately changed depending on the arrangement positions of the drive signal output terminals and the signal input terminals.

さらに、上記液晶ドライバ３は、駆動信号出力用端子３ａ、信号入力用端子３ｂ、入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面に、第１アライメントマーク１１（第１位置決め部材）を有している。   Further, the liquid crystal driver 3 has a first alignment mark 11 (first positioning member) on the drive signal output terminal 3a, signal input terminal 3b, input bump 30a and output bump 30b.

具体的には、上記第１アライメントマーク１１は、該配設面上における、駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ層で、且つ、該配設面上の対向する２つの角領域に形成されている。   Specifically, the first alignment mark 11 is on the same surface as the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b on the arrangement surface, and two opposing corners on the arrangement surface. Formed in the region.

ここで、上記角領域について図５に基づいて説明する。図５は、図３の構成を平面的にみた液晶ドライバ３及びインターポーザ基板４ａである。図５において、上記角領域とは、領域Ａ及び領域Ｂで示される領域である。領域Ａは、液晶ドライバ３の角Ａから長辺の１０分の１までの間と、短辺の５分の１までの間で示される領域であり、領域Ｂも同じく、液晶ドライバ３の角Ｂから長辺の１０分の１までの間と、短辺の５分の１までの間で示される領域である。これらの領域は、入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂと、インターポーザ基板４ａに設けられた液晶ドライバ接続用バンプ４０との接続を妨げない領域であり、かつインターポーザ及びＩＣチップの配線導体の効率的な引き回しを妨げない領域であるため、ここに第１アライメントマーク１１を設けることが好ましい。   Here, the said corner | angular area | region is demonstrated based on FIG. FIG. 5 shows the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a in the plan view of the configuration of FIG. In FIG. 5, the corner region is a region indicated by region A and region B. The area A is an area indicated between the corner A of the liquid crystal driver 3 to 1/10 of the long side and 1/5 of the short side, and the area B is also the corner of the liquid crystal driver 3. This is an area indicated between B and 1/10 of the long side and 1/5 of the short side. These regions are regions that do not hinder the connection between the input bumps 30a and the output bumps 30b and the liquid crystal driver connection bumps 40 provided on the interposer substrate 4a, and are effective in routing the wiring conductors of the interposer and the IC chip. Therefore, it is preferable to provide the first alignment mark 11 here.

上記第１アライメントマーク１１は、図４に示すように、２つの長方形がそれぞれの中心位置で垂直に交差したことによって形成された、４つの枝部１１ａ（図６）を有する十字形状である。第１アライメントマーク１１は、駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ材料によって構成することができる。具体的には、アルミや銅や金である。   As shown in FIG. 4, the first alignment mark 11 has a cross shape having four branch portions 11a (FIG. 6) formed by vertically intersecting two rectangles at their center positions. The first alignment mark 11 can be made of the same material as the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b. Specifically, it is aluminum, copper or gold.

また、上記インターポーザ基板４ａには、図４に示すように、上記フィルム基材接続用バンプ４１と、上記液晶ドライバ接続用バンプ４０と、配線導体（不図示）とが、液晶ドライバ３の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面と対向する面に設けられている。   Further, as shown in FIG. 4, the interposer substrate 4a includes the film base connecting bump 41, the liquid crystal driver connecting bump 40, and a wiring conductor (not shown) as input bumps of the liquid crystal driver 3. 30a and the output bump 30b are provided on the surface facing the surface.

上記フィルム基材接続用バンプ４１は、インターポーザ基板４ａ上に形成された配線導体（不図示）の一端側の端子の上に形成されており、上記液晶ドライバ接続用バンプ４０は、該配線の他端側の端子の上に形成されている。液晶ドライバ接続用バンプ４０は、液晶ドライバ３の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂの配置構造に対応して、図４に示すように、インターポーザ基板４ａ表面の中央部分に配設されている。そして、フィルム基材接続用バンプ４１は、液晶ドライバ接続用バンプ４０の配設位置よりも外周側に設けられている。   The film substrate connecting bump 41 is formed on a terminal on one end side of a wiring conductor (not shown) formed on the interposer substrate 4a, and the liquid crystal driver connecting bump 40 is connected to the wiring other than the wiring. It is formed on the terminal on the end side. As shown in FIG. 4, the liquid crystal driver connection bumps 40 are arranged at the center of the surface of the interposer substrate 4a corresponding to the arrangement structure of the input bumps 30a and the output bumps 30b of the liquid crystal driver 3. The film substrate connection bumps 41 are provided on the outer peripheral side of the position where the liquid crystal driver connection bumps 40 are disposed.

さらに、インターポーザ基板４ａは、液晶ドライバ接続用バンプ４０が配設された面における上記配線導体と同じ層に、第２アライメントマーク１２（第２位置決め部材）を有している。   Further, the interposer substrate 4a has a second alignment mark 12 (second positioning member) on the same layer as the wiring conductor on the surface on which the liquid crystal driver connection bumps 40 are disposed.

上記第２アライメントマーク１２は、図５に示した液晶ドライバ３の領域Ａ及び領域Ｂに対向する領域に配設されている。そして、インターポーザ基板４ａの液晶ドライバ接続用バンプ４０配設面に対して垂直方向から第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２を観察したときに、両者が並んで観察されるように配設されている。   The second alignment mark 12 is disposed in a region facing the region A and the region B of the liquid crystal driver 3 shown in FIG. When the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are observed from the direction perpendicular to the liquid crystal driver connection bump 40 arrangement surface of the interposer substrate 4a, both are arranged to be observed side by side. ing.

上記第２アライメントマーク１２は、４つの正方形のマーク部材１２ａ（位置決め体）から構成されており、配線導体と同じ材料によって構成することができる。   The second alignment mark 12 is composed of four square mark members 12a (positioning bodies) and can be composed of the same material as the wiring conductor.

以下に、第２アライメントマーク１２のより具体的な構成を、第１アライメントマーク１１との相対関係とともに、図６を用いて説明する。   Hereinafter, a more specific configuration of the second alignment mark 12 will be described with reference to FIG. 6 together with a relative relationship with the first alignment mark 11.

図６は、上記領域Ａもしくは領域Ｂにおいて、液晶ドライバ３の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面に対して垂直方向から第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２を観察したときの状態を示した図である。尚、図６は、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとが最適な位置で位置決め（位置合わせ）できている状態での第１アライメントマーク１１と第２アライメントマーク１２との位置関係を示している。   FIG. 6 shows a state when the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are observed from the direction perpendicular to the surface on which the input bump 30a and the output bump 30b of the liquid crystal driver 3 are disposed in the region A or the region B. FIG. FIG. 6 shows the positional relationship between the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 in a state where the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are positioned (aligned) at an optimum position.

上記したように第１アライメントマーク１１は、十字形状を形成する４つの枝部１１ａを有していて、隣り合う枝部１１ａ同士の間に、枝部１１ａから所定の距離をあけて第２アライメントマーク１２のマーク部材１２ａが観察されるように配設されている。すなわち、マーク部材１２ａは４つ設けられている。これらのマーク部材１２ａは、大きさの違いで２組にわけることができ、４つのマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４のうちのマーク部材１２ａ−１，１２ａ−２は、残りのマーク部材１２ａ−３，１２ａ−４と比べて大きさが大きい。そして、マーク部材１２ａ−１，１２ａ−２は、図６の状態で、第１アライメントマーク１１と距離ＧＬほど離間されて観察されるように配設されている。また、マーク部材１２ａ−３，１２ａ−４は、図６の状態で、第１アライメントマーク１１と、距離ＧＬよりも短い距離ＧＳほど離間されて観察されるように配設されている。   As described above, the first alignment mark 11 has the four branch portions 11a forming a cross shape, and the second alignment 11 is spaced a predetermined distance from the branch portions 11a between the adjacent branch portions 11a. It arrange | positions so that the mark member 12a of the mark 12 may be observed. That is, four mark members 12a are provided. These mark members 12a can be divided into two groups according to the difference in size. Among the four mark members 12a-1 to 12a-4, the mark members 12a-1 and 12a-2 are the remaining mark members 12a. Larger than -3, 12a-4. The mark members 12a-1 and 12a-2 are arranged so as to be observed with a distance GL apart from the first alignment mark 11 in the state of FIG. In addition, the mark members 12a-3 and 12a-4 are arranged so as to be observed apart from the first alignment mark 11 by a distance GS shorter than the distance GL in the state of FIG.

液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの位置決めが行われる際、液晶ドライバ３の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面に対して垂直方向から第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２を観察すると、最適な位置に位置決めされている場合は、図６に示すように観察されるが、本実施形態の場合、図６に示すように観察されなくとも、十字形状の第１アライメントマーク１１が、４つのマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４によって形成される十字形状の隙間に嵌るように観察されていれば位置決めを完了し、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの貼り合わせを行うことができる。   When the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are positioned, when the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are observed from the direction perpendicular to the input bump 30a and output bump 30b arrangement surface of the liquid crystal driver 3, When it is positioned at the optimum position, it is observed as shown in FIG. 6, but in the case of this embodiment, the cross-shaped first alignment mark 11 is not observed as shown in FIG. If it is observed so as to fit into a cross-shaped gap formed by the two mark members 12a-1 to 12a-4, positioning can be completed and the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a can be bonded together.

すなわち、上記距離ＧＬ及び距離ＧＳは、貼り合わせ位置として許容できる範囲の距離に相当している。そして、距離ＧＬほど離間されたマーク部材１２ａ−１，１２ａ−２は、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの貼り合わせ位置として許容できる限界の位置を示しており、もし、位置決めの際、第１アライメントマーク１１が、マーク部材１２ａ−１，１２ａ−２と重なるように観察された場合には、位置決めを再度行う（やり直す）必要があることを示している。ここで、距離ＧＳほど離間されたマーク部材１２ａ−３，１２ａ−４は、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの貼り合わせ位置として許容できる範囲のうち、最適な位置により近い状態の位置を示している。   That is, the distance GL and the distance GS correspond to a distance within a range that is acceptable as a bonding position. The mark members 12a-1 and 12a-2 that are separated by a distance GL indicate the limit positions that can be accepted as the bonding position between the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a. When the alignment mark 11 is observed so as to overlap the mark members 12a-1 and 12a-2, it indicates that it is necessary to perform positioning again (redo). Here, the mark members 12a-3 and 12a-4 separated by a distance GS indicate positions in a state closer to the optimum position within a range allowable as a bonding position between the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a. Yes.

また、このように、第１アライメントマーク１１と、マーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４との間の距離を予め決めておくことで、最適な位置になるように、すなわち図６の状態に位置決めをやり直す場合にも、液晶ドライバ３を、インターポーザ基板４ａに対してどれほどの距離ずらせば良いかを容易に求めることができる。   Further, in this way, the distance between the first alignment mark 11 and the mark members 12a-1 to 12a-4 is determined in advance, so that the optimum position is obtained, that is, the state shown in FIG. In the case of redoing, it is possible to easily determine how far the liquid crystal driver 3 should be shifted from the interposer substrate 4a.

さらに、本実施形態によれば、上記のように、距離ＧＬほど離間されたマーク部材１２ａ−１，１２ａ−２以外に、距離ＧＳほど離間されたマーク部材１２ａ−３，１２ａ−４を設ける構成とすることによって、位置決め精度を格付けすることができる。すなわち、本実施形態の場合は、第１アライメントマーク１１が、最適位置である図６の位置から、距離ＧＳまでの間にあるときをＡ（優良）ランクとして、距離ＧＳから、許容限界である距離ＧＬまでの間にあるときをＢ（良）ランクとすることができる。   Furthermore, according to the present embodiment, as described above, in addition to the mark members 12a-1 and 12a-2 separated by the distance GL, the mark members 12a-3 and 12a-4 separated by the distance GS are provided. By doing so, the positioning accuracy can be rated. That is, in the case of the present embodiment, the first alignment mark 11 is an allowable limit from the distance GS, with the A (excellent) rank being the position between the optimal position of FIG. 6 and the distance GS. When it is between the distances GL, it can be set as B (good) rank.

このように第１アライメントマーク１１と、マーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４との相対位置を観察する方法としては、半導体を透過する光を利用する方法がある。この方法は、液晶ドライバ３の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面とは反対側の面から、もしくは、インターポーザ基板４ａの液晶ドライバ接続用バンプ４０配設面とは反対側の面から、上記光を第１アライメントマーク１１及びマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４に向けて照射し、第１アライメントマーク１１及びマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４からの該光の反射光を検出することによって、図６に示したような状態で第１アライメントマーク１１とマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４との相対位置を観察することができる。このような光としては、赤外線やエックス線がある。   As described above, as a method of observing the relative position between the first alignment mark 11 and the mark members 12a-1 to 12a-4, there is a method using light transmitted through the semiconductor. This method is performed from the surface opposite to the surface on which the input bump 30a and the output bump 30b are disposed on the liquid crystal driver 3 or from the surface opposite to the surface on which the liquid crystal driver connection bump 40 is disposed on the interposer substrate 4a. By irradiating light toward the first alignment mark 11 and the mark members 12a-1 to 12a-4, and detecting reflected light of the light from the first alignment mark 11 and the mark members 12a-1 to 12a-4 In the state shown in FIG. 6, the relative positions of the first alignment mark 11 and the mark members 12a-1 to 12a-4 can be observed. Such light includes infrared rays and X-rays.

また、上記のように光を照射し、その反射光に基づいて第１アライメントマーク１１とマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４との相対位置を特定する構成であるため、本実施形態の液晶ドライバ実装パッケージ１では、第１アライメントマーク１１及びマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４が配設されている箇所及びその周辺には、上記光を反射するような、もしくは、光の照射を妨げるような他の構成部材を配設しないことが好ましい。このような構成部材としては、金属を含有するものが挙げられる。   Moreover, since it is the structure which irradiates light as mentioned above and specifies the relative position of the 1st alignment mark 11 and the mark members 12a-1 to 12a-4 based on the reflected light, the liquid crystal driver of this embodiment In the mounting package 1, the light is reflected at or around the place where the first alignment mark 11 and the mark members 12 a-1 to 12 a-4 are disposed, or the light irradiation is prevented. It is preferable not to arrange other constituent members. Examples of such a constituent member include those containing metal.

以下に、図６で示した各距離を、下記の表にまとめる。   The distances shown in FIG. 6 are summarized in the following table.

Figure 0004699494
Figure 0004699494

尚、表中のメタル設置禁止領域とは、上記光の照射を妨げるような他の構成部材の設置禁止領域のことであり、表中のＩＣは液晶ドライバ３のことであり、表中のＩＰはインターポーザ基板４ａのことである。 The metal installation prohibition area in the table is an installation prohibition area of other components that prevent the light irradiation, and the IC in the table is the liquid crystal driver 3, and the IP in the table Is the interposer substrate 4a.

また、図７に、マーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４同士の相対位置を示している。   FIG. 7 shows the relative positions of the mark members 12a-1 to 12a-4.

また、上記第１アライメントマーク１１の高さ（つまり、入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面からの高さ）、及び第２アライメントマーク１２の高さ（液晶ドライバ接続用バンプ４０配設面からの高さ）は、各１μｍと設計することができる。そして、高さ１μｍを採用すれば、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとが正しく位置決めされていない場合は、上記したように、第１アライメントマーク１１と第２アライメントマーク１２とが重なって観察される。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、位置決めの際、第１アライメントマーク１１と第２アライメントマーク１２とが接触するように構成してもよい。このような構成を実現するためには、第１アライメントマーク１１の導電性突起及び第２アライメントマーク１２の導電性突起を各々ＩＣチップの電極およびＩＣチップ側接続端子と同じ材質、高さで設計することが好ましい。   Further, the height of the first alignment mark 11 (that is, the height from the surface on which the input bump 30a and the output bump 30b are disposed) and the height of the second alignment mark 12 (from the surface on which the liquid crystal driver connection bump 40 is disposed). Can be designed to be 1 μm each. If the height of 1 μm is adopted, when the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are not correctly positioned, the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are observed as overlapped as described above. . However, the present invention is not limited to this, and the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 may be in contact with each other during positioning. In order to realize such a configuration, the conductive protrusions of the first alignment mark 11 and the conductive protrusions of the second alignment mark 12 are designed with the same material and height as the IC chip electrodes and the IC chip side connection terminals, respectively. It is preferable to do.

また、このように第１アライメントマーク１１と第２アライメントマーク１２とが接触するように構成する場合は、第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２の相対位置を画像化して判断するのではなく、電気的に検出することで位置決めをおこなってもよい。この方法を実現する場合は、第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２に、配線などの外部出力手段を備える必要がある。そして、第１アライメントマーク１１と、第２アライメントマーク１２（ここでは図６に示したマーク１２ａ−１，１２ａ−２とする）とが接触したときに、電流が発生する、もしくは電流値が変化する現象を生じさせるように構成する。これにより、上記現象が生じなければ、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとが、貼り合わせ位置として許容される範囲内にあることが判る。   Further, when the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are configured to contact with each other as described above, the relative positions of the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are not determined by imaging. The positioning may be performed by electrical detection. When realizing this method, the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 need to be provided with external output means such as wiring. Then, when the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 (here, marks 12a-1 and 12a-2 shown in FIG. 6) contact each other, current is generated or the current value changes. It is configured to cause a phenomenon to occur. As a result, if the above phenomenon does not occur, it can be seen that the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are within the allowable range for the bonding position.

このような手法によって位置決めされた液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとは、従来公知の手法によって接続される。具体的には、例えばバンプとして金バンプを用いた場合には、インターポーザ基板４ａと液晶ドライバ３とを４３０℃程度まで加熱し、荷重をかけることにより、バンプ同士を接合させて電気的接続を形成する方法がある。   The liquid crystal driver 3 positioned by such a method and the interposer substrate 4a are connected by a conventionally known method. Specifically, for example, when gold bumps are used as the bumps, the interposer substrate 4a and the liquid crystal driver 3 are heated to about 430 ° C. and a load is applied to bond the bumps to form an electrical connection. There is a way to do it.

また、フィルム基材２とインターポーザ基板４ａとの接続方法については、フィルム基材２のインターポーザ基板４ａ実装面とは反対側から、フィルム基材２を透視することによって、インターポーザ基板４ａとの位置ズレを確認、装置の調整を行って、インターポーザ基板４ａの配線導体のフィルム基材接続用端子を、図２に示すフィルム基材２のフィルム上配線５・６とを電気的に接続することができる。尚、この接続には、上記フィルム基材接続用端子の上に設けられたバンプ９（図２）を用いることができ、インターポーザ基板４ａと液晶ドライバ３との接続と同じように４３０℃程度まで加熱し、荷重をかけて接続することができる。尚、液晶ドライバ３を実装したインターポーザ基板４ａを、フィルム基材２に実装するか、フィルム基材２にインターポーザ基板４ａを実装した後、該インターポーザ基板４ａに液晶ドライバ３を実装するかは特に制限はない。また、フィルム上配線５・６の表面には、フィルム上配線５・６を保護するためのソルダーレジスト７（図２）を配設していることが好ましい。   Further, regarding the connection method between the film base 2 and the interposer substrate 4a, the film base 2 is seen through from the opposite side of the film base 2 from the mounting surface of the interposer substrate 4a. Can be electrically connected to the film substrate connection terminals of the wiring conductor of the interposer substrate 4a and the on-film wirings 5 and 6 of the film substrate 2 shown in FIG. . For this connection, bumps 9 (FIG. 2) provided on the film base material connection terminals can be used, and up to about 430 ° C. as in the connection between the interposer substrate 4a and the liquid crystal driver 3. It can be heated and connected under load. It should be noted that whether the interposer substrate 4a on which the liquid crystal driver 3 is mounted is mounted on the film base 2 or whether the liquid crystal driver 3 is mounted on the interposer substrate 4a after the interposer substrate 4a is mounted on the film base 2 is particularly limited. There is no. Moreover, it is preferable to arrange | position the soldering resist 7 (FIG. 2) for protecting the on-film wiring 5 * 6 on the surface of the on-film wiring 5 * 6.

以上のように、本実施形態の構成によれば、第１アライメントマーク１１を、駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ層で、且つ駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ材料から構成し、マーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４を、配線導体と同じ層で、且つ配線導体と同じ材料から構成している。そのため、駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂ形成する工程中に第１アライメントマーク１１を形成することができ、配線導体を形成する工程中にマーク部材１２ａ−１〜１２ａ−４を形成することができる。そのため、基板にアライメント溝を形成する従来構成と比較して、スループットを低下させることなく、アライメントマークを形成することが可能である。   As described above, according to the configuration of the present embodiment, the first alignment mark 11 is formed in the same layer as the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b, and the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal. The mark members 12a-1 to 12a-4 are made of the same material as that of the wiring conductor, and are made of the same material as that of the wiring conductor. Therefore, the first alignment mark 11 can be formed during the process of forming the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b, and the mark members 12a-1 to 12a-4 are formed during the process of forming the wiring conductor. can do. Therefore, the alignment mark can be formed without reducing the throughput as compared with the conventional configuration in which the alignment groove is formed in the substrate.

また、本実施形態では、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとを位置決めする際、貼り合わせ位置として許容できる範囲内、すなわち許容誤差の範囲内に位置決めされているか否かを、第１アライメントマーク１１と、第２アライメントマーク１２との位置関係を確認（視認）だけで判断することができるので、効率的な位置決めが可能である。   Further, in the present embodiment, when positioning the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a, whether or not the positioning is within the allowable range as the bonding position, that is, within the allowable error range, is determined with the first alignment mark 11. Since the positional relationship with the second alignment mark 12 can be determined only by confirmation (visual recognition), efficient positioning is possible.

また、上記の構成によれば、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとが最適な位置、つまり設計通り、に位置決めできていなかったとしても、許容誤差の範囲内に位置決めされているか否かを確認することができるので、上記したようにパッケージの大量生産を行う場合に、従来の構成と比較して、効率的な位置決めを行うことができるので、例えば、性能に影響を及ぼす程度の位置ズレではないにもかかわらず、位置決めをやり直してしまうということを避けることができる。よって、生産性の向上に寄与できる。   Further, according to the above configuration, it is confirmed whether or not the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are positioned within an allowable error range even if the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a are not positioned as designed. As described above, when mass production of packages is performed as described above, the positioning can be performed more efficiently as compared with the conventional configuration. For example, the positional deviation does not affect the performance. Nevertheless, re-positioning can be avoided. Therefore, it can contribute to the improvement of productivity.

尚、本実施形態では、第１アライメントマーク１１と、第２アライメントマーク１２とを、図５に示す領域Ａ及び領域Ｂの２つに設けたが、本発明はこれに限定されるものではなく、図８に示すように、領域Ａ及び領域Ｂに加えて、領域Ｃ及び領域Ｄにも領域Ａ及び領域Ｂと同様に設ける構成であってもよい。このように構成することによって、より一層正確に位置決めを行うことができるが、本実施形態で説明したように、領域Ａ及び領域Ｂの２つに設ける構成とすれば、領域Ａ〜領域Ｄの４つ設ける構成と比較して、部材点数を少なくすることができ、パッケージの製造工程及び製造コストを抑えることができる。   In the present embodiment, the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are provided in two areas A and B shown in FIG. 5, but the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 8, in addition to the region A and the region B, the region C and the region D may be provided similarly to the region A and the region B. With this configuration, positioning can be performed more accurately. However, as described in the present embodiment, if the configuration is provided in two of the region A and the region B, the region A to the region D The number of members can be reduced as compared with the configuration of four, and the manufacturing process and manufacturing cost of the package can be suppressed.

また、本実施形態では、図４に示したように、液晶ドライバ３に十字形状の第１アライメントマーク１１を設け、インターポーザ基板４ａに４つの正方形からなる第２アライメントマーク１２を設けた構成としている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとにそれぞれ逆のアライメントマークを設けても良い。   In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the liquid crystal driver 3 is provided with a cross-shaped first alignment mark 11, and the interposer substrate 4a is provided with four square second alignment marks 12. . However, the present invention is not limited to this, and opposite alignment marks may be provided on the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a.

さらに、本発明では、液晶ドライバ３の領域Ａに上記十字形状のアライメントマークを設ける一方、液晶ドライバ３の領域Ｂには、インターポーザ基板４ａに設けた４つの正方形からなるアライメントマークを設けても良い。この場合、インターポーザ基板４ａの領域Ｂには、上記十字形状のアライメントマークを設ければよい。このように構成すれば、位置決めの前にインターポーザ基板４ａに液晶ドライバ３を載置した際、たとえ液晶ドライバ３の向きを図４の紙面上下逆さにしてインターポーザ基板４ａに載置したとしても、対向するアライメントマークが適合しないので、載置ミスであることが判り、位置決めする前に、載置し直すことができる。   Further, in the present invention, the cross-shaped alignment mark is provided in the area A of the liquid crystal driver 3, while the alignment mark composed of four squares provided on the interposer substrate 4 a may be provided in the area B of the liquid crystal driver 3. . In this case, the cross-shaped alignment mark may be provided in the region B of the interposer substrate 4a. With this configuration, when the liquid crystal driver 3 is placed on the interposer substrate 4a before positioning, even if the liquid crystal driver 3 is placed on the interposer substrate 4a with the orientation of the liquid crystal driver 3 turned upside down in FIG. Since the alignment mark to be fitted does not fit, it is known that the placement is wrong and can be placed again before positioning.

次に、本実施形態における液晶ドライバ実装パッケージ１を備えた液晶ドライバ実装表示装置（画像表示装置）を、図１２に基づいて説明する。   Next, a liquid crystal driver mounting display device (image display device) including the liquid crystal driver mounting package 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図１２は、本発明の一実施形態である液晶ドライバ実装表示装置の構成を示した斜視図である。本実施形態における液晶ドライバ実装表示装置５１は、図１２に示すように、液晶表示手段（画像表示体）５２と、液晶ドライバ３がインターポーザ基板４ａを介してテープキャリア２に実装された液晶ドライバ実装パッケージ１とを備えている。液晶ドライバ実装パッケージ１において、テープキャリア２には出力端子部４５と入力端子部４６が形成されている。   FIG. 12 is a perspective view showing a configuration of a liquid crystal driver mounted display device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 12, the liquid crystal driver mounting display device 51 in this embodiment includes a liquid crystal display means (image display body) 52 and a liquid crystal driver mounting in which the liquid crystal driver 3 is mounted on the tape carrier 2 via the interposer substrate 4a. Package 1. In the liquid crystal driver mounting package 1, an output terminal portion 45 and an input terminal portion 46 are formed on the tape carrier 2.

上記液晶表示手段５２は、アクティブマトリクス基板２５と、液晶層２６と、対向電極が形成された対向基板２７と、が設けられた構成となっている。   The liquid crystal display means 52 has a configuration in which an active matrix substrate 25, a liquid crystal layer 26, and a counter substrate 27 on which a counter electrode is formed are provided.

アクティブマトリクス基板２５は、図１２に示すように、ガラス基板２０と、その上に形成された信号配線２１、画素２４などを有している。画素２４は、スイッチング素子である薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと称す）２２、画素電極２３などから構成されており、画素２４はＸＹマトリクス状（二次元行列状）に配置されている。そして、ＴＦＴ２２のデータ電極およびゲート電極はそれぞれデータ電極線２１ａおよびゲート電極線２１ｂに接続されている。   As shown in FIG. 12, the active matrix substrate 25 includes a glass substrate 20, a signal wiring 21, a pixel 24, and the like formed thereon. The pixel 24 includes a thin film transistor (hereinafter referred to as TFT) 22 which is a switching element, a pixel electrode 23, and the like, and the pixel 24 is arranged in an XY matrix (two-dimensional matrix). The data electrode and the gate electrode of the TFT 22 are connected to the data electrode line 21a and the gate electrode line 21b, respectively.

さらに、データ電極線２１ａおよびゲート電極線２１ｂは、それぞれアクティブマトリクス基板２５の列方向および行方向に延びており、ガラス基板２０の端部においてそれぞれの電極線を駆動する複数の液晶ドライバに接続されている。なお、以下の説明においては便宜上、図１２に示したデータ電極線２１ａ側の構成についてのみ説明を行うが、ゲート電極線２１ｂ側も同様の構成とできることは明らかである。   Further, the data electrode line 21 a and the gate electrode line 21 b extend in the column direction and the row direction of the active matrix substrate 25, respectively, and are connected to a plurality of liquid crystal drivers that drive the respective electrode lines at the end of the glass substrate 20. ing. In the following description, only the configuration on the data electrode line 21a side shown in FIG. 12 will be described for the sake of convenience, but it is obvious that the gate electrode line 21b side can also have the same configuration.

データ電極線２１ａはガラス基板２０の端部まで延伸され、ここで液晶ドライバ実装パッケージ１の出力端子部４５に設けられた駆動信号出力用端子と接続される。この接続は、例えば出力端子部４５に所定のピッチで形成された駆動信号出力用端子と、同じピッチでガラス基板２０の端部に形成された複数のデータ電極線を、ＡＣＦを介して重ね合わせて熱圧着することによって実施できる。   The data electrode line 21 a extends to the end of the glass substrate 20 and is connected to a drive signal output terminal provided in the output terminal portion 45 of the liquid crystal driver mounting package 1. For this connection, for example, a drive signal output terminal formed at a predetermined pitch on the output terminal portion 45 and a plurality of data electrode lines formed at the end of the glass substrate 20 at the same pitch are overlapped via the ACF. This can be done by thermocompression bonding.

一方、液晶ドライバ実装パッケージ１の入力端子部４６に設けられた信号入力用端子は、外部配線基板４７上に設けられた配線と接続されている。外部配線基板４７上の配線は表示データ等の制御信号や電源電位を供給し、これがテープキャリア２及びインターポーザ基板４ａを介して液晶ドライバ３に伝達される。   On the other hand, the signal input terminal provided in the input terminal portion 46 of the liquid crystal driver mounting package 1 is connected to the wiring provided on the external wiring board 47. The wiring on the external wiring board 47 supplies a control signal such as display data and a power supply potential, which are transmitted to the liquid crystal driver 3 through the tape carrier 2 and the interposer board 4a.

上記表示データをもとに液晶ドライバ３で生成された駆動信号は、インターポーザ基板４ａを介して液晶ドライバ実装パッケージ１の駆動信号出力用端子に出力されるので、これがデータ電極線２１ａに伝達されて対応する画素２４の点灯をコントロールすることができる。   The drive signal generated by the liquid crystal driver 3 based on the display data is output to the drive signal output terminal of the liquid crystal driver mounting package 1 via the interposer substrate 4a, and is transmitted to the data electrode line 21a. The lighting of the corresponding pixel 24 can be controlled.

上述したように本発明による液晶ドライバ実装パッケージ１においては、多出力化、あるいは小型化のためファインピッチ化された端子を持つ液晶ドライバ３を実装する際にも、インターポーザ基板４ａを介することによって信頼性を低下させることなく端子ピッチを広いピッチに変換できるので、フィルム基材（テープキャリア）上の配線ピッチは既存の技術から大きく変更する必要が無い。従って、既存の工程を変更することなく液晶ドライバ実装表示装置の組み立てが可能となるため、充分な信頼性を確保しながら、液晶ドライバ実装表示装置の高性能化や低コスト化を実現することが可能となる。   As described above, in the liquid crystal driver mounting package 1 according to the present invention, even when the liquid crystal driver 3 having terminals that are fine pitched for multi-output or miniaturization is mounted, the reliability is achieved through the interposer substrate 4a. Since the terminal pitch can be converted to a wide pitch without deteriorating the properties, the wiring pitch on the film base (tape carrier) does not need to be changed greatly from the existing technology. Therefore, since it becomes possible to assemble a liquid crystal driver mounted display device without changing the existing process, it is possible to realize high performance and low cost of the liquid crystal driver mounted display device while ensuring sufficient reliability. It becomes possible.

なお、本実施形態では、アクティブマトリクス基板２５にはガラス基板２０を用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、透明基板であれば従来公知のものを用いてもよい。   In the present embodiment, the glass substrate 20 is used as the active matrix substrate 25, but the present invention is not limited to this, and a conventionally known substrate may be used as long as it is a transparent substrate.

また、本実施形態は、データ電極線側のドライバとして液晶ドライバ３を用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ゲート電極線側の液晶ドライバに用いてもよい。   In this embodiment, the liquid crystal driver 3 is used as the driver on the data electrode line side. However, the present invention is not limited to this, and may be used for the liquid crystal driver on the gate electrode line side.

また、本実施形態では、第１アライメントマークを駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ層で同じ材料とし、かつ第２アライメントマークをインターポーザ基板４ａ上に形成された配線導体と同じ層で同じ材料としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、第１アライメントマークを駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ層で同じ材料とし、かつ第２アライメントマークをインターポーザ基板４ａ上に形成された配線導体とは異なる層に金属材料で形成しても良い。また、例えば、第１アライメントマークを駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂとは異なる層に金属材料で形成し、第２アライメントマークをインターポーザ基板４ａ上に形成された配線導体と同じ層で同じ材料としても良い。   In the present embodiment, the first alignment mark is made of the same material in the same layer as the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b, and the second alignment mark is the same as the wiring conductor formed on the interposer substrate 4a. Although the same material is used for the layers, the present invention is not limited to this. For example, the first alignment mark is made of the same material in the same layer as the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b, and the second alignment mark is made of a metal material in a layer different from the wiring conductor formed on the interposer substrate 4a. May be formed. Further, for example, the first alignment mark is formed of a metal material in a layer different from the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b, and the second alignment mark is the same layer as the wiring conductor formed on the interposer substrate 4a. The same material may be used.

尚、本実施形態においては、液晶表示体を駆動すべく構成された液晶ドライバ実装パッケージとして説明したが、本発明のＩＣチップ実装パッケージは、これに限定されるものではない。すなわち、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示体の駆動素子や、各種携帯用電子機器などの装置内部に搭載される素子の実装用パッケージとして適用することが可能である。   In the present embodiment, the liquid crystal driver mounting package configured to drive the liquid crystal display is described. However, the IC chip mounting package of the present invention is not limited to this. That is, it can be applied as a package for mounting an element mounted in a device such as a drive element of an EL (electroluminescence) display body or various portable electronic devices.

〔実施の形態２〕
本発明に係る他の実施の形態について、図９に基づいて説明すれば以下の通りである。尚、本実施の形態では、上記実施の形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施の形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。 [Embodiment 2]
Another embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIG. In the present embodiment, in order to explain the differences from the first embodiment, for the sake of convenience of explanation, members having the same functions as those described in the first embodiment are denoted by the same member numbers. The description is omitted.

図９は、本実施形態の液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ３’及びインターポーザ基板４ｂのそれぞれが対向する面の構成を示した図であり、上記実施の形態１における図４と同じ状態を示した図である。   FIG. 9 is a diagram showing a configuration of the surfaces of the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b provided in the liquid crystal driver mounting package of the present embodiment, which are in the same state as FIG. 4 in the first embodiment. FIG.

上述したように、液晶ドライバ実装パッケージをはじめとするＩＣ実装パッケージの場合、実施の形態１で説明した液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの貼り合わせ位置の調整を行う以外に、液晶ドライバ３とインターポーザ基板４ａとの間の距離（ギャップ）を管理することも、製品精度の高い該パッケージを提供するためには好ましい。そこで、本実施形態では、上記液晶ドライバ３’の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面に、第１アライメントマーク１１とともに、第１ギャップ測定用部材１３を有している。さらに、本実施形態では、インターポーザ基板４ｂの液晶ドライバ接続用バンプ４０が配設された面に、第２アライメントマーク１２とともに、第２ギャップ測定用部材１４を有している。   As described above, in the case of an IC mounting package such as a liquid crystal driver mounting package, in addition to adjusting the bonding position between the liquid crystal driver 3 and the interposer substrate 4a described in the first embodiment, the liquid crystal driver 3 and the interposer Managing the distance (gap) between the substrate 4a is also preferable in order to provide the package with high product accuracy. Therefore, in the present embodiment, the first gap measuring member 13 is provided together with the first alignment mark 11 on the surface on which the input bump 30a and the output bump 30b of the liquid crystal driver 3 'are provided. Further, in the present embodiment, the second gap measurement member 14 is provided together with the second alignment mark 12 on the surface of the interposer substrate 4b on which the liquid crystal driver connection bumps 40 are disposed.

上記第１ギャップ測定用部材１３は、液晶ドライバ３’の入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面の、第１アライメントマーク１１が設けられていない対向する２つの角領域、及び、該配設面の長辺側の端部中央に形成されている。これについて、図１０を用いて説明する。   The first gap measurement member 13 includes two opposing corner areas where the first alignment marks 11 are not provided on the input bump 30a and output bump 30b arrangement surface of the liquid crystal driver 3 ′, and the arrangement surface. Is formed at the center of the end of the long side. This will be described with reference to FIG.

図１０は、本実施形態の液晶ドライバ実装パッケージから、液晶ドライバ３’及びインターポーザ基板４ｂを取り出した平面図であり、上記実施の形態１の図５と同じ状態を示している。上記第１ギャップ測定用部材１３は、図１０に示す領域Ｃ及び領域Ｄ、並びに、領域Ｅ及び領域Ｆに設けられている。領域Ｃ及び領域Ｄは、領域Ａ及び領域Ｂと同じく、液晶ドライバ３’の角から長辺の１０分の１までの間と、短辺の５分の１までの間で示される領域である。これらの領域Ｃ及び領域Ｄは、入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂと、インターポーザ基板４ａに設けられた液晶ドライバ接続用バンプ４０との接続を妨げない領域であるため、ここに第１ギャップ測定用部材１３を設けることが好ましい。   FIG. 10 is a plan view of the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4 b taken out from the liquid crystal driver mounting package of the present embodiment, and shows the same state as FIG. 5 of the first embodiment. The first gap measuring member 13 is provided in the region C and the region D, and the region E and the region F shown in FIG. Region C and region D are regions shown between the corner of the liquid crystal driver 3 ′ from the corner of the liquid crystal driver 3 ′ to one-tenth of the long side and up to one-fifth of the short side, like the regions A and B. . These regions C and D are regions that do not hinder the connection between the input bumps 30a and the output bumps 30b and the liquid crystal driver connection bumps 40 provided on the interposer substrate 4a. 13 is preferably provided.

上記第２ギャップ測定用部材１４は、図１０に示した液晶ドライバ３’の領域Ｃ及び領域Ｄ、並びに、領域Ｅ及び領域Ｆに対向する領域に配設されている。そして、インターポーザ基板４ｂの液晶ドライバ接続用バンプ４０配設面に対して垂直方向から第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４を観察したときに、両者が並んで観察されるように配設されている。   The second gap measuring member 14 is disposed in the regions C and D and the regions facing the regions E and F of the liquid crystal driver 3 ′ shown in FIG. 10. When the first gap measurement member 13 and the second gap measurement member 14 are observed from the direction perpendicular to the liquid crystal driver connection bump 40 arrangement surface of the interposer substrate 4b, both are observed side by side. It is arranged.

以下に、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４のより具体的な構成を、図１１を用いて説明する。   Below, the more concrete structure of the member 13 for a 1st gap measurement and the member 14 for a 2nd gap measurement is demonstrated using FIG.

図１１は、図９に示した液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとをそれぞれの対向面を対向させた状態で、図１０に示した領域Ｃ，Ｄ，ＥもしくはＦの領域を、インターポーザ基板４ｂの液晶ドライバ接続用バンプ４０配設面に対して垂直方向から観察したときの第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４の配設位置を示した平面図である。図１１に示すように、該垂直方向からみると、第１ギャップ測定用部材１３と第２ギャップ測定用部材１４とは互いに並んで配設されている。そして、両者の間には、所定の距離の間隔が設けられている。   FIG. 11 shows the region C, D, E, or F shown in FIG. 10 as the interposer substrate 4b in a state where the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b shown in FIG. 9 face each other. FIG. 6 is a plan view showing the arrangement positions of the first gap measurement member 13 and the second gap measurement member 14 when observed from the direction perpendicular to the liquid crystal driver connection bump 40 arrangement surface. As shown in FIG. 11, when viewed from the vertical direction, the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 are arranged side by side. And the space | interval of predetermined distance is provided between both.

上記第１ギャップ測定用部材１３は、駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３、を形成する工程で形成されることが好ましいことから、駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ層で、且つ駆動信号出力用端子３ａ及び信号入力用端子３ｂと同じ材料で構成されることが好ましい。また、第２ギャップ測定用部材１４についても、図示しない配線導体を形成する工程で形成されることが好ましいことから、配線導体と同じ層で、且つ配線導体と同じ材料で構成されることが好ましい。   Since the first gap measuring member 13 is preferably formed in the step of forming the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3, the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b It is preferable that the same layer and the same material as the drive signal output terminal 3a and the signal input terminal 3b are used. Further, the second gap measuring member 14 is preferably formed in the step of forming a wiring conductor (not shown), and therefore, preferably composed of the same layer as the wiring conductor and the same material as the wiring conductor. .

上記第１ギャップ測定用部材１３の高さ（つまり、入力バンプ３０ａ及び出力バンプ３０ｂ配設面からの高さ）、及び第２ギャップ測定用部材１４の高さ（液晶ドライバ接続用バンプ４０配設面からの高さ）は、各１μｍで設計することができる。   The height of the first gap measuring member 13 (that is, the height from the surface on which the input bump 30a and the output bump 30b are disposed), and the height of the second gap measuring member 14 (the liquid crystal driver connection bump 40 is disposed). The height from the surface can be designed at 1 μm each.

このような第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４に、上記実施の形態１で説明した第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２の検出で用いた光を照射することによって、両者の間の距離を求めることができる。具体的には、該光を第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４に照射して、該光の反射光に基づいて、例えば該光の出射部材や反射光の受光部材であったり、液晶ドライバ３’やインターポーザ基板４ａの上記対向面とは反対側の面から、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材までの各距離を求めることができる。そして、この距離に基づいて第１ギャップ測定用部材１３と第２ギャップ測定用部材１４との間の距離（ギャップ）を算出する。   By irradiating such first gap measurement member 13 and second gap measurement member 14 with the light used in the detection of the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 described in the first embodiment. The distance between the two can be obtained. Specifically, the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 are irradiated with the light, and based on the reflected light of the light, for example, the light emitting member or the reflected light receiving member. Or the distances from the surface of the liquid crystal driver 3 ′ or the interposer substrate 4a opposite to the facing surface to the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member. Based on this distance, the distance (gap) between the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 is calculated.

第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４の大きさ（該垂直方向からみたときの面積）としては特に制限はないが、上記したように光を反射させることによってギャップの距離を求める構成であるため、少なくとも１５μｍ２ の面積を有していることが好ましい。 The size of the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 (area when viewed from the vertical direction) is not particularly limited, but the gap distance can be determined by reflecting light as described above. Since it is a desired structure, it preferably has an area of at least 15 μm 2 .

また、上記のように第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４とのギャップの距離を反射光に基づいて求める構成であるため、本実施形態の液晶ドライバ実装パッケージでは、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４が配設されている箇所及びその周辺には、上記光を反射するような、もしくは、光の照射を妨げるような他の構成部材を配設しないことが好ましい。このような構成部材としては、金属を含有するものが挙げられる。   In addition, since the gap distance between the first gap measurement member 13 and the second gap measurement member 14 is obtained based on the reflected light as described above, the liquid crystal driver mounting package of the present embodiment has the first configuration. Other constituent members that reflect the light or prevent the light irradiation are disposed at and around the place where the gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 are disposed. Preferably not. Examples of such a constituent member include those containing metal.

以下に、図１１で示した各距離を、下記の表にまとめる。   The distances shown in FIG. 11 are summarized in the following table.

Figure 0004699494
Figure 0004699494

尚、表中のメタル設置禁止領域とは、上記光の照射を妨げるような他の構成部材の設置禁止領域のことである。 In addition, the metal installation prohibition area | region in a table | surface is an installation prohibition area | region of the other structural member which prevents irradiation of the said light.

以上のように、本実施形態の構成によれば、上記実施の形態１の効果に加え、貼り合わせ後の液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとの間の距離（ギャップ）を管理することができる。貼り合わせ後の液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとの間の距離（ギャップ）は、液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとの間でバンプ−バンプ接合されたバンプの高さに相当することから、貼り合わせ前の液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとにそれぞれ所定の高さのバンプを設けておけば、接合によって該バンプ同士がどれだけ潰れたか、すなわち接合状態を求めることができる。例えば、貼り合わせ前の液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとにそれぞれ７．５μｍの高さのバンプを設けておき、貼り合わせ後に、上記した手法で液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとのギャップの距離を求めた結果、１１μｍと求められた場合は、バンプ−バンプ接合によって４μｍほどバンプが潰れたことになる。この場合を、良好なバンプ−バンプ接合であると規定しておけば、他のパッケージ製造においてギャップの距離が１１μｍよりも大きければ、バンプ同士の接合性が悪いと判断できたり、ギャップの距離が１１μｍよりも小さい（例えば７μｍ）と求められた場合には、バンプ同士が設計よりも過剰に潰れたことになり、他の部材と不都合な接触を起こす虞があると判断することができる。   As described above, according to the configuration of the present embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the distance (gap) between the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b after bonding can be managed. . Since the distance (gap) between the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b after the bonding corresponds to the height of the bumps that are bump-bump bonded between the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b, If bumps having a predetermined height are provided on the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b before bonding, how much the bumps are crushed by bonding, that is, the bonding state can be obtained. For example, bumps having a height of 7.5 μm are respectively provided on the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b before bonding, and after bonding, the gap between the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b is increased by the above-described method. As a result of obtaining the distance, when it is obtained as 11 μm, the bump is crushed by about 4 μm by the bump-bump bonding. If this case is defined as good bump-bump bonding, if the gap distance is larger than 11 μm in other package manufacturing, it can be determined that the bonding property between the bumps is poor, or the gap distance is If it is determined to be smaller than 11 μm (for example, 7 μm), the bumps are crushed excessively than the design, and it can be determined that there is a possibility of causing inconvenient contact with other members.

尚、本実施形態では、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４を、図１０に示す領域Ｃ及び領域Ｄ、並びに領域Ｅ及び領域Ｆに設けているが、本発明はこれに限定されるものではなく、領域Ｃ及び領域Ｄのみ、もしくは領域Ｅ及び領域Ｆのみに設けた構成であってもよい。更には、上記した手法によって、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４を観察することができる位置であれば、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４を、領域Ｃ及び領域Ｄ、並びに領域Ｅ及び領域Ｆとは異なる位置に設けてもよい。例えば、第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２が形成されている領域Ａ及び領域Ｂに、第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２とともに形成してもよい。   In the present embodiment, the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 are provided in the region C and the region D, and the region E and the region F shown in FIG. However, the present invention is not limited thereto, and a configuration in which only the region C and the region D or only the region E and the region F are provided may be used. Further, if the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 can be observed by the above-described method, the first gap measuring member 13 and the second gap measuring member 14 are moved. , Region C and region D, and region E and region F may be provided at different positions. For example, the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 may be formed in the region A and the region B where the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are formed.

また、本実施形態では、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４を、第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２とともに設けた構成としているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１アライメントマーク１１及び第２アライメントマーク１２を設けず、第１ギャップ測定用部材１３及び第２ギャップ測定用部材１４のみを、液晶ドライバ３’とインターポーザ基板４ｂとの貼り合わせ状態を確認する手段として設けてもよい。   In the present embodiment, the first gap measurement member 13 and the second gap measurement member 14 are provided together with the first alignment mark 11 and the second alignment mark 12, but the present invention is not limited to this. The first alignment mark 11 and the second alignment mark 12 are not provided, and only the first gap measurement member 13 and the second gap measurement member 14 are bonded to the liquid crystal driver 3 ′ and the interposer substrate 4b. You may provide as a means to confirm a state.

なお、本発明は上述した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Such embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

〔本発明の参考〕[Reference of the present invention]
本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上述した課題を解決するために、ＩＣチップを、インターポーザ基板を介してパッケージ基材に実装したＩＣチップ実装パッケージであって、上記ＩＣチップは、上記インターポーザ基板との対向面に、電極と、ＩＣチップとインターポーザ基板との貼り合わせ位置を示す第１位置決め部材とを有しており、上記インターポーザ基板は、上記ＩＣチップとの対向面に、上記電極と電気的に接続するＩＣチップ側接続端子と、上記パッケージ基材と電気的に接続するパッケージ基材側接続端子とを有する配線導体、及び上記第１位置決め部材と対を成す第２位置決め部材を有しており、上記第１位置決め部材が、上記電極と同じ層に、該電極と同じ材料で形成されている、及び／または、上記第２位置決め部材が、上記配線導体と同じ層に、該配線導体と同じ材料で形成されていることを特徴としている。An IC chip mounting package according to the present invention is an IC chip mounting package in which an IC chip is mounted on a package base material via an interposer substrate in order to solve the above-described problem, and the IC chip is the interposer substrate. And an electrode and a first positioning member indicating a bonding position of the IC chip and the interposer substrate. The interposer substrate is disposed on the surface facing the IC chip. A wiring conductor having an IC chip side connection terminal that is electrically connected, a package base side connection terminal that is electrically connected to the package base, and a second positioning member that forms a pair with the first positioning member The first positioning member is formed in the same layer as the electrode and of the same material as the electrode; and / or the second position Determining member, in the same layer as the wiring conductors, it is characterized in that it is formed of the same material as the wiring conductors.

上記の構成によれば、位置決め部材を、従来のようにパッケージ製造のスループットを低下させることなく配設することが可能となり、よって、従来構成と比較して、製造コストの上昇を著しく抑制することができる。According to the above configuration, it becomes possible to dispose the positioning member without lowering the package manufacturing throughput as in the conventional case, and therefore, the increase in manufacturing cost is remarkably suppressed as compared with the conventional configuration. Can do.

また、本発明の構成によれば、上記第１位置決め部材を上記電極と同じ材料で形成する、及び／または上記第２位置決め部材を上記配線導体と同じ材料で形成している。すなわち、第１位置決め部材及び第２位置決め部材の少なくとも一方には、金属材料等の導電性材料が含まれている。そのため、ＩＣチップとインターポーザ基板との位置合わせを行う際、ＩＣチップとインターポーザ基板を透過する光（具体的には、赤外線レーザやエックス線）を用いて、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向部分に配置されている第１位置決め部材及び第２位置決め部材を検出し、ＩＣチップとインターポーザ基板との位置決めを行うことができる。具体的には、赤外線レーザやエックス線をＩＣチップもしくはインターポーザ基板の外部露出面側から第１位置決め部材及び第２位置決め部材に向けて照射することにより、赤外線レーザやエックス線は、ＩＣチップとインターポーザ基板を透過し、第１位置決め部材又は第２位置決め部材で反射して、上記外部露出面側に向けて出射される。この出射光を、検出装置で検出することによって、第１位置決め部材又は第２位置決め部材の位置を視認できる状態にすることができる。Moreover, according to the structure of this invention, the said 1st positioning member is formed with the same material as the said electrode, and / or the said 2nd positioning member is formed with the same material as the said wiring conductor. That is, at least one of the first positioning member and the second positioning member includes a conductive material such as a metal material. For this reason, when aligning the IC chip and the interposer substrate, the light transmitted through the IC chip and the interposer substrate (specifically, an infrared laser or an X-ray) is used to be disposed on the opposite portion of the IC chip and the interposer substrate. It is possible to detect the first positioning member and the second positioning member, and to position the IC chip and the interposer substrate. Specifically, the infrared laser and X-rays irradiate the IC chip and interposer substrate by irradiating the first positioning member and the second positioning member from the externally exposed surface side of the IC chip or interposer substrate with the infrared laser and X-ray. The light is transmitted, reflected by the first positioning member or the second positioning member, and emitted toward the external exposed surface. By detecting the emitted light with a detection device, the position of the first positioning member or the second positioning member can be made visible.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記第１位置決め部材と上記第２位置決め部材とが異なる形状であり、上記ＩＣチップとインターポーザ基板とが最適な位置で貼り合わされたときにＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみると、上記第１位置決め部材及び第２位置決め部材は、互いが、上記貼り合わせ位置として許容できる範囲の距離ほど離間した位置で観察されるように設けられている。Further, in the IC chip mounting package according to the present invention, the first positioning member and the second positioning member have different shapes, and when the IC chip and the interposer substrate are bonded together at an optimum position, When viewed from the direction perpendicular to the surface facing the interposer substrate, the first positioning member and the second positioning member are observed at positions separated from each other by a distance that is permissible as the bonding position. Is provided.

例えば製造ラインにのせて製品の大量生産を行う場合、個々の製品がまさに設計値通りに製造されなければならないというものではなく、不具合が生じなければ、ある程度の許容誤差（これを公差と言うこともある）が許されている場合が多い。しかしながら、特許文献２に開示された位置決めの手法の場合、図１４の（ｃ）に示したパターンが観察されるか否か、すなわち、正確に位置合わせできたか否かという２択で位置決めを判断することしかできない。つまり特許文献２の構成の場合は、上記したような許容誤差を考慮することができない。そのため、特許文献２の構成では、大量生産を行うと規格外の製品を大量に生じてしまうことになる。ところが、本発明のＩＣチップ実装パッケージは、上記のように構成することによって、ＩＣチップとインターポーザ基板とを位置決めする際、貼り合わせ位置として許容できる範囲内、すなわち許容誤差の範囲内に位置決めされているか否かを、第１位置決め部材及び第２位置決め部材との位置関係を確認（視認）だけで判断することができるので、効率的な位置決めを行うことが可能となる。For example, when mass-producing products on a production line, individual products do not have to be manufactured exactly as designed, but if a defect does not occur, some tolerance (this is called tolerance) Are often allowed). However, in the case of the positioning method disclosed in Patent Document 2, the positioning is determined by two choices of whether or not the pattern shown in FIG. 14C is observed, that is, whether or not the alignment is correctly performed. I can only do it. That is, in the case of the configuration of Patent Document 2, the above-described allowable error cannot be considered. Therefore, in the configuration of Patent Document 2, if mass production is performed, non-standard products are produced in large quantities. However, when the IC chip mounting package of the present invention is configured as described above, the IC chip and the interposer substrate are positioned within the allowable range of bonding positions, that is, within the allowable error range. Since it is possible to determine whether or not there is only the positional relationship between the first positioning member and the second positioning member by confirmation (visual recognition), efficient positioning can be performed.

また、上記の構成によれば、ＩＣチップとインターポーザ基板とが最適な位置、つまり設計通り、に位置決めできていなかったとしても、許容誤差の範囲内に位置決めされているか否かを確認することができるので、上記したようにパッケージの大量生産を行う場合に、従来の構成と比較して、効率的な位置決めを行うことができるので、規格外品を大量に出すことなく、生産性の向上に寄与できる。Further, according to the above configuration, even if the IC chip and the interposer substrate are not positioned at the optimum positions, that is, as designed, it is possible to confirm whether or not they are positioned within the allowable error range. Therefore, when mass production of packages is performed as described above, the positioning can be performed more efficiently compared to the conventional configuration, so that productivity can be improved without producing a large number of non-standard products. Can contribute.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面が四角形であり、上記第１位置決め部材が、上記四角形の４つの角領域内に設けられていることが好ましい。In the IC chip mounting package according to the present invention, the surface of the IC chip facing the interposer substrate is a quadrangle, and the first positioning member is provided in the four corner regions of the quadrangle. preferable.

このように構成することによって、ＩＣチップとインターポーザ基板との電気的接続を妨げることなく、第１位置決め部材を設けることができる。具体的には、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記四角形の４つの角領域内に上記第１位置決め部材を設け、該４つの角領域と対向するインターポーザ基板上に上記第２位置決め部材を設けている。With this configuration, the first positioning member can be provided without hindering electrical connection between the IC chip and the interposer substrate. Specifically, in the IC chip mounting package according to the present invention, the first positioning member is provided in the four corner regions of the quadrangle, and the second positioning member is disposed on the interposer substrate facing the four corner regions. Provided.

また、ＩＣチップの全て（４つ）の角領域に第１位置決め部材を設けて位置決めを行うため、正確な位置決めを実現することができる。In addition, since the first positioning member is provided in all (four) corner regions of the IC chip for positioning, accurate positioning can be realized.

しかしながら、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、第１位置決め部材をＩＣチップの全て（４つ）の角領域に設ける構成に限定されるものではなく、上記第１位置決め部材を、上記四角形における中心を挟んで対向する２つの角領域内に設けてもよい。However, the IC chip mounting package according to the present invention is not limited to the configuration in which the first positioning member is provided in all (four) corner regions of the IC chip. It may be provided in two corner regions facing each other.

このように２つの角領域内に設ける構成とすれば、上記のように４つの角領域内に設ける構成と比較して、部材点数を少なくすることができ、パッケージの製造工程及び製造コストを抑えることができる。Thus, if it is set as the structure provided in two corner areas, compared with the structure provided in four corner areas as described above, the number of members can be reduced, and the manufacturing process and manufacturing cost of the package can be suppressed. be able to.

また、具体的な第１位置決め部材の配設位置としては、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面が長方形である場合、第１位置決め部材は、該長方形の角から、長方形の長辺の１０分の１の長さまでの範囲であって、且つ、該長方形の角から、長方形の短辺の５分の１の長さまでの範囲で示される領域内に設けることが好ましい。As a specific arrangement position of the first positioning member, when the surface of the IC chip facing the interposer substrate is a rectangle, the first positioning member has a rectangular long side from the corner of the rectangle. It is preferable that it is provided in a region that is a range of up to 1/10 length and that is indicated by a range from the corner of the rectangle to one fifth of the short side of the rectangle.

これにより、ＩＣチップとインターポーザ基板との電気的接続を妨げることなく、且つ第１位置決め部材（及び第２位置決め部材）を良好に観察することができる。Thereby, the first positioning member (and the second positioning member) can be observed well without disturbing the electrical connection between the IC chip and the interposer substrate.

更に、上記の構成において、上記ＩＣチップの上記対向面における中心を挟んで対向する２つの角領域内に設けられた上記第１位置決め部材の各々は、異なる形状を有していることが好ましい。具体的には、上記２つの角領域内のうちの一方の角領域内に設けられた上記第１位置決め部材の形状が、一方の角領域内に設けられた上記第１位置決め部材と対をなす上記第２位置決め部材と同じ形状であることが好ましい。Furthermore, in the above configuration, it is preferable that each of the first positioning members provided in the two corner regions facing each other across the center of the facing surface of the IC chip has a different shape. Specifically, the shape of the first positioning member provided in one of the two corner regions is paired with the first positioning member provided in the one corner region. The shape is preferably the same as that of the second positioning member.

上記の構成によれば、ＩＣチップとインターポーザ基板との位置合わせを行う際、インターポーザ基板（もしくはＩＣチップ）の向きを逆にしてＩＣチップ（もしくはインターポーザ基板）上に配置した場合であっても、対をなしていない第１位置決め部材と第２位置決め部材が対向することになるため、位置決めを行うことができない。すなわち、貼り合わせることができない。これにより、ＩＣチップの実装を誤ることなく正確に実装及び位置決めすることが可能となる。According to the above configuration, when positioning the IC chip and the interposer substrate, even if the interposer substrate (or IC chip) is placed on the IC chip (or interposer substrate) with the orientation reversed, Since the first positioning member and the second positioning member that are not paired face each other, positioning cannot be performed. That is, it cannot be bonded. This makes it possible to accurately mount and position the IC chip without making a mistake.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記第１位置決め部材と第２位置決め部材との間の上記距離を少なくとも２段階設け、そのうちの一方の距離は、許容誤差の限界を示し、他方の距離は、一方の距離よりも短く構成することが好ましい。In addition, the IC chip mounting package according to the present invention provides at least two stages of the distance between the first positioning member and the second positioning member, and one of the distances indicates a tolerance limit and The distance is preferably shorter than one distance.

これにより、ＩＣチップとインターポーザ基板との位置合わせを行う際、許容限界を超えているか否かを確認することができるだけでなく、位置決め精度を２段階で格付けすることができる。Thereby, when aligning the IC chip and the interposer substrate, it is possible not only to check whether or not the allowable limit is exceeded, but also to rank the positioning accuracy in two stages.

以上のような上記第１位置決め部材及び第２位置決め部材として、具体的には、第１位置決め部材及び第２位置決め部材の一方は、複数の位置決め体から構成されており、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみると、該位置決め体が、他方の位置決め部材を囲むように配された構成とすることができる。そして、上記の構成において、複数の上記位置決め体は、上記他方の位置決め部材を挟むようにして２対設けられており、上記２対のうちの一方の対は、位置決めの許容限界を示す距離ほど該他方の位置決め部材から離間しており、他方の対は、該距離よりも短い距離で該他方の位置決め部材から離間していることが好ましい。As the first positioning member and the second positioning member as described above, specifically, one of the first positioning member and the second positioning member is composed of a plurality of positioning bodies, and an IC chip, an interposer substrate, When viewed from a direction perpendicular to the opposing surface, the positioning body may be arranged so as to surround the other positioning member. In the above-described configuration, two pairs of the plurality of positioning bodies are provided so as to sandwich the other positioning member, and one of the two pairs has a distance that indicates a positioning tolerance limit. Preferably, the other pair is spaced from the other positioning member by a distance shorter than the distance.

このような構成の具体例としては、上記位置決め体が正方形であり、上記他方の位置決め部材は２つの長方形がそれぞれの中心で垂直に交差した十字形状であり、上記位置決め体は、上記十字形状の中心に上記正方形の１つの角を向けるように、上記十字形状の中心から分岐した部分と、該部分と隣り合う同じく該中心から分岐した部分との間のそれぞれに配置された構成がある。As a specific example of such a configuration, the positioning body has a square shape, the other positioning member has a cross shape in which two rectangles intersect each other vertically at the center, and the positioning body has the cross shape. There is a configuration in which one corner of the square is directed to the center, and is arranged between a portion branched from the center of the cross shape and a portion branched from the center adjacent to the portion.

また、上記のように半導体を透過する光を用いて第１位置決め部材及び第２位置決め部材を検出する場合、上記ＩＣチップ及びインターポーザ基板を上記垂直な方向からみたとき、上記第１位置決め部材及び第２位置決め部材の配設位置においては、材質に金属を含む部材は第１位置決め部材及び第２位置決め部材のみであることが好ましい。Further, when the first positioning member and the second positioning member are detected using the light transmitted through the semiconductor as described above, when the IC chip and the interposer substrate are viewed from the vertical direction, the first positioning member and the second positioning member are detected. In the position where the two positioning members are arranged, it is preferable that the members including metal in the material are only the first positioning member and the second positioning member.

これにより、第１位置決め部材及び第２位置決め部材を検出するために用いる、ＩＣチップ及びインターポーザ基板を透過する光が、他の部材によって反射されることによる測定誤差をなくし、正確な位置決めを行うことができる。This eliminates measurement errors caused by the light transmitted through the IC chip and the interposer substrate used for detecting the first positioning member and the second positioning member being reflected by other members, and performs accurate positioning. Can do.

しかしながら、上記した光による検出方法のほかにも、例えば、互いが接触するように上記ＩＣチップ及びインターポーザ基板の対向面から突出した導電性の突起を有しており、各突起には配線などの外部出力手段を備えておく構成であってもよい。However, in addition to the light detection method described above, for example, there are conductive protrusions protruding from the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate so that they are in contact with each other, and each protrusion has a wiring or the like. A configuration in which external output means is provided may also be used.

このように構成すれば、第１位置決め部材の上記突起及び第２位置決め部材の上記突起が接触したことを、外部出力手段を用いて外部で検知することができ、接触した場合には、位置決めの許容限界にあると判断することができる。If comprised in this way, it can detect outside using the external output means that the said protrusion of the 1st positioning member and the said protrusion of the 2nd positioning member contacted. It can be determined that it is within the allowable limit.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記電極と、上記ＩＣチップ側接続端子とはバンプを介して電気的に接続されており、上記ＩＣチップは、上記インターポーザ基板との対向位置に、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定するための第１ギャップ測定用部材を有しており、上記インターポーザ基板は、上記ＩＣチップとの対向位置に、第１ギャップ測定用部材と対を成す第２ギャップ測定用部材を有していることが好ましい。具体的には、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材が、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、並んで観察されるように設けられていることが好ましい。Further, in the IC chip mounting package according to the present invention, the electrode and the IC chip side connection terminal are electrically connected via bumps, and the IC chip is located at a position facing the interposer substrate. A first gap measuring member for measuring a gap between the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate; and the interposer substrate includes a first gap measuring member at a position facing the IC chip. It is preferable to have a pair of second gap measuring members. Specifically, the first gap measuring member and the second gap measuring member are provided so as to be observed side by side when viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. It is preferable.

上記の構成によれば、本発明のＩＣチップ実装パッケージは、インターポーザ基板の表面に対して平行な方向の位置合わせを行う以外に、ＩＣチップとインターポーザ基板との間の距離（ギャップ）を管理することができ、より正確な貼り合わせを実現することができる。According to the above configuration, the IC chip mounting package of the present invention manages the distance (gap) between the IC chip and the interposer substrate, in addition to performing alignment in the direction parallel to the surface of the interposer substrate. And more accurate bonding can be realized.

また、上記したように第１位置決め部材をＩＣチップの２つの角領域に設ける構成の場合には、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材を、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、上記ＩＣチップにおける上記２つの角領域内とは異なる２つの角領域内で観察される位置に配設することができる。In the case where the first positioning member is provided in the two corner regions of the IC chip as described above, the first gap measuring member and the second gap measuring member are opposed to the IC chip and the interposer substrate. When viewed from a direction perpendicular to the surface, the IC chip can be disposed at a position observed in two corner regions different from the two corner regions in the IC chip.

また、このような第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材の機能を、上記した第１位置決め部材及び第２位置決め部材が兼ねてもよい。In addition, the functions of the first gap measuring member and the second gap measuring member may serve as the first positioning member and the second positioning member.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上述した課題を解決するために、ＩＣチップを、インターポーザ基板を介してパッケージ基材に実装しており、上記ＩＣチップには、上記インターポーザ基板との対向面に電極が設けられており、上記インターポーザ基板には、上記電極と電気的に接続するＩＣチップ側接続端子と、上記パッケージ基材と電気的に接続するパッケージ基材側接続端子とを有する配線導体が設けられており、上記電極と、上記ＩＣチップ側接続端子とはバンプを介して電気的に接続されているＩＣチップ実装パッケージであって、上記ＩＣチップは、上記インターポーザ基板との対向位置に、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定するための第１ギャップ測定用部材を有しており、上記インターポーザ基板は、上記ＩＣチップとの対向位置に、第１ギャップ測定用部材と対を成す第２ギャップ測定用部材を有していることを特徴としている。In addition, in order to solve the above-described problem, the IC chip mounting package according to the present invention mounts an IC chip on a package base material via an interposer substrate, and the IC chip is connected to the interposer substrate. An electrode is provided on the opposing surface, and the interposer substrate has an IC chip side connection terminal electrically connected to the electrode and a package base side connection terminal electrically connected to the package base. A wiring conductor is provided, and the electrode and the IC chip side connection terminal are electrically connected via bumps, and the IC chip is opposed to the interposer substrate. A first gap measuring member for measuring the gap between the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate at the position; Serial interposer substrate to the opposing position between the IC chip is characterized by having a second gap measuring member which forms the first gap measuring member pair.

上記の構成とすれば、ＩＣチップとインターポーザ基板との間の距離（ギャップ）を管理することができ、ＩＣチップの電極と、インターポーザ基板のＩＣチップ側接続端子とが、バンプによって良好に接続できているかを判断することができる。With the above configuration, the distance (gap) between the IC chip and the interposer substrate can be managed, and the IC chip electrode and the IC chip side connection terminal of the interposer substrate can be connected well by the bumps. Can be determined.

すなわち、ＩＣチップの電極と、インターポーザ基板のＩＣチップ側接続端子とに設けられたバンプ（もしくはこれらのうちの一方に設けられたバンプ）は、その製造時において、該電極及び該ＩＣチップ側接続端子の上で（もしくはこれらのうちの一方の上で）所望の高さをもつように形成されるが、ＩＣチップとインターポーザ基板とが貼り合わされると、バンプは僅かに潰れてその高さが低くなる。しかしながら、ＩＣチップとインターポーザ基板との貼り合わせが良好ではない場合は、バンプが全く潰れなかったり、反対に過度に潰れたりすることになる。そこで、本発明によれば、これを、上記第１ギャップ測定用部材と対を成す第２ギャップ測定用部材を用いることによって、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定して判断することができる。That is, the bumps (or bumps provided on one of them) provided on the electrodes of the IC chip and the IC chip side connection terminals of the interposer substrate are connected to the electrodes and the IC chip side at the time of manufacture. It is formed to have a desired height on the terminal (or on one of them), but when the IC chip and the interposer substrate are bonded together, the bumps are slightly crushed and the height Lower. However, when the bonding between the IC chip and the interposer substrate is not good, the bumps are not crushed at all, or on the contrary, they are crushed excessively. Therefore, according to the present invention, this is determined by measuring the gap between the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate by using the second gap measuring member paired with the first gap measuring member. can do.

具体的には、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材が、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、並んで観察されるように配設されていることが好ましい。Specifically, the first gap measuring member and the second gap measuring member are arranged so as to be observed side by side when viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. It is preferable that

このように構成すれば、例えば、上記したような光を用いて第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材のそれぞれの表面の位置を検出し、その差を求めるという簡易な手法によって、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定することができる。If comprised in this way, the position of each surface of the member for 1st gap measurement and the member for 2nd gap measurement will be detected, for example using light as mentioned above, and the simple method of calculating | requiring the difference will be carried out, The gap between the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate can be measured.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面が四角形であり、上記第１ギャップ測定用部材は、上記四角形の４つの角領域内に設けられていることが好ましい。In the IC chip mounting package according to the present invention, the surface of the IC chip facing the interposer substrate is a quadrangle, and the first gap measuring member is provided in the four corner regions of the quadrangle. It is preferable.

このように構成することによって、ＩＣチップとインターポーザ基板との電気的接続を妨げることなく、第１ギャップ測定用部材を設けることができる。具体的には、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記四角形の４つの角領域内に上記第１ギャップ測定用部材を設け、該４つの角領域と対向するインターポーザ基板上に上記第２ギャップ測定用部材を設けている。With this configuration, the first gap measurement member can be provided without hindering electrical connection between the IC chip and the interposer substrate. Specifically, in the IC chip mounting package according to the present invention, the first gap measuring member is provided in the four corner regions of the square, and the second gap is formed on the interposer substrate facing the four corner regions. A measurement member is provided.

また、ＩＣチップの全て（４つ）の角領域に第１ギャップ測定用部材を設けてギャップを測定するため、正確な位置決めを実現することができる。In addition, since the first gap measurement member is provided in all (four) corner regions of the IC chip and the gap is measured, accurate positioning can be realized.

しかしながら、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、第１ギャップ測定用部材をＩＣチップの全て（４つ）の角領域に設ける構成に限定されるものではなく、上記第１ギャップ測定用部材を、上記四角形における中心を挟んで対向する２つの角領域内に設けてもよい。However, the IC chip mounting package according to the present invention is not limited to the configuration in which the first gap measurement member is provided in all (four) corner regions of the IC chip. You may provide in two corner | angular areas which oppose on both sides of the center in the said square.

このように２つの角領域内に設ける構成とすれば、上記のように４つの角領域内に設ける構成と比較して、部材点数を少なくすることができ、パッケージの製造工程及び製造コストを抑えることができる。Thus, if it is set as the structure provided in two corner areas, compared with the structure provided in four corner areas as described above, the number of members can be reduced, and the manufacturing process and manufacturing cost of the package can be suppressed. be able to.

また、具体的な第１ギャップ測定用部材の配設位置としては、上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面が長方形である場合、第１ギャップ測定用部材は、該長方形の角から、長方形の長辺の１０分の１の長さまでの範囲であって、且つ、該長方形の角から、長方形の短辺の５分の１の長さまでの範囲で示される領域内に設けることが好ましい。As a specific arrangement position of the first gap measuring member, when the surface of the IC chip facing the interposer substrate is rectangular, the first gap measuring member is rectangular from the corner of the rectangle. It is preferable to provide in the area | region shown in the range to the length of 1/10 of the long side of this, and the range from the corner | angular of this rectangle to 1/5 of the short side of a rectangle.

これにより、ＩＣチップとインターポーザ基板との電気的接続を妨げることなく、且つ第１位置決め部材（及び第２位置決め部材）を良好に観察することができる。Thereby, the first positioning member (and the second positioning member) can be observed well without disturbing the electrical connection between the IC chip and the interposer substrate.

また、本発明に係るＩＣチップ実装パッケージは、上記の構成において、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面の中心で観察される位置に配設されていることが好ましい。In the IC chip mounting package according to the present invention, the first gap measuring member and the second gap measuring member are viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. Sometimes, the IC chip and the interposer substrate are preferably disposed at a position observed at the center of the facing surface.

これにより、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面の中心においてもギャップを測定することができることから、より一層正確な貼り合わせを実現でき、良好な品質のＩＣチップ実装パッケージを提供することができる。As a result, the gap can be measured even at the center of the facing surface between the IC chip and the interposer substrate, so that more accurate bonding can be realized and an IC chip mounting package with good quality can be provided. .

また、上記したＩＣチップ実装パッケージに関して、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときの上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材の面積は、少なくとも１５μｍIn the IC chip mounting package described above, the area of the first gap measuring member and the second gap measuring member when viewed from the direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate is at least 15 μm. ２2 であることが好ましい。また、上記インターポーザ基板は、電気回路が形成された半導体基板であり、上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、半導体を透過する光を反射させる材料から構成されることが好ましい。It is preferable that The interposer substrate is a semiconductor substrate on which an electric circuit is formed, and the first gap measuring member and the second gap measuring member are preferably made of a material that reflects light that passes through the semiconductor. .

上記した面積にすることによって、例えば、上記のように半導体を透過する光を用いてギャップを測定する手法を採用した場合に、光を効果的に第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材でとらえることができるので、安定した測定データを収集することが可能となる。By using the above-described area, for example, when the method of measuring the gap using the light transmitted through the semiconductor as described above is employed, the light is effectively used for the first gap measurement member and the second gap measurement. Since it can be captured by a member, stable measurement data can be collected.

また、本発明は、上記した構成のＩＣチップ実装パッケージと、上記ＩＣチップ実装パッケージの上記パッケージ基材に接続され、上記ＩＣチップから出力される信号を用いて画像表示を行う表示画像表示体とを備えた表示画像表示体としても適用することができる。The present invention also provides an IC chip mounting package having the above-described configuration, and a display image display body that is connected to the package base of the IC chip mounting package and displays an image using a signal output from the IC chip. It is applicable also as a display image display body provided with.

上記の構成とすれば、信頼性の高い画像表示装置を提供することができる。With the above configuration, a highly reliable image display device can be provided.

本発明のＩＣチップ（液晶ドライバ等）実装パッケージは、ＩＣチップを、インターポーザ基板を介してテープキャリアに実装したＩＣチップ実装パッケージであって、ＩＣチップ及びインターポーザ基板の対向面に、両者を貼り合せる際に位置決めを行うための位置決め手段を有しており、対向面に対して垂直な方向からそれぞれに設けられた位置決め手段をみると、互いに、貼り合わせ位置として許容できる範囲の距離ほど離間した位置で観察される。このため、貼り合わせ位置として許容できる範囲内に位置決めされているか否かを、それぞれに設けられた位置決め手段の位置関係を確認（視認）だけで判断することができ、よって、効率的な位置決めが可能である。   The IC chip (liquid crystal driver or the like) mounting package of the present invention is an IC chip mounting package in which an IC chip is mounted on a tape carrier via an interposer substrate, and the both are bonded to the opposing surfaces of the IC chip and the interposer substrate. The positioning means for positioning at the time, and the positioning means provided respectively from the direction perpendicular to the facing surface are separated from each other by a distance that is acceptable as a bonding position. Observed at. For this reason, it is possible to determine whether or not the positioning is within the allowable range as the bonding position only by confirming (visually confirming) the positional relationship of the positioning means provided for each. Is possible.

従って、液晶表示体を駆動すべく構成された液晶ドライバ実装パッケージとして適用できるほか、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示体の駆動素子や、各種携帯用電子機器などの装置内部に搭載される素子の実装用パッケージとして適用することが可能である。   Therefore, it can be applied as a liquid crystal driver mounting package configured to drive a liquid crystal display body, as well as mounting elements for driving elements of EL (electroluminescence) display bodies and devices mounted in various portable electronic devices. It can be applied as a package.

本発明の第１の実施形態に係る液晶ドライバ実装パッケージの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the liquid crystal driver mounting package which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージを切断線Ａ−Ａ’において切断した状態を示した矢視断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the arrow line showing a state where the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 1 is cut along a cutting line A-A ′. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ及びインターポーザ基板の構成を示した斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a liquid crystal driver and an interposer substrate provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 1. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ及びインターポーザ基板のそれぞれの対向面の構成を示した図である。It is the figure which showed the structure of each opposing surface of the liquid crystal driver and interposer board | substrate provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ及びインターポーザ基板の構成を示した平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a liquid crystal driver and an interposer substrate provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 1. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた第１アライメントマーク及び第２アライメントマークの位置関係を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing a positional relationship between a first alignment mark and a second alignment mark provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 1. 図６に示した第２アライメントマークを構成する複数のマーク部材の位置関係を示した図である。It is the figure which showed the positional relationship of the some mark member which comprises the 2nd alignment mark shown in FIG. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ及びインターポーザ基板の構成を示した平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a liquid crystal driver and an interposer substrate provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 1. 本発明の他の実施形態に係る液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ及びインターポーザ基板のそれぞれの対向面の構成を示した図である。It is the figure which showed the structure of each opposing surface of the liquid crystal driver provided in the liquid crystal driver mounting package which concerns on other embodiment of this invention, and an interposer board | substrate. 図９に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた液晶ドライバ及びインターポーザ基板の構成を示した平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a configuration of a liquid crystal driver and an interposer substrate provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 9. 図９に示した液晶ドライバ実装パッケージに設けられた第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材の位置関係を示した図である。FIG. 10 is a diagram showing a positional relationship between a first gap measurement member and a second gap measurement member provided in the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 9. 図１に示した液晶ドライバ実装パッケージを備えた液晶ドライバ実装表示装置の構成を示した図である。It is the figure which showed the structure of the liquid crystal driver mounting display apparatus provided with the liquid crystal driver mounting package shown in FIG. 従来技術の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a prior art. 従来技術を示す図である。It is a figure which shows a prior art.

１ 液晶ドライバ実装パッケージ（ＩＣチップ実装パッケージ）
２ フィルム基材（パッケージ基材）
３，３’ 液晶ドライバ（ＩＣチップ）
３ａ 駆動信号出力用端子（電極）
３ｂ 信号入力用端子（電極）
４ａ，４ｂ インターポーザ基板
５，６ フィルム上配線
７ ソルダーレジスト
８ デバイスホール
１１ 第１アライメントマーク（第１位置決め部材）
１２ 第２アライメントマーク（第２位置決め部材）
１２ａ マーク部材
１２ａ−１〜１２ａ−４ マーク部材
１３ 第１ギャップ測定用部材
１４ 第２ギャップ測定用部材
１５ 充填材
２０ ガラス基板
２１ 信号配線
２１ａ データ電極線
２１ｂ ゲート電極線
２２ ＴＦＴ
２２ 薄膜トランジスタ
２３ 画素電極
２４ 画素
２５ アクティブマトリクス基板
２６ 液晶層
２７ 対向基板
３０ａ 入力バンプ
３０ｂ 出力バンプ
４０ 液晶ドライバ接続用バンプ
４１ フィルム基材接続用バンプ
４５ 出力端子部
４６ 入力端子部
４７ 外部配線基板
５１ 液晶ドライバ実装表示装置（画像表示装置）
５２ 液晶表示手段（画像表示体）

1 Liquid crystal driver mounting package (IC chip mounting package)
2 Film substrate (package substrate)
3,3 'LCD driver (IC chip)
3a Drive signal output terminal (electrode)
3b Signal input terminal (electrode)
4a, 4b Interposer substrates 5, 6 Wiring on film 7 Solder resist 8 Device hole 11 First alignment mark (first positioning member)
12 Second alignment mark (second positioning member)
12a Mark member 12a-1 to 12a-4 Mark member 13 First gap measuring member 14 Second gap measuring member 15 Filler 20 Glass substrate 21 Signal wiring 21a Data electrode line 21b Gate electrode line 22 TFT
22 Thin-film transistor 23 Pixel electrode 24 Pixel 25 Active matrix substrate 26 Liquid crystal layer 27 Counter substrate 30a Input bump 30b Output bump 40 Liquid crystal driver connection bump 41 Film substrate connection bump 45 Output terminal portion 46 Input terminal portion 47 External wiring substrate 51 Liquid crystal Driver-mounted display device (image display device)
52 Liquid crystal display means (image display)

Claims (7)

ＩＣチップを、インターポーザ基板を介してパッケージ基材に実装しており、
上記ＩＣチップには、上記インターポーザ基板との対向面に電極が設けられており、
上記インターポーザ基板には、上記電極と電気的に接続するＩＣチップ側接続端子と、上記パッケージ基材と電気的に接続するパッケージ基材側接続端子とを有する配線導体が設けられており、
上記電極と、上記ＩＣチップ側接続端子とはバンプを介して電気的に接続されているＩＣチップ実装パッケージであって、
上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向位置に、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面間のギャップを測定するための第１ギャップ測定用部材を有しており、
上記インターポーザ基板における上記ＩＣチップとの対向位置に、第１ギャップ測定用部材と対を成す第２ギャップ測定用部材を有しており、
上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、光を反射させる材料から構成され、且つ上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときの面積は少なくとも１５μｍ２であり、
上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、上記ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面の中心で観察される位置に配設されていることを特徴とするＩＣチップ実装パッケージ。 The IC chip is mounted on the package substrate via the interposer substrate,
The IC chip is provided with an electrode on the surface facing the interposer substrate,
The interposer substrate is provided with a wiring conductor having an IC chip side connection terminal electrically connected to the electrode and a package base side connection terminal electrically connected to the package base,
The electrode and the IC chip side connection terminal are IC chip mounting packages that are electrically connected via bumps,
A first gap measuring member for measuring a gap between the facing surfaces of the IC chip and the interposer substrate at a position facing the interposer substrate in the IC chip;
A second gap measuring member that forms a pair with the first gap measuring member at a position facing the IC chip on the interposer substrate;
The first gap measuring member and the second gap measuring member are made of a material that reflects light, and have an area of at least 15 μm when viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. 2 der is,
The first gap measuring member and the second gap measuring member are observed at the center of the facing surface between the IC chip and the interposer substrate when viewed from a direction perpendicular to the facing surface between the IC chip and the interposer substrate. mounting an IC chip package, wherein that you have been arranged at a position to be. 上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、ＩＣチップとインターポーザ基板との対向面に対して垂直な方向からみたときに、並んで観察されるように配設されていることを特徴とする請求項１に記載のＩＣチップ実装パッケージ。   The first gap measuring member and the second gap measuring member are arranged so as to be observed side by side when viewed from a direction perpendicular to the facing surface of the IC chip and the interposer substrate. The IC chip mounting package according to claim 1, wherein the package is an IC chip mounting package. 上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面は、四角形であり、
上記第１ギャップ測定用部材は、上記四角形の４つの角領域内に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のＩＣチップ実装パッケージ。 The surface facing the interposer substrate in the IC chip is a rectangle,
3. The IC chip mounting package according to claim 1, wherein the first gap measuring member is provided in four corner regions of the square. 4. 上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面は、四角形であり、
上記第１ギャップ測定用部材は、上記四角形における中心を挟んで対向する２つの角領域内に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のＩＣチップ実装パッケージ。 The surface facing the interposer substrate in the IC chip is a rectangle,
3. The IC chip mounting package according to claim 1, wherein the first gap measuring member is provided in two corner regions facing each other with a center in the quadrangle. 上記ＩＣチップにおける上記インターポーザ基板との対向面は、長方形であり、
上記角領域内とは、該長方形の角から、長方形の長辺の１０分の１の長さまでの範囲であって、且つ、該長方形の角から、長方形の短辺の５分の１の長さまでの範囲で示される領域内であることを特徴とする請求項３または４に記載のＩＣチップ実装パッケージ。 The surface facing the interposer substrate in the IC chip is a rectangle,
The inside of the corner area is a range from the corner of the rectangle to a length of 1/10 of the long side of the rectangle, and from the corner of the rectangle to a length of 1/5 of the short side of the rectangle. 5. The IC chip mounting package according to claim 3, wherein the IC chip mounting package is in an area indicated by the above range. 上記インターポーザ基板は、電気回路が形成された半導体基板であり、
上記第１ギャップ測定用部材及び第２ギャップ測定用部材は、半導体を透過する光を反射させる材料から構成されることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載のＩＣチップ実装パッケージ。 The interposer substrate is a semiconductor substrate on which an electric circuit is formed,
The first gap measuring member and the second gap measuring member, IC chip mounting according to any one of claims 1 to 5, characterized in that they are composed of a material that reflects the light transmitted through the semiconductor package. 請求項１から６の何れか１項に記載のＩＣチップ実装パッケージと、
上記ＩＣチップ実装パッケージの上記パッケージ基材に接続され、上記ＩＣチップから出力される信号を用いて画像表示を行う表示画像表示体とを備えたことを特徴とする画像表示装置。
The IC chip mounting package according to any one of claims 1 to 6 ,
An image display device comprising: a display image display body that is connected to the package base of the IC chip mounting package and displays an image using a signal output from the IC chip.
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