JP4699131B2 - Optical fiber laser, optical fiber amplifier, MOPA optical fiber laser - Google Patents
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本発明は、希土類添加光ファイバを用いた光ファイバレーザ及び光ファイバ増幅器に関し、特に、一旦出射したレーザ光が希土類添加光ファイバに戻り増幅された光(ASE)によって励起光源などの構成部材がダメージを受けることを防止でき、安全性及び寿命を向上させた光ファイバレーザ、光ファイバ増幅器及びMOPA方式光ファイバレーザに関する。 The present invention relates to an optical fiber laser and an optical fiber amplifier using a rare earth-doped optical fiber, and in particular, a component such as a pumping light source is damaged by light (ASE) which is once emitted from the laser light and returned to the rare earth-doped optical fiber. The present invention relates to an optical fiber laser, an optical fiber amplifier, and a MOPA type optical fiber laser that can prevent the occurrence of the damage and improve safety and lifetime.
レーザ光は、加工機や医療機器、測定器など様々な分野で利用されている。加工機の分野では、レーザ光が集光性に優れ、パワー密度の高い非常に小さなビームスポットが得られるため精密加工が可能なこと、また、レーザ加工が非接触加工であること、さらにレーザ光の吸収可能な高硬度の物質の加工も可能であることなどから、急速に用途が拡大している。特に、希土類添加光ファイバをレーザ媒質とした光ファイバレーザは、従来の固体レーザに比べて高効率化でき、装置がコンパクトにでき、さらにレーザ発振媒質と伝播媒質が同じにできるといった特徴を有しており、非常に高出力なkW級の光ファイバレーザが開発されている。 Laser light is used in various fields such as processing machines, medical equipment, and measuring instruments. In the field of processing machines, laser light is excellent in condensing performance, and a very small beam spot with high power density can be obtained, so that precision processing is possible, laser processing is non-contact processing, and laser light Because it is possible to process materials with high hardness that can be absorbed, the applications are expanding rapidly. In particular, an optical fiber laser using a rare earth-doped optical fiber as a laser medium has features such as higher efficiency than a conventional solid-state laser, a compact apparatus, and the same lasing medium and propagation medium. An extremely high output kW class optical fiber laser has been developed.
光ファイバレーザにおいて、前述したような高出力を実現するためには、希土類添加光ファイバに如何に多くの励起光を導入できるかが重要である。通常の希土類添加光ファイバの場合は、コアに励起光を導入するコア励起を行うことになるが、コア直径は数μm〜10μmと極小であるため、多くの励起光を導入するのは難しい。そこで、光ファイバレーザを構成する際にはダブルクラッド構造の光ファイバ(希土類添加ダブルクラッド光ファイバ)を用いたクラッド励起がよく用いられる。ダブルクラッド構造の光ファイバは、コアを囲むクラッドが第1クラッドとその外周を覆う第2クラッドとの2層構造になっており、第1クラッドはコアに対するクラッドとして機能するだけでなく、第1クラッド自身も第2クラッドをクラッドとしてコアの働きもする。また、第1クラッドは通常100μm以上の直径を有するので、比較的容易に多くの励起光を投入することが可能となる。 In order to realize the high output as described above in an optical fiber laser, it is important how much pumping light can be introduced into the rare earth-doped optical fiber. In the case of a normal rare earth-doped optical fiber, core excitation is performed by introducing excitation light into the core. However, since the core diameter is as small as several μm to 10 μm, it is difficult to introduce much excitation light. Therefore, when constructing an optical fiber laser, clad pumping using an optical fiber having a double clad structure (rare earth-doped double clad optical fiber) is often used. The optical fiber having a double clad structure has a two-layer structure in which a clad surrounding a core is a first clad and a second clad covering the outer periphery thereof. The first clad not only functions as a clad for the core but also the first clad. The cladding itself also functions as a core with the second cladding as a cladding. In addition, since the first cladding usually has a diameter of 100 μm or more, it becomes possible to inject a large amount of excitation light relatively easily.
第1クラッドに励起光を導入する手段としては、(1)主に希土類添加ダブルクラッドファイバの端面から励起光を入射する方法と、(2)希土類添加ダブルクラッドファイバの側面から励起光を入射する方法に大別される。 As means for introducing pump light into the first cladding, (1) a method in which pump light is mainly incident from the end face of the rare earth-doped double clad fiber, and (2) pump light is incident from the side surface of the rare earth-doped double clad fiber. Broadly divided into methods.
(1)希土類添加ダブルクラッドファイバの端面から励起光を入射する方法としては、例えば特許文献1に記載されているような光結合器を用いる方法がある。ここに開示されている光結合器を使用した光ファイバレーザ100の構成例を図1に示す。この光ファイバレーザ100において、光結合器103は、マルチモード光ファイバからなる7つの励起ポート102とこれらを溶融延伸して一体化することにより形成された1つの出射ポート104を有している。各励起ポート102には、励起光源101が接続されており、励起光源101から出射された励起光は出射ポート104から出射される。例えば、各励起光源101の出力が3Wであれば、合計21Wの励起パワーが得られることになる。この励起光は希土類添加ダブルクラッドファイバ105に入射される。この光結合器103の出射ポート104の直径が希土類添加ダブルクラッドファイバ105の第1クラッドの直径と同じかそれ以下であり、かつ、出射ポート104の開口数が希土類添加ダブルクラッドファイバ105の第1クラッドの開口数より小さければ、出射ポート104から出射される励起光を低損失で希土類添加ダブルクラッドファイバ105の第1クラッドへと入射することが可能となる。
(1) As a method for making excitation light incident from the end face of the rare earth-doped double clad fiber, there is a method using an optical coupler as described in
また、(2)希土類添加ダブルクラッドファイバの側面から励起光を入射する方法としては、例えば特許文献2に開示されている。ここに開示されている光結合器を使用した光ファイバレーザ110の構成例を図2に示す。この光ファイバレーザ110において、光結合器111の部分は、希土類添加ダブルクラッドファイバ105の一部の側面を加工することにより、第1クラッドが露出されており、その部分に端面が斜めに研磨された複数の励起ポート102が適当な角度をもって接合されて構成されている。接合の角度は、励起ポート102から出射され、希土類添加ダブルクラッドファイバ105の第1クラッドに入射される光が第1クラッドと第2クラッドの境界面で全反射しうる角度とすることで励起ポート102に接続された励起光源から出射される励起光を希土類添加ダブルクラッドファイバ105の第1クラッドに入射することが可能となる。また、希土類添加ダブルクラッドファイバ105の長手方向に複数の光結合器111を設けることで、多くの励起光を希土類添加ダブルクラッドファイバ105に入射可能となる。
Moreover, (2) As a method of making excitation light incident from the side surface of the rare earth-doped double clad fiber, for example, Patent Document 2 discloses. A configuration example of an
前記(1)又は(2)の方法によって、希土類添加ダブルクラッドファイバの第1クラッドに導入された励起光は、第1クラッド内を伝播しながらコアを横切ることになるが、の際にコアに添加された希土類イオンに吸収される。励起光を吸収した希土類イオンは、励起光とは異なる波長の自然放出光を放出し、この自然放出光のうちコアを伝播するものは、伝播しながら増幅され、ASE(Amplified Spontaneous Emission)として出力される。 The excitation light introduced into the first clad of the rare earth-doped double clad fiber by the method (1) or (2) crosses the core while propagating in the first clad. Absorbed by the added rare earth ions. The rare earth ions that have absorbed the excitation light emit spontaneous emission light having a wavelength different from that of the excitation light, and the spontaneous emission light that propagates through the core is amplified while propagating and output as ASE (Amplified Spontaneous Emission). Is done.
一方、希土類添加ダブルクラッドファイバ105の両端には、ファイバグレーディングが設けられている。レーザ出射側に設けられているファイバグレーディングは、出力カプラ107であり、これは希土類添加ダブルクラッドファイバ105から放出される自然放出光のうちの一部の波長の光を反射する特性を有するが、その反射率は100%ではなく、所望の出力が得られるように適当な反射率を有するものである。また、その他端に設けられているファイバグレーディングは、高反射ミラー106であり、出力カプラ107と同じ反射波長を有するが、その反射率はほぼ100%であり、かつ励起光波長に対しては何の作用もしないものである。これら高反射ミラー106と出力カプラ107とで共振器が構成されており、希土類添加ダブルクラッドファイバ105から出射されたASEは、このミラーで反射されて共振器内を往復し、希土類添加ダブルクラッドファイバ105を通過するたびに増幅され、やがてはレーザ発振し、レーザ光の一部は出力カプラ107を通過し、アイソレータ108を介してレーザ光として出力される。
On the other hand, fiber grading is provided at both ends of the rare earth-doped double
ただし、図1の構成では、励起ポートの数に限りがあるため、得られるレーザ出力パワーには限界がある。そこで図3に示すように、光ファイバレーザ100から出力されたレーザ光をさらに光ファイバ増幅器200に導入し、増幅することで高出力化を行う場合もある。このような方式は、一般にMOPA(Master Oscillator Power Amplifier)方式と呼ばれ、図3ではMO(Master Oscillator)として光ファイバレーザ100を使用し、PA(Power Amplifier)として光ファイバ増幅器200を使用している。この光ファイバ増幅器200は、複数の励起光源201と、これらの励起光源201の励起ポート102を束ねて希土類添加ダブルクラッドファイバ205の一端側に入射する光結合器203と、希土類添加ダブルクラッドファイバ205と、その他端側に接続されたアイソレータ208とから構成されている。この励起光源201、希土類添加ダブルクラッドファイバ205、アイソレータ208は、光ファイバレーザ100に使用したものと同様のものが使用できる。光結合器203は、光ファイバレーザ100に使用した光結合器103の励起ポート102の一つが信号ポート202に置き換えられたもので、この信号ポート202にはシングルモードファイバが使用されている。光ファイバレーザ100から出射されたレーザ光は、信号ポート202から入射され、光結合器203を介して希土類添加ダブルクラッドファイバ205のコアへと入射される。一方で各励起ポート102には励起光源201が接続されており、励起光が光結合器203を介して希土類添加ダブルクラッドファイバ205の第1クラッドへと入射される。希土類添加ダブルクラッドファイバ205の第1クラッドへと入射された励起光は、コアに添加された希土類イオンに吸収され、誘導放出が生じることでコア内を伝播するレーザ光が増幅されて出力される。
However, since the number of excitation ports is limited in the configuration of FIG. 1, the laser output power obtained is limited. Therefore, as shown in FIG. 3, the laser light output from the
このようなMOPA方式は、図2に示す構成においても有効であるが、図2の構成の場合は光ファイバレーザ110を複数段接続することでも高出力化を行うことができる。
図1から図3に示した従来の光ファイバレーザでは、一旦出射されたレーザ光が何らかの原因で反射光(例えば、加工用に用いるレーザでは加工時の加工対象物からの反射光)として戻ってきた場合、その戻り光はアイソレータ108,208で一旦強度が落ちるものの、透過した一部のレーザ光が希土類添加ダブルクラッドファイバ105,205を通過することで増幅される。この増幅された反射光の強度は、出力されるレーザ光と同等の強度になる可能性があり、また、レイリー散乱やブリルアン散乱などの散乱により戻り光が発生した場合も、戻り光が希土類添加ダブルクラッドファイバ105,205を通過しながら増幅され、レーザ光と同等の強度になる可能性があり、そのような高強度のレーザ光が光結合器103,203に入射する。
In the conventional optical fiber laser shown in FIGS. 1 to 3, once emitted laser light returns for some reason as reflected light (for example, a laser used for processing is reflected light from an object to be processed during processing). In this case, the intensity of the returned light is temporarily reduced by the
図1に示した光ファイバレーザ100の場合、増幅されて光結合器103に入射した反射光は、各励起ポート102にほぼ均等に分配されてそれぞれ励起光源101に到達し、励起光源101に致命的なダメージを与える。一方、図3に示した光ファイバレーザの場合は、光結合器203に入射した反射光のほとんどが信号ポートを伝播し、光ファイバレーザ100に入射するため、光ファイバレーザ100内の光学部品や励起光源にダメージを与える。また、反射光の一部は、希土類添加ダブルクラッドファイバ205と光結合器203の接続損失によってコアから漏れ出して励起光源201にも到達するため、励起光源201に致命的なダメージを与える。特にパルス発振させる場合には、平均パワーは低くてもパルスの尖頭値は極めて高いパワーを有するので、励起光源101、201にダメージを与える可能性が非常に高い。
In the case of the
一般に、励起光源101,201は、それから出射する光の波長とは異なる波長の光が入射する場合、出射パワーのわずか数%程度の光が入射しただけでもダメージを受ける場合がある。
In general, when light having a wavelength different from the wavelength of light emitted from the
図1に示した光ファイバレーザ100では、レーザ光は高反射ミラー106でほとんど反射されるが、それ以外の波長の光はまったく反射されない。従って、レーザ光とは別に発生しているASE光は、高反射ミラー106では反射されずに、光結合器103を介して励起光源101に入射され、励起光源101にダメージを与えてしまう場合があった。
In the
さらに、図3に示したMOPA方式の光ファイバレーザの場合には、動作上、光ファイバレーザ100がレーザ光を出力していない状態あるいは出力が低下している状態で光ファイバ増幅器200だけが動作している状態になる場合があった。このような状況では、光ファイバ増幅器200中の希土類添加ダブルクラッドファイバ205から高強度のASEが光ファイバの両方向に向かって放出されており、やはり光結合器203を介して励起光源201にダメージを与えてしまう場合があった。
Further, in the case of the MOPA type optical fiber laser shown in FIG. 3, only the
本発明は前記事情に鑑みてなされ、一旦出射したレーザ光が希土類添加光ファイバに戻り増幅されたASEによって励起光源などの構成部材がダメージを受けることを防止でき、安全性及び寿命を向上させた光ファイバレーザ、光ファイバ増幅器及びMOPA方式光ファイバレーザの提供を目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to prevent components such as an excitation light source from being damaged by the ASE that is once amplified and returned to the rare-earth-doped optical fiber, thereby improving safety and life. An object is to provide an optical fiber laser, an optical fiber amplifier, and a MOPA optical fiber laser.
前記目的を達成するため、本発明は、少なくともレーザ媒質である希土類添加光ファイバと、該希土類添加光ファイバを光励起する複数の励起光源と、各励起光源からの励起光を合わせて希土類添加光ファイバに入射する光結合器とを有し、希土類添加光ファイバに励起光を入射してレーザ発振を行う光ファイバレーザにおいて、前記光結合器に、希土類添加光ファイバから励起光源側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポートが設けられ、且つ該モニタポートを伝播する戻り光の強度を測定し、該光強度が所定値を超えた場合に前記励起光源の出力を減じて戻り光の増幅を防止する励起光源制御手段が設けられたことを特徴とする光ファイバレーザを提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides at least a rare earth-doped optical fiber that is a laser medium, a plurality of pumping light sources that optically pump the rare earth-doped optical fiber, and a pumping light from each pumping light source. In an optical fiber laser that performs laser oscillation by entering pump light into a rare earth-doped optical fiber, the optical coupler is configured to transmit return light from the rare earth-doped optical fiber toward the pump light source. A monitor port through which a part is propagated is provided, and the intensity of the return light propagating through the monitor port is measured, and when the light intensity exceeds a predetermined value, the output of the excitation light source is reduced to amplify the return light. An optical fiber laser is provided, which is provided with excitation light source control means for preventing the above.
本発明の光ファイバレーザにおいて、前記励起光源制御手段は、前記モニタポートに接続され前記戻り光の強度を測定する光検出器と、該光検出器からの光強度信号を入力し、光検出器で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号を発する判定回路と、該判定回路に接続され、異常信号を受けない状態では前記励起光源に駆動信号を発して発光させ、異常信号を受けた時点で駆動信号をシャットダウンする励起光源駆動回路とを有することが好ましい。 In the optical fiber laser according to the present invention, the excitation light source control means is connected to the monitor port and measures the intensity of the return light, and inputs a light intensity signal from the photodetector. A determination circuit that emits an abnormal signal when the intensity of light received at a light intensity exceeds a certain intensity, and connected to the determination circuit to emit a drive signal to the excitation light source to emit light when no abnormal signal is received. It is preferable to have an excitation light source drive circuit that shuts down the drive signal at the time.
本発明の光ファイバレーザにおいて、前記希土類添加光ファイバは、Yb,Er,Ho,Tmからなる群から選択される1種又は2種以上が添加されたコアと該コアを囲む第1クラッドと該第1クラッドの外側に設けられた第2クラッドとを有する希土類添加ダブルクラッドファイバであることが好ましい。 In the optical fiber laser of the present invention, the rare earth-doped optical fiber includes a core doped with one or more selected from the group consisting of Yb, Er, Ho, and Tm, a first cladding surrounding the core, and the core A rare earth-doped double clad fiber having a second clad provided outside the first clad is preferable.
本発明の光ファイバレーザにおいて、前記希土類添加光ファイバの励起光入射側に、励起光は透過するがレーザ発振により生じたレーザ光は反射する高反射ミラーが設けられるとともに、希土類添加光ファイバのレーザ出力側に、レーザ発振により生じたレーザ光を大部分反射し一部透過する出力カプラが設けられ、前記高反射ミラーと出力カプラ間で共振器が構成されることが好ましい。 In the optical fiber laser of the present invention, a high reflection mirror that transmits the pump light but reflects the laser light generated by the laser oscillation is provided on the pump light incident side of the rare earth-doped optical fiber. It is preferable that an output coupler that reflects and partially transmits laser light generated by laser oscillation is provided on the output side, and a resonator is configured between the high reflection mirror and the output coupler.
また本発明は、少なくとも光増幅媒質である希土類添加光ファイバと、該希土類添加光ファイバを光励起する複数の励起光源と、各励起光源からの励起光及び信号光を合わせて希土類添加光ファイバに入射する光結合器とを有し、前記信号光を希土類添加光ファイバ内で光増幅して出力する光ファイバ増幅器において、前記光結合器に、希土類添加光ファイバから励起光源側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポートが設けられ、且つ該モニタポートを伝播する戻り光の強度を測定し、該光強度が所定値を超えた場合に前記励起光源の出力を減じて戻り光の増幅を防止する励起光源制御手段が設けられたことを特徴とする光ファイバ増幅器を提供する。 The present invention also includes at least a rare earth-doped optical fiber that is an optical amplifying medium, a plurality of pumping light sources that optically pump the rare earth-doped optical fiber, and a combination of pumping light and signal light from each pumping light source that is incident on the rare earth-doped optical fiber. In the optical fiber amplifier that amplifies and outputs the signal light in a rare earth-doped optical fiber, the optical coupler includes a return light that travels from the rare earth-doped optical fiber to the pumping light source side. A monitor port through which the light is propagated, and the intensity of the return light propagating through the monitor port is measured. When the light intensity exceeds a predetermined value, the output of the excitation light source is reduced to amplify the return light. An optical fiber amplifier is provided, which is provided with a pumping light source control means for preventing.
本発明の光ファイバ増幅器において、前記励起光源制御手段は、前記モニタポートに接続され前記戻り光の強度を測定する光検出器と、該光検出器からの光強度信号を入力し、光検出器で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号を発する判定回路と、該判定回路に接続され、異常信号を受けない状態では前記励起光源に駆動信号を発して発光させ、異常信号を受けた時点で駆動信号をシャットダウンする励起光源駆動回路とを有することが好ましい。 In the optical fiber amplifier of the present invention, the excitation light source control means is connected to the monitor port and measures the intensity of the return light, and inputs a light intensity signal from the light detector. A determination circuit that emits an abnormal signal when the intensity of light received at a light intensity exceeds a certain intensity, and connected to the determination circuit to emit a drive signal to the excitation light source to emit light when no abnormal signal is received. It is preferable to have an excitation light source drive circuit that shuts down the drive signal at the time.
本発明の光ファイバ増幅器において、前記希土類添加光ファイバは、Yb,Er,Ho,Tmからなる群から選択される1種又は2種以上が添加されたコアと該コアを囲む第1クラッドと該第1クラッドの外側に設けられた第2クラッドとを有する希土類添加ダブルクラッドファイバであることが好ましい。 In the optical fiber amplifier of the present invention, the rare earth-doped optical fiber includes a core doped with one or more selected from the group consisting of Yb, Er, Ho, and Tm, a first cladding surrounding the core, and the core A rare earth-doped double clad fiber having a second clad provided outside the first clad is preferable.
また本発明は、希土類添加光ファイバに励起光を入射してレーザ発振を行う光ファイバレーザと、少なくともレーザ媒質である希土類添加光ファイバと、該希土類添加光ファイバを光励起する複数の励起光源と、各励起光源からの励起光及び前記光ファイバレーザから発したレーザ光を合わせて希土類添加光ファイバに入射する光結合器とを有し、前記光ファイバレーザから発したレーザ光を増幅して出力するMOPA方式光ファイバレーザにおいて、前記光結合器に、希土類添加光ファイバから励起光源側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポートが設けられ、且つ該モニタポートを伝播する戻り光の強度を測定し、該光強度が所定値を超えた場合に前記励起光源の出力を減じて戻り光の増幅を防止する励起光源制御手段が設けられたことを特徴とするMOPA方式光ファイバレーザを提供する。 The present invention also includes an optical fiber laser that oscillates by entering pump light into a rare earth-doped optical fiber, at least a rare earth-doped optical fiber that is a laser medium, and a plurality of pump light sources that optically pump the rare-earth doped optical fiber, An optical coupler that combines the excitation light from each excitation light source and the laser light emitted from the optical fiber laser and enters the rare earth-doped optical fiber, and amplifies and outputs the laser light emitted from the optical fiber laser In the MOPA optical fiber laser, the optical coupler is provided with a monitor port through which a part of the return light from the rare earth-doped optical fiber toward the pumping light source is propagated, and the intensity of the return light propagating through the monitor port is set. Excitation light source control means is provided to prevent amplification of return light by measuring and reducing the output of the excitation light source when the light intensity exceeds a predetermined value. Providing MOPA fiber optic laser, characterized in that.
本発明のMOPA方式光ファイバレーザにおいて、前記励起光源制御手段は、前記モニタポートに接続され前記戻り光の強度を測定する光検出器と、該光検出器からの光強度信号を入力し、光検出器で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号を発する判定回路と、該判定回路に接続され、異常信号を受けない状態では前記励起光源に駆動信号を発して発光させ、異常信号を受けた時点で駆動信号をシャットダウンする励起光源駆動回路とを有することが好ましい。 In the MOPA optical fiber laser of the present invention, the excitation light source control means inputs a light intensity signal from the light detector connected to the monitor port and measuring the intensity of the return light, A determination circuit that emits an abnormal signal when the intensity of light received by the detector exceeds a certain intensity, and is connected to the determination circuit and emits a drive signal to the excitation light source to emit light when not receiving the abnormal signal. It is preferable to have an excitation light source drive circuit that shuts down the drive signal when it is received.
本発明のMOPA方式光ファイバレーザにおいて、前記希土類添加光ファイバは、Yb,Er,Ho,Tmからなる群から選択される1種又は2種以上が添加されたコアと該コアを囲む第1クラッドと該第1クラッドの外側に設けられた第2クラッドとを有する希土類添加ダブルクラッドファイバであることが好ましい。 In the MOPA optical fiber laser of the present invention, the rare earth-doped optical fiber includes a core doped with one or more selected from the group consisting of Yb, Er, Ho, and Tm, and a first cladding surrounding the core And a rare earth-doped double clad fiber having a second clad provided outside the first clad.
本発明のMOPA方式光ファイバレーザにおいて、前記光ファイバレーザの出力側と前記光結合器とを結ぶ信号ポートに設けられ光ファイバレーザから出力されるレーザ光の一部を分岐する光カプラと、該光カプラの分岐ポートに接続された第2の光検出器と、第2の光検出器からの光強度信号を入力し、第2の光検出器で受光する光強度が一定の強度より低くなると前記励起光源駆動回路に対して異常信号を発する第2の判定回路とが設けられた構成としてもよい。 In the MOPA-type optical fiber laser of the present invention, an optical coupler provided at a signal port connecting the output side of the optical fiber laser and the optical coupler to branch a part of the laser light output from the optical fiber laser, When a second light detector connected to the branch port of the optical coupler and a light intensity signal from the second light detector are input, and the light intensity received by the second light detector is lower than a certain intensity It is good also as a structure provided with the 2nd determination circuit which emits an abnormal signal with respect to the said excitation light source drive circuit.
本発明のMOPA方式光ファイバレーザにおいて、前記光ファイバレーザの出力側と前記光結合器とを結ぶ信号ポートに設けられ光ファイバレーザから出力されるレーザ光の一部を第1の分岐ポートに分岐するとともに、前記光結合器から前記光ファイバレーザに向かう戻り光を第2の分岐ポートに分岐する光カプラと、前記第1の分岐ポートに接続された第2の光検出器と、第2の光検出器からの光強度信号を入力し、第2の光検出器で受光する光強度が一定の強度より低くなると前記励起光源駆動回路に対して異常信号を発する第2の判定回路と、前記第2の分岐ポートに接続された第3の光検出器と、第3の光検出器で受光する光強度が一定の強度より大きくなると前記励起光源駆動回路に対して異常信号を発する第3の判定回路とが設けられた構成としてもよい。 In the MOPA type optical fiber laser of the present invention, a part of the laser light output from the optical fiber laser provided at the signal port connecting the output side of the optical fiber laser and the optical coupler is branched to the first branch port. And an optical coupler for branching return light from the optical coupler to the optical fiber laser to a second branch port, a second photodetector connected to the first branch port, and a second detector A second determination circuit that inputs a light intensity signal from a light detector and emits an abnormal signal to the excitation light source drive circuit when the light intensity received by the second light detector is lower than a certain intensity; A third photodetector connected to the second branch port, and a third detector for emitting an abnormal signal to the excitation light source driving circuit when the intensity of light received by the third photodetector is greater than a certain intensity. Judgment circuit It may be kicked configuration.
本発明のMOPA方式光ファイバレーザにおいて、前記励起光源駆動回路は、前記光ファイバレーザが出力されていない場合は、駆動信号を発することができないように構成されていることが好ましい。 In the MOPA optical fiber laser of the present invention, it is preferable that the excitation light source drive circuit is configured not to emit a drive signal when the optical fiber laser is not output.
本発明によれば、一旦出射したレーザ光が希土類添加光ファイバに戻り増幅されたASEによって励起光源などの構成部材がダメージを受けることを防止でき、安全性及び寿命を向上させた光ファイバレーザ、光ファイバ増幅器及びMOPA方式光ファイバレーザを提供することができる。 According to the present invention, an optical fiber laser that can prevent components such as a pumping light source from being damaged by ASE that has been amplified after the emitted laser light is returned to the rare earth-doped optical fiber, and has improved safety and life, An optical fiber amplifier and a MOPA optical fiber laser can be provided.
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態を図4に示す。
本実施形態の光ファイバレーザ300は、レーザ媒質である希土類添加ダブルクラッドファイバ105と、該ファイバを光励起する複数の励起光源101と、各励起光源101からの励起ポート102を希土類添加ダブルクラッドファイバ105に結合して励起光を入射する光結合器103と、この光結合器103に設けられ希土類添加ダブルクラッドファイバ105から励起光源101側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポート302と、このモニタポート302に接続されて戻り光の強度を測定する光検出器301と、該光検出器301からの光強度信号351を入力し、光検出器301で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号352を発する判定回路310と、該判定回路310に接続され、異常信号352を受けない状態では励起光源101に駆動信号350を発して発光させ、異常信号352を受けた時点で駆動信号350をシャットダウンする機能を有する励起光源駆動回路311とを備えて構成されている。
[First Embodiment]
A first embodiment of the present invention is shown in FIG.
The
この希土類添加ダブルクラッドファイバ105は、Yb,Er,Ho,Tmからなる群から選択される1種又は2種以上が添加されたコアと、該コアを囲む第1クラッドと、該第1クラッドの外側に設けられた第2クラッドとを有している。
The rare earth-doped double clad
この希土類添加ダブルクラッドファイバ105の励起光入射側には、励起光は透過するがレーザ発振により生じたレーザ光は反射する高反射ミラー106が設けられるとともに、レーザ出力側には、レーザ発振により生じたレーザ光を大部分反射し一部透過する出力カプラ107が設けられ、前記高反射ミラー106と出力カプラ107間で共振器が構成されている。
また、希土類添加ダブルクラッドファイバ105の出力側には、アイソレータ108が設けられている。
The rare earth-doped double clad
An
光結合器103による励起ポート102と希土類添加ダブルクラッドファイバ105の結合方式は、端面入射方式あるいは側面入射方式のいずれであってもよいし、これらを併用してもよい。
励起光源101としては、レーザダイオード(LD)などが好適に用いられるが、これに限定されない。
The coupling method of the
A laser diode (LD) or the like is preferably used as the
光検出器301は、例えば、モニタポート302を伝播してくるASEを受光して、受光した光強度が大きいほど高い電圧の電気信号を出力する機能を有するものが使用され、光通信分野等で従来公知の光検出器の中から適宜選択して使用し得る。この光検出器301は、モニタポート302を伝播してくるASEを受光すると、受光した光強度に応じた光強度信号351を出力し、その光強度信号は判定回路310へと送られる。
For example, a
励起光源駆動回路311は、励起光源101の駆動電流を決定する駆動信号350を出力しており、励起光源101は、この駆動信号350を受けて所定のパワーの励起光を出力する。レーザ発振時には、所望の強度のレーザ出力が得られるように駆動信号350が励起光源に送られる。
The excitation light
励起光源101が駆動信号350を受けて励起光を出力すると、レーザ発信が開始され、希土類添加ダブルクラッドファイバ105から出射されるASEが高反射ミラー106を通過し、光結合器103、励起ポート102を通過して励起光源101へと到達する。
When the
本実施形態では、このような励起光源101に入射する光強度をモニタするため、モニタポート302及び光検出器301を設けてある。モニタポート302には、励起ポート102と同等の強度の光(ASE)が伝搬するので、モニタポート302に接続された光検出器301に入射する光強度を観測することで、励起光源101に入射する光強度を知ることができる。
In the present embodiment, a
前述したように、励起光源101にある強度以上のレーザ光やASEが入射すると、励起光源101がダメージを受けるため、そのような強度の光が励起光源101に入射する場合、あるいはそのような強度に達する前に、直ちにレーザ発振を停止させることが必要である。
As described above, the
従って、判定回路310では、光検出器301から送られてくる光強度信号351が予め設定された判定レベルと比較されており、光強度信号351のレベルが判定レベルに達した時点で、異常信号352を出力する。判定レベルは、例えば、励起光源101がダメージを受ける光強度を光検出器が受光した際に出力する電気信号のレベルよりも僅かに低いレベルに設定される。すなわち光検出器301で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号352が出力される。
Therefore, in the
判定回路310から出力された異常信号352は、励起光源駆動回路311へと送られ、励起光源駆動回路311は異常信号352を受けると直ちに駆動信号350をシャットダウンする。駆動信号350がシャットダウンされると、励起光源101から出射される励起光はなくなり、レーザ発振も停止するので、励起光源101に入射するASEもなくなり、励起光源101がダメージを受けるのを回避することができる。
The
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態を図5に示す。
本実施形態は、MOPA方式光ファイバレーザを構成した場合であり、MOである光ファイバレーザ100と、PAである光ファイバ増幅器400と、判定回路410と、励起光源駆動回路411とから構成されている。この光ファイバ増幅器400は、レーザ媒質である希土類添加ダブルクラッドファイバ205と、該ファイバを光励起する複数の励起光源201と、各励起光源201からの励起ポート102及び光ファイバレーザ100から発したレーザ光を伝播する信号ポート202を希土類添加ダブルクラッドファイバ205に結合する光結合器203とを有し、光ファイバレーザ100から出力されたレーザ光を増幅して出力するようになっている。さらに、この光ファイバ増幅器400は、励起ポート102のうちの一つのポートをモニタポート402とし、このモニタポート402には光検出器401が接続されている。光検出器401で測定される光強度信号451は、判定回路410に入力され、判定回路410は異常信号452を励起光源駆動回路411に対して出力できるように接続されている。
[Second Embodiment]
A second embodiment of the present invention is shown in FIG.
This embodiment is a case where a MOPA type optical fiber laser is configured, and includes an
この希土類添加ダブルクラッドファイバ205は、Yb,Er,Ho,Tmからなる群から選択される1種又は2種以上が添加されたコアと、該コアを囲む第1クラッドと、該第1クラッドの外側に設けられた第2クラッドとを有している。
この希土類添加ダブルクラッドファイバ205の出力側には、アイソレータ208が設けられている。
The rare earth-doped double clad
An
光結合器203による励起ポート102及び信号ポート202と希土類添加ダブルクラッドファイバ205との結合方式は、端面入射方式あるいは側面入射方式のいずれであってもよいし、これらを併用してもよい。
励起光源201としては、レーザダイオード(LD)などが好適に用いられるが、これに限定されない。
The coupling method of the
A laser diode (LD) or the like is preferably used as the
励起光源駆動回路411は、光ファイバレーザ100の励起光源の駆動電流を決定する第1の駆動信号350を出力しており、光ファイバレーザ100の励起光源101は、この第1の駆動信号350を受けて所定のパワーの励起光を出力すると共に、励起光源201の駆動電流を決定する第2の駆動信号450を出力し、光ファイバ増幅器400の励起光源201はこの第2の駆動信号450を受けて所定のパワーの励起光を出力するようになっている。
The excitation light
光ファイバレーザ100は、第1の駆動信号350を受けてレーザ発振を開始し、レーザ光が信号ポート202、光結合器203を介して光ファイバ増幅器400の希土類添加ダブルクラッドファイバ205に入射される。一方、光ファイバ増幅器400は、第2の駆動信号450を受けて励起光源201から励起光が出力されており、この励起光は光結合器203を介して希土類添加ダブルクラッドファイバ205へと入射され、この希土類添加ダブルクラッドファイバ205のコアに添加された希土類イオンを励起している。従って、光ファイバレーザ100から出力され、光ファイバ増幅器400に入射されたレーザ光は、希土類添加ダブルクラッドファイバ205によって増幅され、高強度のレーザ光となって出力される。
The
しかし、前述したように、一旦出力されたレーザ光が何らかの原因で反射して戻ってきた場合には、アイソレータ208を通過する際に一旦強度が落ちるものの、希土類添加ダブルクラッドファイバ205を通過することで再度増幅される。この増幅された反射光の強度は、出力されるレーザ光の強度と同等の強度になる可能性があり、そのような高強度のレーザ光が光結合器203に入射する。光結合器203に入射したレーザ光は、殆どが信号ポート202を介して光ファイバレーザ100に入射し、残りのレーザ光は各励起ポート102にほぼ均等に分配されて励起光源201に到達し、励起光源201に致命的なダメージを与える場合がある。
However, as described above, when the laser beam once output is reflected and returned for some reason, it passes through the rare-earth-doped double clad
本実施形態のMOPA方式の光ファイバレーザは、このような励起光源201に入射する光強度をモニタするため、モニタポート402及び光検出器401を設けている。モニタポート402には、励起ポート102と同等の強度の光が伝播するので、モニタポート402に接続された光検出器401に入射する光強度を観測することで、励起光源201に入射する光強度を知ることができる。
The MOPA optical fiber laser of the present embodiment is provided with a
光検出器401は、例えば、モニタポート402を伝播してくるASEを受光して、受光した光強度が大きいほど高い電圧の電気信号を出力する機能を有するものが使用され、光通信分野等で従来公知の光検出器の中から適宜選択して使用し得る。この光検出器401は、モニタポート402を伝播してくるASEを受光すると、受光した光強度に応じた光強度信号451を出力し、その光強度信号451は判定回路410へと送られる。
For example, a
判定回路410は、図4に示した判定回路310と同じく、光検出器401から出力された光強度に応じた光強度信号451が判定レベルに達した時点で異常信号452を出力する。すなわち光検出器401で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号452が出力される。
Similar to the
励起光源駆動回路404は異常信号452を受けると直ちに第2の駆動信号450をシャットダウンする。第2の駆動信号450がシャットダウンされると、励起光源201から出射される励起光はなくなり、光ファイバ増幅器400は、光ファイバレーザ100から出力されるレーザ光を増幅しなくなる。従って、光ファイバレーザ100から出力されたレーザ光は、光ファイバ増幅器400内で各構成部品の損失によってその強度を低下させながら伝播し、レーザ光として出力される。もしこのレーザ光の全てが反射光として光ファイバ増幅器400に戻ってきたとしても、アイソレータ208でそのほとんどが遮断される。わずかに透過した反射光も、希土類添加ダブルクラッドファイバ205で増幅されることは無いので、励起光源201がダメージを受けることは無くなる。
Upon receiving the
なお、第2の駆動信号450をシャットダウンしても、光ファイバレーザ100はレーザ発振を続けているため、レーザは出力される。このレーザ出力が危険な強度である場合には、光ファイバレーザ100の励起光源の出力を停止する手段を別途設けてもよい。
Even if the
[第3実施形態]
本発明の第3実施形態を図6に示す。
本実施形態は、MOPA方式の光ファイバレーザを構成した場合であり、基本的な構成は図5に示した第2実施形態の光ファイバレーザと同じく、MOである光ファイバレーザ100と、PAである光ファイバ増幅器400と、判定回路410と、励起光源駆動回路511とを備えて構成されている。
[Third Embodiment]
A third embodiment of the present invention is shown in FIG.
This embodiment is a case where a MOPA type optical fiber laser is configured, and the basic configuration is the same as the optical fiber laser of the second embodiment shown in FIG. A certain
前述した通り、MOPA方式の光ファイバレーザの場合には、光ファイバレーザ100の故障や制御上、光ファイバレーザ100がレーザ光を出力していない状態、あるいは出力が低下している状態で、光ファイバ増幅器200,400だけが動作している状態になる場合があった。このような状況では、光ファイバ増幅器200,400中の希土類添加ダブルクラッドファイバ205から高強度のASEが光ファイバの両方向に向かって放出されており、やはり光結合器203を介して励起ポート102を通過し、励起光源201にダメージを与えてしまう場合がある。
As described above, in the case of the optical fiber laser of the MOPA system, the
これを回避するため、本実施形態では、図5に示したMOPA方式の光ファイバレーザの構成に加えて、光ファイバレーザ100と光ファイバ増幅器400の間に、光ファイバレーザ100から出力されるレーザ光の一部を分岐するための光カプラ520が設けられ、さらに分岐されたレーザ光を受光する第2の光検出器501および第2の判定回路510が新たに設けられている。
In order to avoid this, in the present embodiment, in addition to the configuration of the MOPA type optical fiber laser shown in FIG. 5, a laser output from the
光ファイバレーザ100からのレーザ光の出力は、その一部が光カプラ520で分岐されており、その分岐された光が第2の光検出器501に入力される。第2の光検出器501は、例えば、受光した光強度が大きいほど高い電圧の電気信号を出力する機能を有するものが使用され、光通信分野等で従来公知の光検出器の中から適宜選択して使用し得る。この第2の光検出器501は、光カプラ520で分岐されたレーザ光を受光すると、受光した光強度に応じた光強度信号551を出力し、その光強度信号551は第2の判定回路510へと送られる。
A part of the output of the laser light from the
第2の判定回路510では、第2の光検出器501から送られてくる光強度信号551を、あらかじめ設定された判定レベルと比較し、光強度信号551のレベルが判定レベルに達した時点で、励起光源駆動回路511に対して異常信号552を出力する。
The
判定レベルは、例えば、光ファイバレーザ100のレーザ出力が励起光源201にダメージを与えるような光強度まで低下した場合に、第2の光検出器501が受光した際に出力する電気信号のレベルよりもわずかに高いレベルに設定される。すなわち、光ファイバレーザ100のレーザ出力がある一定の光強度まで低下した際に、第2の判定回路510から異常信号552が出力される。励起光源駆動回路511は、この異常信号552を受けると、直ちに駆動信号550をシャットダウンする。駆動信号550がシャットダウンされると、励起光源201から出射される励起光はなくなるため、希土類添加ダブルクラッドファイバ205から発生するASEもなくなり、励起光源201がダメージを受けるのを回避することができる。
The determination level is, for example, based on the level of an electric signal output when the
一方で、光ファイバレーザ100の出力が無い場合あるいは低下している場合には、正常に動作している時と比べ、希土類添加ダブルクラッドファイバ205から出射されるASEの強度が大きくなる。ASEの強度が大きくなると、光結合器203を介して励起光源201に入射する光強度が大きくなり、励起光源201にダメージを与える。従って、モニタポート402を伝播する光強度をモニタし、第2の実施形態と同様の動作原理をもって励起光源201がダメージを受けるのを回避することができる。すなわち、光検出器401で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号452が出力され、励起光源駆動回路511はこの異常信号452を受けると、直ちに駆動信号550をシャットダウンする。レーザ駆動信号550がシャットダウンされると、励起光源201から出射される励起光はなくなるため、希土類添加ダブルクラッドファイバ205から発生するASEもなくなり、励起光源201がダメージを受けるのを回避することができる。
On the other hand, when there is no output from the
ここで、励起光源駆動回路511は、異常信号452あるいは異常信号552のいずれか一方でも受けた場合に駆動信号550をシャットダウンするようになっている。
Here, the excitation light
また、動作上、光ファイバレーザ100がレーザ光を出力する(すなわち光ファイバレーザ100の励起光源が励起光を出力する)よりも先に光ファイバ増幅器400の励起光源201が励起光を出力すると、やはり希土類添加ダブルクラッドファイバ205から高強度のASEが発生するため励起光源201がダメージを受ける可能性がある。従って、図示しない制御回路によって、駆動信号350が出力された後に、駆動信号550が出力されるように、もしくは駆動信号350がない場合は駆動信号550が出力されないように制御することが好ましい。
In operation, when the
[第4実施形態]
本発明の第3実施形態を図6に示す。
本実施形態は、MOPA方式光ファイバレーザを構成した場合であり、基本的な構成は図6に示した第3実施形態の光ファイバレーザと同様であるが、図6において光ファイバレーザ100から出力されるレーザ光の一部を分岐するための光カプラ520を、光ファイバレーザ100から出力されるレーザ光の一部を分岐するための第1の分岐ポート621と光ファイバ増幅器400から光ファイバレーザ100へと入射される光の一部も分岐するための第2の分岐ポート622を有する光カプラ620に置き換えている。さらに、第2の分岐ポートには、第3の光検出器601が接続され、この第3の光検出器601からの光強度信号651は第3の判定回路610に入力され、異常がある場合にはこの第3の判定回路610から励起光源駆動回路511に対して異常信号652が出力されるようになっている。
[Fourth Embodiment]
A third embodiment of the present invention is shown in FIG.
This embodiment is a case where a MOPA system optical fiber laser is configured, and the basic configuration is the same as that of the optical fiber laser of the third embodiment shown in FIG. 6, but the output from the
前述した通り、図7に示したようなMOPA方式の光ファイバレーザにおいては、一旦出射されたレーザ光が何らかの原因で反射した光が戻ってきた場合、この戻り光はアイソレータ208を通過する際に、一旦強度が落ちるものの、希土類添加ダブルクラッドファイバ205を通過することで再度増幅される。この増幅された反射光の強度は、出力されるレーザ光の強度と同等の強度になる可能性がある。そして増幅された反射光のほとんどは信号ポート202を介して光ファイバレーザ100へと入射され、光ファイバレーザ100の光学部品や励起光源にダメージを与える。
As described above, in the MOPA type optical fiber laser as shown in FIG. 7, when the light reflected once for some reason returns, this return light passes through the
これを回避するために、本実施形態では、光ファイバレーザ100と光ファイバ増幅器400の間に前記光カプラ620を設け、その第2の分岐ポート622に光ファイバ増幅器400から光ファイバレーザ100へと入射される光の一部が出力されるようにし、さらにこの第2の分岐ポート622に第3の光検出器601を接続することで、光ファイバ増幅器400から光ファイバレーザ100へと入射される光強度をモニタすることができる構成としている。
In order to avoid this, in this embodiment, the
第3の光検出器601は、例えば、受光した光強度が大きいほど高い電圧の電気信号を出力する機能を有するものが使用され、光通信分野等で従来公知の光検出器の中から適宜選択して使用し得る。この第3の光検出器601は、光カプラ620で分岐されたレーザ光を受光すると、受光した光強度に応じた光強度信号651を出力し、その光強度信号651は第3の判定回路610へと送られる。
As the
第3の判定回路610では、第3の光検出器601から送られてくる光強度信号651を、あらかじめ設定された判定レベルと比較し、光強度信号651のレベルが判定レベルに達した時点で、励起光源駆動回路511に対して異常信号652を出力する。
The
判定レベルは、例えば、光ファイバレーザ100の光学部品や励起光源がダメージを受ける光強度を光検出器が受光した際に出力する電気信号のレベルよりもわずかに低いレベルに設定される。すなわち第3の光検出器601で受光する光強度がある強度より大きくなると異常信号652が出力される。
For example, the determination level is set to a level slightly lower than the level of the electrical signal output when the photodetector receives the light intensity at which the optical component or the excitation light source of the
第3の判定回路610から出力された異常信号652は、励起光源駆動回路511へと送られ、励起光源駆動回路511は異常信号652を受けると、直ちに駆動信号550をシャットダウンする。駆動信号550がシャットダウンされると、希土類添加光ファイバ205による増幅が行われないので、例え反射光が戻ってきたとしても、光結合器203に到達する反射光の強度は非常に低くなる。したがって、光ファイバレーザ100の光学部品や励起光源がダメージを受けるのを回避することができる。
The
また、励起光源駆動回路511は、異常信号452、552、652のいずれか一つでも入力されれば駆動信号550をシャットダウンするようになっている。
The excitation light
100,110,300…光ファイバレーザ、101,201…励起光源、102…励起ポート、103,111,203…光結合器、104…出射ポート、105,205…希土類添加ダブルクラッドファイバ(希土類添加光ファイバ)、106…高反射ミラー、107…出力カプラ、108,208…アイソレータ、202…信号ポート、301,401,501,601…光検出器、302…モニタポート、310,410,510,610…判定回路、311,411,511…励起光源駆動回路、350,450,550…駆動信号、351,451,551,651…光強度信号、352,452,552,652…異常信号、520,620…光カプラ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100,110,300 ... Optical fiber laser, 101, 201 ... Excitation light source, 102 ... Excitation port, 103, 111, 203 ... Optical coupler, 104 ... Outlet port, 105, 205 ... Rare earth addition double clad fiber (rare earth addition light) Fiber), 106 ... high reflection mirror, 107 ... output coupler, 108, 208 ... isolator, 202 ... signal port, 301, 401, 501, 601 ... photodetector, 302 ... monitor port, 310, 410, 510, 610 ... Determination circuit, 311, 411, 511... Excitation light source drive circuit, 350, 450, 550... Drive signal, 351, 451, 551, 651 ... light intensity signal, 352, 452, 552, 652, abnormal signal, 520, 620. Optical coupler.
Claims (13)
前記光結合器に、希土類添加光ファイバから励起光源側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポートが設けられ、且つ該モニタポートを伝播する戻り光の強度を測定し、該光強度が所定値を超えた場合に前記励起光源の出力を減じて戻り光の増幅を防止する励起光源制御手段が設けられたことを特徴とする光ファイバレーザ。 A rare earth-doped optical fiber that is at least a laser medium, a plurality of pumping light sources that optically pump the rare earth-doped optical fiber, and an optical coupler that combines the pumping light from each pumping light source and enters the rare earth-doped optical fiber, In an optical fiber laser that oscillates by entering pump light into a rare earth-doped optical fiber
The optical coupler is provided with a monitor port through which a part of the return light traveling from the rare earth-doped optical fiber toward the pumping light source is propagated, and the intensity of the return light propagating through the monitor port is measured. An optical fiber laser, characterized in that an excitation light source control means is provided for reducing the output of the excitation light source to prevent amplification of return light when a predetermined value is exceeded.
前記光結合器に、希土類添加光ファイバから励起光源側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポートが設けられ、且つ該モニタポートを伝播する戻り光の強度を測定し、該光強度が所定値を超えた場合に前記励起光源の出力を減じて戻り光の増幅を防止する励起光源制御手段が設けられたことを特徴とする光ファイバ増幅器。 A rare earth-doped optical fiber that is at least an optical amplifying medium; a plurality of pumping light sources that optically pump the rare earth-doped optical fiber; In an optical fiber amplifier that amplifies and outputs the signal light in a rare earth-doped optical fiber,
The optical coupler is provided with a monitor port through which a part of the return light traveling from the rare earth-doped optical fiber toward the pumping light source is propagated, and the intensity of the return light propagating through the monitor port is measured. An optical fiber amplifier characterized in that pumping light source control means for reducing the output of the pumping light source to prevent amplification of return light when a predetermined value is exceeded is provided.
前記光結合器に、希土類添加光ファイバから励起光源側に向かう戻り光の一部が伝播されるモニタポートが設けられ、且つ該モニタポートを伝播する戻り光の強度を測定し、該光強度が所定値を超えた場合に前記励起光源の出力を減じて戻り光の増幅を防止する励起光源制御手段が設けられたことを特徴とするMOPA方式光ファイバレーザ。 An optical fiber laser that oscillates by entering pump light into a rare earth-doped optical fiber, at least a rare earth-doped optical fiber that is a laser medium, a plurality of pump light sources that optically pump the rare earth-doped optical fiber, A MOPA optical fiber laser having an optical coupler that combines pumping light and laser light emitted from the optical fiber laser and enters the rare-earth-doped optical fiber, and amplifies and outputs the laser light emitted from the optical fiber laser In
The optical coupler is provided with a monitor port through which a part of the return light traveling from the rare earth-doped optical fiber toward the pumping light source is propagated, and the intensity of the return light propagating through the monitor port is measured. A MOPA type optical fiber laser characterized in that pumping light source control means is provided for reducing amplification of return light by reducing the output of the pumping light source when a predetermined value is exceeded.
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