JP4696474B2 - Polishing method of color filter for liquid crystal display device - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、樹脂ブラックマトリックスが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの研磨処理において、シール部における樹脂ブラックマトリックスとシール材の貼り合わせ強度を向上させる液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法に関する。 The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device, and in particular, improves the bonding strength between a resin black matrix and a sealing material in a seal portion in a polishing process of a color filter for a liquid crystal display device having a resin black matrix formed thereon The present invention relates to a method for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device.
図3は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図4は、図3に示すカラーフィルタのX−X’線における断面図である。
図3、及び図4に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板(30)上にブラックマトリックス(51)、着色画素(52)が形成されたものである。
図3、及び図4はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(52)は9個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角14インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
FIG. 3 is a plan view schematically showing an example of a color filter used in the liquid crystal display device. 4 is a cross-sectional view of the color filter shown in FIG. 3 taken along line XX ′.
As shown in FIGS. 3 and 4, the color filter used in the liquid crystal display device has a black matrix (51) and colored pixels (52) formed on a glass substrate (30).
3 and 4 schematically show a color filter, and nine colored pixels (52) are represented. In an actual color filter, for example, several hundreds are displayed on a 14-inch diagonal screen. A large number of colored pixels of about μm are arranged.
ブラックマトリックス(51)は、遮光性を有し、開口部をマトリックス状に配置したものであり、着色画素(52)は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものである。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
The black matrix (51) is light-shielding and has openings arranged in a matrix, and the colored pixels (52) have, for example, red, green, and blue filter functions.
The black matrix determines the position of the colored pixels of the color filter, makes the size uniform, and shields unwanted light when used in a display device, making the image of the display device uniform and uniform. In addition, it has a function of making an image with improved contrast.
このブラックマトリックス(51)は、ガラス基板(30)上にブラックマトリックスの材料として樹脂を用いた例である。
このブラックマトリックス(51)は、ガラス基板(30)上に、例えば、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成されたものであり、樹脂を用いて形成されたブラックマトリックスを樹脂ブラックマトリックス(51)と称している。
This black matrix (51) is an example in which a resin is used as a black matrix material on a glass substrate (30).
The black matrix (51) is formed on the glass substrate (30) by, for example, a photolithography method using a black photosensitive resin for forming a black matrix, and the black matrix formed using the resin. Is referred to as a resin black matrix (51).
また、カラーフィルタの周縁部(G)は、額縁と称している部分である。図3、及び図4はカラーフィルタは、額縁の部分、すなわち、カラーフィルタの周縁部(G)の端まで樹脂ブラックマトリックスが形成された例である。
バックライトからの直接光をカラーフィルタの周縁部(G)の端まで遮蔽し、またカラーフィルタの端面から入射する迷光を低減させ画像のコントラストを向上させる機能をもたせたものである。
Further, the peripheral edge (G) of the color filter is a portion called a picture frame. FIGS. 3 and 4 are examples in which the resin black matrix is formed up to the frame portion, that is, the edge of the peripheral edge (G) of the color filter.
The direct light from the backlight is shielded up to the edge of the peripheral edge (G) of the color filter, and the function of reducing the stray light incident from the end face of the color filter and improving the contrast of the image is provided.
また、着色画素(52)は、この樹脂ブラックマトリックス(51)が形成されたガラス基板(30)上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜へのフォトマスクを介した露光、現像処理によって着色画素として形成されたものである。 Further, the colored pixel (52) is provided with a coating film on the glass substrate (30) on which the resin black matrix (51) is formed, using, for example, a negative photoresist in which pigments and other pigments are dispersed. The coated film is formed as a colored pixel by exposure through a photomask and development processing.
樹脂ブラックマトリックスは、例えば、テレビなどのように、高輝度なバックライトを用いた際に、クロムなどの金属をブラックマトリックス(図示せず)として用いたときに起こる液晶表示装置での内部反射を抑制するために、低反射の樹脂ブラックマトリックスが要望される場合、或いは、例えば、IPS(In Plane Swiching)方式に用いたときに起こる液晶表示装置での電界の乱れを抑制するために、高絶縁性の樹脂
ブラックマトリックスが要望される場合などに採用されていた。しかし、ブラックマトリックスは、クロムなどの金属を用いたブラックマトリックスから、次第に樹脂ブラックマトリックスへと移行が進んでいる。
The resin black matrix, for example, causes internal reflection in a liquid crystal display device that occurs when a metal such as chromium is used as a black matrix (not shown) when using a high-brightness backlight such as a television. In order to suppress a low-reflection resin black matrix, or in order to suppress an electric field disturbance in a liquid crystal display device when used in, for example, an IPS (In Plane Switching) system, a high insulation is required. It has been adopted when a functional resin black matrix is required. However, the black matrix is gradually shifting from a black matrix using a metal such as chromium to a resin black matrix.
カラーフィルタを大量に製造する際には、一基の液晶表示装置に対応したカラーフィルタを大サイズのガラス基板に面付けした状態で製造する。例えば、対角17インチのカラーフィルタを650mm×850mm程度の大サイズのガラス基板に4面付けして製造する。
ガラス基板が大サイズ化するに伴い、ブラックマトリックスの材料としてクロムなどの金属を用い真空装置で薄膜を成膜するブラックマトリックスよりも、黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成する樹脂ブラックマトリックスの方が価格的に有利なものとなり、次第に樹脂ブラックマトリックスへと移行が進んでいる。
When a large number of color filters are manufactured, a color filter corresponding to a single liquid crystal display device is manufactured in a state where it is applied to a large glass substrate. For example, a 17-inch diagonal color filter is manufactured by attaching four faces to a large glass substrate of about 650 mm × 850 mm.
Resin black matrix formed by photolithography using a black photosensitive resin rather than a black matrix that uses a metal such as chromium as a black matrix material to form a thin film with a vacuum device as the glass substrate becomes larger Is becoming more advantageous in terms of price, and is gradually shifting to a resin black matrix.
この移行は、ガラス基板が更に大サイズ化するに伴い著しくなるものと思われる。また、環境に配慮してクロムなどの金属を用いることを回避する傾向もある。 This transition is likely to become significant as the glass substrate becomes larger. There is also a tendency to avoid using metals such as chromium in consideration of the environment.
樹脂ブラックマトリックスは、クロムなどの金属を用いたブラックマトリックスのように、膜厚100nm〜200nm程度の薄膜では高濃度を得ることはできず、例えば、0.5μm〜3.0μm程度の厚さにして必要な高濃度を得るようにしている。
樹脂ブラックマトリックスの膜厚が、例えば、1.0μm程度と厚くなると、図4に示すように、樹脂ブラックマトリックス(51)上にその周縁部を重ねて形成された着色画素(52)は、その周縁部が樹脂ブラックマトリックス(51)上にて突起(53)となる。
The resin black matrix cannot obtain a high concentration in a thin film with a film thickness of about 100 nm to 200 nm, like a black matrix using a metal such as chromium, for example, a thickness of about 0.5 μm to 3.0 μm. To obtain the necessary high concentration.
When the film thickness of the resin black matrix is increased to, for example, about 1.0 μm, as shown in FIG. 4, the colored pixel (52) formed by overlapping the peripheral portion on the resin black matrix (51) The peripheral edge becomes a protrusion (53) on the resin black matrix (51).
この突起(53)は、カラーフィルタの表面を凹凸のあるものとし、平坦性を悪化させる。このような突起(53)のある、表面の平坦性が悪化したカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、突起の影響によって液晶分子の配向が乱され、表示ムラなど表示品質を低下させることになるので、多くの場合、カラーフィルタ表面への研磨によって突起を除去している。 This protrusion (53) makes the surface of the color filter uneven, and deteriorates flatness. When a color filter having such a protrusion (53) and having a deteriorated surface flatness is used in a liquid crystal display device, the alignment of liquid crystal molecules is disturbed by the influence of the protrusion, and display quality such as display unevenness is deteriorated. Therefore, in many cases, the protrusions are removed by polishing the surface of the color filter.
図1、及び図2は、液晶表示装置用カラーフィルタの表面を研磨する際に、一般的に使用されている平盤研磨機の一例の概略を示した説明図である。図1は、平盤研磨機の回転部分の断面図、図2は平面図である。
図1、及び図2に示すように、この研磨機の回転部分は、円盤状の下定盤(1)、下定盤と一体的に固定され下定盤を回転させる回転軸(2)、摩擦によって下定盤の回転に追従した回転をする円盤状の上定盤(3)、上定盤の回転軸(4)で構成されたものである。
FIG. 1 and FIG. 2 are explanatory views showing an outline of an example of a flat plate polishing machine generally used when polishing the surface of a color filter for a liquid crystal display device. FIG. 1 is a sectional view of a rotating part of a flat plate polishing machine, and FIG. 2 is a plan view.
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the rotating part of this polishing machine includes a disk-shaped lower surface plate (1), a rotating shaft (2) that is fixed integrally with the lower surface plate and rotates the lower surface plate, and is settled by friction. It is composed of a disk-shaped upper surface plate (3) that rotates following the rotation of the plate, and a rotation axis (4) of the upper surface plate.
上定盤(3)のサイズは、下定盤(1)より小さなものであり、上記摩擦によって下定盤の回転に追従した回転をしながら、下定盤(1)の上面上を円弧状に揺動(C)するようになっている。また、上定盤(3)の上部からは設定した研磨圧力(D)をかけられるようになっている。
研磨は、研磨液(図示せず)をカラーフィルタ(6)の上方より滴下しながら行われる。尚、符号(5)は研磨クロス、(7)はテンプレート、(A)は下定盤の回転、(B)は上定盤の回転を示している。
The size of the upper surface plate (3) is smaller than that of the lower surface plate (1), and the upper surface of the lower surface plate (1) swings in an arc shape while rotating following the rotation of the lower surface plate by the friction. (C) to do. A set polishing pressure (D) can be applied from the upper part of the upper surface plate (3).
Polishing is performed while dripping a polishing liquid (not shown) from above the color filter (6). Reference numeral (5) indicates a polishing cloth, (7) indicates a template, (A) indicates rotation of the lower surface plate, and (B) indicates rotation of the upper surface plate.
カラーフィルタ表面への研磨は、突起を除去すると同時に、着色画素上、及び樹脂ブラックマトリックス上に残留しているフォトレジストの残渣なども取り除き、後工程、例えば、透明導電膜の成膜における透明導電膜の密着性にとって、或いは、周縁部(額縁)(G)を対向基板とのシール部とする際におけるシール材の密着性にとって好ましいものと
している。
Polishing to the surface of the color filter removes the protrusions and at the same time removes the residue of the photoresist remaining on the colored pixels and the resin black matrix. It is preferable for the adhesiveness of the film or for the adhesiveness of the sealing material when the peripheral edge (frame) (G) is used as the sealing portion with the counter substrate.
しかしながら、上記のような研磨処理によってカラーフィルタ表面の突起を除去し、フォトレジストの残渣などを取り除いても、樹脂ブラックマトリックス上には研磨粒子が残留し、残留した研磨粒子がシール部における樹脂ブラックマトリックスとシール材の貼り合わせ強度を低下させてしまうといった問題がある。
このため、研磨処理後に、改めてアルカリ系の界面活性剤を用いた洗浄をカラーフィルタに施し、樹脂ブラックマトリックス上に残留した研磨粒子を除去している。
However, even if the protrusions on the surface of the color filter are removed by the polishing process as described above, and the residue of the photoresist is removed, the abrasive particles remain on the resin black matrix, and the remaining abrasive particles remain on the resin black in the seal portion. There is a problem that the bonding strength between the matrix and the sealing material is lowered.
For this reason, after the polishing process, the color filter is again washed with an alkaline surfactant to remove the abrasive particles remaining on the resin black matrix.
図5は、図4に示すカラーフィルタの周縁部(額縁)(G)を拡大したシール部の説明図である。
ガラス基板(30)と対向基板(40)は、樹脂ブラックマトリックス(51)を介してシール材(60)によってパネルとして一体化される。樹脂ブラックマトリックス(51)とシール材(60)との間の貼り合わせ部分(S)における貼り合わせ強度が残留した研磨粒子によって低下してしまう。
The glass substrate (30) and the counter substrate (40) are integrated as a panel by a sealing material (60) through a resin black matrix (51). The bonding strength at the bonding portion (S) between the resin black matrix (51) and the sealing material (60) is lowered by the remaining abrasive particles.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、樹脂ブラックマトリックスが形成された液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際の、カラーフィルタ表面の研磨処理において、樹脂ブラックマトリックスに残留する研磨粒子を低減させ、シール部における樹脂ブラックマトリックスとシール材と貼り合わせ強度を向上させることのできる液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法を提供することを課題とするものである。
これにより、樹脂ブラックマトリックスがカラーフィルタの周縁部(額縁)(G)の端まで形成されているカラーフィルタにおいては、研磨処理後に、改めてアルカリ系の界面活性剤を用いた洗浄をカラーフィルタに施すことなく、貼り合わせ強度を向上させたカラーフィルタがえられる。
The present invention has been made to solve the above problems, and remains in the resin black matrix in the polishing process of the color filter surface when manufacturing the color filter for a liquid crystal display device on which the resin black matrix is formed. It is an object of the present invention to provide a polishing method for a color filter for a liquid crystal display device capable of reducing polishing particles and improving the bonding strength between a resin black matrix and a sealing material in a seal portion.
As a result, in the color filter in which the resin black matrix is formed up to the edge of the peripheral edge (frame) (G) of the color filter, the color filter is again washed with an alkaline surfactant after the polishing process. Thus, a color filter with improved bonding strength can be obtained.
本発明は、樹脂ブラックマトリックスが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法において、研磨液として、アルカリを混合し研磨粒子の表面を負に帯電させるpH値を有する研磨液を用いて研磨処理を行いシール部における樹脂ブラックマトリックスとシール材と貼り合わせ強度を向上させることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法である。 The present invention relates to a polishing method for a color filter for a liquid crystal display device in which a resin black matrix is formed , using a polishing liquid having a pH value that mixes alkali and negatively charges the surface of the abrasive particles as a polishing liquid. a polishing method of a color liquid crystal display device filter, characterized in that to improve the bonding strength between the resin black matrix and the seal member in the row, sealed portion.
本発明は、研磨液として、研磨粒子の表面を負に帯電させるpH値を有する研磨液を用いて研磨処理を行う液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法であるので、カラーフィルタ表面の研磨処理において、樹脂ブラックマトリックスに残留する研磨粒子を低減させ、シール部における樹脂ブラックマトリックスとシール材と貼り合わせ強度を向上させることのできる液晶表示装置用カラーフィルタの研磨方法となる。 Since the present invention is a polishing method for a color filter for a liquid crystal display device that performs a polishing process using a polishing liquid having a pH value that negatively charges the surface of the abrasive particles as the polishing liquid, This is a method for polishing a color filter for a liquid crystal display device that can reduce the abrasive particles remaining in the resin black matrix and improve the bonding strength between the resin black matrix and the sealing material in the seal portion.
これにより、樹脂ブラックマトリックスがカラーフィルタの周縁部(額縁)(G)の端まで形成されているカラーフィルタにおいては、研磨処理後に、改めてアルカリ系の界面活性剤を用いた洗浄をカラーフィルタに施すことなく、貼り合わせ強度を向上させたカラーフィルタがえられる。 As a result, in the color filter in which the resin black matrix is formed up to the edge of the peripheral edge (frame) (G) of the color filter, the color filter is again washed with an alkaline surfactant after the polishing process. Thus, a color filter with improved bonding strength can be obtained.
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明者は、研磨において、研磨粒子、特にアルミナ粒子が樹脂ブラックマトリックスの表面に残留し易いのは帯電が大きな要因となっていること、すなわち、樹脂ブラックマトリックスの表面と研磨粒子が異符号になっている点に着目し本発明をするに至った。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
The present inventor has found that in polishing, abrasive particles, particularly alumina particles, are likely to remain on the surface of the resin black matrix because charging is a major factor, that is, the surface of the resin black matrix and the abrasive particles have different signs. Attention was paid to this point and the present invention was reached.
本発明によると、シール部における樹脂ブラックマトリックスとシール材との貼り合わせ強度が著しく向上する理由は、未だ明らかではないが、本発明における研磨液中においては、ガラス基板上に形成された樹脂ブラックマトリックス表面及び研磨粒子表面のζ(ゼータ)電位が共に負に帯電する為に、研磨粒子の残留が起こりにくくなるものと推量される。 According to the present invention, the reason why the bonding strength between the resin black matrix and the sealing material in the seal portion is remarkably improved is not yet clear, but in the polishing liquid according to the present invention, the resin black formed on the glass substrate. It is presumed that since the ζ (zeta) potentials of the matrix surface and the abrasive particle surface are both negatively charged, it is difficult for the abrasive particles to remain.
研磨液は、研磨粒子を水に分散させたものであり、研磨粒子としては、一次粒子径0.03〜0.2μmのアルミナ、ジルコニア、セリウム、二酸化マンガン、シリコンカーバイド、シリカなどを用いることができる。
また、研磨液のpH値は、用いる研磨粒子表面を負に帯電させるpH値であり、研磨粒子の種類により異なったpH値となる。pH値の調整には、アルカリとして、例えば、NaOH、KOHなどが好適に用いられる。
また、研磨に使用する研磨機としては、研磨粒子を用いる研磨機であれば特に限定されない。
The polishing liquid is obtained by dispersing abrasive particles in water. As the abrasive particles, alumina, zirconia, cerium, manganese dioxide, silicon carbide, silica, or the like having a primary particle size of 0.03 to 0.2 μm may be used. it can.
The pH value of the polishing liquid is a pH value that negatively charges the surface of the abrasive particles to be used, and differs depending on the type of the abrasive particles. For adjusting the pH value, for example, NaOH, KOH or the like is suitably used as the alkali.
The polishing machine used for polishing is not particularly limited as long as the polishing machine uses abrasive particles.
研磨液として、以下の研磨液を用いた。
研磨液1
・研磨粒子:SiO2 、平均粒径:40nm
・含有量 :50w%
・pH値 :10.0
研磨液2
・研磨粒子:SiO2 、平均粒径:23nm
・含有量 :40w%
・pH値 :9.8
研磨液3(参照液)
・研磨粒子:α−Al2 O3 、2次粒径:100nm
・含有量 :1w%
・pH値 :7.0。
The following polishing liquid was used as the polishing liquid.
Abrasive particles: SiO 2 , average particle size: 40 nm
・ Content: 50w%
・ PH value: 10.0
Polishing liquid 2
Abrasive particles: SiO 2 , average particle size: 23 nm
・ Content: 40w%
・ PH value: 9.8
Polishing liquid 3 (reference liquid)
Abrasive particles: α-Al 2 O 3 , secondary particle size: 100 nm
・ Content: 1w%
-PH value: 7.0.
研磨機はオスカー型平盤研磨機を用い、研磨クロス:スウエードクロス、研磨圧力:150Pa程度、下定盤の回転数:40rpm程度、研磨液の滴下量:60g/分、研磨時間:1分間の条件にて研磨を行った。研磨後に純水中でスポンジブラシ洗浄を行った。
用いた試料は、樹脂ブラックマトリックスを形成したカラーフィルタである。
As the polishing machine, an Oscar-type flat plate polishing machine is used. Polishing cloth: suede cloth, polishing pressure: about 150 Pa, rotation speed of lower surface plate: about 40 rpm, dropping amount of polishing liquid: 60 g / min, polishing time: 1 minute Polishing was performed under the conditions. After polishing, sponge brush cleaning was performed in pure water.
The sample used is a color filter in which a resin black matrix is formed.
研磨後のカラーフィルタ周縁部(額縁)の樹脂ブラックマトリックスとガラス板を、シール材として、XN−21S(三井化学(株)製、エポキシ系熱硬化型樹脂)を用い貼り合わせた。ガラス板には、#1737(コーニング社製)を用いた。貼り合わせ後、プレッシャークラッカーにて貼り合わせ部が破壊された時の強度を測定した。結果を表1に示す。 The resin black matrix and the glass plate at the peripheral edge (frame) of the color filter after polishing were bonded together using XN-21S (Mitsui Chemicals, epoxy thermosetting resin) as a sealing material. # 1737 (manufactured by Corning) was used for the glass plate. After bonding, the strength when the bonded portion was broken was measured with a pressure cracker. The results are shown in Table 1.
1・・・下定盤
2・・・下定盤を回転させる回転軸
3・・・上定盤
4・・・上定盤の回転軸
5・・・研磨クロス
6・・・ガラス基板(カラーフィルタ)
7・・・テンプレート
7A・・・テンプレートのバッキング材
7B・・・テンプレートの枠材
30・・・ガラス基板
40・・・対向基板
51・・・樹脂ブラックマトリックス
52・・・着色画素
53・・・突起
60・・・シール材
A・・・下定盤の回転
B・・・上定盤の回転
C・・・揺動
D・・・研磨圧力
G・・・カラーフィルタの周縁部(額縁)
S・・・貼り合わせ部分
DESCRIPTION OF
7 ...
S: Bonding part
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