JP4694299B2 - Pellicle storage container - Google Patents

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Description

本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器に関する。   The present invention relates to a pellicle storage container for transporting a pellicle having a pellicle film and a support frame that supports the pellicle film.

従来から、半導体回路パターンの製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜から成る厚さ１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とを備えている。フォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが半導体回路上に転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、フォトマスクの上方をペリクル膜にて覆うようにペリクルを配置し、フォトマスク上に異物が入ることを防止するようにしている。   Conventionally, a pellicle has been used for the purpose of dust-proofing a photomask used in a lithography process in a semiconductor circuit pattern manufacturing process. The pellicle generally includes a pellicle film having a thickness of about 10 microns made of a transparent polymer film such as nitrocellulose, and a support frame having a thickness of about several millimeters for supporting the pellicle on one peripheral end surface. Yes. If foreign matter adheres to the photomask, the pattern of the foreign matter is transferred onto the semiconductor circuit, and there is a risk that many of the semiconductor chips will be defective. For this reason, the pellicle is arranged so as to cover the upper side of the photomask with the pellicle film so as to prevent foreign matters from entering the photomask.

また、ペリクルは、ペリクル膜等に異物が付着することで、ペリクルが損傷するのを防ぐために、ペリクル用収納容器に収納されて運搬される。このペリクル用収納容器は、ペリクルを載置するためのトレイと、蓋とから構成されている。ペリクル用収納容器には、当該収納容器の内部に異物が混入しないような密封性が要求される。このような要求に鑑み、特許文献１に開示される発明では、ペリクル用収納容器を構成するトレイおよび蓋のコーナー部にテープシールを取り付けて密封性を確保している。   Further, the pellicle is stored and transported in a pellicle storage container in order to prevent the pellicle from being damaged due to foreign matter adhering to the pellicle film or the like. This pellicle storage container includes a tray for placing the pellicle and a lid. The pellicle storage container is required to have a sealing property so that no foreign matter is mixed into the storage container. In view of such a requirement, in the invention disclosed in Patent Document 1, a tape seal is attached to a corner portion of a tray and a lid constituting the pellicle storage container to ensure sealing performance.

特開２００４−３６１７０５号公報（図１）JP 2004-361705 A (FIG. 1)

しかしながら、特許文献１に開示されているペリクル用収納容器では、ペリクル用収納容器を構成するトレイおよび蓋の両端部で形成された面には、幅の狭い領域しかないため、テープシールによりトレイと蓋を固定する場合、テープシールを折り曲げながら両端部を貼り付けなければならない。したがって、テープシールが貼りにくくなると共に、トレイと蓋との固定強度が弱くなるという問題を有している。また、テープシールが折り曲げて貼られるため、テープシールを貼った状態では、当該シールにしわが発生し、ペリクル用収納容器の密封性を十分確保することができないといった問題も有している。   However, in the pellicle storage container disclosed in Patent Document 1, since the surface formed by both ends of the tray and the lid constituting the pellicle storage container has only a narrow area, the tape seal and the tray When fixing the lid, both ends must be attached while folding the tape seal. Therefore, there is a problem that it is difficult to apply the tape seal and the fixing strength between the tray and the lid is weakened. Further, since the tape seal is bent and pasted, there is a problem that when the tape seal is pasted, wrinkles are generated in the seal and the sealing property of the pellicle storage container cannot be sufficiently secured.

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、トレイと蓋との固定をテープを用いて容易にかつ強固に行うことができる構成を有するペリクル用収納容器を提供しようとするものである。   The present invention has been made based on the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a pellicle storage container having a configuration capable of easily and firmly fixing a tray and a lid using a tape. It is what.

上記課題を解決するために、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイと、当該トレイの蓋となるカバーと、を有し、トレイおよびカバーのそれぞれの外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部を備え、トレイにカバーを被せた状態において、トレイの外周部とカバーの外周部によって平面部を形成する構成とすると共に、各平面折曲部は、互いに逆方向に向かって延出し、平面部を形成しているものである。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a pellicle storage container for transporting a pellicle having a pellicle film and a support frame that supports the pellicle film, and includes a tray and a cover serving as a lid of the tray Each of the outer periphery of the tray and the cover is provided with a plane bent portion that is bent so as to form a plane, and the tray is covered by the outer periphery of the tray and the outer periphery of the cover. In addition to a configuration that forms a plane portion , each plane bent portion extends in the opposite direction to form a plane portion .

このように構成した場合には、トレイまたはカバーの外周部に平面折曲部が設けられているため、平面部にテープを貼ることにより容易にかつ強固にトレイとカバーを固定することが可能となる。また、平面折曲部は外周部に対して全周に亘って、平面を形成するように折り曲げられているため、外周部の剛性が増し、ペリクル用収納容器全体の強度が向上する。さらに、ペリクル用収納容器の外周部に平面部が存在するため、ペリクル用収納容器を把持しやすくなる。ここで平面部は、完全に平滑な平面のみならず、若干の段差を有するものを含むように広義に解釈される。当該段差は、５ｍｍ以下とするのが好ましい。   In this case, since the flat bent portion is provided on the outer periphery of the tray or cover, it is possible to easily and firmly fix the tray and the cover by sticking a tape on the flat portion. Become. Further, since the flat bent portion is bent so as to form a flat surface over the entire circumference with respect to the outer peripheral portion, the rigidity of the outer peripheral portion is increased and the strength of the entire pellicle storage container is improved. Furthermore, since the flat portion exists on the outer peripheral portion of the pellicle storage container, the pellicle storage container is easily gripped. Here, the plane portion is interpreted in a broad sense so as to include not only a completely smooth plane but also a portion having a slight level difference. The step is preferably 5 mm or less.

また、このように構成した場合には、各平面折曲部は、外周部から互いに逆方向に向かって延出し、平面部を構成している。そのため、カバーおよびトレイの外周部にテープを貼るための十分に広い面積を確保できる。また、平面部は１つの平坦な平面を形成しているため、当該平面部にテープを容易に貼ることが可能となる。 Moreover, when comprised in this way, each plane bending part is extended toward a mutually reverse direction from the outer peripheral part, and comprises the plane part. Therefore, it is possible to secure a sufficiently wide area for sticking the tape to the outer periphery of the cover and the tray. Moreover, since the flat part forms one flat plane, it becomes possible to stick a tape to the flat part easily.

さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、平面部の幅を２０ｍｍ以上としたものである。このように構成した場合には、汎用のテープを用いて支障なく、カバーとトレイを固定することができる。   Furthermore, in another invention, in addition to the above-mentioned invention, the width of the plane portion is 20 mm or more. In such a configuration, the cover and the tray can be fixed without any trouble using a general-purpose tape.

本発明によると、ペリクル用収納容器を構成するトレイと蓋とをテープを用いて容易にかつ強固に固定することができる。   According to the present invention, the tray and the lid constituting the pellicle storage container can be easily and firmly fixed using the tape.

以下、本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器について、図面を参照しながら説明する。   The pellicle storage container according to each embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル用収納容器１を示す斜視図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is an exploded perspective view of a pellicle storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the pellicle storage container 1 shown in FIG.

図１に示すように、ペリクル用収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２とを備えている。   As shown in FIG. 1, the pellicle storage container 1 includes a tray 3 and a cover 2 that is a lid thereof.

カバー２は、外形が略長方形であって、一方に開口部を有する蓋部材である。カバー２の外周には、後述するカバー２の外方延出部２１ｃから全周に亘って略垂直方向上向きに延出する平面折曲部２１ｄが設けられている。   The cover 2 is a lid member having a substantially rectangular outer shape and having an opening on one side. On the outer periphery of the cover 2, there is provided a planar bent portion 21 d that extends upward in a substantially vertical direction over the entire periphery from an outwardly extending portion 21 c of the cover 2 described later.

また、トレイ３は、一方に開口部を有する略長方形の箱型部材である。カバー２とトレイ３の外形は共に同じ形状となっている。また、トレイ３の外周には、後述するトレイ３の外方延出部３１ｃから全周に亘って略垂直方向下向きに延出する平面折曲部３１ｄが設けられる。さらに、トレイ３には、カバー２およびトレイ３によって形成される内部空間において、ペリクルを載置するための載置部３ｂが設けられている。載置部３ｂは、図１に示すように、四角枠形状に形成されており、ペリクル用収納容器１の内部空間において底面３０ａ側からトレイ３の開口側に向かって突出している。   The tray 3 is a substantially rectangular box-shaped member having an opening on one side. The outer shapes of the cover 2 and the tray 3 are the same. Further, on the outer periphery of the tray 3, there is provided a flat bent portion 31d that extends downward from the outwardly extending portion 31c of the tray 3, which will be described later, substantially downward in the vertical direction. Further, the tray 3 is provided with a placement portion 3b for placing a pellicle in an internal space formed by the cover 2 and the tray 3. As shown in FIG. 1, the mounting portion 3 b is formed in a square frame shape, and protrudes from the bottom surface 30 a side toward the opening side of the tray 3 in the internal space of the pellicle storage container 1.

カバー２およびトレイ３は、後述するように、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種の単量体からなる共重合体）を真空成型用金型を用いて真空成形することにより製造される。ただし、カバー２およびトレイ３の材料はＡＢＳ樹脂に限られるものではない。また、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄くしても良いし、３ｍｍより厚くしても良い。さらに、成形方法としては、真空成形に限ることなく、圧空成形あるいは圧空真空成形等の他の成形方法を採用しても良い。   As will be described later, the cover 2 and the tray 3 are made of an ABS resin (a copolymer of three types of acrylonitrile, butadiene and styrene) having a base plate thickness of about 3 mm using a vacuum molding die. It is manufactured by vacuum forming. However, the material of the cover 2 and the tray 3 is not limited to ABS resin. The thickness of the base plate is not limited to 3 mm, and may be thinner than 3 mm or thicker than 3 mm. Furthermore, the molding method is not limited to vacuum molding, and other molding methods such as pressure molding or pressure vacuum molding may be employed.

ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状に膨らませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型につき降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。   Here, “vacuum molding” is a method in which a resin in a softened state is placed in a mold and the space between the resin and the mold is evacuated to suck and mold the resin onto the mold. No matter how the resin is supplied to the mold. Therefore, a sheet-shaped resin may be disposed in the mold, or a molten resin may be discharged into the mold. Examples of vacuum forming include a straight method using a female die, a drape method using a male die, an air slip method in which a resin sheet is inflated into a hemisphere and a male die is molded therein, a male die used in an air slip method Instead of this, the reverse draw method using a female die, the auxiliary plug method in which the resin sheet clamped on the female die is lowered with a plug, and the resin sheet is pre-tensioned and evacuated is included. It is not something.

図２に示すように、カバー２は、トレイ３の上に配置され、その後、平面折曲部２１ｄと平面折曲部３１ｄとで形成される平面部４に、両平面折曲部２１ｄ，３１ｄの境界となる境界部４ａを跨ぐようにテープ３３が貼り付けられる（図６参照）。この結果、カバー２とトレイ３は密封した状態で固定される。このように、ペリクル用収納容器１にペリクルが収納された状態でカバー２とトレイ３とをテープ３３で密封し、ペリクルの輸送が行われる。   As shown in FIG. 2, the cover 2 is disposed on the tray 3, and then the two plane bent portions 21d and 31d are formed on the plane portion 4 formed by the plane bent portion 21d and the plane bent portion 31d. The tape 33 is affixed so as to straddle the boundary portion 4a serving as the boundary (see FIG. 6). As a result, the cover 2 and the tray 3 are fixed in a sealed state. Thus, the pellicle is transported by sealing the cover 2 and the tray 3 with the tape 33 while the pellicle is stored in the pellicle storage container 1.

図３は、図２に示すペリクル用収納容器１をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view of the pellicle storage container 1 shown in FIG. 2 taken along line AA.

図３に示すように、カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状のカバー本体２０と、当該カバー本体２０の外周縁部の外方に形成される外延部２１とを有している。カバー本体２０の上面２０ａからは、トレイ３の載置部３ｂと対向するように、カバー２の開口部に向かって突出する突起部２０ｂが形成されている。突起部２０ｂは、載置部３ｂと同様、四角枠形状に形成されている。   As shown in FIG. 3, the cover 2 has a concave cover body 20 having an opening on the side facing the tray 3, and an extended portion 21 formed outside the outer peripheral edge of the cover body 20. is doing. From the upper surface 20 a of the cover body 20, a projection 20 b that protrudes toward the opening of the cover 2 is formed so as to face the placement portion 3 b of the tray 3. The protruding portion 20b is formed in a square frame shape like the placement portion 3b.

外延部２１は、カバー本体２０の外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部２１ａと、当該外周延出部２１ａの外縁から全周に亘って当該外周延出部２１ａに対して略垂直上方に延出する上方延部２１ｂと、当該上方延部２１ｂの外縁から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部２１ｃと、当該外方延出部２１ｃの外縁から全周に亘って当該外方延出部２１ｃに対して略垂直上方に向かって延出する平面折曲部２１ｄとから構成されている。平面折曲部２１ｄの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。   The outer extending portion 21 includes an outer peripheral extending portion 21a extending horizontally outward from the outer edge portion of the cover body 20 and the outer periphery extending from the outer edge of the outer peripheral extending portion 21a to the outer periphery. An upper extending portion 21b extending substantially vertically upward with respect to the circumferential extending portion 21a, and an outward extending portion 21c extending horizontally outward from the outer edge of the upper extending portion 21b over the entire circumference. The flat extension portion 21d extends from the outer edge of the outward extension portion 21c over the entire circumference toward the upper side of the outward extension portion 21c. Although the height of the plane bent portion 21d is formed to be about 10 mm or more, it is not limited to this.

図３に示すように、トレイ３は、カバー２と対向する側に開口部を有するトレイ本体３０と、当該トレイ本体３０の底面３０ａから開口部側に向かって突出する載置部３ｂと、当該載置部３ｂの外縁部の外方に形成される外延部３１とを有している。載置部３ｂは、底面３０ａにトレイ本体３０の外形に沿った四角枠形状に形成されており、ペリクル５を載置する構成部として機能する。   As shown in FIG. 3, the tray 3 includes a tray main body 30 having an opening on the side facing the cover 2, a mounting portion 3 b that protrudes from the bottom surface 30 a of the tray main body 30 toward the opening, It has the extension part 31 formed in the outer side of the outer edge part of the mounting part 3b. The placement portion 3b is formed in a square frame shape along the outer shape of the tray main body 30 on the bottom surface 30a, and functions as a constituent portion on which the pellicle 5 is placed.

図３に示すように、載置部３ｂは、突出した側に水平の上側底面３ｃを有している。これは、後述するペリクル５を構成する支持枠７の底面と上側底面３ｃの上面とを隙間なく接触させ、支持枠７の底面に均一の荷重がかかるようにするためである。なお、上側底面３ｃの裏側は、トレイ３の外側から見て、開口部側にへこむ凹部となっている。   As shown in FIG. 3, the mounting portion 3b has a horizontal upper bottom surface 3c on the protruding side. This is because the bottom surface of the support frame 7 constituting the pellicle 5 described later and the top surface of the upper bottom surface 3 c are brought into contact with each other without any gap so that a uniform load is applied to the bottom surface of the support frame 7. In addition, the back side of the upper bottom surface 3 c is a recess that is recessed toward the opening as viewed from the outside of the tray 3.

外延部３１は、載置部３ｂの外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部３１ａと、当該外周延出部３１ａの外縁から全周に亘って当該外周延出部３１ａに対して略垂直上方に向かって延出する上方延部３１ｂと、当該上方延部３１ｂの外縁から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部３１ｃと、当該外方延出部３１ｃの外縁から全周に亘って当該外方延出部３１ｃに対して略垂直下方に向かって延出する平面折曲部３１ｄとから構成されている。平面折曲部３１ｄの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。   The outer extending portion 31 includes an outer peripheral extending portion 31a extending horizontally outward from the outer edge portion of the mounting portion 3b and the outer peripheral extending portion 31a from the outer edge to the entire outer periphery. An upper extension 31b extending substantially vertically upward with respect to the outer peripheral extension 31a, and an outward extension extending horizontally outward from the outer edge of the upper extension 31b over the entire circumference A part 31c and a planar bent part 31d extending substantially vertically downward with respect to the outer extension part 31c from the outer edge of the outer extension part 31c over the entire circumference. The height of the planar bent portion 31d is formed to be about 10 mm or more, but is not limited to this.

カバー２がトレイ３上に被せられた状態では、図３に示すように、外周延出部２１ａと外周延出部３１ａ、上方延出部２１ｂと上方延出部３１ｂおよび外方延出部２１ｃと外方延出部３１ｃとは、それぞれ対向面全面に渡って接触している。また、平面折曲部２１ｄは、外方延出部２１ｃに対して略垂直上方に向かって延出し、かつ平面折曲部３１ｄは、外方延出部３１ｃに対して垂直下方に向かって延出している。また、平面折曲部２１ｄと平面折曲部３１ｄの外面は１つの平坦な平面部４を形成している。   In the state where the cover 2 is placed on the tray 3, as shown in FIG. 3, the outer peripheral extension portion 21a, the outer peripheral extension portion 31a, the upper extension portion 21b, the upper extension portion 31b, and the outer extension portion 21c. And the outwardly extending portion 31c are in contact with each other over the entire opposing surface. Further, the plane bent portion 21d extends substantially vertically upward with respect to the outward extending portion 21c, and the plane bent portion 31d extends vertically downward with respect to the outward extending portion 31c. I'm out. Further, the outer surfaces of the plane bent portion 21d and the plane bent portion 31d form one flat plane portion 4.

図４は、図３に示すペリクル用収納容器１に収納されるペリクル５を、図２に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。   4 is a cross-sectional view of the pellicle 5 stored in the pellicle storage container 1 shown in FIG. 3 taken along the line AA shown in FIG.

ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角枠形状の支持枠７における一方の端面に展張して貼り付けた構成を有している。支持枠７の高さは約５ミリメートルである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さ並びに支持枠７の高さは、上記に限定されない。   The pellicle 5 has a configuration in which a pellicle film 6 made of a material such as nitrocellulose and having a thickness of 10 microns or less is stretched and attached to one end face of a support frame 7 having a square frame shape. The height of the support frame 7 is about 5 millimeters. However, the material and thickness of the pellicle film 5 and the height of the support frame 7 are not limited to the above.

図４におけるＸで示す部分の拡大図に示すように、ペリクル膜６が貼り付けられている支持枠７の周端面と反対側の周端面には粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着材８が粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。この粘着材８の厚みが不均一になると、フォトマスクとの間に隙間が生じるおそれがあるため、粘着材８の厚みを不均一な状態としないように、ペリクル５を輸送する必要がある。   As shown in the enlarged view of the portion indicated by X in FIG. 4, an adhesive material 8 is provided on the peripheral end surface opposite to the peripheral end surface of the support frame 7 to which the pellicle film 6 is attached. A thin release sheet (not shown) is attached to the surface of the adhesive material 8. When the pellicle 5 is used, the release sheet is peeled off from the adhesive material 8 so that the adhesive material 8 can exert an adhesive force, and then the support frame 7 is attached to a photomask and fixed. If the thickness of the pressure-sensitive adhesive material 8 is not uniform, a gap may be formed between the pressure-sensitive adhesive material 8 and the pellicle 5 so that the thickness of the pressure-sensitive adhesive material 8 is not uneven.

図５は、図３に示すペリクル用収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。図６は、図５におけるＹで示す部分を拡大して示した斜視図である。   FIG. 5 is a diagram showing a state where the pellicle 5 shown in FIG. 4 is stored in the pellicle storage container 1 shown in FIG. 6 is an enlarged perspective view showing a portion indicated by Y in FIG.

ペリクル５は、載置部３ｂと突起部２０ｂとによって支持枠７を狭持されることにより、ペリクル用収納容器１内に固定される。ペリクル５が固定された状態では、当該ペリクル５はその支持枠７の底面が上側底面３ｃに接しており、支持枠７の上端面は突起部２０ｂの先端部と接している。このように、ペリクル５は、ペリクル用収納容器１内に固定された状態で収納されるため、ペリクル５が輸送時に載置部３ｂから脱落することはない。また、図５および図６に示すように、平面部４には、境界部４ａを跨ぐようにテープ３３が全周に亘って貼られている。また、テープ３３を貼ることにより、ペリクル用収納容器１を密閉することができる。したがって、ペリクル用収納容器１内に塵挨が入るのを防止できる。また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄの存在により、ペリクル用収納容器１の強度は増し、ゆがみ、反り等の変形が生じにくくなる。   The pellicle 5 is fixed in the pellicle storage container 1 by sandwiching the support frame 7 by the mounting portion 3b and the protrusion 20b. In a state where the pellicle 5 is fixed, the bottom surface of the support frame 7 of the pellicle 5 is in contact with the upper bottom surface 3c, and the upper end surface of the support frame 7 is in contact with the tip of the protrusion 20b. As described above, since the pellicle 5 is stored in a fixed state in the pellicle storage container 1, the pellicle 5 is not dropped from the mounting portion 3b during transportation. As shown in FIG. 5 and FIG. 6, the tape 33 is stuck to the flat surface portion 4 over the entire circumference so as to straddle the boundary portion 4 a. Further, the pellicle storage container 1 can be sealed by applying the tape 33. Therefore, dust can be prevented from entering the pellicle storage container 1. Further, due to the presence of the plane bent portions 21d and 31d, the strength of the pellicle storage container 1 is increased, and deformation such as distortion and warpage is less likely to occur.

以上のようにして構成されたペリクル用収納容器１では、平面折曲部２１ｄ，３１ｄが設けられているため、平面部４にテープ３３を貼ることにより容易にかつ強固にカバー２とトレイ３とを固定することが可能となる。また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄは、外方延出部２１ｃ，３１ｃに対して全周に亘って略垂直方向に延出するように凹凸を有するため、ペリクル用収納容器１の強度が向上する。さらに、平面折曲部２１ｄ，３１ｄがペリクル用収納容器１の外周部に存在するため、ペリクル用収納容器１を把持しやすくなる。   In the pellicle storage container 1 configured as described above, since the flat bent portions 21d and 31d are provided, the cover 2 and the tray 3 can be easily and firmly attached by sticking the tape 33 to the flat portion 4. Can be fixed. Further, since the planar bent portions 21d and 31d are uneven so as to extend in a substantially vertical direction over the entire circumference with respect to the outward extending portions 21c and 31c, the strength of the pellicle storage container 1 is improved. To do. Furthermore, since the planar bent portions 21d and 31d are present on the outer peripheral portion of the pellicle storage container 1, the pellicle storage container 1 is easily gripped.

また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄは、外方延出部２１ｃ，３１ｃに対して逆方向に向かって垂直に延出している。したがって、カバー２およびトレイ３の外周部にテープ３３を貼ることができる面積を十分に確保することができる。また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄは１つの平坦な平面部４を形成しているため、当該平面部４にテープ３３を容易に貼ることができる。さらに、平面部４の幅を２０ｍｍ以上としているため、支障なく汎用のテープ３３を用いることができる。平面部４の幅を２０ｍ未満とすることもできるが、トレイ３とカバー２の両板厚の和よりも広い面積とする方が、テープ３３を貼りやすい。   Moreover, the plane bending parts 21d and 31d are extended perpendicularly | vertically toward the reverse direction with respect to the outward extension parts 21c and 31c. Therefore, it is possible to sufficiently secure an area where the tape 33 can be applied to the outer peripheral portions of the cover 2 and the tray 3. Further, since the flat bent portions 21 d and 31 d form one flat flat portion 4, the tape 33 can be easily attached to the flat portion 4. Furthermore, since the width of the flat portion 4 is 20 mm or more, a general-purpose tape 33 can be used without any trouble. Although the width of the flat portion 4 can be less than 20 m, the tape 33 is more easily applied when the area is wider than the sum of the thicknesses of both the tray 3 and the cover 2.

（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器４０について説明する。なお、第２の実施の形態では、第１の実施の形態と多くの共通部分を有しているため、主として第１の実施の形態との相違部分について説明する。また、第１の実施の形態と同一の部材、同一の部分には同一の符号を付すと共にその説明を省略または簡略化する。 (Second Embodiment)
Next, a pellicle storage container 40 according to a second embodiment of the present invention will be described. Since the second embodiment has many common parts with the first embodiment, the differences from the first embodiment will be mainly described. The same members and the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or simplified.

図７は、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器４０を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの断面図である。   FIG. 7 is a cross-sectional view of the pellicle storage container 40 according to the second embodiment, taken along the line AA shown in FIG.

ペリクル用収納容器４０は、カバー２とトレイ３とを有している。カバー２は、カバー本体２０と外延部４１とから構成され、カバー２の内側に突起部２０ｂを有している。本実施の形態では、カバー本体２０と、突起部２０の構成は、第１の実施の形態と同様な構成となっているため、カバー２に関して、外延部４１についてのみ説明する。   The pellicle storage container 40 includes a cover 2 and a tray 3. The cover 2 is composed of a cover main body 20 and an extended portion 41, and has a protrusion 20 b inside the cover 2. In the present embodiment, the configuration of the cover main body 20 and the protruding portion 20 is the same as that of the first embodiment, and therefore only the outer extension portion 41 will be described with respect to the cover 2.

外延部４１は、カバー本体２０の外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部４１ａと、当該外方延出部４１ａの外縁から全周に亘って当該外方延出部４１ａに対して略垂直下方に向かって延出する平面部４１ｂとから構成されている。平面部４１ｂの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。   The outer extension 41 extends outward from the outer edge of the cover main body 20 over the entire circumference horizontally and from the outer edge of the outer extension 41 a to the entire circumference. It is comprised from the flat part 41b extended toward the substantially perpendicular | vertical downward direction with respect to the said outward extension part 41a. The height of the flat portion 41b is formed to be about 10 mm or more, but is not limited to this.

トレイ３は、トレイ本体３０と、トレイ本体３０の外縁部にあって、トレイ３の開口側に突出する載置部３ｂと、載置部３ｂの外縁から全週に亘って延出して形成される外延部５１とを有している。本実施の形態では、トレイ本体３０と、載置部３ｂの構成は、第１の実施の形態と同様な構成となっているため、トレイ３に関しては、外延部５１についてのみ説明する。   The tray 3 is formed on the tray body 30, the outer edge portion of the tray body 30, the protruding portion 3 b protruding toward the opening side of the tray 3, and extending from the outer edge of the loading portion 3 b over the entire week. And an extended portion 51. In the present embodiment, the configurations of the tray main body 30 and the placing portion 3b are the same as those in the first embodiment, and therefore only the outward extending portion 51 will be described with respect to the tray 3.

外延部５１は、載置部３ｂの外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部５１ａと、当該外周延出部５１ａの外縁から全周に亘って当該外周延出部５１ａに対して略垂直上方に向かって延出する上方延部５１ｂと、当該上方延部５１ｂの外縁から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部５１ｃと、当該外方延出部５１ｃの外縁から全周に亘って当該外方延出部３１ｃに対して略垂直下方に向かって延出する下方延出部５１ｄと、下方延出部５１ｄの外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部５１ｅと、当該外周延出部５１ｅの外縁から全周に亘って略垂直下方に向かって延出する平面折曲部５１ｆとから構成されている。平面折曲部５１ｆの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。   The outer extending portion 51 includes an outer peripheral extending portion 51a that extends horizontally outward from the outer edge portion of the mounting portion 3b, and an outer edge extending from the outer edge of the outer peripheral extending portion 51a to the entire periphery. An upward extending portion 51b extending substantially vertically upward with respect to the outer peripheral extending portion 51a, and an outward extending horizontally extending outward from the outer edge of the upper extending portion 51b. 51c, a downwardly extending portion 51d extending substantially vertically downward with respect to the outwardly extending portion 31c from the outer edge of the outwardly extending portion 51c, and a downwardly extending portion 51d. An outer peripheral extending portion 51e that extends horizontally outward from the outer edge portion of the outer peripheral portion, and a plane that extends substantially vertically downward from the outer edge of the outer peripheral extending portion 51e over the entire periphery. It is comprised from the bending part 51f. The height of the plane bent portion 51f is formed to be about 10 mm or more, but is not limited to this.

カバー２がトレイ３上に被せられた状態では、図７に示すように、外方延出部４１ａの下面は、外方延出部５１ａの上面と接している。また、下方延出部５１ｄの外周面は、平面折曲部４１ｂの内周面と接している。また、平面折曲部５１ｆの上方には、平面折曲部４１ｂの下端面４１ｃが接している。平面折曲部４１ｂと平面折曲部５１ｆとの接触面は、境界部５２を形成している。平面折曲部４１ｂと平面折曲部５１ｆとによって形成される外表面は、１つの平坦な平面部５４を形成している。   In the state where the cover 2 is placed on the tray 3, as shown in FIG. 7, the lower surface of the outward extending portion 41a is in contact with the upper surface of the outward extending portion 51a. In addition, the outer peripheral surface of the downward extending portion 51d is in contact with the inner peripheral surface of the flat bent portion 41b. Further, the lower end surface 41c of the plane bent portion 41b is in contact with the plane bent portion 51f. The contact surface between the flat bent portion 41b and the flat bent portion 51f forms a boundary portion 52. The outer surface formed by the plane bent portion 41b and the plane bent portion 51f forms one flat plane portion 54.

ペリクル用収納容器４０にはペリクル５が収納される。ペリクル５は、第１の実施の形態と同様、載置部３ｂと突起部２０ｂとによって狭持されることによりペリクル用収納容器４０内に固定される。このようにペリクル５は、ペリクル用収納容器４０内に固定された状態で収納されるため、ペリクル５が輸送時に載置部３ｂから脱落することはない。また、平面部５４には、境界部５２を跨ぐようにテープ３３が全周に亘って貼られる。テープ３３を貼ることにより、ペリクル用収納容器４０を密閉することができる。したがって、ペリクル用収納容器４０内に塵挨が入るのを防止できる。また、平面折曲部４１ｂ，５１ｆの存在により、ペリクル用収納容器４０の強度は増し、ゆがみ、反り等の変形が生じにくくなる。   A pellicle 5 is stored in the pellicle storage container 40. As in the first embodiment, the pellicle 5 is fixed in the pellicle storage container 40 by being sandwiched between the placement portion 3b and the protrusion 20b. Since the pellicle 5 is stored in a fixed state in the pellicle storage container 40 in this way, the pellicle 5 does not fall off the mounting portion 3b during transportation. Further, the tape 33 is attached to the flat surface portion 54 so as to straddle the boundary portion 52. By attaching the tape 33, the pellicle storage container 40 can be sealed. Therefore, dust can be prevented from entering the pellicle storage container 40. Further, due to the presence of the plane bent portions 41b and 51f, the strength of the pellicle storage container 40 is increased, and deformation such as distortion and warpage is less likely to occur.

以上のようにして構成されたペリクル用収納容器４０では、平面折曲部４１ｂ，５１ｆが設けられているため、平面部５４にテープ３３を貼ることにより容易にかつ強固にカバー２とトレイ３とを固定することが可能となる。また、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは外方延出部４１ａ，５１ｃに対して全周に亘って略垂直方向に延出しているため、ペリクル用収納容器４０の強度が向上する。さらに、平面折曲部４１ｂ，５１ｆがペリクル用収納容器４０の外周部に存在するため、ペリクル用収納容器４０を把持しやすくなる。   In the pellicle storage container 40 configured as described above, since the flat bent portions 41b and 51f are provided, the cover 2 and the tray 3 can be easily and firmly attached by attaching the tape 33 to the flat portion 54. Can be fixed. Further, since the planar bent portions 41b and 51f extend in a substantially vertical direction over the entire circumference with respect to the outward extending portions 41a and 51c, the strength of the pellicle storage container 40 is improved. Furthermore, since the plane bent portions 41b and 51f are present on the outer peripheral portion of the pellicle storage container 40, the pellicle storage container 40 can be easily gripped.

また、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、それぞれ外方延出部４１ａおよび外周延出部５１ｅに対して垂直下方に延出し、平面部５４を構成するように配置されている。したがって、カバー２およびトレイ３の外周部にテープ３３を貼ることができる十分に広い面積を確保できる。さらに、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、１つの平坦な平面部５４を形成しているため、当該平面部５４にテープ３３を容易に貼ることができる。さらに、平面部５４の幅を２０ｍｍ以上としているため、支障なく汎用のテープ３３を用いることができる。平面部５４の幅を２０ｍ未満とすることもできるが、トレイ３とカバー２の両板厚の和よりも広い面積とする方が、テープ３３を貼りやすい。   Further, the plane bent portions 41b and 51f extend vertically downward with respect to the outward extending portion 41a and the outer peripheral extending portion 51e, respectively, and are arranged so as to constitute the flat portion 54. Therefore, it is possible to secure a sufficiently large area where the tape 33 can be attached to the outer peripheral portions of the cover 2 and the tray 3. Further, since the flat bent portions 41 b and 51 f form one flat flat portion 54, the tape 33 can be easily attached to the flat portion 54. Furthermore, since the width of the flat portion 54 is 20 mm or more, the general-purpose tape 33 can be used without any trouble. Although the width of the flat portion 54 can be less than 20 m, the tape 33 is more easily applied when the area is wider than the sum of the thicknesses of both the tray 3 and the cover 2.

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。   As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, this invention can be variously deformed besides this. This will be described below.

上述の各実施の形態では、平面折曲部２１ｄ，３１ｄおよび平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、外方延出部２１ｃ，３１ｃおよび外方延出部４１ａ，５１ｃに対してそれぞれ垂直方向に延出しているが、これに限ることなく、例えば、図８に示すように、トレイ３の外周部のみから垂直下方に向かって平面折曲部６１を延出させて平面部６２を形成するようにしても良い。また、平面折曲部６１を垂直上方に延出してカバー２の外周端と平面部６２を形成するようにしても良い。さらに、図９に示すように、カバー２の外周部のみから垂直上方に向かって平面折曲部６３を延出させて平面部６４を形成するようにしても良い。この場合にも、平面折曲部６３を垂直下方に延出して、トレイ３の外周端と平面部６４を形成するようにしても良い。また、図１０に示すように、カバー２およびトレイ３の外周部から当該カバーおよびトレイに対して傾斜するように平面折曲部６５，６６を延出させて平面部６７を設けるようにしても良い。なお、平面折曲部６５，６６を同一方向に折り曲げて平面部６７を形成するようにしても良い。   In each of the above-described embodiments, the flat bent portions 21d and 31d and the flat bent portions 41b and 51f extend in the vertical direction with respect to the outward extending portions 21c and 31c and the outward extending portions 41a and 51c, respectively. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 8, the plane bent portion 61 is extended from only the outer peripheral portion of the tray 3 vertically downward to form the plane portion 62. May be. Further, the flat bent portion 61 may be extended vertically upward to form the outer peripheral end of the cover 2 and the flat portion 62. Furthermore, as shown in FIG. 9, the plane bent portion 63 may be extended from only the outer peripheral portion of the cover 2 vertically upward to form the plane portion 64. Also in this case, the flat bent portion 63 may be extended vertically downward to form the outer peripheral end of the tray 3 and the flat portion 64. Further, as shown in FIG. 10, the plane bent portions 65 and 66 may be extended from the outer peripheral portions of the cover 2 and the tray 3 so as to be inclined with respect to the cover and the tray to provide the plane portion 67. good. The plane bent portions 65 and 66 may be bent in the same direction to form the plane portion 67.

また、上述の第２の実施の形態では、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、外方延出部４１ａ，５１ｃに対して、略垂直下方に向かって延出しているが、垂直上方に向かって延出させるようにしても良い。   In the second embodiment described above, the plane bent portions 41b and 51f extend substantially vertically downward with respect to the outward extending portions 41a and 51c, but vertically upward. You may make it extend.

また、上述の第２の実施の形態では、上方延部５１ｂは、外周延出部５１ａの外縁から略垂直方向上方に向かって全周に亘って延出しているが、外周延出部５１ａの外縁から傾斜させて延出するようにしても良い。   In the second embodiment described above, the upper extension 51b extends over the entire circumference from the outer edge of the outer peripheral extension 51a toward the upper side in the substantially vertical direction. You may make it extend incline from an outer edge.

また、上述の各実施の形態では、突起部２０ｂによりペリクル５を保持しているが、これに限ることなく、上面２０ａに、下方に向かってくぼんだくぼみ部を形成し、当該くぼみ部と載置部３ｂによりペリクル５を保持するようにしても良い。   Further, in each of the above-described embodiments, the pellicle 5 is held by the protrusion 20b. However, the present invention is not limited to this, and a recessed portion that is recessed downward is formed on the upper surface 20a and is mounted on the recessed portion. The pellicle 5 may be held by the placement unit 3b.

また、上述の各実施の形態では、載置部３ｂの上側底面３ｃ全体が平坦な面となっているが、上側底面３ｃの内周側および外周側に直角に切り欠くような段差部を設けることにより、当該段差部に支持枠７を嵌め込む構成としても良い。また、上側底面３ｃに凹部を形成して、当該凹部に支持枠７を嵌め込む構成としても良い。   Further, in each of the above-described embodiments, the entire upper bottom surface 3c of the mounting portion 3b is a flat surface. However, stepped portions that are notched at right angles are provided on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the upper bottom surface 3c. Thus, the support frame 7 may be fitted into the stepped portion. Moreover, it is good also as a structure which forms a recessed part in the upper side bottom face 3c, and inserts the support frame 7 in the said recessed part.

本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。   The present invention can be used in industries that manufacture or use storage containers for transporting pellicles.

本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納器の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the container for pellicles concerning the 1st embodiment of the present invention. 図１に示すペリクル用収納容器の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a pellicle storage container shown in FIG. 1. 図２に示すペリクル用収納容器をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。It is sectional drawing when the storage container for pellicles shown in FIG. 2 is cut | disconnected by the AA line. 図３に示すペリクル用収納容器１に収納されるペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of the pellicle stored in the pellicle storage container 1 shown in FIG. 3 taken along the line AA shown in FIG. 2. 図３に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態を示す図である。FIG. 5 is a view showing a state where the pellicle shown in FIG. 4 is stored in the pellicle storage container shown in FIG. 3. 図５におけるＹで示す部分を拡大して示した斜視図である。It is the perspective view which expanded and showed the part shown by Y in FIG. 本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの断面図である。It is sectional drawing when the storage container for pellicles concerning the 2nd Embodiment of this invention is cut | disconnected by the line similar to the AA shown in FIG. 本発明の変形例を示す図であり、トレイの外周部のみから垂直下方に向かって平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。It is a figure which shows the modification of this invention, and is sectional drawing of the outer edge part vicinity which shows the case where a plane bending part is extended toward the perpendicular downward direction only from the outer peripheral part of a tray. 本発明の変形例を示す図であり、カバーの外周部のみから垂直上方に向かって平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。It is a figure which shows the modification of this invention, and is sectional drawing of the outer edge part vicinity which shows the case where the plane bending part is extended toward only perpendicular | vertical upward from only the outer peripheral part of a cover. 本発明の変形例を示す図であり、カバーおよびトレイの外周部から傾斜するように平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。It is a figure which shows the modification of this invention, and is sectional drawing of the outer edge part vicinity which shows the case where the plane bending part is extended so that it may incline from the outer peripheral part of a cover and a tray.

符号の説明Explanation of symbols

１，４０…ペリクル用収納容器
２…カバー
３…トレイ
４，５４，６２，６４，６７…平面部
５…ペリクル
６…ペリクル膜
７…支持枠
２１ｄ，３１ｄ，４１ｂ，５１ｆ，６１，６３，６５，６６…平面折曲部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,40 ... Pellicle storage container 2 ... Cover 3 ... Tray 4, 54, 62, 64, 67 ... Planar part 5 ... Pellicle 6 ... Pellicle membrane 7 ... Support frame 21d, 31d, 41b, 51f, 61, 63, 65 , 66 ... plane bent part

Claims (2)

ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
トレイと、
当該トレイの蓋となるカバーと、
を有し、
上記トレイおよび上記カバーのそれぞれの外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部を備え、上記トレイに上記カバーを被せた状態において、上記トレイの外周部と上記カバーの外周部によって平面部を形成する構成とすると共に、
上記各平面折曲部は、互いに逆方向に向かって延出し、上記平面部を形成している、
ことを特徴とするペリクル用収納容器。 A pellicle storage container for transporting a pellicle having a pellicle film and a support frame that supports the pellicle film,
A tray,
A cover that serves as a lid for the tray;
Have
The tray and the cover are each provided with a plane bent portion that is bent so as to form a plane, and the tray is covered by the outer periphery of the tray and the outer periphery of the cover. With a configuration that forms a flat portion ,
The plane bent portions extend in opposite directions to form the plane portion.
A pellicle storage container characterized by the above. 前記平面部の幅は２０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載のペリクル用収納容器。 Pellicle container according to claim 1, wherein a width of the flat portion is 20mm or more.
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