JP4690036B2 - 電子ビーム装置 - Google Patents
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- 縦方向軸を有する電子ビーム装置であって、
前記縦方向軸から間隔をもって配設された複数の電子ビームの源を含み、
前記複数の電子ビームは、前記源とコレクタ組立体との間に形成されるようになっており、
前記源と前記コレクタ組立体との間の、相対的に該源の近くに配設された磁束等化組立体を含み、
前記磁束等化組立体が、(1)強磁性材料で形成され、前記複数の電子ビームの各々の対する少なくとも1つの孔と、前記孔を定める孔壁とを含む、磁束板と、(2)前記複数の電子ビームの各々の周りに同心に配設された磁束等化リングとを含み、前記磁束等化リングと対応する孔壁との間に方位的に変化する間隙が形成され、
前記電子ビームを集束するように配設された磁場源が設けられ、
前記電子ビームが、前記装置の前記縦方向軸に対して平行な実質的に直線の経路において、前記源と前記コレクタとの間を移動するようになった、
ことを特徴とする電子ビーム装置。 - 前記磁束等化リング及び前記磁束板が、少なくとも1つの位置で接触状態にある請求項1に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁場源が、前記電子ビーム装置の周りに配設されたソレノイドである請求項1に記載の電子ビーム装置。
- 縦方向軸を有する電子ビーム装置であって、
前記縦方向軸から間隔をもって配設された複数の電子ビームの源を含み、
前記複数の電子ビームは、前記源とコレクタ組立体との間に形成されるようになっており、
前記源と前記コレクタ組立体との間の、相対的に該源の近くに配設された磁束等化組立体を含み、
前記磁束等化組立体が、(1)強磁性材料で形成され、前記複数の電子ビームの各々の対する少なくとも1つの孔と、前記孔を定める孔壁とを含む、磁束板と、(2)前記複数の電子ビームの各々の周りに同心に配設され、対応する孔壁との間に方位的に変化する間隙が形成されるようになった磁束等化リングと、(3)前記複数の電子ビームの各々の周りに同心に配設された磁束等化シリンダとを含み、
前記電子ビームを集束するように配設された磁場源が設けられ、
前記電子ビームが、前記装置の前記縦方向軸に対して平行な実質的に直線の経路において、前記源と前記コレクタとの間を移動するようになった、
ことを特徴とする電子ビーム装置。 - 前記磁束等化リング及び前記磁束板が、少なくとも1つの位置で接触状態にある請求項4に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁束等化リング及び前記磁束等化シリンダが、接触状態にある請求項4に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁束等化リング及び前記磁束板が、少なくとも1つの位置で接触状態にある請求項6に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁場源が、前記電子ビーム装置の周りに配設されたソレノイドである請求項4に記載の電子ビーム装置。
- 縦方向軸と、前記縦方向軸の周りに配設され、電子ビームを第1の直径に集束させる磁界集束場を与える磁気回路とを有する電子ビーム装置であって、前記装置が、該縦方向軸に対して平行に、かつ該軸から或る距離をもって少なくとも1つの電子ビームを有し、該装置は、
前記少なくとも1つの電子ビームと関連するカソードと、
前記少なくとも1つの電子ビームと関連するアノードと、
前記アノードと前記カソードとの間に配設された磁束等化組立体と、
を備え、
前記磁束等化組立体が、前記少なくとも1つの電子ビームが通るようにされたビーム孔を有する強磁性磁束板を含み、
前記磁束等化組立体が、前記それぞれの複数の電子ビームの周りに同心に配置された磁束等化リングを含み、前記磁束等化リングと対応する孔壁との間で方位的に変化する間隙を形成し、
前記磁束等化組立体が、前記カソードの方向に延びて、該カソードの方向に延びる前記磁束等化組立体が前記第1の直径より大きく、該カソードに隣接する領域において、少なくとも1つの電子ビームの少なくとも一部を囲む部分を含む、
ことを特徴とする電子ビーム装置。 - 前記磁気回路がソレノイドを含む請求項9に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁束等化リング及び前記強磁性磁束板が少なくとも1つの位置で接触状態にある請求項9に記載の電子ビーム装置。
- 前記カソードの方向への前記磁束等化組立体の延長部が、一定の厚さを有する磁束板により達成された請求項9に記載の電子ビーム装置。
- 前記カソードの方向への前記磁束等化組立体の延長部が、磁束等化シリンダにより達成された請求項9に記載の電子ビーム装置。
- 縦方向軸と、前記縦方向軸の周りに配設され、電子ビームを第1の直径に集束させる磁界集束場を与える磁気回路とを有する電子ビーム装置であって、前記装置が、該縦方向軸に対して平行に、かつ該軸から或る距離をもって少なくとも1つの電子ビームを有し、該装置は、
前記少なくとも1つの電子ビームと関連するカソードと、
前記少なくとも1つの電子ビームと関連するアノードと、
前記アノードと前記カソードとの間に配設された磁束等化組立体と、
を備え、
前記磁束等化組立体が、前記少なくとも1つの電子ビームが通るようにされたビーム孔を有する強磁性磁束板を含み、
前記磁束等化組立体が、前記それぞれの複数の電子ビームの周りに同心に配置された磁束等化リングを含み、前記磁束等化リングと対応する孔壁との間で方位的に変化する間隙を形成する、
ことを特徴とする電子ビーム装置。 - 前記磁気回路がソレノイドを含む請求項14に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁束等化リング及び前記磁束板が、少なくとも1つの位置で接触状態にある請求項14に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁束等化組立体が、一定の厚さを有する磁束板により、前記カソードの方向に延びるようになった請求項14に記載の電子ビーム装置。
- 前記磁束等化組立体が、磁束等化シリンダにより、前記カソードの方向に延びるようになった請求項14に記載の電子ビーム装置。
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