JP4687589B2 - 硬度測定装置および硬度測定方法 - Google Patents
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Description
基準となる試料に対して行った負荷除荷試験結果に基づき、最小の押し込み深さにおける投影面積の補正値と理想形状の圧子を想定した場合の理想投影面積との比である第1の投影面積比、および最大の押し込み深さにおける投影面積の補正値と理想投影面積との比である第2の投影面積比をそれぞれ算出し、押し込み深さが第2の押し込み深さ範囲内のときは、その圧子の押し込み深さに応じた理想投影面積に第2の投影面積比を乗じた値を補正値とし、押し込み深さが最小の押し込み深さより小さい第3の押し込み深さ範囲内のときは、その圧子の押し込み深さに応じた理想投影面積に第1の投影面積比を乗じた値を補正値とすることもできる。
圧子の先端を三角錐または四角錐のビッカース形状としたとき、第1の補正関数を、以下の式で表すこともできる。
Ap=α×hc2+C1×hc+C2×hc(1/2)+C3×hc(1/4)+C4×hc(1/8)
+C5×hc(1/16)+C6×hc(1/32)+C7×hc(1/64)+C8×hc(1/128)
なお、hc=ha−0.75×(ha−hr)
但し、Ap;投影面積の補正値
α;圧子の形状に対応した定数
C1〜C8;計算により求める定数
ha;負荷除荷試験を行ったときの押し込み深さ
hr;負荷除荷試験により得られる除荷曲線に対して近似直線を引いたときの近似直線と試験力0の軸線との交点。
本発明による硬度測定方法は、予め基準となる試料に対し、圧子の押し込み深さを複数通りに変えて複数回の負荷除荷試験を行う第1の負荷除荷試験工程と、第1の負荷除荷試験工程で得られた試験力と押し込み深さとの関係に基づき、最小の押し込み深さと最大の押し込み深さの間の第1の押し込み深さ範囲に対応した第1の補正関数、最小の押し込み深さより小さい第2の押し込み深さ範囲に対応した第2の補正関数、および前記最大の押し込み深さより大きい第3の押し込み深さ範囲に対応した第3の補正関数をそれぞれ算出する算出工程と、評価用試料に対し、負荷除荷試験を行う第2の負荷除荷試験工程と、第2の負荷除荷試験工程における圧子の押し込み深さが、第1の押し込み範囲内のときは、第1の補正関数により試料表面上の圧痕の投影面積を補正し、第2の押し込み範囲内のときは、第2の補正関数により投影面積を補正し、第3の押し込み範囲内のときは、第3の補正関数により投影面積を補正する補正工程と、投影面積の補正値に基づき試料の硬度を評価する評価工程とを備えることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態に係る硬度測定装置の構成を示すブロック図である。この硬度測定装置は、ビッカース硬度計を構成し、硬度測定部1は、ダイヤモンド圧子101と、圧子101をZ方向(鉛直方向)に昇降させる昇降用アクチュエータ102と、ステージ上に設置された試料を、ステージの移動によりXY方向(水平方向)に移動させるステージ用アクチュエータ103と、圧子101の押し込み荷重(試験力)を検出する荷重計2と、圧子101の押し込み位置(押し込み深さ)を検出する位置検出センサ3とを有する。圧子101は三角錐形状であり、先端の対稜角θ(図4)は115°に形成されている。
S=dF/dh=2×E*×√(Ap/π) (I)
1/E*=(1−Vs2)/Es+(1−Vi2)/Ei (II)
試料TP0のポアソン比Vsと弾性率Esおよび圧子101のポアソン比Viと弾性率Eiは予めメモリ4に記憶されているので、上式(II)により複合弾性率E*を求める。この複合弾性率E*と負荷除荷試験により求まる除荷時の直線Lの傾きSとを(I)式に代入し、(I)式を逆算することで投影面積Apを算出できる。
hc=ha−0.75×(ha−hr) (III)
このようにしてステップS2,ステップS3では、所定の試験力Faに対応する投影面積Apおよび接触深さhcをそれぞれ算出する。
Ap=23.96×hc2+C1×hc+C2×hc(1/2)+C3×hc(1/4)+C4×hc(1/8)
C5×hc(1/16)+C6×hc(1/32)+C7×hc(1/64)+C8×hc(1/128) (IV)
ここで、C1〜C8は未知の定数であり、投影面積Ap1〜Ap8と接触深さhc1〜hc8をそれぞれ代入して得られる8つの式を連立させて解くことで、各定数C1〜C8を求める。上述した式(IV)に定数C1〜C8を代入したものを、補正式(IV)としてメモリ6に記憶する。
Aps=23.96×hc2 (V)
理想形状とは、図4に点線で示すように圧子101の先端が設計値通りのものを言うが、圧子先端を厳密に理想形状とすることは困難であり、現実には図4の実線に示すように圧子先端が丸みを帯びていたり、対稜角θが115°からずれていたりする。この点を考慮して、後述の硬度評価の際には、上式(IV)により投影面積Apを補正する。
(1)弾性率とポアソン比が既知の試料TP0に対し、試験力Faを8通りに変化させて負荷除荷試験を行う(ステップS11;第1の負荷除荷試験工程)。
(2)各負荷除荷試験により得られた近似直線Lの傾きS、押し込み深さha、および深さhrを上式(I),(III)にそれぞれ代入し、8通りの投影面積Ap1〜Ap8および接触深さhc1〜hc8を求める(ステップS12,ステップS13)。
(3)上記投影面積Ap1〜Ap8と接触深さhc1〜hc8を式(IV)に代入し、式(IV)の定数C1〜C8を算出し、圧子101の形状に応じた投影面積Apの補正式(IV)を算出する(ステップS16;算出工程)。
(4)8通りの負荷除荷試験のうち、最大の押し込み深さhmaxに対応した補正投影面積Apと理想投影面気Apsとの比kmax、および最小の押し込み深さhminに対応した補正投影面積Apと理想投影面積Apsとの比kminをそれぞれ算出する(ステップS18;算出工程)。
(6)負荷除荷試験により得られた押し込み深さhaと深さhrを上式(III)に代入し、接触深さhcを求めるとともに、上式(V)により接触深さhcに対応した理想投影面積Apsを求める(ステップS22,ステップS23)。
(7)接触深さhcに応じた補正式を選択し、補正投影面積Apを算出する。すなわち接触深さがhmin≦hc≦hmaxのときは補正式(IV)により補正投影面積Apを算出する。一方、hc<hminまたはhc>hmaxのときは、それぞれ補正係数が一定であるとして、理想投影面積Apsに投影面積比kminまたはkmaxをそれぞれ乗じて補正投影面積Apを算出する(ステップS25〜ステップS27;補正工程)。
(8)補正投影面積Apと試験力Faとに基づいて試料Tp1の硬度を算出し、さらに弾性率Esとポアソン比Vsで表される物性値を算出する(ステップS28,ステップS29;評価工程)。
3 位置検出センサ
10 CPU
11 補正式演算部
12 硬度評価部
101 圧子
102 昇降用アクチュエータ
Claims (4)
- 試料に圧子を負荷する負荷手段と、
前記負荷手段により負荷される試験力を検出する試験力検出手段と、
前記試料への圧子の押し込み深さを検出する深さ検出手段と、
圧子の押し込みにより形成された試料表面上の圧痕の投影面積を補正する補正手段と、
前記投影面積の補正値に基づき試料の硬度を評価する評価手段とを備え、
前記補正手段は、
予め基準となる試料に対し、押し込み深さを複数通りに変えて行った複数回の負荷除荷試験により得られた試験力と押し込み深さとの関係に基づき、最小の押し込み深さと最大の押し込み深さの間の第1の押し込み深さ範囲に対応した第1の補正関数を算出するとともに、前記最大の押し込み深さより大きい第2の押し込み深さ範囲に対応した第2の補正関数を算出し、
評価用試料に対して前記負荷手段により圧子を負荷したときの押し込み深さが、前記第1の押し込み深さ範囲内のときは、前記第1の補正関数により前記投影面積を補正し、前記第2の押し込み深さ範囲内のときは、前記第2の補正関数により前記投影面積を補正することを特徴とする硬度測定装置。 - 請求項1に記載の硬度測定装置において、
前記補正手段は、前記基準となる試料に対して行った負荷除荷試験結果に基づき、前記最小の押し込み深さにおける前記投影面積の補正値と理想形状の圧子を想定した場合の理想投影面積との比である第1の投影面積比、および前記最大の押し込み深さにおける前記投影面積の補正値と理想投影面積との比である第2の投影面積比をそれぞれ算出し、
前記押し込み深さが前記第2の押し込み範囲内のときは、その圧子の押し込み深さに応じた理想投影面積に前記第2の投影面積比を乗じた値を補正値とし、
前記押し込み深さが前記最小の押し込み深さより小さい第3の押し込み範囲内のときは、その圧子の押し込み深さに応じた理想投影面積に前記第1の投影面積比を乗じた値を補正値とすることを特徴とする硬度測定装置。 - 請求項1または2に記載の硬度測定装置において、
圧子の先端を三角錐または四角錐形状としたとき、前記第1の補正関数は、以下の式で表されることを特徴とする硬度測定装置。
Ap=α×hc2+C1×hc+C2×hc(1/2)+C3×hc(1/4)+C4×hc(1/8)
+C5×hc(1/16)+C6×hc(1/32)+C7×hc(1/64)+C8×hc(1/128)
なお、hc=ha−0.75×(ha−hr)
但し、Ap;投影面積の補正値
α;圧子の形状に対応した定数
C1〜C8;計算により求める定数
ha;負荷除荷試験を行ったときの押し込み深さ
hr;負荷除荷試験により得られる除荷曲線に対して近似直線を引いたときの近似直線と試験力0の軸線との交点。 - 予め基準となる試料に対し、圧子の押し込み深さを複数通りに変えて複数回の負荷除荷試験を行う第1の負荷除荷試験工程と、
前記第1の負荷除荷試験工程で得られた試験力と押し込み深さとの関係に基づき、最小の押し込み深さと最大の押し込み深さの間の第1の押し込み深さ範囲に対応した第1の補正関数、および前記最大の押し込み深さより大きい第2の押し込み深さ範囲に対応した第2の補正関数をそれぞれ算出する算出工程と、
評価用試料に対し、負荷除荷試験を行う第2の負荷除荷試験工程と、
前記第2の負荷除荷試験工程における圧子の押し込み深さが、前記第1の押し込み範囲内のときは、前記第1の補正関数により試料表面上の圧痕の投影面積を補正し、前記第2の押し込み範囲内のときは、前記第2の補正関数により投影面積を補正する補正工程と、
前記投影面積の補正値に基づき試料の硬度を評価する評価工程とを備えることを特徴とする硬度測定方法。
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