JP4685529B2 - Circuit board inspection equipment - Google Patents

Circuit board inspection equipment Download PDF

Info

Publication number
JP4685529B2
JP4685529B2 JP2005198532A JP2005198532A JP4685529B2 JP 4685529 B2 JP4685529 B2 JP 4685529B2 JP 2005198532 A JP2005198532 A JP 2005198532A JP 2005198532 A JP2005198532 A JP 2005198532A JP 4685529 B2 JP4685529 B2 JP 4685529B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit board
slider
inspection
sheet
inspection apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005198532A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007017256A (en
Inventor
和彦 関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
Priority to JP2005198532A priority Critical patent/JP4685529B2/en
Publication of JP2007017256A publication Critical patent/JP2007017256A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4685529B2 publication Critical patent/JP4685529B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置に関するものである。   The present invention relates to a circuit board inspection apparatus configured to be able to execute a predetermined electrical inspection on a circuit board.

この種の回路基板検査装置として、特開2001−13190号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、基板載置台、基板固定板およびプローブを備えて、回路基板についての電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、基板固定板は、回路基板を磁力によって基板載置台に固定するための検査用部材であって、マグネットシートで構成されている。この回路基板検査装置を用いて回路基板についての検査を行う際には、まず、基板載置台に回路基板を載置(基板嵌入用孔に嵌入)した後に、回路基板の上に基板固定板を載置(固定板嵌入用孔に嵌入)する。この場合、基板固定板が基板載置台に吸着されて、基板固定板の裏面における縁部が回路基板の縁部を基板載置台側に押さえ付ける。このため、回路基板が基板載置台に確実に固定される。
特開2001−13190号公報(第3−4頁、第2−4図)
As this type of circuit board inspection apparatus, a circuit board inspection apparatus disclosed by the applicant in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-13190 is known. This circuit board inspection apparatus includes a substrate mounting table, a substrate fixing plate, and a probe, and is configured to be able to perform an electrical inspection on a circuit board. In this case, the board fixing plate is an inspection member for fixing the circuit board to the board mounting table by magnetic force, and is configured by a magnet sheet. When inspecting a circuit board using this circuit board inspection apparatus, first, after placing the circuit board on the board mounting table (inserted into the board insertion hole), the board fixing plate is placed on the circuit board. Place (insert into the fixing plate insertion hole). In this case, the substrate fixing plate is attracted to the substrate mounting table, and the edge of the back surface of the substrate fixing plate presses the edge of the circuit board against the substrate mounting table. For this reason, the circuit board is securely fixed to the board mounting table.
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-13190 (page 3-4, FIG. 2-4)

ところが、上記の回路基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、回路基板を載置台に確実に固定するために、基板固定板を回路基板の上に載置している。しかしながら、この回路基板検査装置には基板固定板を搬送する機構や着脱機構などが備えられていないため、基板固定板を載置したり取り外したりする作業を手作業で行う必要がある。したがって、この回路基板検査装置には、例えば、複数の回路基板検査装置についての電気的検査を連続して行う際に、この手作業を繰り返す必要があり、検査効率を向上するのが困難であるという課題が存在する。   However, the above circuit board inspection apparatus has the following problems to be improved. That is, in this circuit board inspection apparatus, in order to securely fix the circuit board to the mounting table, the board fixing plate is placed on the circuit board. However, since this circuit board inspection apparatus is not provided with a mechanism for transporting the substrate fixing plate, an attachment / detachment mechanism, etc., it is necessary to manually perform the work of placing and removing the substrate fixing plate. Therefore, in this circuit board inspection apparatus, for example, when electrical inspection is continuously performed on a plurality of circuit board inspection apparatuses, it is necessary to repeat this manual operation, and it is difficult to improve inspection efficiency. There is a problem.

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査効率を向上し得る回路基板検査装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of the problems to be improved, and a main object of the present invention is to provide a circuit board inspection apparatus capable of improving inspection efficiency.

上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、回路基板を載置可能な載置部を有する載置台を備えて当該回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置であって、前記電気的検査に用いるシート状または板状の検査用部材を前記載置部に搬送する搬送機構を備え、前記搬送機構は、前記載置部から所定距離だけ離間した第1位置から当該載置部の上方の第2位置に向かう方向に沿って当該載置台に取り付けられたレールにスライド可能に配設されると共に当該レールに沿って架設された牽引用ベルトによる牽引によってスライドさせられる第1スライド部と、前記レールにスライド可能に配設されると共にばね部材を介して前記第1スライド部に連結されて当該第1スライド部のスライドに伴ってスライドさせられる第2スライド部と、前記検査用部材を固定可能に構成されると共に前記第2位置から前記載置部に向かう方向に沿って移動可能に連結アームを介して前記第2スライド部に連結された固定部と、前記牽引ベルトを牽引する牽引機構とを備えて構成されて、前記第1位置から前記第2位置に向かって前記検査用部材を前記載置台の上面から離間させた状態で搬送すると共に、当該第2位置から前記載置部に向かって当該検査用部材を搬送する。 In order to achieve the above object, the circuit board inspection apparatus according to claim 1 includes a mounting table having a mounting portion on which the circuit board can be mounted, and is configured to perform predetermined electrical inspection on the circuit board. A circuit board inspection apparatus comprising: a transport mechanism that transports a sheet-like or plate-shaped inspection member used for the electrical inspection to the placement section, wherein the transport mechanism is a predetermined distance from the placement section. For traction that is slidably disposed on a rail attached to the mounting table along a direction from a first position that is spaced apart to a second position above the mounting portion, and that is installed along the rail. A first slide portion that is slid by pulling by a belt, and is slidably disposed on the rail and connected to the first slide portion via a spring member, and accompanying the slide of the first slide portion The second slide portion to be rided and the inspection member are configured to be fixed and movable to the second slide portion via a connecting arm so as to be movable along the direction from the second position toward the mounting portion. A state in which the inspection member is separated from the upper surface of the mounting table from the first position toward the second position, the fixed portion being connected and a traction mechanism that pulls the traction belt. And the inspection member is transported from the second position toward the mounting portion.

また、請求項記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、前記牽引機構は、エアシリンダを備えて構成されている。 Further, the circuit board inspection apparatus according to claim 2, wherein, in the circuit board inspection apparatus according to claim 1 Symbol mounting, the traction mechanism is configured by an air cylinder.

請求項1記載の回路基板検査装置によれば、検査用部材を載置台の載置部に搬送する搬送機構を備えたことにより、検査用部材を配置する作業を自動化できるため、検査効率を十分に向上させることができる。また、第1位置から第2位置に向かって検査用部材を搬送させると共に、第2位置から載置部に向かって検査用部材を搬送させるように搬送機構を構成したことにより、載置部から所定距離だけ離間している第1位置に検査用部材を待避させることができるため、載置部への回路基板の載置作業が検査用部材によって阻害される事態を確実に防止することができる。また、載置台の上面から離間させた状態で検査用部材を搬送させることにより、載置台の上面と検査用部材との接触を確実に防止することができる。   According to the circuit board inspection apparatus of the first aspect, since the operation of arranging the inspection member can be automated by providing the conveyance mechanism that conveys the inspection member to the mounting portion of the mounting table, the inspection efficiency is sufficient. Can be improved. In addition, the inspection mechanism is conveyed from the first position toward the second position, and the conveyance mechanism is configured to convey the inspection member from the second position toward the placement section. Since the inspection member can be retracted to the first position separated by a predetermined distance, it is possible to reliably prevent a situation in which the placement operation of the circuit board on the placement portion is hindered by the inspection member. . In addition, by conveying the inspection member while being separated from the upper surface of the mounting table, it is possible to reliably prevent contact between the upper surface of the mounting table and the inspection member.

た、牽引用ベルトの牽引によってスライドさせられる第1スライド部と、第1スライド部のスライドに伴ってスライドさせられる第2スライド部と、連結アームを介して第2スライド部に連結された固定部と、牽引用ベルトを牽引する牽引機構とを備えて搬送機構を構成したことにより、第1位置から第2位置への搬送および第2位置から載置部への搬送の2つの動作を1つの牽引機構だけで実行させることができる。したがって、搬送機構を簡易に構成することができるため、搬送機構ひいては回路基板検査装置を安価に構成することができる。 Also, a first slide part which is slid by pulling the cited belts, a second slide portion which is slid along with the sliding of the first sliding portion, fixed connected to the second sliding portion via the connecting arm And a traction mechanism that pulls the traction belt, the conveyance mechanism is configured, so that two operations of conveyance from the first position to the second position and conveyance from the second position to the placement unit are performed in one operation. It can be executed with only one traction mechanism. Therefore, since the transport mechanism can be configured easily, the transport mechanism and thus the circuit board inspection apparatus can be configured at low cost.

また、請求項記載の回路基板検査装置によれば、牽引用ベルトを牽引する牽引機構としてエアシリンダを用いたことにより、例えばモータを用いる構成と比較して、稼働時における低周波や高周波の発生を低く抑えることができる。したがって、検査時における低周波や高周波の影響を低減することができる。 Further, according to the circuit board inspection apparatus of the second aspect , since the air cylinder is used as a pulling mechanism for pulling the pulling belt, for example, compared with a configuration using a motor, low frequency and high frequency during operation are reduced. Occurrence can be kept low. Therefore, it is possible to reduce the influence of low frequency and high frequency during inspection.

以下、本発明に係る回路基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, the best mode of a circuit board inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、回路基板検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。図1に示す回路基板検査装置1は、本発明に係る回路基板検査装置の一例であって、例えば、図2に示す回路基板100に対して所定の電気的検査を実行可能に構成されている。ここで、回路基板100は、一例として、4個取りの回路基板であって、ほぼ長方形に形成されると共に、導体パターンが形成されていないフラットな余白部101が外周縁部と個々の回路基板間とに形成されている。   First, the configuration of the circuit board inspection apparatus 1 will be described with reference to the drawings. A circuit board inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 is an example of a circuit board inspection apparatus according to the present invention, and is configured to perform a predetermined electrical inspection on the circuit board 100 shown in FIG. 2, for example. . Here, as an example, the circuit board 100 is a four-chip circuit board, which is formed in a substantially rectangular shape, and a flat blank portion 101 on which no conductor pattern is formed has an outer peripheral edge portion and individual circuit boards. Formed between.

回路基板検査装置1は、図1に示すように、回路基板保持装置(以下、単に「保持装置」ともいう)2、検査部3および制御部4を備えて構成されている。保持装置2は、図3に示すようにテーブル11、搬送機構12、吸着補助シート13(図10参照)および吸気装置14(図1参照)を備えている。テーブル11は、本発明における載置台に相当し、図3に示すように、全体として矩形の板状に構成されている。また、テーブル11には、平面視が正方形の4つの開口部21,21・・が形成されると共に、各開口部21,21・・の外周部を取り囲む段部22a,22a・・で構成された載置部22が形成されている。この場合、載置部22を構成する段部は、回路基板100を載置(嵌め込み)可能にその大きさが規定されると共に、載置された状態における回路基板100の上面がテーブル11の上面と面一(ほぼ面一)となるように、つまり回路基板100の厚みとほぼ同じとなるようにその深さが規定されている。   As shown in FIG. 1, the circuit board inspection apparatus 1 includes a circuit board holding device (hereinafter also simply referred to as “holding device”) 2, an inspection unit 3, and a control unit 4. As shown in FIG. 3, the holding device 2 includes a table 11, a transport mechanism 12, a suction assisting sheet 13 (see FIG. 10), and an intake device 14 (see FIG. 1). The table 11 corresponds to the mounting table in the present invention, and is configured as a rectangular plate as a whole as shown in FIG. Further, the table 11 is formed with four openings 21, 21... Having a square shape in plan view and step portions 22 a, 22 a, and the like surrounding the outer peripheral portions of the openings 21, 21,. A mounting portion 22 is formed. In this case, the size of the step portion constituting the mounting portion 22 is defined such that the circuit board 100 can be mounted (fitted), and the upper surface of the circuit substrate 100 in the mounted state is the upper surface of the table 11. The depth is defined to be flush with each other (substantially flush), that is, substantially the same as the thickness of the circuit board 100.

また、テーブル11には、図3に示すように、吸気経路23が形成されている。この場合、吸気経路23は、吸気装置14(図1参照)に吸気管14aを介して連通しており、載置部22の上面に形成された吸気口23aを介して空気が吸引されることにより、載置部22に載置された回路基板100の余白部101を吸着して回路基板100を保持する。さらに、テーブル11には、図3に示すように、後述する搬送機構12の移動部31a,31bをスライドさせるためのレール24a,24b(以下、区別しないときには「レール24」ともいう)が、互いに対向する2辺(同図における上下の2辺)に沿って(本発明における第1位置から第2位置に向かう方向に沿って)それぞれ取り付けられている。   In addition, as shown in FIG. 3, an intake passage 23 is formed in the table 11. In this case, the intake passage 23 communicates with the intake device 14 (see FIG. 1) via the intake pipe 14a, and air is sucked through the intake port 23a formed on the upper surface of the mounting portion 22. Thus, the blank portion 101 of the circuit board 100 placed on the placement portion 22 is sucked and the circuit board 100 is held. Further, as shown in FIG. 3, rails 24 a and 24 b (hereinafter also referred to as “rails 24” when not distinguished from each other) for sliding moving units 31 a and 31 b of the transport mechanism 12 described later are provided on the table 11. They are respectively attached along two opposing sides (upper and lower sides in the figure) (in a direction from the first position to the second position in the present invention).

搬送機構12は、図3に示すように、移動部31a,31b(以下、区別しないときには「移動部31」ともいう)、ベルト32、プーリ33,33・・、エアシリンダ34およびコンプレッサ35(図1参照)を備えて構成され、吸着補助シート13を後述する待避位置P1(本発明における第1位置:図12参照)からテーブル11の載置部22に向けて搬送する。移動部31は、図4に示すように、第1スライダ41、第2スライダ42、シート固定部43を備えて構成されている。第1スライダ41は、本発明における第1スライド部に相当し、レール24にスライド可能に配設されている。また、第1スライダ41は、一端部(同図における上端部)がベルト32に固定されて、ベルト32による牽引によって同図に示す矢印A3または矢印A4の方向にスライドさせられる。また、第1スライダ41の他端部には、図5に示すように、シート固定部43のベアリング43bが当接する斜面41bが形成されている。   As shown in FIG. 3, the transport mechanism 12 includes moving units 31a and 31b (hereinafter, also referred to as “moving unit 31” when not distinguished), a belt 32, pulleys 33, 33,. 1), and the suction assisting sheet 13 is transported from a retreat position P1 (first position in the present invention: see FIG. 12), which will be described later, toward the mounting portion 22 of the table 11. As shown in FIG. 4, the moving unit 31 includes a first slider 41, a second slider 42, and a sheet fixing unit 43. The first slider 41 corresponds to the first slide portion in the present invention, and is slidably disposed on the rail 24. Further, the first slider 41 is fixed to the belt 32 at one end (upper end in the figure), and is slid in the direction of the arrow A3 or the arrow A4 shown in the figure by the pulling by the belt 32. Further, as shown in FIG. 5, a slope 41 b with which the bearing 43 b of the seat fixing portion 43 abuts is formed at the other end of the first slider 41.

第2スライダ42は、本発明における第2スライド部に相当し、レール24にスライド可能に配設されている。また、第2スライダ42は、図4に示すように、中央部に切り欠き42aが形成されて、この切り欠き42a内で第1スライダ41が移動可能に構成されている。さらに、第2スライダ42は、コイルばね(本発明におけるばね部材)42bを介して第1スライダ41に連結されている。この場合、第2スライダ42は、第1スライダ41が矢印A3の方向にスライドするときには、コイルばね42bを介して第1スライダ41に牽引されることにより、第1スライダ41と共に矢印A3の方向にスライドさせられる。また、第2スライダ42は、第1スライダ41が矢印A4の方向にスライドするときには、切り欠き42aを構成する一面42cに第1スライダ41の一端面41aが当接して第1スライダ41によって押圧矢印A4の方向に押圧されることにより、第1スライダ41と共に矢印A4の方向にスライドさせられる。   The second slider 42 corresponds to the second slide portion in the present invention, and is slidably disposed on the rail 24. Further, as shown in FIG. 4, the second slider 42 has a notch 42a formed at the center thereof, and the first slider 41 is configured to be movable in the notch 42a. Further, the second slider 42 is coupled to the first slider 41 via a coil spring (a spring member in the present invention) 42b. In this case, the second slider 42 is pulled in the direction of the arrow A3 together with the first slider 41 by being pulled by the first slider 41 via the coil spring 42b when the first slider 41 slides in the direction of the arrow A3. Can be slid. In addition, when the first slider 41 slides in the direction of the arrow A4, the first slider 41 abuts the one end surface 41a of the first slider 41 when the first slider 41 slides in the direction of the arrow A4. By being pressed in the direction of A4, the first slider 41 is slid in the direction of arrow A4.

シート固定部43は、本発明における固定部に相当し、図11に示すように、吸着補助シート13を固定可能に構成されている。また、シート固定部43は、図5,8に示すように、上下方向(両図に示す矢印A5および矢印A6の方向)に沿って移動可能にアーム(本発明における連結アーム)43a,43aを介して第2スライダ42に連結されている。また、シート固定部43には、第1スライダ41の斜面41bに当接する上記のベアリング43bが取り付けられている。   The sheet fixing portion 43 corresponds to a fixing portion in the present invention, and is configured to fix the suction assisting sheet 13 as shown in FIG. As shown in FIGS. 5 and 8, the seat fixing portion 43 is provided with arms (connecting arms in the present invention) 43a and 43a that are movable along the vertical direction (the directions of arrows A5 and A6 shown in both drawings). The second slider 42 is connected to the second slider 42. The bearing 43 b is attached to the seat fixing portion 43 so as to abut against the inclined surface 41 b of the first slider 41.

ベルト32は、本発明における牽引用ベルトに相当し、タイミングベルト(歯付きベルト)で構成されている。また、ベルト32は、図3に示すように、各プーリ33,33・・に架け渡されている。この場合、ベルト32の一部はレール24a,24bに沿って架設されている。プーリ33,33・・は、テーブル11における各隅部にそれぞれ配設されて、ベルト32をガイドする。エアシリンダ34は、本発明における牽引機構に相当し、両端部に取り付けられたエアカプラ34b,34cを介してコンプレッサ35(図1参照)から供給される圧縮空気によってスライダ34aを図3に示す矢印A1または矢印A2の方向にスライドさせる。この場合、スライダ34aは、その一端部がベルト32に固定されて、スライドに伴ってベルト32を牽引する。   The belt 32 corresponds to the traction belt in the present invention, and is constituted by a timing belt (toothed belt). Further, as shown in FIG. 3, the belt 32 is stretched around the pulleys 33, 33. In this case, a part of the belt 32 is constructed along the rails 24a and 24b. The pulleys 33, 33... Are respectively arranged at the corners of the table 11 to guide the belt 32. The air cylinder 34 corresponds to a traction mechanism in the present invention, and the slider 34a is shown by an arrow A1 shown in FIG. 3 by compressed air supplied from a compressor 35 (see FIG. 1) via air couplers 34b and 34c attached to both ends. Or slide in the direction of arrow A2. In this case, one end of the slider 34a is fixed to the belt 32, and the belt 32 is pulled along with the slide.

吸着補助シート13は、本発明における検査用部材に相当し、回路基板100の検査に際して、載置部22への回路基板100の吸着を補助するための部材であって、図10に示すように、枠部材51およびシート52を備えて構成されている。枠部材51は、回路基板100よりもやや大きい開口部51aを有する枠状に形成されている。シート52は、例えば軟質の樹脂で構成されると共に、回路基板100よりもやや小さい開口部52aが中央部に形成されて、その外周縁部が枠部材51に貼付されている。   The suction assisting sheet 13 corresponds to the inspection member in the present invention, and is a member for assisting the suction of the circuit board 100 to the mounting portion 22 when the circuit board 100 is inspected, as shown in FIG. The frame member 51 and the sheet 52 are provided. The frame member 51 is formed in a frame shape having an opening 51 a that is slightly larger than the circuit board 100. The sheet 52 is made of, for example, a soft resin, and an opening 52 a slightly smaller than the circuit board 100 is formed at the center, and the outer peripheral edge thereof is affixed to the frame member 51.

検査部3は、図1に示すように、プローブ61および移動機構62を備えて構成され、制御部4の制御に従い、回路基板100についての所定の電気的検査を実行する。制御部4は、コンプレッサ35を制御することにより、搬送機構12におけるエアシリンダ34の動作を制御する。また、制御部4は、検査部3を制御して、回路基板100についての所定の電気的検査を実行させる。   As shown in FIG. 1, the inspection unit 3 includes a probe 61 and a moving mechanism 62, and performs a predetermined electrical inspection on the circuit board 100 under the control of the control unit 4. The control unit 4 controls the operation of the air cylinder 34 in the transport mechanism 12 by controlling the compressor 35. In addition, the control unit 4 controls the inspection unit 3 to execute a predetermined electrical inspection for the circuit board 100.

次に、回路基板検査装置1を用いた回路基板100についての検査方法について、図面を参照して説明する。なお、初期状態において、保持装置2におけるエアシリンダ34のスライダ34aが図11に示す初期位置P0に位置し、移動部31a,31bが同図に示す初期位置P1a,P1bにそれぞれ位置しているものとする。   Next, an inspection method for the circuit board 100 using the circuit board inspection apparatus 1 will be described with reference to the drawings. In the initial state, the slider 34a of the air cylinder 34 in the holding device 2 is located at the initial position P0 shown in FIG. 11, and the moving parts 31a and 31b are located at the initial positions P1a and P1b shown in FIG. And

この検査では、まず、図11に示すように、搬送機構12の移動部31a,31bにおけるシート固定部43,43に吸着補助シート13を架け渡して、吸着補助シート13の両端部をシート固定部43,43にそれぞれ固定する。次いで、テーブル11における載置部22(段部)の上面と回路基板100の裏面とが対向するようにして、回路基板100を載置部22に載置する。この場合、回路基板100における裏面の外周縁部には導体パターン等が形成されていないフラットな余白部101が存在するため、回路基板100は、この余白部101と載置部22の上面とが密着した状態で載置部22に載置される。ここで、同図に示すように、吸着補助シート13を固定した位置、つまり吸着補助シート13が搬送されるまで待避させられる待避位置P1が載置部22から所定距離だけ離間しているため、載置部22への回路基板100の載置作業が吸着補助シート13によって阻害される事態が確実に防止される。   In this inspection, first, as shown in FIG. 11, the suction auxiliary sheet 13 is bridged over the sheet fixing portions 43 and 43 in the moving portions 31 a and 31 b of the transport mechanism 12, and both end portions of the suction auxiliary sheet 13 are sheet fixing portions. It fixes to 43 and 43, respectively. Next, the circuit board 100 is placed on the placement part 22 so that the upper surface of the placement part 22 (step part) in the table 11 and the back surface of the circuit board 100 face each other. In this case, since there is a flat blank portion 101 on which the conductor pattern or the like is not formed on the outer peripheral edge portion of the back surface of the circuit board 100, the circuit board 100 has the blank portion 101 and the upper surface of the mounting portion 22 separated from each other. Placed on the placement unit 22 in close contact. Here, as shown in the figure, the position where the suction assisting sheet 13 is fixed, that is, the retracting position P1 that is retracted until the suction assisting sheet 13 is transported is separated from the placement portion 22 by a predetermined distance. A situation in which the placement work of the circuit board 100 on the placement unit 22 is hindered by the suction assisting sheet 13 is reliably prevented.

続いて、回路基板検査装置1を作動させる。この際に、吸気装置14が吸気を開始して、テーブル11における吸気経路23を通って載置部22の吸気口23aから空気が吸引される。このため、載置部22の上面に回路基板100の余白部101が吸着されて回路基板100が載置部22に固定される。次いで、制御部4が、コンプレッサ35によるエアの供給を制御して、エアシリンダ34を作動させる。この場合、制御部4は、エアカプラ34c側からエアを供給させることにより、エアシリンダ34のスライダ34aを図11に示す矢印A1の方向にスライドさせる。これに伴い、ベルト32が牽引されて、ベルト32に一端部が固定されている移動部31の第1スライダ41が同図に示す矢印A3の方向に移動させられる。この際に、図4に示すように、第2スライダ42がコイルばね42bを介して第1スライダ41に牽引されて、第2スライダ42およびアーム43a,43aを介して第2スライダ42に取り付けられているシート固定部43が第1スライダ41と共に矢印A3の方向にスライドさせられる。これにより、シート固定部43,43に固定されている吸着補助シート13がレール24a,24bに沿って(本発明における第1位置から第2位置に向かう方向に沿って)搬送させられる。   Subsequently, the circuit board inspection apparatus 1 is operated. At this time, the intake device 14 starts intake, and air is sucked from the intake port 23 a of the mounting portion 22 through the intake path 23 in the table 11. For this reason, the blank portion 101 of the circuit board 100 is attracted to the upper surface of the mounting part 22, and the circuit board 100 is fixed to the mounting part 22. Next, the control unit 4 controls the supply of air by the compressor 35 and operates the air cylinder 34. In this case, the controller 4 slides the slider 34a of the air cylinder 34 in the direction of the arrow A1 shown in FIG. 11 by supplying air from the air coupler 34c side. Along with this, the belt 32 is pulled, and the first slider 41 of the moving unit 31 whose one end is fixed to the belt 32 is moved in the direction of the arrow A3 shown in FIG. At this time, as shown in FIG. 4, the second slider 42 is pulled by the first slider 41 via the coil spring 42b and attached to the second slider 42 via the second slider 42 and the arms 43a and 43a. The sheet fixing portion 43 is slid together with the first slider 41 in the direction of arrow A3. Thereby, the adsorption | suction auxiliary | assistant sheet | seat 13 currently fixed to the sheet | seat fixing | fixed part 43 and 43 is conveyed along the rails 24a and 24b (along the direction which goes to the 2nd position from the 1st position in this invention).

この場合、図4に示すように、第2スライダ42がコイルばね42bの弾性力によって第1スライダ41に引き寄せられて、第1スライダ41の一端面41aと第2スライダ42の一面42cとが当接している。この状態では、図5,6に示すように、シート固定部43のベアリング43bが第1スライダ41の一端面41aの上部側(図5における右側)に位置して、シート固定部43の下面(裏面)が第1スライダ41および第2スライダ42の上面、つまりテーブル11の上面よりも上方に位置している。このため、シート固定部43に固定されている吸着補助シート13は、テーブル11の上面に接触することなくその上面から離間した状態で搬送させられる。   In this case, as shown in FIG. 4, the second slider 42 is attracted to the first slider 41 by the elastic force of the coil spring 42b, and the one end surface 41a of the first slider 41 and one surface 42c of the second slider 42 contact each other. It touches. In this state, as shown in FIGS. 5 and 6, the bearing 43 b of the seat fixing portion 43 is positioned on the upper side (the right side in FIG. 5) of the one end surface 41 a of the first slider 41, and the lower surface ( The back surface is positioned above the upper surfaces of the first slider 41 and the second slider 42, that is, the upper surface of the table 11. For this reason, the suction assisting sheet 13 fixed to the sheet fixing portion 43 is conveyed in a state of being separated from the upper surface without contacting the upper surface of the table 11.

続いて、図12に示すように、吸着補助シート13がテーブル11における載置部22の上方に位置する中間位置P2(本発明における第2位置)に搬送させられたときには、テーブル11のストッパねじ11aの先端部に第2スライダ42の先端面が当接する。次いで、ベルト32がさらに牽引されたときには、図7に示すように、コイルばね42bの弾性力に抗して第1スライダ41が切り欠き42a内において矢印A3の方向にさらに移動させられる。これに伴い、図8,9に示すように、第1スライダ41の斜面41bにベアリング43bが当接しつつ、自重によってシート固定部43および吸着補助シート13が矢印A5の方向(本発明における第2位置から載置部に向かう方向)に移動する。これにより、吸着補助シート13が中間位置P2から載置部22(載置部22に載置されている回路基板100の上面)に搬送させられる。この場合、例えば、回路基板100が反っていて、テーブル11における載置部22の上面と回路基板100の余白部101との間に隙間が生じていたとしても、吸着補助シート13によってその隙間が塞がれるため、載置部22の上面に対して回路基板100の余白部101が確実に吸着される結果、回路基板100が載置部22に確実に固定される。   Subsequently, as shown in FIG. 12, when the suction assisting sheet 13 is conveyed to an intermediate position P2 (second position in the present invention) located above the placement portion 22 in the table 11, the stopper screw of the table 11 is used. The leading end surface of the second slider 42 abuts on the leading end of 11a. Next, when the belt 32 is further pulled, as shown in FIG. 7, the first slider 41 is further moved in the direction of the arrow A3 in the notch 42a against the elastic force of the coil spring 42b. Accordingly, as shown in FIGS. 8 and 9, while the bearing 43b is in contact with the inclined surface 41b of the first slider 41, the sheet fixing portion 43 and the suction assisting sheet 13 are moved in the direction of the arrow A5 by the dead weight (the second in the present invention). Move in the direction from the position toward the placement unit). Accordingly, the suction assisting sheet 13 is transported from the intermediate position P2 to the placement unit 22 (the upper surface of the circuit board 100 placed on the placement unit 22). In this case, for example, even if the circuit board 100 is warped and a gap is generated between the upper surface of the mounting portion 22 in the table 11 and the blank portion 101 of the circuit board 100, the gap is caused by the adsorption assisting sheet 13. Since it is blocked, the blank portion 101 of the circuit board 100 is reliably adsorbed to the upper surface of the mounting portion 22, and as a result, the circuit board 100 is securely fixed to the mounting portion 22.

続いて、制御部4は、図7に示すように、第1スライダ41の他端面41cが第2スライダ42の切り欠き42aを構成する他面42dに当接した時点で、エアシリンダ34に対するエアの供給を停止させる。次いで、制御部4は、検査部3を制御することにより、移動機構62に対して回路基板100上における所定の位置にプローブ61を移動させると共に、回路基板100についての検査を実行させる。この場合、回路基板100が載置部22に確実に固定されているため、回路基板100についての検査が正確に行われる。続いて、回路基板100についての検査を終了したときには、制御部4がコンプレッサ35を制御してエアカプラ34b側からエアシリンダ34にエアを供給させることにより、エアシリンダ34のスライダ34aが図12に示す矢印A2の方向にスライドさせられる。この際に、ベルト32が牽引されて、移動部31の第1スライダ41が切り欠き42a内において図7に示す矢印A4の方向に移動させられる。   Subsequently, as shown in FIG. 7, the control unit 4, when the other end surface 41 c of the first slider 41 comes into contact with the other surface 42 d constituting the notch 42 a of the second slider 42, Stop supplying. Next, the control unit 4 controls the inspection unit 3 to move the probe 61 to a predetermined position on the circuit board 100 with respect to the moving mechanism 62 and to inspect the circuit board 100. In this case, since the circuit board 100 is securely fixed to the mounting portion 22, the inspection of the circuit board 100 is accurately performed. Subsequently, when the inspection of the circuit board 100 is completed, the control unit 4 controls the compressor 35 to supply air to the air cylinder 34 from the air coupler 34b side, so that the slider 34a of the air cylinder 34 is shown in FIG. It is slid in the direction of arrow A2. At this time, the belt 32 is pulled, and the first slider 41 of the moving unit 31 is moved in the direction of the arrow A4 shown in FIG. 7 in the notch 42a.

これに伴い、図5,6に示すように、第1スライダ41の斜面41bにベアリング43bが当接しつつ、シート固定部43および吸着補助シート13が上方向に移動させられる。これにより、吸着補助シート13が、回路基板100の上面から離間して中間位置P2に搬送させられる。次いで、ベルト32がさらに牽引されたときには、図4に示すように、切り欠き42aの一面42cに第1スライダ41の一端面41aが当接して第1スライダ41によって第2スライダ42が矢印A4の方向に押圧されることにより、第2スライダ42、シート固定部43および吸着補助シート13が第1スライダ41と共に矢印A4の方向にスライドさせられる。続いて、制御部4は、エアシリンダ34のスライダ34aが図12に示す初期位置P0に位置した時点で、コンプレッサ35を制御してエアシリンダ34に対するエアの供給を停止させる。これにより、シート固定部43,43に固定されている吸着補助シート13が待避位置P1に搬送させられる。この場合、図5,6に示すように、シート固定部43の上面が第1スライダ41および第2スライダ42の上面よりも上方に位置してる。このため、シート固定部43に固定されている吸着補助シート13は、テーブル11の上面に接触することなくその上面から離間した状態で搬送させられる。以下、他の回路基板100についての検査を繰り返して行うときには、他の回路基板100を載置部22に載置して回路基板検査装置1を作動させる。   Accordingly, as shown in FIGS. 5 and 6, the sheet fixing portion 43 and the suction assisting sheet 13 are moved upward while the bearing 43 b is in contact with the inclined surface 41 b of the first slider 41. As a result, the suction assisting sheet 13 is transported to the intermediate position P2 while being separated from the upper surface of the circuit board 100. Next, when the belt 32 is further pulled, as shown in FIG. 4, one end surface 41a of the first slider 41 comes into contact with one surface 42c of the notch 42a, and the first slider 41 causes the second slider 42 to move along the arrow A4. By being pressed in the direction, the second slider 42, the sheet fixing portion 43, and the suction assisting sheet 13 are slid together with the first slider 41 in the direction of the arrow A4. Subsequently, the control unit 4 controls the compressor 35 to stop the supply of air to the air cylinder 34 when the slider 34a of the air cylinder 34 is located at the initial position P0 shown in FIG. As a result, the suction auxiliary sheet 13 fixed to the sheet fixing portions 43 and 43 is conveyed to the retracted position P1. In this case, as shown in FIGS. 5 and 6, the upper surface of the sheet fixing portion 43 is located above the upper surfaces of the first slider 41 and the second slider 42. For this reason, the suction assisting sheet 13 fixed to the sheet fixing portion 43 is conveyed in a state of being separated from the upper surface without contacting the upper surface of the table 11. Hereinafter, when the inspection for the other circuit board 100 is repeatedly performed, the other circuit board 100 is placed on the placement portion 22 and the circuit board inspection apparatus 1 is operated.

このように、この回路基板検査装置1によれば、吸着補助シート13を載置部22に搬送する搬送機構12を備えたことにより、吸着補助シート13を配置する作業を自動化できるため、検査効率を十分に向上させることができる。また、待避位置P1から中間位置P2に向かって吸着補助シート13を搬送させると共に、中間位置P2から載置部22に向かって吸着補助シート13を搬送させるように搬送機構12を構成したことにより、載置部22から所定距離だけ離間している待避位置P1に吸着補助シート13を待避させることができるため、載置部22への回路基板100の載置作業が吸着補助シート13によって阻害される事態を確実に防止することができる。また、テーブル11の上面から離間させた状態で吸着補助シート13を搬送させることにより、テーブル11の上面と吸着補助シート13との接触を確実に防止することができる。   As described above, according to the circuit board inspection apparatus 1, since the conveyance mechanism 12 that conveys the adsorption assisting sheet 13 to the placement unit 22 is provided, the operation of arranging the adsorption assisting sheet 13 can be automated. Can be sufficiently improved. In addition, the conveyance mechanism 12 is configured to convey the suction assisting sheet 13 from the retracted position P1 toward the intermediate position P2 and to convey the suction assisting sheet 13 from the intermediate position P2 toward the placement unit 22. Since the suction assisting sheet 13 can be retracted to the retracted position P1 that is separated from the placement part 22 by a predetermined distance, the placement work of the circuit board 100 on the placement part 22 is hindered by the suction assisting sheet 13. The situation can be surely prevented. Further, by transporting the suction auxiliary sheet 13 while being separated from the upper surface of the table 11, it is possible to reliably prevent the upper surface of the table 11 and the suction auxiliary sheet 13 from contacting each other.

また、この回路基板検査装置1によれば、ベルト32の牽引によってスライドさせられる第1スライダ41と、第1スライダ41のスライドに伴ってスライドさせられる第2スライダ42と、上下方向に沿って移動可能にアーム43aを介して第2スライダ42に連結されたシート固定部43と、ベルト32を牽引するエアシリンダ34とを備えて搬送機構12を構成したことにより、待避位置P1から中間位置P2への搬送および中間位置P2から載置部22への搬送の2つの動作を1つのエアシリンダ34だけで実行させることができる。したがって、搬送機構12を簡易に構成することができるため、搬送機構12ひいては回路基板検査装置1を安価に構成することができる。   Further, according to the circuit board inspection apparatus 1, the first slider 41 that is slid by the pulling of the belt 32, the second slider 42 that is slid along with the sliding of the first slider 41, and moves in the vertical direction. Since the transport mechanism 12 includes the sheet fixing portion 43 that is connected to the second slider 42 via the arm 43a and the air cylinder 34 that pulls the belt 32, the retreat position P1 is changed to the intermediate position P2. The two operations of the transfer and the transfer from the intermediate position P2 to the placement unit 22 can be executed by only one air cylinder 34. Therefore, since the transport mechanism 12 can be configured easily, the transport mechanism 12 and, consequently, the circuit board inspection apparatus 1 can be configured at low cost.

また、この回路基板検査装置1によれば、ベルト32を牽引する牽引機構としてエアシリンダを用いたことにより、例えばモータを用いる構成と比較して、稼働時における低周波や高周波の発生を低く抑えることができる。したがって、検査時における低周波や高周波の影響を低減することができる。   In addition, according to the circuit board inspection apparatus 1, by using an air cylinder as a pulling mechanism for pulling the belt 32, for example, generation of low frequency and high frequency during operation is kept low compared with a configuration using a motor. be able to. Therefore, it is possible to reduce the influence of low frequency and high frequency during inspection.

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、複数個取り(上記の例では4個取り)の回路基板100を検査する例について上記したが、吸着補助シート13を用いて吸着によって保持するのが好ましい各種の回路基板の検査に回路基板検査装置1を用いることができる。また、検査の際に吸着補助シート13を用いる回路基板検査装置1に本発明を適用した例について上記したが、吸着補助シート13以外のシート状または板状の検査用部材を用いる各種の回路基板検査装置に本発明を適用することができる。具体的には、例えば、載置部に載置した回路基板の上に磁気シートを載置して、磁力によって回路基板を載置部に固定する方式の回路基板検査装置に本発明を適用する際には、その磁気シートを本発明における搬送機構を用いて搬送することにより、検査効率を向上することができる。また、ベルト32を牽引する牽引機構として、エアシリンダ34を用いた例について上記したが、エアシリンダ34に代えて、モータ等の各種の駆動装置を用いる構成を採用することもできる。   In addition, this invention is not limited to said structure. For example, the example of inspecting the circuit board 100 having a plurality of pieces (four pieces in the above example) has been described above, but the circuit board is suitable for inspecting various circuit boards that are preferably held by suction using the suction auxiliary sheet 13. The inspection apparatus 1 can be used. In addition, the example in which the present invention is applied to the circuit board inspection apparatus 1 that uses the suction auxiliary sheet 13 at the time of inspection has been described above, but various circuit boards that use a sheet-like or plate-like inspection member other than the suction auxiliary sheet 13. The present invention can be applied to an inspection apparatus. Specifically, for example, the present invention is applied to a circuit board inspection apparatus of a type in which a magnetic sheet is placed on a circuit board placed on the placement section and the circuit board is fixed to the placement section by magnetic force. In this case, the inspection efficiency can be improved by transporting the magnetic sheet using the transport mechanism according to the present invention. Further, although the example using the air cylinder 34 as the pulling mechanism for pulling the belt 32 has been described above, a configuration using various drive devices such as a motor instead of the air cylinder 34 may be employed.

回路基板検査装置1の構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a configuration of a circuit board inspection device 1. FIG. 回路基板100の平面図である。1 is a plan view of a circuit board 100. FIG. 保持装置2の平面図である。3 is a plan view of the holding device 2. FIG. 第1スライダ41の一端面41aと第2スライダ42の一面42cとが当接している状態における移動部31の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the moving unit 31 in a state where one end surface 41a of the first slider 41 and one surface 42c of the second slider 42 are in contact with each other. シート固定部43の上面が第1スライダ41および第2スライダ42の上面よりも上方に位置している状態における移動部31の側面図である。FIG. 6 is a side view of the moving unit 31 in a state where the upper surface of the sheet fixing unit 43 is located above the upper surfaces of the first slider 41 and the second slider 42. 図4におけるX−X線断面図である。It is XX sectional drawing in FIG. 第1スライダ41の他端面41cと第2スライダ42の他面42dとが当接している状態における移動部31の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the moving unit 31 in a state where the other end surface 41c of the first slider 41 and the other surface 42d of the second slider 42 are in contact with each other. シート固定部43が矢印A5の方向に移動させられた状態における移動部31の側面図である。It is a side view of the moving part 31 in the state by which the sheet | seat fixing | fixed part 43 was moved to the direction of arrow A5. 図7におけるY−Y線断面図である。It is the YY sectional view taken on the line in FIG. 吸着補助シート13の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a suction assisting sheet 13. 吸着補助シート13が待避位置P1に位置している状態における保持装置2および回路基板100の平面図である。It is a top view of the holding | maintenance apparatus 2 and the circuit board 100 in the state in which the adsorption | suction auxiliary sheet | seat 13 is located in the retracted position P1. 吸着補助シート13が中間位置P2に位置している状態における保持装置2および回路基板100の平面図である。It is a top view of the holding | maintenance apparatus 2 and the circuit board 100 in the state in which the adsorption | suction auxiliary | assistant sheet | seat 13 is located in the intermediate position P2.

符号の説明Explanation of symbols

1 回路基板検査装置
11 テーブル
12 搬送機構
13 吸着補助シート
22 載置部
24,24a,24b レール
32 ベルト
34 エアシリンダ
41 第1スライダ
42 第2スライダ
42b コイルばね
43 シート固定部
43a アーム
100 回路基板
P1 待避位置
P2 中間位置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit board inspection apparatus 11 Table 12 Conveyance mechanism 13 Adsorption auxiliary sheet 22 Placement part 24, 24a, 24b Rail 32 Belt 34 Air cylinder 41 First slider 42 Second slider 42b Coil spring 43 Sheet fixing part 43a Arm 100 Circuit board P1 Retreat position P2 Intermediate position

Claims (2)

回路基板を載置可能な載置部を有する載置台を備えて当該回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置であって、
前記電気的検査に用いるシート状または板状の検査用部材を前記載置部に搬送する搬送機構を備え、
前記搬送機構は、前記載置部から所定距離だけ離間した第1位置から当該載置部の上方の第2位置に向かう方向に沿って当該載置台に取り付けられたレールにスライド可能に配設されると共に当該レールに沿って架設された牽引用ベルトによる牽引によってスライドさせられる第1スライド部と、前記レールにスライド可能に配設されると共にばね部材を介して前記第1スライド部に連結されて当該第1スライド部のスライドに伴ってスライドさせられる第2スライド部と、前記検査用部材を固定可能に構成されると共に前記第2位置から前記載置部に向かう方向に沿って移動可能に連結アームを介して前記第2スライド部に連結された固定部と、前記牽引ベルトを牽引する牽引機構とを備えて構成されて、前記第1位置から前記第2位置に向かって前記検査用部材を前記載置台の上面から離間させた状態で搬送すると共に、当該第2位置から前記載置部に向かって当該検査用部材を搬送する回路基板検査装置。
A circuit board inspection apparatus comprising a mounting table having a mounting portion on which a circuit board can be mounted, and configured to perform a predetermined electrical inspection on the circuit board,
A transport mechanism for transporting the sheet-like or plate-like inspection member used for the electrical inspection to the mounting portion described above,
The transport mechanism is slidably disposed on a rail attached to the mounting table along a direction from a first position separated from the mounting unit by a predetermined distance toward a second position above the mounting unit. And a first slide portion that is slid by towing by a towing belt installed along the rail, and is slidably disposed on the rail and coupled to the first slide portion via a spring member. A second slide portion that is slid along with the slide of the first slide portion, and the inspection member are configured to be fixable and movably connected along the direction from the second position toward the placement portion. a fixed portion connected to the second sliding portion via the arm, is constituted by a traction mechanism for pulling the traction belt, the second position from the first position Conveys in a state of being spaced from the upper surface of the mounting table a selfish the inspection member, the circuit board inspection apparatus for transporting a member for the inspection toward the mounting table from the second position.
前記牽引機構は、エアシリンダを備えて構成されている請求項1記載の回路基板検査装置。 The traction mechanism, the circuit board inspection apparatus according to claim 1 Symbol placement is configured to include an air cylinder.
JP2005198532A 2005-07-07 2005-07-07 Circuit board inspection equipment Expired - Fee Related JP4685529B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005198532A JP4685529B2 (en) 2005-07-07 2005-07-07 Circuit board inspection equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005198532A JP4685529B2 (en) 2005-07-07 2005-07-07 Circuit board inspection equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007017256A JP2007017256A (en) 2007-01-25
JP4685529B2 true JP4685529B2 (en) 2011-05-18

Family

ID=37754547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005198532A Expired - Fee Related JP4685529B2 (en) 2005-07-07 2005-07-07 Circuit board inspection equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4685529B2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5750487A (en) * 1980-09-12 1982-03-24 Hitachi Ltd Device for securing printed circuit board
JP2001235500A (en) * 2000-02-22 2001-08-31 Hioki Ee Corp Method and apparatus for inspection of circuit board
JP2002350485A (en) * 2001-05-30 2002-12-04 Micronics Japan Co Ltd Inspection device for display substrate

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5750487A (en) * 1980-09-12 1982-03-24 Hitachi Ltd Device for securing printed circuit board
JP2001235500A (en) * 2000-02-22 2001-08-31 Hioki Ee Corp Method and apparatus for inspection of circuit board
JP2002350485A (en) * 2001-05-30 2002-12-04 Micronics Japan Co Ltd Inspection device for display substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007017256A (en) 2007-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3778159B2 (en) Printed circuit board transfer device
JP5003350B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP3062517B2 (en) Article alignment device
KR20090020510A (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP4685529B2 (en) Circuit board inspection equipment
US6814258B2 (en) Electric component feeder
WO2014207802A1 (en) Component mounting machine
JP4704756B2 (en) Substrate transfer device
JP5123748B2 (en) Circuit board fixing device, circuit board inspection device, and circuit board fixing method
CN110018412B (en) Substrate inspection device with adjustable carrying mechanism
JP4576294B2 (en) Circuit board inspection equipment
JP6437707B2 (en) Substrate transfer device
JP4422294B2 (en) Component mounting equipment
JP3615268B2 (en) Substrate positioning jig mechanism
KR100371665B1 (en) Test Pin Unit for PCB Test Device
JP2005093589A (en) Apparatus for mounting electronic component
JP7271673B2 (en) Work machine and part transportation method
KR102069779B1 (en) Printed circuit board inspection device
JP2002252441A (en) Circuit-board carrying apparatus, and circuit-board inspecting apparatus
JP4361832B2 (en) Surface mount machine
JP4474206B2 (en) Substrate holding device
JP2005340492A (en) Surface mounting machine
JP7133041B2 (en) Conveyor
JP4408060B2 (en) Surface mount machine
JP2004273756A (en) Device and method for fixing substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080627

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101001

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101012

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101208

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110208

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110210

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees