JP4683852B2 - Optical isolator - Google Patents

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Description

本発明は、光源から出射した光が各種光学素子や光ファイバに入射した際に生じる戻り光を除去する光アイソレータに関するものである。   The present invention relates to an optical isolator that removes return light generated when light emitted from a light source enters various optical elements and optical fibers.

光通信用モジュール等において、レーザ光源等の光源から出射した光は、各種光学素子や光ファイバに入射されるが、入射光の一部は各種光学素子や光ファイバの端面や内部で反射されたり散乱されたりする。この反射や散乱した光の一部は、戻り光として光源に戻ろうとするが、この戻り光を防止するために光アイソレータが用いられる。   In an optical communication module or the like, light emitted from a light source such as a laser light source is incident on various optical elements or optical fibers, but a part of the incident light is reflected on the end surfaces or inside of the various optical elements or optical fibers. It is scattered. A part of the reflected or scattered light tries to return to the light source as return light, and an optical isolator is used to prevent the return light.

従来、この種の光アイソレータは、2枚の偏光子の間に平板状のファラデー回転子を配置し、これら3つの部品を筒状の磁石内に部品ホルダを介して収納する構成であった。通常、ファラデー回転子は飽和磁界内において所定の波長をもつ光の偏光面を45度回転する厚みに調整され、また2つの偏光子はそれぞれの透過偏光方向が45度回転方向に相対的にずれるように回転調整されている。   Conventionally, this type of optical isolator has a configuration in which a flat Faraday rotator is disposed between two polarizers, and these three components are housed in a cylindrical magnet via a component holder. Normally, the Faraday rotator is adjusted to a thickness that rotates the polarization plane of light having a predetermined wavelength in the saturation magnetic field by 45 degrees, and the transmission polarization directions of the two polarizers are relatively shifted from each other by 45 degrees. The rotation is adjusted as follows.

このような構成の光アイソレータは、ファラデー回転子と2つの偏光子が別部品で素子ごとにホルダが必要であり、そのため部品点数が多くなり組立工数が多くなるばかりか各部品間の光学上の調整作業も煩雑で、コスト高を招くばかりか小型化も難しかった。また、光源モジュールに組み込む際に、飽和磁界を形成するための磁石の位置についての調整、すなわち、光アイソレータの偏波面の調整も必要となり実装が煩雑であった。   The optical isolator having such a configuration requires a Faraday rotator and two polarizers as separate parts and requires a holder for each element. Therefore, the number of parts is increased and the number of assembly steps is increased. Adjustment work is also complicated, which not only increases costs but also makes it difficult to reduce the size. Further, when incorporating the light source module into the light source module, it is necessary to adjust the position of the magnet for forming the saturation magnetic field, that is, to adjust the polarization plane of the optical isolator.

このため、ファラデー回転子と偏光子の光アイソレータ素子と、直方体の磁石を、平板状の基板に設置した光アイソレータが各種提案されている。   For this reason, various optical isolators have been proposed in which an optical isolator element of a Faraday rotator and a polarizer and a rectangular magnet are installed on a flat substrate.

例えば、特許文献1には、図5に示すように従来の光アイソレータ18が示されており、光アイソレータ18はファラデー回転子12、偏光子13、14の各光アイソレータ素子と直方体の磁石17が、一枚の平板状の基板16上に配置したものである。ここで偏光子13、14は、透過する光の一方向の偏波成分を吸収し、その偏波成分に直交する偏波成分を透過する機能を有し、また、ファラデー回転子12は飽和磁界強度において所定波長の光の偏波面を約45度回転する機能を有する。また2つの偏光子13、14は、基板16に接するそれぞれの面を基準面とし、この基準面に対し透過偏波方向が0度および45度となるように切り出されている。
特開平13−91899号公報
For example, Patent Document 1 shows a conventional optical isolator 18 as shown in FIG. 5, and the optical isolator 18 includes optical isolator elements of a Faraday rotator 12 and polarizers 13 and 14 and a rectangular parallelepiped magnet 17. These are arranged on a single flat substrate 16. Here, the polarizers 13 and 14 have a function of absorbing a polarization component in one direction of transmitted light and transmitting a polarization component orthogonal to the polarization component, and the Faraday rotator 12 is a saturated magnetic field. It has a function of rotating the polarization plane of light of a predetermined wavelength by about 45 degrees in intensity. The two polarizers 13 and 14 are cut out so that their respective surfaces in contact with the substrate 16 serve as reference surfaces, and the transmitted polarization directions are 0 degrees and 45 degrees with respect to the reference surfaces.
Japanese Patent Laid-Open No. 13-91899

しかしながら特許文献1には光アイソレータ素子11と基板16や磁石17と基板16との接合方法については具体的な記載がなく、それらの接合方法によってはファラデー回転子12、偏光子13、14の各光アイソレータ素子11と磁石17とを、一枚の基板16上に配置すると、光アイソレータ素子11の脱落、クラック接合強度の低下、光学特性の劣化が発生するという問題があった。   However, Patent Document 1 does not specifically describe a method of joining the optical isolator element 11 and the substrate 16 or the magnet 17 and the substrate 16, and each of the Faraday rotator 12 and the polarizers 13 and 14 depends on the joining method. When the optical isolator element 11 and the magnet 17 are arranged on one substrate 16, there are problems that the optical isolator element 11 is dropped, crack bonding strength is lowered, and optical characteristics are deteriorated.

即ち、一枚の基板16に光アイソレータ素子11及び磁石7を配置させる場合には、ファラデー回転子12は適切な飽和磁界強度を示す中に置く必要があることから、磁界を形成する磁石17の大きさを最適に設計した上で磁石7の側面が光アイソレータ素子11の各構成部品の側面に対峙して近接配置させなければならず、近接配置した場合には、磁石17を基板16に固定する接合材15bが、光アイソレータ素子11及び光アイソレータ素子11を接合する接合材15aに接触してしまうものであった。   That is, when the optical isolator element 11 and the magnet 7 are arranged on a single substrate 16, the Faraday rotator 12 needs to be placed while exhibiting an appropriate saturation magnetic field strength. The size of the magnet 7 must be optimally designed and the side surface of the magnet 7 must be placed close to the side surface of each component of the optical isolator element 11. In this case, the magnet 17 is fixed to the substrate 16. The bonding material 15b to be contacted with the optical isolator element 11 and the bonding material 15a for bonding the optical isolator element 11 would be.

これは、近年、光部品の小型化の要求に伴って光アイソレータが小型化されてきたためであり、磁石7の適切な飽和磁界強度を得るために小さくすることに限界があるので、小型化するためには磁石7と光アイソレータ素子11の互いの側面同士の距離を短くしなければならないからである。   This is because the optical isolator has been miniaturized in recent years with the demand for miniaturization of optical components, and there is a limit to reducing the size in order to obtain an appropriate saturation magnetic field strength of the magnet 7, so that the size is reduced. This is because the distance between the side surfaces of the magnet 7 and the optical isolator element 11 must be shortened.

従って、基板16に接合材15を付着させて光アイソレータ素子11、磁石17を配置した後、高温で溶融固着し、その後に冷却すると、磁石17は、一般的に光アイソレータを構成する部材の熱膨張係数が最も大きく、かつ、接合面積の割合も大きいので、体積収縮の影響が、隣接する光アイソレータ素子11に大きく作用し、特にファラデー回転子12は磁石17と熱膨張係数が大きく異なるビスマス置換ガーネット単結晶を用いるため、磁石17が高温下で接合後に冷却されると、その体積収縮が著しく、接合材15や基板16を介して光アイソレータ素子11、特にファラデー回転子に応力を与え、光アイソレータ素子11を基板16から脱落させ、又は光アイソレータ素子11にクラックを引き起こしたり、光アイソレータ18のアイソレーション特性を劣化させたりする場合があった。こうした背景から、小型化したとしても簡易で高性能な構造が望まれていた。   Therefore, after the optical isolator element 11 and the magnet 17 are disposed by attaching the bonding material 15 to the substrate 16 and then melted and fixed at a high temperature, and then cooled, the magnet 17 generally heats the members constituting the optical isolator. Since the expansion coefficient is the largest and the ratio of the bonding area is also large, the effect of volume shrinkage is greatly exerted on the adjacent optical isolator element 11, and in particular, the Faraday rotator 12 has a bismuth substitution that is significantly different from the magnet 17. Since the garnet single crystal is used, when the magnet 17 is cooled after bonding at a high temperature, the volume contraction is significant, and stress is applied to the optical isolator element 11, particularly the Faraday rotator, via the bonding material 15 and the substrate 16. The isolator element 11 is dropped from the substrate 16, or the optical isolator element 11 is cracked or the optical isolator 18 There is a case where time may cause degradation of iso configuration properties. Against this background, there has been a demand for a simple and high-performance structure even if it is downsized.

本発明はこれらの課題に鑑みて案出されたものであり、基板上に、平板状のファラデー回転子と偏光子からなる光アイソレータ素子と、該光アイソレータ素子と互いの側面が対峙して近接配置するとともに前記ファラデー回転子に磁界を与える磁石とを接合材を介して固定してなる光アイソレータにおいて、前記磁石は、前記磁石の固定面の一部から突出した凸部が前記基板に接合されて固定されており、前記凸部は、前記光アイソレータ素子と対峙する前記磁石の側面と反対側の第2の側面寄りに、前記光アイソレータ素子と隔てて形成されているとともに、前記第2の側面と隣接する一対の端面側に沿わせて形成されており、該一対の端面側に沿わせた部分と前記第2の側面寄り部分との間の屈曲部が曲面に形成されていることを特徴とする。 The present invention has been devised in view of these problems. On a substrate, an optical isolator element composed of a flat Faraday rotator and a polarizer, and the optical isolator element and the side faces of each other are close to each other. In the optical isolator, which is arranged and fixed with a magnet that applies a magnetic field to the Faraday rotator via a bonding material, the magnet has a convex portion protruding from a part of a fixed surface of the magnet bonded to the substrate. The convex portion is formed near the second side surface opposite to the side surface of the magnet facing the optical isolator element, and separated from the optical isolator element, and the second It is formed along a pair of end surfaces adjacent to the side surface , and a bent portion between the portion along the pair of end surface sides and the portion near the second side surface is formed in a curved surface. Features and That.

さらに、本発明の光アイソレータは、前記光アイソレータ素子と基板との間には、前記光アイソレータ素子の熱膨張係数に近似したコア基板が介在していることを特徴とする。   Furthermore, the optical isolator of the present invention is characterized in that a core substrate approximating a thermal expansion coefficient of the optical isolator element is interposed between the optical isolator element and the substrate.

本発明の構成によれば、磁石の基板と対向する面に、その一部が突出した凸部が前記基板に接合されているので、磁石を小型化することなく適切な飽和磁界強度を示しながら基板の接合面積を小さくすることができるので、磁石の冷却収縮による応力が基板や接合材に与える影響を低減させることができる。   According to the configuration of the present invention, since the convex portion, which is partially protruded, is bonded to the substrate on the surface facing the substrate of the magnet, while showing an appropriate saturation magnetic field strength without downsizing the magnet Since the bonding area of the substrate can be reduced, the influence of the stress due to the cooling shrinkage of the magnet on the substrate and the bonding material can be reduced.

また、磁石に形成される凸部の側面と、その側面に対峙する光アイソレータ素子の側面との距離が磁石及び光アイソレータ素子の互いに対峙する側面間の距離よりも長くなるように形成されているので、光アイソレータ素子を接合する接合材と、一般的な光アイソレータの構成部品の中で熱膨張係数が最も高い磁石を接合する接合材とを隔離して接合させることができるため、磁石の接合材を介して光アイソレータ素子に応力を加えることを有効に阻止することができる。   The distance between the side surface of the convex portion formed on the magnet and the side surface of the optical isolator element facing the side surface is longer than the distance between the side surfaces of the magnet and the optical isolator element facing each other. Therefore, since the bonding material for bonding the optical isolator element and the bonding material for bonding the magnet having the highest thermal expansion coefficient among the components of the general optical isolator can be isolated and bonded, It is possible to effectively prevent stress from being applied to the optical isolator element through the material.

この場合、前記磁石の固定面に形成される凸部を第2の側面よりに形成すると、基板上でそれぞれの接合材同士が完全に離間させることができ、接合時の磁石により顕著に発生する応力が光アイソレータ素子、特にファラデー回転子2に、より一層伝わりにくくなり、良好な光学特性が得られるものである。   In this case, when the convex portion formed on the fixed surface of the magnet is formed from the second side surface, the respective bonding materials can be completely separated from each other on the substrate, and are remarkably generated by the magnet at the time of bonding. The stress is more difficult to be transmitted to the optical isolator element, particularly the Faraday rotator 2, and good optical characteristics are obtained.

また、前記磁石の固定面に形成される凸部は、前記第2の側面と隣接する一対の端面側に形成することで、接合時の磁石により発生する応力を光アイソレータ素子に伝わりにくくするだけでなく、基板上の磁石が安定して配置させることが可能となる。   Further, the convex portions formed on the fixed surface of the magnet are formed on the pair of end surfaces adjacent to the second side surface, so that the stress generated by the magnet at the time of joining is hardly transmitted to the optical isolator element. In addition, the magnets on the substrate can be stably arranged.

さらに光アイソレータ素子と基板との間に光アイソレータ素子の熱膨張係数に近似したコア基板が介在しているので、応力による影響を無視でき、これにより、光アイソレータ素子と磁石との距離を更に小さくすることができ、小型化が可能となるばかりか、基板の熱膨張係数を半導体モジュールのサブマウントなど実装相手の材質に合わせることが可能となり材料選択の範囲を増やすことができる。   Furthermore, since a core substrate that approximates the thermal expansion coefficient of the optical isolator element is interposed between the optical isolator element and the substrate, the influence of stress can be ignored, thereby further reducing the distance between the optical isolator element and the magnet. In addition to being able to reduce the size, the thermal expansion coefficient of the substrate can be matched to the mounting partner material such as the submount of the semiconductor module, and the range of material selection can be increased.

以上のように、本発明では、小型化に設計しても、接合後に光アイソレータ素子が基板から脱落せず、光アイソレータ素子に割れや欠けが発生せず、ファラデー回転子の光学特性が劣化しない光アイソレータの製造が可能になる。   As described above, in the present invention, the optical isolator element does not fall off the substrate after bonding even if it is designed to be small, the optical isolator element does not break or chip, and the optical characteristics of the Faraday rotator do not deteriorate. An optical isolator can be manufactured.

以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の光アイソレータの実施形態を示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an optical isolator according to the present invention.

図に示すように、光アイソレータ9は基板6上に光アイソレータ素子1及び磁石7の互いの側面10a、70bが対峙して近接配置させており、光アイソレータ素子1と磁石7はそれぞれ接合材5aと5bで基板6に固定される。   As shown in the drawing, the optical isolator 9 is disposed on the substrate 6 so that the side surfaces 10a and 70b of the optical isolator element 1 and the magnet 7 face each other and are close to each other. And 5b.

基板6は、平面が長方形状の板状体からなり、その材質は、光アイソレータ9を半導体レーザモジュールに実装する実装方法によって選択され、たとえばYAG溶接で半導体レーザモジュールのサブマウントに固定する場合は、ステンレス、コバール、パーマロイ等の金属が選択され、また、半田による固定の場合は、前記金属、あるいはセラミック、ガラス等の実装面にたとえばCr−Pt−AuもしくはTi−Pt−Auのメタライズ処理を施こした材料でも良い。   The substrate 6 is made of a plate-like body having a rectangular plane, and the material is selected by a mounting method in which the optical isolator 9 is mounted on the semiconductor laser module. For example, when the substrate 6 is fixed to the submount of the semiconductor laser module by YAG welding. , Stainless steel, kovar, permalloy, etc. are selected, and in the case of fixing by soldering, for example, Cr—Pt—Au or Ti—Pt—Au metallization is applied to the mounting surface of the metal or ceramic, glass, etc. The applied material may be used.

光アイソレータ素子1は、平板状のファラデー回転子2と、平板状の偏光子3、4とから構成される。配列順序としては1段型と呼ばれる光アイソレータの場合、周知の如く、光の出射方向に向かって偏光子3、ファラデー回転子2、偏光子4の順序で基板6の幅方向に配列されている。   The optical isolator element 1 includes a flat Faraday rotator 2 and flat polarizers 3 and 4. As is well known, in the case of an optical isolator called a one-stage type, the polarizer 3, the Faraday rotator 2, and the polarizer 4 are arranged in the width direction of the substrate 6 in the order of light emission. .

偏光子3の透過偏波方向は、基板6の上面と平行な1辺(これを基準辺と呼ぶ)に対し平行な方向に設定されており、他方の偏光子4の透過偏波方向は、その基準辺に対して45度の方向に設定されている。ここで、基板6の上面と偏光子3と偏光子4の基準辺を略一致させ固定することにより、偏光子3と偏光子4の透過偏波方向は回転調整することなく互いに45度ずれた状態となり、ファラデー回転子2のファラデー回転角が略45度の場合、最良の挿入損失特性とアイソレーション特性を得ることができる。   The transmission polarization direction of the polarizer 3 is set in a direction parallel to one side parallel to the upper surface of the substrate 6 (referred to as a reference side), and the transmission polarization direction of the other polarizer 4 is The direction is set to 45 degrees with respect to the reference side. Here, by fixing the upper surface of the substrate 6 and the reference sides of the polarizer 3 and the polarizer 4 to substantially coincide with each other, the transmission polarization directions of the polarizer 3 and the polarizer 4 are shifted from each other by 45 degrees without adjusting the rotation. When the Faraday rotation angle of the Faraday rotator 2 is approximately 45 degrees, the best insertion loss characteristic and isolation characteristic can be obtained.

偏光子3、4は、入射する光の1方向の偏光成分を吸収する機能を有する吸収型偏光子、あるいは入射する光の1方向の偏光成分を分離または合成する複屈折性偏光子で構成される。吸収型偏光子は例えば楕円体形の金属粒子がガラス内に分散された構造の偏光ガラスからなる。この偏光ガラスは長く延伸された金属粒子をガラス自身の中に一方向に配列させることにより偏光特性を持たせたガラスであり、金属粒子の延伸方向に垂直な偏波面を持つ光が透過し、平行な偏波面を持つ光は吸収される。例えば楕円体形の金属粒子がガラス内に分散された構造の偏光ガラスからなる。この偏光ガラスは長く延伸された金属粒子をガラス自身の中に一方向に配列させることにより偏光特性を持たせたガラスであり、金属粒子の延伸方向に垂直な偏波面を持つ光が透過し、平行な偏波面を持つ光は吸収される。   The polarizers 3 and 4 are configured by an absorption polarizer having a function of absorbing a unidirectional polarization component of incident light, or a birefringent polarizer that separates or synthesizes a unidirectional polarization component of incident light. The The absorptive polarizer is made of, for example, polarizing glass having a structure in which ellipsoidal metal particles are dispersed in glass. This polarizing glass is a glass having polarization characteristics by arranging long stretched metal particles in one direction in the glass itself, light having a polarization plane perpendicular to the stretch direction of the metal particles is transmitted, Light with a parallel polarization plane is absorbed. For example, it is made of polarizing glass having a structure in which ellipsoidal metal particles are dispersed in glass. This polarizing glass is a glass having polarization characteristics by arranging long stretched metal particles in one direction in the glass itself, light having a polarization plane perpendicular to the stretch direction of the metal particles is transmitted, Light with a parallel polarization plane is absorbed.

ファラデー回転子2は常温において入射した光の偏波方向が45度回転する厚みに調整されている。また、光アイソレータ9に高いアイソレーションが要求される場合は、ファラデー回転子2の偏波回転角度45+α度に対し、偏光子3と偏光子4の回転ズレを45−α度に精密に調整する必要があり、光を逆方向から(偏光子4側から)入射し、透過してくる光が最も小さくなるように偏光子2を回転調整する方法がある。そこであらかじめ偏光子3と偏光子4の透過偏波方向を45−α度ずらして切り出し、例えば偏光子4の透過偏波方向を基準辺に対して45−α度とすることも可能である。また、ファラデー回転子の偏波回転角の精度±αは光アイソレータの特性上、1度程度とすることが望ましく、また基板6の上面に精度良く設置する。   The Faraday rotator 2 is adjusted to have a thickness at which the polarization direction of light incident at room temperature rotates 45 degrees. Further, when high isolation is required for the optical isolator 9, the rotational deviation between the polarizer 3 and the polarizer 4 is precisely adjusted to 45-α degrees with respect to the polarization rotation angle 45 + α degrees of the Faraday rotator 2. There is a method in which light is incident from the opposite direction (from the side of the polarizer 4), and the polarizer 2 is rotationally adjusted so that the transmitted light is minimized. Therefore, the transmission polarization directions of the polarizer 3 and the polarizer 4 can be cut out by shifting by 45-α degrees in advance, and for example, the transmission polarization direction of the polarizer 4 can be set to 45-α degrees with respect to the reference side. Further, the accuracy ± α of the polarization rotation angle of the Faraday rotator is desirably about 1 degree due to the characteristics of the optical isolator, and it is installed on the upper surface of the substrate 6 with high accuracy.

ファラデー回転子2は、例えば、ビスマス置換ガーネット結晶等で、その厚みは所定の波長をもつ入射光線の偏光面が45度回転する様に設定する。一般に、偏波面を回転させるためには、入射光線の光軸方向に十分な磁界を印可することが必要であり、磁石7がファラデー回転子2の側面の両脇に配置されている。   The Faraday rotator 2 is, for example, a bismuth-substituted garnet crystal, and the thickness thereof is set so that the polarization plane of incident light having a predetermined wavelength rotates 45 degrees. Generally, in order to rotate the plane of polarization, it is necessary to apply a sufficient magnetic field in the optical axis direction of incident light, and the magnets 7 are arranged on both sides of the side surface of the Faraday rotator 2.

ここでファラデー回転子2、偏光子3および偏光子4の両面は、屈折率n=1に対する反射防止膜が両面に施されており、偏光子3および偏光子4とファラデー回転子2が密着している場合は、偏光子が空気と接する入出射面には屈折率n=1に対する反射防止膜を施し、ファラデー回転子の両面には対偏光子の反射防止膜を施してある。   Here, both surfaces of the Faraday rotator 2, the polarizer 3 and the polarizer 4 are provided with antireflection films for the refractive index n = 1, and the polarizer 3 and the polarizer 4 and the Faraday rotator 2 are in close contact with each other. In this case, an antireflection film for the refractive index n = 1 is applied to the incident / exit surface where the polarizer is in contact with air, and an antireflection film for the counter polarizer is applied to both surfaces of the Faraday rotator.

磁石7は、本発明の特徴部である磁石7の固定面の一部から突出した凸部7aを形成している。そして、この凸部7aが基板6に接合されている。これにより、磁石7を小型化することなく適切な飽和磁界強度を示しながら基板6との接合面積を小さくすることができる。   The magnet 7 forms a convex portion 7a that protrudes from a part of the fixed surface of the magnet 7, which is a feature of the present invention. The convex portion 7 a is bonded to the substrate 6. Thereby, the junction area with the board | substrate 6 can be made small, showing appropriate saturation magnetic field intensity, without reducing the magnet 7 in size.

実際は、凸部7aの面と基板6の表面とが接合材5aを介して接合されているが、これに限定されず、基板6に凹部を形成し、凸部7aと嵌合させることで接合するような構成にしても良い。これにより、充分な接合強度を維持させることが可能である。   Actually, the surface of the convex portion 7a and the surface of the substrate 6 are bonded via the bonding material 5a. However, the present invention is not limited to this, and the concave portion is formed in the substrate 6 and is joined by fitting with the convex portion 7a. You may make it the structure which does. Thereby, it is possible to maintain sufficient joint strength.

また、磁石7の凸部7aは、その側面70aと光アイソレータ素子の側面10aとの距離が磁石7の側面70b及び光アイソレータ素子1の側面10aの距離よりも長くなる位置に形成されている。従って、凸部7aと光アイソレータ素子1との間には余裕空間が形成されており、この空間により、磁石7の接合材5aと光アイソレータ素子1の接合材5bとに機能分離させて接合できるために、硬化の際に磁石の接合材7を介して光アイソレータ素子1に応力が加わることを有効に阻止することができる。   The convex portion 7 a of the magnet 7 is formed at a position where the distance between the side surface 70 a and the side surface 10 a of the optical isolator element is longer than the distance between the side surface 70 b of the magnet 7 and the side surface 10 a of the optical isolator element 1. Therefore, a marginal space is formed between the convex portion 7a and the optical isolator element 1, and by this space, the bonding material 5a of the magnet 7 and the bonding material 5b of the optical isolator element 1 can be functionally separated and bonded. For this reason, it is possible to effectively prevent stress from being applied to the optical isolator element 1 via the magnet bonding material 7 during curing.

さらに、図1に示すように、磁石7に形成される凸部7aが、固定面の側面70cよりに形成されている。これによっても上述と同様に光アイソレータ素子1、特にファラデー回転子2に応力が加わることをほぼ完全に阻止することができる。   Furthermore, as shown in FIG. 1, the convex part 7a formed in the magnet 7 is formed from the side surface 70c of the fixed surface. This also makes it possible to almost completely prevent stress from being applied to the optical isolator element 1, particularly the Faraday rotator 2, as described above.

磁石7の凸部7aの高さh(図2(a)で説明)は、接合材5aの厚みが接合材材質により0.03mm〜0.1mmであることから0.05mm〜0.3mmであれば好適である。これ以上高さhを大きく取ると今度はファラデー回転子2に加わる磁界強度が不足する恐れがあるためである。   The height h of the convex portion 7a of the magnet 7 (described with reference to FIG. 2A) is 0.05 mm to 0.3 mm because the thickness of the bonding material 5a is 0.03 mm to 0.1 mm depending on the bonding material. Any is suitable. This is because if the height h is made larger than this, the magnetic field strength applied to the Faraday rotator 2 may be insufficient.

磁石7の材料としては、例えばサマリウムコバルト焼結磁石からなる材料が適している。また、磁石7は光アイソレータ素子1の両側に配置されており、磁石7には、ファラデー回転子2を通過する光軸方向の磁力線が最大になるような向きに磁極が配置されており、ファラデー回転子2が所定の波長をもつ入射光線の偏光面を45度回転させるだけの磁界強度を有する。また、磁石7の形状はこれに限ることもなく、ファラデー回転子に所定の磁界強度を満足すれば、1個でも良く、基板6との当接面以外の形状は限定されない。   As a material of the magnet 7, for example, a material made of a samarium cobalt sintered magnet is suitable. The magnets 7 are disposed on both sides of the optical isolator element 1, and the magnetic poles are disposed on the magnet 7 in such a direction that the magnetic field lines passing through the Faraday rotator 2 are maximized. The rotator 2 has a magnetic field intensity sufficient to rotate the polarization plane of incident light having a predetermined wavelength by 45 degrees. The shape of the magnet 7 is not limited to this, and may be one as long as the Faraday rotator satisfies a predetermined magnetic field strength, and the shape other than the contact surface with the substrate 6 is not limited.

なお、磁石7は材料粉体をプレス加工の後、焼結され、表面には耐食性や耐衝撃性を向上させるために通常Niメッキが施される。サマリウムコバルト焼結磁石の場合は耐食性に優れているが、接合材に応じて適宜Niメッキが施される。   The magnet 7 is sintered after pressing the material powder, and the surface is usually plated with Ni in order to improve the corrosion resistance and impact resistance. In the case of a samarium-cobalt sintered magnet, it has excellent corrosion resistance, but Ni plating is appropriately performed depending on the bonding material.

かくして、本発明の構成によれば、ファラデー回転子2の熱膨張係数は、一般的にビスマス置換ガーネットを用いるために約10×10−6/℃、偏光子3、4は一般的にポーラコア(コーニング社の製品名)を用いるために熱膨張係数は約6.5×10−6/℃、また、磁石7は一般的にサマリウムコバルト焼結磁石を用いるために熱膨張係数は約13×10−6/℃である。これら熱膨張係数の異なる部材を単一の基板6に堅固に実装したとしても磁石7の当接面に凸部7aでのみ基板6が接合しているため、基板6上で接合材5aと接合材5bとが互いに接触せず、磁石7により顕著に発生する応力が光アイソレータ素子1、特にファラデー回転子2に伝わりにくくなり、良好な光学特性が得られるものである。 Thus, according to the configuration of the present invention, the thermal expansion coefficient of the Faraday rotator 2 is generally about 10 × 10 −6 / ° C. because the bismuth-substituted garnet is used, and the polarizers 3 and 4 are generally polar cores ( The product has a coefficient of thermal expansion of about 6.5 × 10 −6 / ° C., and the magnet 7 generally uses a sintered samarium cobalt magnet. -6 / ° C. Even if these members having different coefficients of thermal expansion are firmly mounted on the single substrate 6, the substrate 6 is bonded to the contact surface of the magnet 7 only by the convex portion 7 a, so that the bonding material 5 a is bonded on the substrate 6. The material 5b does not come into contact with each other, and stress generated remarkably by the magnet 7 becomes difficult to be transmitted to the optical isolator element 1, particularly the Faraday rotator 2, so that good optical characteristics can be obtained.

図2は本発明の効果について説明した断面図である。   FIG. 2 is a sectional view for explaining the effect of the present invention.

図2(a)は光アイソレータの平面図であり、磁石7とファラデー回転子2を通るA−A断面の位置を表している。図2(b)は従来の光アイソレータにおける接合時の収縮挙動を示す図を上述のA−A断面の位置で切った場合の縦断面図である。図2(c)は本発明の光アイソレータにおける部材収縮の様子を上述のA−A断面の位置で切った場合の縦断面図である。   FIG. 2A is a plan view of the optical isolator, showing the position of the AA cross section passing through the magnet 7 and the Faraday rotator 2. FIG. 2B is a vertical cross-sectional view of the conventional optical isolator showing a shrinkage behavior at the time of joining at the position of the AA cross section. FIG.2 (c) is a longitudinal cross-sectional view at the time of cut | disconnecting the state of the member in the optical isolator of this invention in the position of the above-mentioned AA cross section.

図2(a)では基板6の上面全面に接合材5が載っており、磁石7とファラデー回転子2が接合材5により固着されている様子を示す。図2(b)は接合材5a、5bが基板6上で互いに接触せずに別領域に形成され、磁石7が接合材5aによって、光アイソレータ素子1が接合材5bにより固着されている様子を示す。   FIG. 2A shows a state in which the bonding material 5 is placed on the entire upper surface of the substrate 6 and the magnet 7 and the Faraday rotator 2 are fixed by the bonding material 5. FIG. 2B shows a state in which the bonding materials 5a and 5b are formed in different regions on the substrate 6 without contacting each other, the magnet 7 is fixed by the bonding material 5a, and the optical isolator element 1 is fixed by the bonding material 5b. Show.

物体は温度の上昇により膨張し、温度の降下により収縮する。温度1℃の変化によって生じる単位長さあたりの収縮量を熱膨張係数といい、これをαで表す。各接合部における応力は接合材の融点付近で発生し始め、ここから温度が下がるほど各残留応力は大きくなる。図中の磁石7、ファラデー回転子2内の矢印は各部材が温度降下時に収縮する方向を示している。   The object expands with increasing temperature and contracts with decreasing temperature. The amount of shrinkage per unit length caused by a change in temperature of 1 ° C. is called a thermal expansion coefficient, and this is represented by α. The stress at each joint begins to occur near the melting point of the joining material, and the residual stress increases as the temperature decreases from here. The arrows in the magnet 7 and the Faraday rotator 2 in the figure indicate the direction in which each member contracts when the temperature drops.

また、光アイソレータ素子1の内、ファラデー回転子2はその残留応力、特に引っ張り応力により、その消光比が大幅に低下することがわかっている。ファラデー回転子2の消光比とは、入射した直線偏波の光のうち、どれだけの光が直線偏波を保持したまま回転するかをパワーの比で表したものである。   Further, it has been found that the extinction ratio of the Faraday rotator 2 of the optical isolator element 1 is greatly reduced by the residual stress, particularly the tensile stress. The extinction ratio of the Faraday rotator 2 is a ratio of power indicating how much of the incident linearly polarized light rotates while maintaining the linearly polarized light.

以上から、図2(a)の構成では、熱膨張係数が大きい磁石7が接合材の融点温度から常温への温度降下にともない大きく収縮し、図中の矢印Fの方向に接合材5を介してファラデー回転子2を引っ張るため、ファラデー回転子の消光比の低下や、接合材5にクラックが発生するという問題が生じる。これに対し本発明の図2(b)では接合材5aと5bが分離しているため、磁石7の収縮にともなう影響をファラデー回転子が受けにくい構成となっており、ファラデー回転子の特性低下や接合材のクラックが発生しにくくなる。   From the above, in the configuration of FIG. 2A, the magnet 7 having a large coefficient of thermal expansion contracts greatly with the temperature drop from the melting point temperature of the bonding material to room temperature, and the bonding material 5 is interposed in the direction of arrow F in the figure. Since the Faraday rotator 2 is pulled, problems such as a decrease in the extinction ratio of the Faraday rotator and cracks in the bonding material 5 arise. On the other hand, in FIG. 2B of the present invention, since the bonding materials 5a and 5b are separated, the Faraday rotator is not easily affected by the contraction of the magnet 7, and the characteristics of the Faraday rotator are deteriorated. And cracks in the bonding material are less likely to occur.

図3は、本発明の光アイソレータの第2の実施形態を示す斜視図である。   FIG. 3 is a perspective view showing a second embodiment of the optical isolator of the present invention.

本実施の形態の光アイソレータ10は、図1の光アイソレータ9と比べて、基板6と光アイソレータ素子1との間にコア基板8を介在させている点が異なるものである。例えば基板6としてアルミナセラミックスを用い、ファラデー回転子としてビスマス置換ガーネット単結晶を用い、偏光子としてキューポ(HOYA株式会社の製品名)を用い、磁石としてサマリウムコバルト磁石を用いた条件においては、それらの部材の熱膨張係数が一番ガーネット結晶に近いジルコニアセラミックスをコア基板8として用いるのが適当である。   The optical isolator 10 of this embodiment is different from the optical isolator 9 of FIG. 1 in that a core substrate 8 is interposed between the substrate 6 and the optical isolator element 1. For example, under the conditions using alumina ceramics as the substrate 6, bismuth-substituted garnet single crystal as the Faraday rotator, cupo (product name of HOYA Corporation) as the polarizer, and samarium cobalt magnet as the magnet, It is appropriate to use, as the core substrate 8, zirconia ceramics whose member has a thermal expansion coefficient closest to that of the garnet crystal.

本構成によれば、コア基板8の熱膨張係数をファラデー回転子2に近いものを選択することにより、応力による影響を無視できるために、光アイソレータ素子1と磁石7との距離を更に小さくすることができ、小型化が可能となるばかりか、基板6の熱膨張係数を半導体モジュールのサブマウントなど実装相手の材質に合わせることが可能であり、材料選択の範囲が増えることになる。   According to this configuration, by selecting a thermal expansion coefficient of the core substrate 8 close to that of the Faraday rotator 2, the influence of stress can be ignored, so that the distance between the optical isolator element 1 and the magnet 7 is further reduced. In addition to being able to reduce the size, the coefficient of thermal expansion of the substrate 6 can be matched to the material of the mounting partner such as the submount of the semiconductor module, which increases the range of material selection.

本実施例も第一の実施例と同様の効果を有し、磁石7からの引っ張り応力を光アイソレータ素子1がさらに受けにくい構成である。   This embodiment also has the same effect as the first embodiment, and is configured such that the optical isolator element 1 is more difficult to receive tensile stress from the magnet 7.

図4は、本発明の第3の実施形態を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の一部拡大平面図である。本実施の形態の特徴は、突起部7aが光アイソレータ素子1を取り囲むようにコ字状、逆コ字状に形成されているところにある。即ち、凸部7aが、磁石7の固定面において、光アイソレータ素子1と対峙する磁石7の側面70bとは反対側の側面70c側よりに形成され、かつ、側面70cと隣接する磁石7の一対の端面70d側に形成されている。   FIG. 4 is a view showing a third embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view and (b) is a partially enlarged plan view of (a). The feature of the present embodiment is that the protrusion 7a is formed in a U shape or an inverted U shape so as to surround the optical isolator element 1. That is, the convex portion 7a is formed on the fixed surface of the magnet 7 from the side surface 70c opposite to the side surface 70b of the magnet 7 facing the optical isolator element 1, and the pair of the magnets 7 adjacent to the side surface 70c. Is formed on the end face 70d side.

これにより、光アイソレータ素子1のファラデー回転子に応力が加わることを阻止することができるだけでなく、基板6に磁石7を配置したとしても磁石7と基板6との接合面積を極めて小さくしながらファラデー回転子2との距離を大きくできるため基板6に対して磁石7が安定して配置され、アイソレータ素子1に発生する応力を低減させることができる。この場合、(b)のように突出部7aの屈曲部がRに形成されている。これによって磁石7自体の屈曲部に集中して増大しやすい応力を低減させることができる。   As a result, not only can the stress be prevented from being applied to the Faraday rotator of the optical isolator element 1, but even if the magnet 7 is arranged on the substrate 6, the Faraday can be reduced while reducing the bonding area between the magnet 7 and the substrate 6. Since the distance to the rotor 2 can be increased, the magnet 7 is stably disposed with respect to the substrate 6, and the stress generated in the isolator element 1 can be reduced. In this case, as shown in (b), the bent portion of the protruding portion 7a is formed in R. As a result, it is possible to reduce stress that tends to concentrate on the bent portion of the magnet 7 itself.

本発明の実施例として図1に示した光アイソレータを試作し、特性の評価および信頼性試験を行った。各部品と構成について以下に説明する。   As an example of the present invention, the optical isolator shown in FIG. 1 was prototyped and subjected to characteristic evaluation and reliability test. Each component and configuration will be described below.

偏光子は、コーニング社製のポーラコア(製品名)を用い、サイズは10mm角で厚み0.2mmのものを、互いの透過偏波方向は45度ずらして光学調整の後に、1mm角に切り出した。このときの熱膨張係数が6.34×10−6(1/℃)のものを用いた。 A polar core (product name) manufactured by Corning Inc. was used as the polarizer, and the size was 10 mm square and the thickness was 0.2 mm. . A thermal expansion coefficient of 6.34 × 10 −6 (1 / ° C.) at this time was used.

ファラデー回転子はビスマス置換ガーネットを用い、サイズは10mm角で厚み0.4mmのものを、1mm角に切り出した。この場合の飽和磁界強度中における偏波回転角は45度であった。このときの熱膨張係数が10.0×10−6(1/℃)のものを用いた。 As the Faraday rotator, a bismuth-substituted garnet was used, and a 10 mm square and 0.4 mm thick one was cut into a 1 mm square. In this case, the polarization rotation angle in the saturation magnetic field strength was 45 degrees. The thermal expansion coefficient at this time was 10.0 × 10 −6 (1 / ° C.).

偏光子、ファラデー回転子のいずれも波長1.55μmの光に対して動作する素子であり、偏光子、ファラデー回転子の両面には対空気(n=1)の反射防止膜を施す。また、偏光子とファラデー回転子の接合面となる一辺にはTi−Pt−Auの多層金属膜を成膜した。   Both the polarizer and the Faraday rotator are elements that operate with respect to light having a wavelength of 1.55 μm, and antireflection films of air (n = 1) are provided on both surfaces of the polarizer and the Faraday rotator. In addition, a Ti—Pt—Au multilayer metal film was formed on one side serving as a bonding surface between the polarizer and the Faraday rotator.

基板の材料にはジルコニアセラミックスを用い、その表面にもあらかじめTi−Pt−Auの多層金属膜を成膜した。ジルコニアセラミックスの熱膨張係数は10.5×10−6/℃で、ファラデー回転子の熱膨張係数とほぼ同じであり、ファラデー回転子に基板からの応力の影響を受けない構成とした。 Zirconia ceramics was used as the substrate material, and a Ti—Pt—Au multilayer metal film was formed on the surface in advance. The thermal expansion coefficient of the zirconia ceramics is 10.5 × 10 −6 / ° C., which is almost the same as the thermal expansion coefficient of the Faraday rotator, and the Faraday rotator is not affected by the stress from the substrate.

基板のサイズは幅W=3mm、長さD=1.5mm、厚みt=0.3mmとした。また、基板上のほぼ中央部に幅W=0.8mm、長さD=1.2mmのAu/20Sn箔ロウ材からなる接合材を置き、その接合材の両側に幅W=0.7mm、長さD=1.2mmのAu/20Sn箔ロウ材からなる同じ接合材を置いた。2つの接合材は約0.5mmの幅で分離させた。   The size of the substrate was a width W = 3 mm, a length D = 1.5 mm, and a thickness t = 0.3 mm. In addition, a bonding material made of Au / 20Sn foil brazing material having a width W = 0.8 mm and a length D = 1.2 mm is placed in a substantially central part on the substrate, and a width W = 0.7 mm on both sides of the bonding material. The same bonding material made of Au / 20Sn foil brazing material having a length D = 1.2 mm was placed. The two bonding materials were separated by a width of about 0.5 mm.

磁石はサマリウムコバルトの材料が用いられ、幅W=0.8mm、長さD=1.4mm、厚みt=1.4mmの略直方体に形成したものを2個用いた。ロウ材の厚みは0.03mmを選択し、磁石の接合面の段差高さは0.2mmとした。このときの熱膨張係数が光軸方向を6.5×10−6(1/℃)、光軸と垂直な方向を13.0×10−6(1/℃)のものを用いた。 The magnet was made of samarium cobalt, and two magnets formed in a substantially rectangular parallelepiped having a width W = 0.8 mm, a length D = 1.4 mm, and a thickness t = 1.4 mm were used. The thickness of the brazing material was selected to be 0.03 mm, and the step height of the magnet joining surface was set to 0.2 mm. The thermal expansion coefficient at this time was 6.5 × 10 −6 (1 / ° C.) in the optical axis direction and 13.0 × 10 −6 (1 / ° C.) in the direction perpendicular to the optical axis.

次に、図1に示すように基板上に光アイソレータ素子を配置するとともに、磁石を基板に載置し、3gの押圧を加えた状態のまま窒素雰囲気280℃で加熱溶融して光アイソレータ素子と磁石を基板に固定した。   Next, as shown in FIG. 1, the optical isolator element is arranged on the substrate, and the magnet is placed on the substrate and heated and melted at 280 ° C. in a nitrogen atmosphere with 3 g pressed, A magnet was fixed to the substrate.

このようにして50個の光アイソレータを作製し、特性を測定した。その結果、すべての光アイソレータは、挿入損失が0.3dB以下、アイソレーションが35dB以上の、良好で均一な特性を有することを確認した。従来の構成で試作した場合にアイソレーション特性の平均値が23dBと非常に低いのに対し、本発明による構成では平均値が42dBと高く良好な結果が得られた。   In this manner, 50 optical isolators were manufactured and the characteristics were measured. As a result, it was confirmed that all the optical isolators had good and uniform characteristics with an insertion loss of 0.3 dB or less and an isolation of 35 dB or more. While the average value of the isolation characteristic was as low as 23 dB when the prototype was manufactured with the conventional configuration, the average value was as high as 42 dB with the configuration according to the present invention, and good results were obtained.

次に作製した光アイソレータの信頼性評価を行った。   Next, the reliability of the produced optical isolator was evaluated.

試験は、Telcordia1221に示される振動試験、衝撃試験、温度サイクル試験、高温保持試験、低温保持試験、高温高湿試験を実施し、すべての試験において、挿入損失の変化量が±0.2dB以下、アイソレーションの変化量が±3dB以下と良好な結果を得ることができた。   The tests were conducted vibration test, impact test, temperature cycle test, high temperature holding test, low temperature holding test, high temperature high humidity test shown in Telcordia 1221. In all tests, the amount of change in insertion loss is ± 0.2 dB or less, A good result was obtained in which the amount of change in isolation was ± 3 dB or less.

以上の試作により、磁石の体積収縮に起因する応力の影響が少なく、光学特性が安定し、かつ、組み立てが容易で工数が少なく、光アイソレータ素子の脱落、クラック、特性劣化がない信頼性に優れた光アイソレータを提供することができる。   By the above trial manufacture, there is little influence of stress due to the volume shrinkage of the magnet, the optical characteristics are stable, the assembly is easy and the man-hours are small, and the optical isolator element does not fall off, cracks, and has excellent reliability. An optical isolator can be provided.

本発明の光アイソレータの実施形態1を示す図である。It is a figure which shows Embodiment 1 of the optical isolator of this invention. (a)は光アイソレータの平面図であり、(b)は従来の光アイソレータにおける接合時の収縮挙動を示す図を(a)のA−A断面の位置で切った場合の縦断面図である。(c)は本発明の光アイソレータにおける部材収縮の様子を(a)のA−A断面の位置で切った場合の縦断面図である。(A) is a top view of an optical isolator, (b) is a longitudinal cross-sectional view when the figure which shows the shrinkage | contraction behavior at the time of joining in the conventional optical isolator is cut in the position of the AA cross section of (a). . (C) is a longitudinal cross-sectional view at the time of cut | disconnecting the state of the member in the optical isolator of this invention in the position of the AA cross section of (a). 本発明の光アイソレータの実施形態2を示す図である。It is a figure which shows Embodiment 2 of the optical isolator of this invention. 本発明の光アイソレータの実施形態3を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)の一部拡大平面図である。It is a figure which shows Embodiment 3 of the optical isolator of this invention, (a) is a top view, (b) is a partially expanded plan view of (a). 従来の光アイソレータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional optical isolator.

符号の説明Explanation of symbols

1、11 光アイソレータ素子
2、12 ファラデー回転子
3、4、13、14 偏光子
5、15 接合材
5a、5b、5c 接合材
6、16 基板
7、17 磁石
7a 凸部
8 コア基板
9、10、18 光アイソレータ
h 段差高さ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 11 Optical isolator element 2, 12 Faraday rotator 3, 4, 13, 14 Polarizer 5, 15 Bonding material 5a, 5b, 5c Bonding material 6, 16 Substrate 7, 17 Magnet 7a Protruding part 8 Core substrate 9, 10 , 18 Optical isolator h Step height

Claims (2)

基板上に、平板状のファラデー回転子と偏光子からなる光アイソレータ素子と、該光アイソレータ素子と互いの側面が対峙して近接配置するとともに前記ファラデー回転子に磁界を与える磁石とを接合材を介して固定してなる光アイソレータにおいて、前記磁石は、前記磁石の固定面の一部から突出した凸部が前記基板に接合されて固定されており、前記凸部は、前記光アイソレータ素子と対峙する前記磁石の側面と反対側の第2の側面寄りに、前記光アイソレータ素子と隔てて形成されているとともに、前記第2の側面と隣接する一対の端面側に沿わせて形成されており、該一対の端面側に沿わせた部分と前記第2の側面寄り部分との間の屈曲部が曲面に形成されていることを特徴とする光アイソレータ。 An optical isolator element composed of a flat-plate Faraday rotator and a polarizer, and a magnet for giving a magnetic field to the Faraday rotator and a side surface of the optical isolator element facing each other in close proximity to each other In the optical isolator that is fixed via, the magnet has a convex portion that protrudes from a part of the fixing surface of the magnet and is fixed to the substrate, and the convex portion is opposed to the optical isolator element. The second side surface opposite to the side surface of the magnet is formed apart from the optical isolator element, and is formed along a pair of end surface sides adjacent to the second side surface , An optical isolator , wherein a bent portion between a portion along the pair of end surfaces and a portion near the second side surface is formed into a curved surface . 前記光アイソレータ素子と基板との間には、前記光アイソレータ素子の熱膨張係数に近似したコア基板が介在していることを特徴とする請求項1記載の光アイソレータ。
The optical isolator according to claim 1, wherein a core substrate approximating a thermal expansion coefficient of the optical isolator element is interposed between the optical isolator element and the substrate.
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