JP4683728B2 - 金属層の厚さの過渡サーモグラフィ測定方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対象物の厚さを求めるための、サーモグラフィによる非破壊試験技術に関する。より詳しくは、本発明は、金属タービンの回転翼等の肉厚を正確に測定する高速赤外線過渡サーモグラフィ法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ここ何年もの間、様々な非破壊超音波測定技術を使って、鋳物や他の固体物の断面厚を測定している。従来は、対象物に超音波を当てて試験を行っており、超音波は、対象物の表層を突き抜け、反対側でその内部を反射してくるか、あるいは表面で反射する。そして、反射波の受信に要した時間をもとに反対側（背面）までの距離を測定し、それをその点における対象物の厚さとしている。しかしながら、この種の超音波測定を行って、たいていの対象物の断面厚を検査するには、通常、トランスデューサを使った、煩わしくて時間のかかる全表面の機械的走査が必要になる。さらに、トランスデューサと対象物表面との間を音響的に十分に密着させるには、その表面に液体の接触媒質を途切れなく供給するか、あるいは、対象物全体を接触媒質中に浸す必要がある。しかし、そのようなことは、多くの場合、実際的ではないし、多くの構造上かつ素材上の理由から、実現さえ不可能である。例えば、幾何学的に入り組んだ部分を走査、分析できる超音波システムは、一般的には非常に高価であり、複雑である。さらには、トランスデューサによる大型対象物の表面の機械的な走査には、事実上、何時間もかかる。
【０００３】
さらに、ある金属対象物を超音波測定する場合、その金属の内部結晶方向と構造により、望ましくないノイズと方向性効果が発生し、それが原因となって、得られたデータに誤りが生ずる。このような超音波測定に固有の限界が、最新のタービン翼によく使用される結晶金属、あるいは「方向性のある」金属からなる部品の試験を行う際の重大な欠点となる。
【０００４】
これとは対照的に、赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィは、幾分か用途の広い非破壊試験技術である。この技術は、対象物を介した熱転写の時間的な測定結果をもとに、その対象物の構造と完全性に関する情報を提供するものである。対象物を介した熱流は、実質的には、その対象物の素材のミクロ構造や単結晶方向に影響されないため、赤外線過渡サーモグラフィによる分析には、本来的に、超音波測定に対するような制限はない。たいていの超音波技術とは対照的に、過渡赤外線サーモグラフィ分析によるアプローチは、被検査対象物の大きさ、外形、あるいは形状によって著しく妨げられることはなく、被検査対象物の表面積が大きければ、従来のほとんどの超音波による方法よりも、１０倍から１００倍も速く試験ができる。
【０００５】
過渡サーモグラフィについて知られた最近の適用例として、固体非金属合成物中の傷の大きさと、「相対的な」位置（深さ）を測定できるものが、「過渡深度サーモグラフィ非破壊試験」と題する、リンガーマシャー他による米国特許第５，７１１，６０３号で明らかにされており、本願の援用文献でもある。この技術は、基本的に対象物の表面を加熱して、その表面上の非常に狭い領域、すなわち「分解要素」に渡る、時間に対する温度変化を記録するものである。表面温度の変化は、その対象物を介した熱流についての特有の動的特性に関連しており、それは傷の存在の影響を受ける。従って、傷の「相対的な」深さ（すなわち、対象物中の他の傷に対する深さ）を示す大きさおよび値は、その対象物の表面における各分解要素で起こる温度変化を注意深く分析することで決定できる。上記リンガーマシャーの特許には明確に開示されていないが、既知の深さのところに空隙がある「標準ブロック」、すなわち、対象物上の「無限の」（熱的に厚い）基準領域が、相対的な深さの値との比較のため、サーモグラフィデータの取得と分析の一部として含まれていなければ、傷の「実際の」深さ（すなわち、対象物の表面から傷までの深さ）を求めることはできない。
【０００６】
過渡サーモグラフィを使用して正確な熱測定を行うには、対象物の表面を短時間に特定の温度にまで加熱して、その対象物の他の部分が大幅に加熱されるのを避ける必要がある。被検査対象物の厚さと素材の特性に応じて、従来より石英灯、あるいは高輝度のストロボを使用し、適度な強さと持続時間を持った熱パルスを発生させている。しかし、対象物の表面を加熱するための具体的なメカニズムとしては、例えば、パルスレーザ光のように、サーモグラフィ観測ができる程度の温度まで表面を瞬時に加熱できるものであれば、何でもよい。いったん対象物の表面が加熱されてしまえば、その表面における温度変化をグラフ化して記録し、分析できる。
【０００７】
従来より赤外線（ＩＲ）ビデオカメラを使用して、加熱後の対象物表面についての連続した熱画像（フレーム）を記録し、蓄積している。この場合、画素とは、撮像する対象物表面の「分解要素」と呼ぶ矩形領域に対応する画像列あるいはフレーム中における、小さなピクチャ要素である。各分解要素における温度は、対応する画素の輝度に直接、関連しているため、対象物表面の各分解要素における温度変化は、画素のコントラストの変化という観点から分析することができる。既知の時点を示す、特定の画像フレームに対する画素の輝度の平均値を、同じ時点における個々の画素の輝度から減算することによって、格納されたビデオ画像を使って、画像フレーム内の各画素のコントラストを求める。
【０００８】
その結果、各画素のコントラストデータのタイムドメイン解析（すなわち、多数の画像フレームに渡る解析）をして、コントラスト曲線データの「変曲点」が発生する時間を特定する。これは、その対象物中の傷の相対的な深さと数学的な関係を持っている。基本的には、一貫した素材からなる、厚さＬの典型的な「プレート」状の対象物に適用した場合、対象物に入射する熱流束パルスは、その対象物中を通って反対側（背面）に達し、撮像している前面部に戻ってくるまで、ある「固有時間」Ｔｃを要する。この固有時間Ｔｃは、対象物の厚さに関係しており、以下の式により、その素材の熱拡散係数によって与えられる。
【０００９】
Ｔｃ＝４Ｌ²／π²α （１）
ここで、Ｌは対象物の厚さ（ｃｍ）、αは素材の熱拡散係数（ｃｍ²／秒）である。
【００１０】
経験的観測によれば、熱パルスがプレート状の対象物に入射した後における、その対象物の同じ側（つまり、前面）から観測した表面温度もまた、その素材の厚さと熱拡散係数に依存しながら上昇する、ということが知られている。さらに、表面の時間対温度（Ｔ-ｔ）の履歴グラフから、「変曲点」と呼ばれるＴ-ｔ曲線上の一意的な点によって、固有時間Ｔｃを決定することができる。この変曲点ｔ_inflは、Ｔ-ｔ曲線上で最大の傾きを持つ点（すなわち、ピーク傾斜時間）で示され、以下の式で表される固有時間Ｔｃに関係している。
【００１１】
ｔ_infl＝．９０５５Ｔｃ （２）
変曲点と固有時間との関係は、上記の式（２）で表されるように、二次元（２-Ｄ）熱流分析のみならず、一次元（１-Ｄ）熱流分析に関して、ほぼ１％になっている。Ｔ-ｔ応答から変曲点ｔ_inflが決まれば、対象物の相対的な厚さＬは、その素材の既知の熱拡散係数αを用いた上記の式（１）と、式（２）による実際のＴｃの値から決定することができる。
【００１２】
この点に関して、ピーク傾斜時間（変曲点）と上記のごとく規定される「固有時間」との間における、熱流についての恒常的な関係は、プレナム出版（ニューヨーク）から１９９８年５月に刊行された、「サーマルイメージングのための平底ホール基準に向けて」と題するリンガーマシャー他による論文中の「定量的非破壊評価の向上についての考察」に、詳細に論じられている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
傷を検出するための、上記引用したリンガーマシャー他による特許された方法は、セラミック、プラスチック、複合素材、その他の非金属物に対して有効ではあるが、金属からなる対象物の厚さの計測用として、特に適しているわけではない。その問題の一つとして、金属が非金属よりも、かなり高い熱伝導率と熱拡散特性を有していることが挙げられる。これにより、有効な熱データを得ることのできる時間が短くなって、ＩＲ記録装置の感度を上げる必要が生じる。装置の感度を上げることで、ストロボ等の他の周辺ＩＲ源からのＩＲノイズに起因して、得られたデータに誤りが生じる。さらに、上記引用したリンガーマシャー他による特許された装置と方法は、「相対的な」測定結果しか得られないため、金属対象物の所望地点における実際の厚さに関する値を得るという目的には使用できない。従って、金属対象物の実際の厚さを求めるには、ＩＲ過渡サーモグラフィを実行し、処理するための改良された方法が必要になる。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィを使用して、対象物の実際の厚さを測定して、表示するための非破壊試験方法および装置に関する。本発明に特異な特徴は、たとえ金属の熱伝導率が高いとしても、金属素材を注目対象物とすることができることである。
【００１５】
本発明によれば、金属対象物中における既知の熱流についての動的特性に基づく、改良された高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ装置を使用して、金属対象物の厚さを正確に測定し、その対象物の所望領域における断面厚を示す色分け表示を、目に見える形で提供する。さらには、本発明の改良された過渡サーモグラフィ技術を使用することで、従来の超音波による方法よりも、さらに精度よく金属対象物の厚さを測定できる。
【００１６】
この点に関して、本発明は、金属対象物を分析する際、特に変曲点を使用している。その理由は、変曲点がＴ-ｔ応答において比較的早く生じ、また、側方の熱損失メカニズムとは本質的に無関係だからである。このような配慮は、金属対象物を扱う際に重要である。というのも、金属は熱伝導率が高いので、熱応答が速く、そのため観測時間が短くなるからである。さらに、本発明によれば、「前面」ＩＲカメラによる観測からＴ-ｔ曲線を求めるときに、加熱した対象物内の、あるいは、隣接する熱的に厚い「基準」ブロック中の深部にある「基準領域」（この基準領域は、「無限厚」の対象物を近似している）を反映している仮想の、あるいは測定によるＴ-ｔ曲線から、観測によるＴ-ｔ曲線を減じることで画像「コントラスト」曲線を生成できれば、変曲点をさらに正確に決定できる。
【００１７】
本発明によって、所定時間に渡ってＩＲカメラの連続画像フレームより得た熱データから、変曲点ｔ_inflが決定される。この所定時間は、評価する対象物について推定した厚さをもとに、式（１）より得られる予測固有時間よりは、少なくとも幾分か長いことが望ましい。
【００１８】
残念なことに、本発明の発明者が認識しているように、既知の従来技術に係るＩＲ過渡サーモグラフィ装置には、少なくとも一つの欠点がある。それは、加熱パルスを生成するのに必要なストロボが、波長の長いＩＲ「残光」を放出し、それが最終的に背景放射として対象物とカメラに達する。これが、記録されたＩＲ画像のコントラストを低下させ、結局、熱測定結果の精度に影響を与えることになる。そこで、本発明は、従来のストロボ加熱装置が引き起こす「残光」ＩＲ放出に関連する問題を実質的になくす、改良された高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ装置を提供する。本発明はさらに、タービンの回転翼等、金属対象物の前面肉厚を効果的に定量評価するための、改良された高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法および装置を提供する。さらには、本発明は、金属対象物の厚さを求める、改良された方法および装置を提供する。ここで、厚さを求めるためのデータを取得する手段は、鋳造物や他の「方向性のある」金属対象物には一般的な、その対象物の特定内部結晶構造には、実質的に影響されない。
【００１９】
本発明の好適な実施例によれば、本装置は、専用の光学フィルタが取り付けられた１あるいはそれ以上の高出力ストロボと、データ取得のためのＩＲ感知フォーカルプレーンアレイカメラと、表示用モニタとからなる画像システムを含む。コンピュータシステムによって、この画像システムを制御し、ＩＲカメラを介して得た表面温度データを記録、並びに解析し、そして、対象物の厚さに正確に対応する色分けした画像を表示用モニタに供給する。
【００２０】
ストロボを点灯して対象物に光を当てることで、表面温度データの取得が開始される。専用の光学フィルタは、３〜５ミクロンのＩＲ放射を吸収および／またはストロボに対して反射するようスペクトル調整されている。これによって、一般的にストロボ消灯後にストロボ内の過熱された金属元素より発生する、望ましくない長波長のＩＲ「残光」の放出が、対象物やカメラに達するのを防止できる。このようなフィルタの使用によって、実際の厚さの１％〜３％の精度範囲内にある寸法測定結果を生成する、より正確な熱評価が可能となる。
【００２１】
そして、ストロボ点灯後のある期間、所定数の画像フレームが記録され、その記録された画像を使って、対象物表面の注目領域の各基本領域、あるいは「分解要素」に対する温度-時間（Ｔ-ｔ）履歴を構築する。記録された画像フレーム各々が、フレームデータが得られたときの対象物の表面温度と相関する輝度を持つ、所定の（ｎ×ｍ）配列の画素からなり、各画素は、特定の分解要素に対応する画像フレーム内における（ｘ，ｙ）ロケーション指定を持っている。
【００２２】
取得した画像フレーム中の各画素に対するＴ-ｔ履歴の熱流分析を行い、（一次元、あるいは多次元の熱流分析アプローチのいずれかを使用して）各分解要素のロケーションにおける対象物の厚さを求める。従来より、対象物の固体部分を介した過渡的な熱流を分析するには、固有時間Ｔｃを決定する必要があり、それには、熱エネルギの「パルス」が、対象物の最初の表面を通り抜け、反対側の面で反射し、そして、最初の表面に戻ってくる必要がある。固有時間が、２つの表面間の距離に関係しているため、それを使って、所望地点の２表面間における対象物の厚さを測定できる。都合の良いことに、画素のサーモグラフィＴ-ｔ履歴から固有時間Ｔｃの値を決定できる。というのも、上記の式（２）によれば、その値が、画素について記録されたコントラスト履歴における「変曲点」の発生と時間的な関連を持っているからである。
【００２３】
本発明によれば、改良された熱流解析法もまた提供され、それにより、とりわけコントラスト履歴の「変曲点」の、より正確な決定が容易になる。以下に詳述するように、対象物表面の各分解要素に対応する各（ｘ，ｙ）画素ロケーションに対して、最初にコントラスト曲線が決定される。このコントラスト曲線は、対象物の、あるいは、測定対象物と同様の熱伝導率を持つ異なる「基準」ブロックの、「熱的に厚い」部分を使用して得た平均画素輝度に基づいて作成する（好適な実施例では、熱的に厚い部分は、測定対象物全体の厚さの、少なくとも５倍の厚さがある）。好適な実施例では、個々の熱的に厚いブロックが、測定対象物に隣接した位置にあり、それと一緒に撮像される。他の実施例では、熱的に厚い部分を有し、かつ、厚さの分かっている、異なる段からなる「標準」ブロックが、注目対象物とともにサーモグラフィ撮像される。
【００２４】
次に、画素のコントラスト曲線のデータについて時間的なガウシアン平滑化を行って、測定結果の信号対ノイズ比を改善する。そして、三点データサンプリングによって、コントラスト曲線を数学的に微分する。このサンプリングは、第２のサンプル点における画像フレーム番号の値と比例関係を有する、分離された第１および第３のサンプル点を持っている。そして、コントラスト曲線のデータについての微分値における局部的なピークを決定し、重み関数を使って各ピークの重要度を調整して、対象物の厚さを求めるのに使用するＴ-ｔコントラスト曲線データにおける最良の「変曲点」を特定する。画素データも修正して、撮像された対象物の表面曲率によるＩＲ放射率の変動を相殺する。
【００２５】
本発明の目的、および本発明により得られる効果は、添付図面を参照して以下に詳述する好適な実施例を精査することで理解できる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
図１は、対象物、例えば、意図的な空隙４を有する金属タービン翼１の厚さを測定し、表示するためのＩＲ過渡サーモグラフィシステム１０の例を示している。以降における議論のため、対象物の「厚さ」とは、中空、あるいは半ば中空の対象物（すなわち、意図的な空隙を有する対象物）における前面厚、あるいは表面厚のことであり、「熱的に厚い」対象物とは、仮想的な「無限」厚の対象物を近似するのに十分な厚さの対象物、あるいは対象物の部分をいう（好適な実施例では、無限に厚い対象物は、測定対象物の全体の厚さの、少なくとも５倍の厚さがある）。
【００２７】
測定対象物は、最初に、高紫外可視、高赤外線吸収物質、例えば、グラファイト、カーボン、カーボンブラック水性塗料等のカーボン基材物質の薄い速乾性被覆剤で、（例えば、スプレー、ブラシ、あるいはローラにより）塗装するのが望ましい。
【００２８】
本発明では、ストロボ熱パルス源１１を始動して、測定対象物の表面を素早く加熱する。ストロボ熱パルス源１１に適した装置として、例えば、（イリノイ州シカゴにあるスピードトロン社で製造された）、４あるいは８個の高速、高出力の写真用ストロボを一組にした、各々が約４．８キロジュールを出力可能な、個別の電源を持つものがある。
【００２９】
金属は、非金属よりも、はるかに高速の熱伝導率を持つため、金属中の熱流に対する固有時間は、例えば、プラスチックや複合材料のそれよりも速い。従って、（通常、非金属に限定される）従来のＩＲサーモグラフィ技術を金属に適用しようとすると、加えた熱を急激に遮断する必要がある。これを達成するには、露光後にストロボが冷えるとき、対象物に余熱を当てないよう、（被膜した）ストロボと注目対象物との間に３〜５ミクロン用の反射型フィルタ１８を使用する。
【００３０】
実際は、１個あるいはそれ以上のフィルタ（例えば、各ストロボに１つのフィルタ）を使用する。これらのフィルタの機能は、通常、ストロボ内の過熱された金属元素の「残光」より発生する直接の長波長放射が、ストロボに常に残ったり、目標物に衝突したり、あるいは、反射してフォーカルプレーンアレイカメラ１３に戻るのを防ぐことである。このような、ストロボ１１からの初期の残光放射が、早期の熱データ取得の間における目標物からの長波赤外線放射と競合し、また、それを妨害する可能性がある。よって、真に目標から発せられたＩＲ放射を覆い隠し、最終的な画像コントラストと画質を低下させることになる。従って、これらの専用フィルタを使用することで、十分に急峻な熱パルスが生成され、金属内における短い熱移動時間を検出できる。
【００３１】
本発明によれば、ストロボフィルタ１８は、パイレックス（登録商標）、石英ガラスＢＫ７、あるいは、他の光学材料からなる。この光学材料は、可視光と紫外線を通し、ストロボに面する側に赤外線反射被膜を有し、３〜５ミクロンの範囲内にある全ての放射をストロボに対して反射する材料である。（光学ガラスと被膜が施されたフィルタは、コネチカット州のストラトフォードにあるオリールのような、一般の実験用光学材料や光学ガラスの製造業者より入手するか、あるいは特注する。）
基準ブロック２とともに熱パルスが当てられた対象物１の表面温度の測定結果は、赤外線（ＩＲ）感応撮像システムを使って取得する。このシステムは、ＩＲ感応フォーカルプレーンアレイカメラ１３（例えば、カリフォルニア州ゴレタのアンバーエンジニアリング、レイセオン社より入手できるレイジアンスＨＳカメラ）、制御用電子回路１４、フレームデータメモリ１５、制御コンピュータ／画像処理プロセッサ１６、および表示用モニタ１７からなる。
【００３２】
熱データの取得は、光学的な始動により、あるいは他の適当な手段によってストロボを点灯したときに開始するのが望ましい。ストロボの点灯は、システムコンピュータ１６上で動作する通常のビデオフレーム取得用ソフトウエアで管理された通常のストロボ用電子回路１４で制御される（例えば、アンバー社のイメージデスク（登録商標）フレーム取得システムにより提供されているものや、その他の通常のフレーム取得およびストロボ制御用のソフトウエア、例えば、ミシガン州ラスラップビレッジにあるサーマルウエーブイメージング社より市販されているものがある）。
【００３３】
システム制御コンピュータ／画像処理プロセッサ１６は、特別にプログラムされた汎用デジタルコンピュータであり、本発明の方法に係るデジタル画像処理および表示に加えて、周辺機器を制御したり、通信機能を実行できる。システムコンピュータ１６は、カメラおよびストロボ用電子回路１４とフレームデータメモリ１５を制御して、対象物表面の所定数の連続熱画像フレームを取得する。これらの熱画像フレームは、その後の分析のためにメモリ１５に格納される。
【００３４】
熱撮像処理を始める前に、ここで説明する「全領域」デュアルイメージ較正技術を使用して、最初にＩＲカメラ１３を較正する。この技術は、２つの「黒体」（ＢＢ）画像較正レファレンス、すなわち、室温のフラットブラックプレートを使用したＢＢ「低温」源と、加熱したフラットブラックプレートを使用したＢＢ「高温」源とを用いた技術である。例えば、ＢＢ「低温」源の較正画像を得るには、カメラのレンズに対して４５°に配された室温のフラットブラックプレートを封じ込めた、フラットブラック塗装された箱を、そのレンズの真正面に配置する。ＢＢ「高温」源の較正画像を得るには、フラットブラックプレートを周囲よりも公称約１０°Ｃ高く加熱した後、上記と同じフラットブラック塗装された箱の中にカメラのレンズを置いて、そのカメラが、全領域に渡って加熱されたプレートの画像を撮るようにする。上述したデュアルイメージ較正技術が望ましいとは言っても、高コントラストの撮像に対して重要で、かつ、改善された熱精度を得ることのできる、最大に均一化された画像領域が得られる較正技術であれば、何でも使用できる。
【００３５】
撮像処理期間に取得した各画像フレームは、Ｎ×Ｎの画素からなり、各画素は、対象物上の分解要素に対応している。ここで、Ｎは、所望の解像度や精度に応じて、一般的には１２８か２５６とする。各画素は、格納メモリの約２バイトを占め、例えば、１２ビット、あるいはそれ以上の２進数で表される。格納された画像フレームは、逐次、増大するフレーム番号値で特定される。その値は同時に、ストロボ１１が与えた熱パルスを当てた後の所定期間における、対象物１の前面の温度対時間（Ｔ-ｔ）特性の履歴記録を提供する役割を果たす。
【００３６】
好適な実施例では、金属対象物の実際の厚さを求めるには、注目する金属対象物を、それと組成が同じで、熱的に厚い部分３を持つ別の金属基準ブロック２に近接させて配し、そして、同じストロボ加熱パルスを使用した同じ画像フレーム内で、ブロック２と一緒に対象物の画像を撮る。金属基準ブロック２の熱的に厚い部分３を使用することで、そのブロックに対する平均画素輝度の微分値が得られる。その値は、被測定対象物中で内部反射する熱パルスからは、いかなる影響も受けない。この平均画素輝度は、その後、（後述する）個々の画素コントラストを求めるのに使用され、それによって、その画素の「下」にある金属層の実際の正確な厚さを測定できる。
【００３７】
制御コンピュータ１６によるストロボ１１の点灯後、金属対象物の評価期間において、カメラ１３より画像データフレームを取得し、その画像上の各分解要素におけるＩＲ強度をデジタル的に記録して、フレームデータ記録部１５に格納する。対象物の素材に対する少なくとも１つの推定「固有時間」に渡って、意味のあるＴ-ｔ履歴を得るのに十分な所定数の連続画像フレームの始めから終わりまで、データ取得を続ける。取得した画像フレームの数Ｚは、所望の精度および画像の解像度によって変わり、毎秒５５０フレーム程度のデータ取得ができる。
【００３８】
フレームデータ記録部１５は、プロセッサ１６に内蔵される従来のデジタルメモリとするか、あるいは、プロセッサ１６がアクセスできる、適当なビデオフレームデー格納装置とすることができる。取得した連続の熱画像フレーム各々には、実時間の経過に対応させて、増大するフレーム番号Ｚが付けられている。結果として生じるデータフレームの「束」は、先に概要を述べたように、一次元の熱流分析アプローチによって分析される。かかるアプローチによれば、本発明の方法は、連続するＩＲ画像フレームに渡る各画素の時間対温度（Ｔ-ｔ）の履歴を示す、既知の熱不変特性を利用しており、その特性をもとに、「変曲点」すなわちピーク傾斜時間、つまり、Ｔ-ｔデータ曲線上で最大の傾きとなる点の位置を特定している。
【００３９】
図２はフローチャートであり、本発明に係る、金属対象物に対して過渡ＩＲサーモグラフィと画像データの分析を行うための工程を示している。これらの工程は、適当な市販ソフトウエアを使用し、および／または、既知の従来のプログラム技術を適用してプログラムされたシステムコンピュータ１６によって実現される。
【００４０】
最初に、コンピュータのオペレータが、熱拡散係数や内部基準領域熱データ等、所望の素材に対する関連パラメータについての情報を選択および／または入力して、対象物上の注目領域が特定される（すなわち、注目領域と所望の「熱的に厚い」領域を捕らえるように、ＩＲカメラの焦点を合わせる）。
【００４１】
工程２０では、システム制御コンピュータは、ストロボ用電子回路に対してストロボ１１を点灯するよう命令し、フォーカルプレーンアレイＩＲカメラ１３より画像フレームデータの取得を開始する。データ取得は、所定数の連続する画像フレームに渡って続行される。工程２１では、増大する値を持つフレーム番号Ｚによって、連続的に取得した画像フレーム各々を特定し、それをフレームデータメモリに記録する。
【００４２】
次の工程２２では、対象物の表面上の注目領域に渡って、各（ｘ，ｙ）分解要素ロケーションに対応する熱画像中の各画素に対して、一組のＴ-ｔ曲線を作成し、最初にＩＲ加熱する「ストロボ」の時間とフレーム番号を特定し、最初の未飽和状態のデータフレームを特定して、「基準」Ｔ-ｔ曲線（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）を生成する。対象物上の分解要素ロケーションにおける実際の厚さ（対象物上の他のロケーションに関係する単なる厚さの値である「相対的な厚さ」とは対照的である）を求めるには、同じ熱伝導率特性を持つ仮想の「無限厚」対象物の特性を近似している基準Ｔ-ｔ曲線を使用する必要がある。この基準曲線を生成するため、同じ組成を持つ、別に設けた物の熱的に厚い領域を対象物とともに撮像し、それを使って基準Ｔ-ｔ曲線データが与えられる。注目対象物の既知の熱的に厚い部分からのＴ-ｔデータを交互に使用できる（あるいは、相対的な厚さだけが必要な場合は、各画像フレームからの平均画素輝度についてのＴ-ｔ履歴より、基準曲線データを得ることができる）。
【００４３】
工程２３、および工程２４では、分析のための最初の画素（あるいは、次の画素）を選択し、そのＴ-ｔ曲線データ（ｔｔｃｕｒｖｅ）を抽出する（すなわち、決定したり、あるいは、コンピュータメモリから呼び出す）。この時点において、任意のオフセット、および大きさ（振幅）の調整ができ、これにより、対象物表面の曲率に起因する放射率の変化、あるいは振幅損失の影響を克服できる。これを達成するため、各画素に対するＴ-ｔデータ曲線を調整して、「正規化した」基準曲線上の特定の点に一致させる。例えば、基準曲線（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）を正規化して、「低温」（点灯前）の振幅をゼロにする。そこで、各画素に対するＴ-ｔデータ曲線が分析されるため、最初に基準曲線上の適当な点に一致させて、ゼロの低温振幅にオフセットする。さらに、この工程では、画素輝度データの「ゲイン」補正を各画素のＴ-ｔデータ曲線に適用して、対象物表面の曲率および／または表面状態が変化することによってＩＲ放射率が変わることの影響を補償したり、例えば、画素ゲイン補正を適用することで、最初の未飽和状態の画像フレームにおける画素振幅が、同じ時点における基準曲線の振幅に一致する。
【００４４】
工程２５では、Ｔ-ｔ曲線における変曲点をより正確に決定するため、画素のＴ-ｔ曲線（ｔｔｃｕｒｖｅ）データから「基準」Ｔ-ｔ曲線データ（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）を減算して、選択された画素に対する「コントラスト」曲線（ｃｏｎｃｕｒｖｅ）を定める。
【００４５】
工程２６では、コントラスト曲線データの時間的なガウス関数平滑化を行う。ここで、ガウス平滑化アルゴリズムで使用する「時間ウインドウ」は、画像フレーム番号Ｚに比例させることにより、時間の関数として変化するようになっている。基本的には、この平滑「ウインドウ」は、ガウシアンの半値（つまり、「２-Φ」幅）全幅を制御している。この可変幅の「フレーム番号平滑化」アプローチは、素材内の深部で熱拡散の影響を補償する傾向にあるため、従来のガウス平滑化を使うよりも効果があるとみなせる。
【００４６】
望ましくは、この工程では、選択されたデータ点における平滑ウインドウの幅が、その点における画像フレーム番号の平方根に比例するようになっている。時間的なガウシアン平滑化に加えて、ソフトウエアで実行する、いくつかの「画像フィルタ」も、この段階のコントラスト曲線データに適用する。これには、空間平滑、初期および終期ノイズ抑制、ネガティブコントラスト抑制、およびコントラスト閾値化が含まれる。
【００４７】
次に、工程２７では、変曲点を示す、コントラスト曲線の数学的な微分値を求める。曲線上の最大傾斜点は、従来の３連続点微分アルゴリズムを使用して決定できることは、良く知られている。このアルゴリズムでは、その曲線に沿った３つの等間隔の連続データ点をサンプリングし、使用することで、第２の（中間の）データ点における曲線の傾斜を計算している。本発明でも、依然として、３点を使ったコントラスト曲線の微分値を算定しているが、第１および第３のサンプル微分点の分離（すなわち、微分の基底間隔の幅）は、画像フレーム番号を介した画像展開における実時間にリンクしている。具体的には、コントラスト曲線に沿った、どの選択点における微分の基底間隔の幅も、ＩＲ画像フレーム番号Ｚの平方根に比例するようになっている。
【００４８】
このように、高ノイズレベルの真ん中においても、信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）特性は最大になる。このＳ／Ｎ比の改善は、大きな間隔に渡る「サンプリング」の結果であり、従来の固定間隔の３点微分で得た微分変動よりも、最も大きい信号変化を検出できる。サンプル点の分離が全ガウス幅に等しいとき、最大のＳ／Ｎ比が得られるため、本発明のフレーム番号の比例幅アプローチを使用することで、最大となりうるＳ／Ｎ比を常に得ることができる。
【００４９】
工程２８では、微分曲線中の全ピークを特定し、有効な「重みづけ」ファクタを使って適切なピークを見つけて、ｔ_infl変曲点として使用する。この工程の期間、全てのピークのロケーション（時間）と振幅のリストを、コンピュータのメモリ内に保持する。このピークのリストに所定の適正な重みづけ関数を適用することで、各ピークの有効性を調整できるため、例えば、データ取得時間の初期において発生するピーク生成ノイズの影響を有効に無視できる。時間的に遅く生じるピークは、より重要となる傾向にあることを、実証的な証拠が示しているため、本実施例では、ピークの振幅にそれが発生した時間を単に乗算することで、時間的な重みづけ関数を実行している。よって、これらのピークには、重要度（重み）の減少に従った区分がなされ、最大の（つまり、最も重要な）重み値を持つピークは、適正な変曲点を示すものとして選択される。
【００５０】
続く工程２９では、選択されたピークに対応する分解要素のロケーションにおける対象物の厚さが測定される。これは、最重要ピークが発生するフレーム番号を特定し、その値を実時間に変換することで行われる。ＩＲ画像フレームの取得は、所定の既知の速度で発生するため、フレーム番号を実際の経過時間とみなすことができる。従って、最重要ピークを持つＩＲ画像フレームのフレーム番号が、ｔ_inflに対する時間値を与える。上記の式（１）および（２）を使用して、ｔ_inflに対するこの値を、厚さ値Ｌに変換する。この値は、画素に対応する分解要素のロケーションにおける対象物の厚さに関連している。
【００５１】
工程３０では、厚さ値Ｌをメモリに格納し、それを使用して、表示あるいは印刷のために、対象物表面上の注目領域のカラーマップ化（あるいは、グレースケール）した画像を生成する。個々の色が、特定の厚さに対応している。そして、次の画素が選択され（工程２３）、ＩＲ画像からなる各画素に対して、再度、上記の工程を実行する。
【００５２】
上記の工程に加えて、精度と一貫性を得るため、システム制御コンピュータに、適切な従来からのプログラミングを行って、拡散定数、データ分析の開始点および範囲、時間的な平滑ウインドウの大きさの範囲、そして、カラーマッピング範囲等の様々なパラメータ値を自動的に入力し、選択する。
【００５３】
本発明に係る上述した装置と関連して、熱データの取得と分析に上述した工程を使用して過渡サーモグラフィ分析を行うことで、例えば、（図１に示すような）タービンエアフォイルによく見られる肋骨状の構造を持つ試験対象物の一部を構成したり、あるいは、それに接続されている、間隔の接近した後壁あるいは内部構造間の正確な壁厚値を得ることができる。これに対して、接近して配された後壁構造に従来の温度あるいは超音波方法を使用すると、通常は、不鮮明な画像や間違ったデータを得る結果になる。
【００５４】
図３は、本発明に係る方法および装置によって作成した、ニッケル合金の階段状標準物の赤外線過渡サーモグラフィ表示画像の印刷例である。図３に示す画像を生成する際に使用した階段状金属は、異なる厚さの６つの正方形区域に加えて、十分に厚い底部領域（不図示）を持っており、それは、実際の厚さを求めるのに必要な基準Ｔ-ｔ曲線データを得るための熱的に厚い基準部分として使用される。６つの正方形区域各々の厚さは、色付けした陰影（あるいは、グレー階調）で示され、それは、画像の右側に示した基準厚尺度図中の色に対応している。この例の尺度図は、０．０１６〜０．０６４インチ（０．４１〜１．６３mm）の範囲にある厚さの印を含んでいる。
【００５５】
本発明の他の実施例では、各画素のコントラスト値を得る必要がない。この実施例では、被測定対象物と、既知の厚さの１あるいはそれ以上の部分を持つ基準ブロックとの両方の分解要素に対応している、画素Ｔ-ｔ輝度曲線の変曲点が決定され、比較される。対象物に対する変曲点に対応している基準ブロックの変曲点が、対象物の厚さを示している。対象物の変曲点が、ブロック上の異なる厚さを持つ２つの部分に対応する変曲点の間にある場合は、補間により、その対象物の厚さが与えられる。好適な実施例では、上述したように、熱的に厚い基準部分を使用して画素コントラストを求める一方、画素コントラストを測定しなくても、画素輝度の変曲点のみを使って有用な測定結果を得ることができる。
【００５６】
現在のところ最も実際的で好適な実施例と考えられるものとの関連で、本発明を説明したが、本発明は、上記開示した実施例に限定されるものではなく、添付したクレームの精神ならびに範囲内における種々の改良および均等な変形を包含するものと理解される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る、対象物の実際の厚さを測定して表示するための赤外線過渡サーモグラフィシステムの構成例を示す図である。
【図２】 本発明に係る、図１のシステムで実行される赤外線画像データの取得および分析処理を示すフローチャートである。
【図３】 本発明に係る、ニッケル合金の階段状標準物の赤外線過渡サーモグラフィ画像表示の印刷例である。

Claims (24)

1. 熱拡散係数（α）を有する対象物（１）の厚さを求める高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法であって、
   （ｘ）長波長の赤外線の残光放出を防止するフィルタを透過したストロボ熱パルス源（１１）からの熱パルスを、対象物（１）および該対象物と同じ組成を持ち熱的に厚い領域（３）を有する基準物（２）に一緒に当てる工程と、
   （ａ） 赤外線（ＩＲ）に感応するフォーカルプレーンアレイカメラ（１３）より取得した、前記熱パルスが当てられた前記対象物（１）及び前記基準物（２）の表面温度についての所定の連続画像フレームからの画素輝度データを格納する工程であって、所定時間に渡って連続して取得した連続画像フレーム各々に、経過時間に線形対応して増加する値を持つフレーム番号が割り当てられている、当該格納工程と、
   （ｂ） 前記連続画像フレームからの画素に対する画素輝度データを用いて、前記対象物についての時間対温度曲線（ｔｔｃｕｒｖｅ）から前記基準物についての時間対温度曲線（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）を減算して、画素コントラスト曲線（ｃｏｎｃｕｒｖｅ）を決定する工程と、
   （ｃ） 前記工程（ｂ）で求めた画素コントラスト曲線についてのデータの時間的なガウシアン平滑化を実行する工程と、
   （ｄ） 時間的なガウシアン平滑化後、コントラスト曲線に沿った個別のデータ時点から画素コントラスト曲線データの時間微分を求める工程と、
   （ｅ） 画素コントラスト曲線データの時間微分値における局在性ピーク微分値を特定する工程と、
   （ｆ） 前記工程（ｅ）で特定した前記局在性ピーク微分値に所定の重みづけ関数を適用して、特定された各微分ピーク値に対する有意値を決定する工程と、
   （ｇ） 前記工程（ｆ）で決定した最有意値に基づいて、１つのコントラスト曲線微分ピーク値を選択する工程と、
   （ｈ） 前記工程（ｇ）で選択したコントラスト曲線微分ピーク値が発生する画像フレームのフレーム番号に対応する経過時間と前記熱拡散係数（α）とに基づき、対象物の厚さＬを求める工程と
   を備えることを特徴とする赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
2. 撮像された対象物の表面曲率および／または表面状態の変化に起因する放射率の変化は、選択された画素に対する所定のゲインファクタで画素輝度データを修正することによって補償されることを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
3. 選択された画素に対する画素輝度データを修正して、対象物の表面曲率によって変化する赤外線（ＩＲ）放射率の影響を補償することを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
4. 所定期間に渡って取得した画素輝度データからなる画素輝度曲線は、前記画素輝度曲線中の選択点を、正規化した画素基準曲線中の選択点に一致させることでオフセットされることを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
5. 画素コントラスト曲線データのガウス平滑化に使用する時間的な平滑ウインドウの大きさは、平滑ウインドウの開始時間に対応するフレーム番号に比例し、平滑ウインドウの大きさが時間とともに大きくなることを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
6. 画素コントラスト曲線データのガウス平滑化に使用する時間的な平滑ウインドウの大きさは、平滑ウインドウの開始時間に対応するフレーム番号の平方根に比例することを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
7. コントラスト曲線に沿って時間的に等しく離れた３つのデータ点を選んで改良した従来の３点微分アルゴリズムを使用して、画素コントラスト曲線データの時間微分を求め、第１および第３のデータ点は、第２の（中間の）データ点に対するフレーム番号の値の平方根に比例する時間間隔だけ離れていることを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
8. Ｔｃ＝４Ｌ^２／π^２α、およびｔ_infl＝．９０５５Ｔｃ（αは対象物の熱拡散係数、ｔ_inflは、最有意のコントラスト曲線微分ピークが発生する画像フレームのフレーム番号の値に直接関係する変曲点）で表わされる式に従って厚さＬを求めることを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
9. 赤外線（ＩＲ）画像フレームを取得する前に、高い紫外線透過性と赤外線放射率を持つ物質からなる薄層で前記対象物を被膜することを特徴とする請求項１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
10. 熱拡散係数（α）を持った対象物の厚さを求める装置であって、
    長波長の赤外線の残光放出を防止するフィルタを透過した熱パルスを、対象物（１）および該対象物と同じ組成を持ち熱的に厚い領域（３）を有する基準物（２）に一緒に当てるストロボ熱パルス源（１１）と、
    赤外線（ＩＲ）に感応するフォーカルプレーンアレイカメラ（１３）を用いて、前記熱パルスが当てられた前記対象物（１）及び前記基準物（２）の表面温度についての、所定時間に渡って連続して取得した連続画像フレームからの画素輝度データを記録する手段であって、連続画像フレーム各々に、経過時間に線形対応して増加する値を持つフレーム番号が割り当てられている、記録する手段と、
    前記連続画像フレームからの画素に対する画素輝度データを用いて、前記対象物についての時間対温度曲線（ｔｔｃｕｒｖｅ）から前記基準物についての時間対温度曲線（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）を減算して、画素コントラスト曲線（ｃｏｎｃｕｒｖｅ）を決定する手段と、
    前記画素コントラスト曲線についてのデータの時間的なガウシアン平滑化を実行し、時間的なガウシアン平滑化後、コントラスト曲線に沿った個別のデータ時点から画素コントラスト曲線データの時間微分を求め、画素コントラスト曲線データの時間微分値における局在性ピーク微分値を特定し、前記局在性ピーク微分値に所定の重みづけ関数を適用して特定された各微分ピーク値に対する有意値を決定し、前記有意値に基づいて、１つのコントラスト曲線微分ピーク値を選択し、選択したコントラスト曲線微分ピーク値が発生する画像フレームのフレーム番号に対応する経過時間と前記熱拡散係数とに基づき、前記対象物の厚さを求める手段と
    を備えることを特徴とする装置。
11. 熱拡散係数（α）を有する対象物の実際の厚さを求める高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法であって、
    （ｘ）長波長の赤外線の残光放出を防止するフィルタを透過したストロボ熱パルス源（１１）からの熱パルスを、対象物（１）および該対象物と同じ組成を持ち熱的に厚い領域（３）を有する基準物（２）に一緒に当てる工程と、
    （ａ） 赤外線（ＩＲ）に感応するフォーカルプレーンアレイカメラ（１３）より取得した、前記熱パルスが当てられた前記対象物及び前記基準物（２）の表面温度についての所定時間に渡って連続して取得した赤外線（ＩＲ）画像フレームから画素輝度データを取得する工程であって、各画像フレームが複数の画素からなる、当該工程と、
    （ｂ） 前記対象物の熱的に厚い基準部分に対応する前記基準物（２）の画素輝度データより平均画素輝度を示す値を求める工程と、
    （ｃ） 画素に対する前記対象物の画素輝度データより、平均画素輝度を示す前記値を減じて画素コントラストデータを決定する工程と、
    （ｄ） 前記連続する赤外線（ＩＲ）画像フレームの各フレームに対して前記工程（ｂ）および工程（ｃ）を繰り返して、前記画素に対する温度対時間（Ｔ-ｔ）コントラスト曲線を生成する工程と、
    （ｅ） 前記コントラスト曲線を使用して、前記画素に対応する前記対象物の分解要素における実際の厚さを求める工程であって、この測定は、前記コントラスト曲線中の変曲点と、前記対象物の熱拡散率に依存する熱流の固有時間との熱流の恒常的関係に基づいている、当該工程と
    を備えることを特徴とする赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
12. 対象物の実際の厚さを求める高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法であって、
    （ｘ）長波長の赤外線の残光放出を防止するフィルタを透過したストロボ熱パルス源（１１）からの熱パルスを、前記対象物（１）および該対象物と同じ組成を持ち熱的に厚い領域（３）を有する基準物（２）に一緒に当てる工程と、
    （ａ） 赤外線（ＩＲ）に感応するフォーカルプレーンアレイカメラを使用して、前記対象物と、その対象物とともに撮像した隣接する前記基準物とについての所定時間に渡って連続して取得した連続する赤外線（ＩＲ）画像フレームから画素輝度データを取得する工程であって、各画像フレームは複数の画素からなり、前記基準物は、前記対象物と実質的に同じ熱伝導特性の熱的に厚い基準部分を有する、当該工程と、
    （ｂ） 前記基準物の熱的に厚い基準部分に対応する前記基準物（２）の画素輝度データより平均画素輝度を示す値を求める工程と、
    （ｃ） 画素に対する画素輝度データより、平均画素輝度を示す前記値を減じて画素コントラストデータを決定する工程と、
    （ｄ） 前記連続する赤外線（ＩＲ）画像フレームの各フレームに対して前記工程（ｂ）、および工程（ｃ）を繰り返して、前記画素に対する温度-時間（Ｔ-ｔ）コントラスト曲線を生成する工程と、
    （ｅ） 前記コントラスト曲線を使用して、前記画素に対応する前記対象物の分解要素における実際の厚さを求める工程であって、この測定は、前記コントラスト曲線中の変曲点と、前記対象物の熱拡散率に依存する熱流の固有時間との熱流の恒常的関係に基づいている、当該工程と
    を備えることを特徴とする赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
13. 撮像された対象物の表面曲率および／または表面状態の変化に起因する放射率の変化は、選択された画素に対する所定のゲインファクタで画素輝度データを修正することによって補償されることを特徴とする請求項１１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
14. 選択された画素に対する画素輝度データを修正して、対象物の表面曲率によって変化する赤外線（ＩＲ）放射率の影響を補償することを特徴とする請求項１１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
15. 所定期間に渡って取得した画素輝度データからなる画素輝度曲線は、前記画素輝度曲線中の選択点を、正規化した画素基準曲線中の選択点に一致させることでオフセットされることを特徴とする請求項１１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
16. コントラスト曲線に沿って時間的に等しく離れた３つのデータ点を選んで改良した従来の３点微分アルゴリズムを使用して、画素コントラスト曲線データの時間微分を求め、第１および第３のデータ点は、第２の（中間の）データ点に対するフレーム番号の値の平方根に比例する時間間隔だけ離れていることを特徴とする請求項１１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
17. Ｔｃ＝４Ｌ^２／π^２α、およびｔ_infl＝．９０５５Ｔｃ（αは対象物の熱拡散係数、ｔ_inflは、最有意のコントラスト曲線微分ピークが発生する画像フレームのフレーム番号の値に直接関係する変曲点）で表わされる式に従って厚さＬを求めることを特徴とする請求項１１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
18. 赤外線（ＩＲ）画像フレームを取得する前に、高い紫外線透過性と赤外線放射率を持つ物質からなる薄層で前記対象物を被膜することを特徴とする請求項１１記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
19. 撮像された対象物の表面曲率および／または表面状態の変化に起因する放射率の変化は、選択された画素に対する所定のゲインファクタで画素輝度データを修正することによって補償されることを特徴とする請求項１２記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
20. 選択された画素に対する画素輝度データを修正して、対象物の表面曲率によって変化する赤外線（ＩＲ）放射率の影響を補償することを特徴とする請求項１２記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
21. 所定期間に渡って取得した画素輝度データからなる画素輝度曲線は、前記画素輝度曲線中の選択点を、正規化した画素基準曲線中の選択点に一致させることでオフセットされることを特徴とする請求項１２記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
22. コントラスト曲線に沿って時間的に等しく離れた３つのデータ点を選んで改良した従来の３点微分アルゴリズムを使用して、画素コントラスト曲線データの時間微分を求め、第１および第３のデータ点は、第２の（中間の）データ点に対するフレーム番号の値の平方根に比例する時間間隔だけ離れていることを特徴とする請求項１２記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
23. Ｔｃ＝４Ｌ^２／π^２α、およびｔ_infl＝．９０５５Ｔｃ（αは対象物の熱拡散係数、ｔ_inflは、最有意のコントラスト曲線微分ピークが発生する画像フレームのフレーム番号の値に直接関係する変曲点）で表わされる式に従って厚さＬを求めることを特徴とする請求項１２記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。
24. 赤外線（ＩＲ）画像フレームを取得する前に、高い紫外線透過性と赤外線放射率を持つ物質からなる薄層で前記対象物を被膜することを特徴とする請求項１２記載の赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィ方法。

Images