JP4677947B2 - 試験順序決定方法、試験順序決定装置および試験順序決定プログラム - Google Patents
試験順序決定方法、試験順序決定装置および試験順序決定プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4677947B2 JP4677947B2 JP2006128269A JP2006128269A JP4677947B2 JP 4677947 B2 JP4677947 B2 JP 4677947B2 JP 2006128269 A JP2006128269 A JP 2006128269A JP 2006128269 A JP2006128269 A JP 2006128269A JP 4677947 B2 JP4677947 B2 JP 4677947B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- group
- order
- items
- index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
(1)第1の発明
第1の発明は、不良と判定されたときそれ以降の試験を実施しない試験で、相関関係にある試験項目をグルーピングを行い、そのグループとグルーピングされなかった試験項目(即ち、相関関係のない単独の試験項目)との試験順序を決定する方法である。
(2)第2の発明
第2の発明は、試験項目に対する不良率と試験時間は、試験対象のデバイスから所定数を取り出し、全ての試験項目について試験を行った結果であるパイロットデータによるものである。
(3)第3の発明
第3の発明は、第1の発明における試験順序決定装置である。
(4)第4の発明
第4の発明は、第1の発明における試験順序決定プログラムである。
(5)第5の発明
第5の発明は、特定の試験項目で不良と判定されたデバイスについては再試験を行い、特定以外の試験項目では不良と判定されたデバイスを棄却する試験の試験順序を決定する方法で、図2はその発明の原理を説明する図である。
例えば、試験項目Aの不良率は2で試験時間は1で、個別指標は上記の式から20が求まる。なお、不良率と試験時間の単位はそれぞれ“%”と“秒”である。
(付記1)
試験対象のデバイスを定められた試験項目の順序で試験し、不良と判定された段階で該デバイスを棄却する試験順序決定方法であって、
それぞれの試験項目に対する不良率と試験時間とに基づいて、試験順序を判定する個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手順と、
全ての試験項目の中から相関関係にある試験項目が指定され、該指定された試験項目をグループ化するグルーピング手順と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を基に、グループとして試験順序を判定するグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手順と、
前記グループに対してはグループ指標を、グルーピングされなかった試験項目に対しては個別指標を基に該グループと該グルーピングされなかった試験項目とを混在して試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては該個別指標により試験順序を決定する試験順序決定手順と
を有することを特徴とする試験順序決定方法。
(付記2)
前記試験項目に対する前記不良率と前記試験時間は、試験対象のデバイスから所定数を取り出し、全ての試験項目に対して試験を行った結果のパイロットデータである、
ことを特徴とする付記1記載の試験順序決定方法。
(付記3)
試験対象のデバイスを定められた試験項目の順序で試験し、不良と判定された段階で該デバイスを棄却する試験順序決定装置であって、
それぞれの試験項目に対する不良率と試験時間とに基づいて、試験順序を判定する個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手段と、
全ての試験項目の中から相関関係にある試験項目が指定され、該指定された試験項目をグループ化するグルーピング手段と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を基に、グループとして試験順序を判定するグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手段と、
前記グループに対してはグループ指標を、グルーピングされなかった試験項目に対しては個別指標を基に該グループと該グルーピングされなかった試験項目とを混在して試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては該個別指標により試験順序を決定する試験順序決定手段と、
を有することを特徴とする試験順序決定装置。
(付記4)
前記試験順序決定装置のコンピュータを、
試験対象のデバイスを定められた試験項目の順序で試験し、不良と判定された段階で該デバイスを棄却する試験順序決定装置の試験順序決定プログラムであって、
前記試験順序決定装置のコンピュータを、
それぞれの試験項目に対する不良率と試験時間とに基づいて、試験順序を判定する個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手段と、
全ての試験項目の中から相関関係にある試験項目が指定され、該指定された試験項目をグループ化するグルーピング手段と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を基に、グループとして試験順序を判定するグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手段と、
前記グループに対してはグループ指標を、グルーピングされなかった試験項目に対しては個別指標を基に該グループと該グルーピングされなかった試験項目とを混在して試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては該個別指標により試験順序を決定する試験順序決定手段、
として機能させるための試験順序決定プログラム。
(付記5)
試験対象のデバイスを定められた試験項目の順序で試験し、特定の試験項目で不良と判定された場合のデバイスは再試験を行い、特定以外の試験項目で不良と判定された場合は棄却する試験順序決定方法であって、
前記試験対象の全てのデバイスに対して実施する試験の順序を決定する通常試験順序手順と再試験対象のデバイスに対して実施する試験の順序を決定する再試験順序手順とを有し、
前記通常試験順序手順は、
それぞれの試験項目に対する不良率と試験時間とに基づいて、試験順序を判定する個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手順と、
全ての試験項目の中から相関関係にある試験項目が指定され、該指定された試験項目をグループ化するグルーピング手順と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を基に、グループとして試験順序を判定するグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手順と、
前記グループに対してはグループ指標を、グルーピングされなかった試験項目に対しては個別指標を基に該グループと該グルーピングされなかった試験項目とを混在して試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては該個別指標により試験順序を決定する試験順序決定手順とからなり、
前記再試験順序手順は、
全ての試験項目の中から特定の試験項目が指定され、該指定された試験項目を再試験グループとし、該特定の試験項目以外の試験項目について前記グルーピング手順でグルーピングを行う再試験グルーピング手順と、
前記再試験グループを除いたグループに対し、前記グループ指標算出手順を実施し、該再試験グループを試験順序の先頭とし、該再試験グループを除いたグループとグルーピングされなかった試験項目とに対し前記試験順序決定手順を実施し、該再試験グループ内の試験項目に対しては該個別指標により試験順序を決定するする再試験順序決定手順とからなる、
を有することを特徴とする試験順序決定方法。
(付記6)
前記個別指標は、それぞれの試験項目に対する前記不良率と前記試験時間の逆数との積とし
前記グループ指標は、前記グループ内のそれぞれの試験項目の前記個別指標の加算値とする、
ことを特徴とする付記1記載の試験順序決定方法。
(付記7)
前記試験順序決定手順は、前記個別指標の値および前記グループ指標の値が大きなものから試験順序を決定する
ことを特徴とする付記1記載の試験順序決定方法。
(付記8)
前記試験順序決定手順と前記再試験順序決定手順とは、前記個別指標の値および前記グループ指標の値が大きなものから試験順序を決定する、
ことを特徴とする付記6記載の試験順序決定方法。
2 再試験順序手順
10 個別指標算出手順
20 グルーピング手順
30 グループ指標算出手順
40 試験順序決定手順
50 再試験グルーピング手順
60 再試験順序決定手順
100 試験装置
110 制御装置
120 試験順序決定プログラム
130 外部記憶装置
140 測定装置
200 出力装置
300 入力装置
400 被試験デバイス
Claims (5)
- 試験対象のデバイスを定められた試験項目で試験し、不良と判定された段階で該デバイスを棄却する試験に対して、該試験項目の実施順序を決定する試験順序決定方法であって、
コンピュータが、
前記デバイスから所定数を取り出して全ての前記試験項目に対してパイロット試験を行い、該パイロット試験で得られた不良率と試験時間とを記憶した記憶部を参照し、該不良率と該試験時間の逆数との積で算出される個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手順と、
全ての試験項目の中から、試験結果が類似性を示す相関関係にある試験項目をそれぞれグループ化するグルーピング手順と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を合算したグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手順と、
前記グループ指標と前記グループに属さない試験項目の個別指標とを混在して指標の値の大きい順序に並べ、該順序により該指標に該当するグループまたは該グループに属さない試験項目の試験を行なうこととする試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては個別指標の値が大きな順序で試験を行なうこととする試験順序を決定する試験順序決定手順と
を実行することを特徴とする試験順序決定方法。 - 前記相関関係は、一方の試験項目での不良率が高い場合に他方の試験項目での不良率も高いことを特徴とする請求項1に記載の試験順序決定方法。
- 試験対象のデバイスを定められた試験項目で試験し、不良と判定された段階で該デバイスを棄却する試験に対して、該試験項目の実施順序を決定する試験順序決定装置であって、
前記デバイスから所定数を取り出して全ての前記試験項目に対してパイロット試験を行い、該パイロット試験で得られた不良率と試験時間とを記憶した記憶部と、
前記記憶部に記憶した前記不良率と前記試験時間とを用いて、該不良率と該試験時間の逆数との積で算出される個別指標を前記試験項目毎に求める個別指標算出手段と、
全ての試験項目の中から、試験結果が類似性を示す相関関係にある試験項目をそれぞれグループ化するグルーピング手段と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を合算したグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手段と、
前記グループ指標と前記グループに属さない試験項目の個別指標とを混在して指標の値の大きい順序に並べ、該順序により該指標に該当するグループまたは該グループに属さない試験項目の試験を行なうこととする試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては個別指標の値が大きな順序で試験を行なうこととする試験順序を決定する試験順序決定手段と
を有することを特徴とする試験順序決定装置。 - 試験対象のデバイスを定められた試験項目で試験し、不良と判定された段階で該デバイスを棄却する試験に対して、該試験項目の実施順序を決定する試験順序決定プログラムであって、
コンピュータに、
前記デバイスから所定数を取り出して全ての前記試験項目に対してパイロット試験を行い、該パイロット試験で得られた不良率と試験時間とを記憶した記憶部を参照し、該不良率と該試験時間の逆数との積で算出される個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手順と、
全ての試験項目の中から、試験結果が類似性を示す相関関係にある試験項目をそれぞれグループ化するグルーピング手順と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を合算したグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手順と、
前記グループ指標と前記グループに属さない試験項目の個別指標とを混在して指標の値の大きい順序に並べ、該順序により該指標に該当するグループまたは該グループに属さない試験項目の試験を行なうこととする試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては個別指標の値が大きな順序で試験を行なうこととする試験順序を決定する試験順序決定手順と
を実行させるための試験順序決定プログラム。 - 試験対象のデバイスを定められた試験項目で試験し、該試験項目の内の特定の試験項目で不良と判定された場合のデバイスは再試験を行い、該特定以外の試験項目で不良と判定された場合は棄却する試験に対して、該試験項目の実施順序を決定する試験順序決定方法であって、
コンピュータが、
前記試験対象の全てのデバイスに対して実施する試験の順序を決定する通常試験順序手順と、再試験対象のデバイスに対して実施する試験の順序を決定する再試験順序手順とを実行し、
前記通常試験順序手順は、
前記デバイスから所定数を取り出して全ての前記試験項目に対してパイロット試験を行い、該パイロット試験で得られた不良率と試験時間とを記憶した記憶部を参照し、該不良率と該試験時間の逆数との積で算出される個別指標を該試験項目毎に求める個別指標算出手順と、
全ての試験項目の中から、試験結果が類似性を示す相関関係にある試験項目をそれぞれグループ化するグルーピング手順と、
前記グループ内の試験項目の個別指標を合算したグループ指標を該グループ毎に求めるグループ指標算出手順と、
前記グループ指標と前記グループに属さない試験項目の個別指標とを混在して指標の値の大きい順序に並べ、該順序により該指標に該当するグループまたは該グループに属さない試験項目の試験を行なうこととする試験順序を決定し、該グループ内の試験項目に対しては個別指標の値が大きな順序で試験を行なうこととする試験順序を決定する試験順序決定手順とからなり、
前記再試験順序手順は、
予め再試験項目と設定された特定の試験項目を1つの再試験グループとし、該特定の試験項目以外の試験項目について前記グルーピング手順でグルーピングを行う再試験グルーピング手順と、
前記再試験グループを除いたグループに対し、前記グループ指標算出手順を実施し、該再試験グループを試験順序の先頭とし、該再試験グループを除いたグループとグルーピングされなかった試験項目とに対し前記試験順序決定手順を実施し、該再試験グループ内の試験項目に対しては個別指標の値が大きな順序で試験を行なうこととする試験順序を決定するする再試験順序決定手順とからなる
ことを特徴とする試験順序決定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006128269A JP4677947B2 (ja) | 2006-05-02 | 2006-05-02 | 試験順序決定方法、試験順序決定装置および試験順序決定プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006128269A JP4677947B2 (ja) | 2006-05-02 | 2006-05-02 | 試験順序決定方法、試験順序決定装置および試験順序決定プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007298465A JP2007298465A (ja) | 2007-11-15 |
JP4677947B2 true JP4677947B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=38768069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006128269A Expired - Fee Related JP4677947B2 (ja) | 2006-05-02 | 2006-05-02 | 試験順序決定方法、試験順序決定装置および試験順序決定プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4677947B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114264930A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-04-01 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 | 一种芯片筛选测试的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297065A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Nec Corp | 自動検査装置 |
JP2000081463A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Anritsu Corp | 測定方法、自動測定装置およびプログラムを記録した媒体 |
JP2000241493A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Sharp Corp | 集積回路のテスト順序決定方法 |
-
2006
- 2006-05-02 JP JP2006128269A patent/JP4677947B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05297065A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Nec Corp | 自動検査装置 |
JP2000081463A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Anritsu Corp | 測定方法、自動測定装置およびプログラムを記録した媒体 |
JP2000241493A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Sharp Corp | 集積回路のテスト順序決定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007298465A (ja) | 2007-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5014500B1 (ja) | 異常要因特定方法および装置、上記異常要因特定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
US10067186B2 (en) | Method and apparatus for generating featured test pattern | |
JP5352485B2 (ja) | 要因分析装置 | |
US7930130B2 (en) | Method and system for reducing device test time | |
WO2008115755A2 (en) | A testing method using a scalable parametric measurement macro | |
TWI503763B (zh) | 半導體處理控制方法和電腦可讀取紀錄媒體 | |
US7765444B2 (en) | Failure diagnosis for logic circuits | |
US7139948B2 (en) | Method for determining the impact on test coverage of scan chain parallelization by analysis of a test set for independently accessible flip-flops | |
CN103065041B (zh) | 一种冗余数据检验方法 | |
JP2007240376A (ja) | 半導体集積回路の静止電源電流検査方法および装置 | |
JP4677947B2 (ja) | 試験順序決定方法、試験順序決定装置および試験順序決定プログラム | |
Mittal et al. | Test chip design for optimal cell-aware diagnosability | |
US7529994B2 (en) | Analysis apparatus and analysis method | |
US20230366927A1 (en) | Dice testing method | |
US10338137B1 (en) | Highly accurate defect identification and prioritization of fault locations | |
US7565582B2 (en) | Circuit for testing the AC timing of an external input/output terminal of a semiconductor integrated circuit | |
Xue et al. | A one-pass test-selection method for maximizing test coverage | |
KR100940414B1 (ko) | 사이트 차이를 감소시키는 웨이퍼 테스트 방법 | |
JP2008117380A (ja) | 診断プロセス支援方法とそのためのプログラム | |
JP4051332B2 (ja) | 検査データ解析システム | |
EP4303753A1 (en) | Ip core testing apparatus | |
JP2008304404A (ja) | 計測装置 | |
JP2000241493A (ja) | 集積回路のテスト順序決定方法 | |
JP2010140326A (ja) | カバレージ測定装置 | |
JPH11243125A (ja) | Icテストシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |