JP4673979B2 - マイクロ電子機械装置用の熱作動装置 - Google Patents
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Description
発明の分野
本発明は、マイクロ電子機械装置用の熱作動装置に関する。ここではインクジェットプリンタに関連して本発明を説明するが、本発明は、マイクロ電子機械ポンプ等の他のマイクロ電子機械装置にも適用できる。
【0002】
発明の背景
マイクロ電子機械装置は、最近ますます良く知られるようになっており、通常、半導体の組立技術を使用して構成される。
【0003】
マイクロ電子機械装置の再検討として、1998年12月発行の「電気電子技術者協会スペクトル」(IEEE Spectrum)24〜33ページに発表された、エス.トム ピクロウ(S.Tom Picraux)とポール ジェイ.マクワーター(Paul J.McWhorter)の「集積マイクロシステムの幅広い展望」(The Broad Sweep of Integrated Micro Systems)という記事を考察することができる。
【0004】
マイクロ電子機械装置の一型式として、インクジェット印刷装置があり、インク射出ノズルチャンバによってこの印刷装置からインクが射出される。多くの形態のインクジェット印刷装置が公知である。この分野の調査として、「出力ハードコピー装置」(Output Hard Copy Devices)、アール.デューベック(R. Dubeck)及びエス.セル(S. Sherr)編集、207〜220ページ(1988年)における、ジェイ.モーア(J. Moore)の「ノン−インパクトプリンティング:導入と歴史的展望」(Non-Impact Printing: Introduction and Historical Perspective)と題された記事を参照する。
【0005】
最近本出願人はインクジェット印刷の新規の形態を開発したが、これはマイクロ電子機械インクジェット(MEMJET)技術と称する。MEMJET技術の1つの実施形態では、インク射出ノズルチャンバから微量のインクを射出するために、電子機械作動装置によりチャンバの射出ノズルに向けて移動されるパドルまたはプランジャによって、インク射出ノズルチャンバからインクが射出される。
【0006】
本発明は、MEMJET技術においてまた他のマイクロ電子機械装置において使用される熱作動装置に関する。
【0007】
発明の要約
本発明はマイクロ電子機械装置用の熱作動装置を提供するものとして広範囲に定義される。該熱作動装置は、一端が基板に取付けられ他端が可動部材に接続されるか一体化された電導性の材料からなる第1アームを備える。使用するには、該第1アームは、前記アームを通る電流の通過により加熱されるように配置される。熱作動装置は好ましくは第2のアームを含み、該第2のアームを基板と可動部材間に延在し、第1アームが加熱された時、第1アームが第2アームに対して膨張して、可動部材に偏向力を及ぼすようになっている。
【0008】
第2アームは好ましくは結合手段によって第1アームに接続され、結合手段は最も好ましくは第1アームの両端の中間に位置する。
【0011】
好適実施例及び他の実施例の説明
本発明は、他の形態もその範囲に属するが、ここでは添付図面を参照して、本発明の好適形態を例にとって説明する。
【0012】
図1に示すように、インク射出装置1は、ノズルチャンバ2を備え、通常該チャンバ2には持上がったリムを有するインク射出ノズル4内に液曲面3を形成するようにインクが充填される。ノズルチャンバ2内のインクはインク供給チャネル5によって供給される。
【0013】
インクは、ノズルパドル8に接続された熱作動装置7によってノズルチャンバ2から射出される。熱作動装置7は、2つのアーム10と11を備え、その下部アーム11が電流源に接続され電流誘発加熱が発生するようになっている。
【0014】
ノズルチャンバ2からのインク滴を射出することが望まれる場合、下部アーム11を加熱し、上部アーム10に対して下部アームの急速膨張を生じさせる。この急速膨張はノズルチャンバ2内のパドル8の急速上昇運動を生じさせる。
【0015】
初期の動きが図2に示されており、パトル8が上方に移動して、ノズルチャンバ2内に実質的な圧力上昇を生じさせる。これは次にノズル4からのインクの流出を生じさせ、液曲面3を膨出させる。
【0016】
次に、アーム11への電流供給を止めると、図3に示すように、パドル8が元位置に復帰を始める。その結果ノズルチャンバ2内に実質的な圧力降下を生じさせる。ノズルリム4外部のインクの前方運動量が液曲面のくびれと破壊を生じさせ、図3に示すように、新たな液曲面3と小滴13を形成する。小滴13はインク印刷媒体(図示せず)上へ前方移動する。
【0017】
ノズルチャンバは、形状が加工された縁15を有し、それはパドル8が上方移動するにつれて、図2に示すように、チャネルスペース16の大きな増大を生じさせる。この大きなチャネルスペース16がかなりの量のインクをノズルチャンバ2内へと急速に流出させ、液曲面3の表面張力効果によって、チャネル16を通してインクが引き寄せられる。ノズルチャンバの輪郭がノズルチャンバの急速補給を許し、装置は次第に図1に示されたような静止状態に復帰する。
【0018】
更に、装置1は多数の他の重要な特徴も備えている。これらの特徴は、図1に示すように、パドル8の外周に形成された環状リム18が、パドル8の構造的支持体として機能する一方、図3に示すように、液曲面3とパドル8表面間の距離を実質的に最大にする。この距離の最大化によって、液曲面3がパドル8表面に接触して動作特徴に影響を及ぼす可能性を減少させる。更に、表面20に沿ったインクのウィッキングの可能性を減少させ、それによって装置1の動作特徴に影響を及ぼす可能性を減少させるために、インク流出防止リップ19が設けられる。
【0019】
次に、熱作動装置7の動作原則について図4〜10を参照して説明する。図4において、基板22に取付けられた熱作動装置100は、作動装置本体23を備え、その両側に作動化アーム24と25がある。2つのアーム24と25は好ましくは同じ材料から形成される。
【0020】
作動装置を作動するには、アームに電流を通すことによって下部アーム25が加熱される。熱膨張により下部アーム25が上部アーム24より長くなり、これらのアームは両端が接続されているので、下部アーム25は圧縮応力を受け、上部アームが引張応力を受ける。拘束負荷が無ければ、これらの応力が上向きに曲がる構造物100によって解放され、2つのアーム24と25が共通の中心の周りで弧を形成する。
【0021】
図4においてPで示すように、作動装置の一端にある動的負荷(パドル及びインク)により、構造物100の動きは、単なる曲げよりはるかに複雑になり、二次的歪みと座屈を生じるかもしれない。この問題は構造物100の寸法及び材料を適正に選択することによって最小にすることができる。
【0022】
実際には、アーム24と25が長すぎる場合、アーム25の加熱と同時に、システムが図6に示すように座屈するかもしれない。この座屈は構造物100の動作有効性を減少させる。図6に示すような座屈の可能性は、図7に示すような変更装置と共に、小さめの作動化アーム124と125を利用することによって実質的に減少させることができる。図8に示すように、下部アーム125を加熱した場合、作動装置本体123が上方に曲がり、システムが座屈する可能性が実質的に減少する。
【0023】
更に、図8の装置では、作動化アーム124と125間の作動装置本体123の部分26がせん断応力を受け、その結果、動作効率が減少するかもしれない。更に、材料26の存在がアーム125からアーム124への急速な熱伝導を生じさせ得る。
【0024】
アーム125は、本体123により許容され得る温度にすべきである。従って、動作パラメータは該部分26の溶融温度等の諸特性によって決定される。
【0025】
図9において、2つのアーム224と225及び作動装置本体223を備える熱作動装置の代替が示されているが、ここではアーム間にスペースまたはギャップ28が形成される。図10に示すように、これらのアームの一方を加熱すると同時に、アーム225が前述のように上方に曲がる。図10の装置は、アーム224と225の温度等の動作パラメータが本体223において使用される材料によって制限されないという利点を有する。更に、図10の装置は、本体223におけるせん断力の誘発を避け、動作中の層間剥離の危険性を最小にする。これらの発明原理は、動作の一層エネルギー効果的な形態を提供するために、図1〜3の装置の熱作動装置にも適用できる。
【0026】
更に、熱作動装置の動作の一層効果的な形態を提供するために、色々改良を加えてもよい。熱作動装置は、誘発加熱に依存しており、好適実施形態において利用される装置を、図11に図示するように、第1の端31が基板に第2の端32が負荷に相互接続された材料30に実質的に簡略化することができる。アーム30は、加熱されると、膨張して負荷32に力を及ぼす。加熱と同時に、温度曲線はほぼ図12に示すようになる。両端31と32は、「熱吸収部」として作用し、温度曲線が各端において低くなり、中央で最も高くなる。アーム30の動作特徴は、溶融点35によって決定され、中央36の温度が溶融点35を超えた場合、アームが破損する可能性がある。図12のグラフは、図11のアーム30がその長さに沿って均一に加熱されない非最適結果を表している。
【0027】
図13に示すように、アーム30の中央部分に熱吸収部38と39を設けてアーム30を変更することによって、図14に示すように、一層望ましい熱プロファイルを達成することができる。図14の曲線は、アーム30の長さを横切る一層均一な加熱を示しており、それによって一層効果的な全体的動作を提供する。
【0028】
図15に示すように、2つの作動装置作動化アーム324と325を接続するために、一連の支柱を設けることにより、一層の効率と座屈の可能性の減少が達成できる。一連の支柱40と41は、2つのアーム324と325を接続して、その座屈を防止するために設けられる。従って、下部アーム325が加熱された場合、下部アームは上方に曲がりやすくなり、作動装置本体323をも上方に曲げる。
【0029】
更なる改良において、熱作動装置は、一連の突出部55と56を備え、これらの突出部は、熱作動装置の動作の細かな熱調整を提供するために戦略的に配置される。
【0030】
図16には、第1の基板51に取付けられ、負荷52に作用するように設計された熱作動装置50の上平面図が略図的に図示されている。伝導性作動部分54は、2つの突出部55と56を備え、該突出部を例えば横断面領域58より大きな断面の厚みにすることにより、これらの領域において温度を低下させる作用をする。
【0031】
図17は、下部層61と上部層62間の継手60の側面図である。
【0032】
図18には、異なる装置に対して結果として生じる加熱の概要のグラフが示されている。曲線70は、図11に示したような装置において生じる熱曲線である。第2の曲線72は、中央熱吸収部を有する場合の図13の装置におけるものである。第3の曲線73は、図16の装置における結果として生じる熱曲線である。
【0033】
曲げ量が加熱中に費やされるエネルギーに比例することがシミュレーションにおいて見出された。このエネルギーは、曲線70〜73より下の領域に関し、また曲げ効率が温度に比例し、図16の装置が作動装置54に沿った比較的高い温度を許容するので、図16の装置は、他の図示された装置より一層効率的である。
【0034】
さらに別の装置構成も可能である。例えば、図19には、2つの突出部75と76を設けた作動装置にわずかな変更を加えた形態が示されている。
【0035】
図18に関連して説明した発明原理を、熱作動装置を含むマイクロ電子機械システムの操作に適合する際に利用することもできる。マイクロ電子機械システムを製造する際に使用されるマスクを図20に示す。これは一連の突出部80を含み、それらが代替熱分布装置を提供する。インクジェットプリントヘッドの断面が図21に示されている。
【0036】
以上好適実施例について記載した本発明に、発明の精神また範囲から逸脱しなければ、色々変更及び/又は修正を加えてもよいことは当業者には理解できる。従って、全ての点で記載の好適実施例は、単なる例であって、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
図1〜3は、熱作動装置の作用を略図的に示す。
図4〜6は、熱作動装置の第1の形態を略図的に示す。
図7及び図8は、熱作動装置の第2の形態を略図的に示す。
図9及び図10は、熱作動装置の第3の形態を略図的に示す。
図11は、他の熱作動装置を略図的に示す。
図12は、図11の装置における、距離と温度の関係を示すグラフ。
図13は、熱作動装置の更に他の形態を略図的に示す。
図14は、図13の装置における、距離と温度の関係を示すグラフ。
図15は、熱作動装置の更に他の形態を略図的に示す。
図16は、熱作動装置の上面図を略図的に示す。
図17は、熱作動装置の側面図を示す。
図18は、3つの異なる作動装置の構成における、距離と温度の関係を示すグラフ。
図19は、別の作動装置の構成を示す。
図20は、本発明の特徴を備えた熱インクジェットプリントヘッドノズルの製造において使用される半導体マスクを示す。
図21は、図20のマスクを使用して製造される熱作動装置を示す。
Claims (2)
- マイクロ電子機械装置用の熱作動装置であって、前記熱作動装置は、
一端が基板に取付けられ他端が可動部材に接続あるいは可動部材と一体化された電気的に伝導性の材料からなる第1アームであって、使用に際し前記第1アームを通る電流の通過により加熱されるように配置される前記第1アームと、
前記基板と前記可動部材との間で延在する第2アームとを備え、
前記第2アームが、前記第1アームの両端の中間に位置する結合手段によって前記第1アームに接続され、かつ前記第2アームは、前記第1アームが加熱された時、前記第1アームが前記第2アームに対して膨張して、前記可動部材に偏向力を及ぼすように配置されていることを特徴とする熱作動装置。 - 前記結合手段が、前記第1アームの両端間の中央に位置していることを特徴とする請求項1記載の熱作動装置。
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