JP4665608B2 - Microstructure transfer device - Google Patents

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Description

本発明は、表面にナノメートル又はマイクロメートル単位の微細な凹凸が形成されたスタンパを用い、樹脂層に微細構造体を形成する微細構造転写装置に関する。   The present invention relates to a microstructure transfer apparatus that uses a stamper having fine irregularities of nanometers or micrometers on the surface to form a microstructure on a resin layer.

近年、半導体集積回路は微細化，集積化が進んでおり、その微細加工を実現するためのパターン転写技術として、下記特許文献１において開示された微細構造転写技術がある。   In recent years, semiconductor integrated circuits have been miniaturized and integrated. As a pattern transfer technique for realizing the fine processing, there is a fine structure transfer technique disclosed in Patent Document 1 below.

下記特許文献に開示された技術は、形成したいパターンと同じパターンの凹凸を有する無端ベルト状のスタンパを基板表面に形成されたレジスト層（樹脂層）に対してヒータ内蔵のロールで型押しすることで、スタンパにおけるパターンを連続的に転写するものである。   In the technology disclosed in the following patent document, an endless belt-like stamper having the same pattern as the pattern to be formed is embossed on a resist layer (resin layer) formed on the substrate surface with a roll with a built-in heater. Thus, the pattern on the stamper is continuously transferred.

特開２００３-２９１２１１号公報JP 2003-291111 A

上記微細構造転写方式では、レジスト層加熱のためのヒータを設けたロールの回転による線（１次元）加圧となるので、大面積への転写も比較的容易である。   In the above-described fine structure transfer method, since the line (one-dimensional) pressurization is performed by rotating a roll provided with a heater for heating the resist layer, transfer to a large area is relatively easy.

しかしながら、加熱加圧を行うロールは単段であり、パターンのアスペクト比が高い場合、十分な加熱軟化転写ができないことがある。特に、スタンパ側が孔構造で柱状構造を生成しようとする場合、レジスト層が軟化してスタンパの孔に十分進入するようにするためには、ロールの回転速度を落とす必要があり、そうすると、タクトタイムは下がり、生産性が低下する。   However, the roll for heating and pressing is a single stage, and if the pattern aspect ratio is high, sufficient heat-softening transfer may not be possible. In particular, if the stamper side is to have a hole structure and a columnar structure is to be generated, it is necessary to reduce the rotation speed of the roll in order for the resist layer to soften and sufficiently enter the stamper hole. Falls and productivity decreases.

それゆえ本発明の目的は、ロールの回転速度を高くし生産性を高めても期待したパターンを転写することができる微細構造転写装置を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a fine structure transfer apparatus capable of transferring an expected pattern even when the rotation speed of a roll is increased to increase productivity.

上記目的を達成する本発明微細構造転写装置の特徴とするところは、樹脂層に微細なパターンを有するスタンパを加熱加圧することにより、該樹脂層に該スタンパの微細パターンを転写する微細構造転写装置において、スタンパを有するべルトをスタンパのパターン面が該樹脂層側となるようにして該樹脂層と対向させ、多段に設けたローラにより該ベルトを介して該スタンパを該樹脂層に加熱加圧することにある。   The fine structure transfer device of the present invention that achieves the above object is characterized in that a fine structure transfer device for transferring a fine pattern of the stamper to the resin layer by heating and pressing a stamper having a fine pattern on the resin layer In FIG. 2, a belt having a stamper is opposed to the resin layer so that the pattern surface of the stamper is on the resin layer side, and the stamper is heated and pressed to the resin layer through the belt by rollers provided in multiple stages. There is.

さらに、上記目的を達成する本発明微細構造転写装置の特徴とするところは、多段に設けた各ローラの円周部に上流側のものから下流側のものに向けて順次厚さが薄くなる弾性部材を設けてあることにある。   Further, the fine structure transfer device of the present invention that achieves the above object is characterized in that the thickness of the circumferential portion of each roller provided in multiple stages gradually decreases from the upstream one toward the downstream one. The member is provided.

本発明装置によれば、多段のロールで次第に樹脂層の温度を高くしてスタンパのパターン面における微細構造へ樹脂の充分な充填を行うことができるので、各ロールの回転速度を高くしてもスタンパのパターンを確実に転写できる。   According to the apparatus of the present invention, the temperature of the resin layer can be gradually increased with a multi-stage roll, and the resin can be sufficiently filled into the fine structure on the pattern surface of the stamper. Therefore, even if the rotation speed of each roll is increased. The stamper pattern can be transferred reliably.

以下、図に示す実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments shown in the drawings will be described.

図１において、１は被転写フィルム２の供給ロール、３は被転写フィルム２の巻取ロールである。供給ロール１から繰り出した被転写フィルム２は、水平状態になって図において左の上流側から右の下流側に向けて移動し、巻取ロール３で巻き取っている。   In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a supply roll for the transferred film 2, and 3 denotes a winding roll for the transferred film 2. The transferred film 2 fed out from the supply roll 1 is in a horizontal state, moves from the left upstream side to the right downstream side in the drawing, and is taken up by the take-up roll 3.

被転写フィルム２は微細な構造が転写されるもので、基材の上に樹脂薄層を設けた多層構造のものや樹脂膜よりなる単層構造のものである。それらの樹脂層としては熱可塑性樹脂に限定されないが、所望する加工精度に応じて材質が選択され、一例としてポリスチレンを用いている。   The transferred film 2 has a fine structure transferred to it, and has a multilayer structure in which a thin resin layer is provided on a substrate or a single layer structure made of a resin film. The resin layers are not limited to thermoplastic resins, but materials are selected according to the desired processing accuracy, and polystyrene is used as an example.

熱硬化性樹脂でもよく、それらを２種以上ブレンドした材料を用いることが可能である。これら樹脂層の厚さは数ｎｍから数十μｍであるが、これより厚くとも問題はない。   A thermosetting resin may be used, and a material obtained by blending two or more of them can be used. Although the thickness of these resin layers is several nm to several tens of μm, there is no problem even if it is thicker than this.

被転写フィルム２の各面はカバーフィルム４で保護してあり、供給ロール１から巻き出した直後に各カバーフィルム４を剥離してそれぞれ巻取ロール５で巻き取っている。巻取ロール３が被転写フィルム２を巻き取るとき、供給ロール６から供給される保護フィルム７を一緒に巻き取って層間に配送している。   Each surface of the transferred film 2 is protected by a cover film 4, and immediately after unwinding from the supply roll 1, each cover film 4 is peeled off and wound up by a winding roll 5. When the take-up roll 3 winds up the film 2 to be transferred, the protective film 7 supplied from the supply roll 6 is taken up together and delivered between the layers.

９は供給ロール１から巻取ロール３の間の上下に設けたエンドレスベルトスタンパで、無端（エンドレス）のＳＵＳ製薄板の外周面上にＮｉ箔のスタンパを接着剤で固定したものである。   9 is an endless belt stamper provided above and below between the supply roll 1 and the take-up roll 3, and a Ni foil stamper is fixed to the outer peripheral surface of an endless SUS thin plate with an adhesive.

各エンドレスベルトスタンパ９は、駆動ローラ１０，従動ローラ１１，張力調整ローラ１２の間を巡回する。順路（巡回方向）は、駆動ローラ１０から張力調整ローラ１２を経て従動ローラ１１に至り、駆動ローラ１０に戻るものである。なお、従動ローラ１１にヒータを内蔵させて、各エンドレスベルトスタンパ９への予熱機能を持たせるようにしてもよい。   Each endless belt stamper 9 circulates between the driving roller 10, the driven roller 11, and the tension adjusting roller 12. The forward path (circulating direction) is from the driving roller 10 to the driven roller 11 via the tension adjusting roller 12 and back to the driving roller 10. It should be noted that a heater may be built in the driven roller 11 so that each endless belt stamper 9 has a preheating function.

従動ローラ１１と駆動ローラ１０の間、即ち、図において左の上流側から右の下流側に向けて複数の加熱加圧ローラ１３を多段に配置してある。複数の加熱加圧ローラ１３は上下に存在し、上下の各加熱加圧ローラ１３間を上下のエンドレスベルトスタンパ９が被転写フィルム２を挟んだ状態で同じ速度で搬送・移動される。   A plurality of heating and pressing rollers 13 are arranged in multiple stages between the driven roller 11 and the driving roller 10, that is, from the left upstream side to the right downstream side in the drawing. The plurality of heating and pressing rollers 13 exist above and below, and are conveyed and moved at the same speed between the upper and lower heating and pressing rollers 13 with the upper and lower endless belt stampers 9 sandwiching the film 2 to be transferred.

各加熱加圧ローラ１３にはバックアップローラ１４を設けてあり、バックアップローラ１４の加圧で各加熱加圧ローラ１３間の被転写フィルム２にエンドレスベルトスタンパ９のパターンを転写する。バックアップローラ１４は、被転写フィルム２の搬送方向に直交する幅方向において上下の各加熱加圧ローラ１３による加圧力を均一化するものである。   Each heating and pressing roller 13 is provided with a backup roller 14, and the pattern of the endless belt stamper 9 is transferred to the film 2 to be transferred between the heating and pressing rollers 13 by pressing the backup roller 14. The backup roller 14 equalizes the pressure applied by the upper and lower heating and pressing rollers 13 in the width direction orthogonal to the transport direction of the transfer film 2.

転写の微細構造はエンドレスベルトスタンパ９に存在し、加熱加圧ロール１３は円筒状で外表面に微細構造が形成されていないことにより、バックアップロール１４は加熱加圧ロール１３と協働でエンドレスベルトスタンパ９に幅方向における加圧均一性を付与することができる。   The transfer fine structure exists in the endless belt stamper 9, the heating and pressing roll 13 is cylindrical, and no fine structure is formed on the outer surface, so that the backup roll 14 cooperates with the heating and pressing roll 13 to endless belt. Pressurization uniformity in the width direction can be imparted to the stamper 9.

各加熱加圧ローラ１３は電熱線，インダクティブヒータ，赤外線ヒータなどを内蔵しており、被転写フィルム２を加圧する際に加熱するが、その際の加熱温度は転写される樹脂のガラス転移温度Ｔｇ以上であることが好ましい。   Each heating and pressing roller 13 incorporates a heating wire, an inductive heater, an infrared heater, and the like, and heats when the film to be transferred 2 is pressed. The heating temperature at that time is the glass transition temperature Tg of the resin to be transferred. The above is preferable.

上流側の各加熱加圧ローラ１３から下流側の各加熱加圧ローラ１３に掛けて被転写フィルム２を高速で搬送して、各加熱加圧ローラ１３で各被転写フィルム２がガラス転移温度Ｔｇ以上になるように段階的に加熱していく。従って、エンドレスベルトスタンパ９の転写パターンが高アスペクト比のものであっても、被転写フィルム２の樹脂は十分に軟化してエンドレスベルトスタンパ９におけるスタンパの微細な凹凸（パターン面）に従った形に変形し充填されて、期待した転写を得ることができる。   Each of the film to be transferred 2 is conveyed at high speed from each of the heating and pressure rollers 13 on the upstream side to each of the heating and pressure rollers 13 on the downstream side, and each of the films to be transferred 2 has a glass transition temperature Tg. Heat up step by step to achieve the above. Therefore, even if the transfer pattern of the endless belt stamper 9 has a high aspect ratio, the resin of the film 2 to be transferred is sufficiently softened to follow the fine unevenness (pattern surface) of the stamper in the endless belt stamper 9. It is possible to obtain the expected transfer by being deformed and filled.

なお、上流側の各加熱加圧ローラ１３から下流側の各加熱加圧ローラ１３に掛けて加熱温度を順次高く設定して、急激な加熱により被転写フィルム２からガスが発生しないようにし、発生ガスによるボイド発生を防ぐようにしてもよい。   In addition, the heating temperature is set sequentially higher from the upstream heating and pressing rollers 13 to the downstream heating and pressing rollers 13 so that gas is not generated from the transferred film 2 due to rapid heating. You may make it prevent the void generation by gas.

張力調整ローラ１２と各加熱加圧ローラ１３と各バックアップローラ１４は、同時にそれぞれ上下に移動できるようにしてあり、被転写フィルム２から離れる方向に移動させると、従動ローラ１１と駆動ローラ１０の間のエンドレスベルトスタンパ９は被転写フィルム２から離れるようになっている。   The tension adjusting roller 12, each heating and pressing roller 13, and each backup roller 14 can be moved up and down at the same time. When the tension adjusting roller 12, each heating and pressing roller 13 and each backup roller 14 are moved away from the transfer film 2, the tension adjusting roller 12 The endless belt stamper 9 is separated from the film 2 to be transferred.

即ち、従動ローラ１１と駆動ローラ１０は供給ロール１と巻取ロール３を結ぶ被転写フィルム２の搬送位置から上下に若干離れた位置にあり、バックアップローラ１４により各加熱加圧ローラ１３を加圧すると、エンドレスベルトスタンパ９は従動ローラ１１から上流の各加熱加圧ローラ１３に向けて被転写フィルム２に対し微小角度で進入していき、上流側と下流側の各加熱加圧ローラ１３の間では水平であるが、下流側の各加熱加圧ローラ１３から駆動ローラ１０に向けて被転写フィルム２に対し微小角度で乖離していく。   That is, the driven roller 11 and the driving roller 10 are located slightly apart from the transfer position of the transferred film 2 connecting the supply roll 1 and the take-up roll 3, and each heating and pressing roller 13 is pressed by the backup roller 14. Then, the endless belt stamper 9 enters the transfer film 2 from the driven roller 11 toward the upstream heating and pressing rollers 13 at a small angle, and between the upstream and downstream heating and pressing rollers 13. Although it is horizontal, it is separated from the film 2 to be transferred by a small angle from the respective heating and pressure rollers 13 on the downstream side toward the driving roller 10.

各エンドレスベルトスタンパ９は張力調整ローラ１２によってその張力を調整され、各加熱加圧ローラ１３が被転写フィルム２から離れた状態でも、その張力を維持することができる。   The tension of each endless belt stamper 9 is adjusted by the tension adjusting roller 12, and the tension can be maintained even when each heating and pressing roller 13 is separated from the transfer film 2.

供給ロール１から巻き出された被転写フィルム２は、上下面の保護フィルム４，５が剥離されると除電器１６によって両面を除電され、上下のエンドレスベルトスタンパ９の間を通って、再度除電器１７によって両面を除電されてから、供給ロール６から巻き出された保護フィルム７と共に巻取ロール３に巻き取られる。   When the protective films 4 and 5 on the upper and lower surfaces of the transferred film 2 unwound from the supply roll 1 are peeled off, both surfaces are neutralized by the static eliminator 16, passed between the upper and lower endless belt stampers 9, and removed again. After both surfaces are neutralized by the electric device 17, the electric film 17 is taken up by the take-up roll 3 together with the protective film 7 unwound from the supply roll 6.

供給ロール１と巻取ロール３の回転トルクによって、被転写フィルム２は張力を保持される。被転写フィルム２はエンドレスベルトスタンパ９に挟まれた空間に置いて、必要に応じて予熱ヒータ１８で予熱された後、加熱加圧ロール１３によってエンドレスベルトスタンパ９と共に加熱・加圧・転写され、その後エンドレスベルトスタンパ９は次第に離れ剥離される。   The transfer film 2 is kept in tension by the rotational torque of the supply roll 1 and the take-up roll 3. The transfer film 2 is placed in a space sandwiched between endless belt stampers 9 and preheated by a preheating heater 18 as necessary, and then heated, pressurized and transferred together with the endless belt stamper 9 by a heating and pressing roll 13. Thereafter, the endless belt stamper 9 is gradually separated and peeled off.

また、剥離時の温度は剥離温度調整ヒータ１９により調整され、望ましい温度に保たれる。上下のエンドレスベルトスタンパ９を取り囲むように、上下に保温ケース２０が設けられ、加熱加圧ロール１３の各段間の温度差を小さく保つことにより、エンドレスベルトスタンパ９と被転写フィルム２の熱膨張量の差によって生じる位置ずれを防止する。   Moreover, the temperature at the time of peeling is adjusted by the peeling temperature adjusting heater 19 and kept at a desired temperature. Thermal insulation cases 20 are provided at the upper and lower sides so as to surround the upper and lower endless belt stampers 9, and the thermal expansion of the endless belt stamper 9 and the transferred film 2 is maintained by keeping a small temperature difference between the heating and pressure rolls 13. Misalignment caused by the difference in quantity is prevented.

エンドレスベルトスタンパ９に挟まれた空間の進行方向長に充分な長さを取り、エンドレスベルトスタンパ９と被転写フィルム２の間隔を充分小さく保つようにしている。   The space between the endless belt stamper 9 has a sufficient length in the traveling direction, and the distance between the endless belt stamper 9 and the transfer film 2 is kept sufficiently small.

図２に図１の３個の加熱加圧ロール１３がエンドレスベルトスタンパ９により被転写フィルム２にパターンを転写している状況を示しており、エンドレスベルトスタンパ９に形成されたパターンは垂直に近い角度で被転写フィルム２に押し付けられ、徐々に高い温度に加熱され、垂直に近い角度で被転写フィルム２から剥離されること（被転写フィルム２に向かうエンドレスベルトスタンパ９の微小角度による進入と乖離）によって、エンドレスベルトスタンパ９に形成されたパターンは被転写フィルム２に忠実に転写される。   FIG. 2 shows a state where the three heating and pressing rolls 13 of FIG. 1 are transferring the pattern onto the film 2 to be transferred by the endless belt stamper 9, and the pattern formed on the endless belt stamper 9 is nearly vertical. Pressed against the transfer film 2 at an angle, gradually heated to a high temperature, and peeled off from the transfer film 2 at an angle close to vertical (the entry and divergence of the endless belt stamper 9 toward the transfer film 2 due to a minute angle) ), The pattern formed on the endless belt stamper 9 is faithfully transferred to the transfer film 2.

なお、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ矢視方向での被転写フィルム２に転写したパターンを示している。   In addition, FIG.2 (b) has shown the pattern transcribe | transferred to the to-be-transferred film 2 in the AA arrow direction of Fig.2 (a).

エンドレスベルトスタンパ９がシームレスである場合は、加熱加圧ロール１３が駆動し駆動ロール１０はエンドレスベルトスタンパ９のガイドロールとして動作するのが望ましいが、エンドレスベルトスタンパ９の交換等のために途中に繋ぎ目を設けた場合は、エンドレスベルトスタンパ９の内面即ちパターンが形成されていない面に光学式マークを設けておき、マーク位置検知器２２で光学式マークを検出し、繋ぎ目が上流側の加熱加圧ロール１３に達したところで、各加熱加圧ロール１３をバックアップローラ１４とともにエンドレスベルトスタンパ９から引き離すことによって一時的に退避させ、エンドレスベルトスタンパ９は被転写フィルム２から離れている間に駆動ローラ１０で進行させることにより、エンドレスベルトスタンパ９の繋ぎ目を下流側の加熱加圧ロール１３を通過させ、ベルト繋ぎ目の凹凸が被転写フィルム２に転写しないようにすることができる。   When the endless belt stamper 9 is seamless, it is desirable that the heating and pressing roll 13 is driven and the drive roll 10 operates as a guide roll for the endless belt stamper 9. When the joint is provided, an optical mark is provided on the inner surface of the endless belt stamper 9, that is, the surface on which the pattern is not formed, the optical mark is detected by the mark position detector 22, and the joint is located on the upstream side. When the heating and pressing roll 13 is reached, each heating and pressing roll 13 is temporarily retracted by being separated from the endless belt stamper 9 together with the backup roller 14, while the endless belt stamper 9 is separated from the film 2 to be transferred. The endless belt stamper is advanced by the drive roller 10. The joint is passed through a heated pressure roll 13 on the downstream side, belt joint irregularities can be prevented from transferring to the transfer film 2.

また、上下のエンドレスベルトスタンパ９の搬送方向でのずれはエンドレスベルトスタンパ９に設けてある光学式マークをマーク位置検知器２２でそれぞれ検知することにより、位置ずれがあると確認できたときは、加熱加圧ロール１３をエンドレスベルトスタンパ９から引き離して一時的に退避させ、その間に上下のエンドレスベルトスタンパ９のいずれか一方を他方に対し駆動ロール１０で移動させることにより、上下のエンドレスベルトスタンパ９の位置ずれが所定の範囲内に留めて転写を継続することが出来る。繋ぎ目があるエンドレスベルトスタンパ９の場合には繋ぎ目を送る際に位置合わせを行えばよい。   Further, when the upper and lower endless belt stampers 9 are displaced in the transport direction by detecting the optical marks provided on the endless belt stamper 9 with the mark position detector 22 respectively, The heating and pressurizing roll 13 is separated from the endless belt stamper 9 and temporarily retracted, and either one of the upper and lower endless belt stampers 9 is moved with respect to the other by the driving roll 10 to thereby move the upper and lower endless belt stampers 9. Thus, the transfer can be continued with the positional deviation within the predetermined range. In the case of the endless belt stamper 9 having a joint, alignment may be performed when the joint is sent.

また、加熱加圧ロール１３及びエンドレスベルトスタンパ９が被転写フィルム２から離れている間に、巻取ロール３の回転により被転写フィルム２を進行させ、転写パターンの重なりを防止することができる。   Further, while the heating / pressurizing roll 13 and the endless belt stamper 9 are separated from the film to be transferred 2, the film to be transferred 2 is advanced by the rotation of the take-up roll 3, and the transfer patterns can be prevented from overlapping.

使用する加熱加圧ロール１３の段数は、転写パターンや被転写フィルム２の材質により任意に変えることができる。   The number of stages of the heating and pressing roll 13 to be used can be arbitrarily changed depending on the transfer pattern and the material of the film 2 to be transferred.

図３により本発明の他の実施形態を説明する。   Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図３に示す実施形態では、各加熱加圧ロール１３について上流側の初段から下流側の終段に向かって搬送方向での被転写フィルム２と各加熱加圧ロール１３との接触幅が次第に狭くなるように表面の弾性材１３ａの厚さ及び有無を調整し、表面に微細構造を構成したエンドレスベルトスタンパ９と共に保温ケース２０に収めている。   In the embodiment shown in FIG. 3, the contact width between the film to be transferred 2 and each heating and pressing roll 13 in the transport direction is gradually narrowed from the first stage on the upstream side to the final stage on the downstream side for each heating and pressing roll 13. The thickness and presence / absence of the elastic material 13a on the surface are adjusted so as to be accommodated in the heat retaining case 20 together with the endless belt stamper 9 having a fine structure on the surface.

１段目と２段目の各加熱加圧ロール１３はゴムロールであるが、その弾性材１３ａとしてのゴムの巻き厚は１段目の方が厚い。これは、各段ごとに被転写フィルム２との加圧接触幅を最初は大きくして充分な伝熱を行い、次第に加圧接触幅を少なくし、接触圧力を次第に高め、スタンパの微細構造への被転写フィルム２の充填率が充分に高まるようにしている。   The first and second heating / pressurizing rolls 13 are rubber rolls, but the thickness of the rubber as the elastic material 13a is thicker in the first stage. This is because the pressure contact width with the transferred film 2 is initially increased for each stage to sufficiently transfer heat, the pressure contact width is gradually decreased, the contact pressure is gradually increased, and the microstructure of the stamper is increased. The filling rate of the transferred film 2 is sufficiently increased.

上流側の２段の加熱加圧ロール１３はゴムロールであり加圧力均一化の効果が薄いので、全加熱加圧ロール１３についてバックアップローラは省略している。被転写フィルム２の搬送などは、図１の実施形態のものと同様であるので、それらの動作説明は省略する。   The upstream two-stage heating / pressurizing roll 13 is a rubber roll, and since the effect of uniformizing the applied pressure is small, backup rollers are omitted for all the heating / pressurizing rolls 13. Since the transfer of the film 2 to be transferred is the same as that of the embodiment of FIG.

この実施形態に代えて、各加熱加圧ロール１３の口径を下流に進む程小さなものとし、下流側の各加熱加圧ロール１３の加圧力が高まるようにしてもよい。   Instead of this embodiment, the diameter of each heating and pressing roll 13 may be made smaller as it goes downstream, and the pressing force of each heating and pressing roll 13 on the downstream side may be increased.

図４により本発明の他の実施形態を説明する。   Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図４に示す実施形態では、装置全体を上下に２分割できる分割型真空チャンバ２５に納め、内部を真空化できるようにしている。真空チャンバ２５は図１に示す保温ケース２０の効果を持つので、この実施形態では保温ケースは用いていない。   In the embodiment shown in FIG. 4, the entire apparatus is housed in a divided vacuum chamber 25 that can be divided into two vertically, so that the inside can be evacuated. Since the vacuum chamber 25 has the effect of the heat retaining case 20 shown in FIG. 1, the heat retaining case is not used in this embodiment.

真空チャンバ２５は供給ロール１や巻取ロール３の交換などにおいて開放し、転写処理中は閉じて内部を真空化する。   The vacuum chamber 25 is opened when the supply roll 1 and the take-up roll 3 are exchanged, and is closed during the transfer process to evacuate the inside.

真空チャンバ２５の内部を真空ポンプなどにより真空引きすることにより、真空環境での転写が行えるようになり、転写時に被転写フィルム２とエンドレスベルトスタンパ９の間の微小空間も真空にし、加熱することにより被転写フィルム２から発生するガスでボイドが発生することを防止することができる。   By evacuating the inside of the vacuum chamber 25 with a vacuum pump or the like, transfer in a vacuum environment can be performed, and the minute space between the film to be transferred 2 and the endless belt stamper 9 is also evacuated and heated during transfer. Therefore, it is possible to prevent the generation of voids by the gas generated from the transferred film 2.

真空チャンバ２５を貫通するのは電力や信号の配線やガス供給や排気のための配管などのみであり、原料も製品も真空チャンバ２５内部にあることから、供給ロール１に巻かれた原料が無くなるまで連続して真空中で加工できる。貫通部での摺動がないので容易に真空を維持できる。真空チャンバ２５は２分割に限らず、３分割できるものでも良い。   Only the power and signal wiring, the gas supply and exhaust pipes, etc. pass through the vacuum chamber 25. Since both the raw material and the product are inside the vacuum chamber 25, the raw material wound around the supply roll 1 is eliminated. Can be processed continuously in vacuum. Since there is no sliding at the penetrating part, a vacuum can be easily maintained. The vacuum chamber 25 is not limited to being divided into two, and may be divided into three.

図５により本発明の他の実施形態を説明する。   Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図５に示す実施形態では、被転写フィルム２の片面（上面）に微細構造のパターンを転写するようにしており、また、各加熱加圧ロール１３は上流側から下流側に向けて口径が小さいものを使用し、加圧力が下流側に進む程高くなるようにしてある。バックアップローラ１４は下流側のもの程口径を大きいものとし、幅方向での加圧力均一化を図っている。   In the embodiment shown in FIG. 5, a fine pattern is transferred to one surface (upper surface) of the film 2 to be transferred, and each heating and pressing roll 13 has a small diameter from the upstream side toward the downstream side. The pressure is increased as the pressure increases downstream. The backup roller 14 has a larger diameter on the downstream side so as to equalize the pressure in the width direction.

以上の実施形態における内容は、適宜に組み合わせて実施することができる。   The contents in the above embodiments can be implemented in combination as appropriate.

本発明の一実施形態になる微細構造転写装置の概略図である。1 is a schematic view of a microstructure transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. 図１の微細構造転写装置が微細構造を転写する状況を説明する図である。It is a figure explaining the condition where the fine structure transfer apparatus of FIG. 1 transfers a fine structure. 本発明の他の実施形態になる微細構造転写装置の概略図である。It is the schematic of the microstructure transfer apparatus which becomes other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態になる微細構造転写装置の概略図である。It is the schematic of the microstructure transfer apparatus which becomes other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態になる微細構造転写装置の概略図である。It is the schematic of the microstructure transfer apparatus which becomes other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１，６‥供給ロール
２‥被転写フィルム
３，５‥巻取ロール
４，７‥保護フィルム
９‥エンドレスベルトスタンパ
１０‥駆動ローラ
１１‥従動ローラ
１２‥張力調整ローラ
１３‥加熱加圧ローラ
１４‥バックアップローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,6 ... Supply roll 2 ... Film to be transferred 3, 5 ... Winding roll 4, 7 ... Protective film 9 ... Endless belt stamper 10 ... Drive roller 11 ... Follower roller 12 ... Tension adjustment roller 13 ... Heating pressure roller 14 ... Backup roller

Claims (4)

樹脂層に微細なパターンを有するスタンパを加熱加圧することにより、該樹脂層に該スタンパの微細パターンを転写する微細構造転写装置において、
スタンパを有するべルトをスタンパのパターン面が該樹脂層側となるようにして該樹脂層と対向させ、多段に設けたローラにより該ベルトを介して該スタンパを該樹脂層に加熱加圧すると共に、前記多段に設けた該各ローラの円周部が上流側のものから下流側のものに向けて順次厚さが薄くなる弾性部材を設けてあることを特徴とする微細構造転写装置。 In a fine structure transfer apparatus for transferring a fine pattern of the stamper to the resin layer by heating and pressing a stamper having a fine pattern on the resin layer.
The belt having a stamper as the pattern surface of the stamper is the resin layer side to face the said resin layer, the rollers provided in multiple stages with pressurized heating the stamper to the resin layer through the belt, A fine structure transfer device, wherein an elastic member is provided in which the circumferential portion of each of the rollers provided in multiple stages is gradually reduced from the upstream side toward the downstream side . 上記請求項１において、該各ローラは上流側のものから下流側のものに向けて順次加熱温度が高くなるようにしてあることを特徴とする微細構造転写装置。 2. The fine structure transfer apparatus according to claim 1, wherein the heating temperature of each of the rollers increases sequentially from the upstream side toward the downstream side . 上記請求項１において、装置全体を真空チャンバに納めてあることを特徴とする微細構造転写装置。 2. The fine structure transfer apparatus according to claim 1, wherein the entire apparatus is housed in a vacuum chamber . 上記請求項１において、該各ローラはバックアップローラで加圧するようになっていることを特徴とする微細構造転写装置。 2. The fine structure transfer apparatus according to claim 1, wherein each of the rollers is pressed by a backup roller .
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