JP4662750B2 - Dip coater - Google Patents

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Description

この発明は、ディップコータに関するものである。   The present invention relates to a dip coater.

回路基板の製造工程において、ディップコータが一般に使用されている。たとえば、特開平１０−３３５７９３号公報（特許文献１）に記載されているものがそれである。   In a circuit board manufacturing process, a dip coater is generally used. For example, what is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-335793 (Patent Document 1).

同公報の装置では、タンクに処理液が充填される。さらに、ハンガにチャックが設けられ、チャックに回路基板がチャッキングされ、吊り下げられる。その後、タンクの上方において、アクチュエータによってハンガが下降および上昇し、回路基板が塗布液に浸漬され、その液面から引き上げられ、回路基板に塗布膜が形成される。その後、乾燥装置によって回路基板が乾燥される。   In the apparatus disclosed in the publication, a tank is filled with a processing liquid. Further, the hanger is provided with a chuck, and the circuit board is chucked and hung on the chuck. Thereafter, the hanger is lowered and raised by the actuator above the tank, the circuit board is immersed in the coating liquid, and is pulled up from the liquid surface, thereby forming a coating film on the circuit board. Thereafter, the circuit board is dried by a drying device.

さらに、同公報の装置は横型のもので、大型であり、タンクおよび乾燥装置は水平方向に並列される。そして、塗布膜の形成後、ハンガが水平方向に移動し、回路基板が乾燥装置に送られる。これによって回路基板が乾燥されるものである。   Furthermore, the apparatus of the publication is of a horizontal type and large, and the tank and the drying apparatus are arranged in parallel in the horizontal direction. And after formation of a coating film, a hanger moves to a horizontal direction and a circuit board is sent to a drying apparatus. As a result, the circuit board is dried.

ところで、最近、特殊用途部品の開発にあたって、試料に塗布膜を形成することが企図されている。そして、ディップコータによってそれを達成することが要望されているが、この場合、スペース上の問題があり、ディップコータを大幅にコンパクト化する必要がある。さらに、試料を塗布液に浸漬し、その液面から引き上げ、試料に塗布膜を形成し、乾燥装置によってそれを乾燥するだけではなく、その浸漬および乾燥を数回繰り返し、塗布膜を複数層形成することも要求され、それに適したディップコータの提供が要望されている。   By the way, recently, in developing special-purpose parts, it is contemplated to form a coating film on a sample. In addition, there is a demand for achieving this with a dip coater. In this case, however, there is a problem in space, and the dip coater needs to be greatly downsized. Furthermore, the sample is immersed in the coating liquid, pulled up from the liquid surface, and a coating film is formed on the sample. The coating film is not only dried by a drying device, but also repeatedly dipped and dried several times to form a plurality of coating films. Therefore, there is a demand for providing a dip coater suitable for this.

したがって、この発明の目的は、試料を塗布液に浸漬し、その液面から引き上げ、試料に塗布膜を形成し、乾燥装置によって試料を乾燥するディップコータにおいて、全体を大幅にコンパクト化することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to greatly reduce the overall size of a dip coater in which a sample is immersed in a coating liquid, pulled up from the liquid surface, a coating film is formed on the sample, and the sample is dried by a drying apparatus. is there.

他の目的は、試料の浸漬および乾燥を数回繰り返し、塗布膜を複数層形成することができるようにすることにある。
特開平１０−３３５７９３号公報 Another object is to repeat the immersion and drying of the sample several times so that a plurality of coating films can be formed.
JP 10-335793 A

この発明によれば、タンクに塗布液が充填され、乾燥装置として乾燥炉が使用され、これがタンクの上方に配置される。乾燥炉は筒状のもので、上下方向にのびる。さらに、ロッドが乾燥炉を貫通し、吊り下げ手段がロッドの下端に設けられ、吊り下げ手段に試料が吊り下げられる。ロッドは中空のものである。試料は筒状のもので、多孔体であり、多数の極小孔をもつ。そして、試料の上端において、ロッドが試料に連通し、ロッドおよび試料内において、真空ポンプによってロッドが真空排気され、試料が真空排気される。さらに、乾燥炉の上方において、アクチュエータがロッドの上端に連結される。乾燥炉は試料よりも長い。そして、アクチュエータによってロッドが下降および上昇し、試料が塗布液に浸漬され、その液面から引き上げられ、試料の極小孔に塗布液が吸入され、塗布膜が形成される。その後、試料が乾燥炉に導入され、乾燥炉によって試料が乾燥される。さらに、乾燥後、ロッドが再度下降および上昇する。したがって、試料が塗布液に浸漬され、その液面から引き上げられ、試料が再度乾燥され、浸漬および乾燥が数回繰り返され、塗布膜が複数層形成され、これによって試料の極小孔が縮小される。 According to the present invention, the tank is filled with the coating liquid, and the drying furnace is used as a drying device, which is disposed above the tank. The drying furnace is cylindrical and extends vertically. Further, the rod penetrates the drying furnace, the suspension means is provided at the lower end of the rod, and the sample is suspended by the suspension means. The rod is hollow. The sample has a cylindrical shape, is a porous body, and has a large number of micropores. The rod communicates with the sample at the upper end of the sample, and the rod is evacuated by a vacuum pump in the rod and the sample, and the sample is evacuated. Furthermore, an actuator is connected to the upper end of the rod above the drying oven. The drying oven is longer than the sample. Then, the rod is lowered and raised by the actuator, the sample is immersed in the coating liquid, pulled up from the liquid surface, and the coating liquid is sucked into the microscopic hole of the sample to form a coating film. Thereafter, the sample is introduced into a drying furnace, and the sample is dried by the drying furnace. Furthermore, after drying, the rod is lowered and raised again. Therefore, the sample is immersed in the coating liquid , pulled up from the liquid surface, the sample is dried again, the immersion and drying are repeated several times, and a plurality of coating films are formed , thereby reducing the minimum pores of the sample. .

好ましい実施例では、制御装置がアクチュエータに接続され、制御装置にプログラムが組み込まれ、そのプログラムにおいて、第１および第２速度が互いに独立し、あらかじめ設定される。そして、試料を液面から引き上げるとき、制御装置によってアクチュエータがプログラム制御され、ロッドが第１速度で上昇する。さらに、試料を乾燥炉に導入し、乾燥炉によって試料を乾燥するとき、制御装置によってアクチュエータがプログラム制御され、ロッドが第２速度で上昇する。   In a preferred embodiment, a control device is connected to the actuator and a program is incorporated into the control device, in which the first and second velocities are preset independently of each other. When the sample is pulled up from the liquid level, the actuator is program-controlled by the control device, and the rod is raised at the first speed. Further, when the sample is introduced into the drying furnace and the sample is dried by the drying furnace, the actuator is program-controlled by the controller, and the rod is raised at the second speed.

以下、この発明の実施例を説明する。   Examples of the present invention will be described below.

図１はこの発明にかかるディップコータを示す。このディップコータでは、タンク１に塗布液２が充填される。タンク１は試験管状のもので、開口上端を有し、恒温槽３に収容され、支持されており、上下方向にのびる。さらに、チューブなどの接続手段４によって循環装置５と恒温槽３が接続されており、水またはシリコンオイル６を循環装置５から供給し、恒温層３に導入および排出し、循環させることができ、タンク１を定温、高温または低温に保つことができる。   FIG. 1 shows a dip coater according to the present invention. In this dip coater, the tank 1 is filled with the coating liquid 2. The tank 1 is a test tube, has an open upper end, is accommodated in and supported by the thermostat 3, and extends in the vertical direction. Furthermore, the circulation device 5 and the thermostatic chamber 3 are connected by a connecting means 4 such as a tube, and water or silicon oil 6 can be supplied from the circulation device 5 and introduced into and discharged from the thermostatic layer 3 for circulation. The tank 1 can be kept constant temperature, high temperature or low temperature.

さらに、乾燥炉７がタンク１の上方に配置され、支持されている。乾燥炉７は筒状のもので、電熱式または熱風式であり、上下方向にのびる。さらに、ロッド８が乾燥炉７を貫通し、吊り下げ手段がロッド８の下端に設けられており、吊り下げ手段に試料９が吊り下げられる。たとえば、吊り下げ手段としてボルトが使用され、ボルトによって試料９とロッド８が固定され、これによって試料９が吊り下げられる。吊り下げ手段にチャックを使用し、チャックによって試料９をチャッキングし、吊り下げることも考えられる。   Further, a drying furnace 7 is disposed above and supported by the tank 1. The drying furnace 7 has a cylindrical shape, is an electric heating type or a hot air type, and extends in the vertical direction. Further, the rod 8 passes through the drying furnace 7, and a suspension means is provided at the lower end of the rod 8, and the sample 9 is suspended by the suspension means. For example, a bolt is used as the suspending means, and the sample 9 and the rod 8 are fixed by the bolt, whereby the sample 9 is suspended. It is also conceivable to use a chuck as the suspending means, chuck the sample 9 with the chuck, and suspend it.

さらに、この実施例では、図２に示すように、内管１０が乾燥炉７に収容され、支持され、二重筒状に配置されており、ロッド８は内管１０に挿入され、乾燥炉７および内管１０を貫通する。さらに、窒素導入管１１が内管１０に接続されており、窒素ガスを内管１０に導入し、内管１０内に窒素ガス雰囲気を生じさせることができる。内管１０は石英ガラス製のものである。   Further, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the inner tube 10 is accommodated and supported in the drying furnace 7 and arranged in a double cylinder shape, and the rod 8 is inserted into the inner tube 10, and the drying furnace 7 and the inner tube 10 are penetrated. Further, a nitrogen introduction pipe 11 is connected to the inner pipe 10, and nitrogen gas can be introduced into the inner pipe 10 to generate a nitrogen gas atmosphere in the inner pipe 10. The inner tube 10 is made of quartz glass.

さらに、このディップコータでは、乾燥炉７の上方において、アクチュエータがロッド８の上端に連結されている。アクチュエータは駆動モータ１２からなり、送りねじ１３に連結されている。この実施例では、駆動モータ１２にサーボモータまたはステッピングモータが使用され、これが送りねじ１３に直結されている。送りねじ１３はボールねじからなり、上下方向にのびる。さらに、ロッド８の上端において、ロッド８がキャリジ１４に取り付けられ、キャリジ１４はＬＭガイド１５に支持され、案内されており、下降および上昇可能である。そして、送りねじ１３がキャリジ１４にねじ合わされている。したがって、送りねじ１３およびキャリジ１４によって駆動モータ１２とロッド８が連結されているものであり、駆動モータ１２によって送りねじ１３を回転させ、送りねじ１３によってキャリジ１４およびロッド８を下降および上昇させることができる。   Further, in this dip coater, the actuator is connected to the upper end of the rod 8 above the drying furnace 7. The actuator comprises a drive motor 12 and is connected to a feed screw 13. In this embodiment, a servo motor or a stepping motor is used as the drive motor 12, and this is directly connected to the feed screw 13. The feed screw 13 is a ball screw and extends in the vertical direction. Further, the rod 8 is attached to the carriage 14 at the upper end of the rod 8, and the carriage 14 is supported and guided by the LM guide 15, and can be lowered and raised. The feed screw 13 is screwed onto the carriage 14. Therefore, the drive motor 12 and the rod 8 are connected by the feed screw 13 and the carriage 14, the feed screw 13 is rotated by the drive motor 12, and the carriage 14 and the rod 8 are lowered and raised by the feed screw 13. Can do.

さらに、制御装置１６が駆動モータ１２に接続されている。制御装置１５は駆動モータ１２をプログラム制御するためのものである。   Further, the control device 16 is connected to the drive motor 12. The control device 15 is for program-controlling the drive motor 12.

したがって、このディップコータにおいて、駆動モータ１２および送りねじ１３によってキャリジ１４およびロッド８を下降および上昇させると、試料９を塗布液２に浸漬し、その液面から引き上げ、試料９に塗布膜を形成することができる。さらに、その後、駆動モータ１２および送りねじ１３によってキャリジ１４およびロッド８を上昇させ、試料９を内管１０に導入し、乾燥炉７に導入することができ、乾燥炉７によって試料９を乾燥することができる。   Therefore, in this dip coater, when the carriage 14 and the rod 8 are lowered and raised by the drive motor 12 and the feed screw 13, the sample 9 is immersed in the coating liquid 2 and pulled up from the liquid surface to form a coating film on the sample 9. can do. Further, thereafter, the carriage 14 and the rod 8 are raised by the drive motor 12 and the feed screw 13, and the sample 9 can be introduced into the inner tube 10 and introduced into the drying furnace 7. The sample 9 is dried by the drying furnace 7. be able to.

このディップコータの場合、乾燥炉７がタンク１の上方に配置されることは前述したとおりである。したがって、特開平１０−３３５７９３号公報のものと異なり、このディップコータは横型ではなく、縦型であり、タンクおよび乾燥装置を水平方向に並列する必要はない。しかも、ロッド８を下降および上昇させるだけで、試料９を塗布液２に浸漬し、その液面から引き上げ、試料９に塗布膜を形成し、その後、試料９を乾燥炉７に導入し、乾燥炉７によって試料９を乾燥することができ、その構成は簡単である。したがって、全体を大幅にコンパクト化することができ、スペース上の問題はない。   In the case of this dip coater, the drying furnace 7 is disposed above the tank 1 as described above. Therefore, unlike the one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-335793, this dip coater is not a horizontal type but a vertical type, and it is not necessary to arrange a tank and a drying apparatus in parallel in the horizontal direction. In addition, the sample 9 is dipped in the coating solution 2 just by lowering and raising the rod 8 and pulled up from the surface of the coating 9 to form a coating film on the sample 9, and then the sample 9 is introduced into the drying furnace 7 and dried. The sample 9 can be dried by the furnace 7, and the structure is simple. Therefore, the whole can be greatly reduced in size, and there is no space problem.

試料９を乾燥するとき、乾燥炉７からゴミが発生しても、内管１０によって試料９および塗布膜を保護することができ、試料９および塗布膜にゴミが付着するおそれはない。内管１０内に窒素ガス雰囲気を生じさせ、試料９および塗布膜が化学変化しないようにすることもできる。   When the sample 9 is dried, even if dust is generated from the drying furnace 7, the sample 9 and the coating film can be protected by the inner tube 10, and there is no possibility that the dust adheres to the sample 9 and the coating film. It is also possible to generate a nitrogen gas atmosphere in the inner tube 10 so that the sample 9 and the coating film are not chemically changed.

さらに、試料９の乾燥後、ロッド８を再度下降および上昇させると、試料９を塗布液２に浸漬し、その液面から引き上げ、その後、試料９を再度乾燥することもできる。したがって、浸漬および乾燥を数回繰り返し、塗布膜を複数層形成することもできる。   Further, when the rod 8 is lowered and raised again after the sample 9 is dried, the sample 9 can be immersed in the coating liquid 2 and pulled up from the liquid surface, and then the sample 9 can be dried again. Therefore, immersion and drying can be repeated several times to form a plurality of coating films.

この結果、特殊用途部品の開発にあたって、試料９に塗布膜を形成するとき、ディップコータによってそれを達成することができる。たとえば、図３に示すように、試料９に筒状のものが使用される。試料９は特定の元素分子を分離させるためのもので、多孔体であり、多数の極小孔をもつ。そして、ロッド８の下端において、ボルトによって試料９とロッド８が固定される。さらに、試料９に開口上端および閉口下端が形成され、ロッド８に中空のものが使用され、試料９の上端において、ロッド８が試料９に連通する。さらに、ロッド８の上端において、チューブ１７によって真空調整器１８とロッド８が接続され、調整器１８が真空ポンプ１９に接続されており、ロッド８および試料９内において、真空ポンプ１９によってロッド８が真空排気され、試料９が真空排気される。   As a result, in the development of a special-purpose part, when a coating film is formed on the sample 9, it can be achieved by the dip coater. For example, as shown in FIG. The sample 9 is for separating specific element molecules, is a porous body, and has a large number of micropores. Then, at the lower end of the rod 8, the sample 9 and the rod 8 are fixed by a bolt. Further, the sample 9 has an open upper end and a closed lower end, and a hollow rod 8 is used. The rod 8 communicates with the sample 9 at the upper end of the sample 9. Further, at the upper end of the rod 8, the vacuum regulator 18 and the rod 8 are connected by the tube 17, and the regulator 18 is connected to the vacuum pump 19. The sample 9 is evacuated by evacuation.

そして、試料９が塗布液２に浸漬し、その液面から引き上げられる。したがって、試料９の極小孔において、極小孔に塗布液が吸入され、塗布膜が形成される。その後、乾燥炉７によって試料９が乾燥される。さらに、浸漬および乾燥が数回繰り返され、塗布膜が複数層形成され、これによって極小孔が縮小される。極小孔は数ｎｍの直径に縮小される。したがって、その後、試料９を元素分離装置に使用し、特定の元素分子だけを極小孔に通し、これによって特定の元素分子を分離させることができる。   And the sample 9 is immersed in the coating liquid 2, and is pulled up from the liquid level. Accordingly, the coating liquid is sucked into the minimal hole in the minimal hole of the sample 9 to form a coating film. Thereafter, the sample 9 is dried by the drying furnace 7. Further, the dipping and drying are repeated several times to form a plurality of coating films, thereby reducing the micropores. The micropores are reduced to a diameter of a few nm. Therefore, after that, the sample 9 can be used in the element separation device, and only specific element molecules can be passed through the micro holes, thereby separating the specific element molecules.

フォトニクス結晶などの試料において、塗布膜を複数層形成することもできる。   A plurality of coating films can be formed on a sample such as a photonics crystal.

さらに、このディップコータでは、制御装置１６にプログラムが組み込まれ、そのプログラムにおいて、第１および第２速度が互いに独立し、あらかじめ設定されている。そして、試料９を液面から引き上げるとき、制御装置１６によって駆動モータ１２がプログラム制御され、ロッド８が第１速度で上昇する。さらに、その後、試料９を乾燥炉７に導入し、乾燥炉７によって試料９を乾燥するとき、制御装置１６によって駆動モータ１２がプログラム制御され、ロッド８が第２速度で上昇する。その理由は次のとおりである。   Further, in this dip coater, a program is incorporated in the control device 16, and the first and second speeds are set in advance independently of each other in the program. When the sample 9 is pulled up from the liquid level, the drive motor 12 is program-controlled by the control device 16 and the rod 8 is raised at the first speed. Furthermore, after that, when the sample 9 is introduced into the drying furnace 7 and the sample 9 is dried by the drying furnace 7, the drive motor 12 is program-controlled by the control device 16, and the rod 8 is raised at the second speed. The reason is as follows.

ディップコータにおいて、試料９を塗布液２に浸漬し、その液面から引き上げると、試料９に塗布膜が形成されるが、試料９が液面から引き上げられるとき、その引き上げ速度が塗布膜の厚さに関係する。引き上げ速度が低いほど、塗布膜の厚さは小さいことは一般に知られているところであるが、このディップコータでは、第１速度をあらかじめ設定することができ、試料９を液面から引き上げるとき、制御装置１６によって駆動モータ１２をプログラム制御し、ロッド８を第１速度で上昇させることができる。したがって、第１速度が試料９の引き上げ速度であり、たとえば、これを５ｍｍ／ｓｅｃの速度に保ち、塗布膜の厚さを適正厚さに保つことができる。   In the dip coater, when the sample 9 is immersed in the coating liquid 2 and pulled up from the liquid surface, a coating film is formed on the sample 9, but when the sample 9 is pulled up from the liquid surface, the lifting speed is determined by the thickness of the coating film. Related to It is generally known that the lower the pulling speed, the smaller the thickness of the coating film. In this dip coater, the first speed can be set in advance, and control is performed when the sample 9 is lifted from the liquid surface. The drive motor 12 can be program controlled by the device 16 to raise the rod 8 at the first speed. Therefore, the first speed is the pulling speed of the sample 9, and can be maintained at a speed of 5 mm / sec, for example, and the thickness of the coating film can be maintained at an appropriate thickness.

一方、試料９を乾燥炉７に導入し、乾燥炉７によって試料９を乾燥するとき、その乾燥時間が問題である。試料９を的確に乾燥するには、これを適正時間をもって乾燥する必要があるが、このディップコータでは、第２速度を第１速度から独立させ、あらかじめ設定することができ、試料９を乾燥炉７に導入し、乾燥炉７によって試料９を乾燥するとき、制御装置１６によって駆動モータ１２をプログラム制御し、ロッド８を第２速度で上昇させることができる。したがって、その上昇速度によって乾燥時間を調節することができ、たとえば、上昇速度を０．１ｍｍ／ｓｅｃの速度に保ち、試料９を適正時間をもって乾燥することができる。したがって、乾燥炉７の長さに関係なく、試料９を的確に乾燥することができる。乾燥炉７を任意に短縮することもできる。   On the other hand, when the sample 9 is introduced into the drying furnace 7 and the sample 9 is dried by the drying furnace 7, the drying time is a problem. In order to dry the sample 9 accurately, it is necessary to dry it with an appropriate time. However, in this dip coater, the second speed can be set independently from the first speed, and the sample 9 can be set in the drying oven. 7, when the sample 9 is dried by the drying furnace 7, the drive motor 12 can be program-controlled by the control device 16 and the rod 8 can be raised at the second speed. Therefore, the drying time can be adjusted by the rising speed, and for example, the rising speed can be kept at a speed of 0.1 mm / sec, and the sample 9 can be dried with an appropriate time. Therefore, the sample 9 can be accurately dried regardless of the length of the drying furnace 7. The drying furnace 7 can be arbitrarily shortened.

第２速度については、これを一定に保つこともでき、速度曲線に沿って変化させることもできる。   The second speed can be kept constant or can be varied along the speed curve.

この発明の実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the Example of this invention. 図１の乾燥炉の断面図である。It is sectional drawing of the drying furnace of FIG. 図２の試料の断面図である。It is sectional drawing of the sample of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ タンク
２ 塗布液
７ 乾燥炉
８ ロッド
９ 試料
１２ 駆動モータ
１３ 送りねじ
１６ 制御装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tank 2 Coating liquid 7 Drying furnace 8 Rod 9 Sample 12 Drive motor 13 Feed screw 16 Control apparatus

Claims (2)

塗布液が充填されるタンクと、
上下方向にのび、前記タンクの上方に配置された筒状の乾燥炉と、
前記乾燥炉を貫通する中空のロッドと、
多孔体であり、多数の極小孔をもつ筒状の試料と、
前記ロッドの下端に設けられ、前記試料を吊り下げ、前記試料の上端において、前記ロッドを前記試料に連通させる吊り下げ手段と、
前記ロッドおよび試料内において、前記ロッドを真空排気し、前記試料を真空排気する真空ポンプと、
前記乾燥炉の上方において、前記ロッドの上端に連結され、前記ロッドを下降および上昇させるアクチュエータとからなり、
前記乾燥炉は前記試料よりも長く、
前記アクチュエータによって前記ロッドを下降および上昇させ、前記試料を前記塗布液に浸漬し、その液面から引き上げ、前記試料の極小孔に前記塗布液を吸入し、塗布膜を形成し、その後、前記試料を前記乾燥炉に導入し、前記乾燥炉によって前記試料を乾燥し、乾燥後、前記ロッドを再度下降および上昇させ、前記試料を前記塗布液に浸漬し、その液面から引き上げ、前記試料を再度乾燥し、浸漬および乾燥を数回繰り返し、塗布膜を複数層形成し、これによって前記試料の極小孔を縮小させるようにしたことを特徴とするディップコータ。 A tank filled with a coating solution;
A cylindrical drying furnace extending in the vertical direction and disposed above the tank;
A hollow rod penetrating the drying oven;
A cylindrical sample having a large number of extremely small holes,
A suspension means provided at a lower end of the rod, suspending the sample, and communicating the rod with the sample at an upper end of the sample ;
A vacuum pump for evacuating the rod and evacuating the sample in the rod and the sample;
Above the drying oven, connected to the upper end of the rod, comprising an actuator for lowering and raising the rod,
The drying oven is longer than the sample,
The rod is lowered and raised by the actuator, the sample is immersed in the coating liquid, pulled up from the liquid surface, and the coating liquid is sucked into a small hole of the sample to form a coating film, and then the sample Is introduced into the drying furnace, the sample is dried by the drying furnace, and after drying, the rod is lowered and raised again, the sample is immersed in the coating liquid, pulled up from the liquid surface, and the sample is again removed. dried, repeated several times dipping and drying, a dip coater coating film multiple layer formation, thereby characterized in that the so that to reduce the minimum bore of the sample. 制御装置が前記アクチュエータに接続され、前記制御装置にプログラムが組み込まれ、そのプログラムにおいて、第１および第２速度が互いに独立し、あらかじめ設定されており、前記試料を前記液面から引き上げるとき、前記制御装置によって前記アクチュエータがプログラム制御され、前記ロッドが前記第１速度で上昇し、さらに、前記試料を前記乾燥炉に導入し、前記乾燥炉によって前記試料を乾燥するとき、前記制御装置によって前記アクチュエータがプログラム制御され、前記ロッドが前記第２速度で上昇するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のディップコータ。   A control device is connected to the actuator, and a program is incorporated in the control device, in which the first and second speeds are independent from each other and preset, and when the sample is pulled up from the liquid level, When the actuator is program-controlled by the control device, the rod rises at the first speed, and when the sample is introduced into the drying furnace and the sample is dried by the drying furnace, the actuator controls the actuator. The dip coater according to claim 1, wherein the rod is lifted at the second speed.
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