JP4652765B2 - 分布帰還型半導体レーザ素子及びそれを用いた半導体レーザモジュール - Google Patents
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Description
さらに、回折格子をp側クラッド層中に設けると、活性層からの距離を離すことができるため、回折格子の周囲を埋め込む際の再成長条件を安定させることができる。
しかしながら、実際には、電子が井戸層118にとどまらず、MQW−SCH活性層104の外へオーバーフローしてしまい、本来得られるべき出力を得ることができない、という問題が生じていた。
また、MQW−SCH活性層4にキャリア密度が1×1018〔cm-3〕程度になるようにn型またはp型のドーピングを施すと、低抵抗になり好ましい。
2、102 基板
3、103 バッファ層
4、104 MQW−SCH活性層
5、105 スペーサ層
6、106 回折格子層
7、107 埋め込み層
8、108 上クラッド層
9、109 クラッド層
10、110 コンタクト層
11、111 p型半導体からなる層
12、112 n型半導体からなる層
13、113 溝
14、114 p側電極
15、115 絶縁膜
16、116 n側電極
17、117 障壁層
18、118 井戸層
19、119 SCH層
2X 位相シフト領域
20 半導体レーザ素子
21 光学素子
22 光ファイバ
23 半導体レーザモジュール
24 前端面
25 後端面
26 受光素子
Claims (10)
- n型半導体基板上に積層されたn型バッファ層、量子井戸構造の活性層、p型のスペーサ層、バンドギャップエネルギーの大きさが異なる半導体材料からなる回折格子層、該回折格子層を埋め込んだp型埋め込み層、及びp型上部クラッド層の積層構造を有する分布帰還型半導体レーザ素子であって、
前記回折格子層と前記埋め込み層からなる回折格子は、前記p型上部クラッド層中に形成され、
前記回折格子を構成する前記回折格子層のバンドギャップエネルギーの値である第1の値は、前記分布帰還型半導体レーザ素子の発振波長をエネルギーに換算した値である第2の値より大きく、かつ、第1の値と第2の値の差は、前記p型のスペーサ層の伝導帯のバンドエネルギーが前記回折格子層の影響を受けて本来の値より小さくならない値以上であり、
前記回折格子のデューティー比は30%以下である
ことを特徴とする分布帰還型半導体レーザ素子。 - 前記第1の値と第2の値の差は150meV以上であることを特徴とする請求項1に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記回折格子のデューティー比は20%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記分布帰還型半導体レーザ素子の結合係数κと共振器長Lとの積は0.8以上2.0以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記回折格子は少なくとも1つの位相シフト領域を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記分布帰還型半導体レーザ素子の結合係数κと共振器長Lとの積は1.6以上4.0以下であることを特徴とする請求項5に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記分布帰還型半導体レーザ素子の利得ピーク波長と発振波長との差であるデチューニング量Δλの絶対値は20nm以下であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記活性層は、井戸層及び障壁層と、少なくとも前記p型半導体層側に前記障壁層よりもバンドギャップエネルギーが大きく、かつ前記p型半導体層の最内層よりもバンドギャップエネルギーが小さい光閉じ込め層を有していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記光閉じ込め層はバンドギャップエネルギーの異なる複数の層からなることを特徴とする請求項8に記載の分布帰還型半導体レーザ素子。
- 前記請求項1乃至9の何れか一項に記載の分布帰還型半導体レーザ素子を内蔵したことを特徴とする、温度調整機能を有しない半導体レーザモジュール。
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