JP4633084B2 - 不良要因推定方法、不良要因推定装置、プログラム、および、記録媒体 - Google Patents
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
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Description
n=f1・+f2・+f3・=f・1+f・2
である。また、f1・,f2・,f3・,f・1,f・2は、横方向あるいは縦方向の合計を表す度数であり、周辺度数と呼ばれる。f11,f21,f31,f12,f22,f32は、観測度数と呼ばれる。カイ2乗検定の統計量χ2は、
であれば有意水準αで、製造装置と不良品発生率に相関があると推定される。有意水準αは、1%ないしは5%とすることが伝統的に多い。ここで、F(x,ν)は、自由度νのカイ2乗累積分布関数を表す。また、カイ2乗累積分布関数F(x,ν)は、カイ2乗確率密度関数f(x,ν)を使って、次式のように表すことができる。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定方法において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴としている。
また、この発明の第2の不良要因推定方法は、
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定方法において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴としている。
この発明の第2の不良要因推定方法によれば、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、上記分割表を用いて上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程とを備えているので、上記製造装置が複数の処理室を有していても、不良品発生要因となっている処理室を見逃すことなく推定できて、不良品発生要因となっている製造ラインを推定できる。また、所定の製造ラインに関して、同じ処理を行う処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、作成工程は、グループ毎に分割表を作成し、推定工程は、グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、推定工程は、分割表毎に有意確率を算出し、出力工程は、グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力するので、同じ種類の処理を行う処理室の間で不良品発生率に有意な差があるか否かを検定することになり、不調となった処理室を特定することができ、さらに不調な処理室がないにもかかわらず、誤って不良品発生要因をあると推定してしまうこともないと共に、どのグループが不良品を発生させている不良品発生要因であるか否かを、人が容易に認識することができる。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定装置において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成部と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定部と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力部と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成部は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定部は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定部は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力部は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴としている。
また、この発明の第2の不良要因推定装置は、
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定装置において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成部と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定部と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力部と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成部は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定部は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定部は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力部は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とする。
この発明の第2の不良要因推定装置によれば、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成部と、上記分割表を用いて上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定部と、上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力部とを備えているので、上記製造装置が複数の処理室を有していても、不良品発生要因となっている処理室を見逃すことなく推定できて、不良品発生要因となっている製造ラインを推定できる。また、所定の製造ラインに関して、同じ処理を行う処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、作成部は、グループ毎に分割表を作成し、推定部は、グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、推定部は、分割表毎に有意確率を算出し、出力部は、グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力するので、同じ種類の処理を行う処理室の間で不良品発生率に有意な差があるか否かを検定することになり、不調となった処理室を特定することができ、さらに不調な処理室がないにもかかわらず、誤って不良品発生要因をあると推定してしまうこともないと共に、どのグループが不良品を発生させている不良品発生要因であるか否かを、人が容易に認識することができる。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムにおいて、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させ、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴とする。
また、この発明の第2のプログラムでは、
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムにおいて、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させ、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とする。
この発明の第2のプログラムによれば、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、上記分割表を用いて上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程とをコンピュータに実行させるので、上記製造装置が複数の処理室を有していても、不良品発生要因となっている処理室を見逃すことなく推定できて、不良品発生要因となっている製造ラインを推定できる。また、所定の製造ラインに関して、同じ処理を行う処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、作成工程は、グループ毎に分割表を作成し、推定工程は、グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、推定工程は、分割表毎に有意確率を算出し、出力工程は、グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力するので、同じ種類の処理を行う処理室の間で不良品発生率に有意な差があるか否かを検定することになり、不調となった処理室を特定することができ、さらに不調な処理室がないにもかかわらず、誤って不良品発生要因をあると推定してしまうこともないと共に、どのグループが不良品を発生させている不良品発生要因であるか否かを、人が容易に認識することができる。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムを記録した記録媒体において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録し、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴とする。
また、この発明の第2のコンピュータ読み取り可能な記録媒体では、
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムを記録した記録媒体において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録し、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とする。
この発明の第2の記録媒体によれば、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、上記分割表を用いて上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録しているので、上記製造装置が複数の処理室を有していても、不良品発生要因となっている処理室を見逃すことなく推定できて、不良品発生要因となっている製造ラインを推定できる。また、所定の製造ラインに関して、同じ処理を行う処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、作成工程は、グループ毎に分割表を作成し、推定工程は、グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、推定工程は、分割表毎に有意確率を算出し、出力工程は、グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力するので、同じ種類の処理を行う処理室の間で不良品発生率に有意な差があるか否かを検定することになり、不調となった処理室を特定することができ、さらに不調な処理室がないにもかかわらず、誤って不良品発生要因をあると推定してしまうこともないと共に、どのグループが不良品を発生させている不良品発生要因であるか否かを、人が容易に認識することができる。
f1・=f11+f12
となる。また、製造ラインL1が用いる処理室1−1−2で処理された製造品の個数f2・を不良品の個数f21と、良品の個数f22とに分類することができる。すなわち、
f2・=f21+f22
となる。以下、同様にして、製造ラインL1が用いる8つの処理室1−1−1,1−1−2,1−1−3,1−1−4,1−2−1,1−2−2,1−2−3,1−2−4について、或る期間に処理された製造品の個数をf1・,f2・,f3・,f4・,f5・,f6・,f7・,f8・とし、不良品の個数を、f11,f21,f31,f41,f51,f61,f71,f81とし、良品の個数をf12,f22,f32,f42,f52,f62,f72,f82とする。
n=f1・+f2・=f・1+f・2
となる。
H0:Pij=Pi・×P・j
とする。ここで、Pijは、セル(i,j)の生起確率である。Pi・は、i行目の周辺確率であり、
Pi・=fi・/n
となる。また、P・jは、j列目の周辺確率であり、
P・j=f・j/n
となる。
P'ij=(fi・/n)×(f・j/n)=(fi・×f・j)/n2
となる。帰無仮説H0のもとでのセル(i,j)の理論度数f'ijは、
f'ij=n×P'ij=fi・×f・j/n
となる。結局、カイ2乗の独立性の統計量χ2は、
有意確率=1−F(χ2,ν)≦α
であれば有意水準αで、帰無仮説が棄却されて、製造装置と不良品発生率に相関があると推定される。すなわち、8つの処理室の間で、不良品発生率に有意な差があることになる。また、有意確率が有意水準αより大きければ、帰無仮説が採択されて、製造装置と不良品発生率に相関があるとはいえない。すなわち、2つの製造装置の間で、不良品発生率に有意な差があるとはいえない。このようにして、著しく不良品を発生させる処理室が存在する可能性を見つけることができる。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定方法において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
を備えている。
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、少なくとも一組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行う。
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記製造ラインを並べて、不良品発生要因であると推定される上記製造ラインを表す候補一覧を、出力する。
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記製造ライン毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示す製造ラインを、不良品発生要因としての推定結果として、出力する。
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力する。
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力する。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定装置において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成部と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定部と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力部と
を備えている。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムにおいて、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させる。
製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムを記録した記録媒体において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録している。
302 演算部(推定部)
303 出力部
Claims (10)
- 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定方法において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴とする不良要因推定方法。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定方法において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とする不良要因推定方法。 - 請求項1または2に記載の不良要因推定方法において、
上記推定工程は、所定の上記グループに関して、上記処理室のうち、不良品発生率の最も高い処理室を、上記所定のグループにおける不良品発生要因となっている不良処理室として、推定することを特徴とする不良要因推定方法。 - 請求項1または2に記載の不良要因推定方法において、
上記推定工程は、検定により行われることを特徴とする不良要因推定方法。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定装置において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成部と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定部と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力部と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成部は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定部は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定部は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力部は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴とする不良要因推定装置。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定する不良要因推定装置において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成部と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定部と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力部と
を備え、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成部は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定部は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定部は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力部は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とする不良要因推定装置。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムにおいて、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させ、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴とするプログラム。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムにおいて、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させ、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とするプログラム。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムを記録した記録媒体において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録し、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記分割表毎の有意確率の昇順に上記グループを並べて、不良品発生要因であると推定される上記グループを表す候補一覧を、出力することを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 製造品に対して順次実行される複数の製造ラインと、上記製造品が良品または不良品のいずれであるかを検査する検査ラインとを含むと共に、上記製造ラインは、少なくとも一つの製造装置を有し、この製造装置は、上記製造品を処理する少なくとも一つの処理室を有する製造システムに関して、上記検査ラインの検査結果に基づいて、上記複数の製造ラインのうち不良品発生要因となっている製造ラインを推定するためのプログラムを記録した記録媒体において、
上記各処理室で処理された上記製造品の各度数を表す処理数項目データを集計するとともに、上記検査ラインの検査結果である良品の度数と不良品の度数とを表す良品不良品数項目データを集計して、上記処理数項目データおよび上記良品不良品数項目データを分類した分割表を作成する作成工程と、
上記分割表を用いて、上記各処理室で処理された上記製造品における不良品発生率に有意な差が有るか否かの推定を行う推定工程と、
上記製造ラインが不良品発生要因となっているか否かの推定結果を出力する出力工程と
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録し、
所定の上記製造ラインに関して、同じ処理を行う上記処理室にて形成されるグループが、複数組設けられ、
上記作成工程は、上記グループ毎に上記分割表を作成し、
上記推定工程は、上記グループ毎に不良品発生要因となっているか否かの推定を行い、
上記推定工程は、上記分割表毎に有意確率を算出し、
上記出力工程は、上記グループ毎に算出された有意確率のうち最小の有意確率を示すグループを、不良品発生要因としての推定結果として、出力することを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2004186374A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujitsu Ltd | 製造データ解析方法及びそれをコンピュータに実行させるプログラム |
JP2005142406A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Toshiba Corp | 不良検出システム、不良検出方法及び不良検出プログラム |
WO2005061711A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | A polynucleotide associated with a type ii diabetes mellitus comprising single nucleotide polymorphism, microarray and diagnostic kit comprising the same and method for analyzing polynucleotide using the same |
JP2006243794A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Omron Corp | 原因調査装置、原因調査システム、原因調査方法、原因調査プログラム、および、原因調査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
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JP2004186374A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujitsu Ltd | 製造データ解析方法及びそれをコンピュータに実行させるプログラム |
JP2005142406A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Toshiba Corp | 不良検出システム、不良検出方法及び不良検出プログラム |
WO2005061711A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | A polynucleotide associated with a type ii diabetes mellitus comprising single nucleotide polymorphism, microarray and diagnostic kit comprising the same and method for analyzing polynucleotide using the same |
JP2006243794A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Omron Corp | 原因調査装置、原因調査システム、原因調査方法、原因調査プログラム、および、原因調査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
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