JP4612749B1 - Electrode material - Google Patents

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Abstract

【課題】冷陰極蛍光ランプに用いられる電極材料、電極、電極部材、及び冷陰極蛍光ランプ、液晶表示装置を提供する。
【解決手段】冷陰極蛍光ランプ100は、内壁面に蛍光体層101を有し、内部に希ガス及び水銀が封入されるガラス管102と、このガラス管102内の両端部に配置される一対の電極103とを具える。電極103は、Si及びAlと、Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Y,Mg,In,希土類元素からなる元素群から選ばれた少なくとも1種の元素とを合計で0.001質量%以上5.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなるNi合金で構成される。ニッケル単体ではなく、上記組成のNi合金からなる電極材料により電極103が構成されることで、放電性、耐酸化性、耐スパッタリング性、水銀との耐反応性を向上させることができ、高輝度化、長寿命化を実現する。
【選択図】図1
An electrode material, an electrode, an electrode member, a cold cathode fluorescent lamp, and a liquid crystal display device used in a cold cathode fluorescent lamp are provided.
A cold-cathode fluorescent lamp 100 has a phosphor layer 101 on an inner wall surface, a glass tube 102 in which a rare gas and mercury are enclosed, and a pair disposed at both ends of the glass tube 102. Electrode 103. The electrode 103 is selected from an element group consisting of Si and Al, and Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Y, Mg, In, and rare earth elements. Further, at least one kind of element is contained in a total of 0.001% by mass or more and 5.0% by mass or less, and the balance is made of a Ni alloy composed of Ni and impurities. The electrode 103 is composed of an electrode material made of a Ni alloy having the above composition instead of nickel alone, thereby improving discharge performance, oxidation resistance, sputtering resistance, and resistance to mercury, and high brightness Realize longer life.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、冷陰極蛍光ランプの電極に適した電極材料、この電極材料により形成された電極、この電極を具える電極部材、この電極部材を具える冷陰極蛍光ランプ、この冷陰極蛍光ランプを具える液晶表示装置に関するものである。特に、より高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプに寄与することができる電極材料に関するものである。   The present invention relates to an electrode material suitable for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp, an electrode formed of the electrode material, an electrode member including the electrode, a cold cathode fluorescent lamp including the electrode member, and the cold cathode fluorescent lamp. The present invention relates to a liquid crystal display device. In particular, the present invention relates to an electrode material that can contribute to a cold cathode fluorescent lamp with higher brightness and longer life.

従来、イメージスキャナの原稿照射用光源や、パソコンの液晶モニタ、液晶テレビなどの液晶表示装置(液晶ディスプレイ)のバックライト用光源といった種々の光源として、冷陰極蛍光ランプがよく利用されている(例えば、特許文献1,2参照)。冷陰極蛍光ランプとしては、例えば、図1に示す構成のものがある。図1は、冷陰極蛍光ランプの一例であり、その概略構成を示す断面図である。この冷陰極蛍光ランプ100は、内壁面に蛍光体層101を有し、希ガスと水銀とが封入されるガラス管102と、ガラス管102内に配置される一対の電極103とを具える。蛍光体層101は、ガラス管102の内壁面のほぼ全周及び全長に亘って設けられ、管102内において二つの電極103間が主として発光部となり、電極103近傍が非発光部となる。電極103は、一端が開口し、他端が有底のカップ状であり、開口部が対向するようにガラス管102内に配置される(特許文献1,2参照)。開口していない電極103の他端側(底側)には、リード線(アウターリード線104)が接続され、このリード線104を介して電極103に電圧が加えられる。電極103とアウターリード線104との間は、ガラス管102の熱膨張係数と同程度の熱膨張係数に調整されたコバール(KOV)などの材料からなるインナーリード線105が接続される。インナーリード線105の外周には、ビードガラス106が溶着される。このビードガラス106により電極103をガラス管102に固定すると共に管102を封止することで、管102内の気密状態が安定して保持される。なお、希ガスのみをガラス管102に封入した水銀フリーの蛍光ランプもある。   Conventionally, cold cathode fluorescent lamps are often used as various light sources such as a light source for irradiating an original of an image scanner, a backlight of a liquid crystal display device (liquid crystal display) such as a liquid crystal monitor of a personal computer, a liquid crystal television (for example) Patent Documents 1 and 2). An example of the cold cathode fluorescent lamp is configured as shown in FIG. FIG. 1 is an example of a cold cathode fluorescent lamp, and is a cross-sectional view showing a schematic configuration thereof. The cold cathode fluorescent lamp 100 has a phosphor layer 101 on an inner wall surface, and includes a glass tube 102 in which a rare gas and mercury are enclosed, and a pair of electrodes 103 disposed in the glass tube 102. The phosphor layer 101 is provided over almost the entire circumference and the entire length of the inner wall surface of the glass tube 102, and between the two electrodes 103 in the tube 102 is mainly a light emitting portion, and the vicinity of the electrode 103 is a non-light emitting portion. The electrode 103 has a cup shape with an opening at one end and a bottom at the other end, and is disposed in the glass tube 102 so that the opening faces each other (see Patent Documents 1 and 2). A lead wire (outer lead wire 104) is connected to the other end side (bottom side) of the electrode 103 that is not open, and a voltage is applied to the electrode 103 via the lead wire 104. Between the electrode 103 and the outer lead wire 104, an inner lead wire 105 made of a material such as Kovar (KOV) adjusted to a thermal expansion coefficient comparable to that of the glass tube 102 is connected. A bead glass 106 is welded to the outer periphery of the inner lead wire 105. By fixing the electrode 103 to the glass tube 102 by the bead glass 106 and sealing the tube 102, the airtight state in the tube 102 is stably maintained. There is also a mercury-free fluorescent lamp in which only a rare gas is sealed in the glass tube 102.

このような蛍光ランプ100は、以下の原理で発光する。リード線104を介して二つの電極103間に高電圧を印加すると、ガラス管102内に僅かに存在する電子が電極103に高速で引きつけられて衝突し、このとき、電極103から二次電子が放出されて放電する。この放電により、陽極に引かれる電子とガラス管102内に存在する水銀分子などとが衝突して紫外線が放射され、この紫外線が蛍光体を励起して、蛍光体は、可視光線を発光する。   Such a fluorescent lamp 100 emits light on the following principle. When a high voltage is applied between the two electrodes 103 via the lead wire 104, electrons that are slightly present in the glass tube 102 are attracted to the electrode 103 at a high speed and collide with each other. Released and discharged. Due to this discharge, electrons drawn by the anode collide with mercury molecules existing in the glass tube 102 to emit ultraviolet rays, which excites the phosphor, and the phosphor emits visible light.

上記電極の形成材料としては、ニッケル(Ni)が代表的である。その他の電極の形成材料として、特許文献1には、Ti,Zr,Hf,Nb又はTaを用いること、特許文献3には、Mo,Nb,Taを用いることが記載されている。   Nickel (Ni) is a typical material for forming the electrodes. As other electrode forming materials, Patent Document 1 describes the use of Ti, Zr, Hf, Nb, or Ta, and Patent Document 3 describes the use of Mo, Nb, or Ta.

特開2004−71276号公報JP 2004-71276 A 特開平10−144255号公報JP-A-10-144255 特開2004−207056号公報JP 2004-207056 A

近年、液晶ディスプレイなどに用いられるバックライトユニットにおいて、薄型、軽量、高輝度、長寿命が重要視されている。そのため、バックライト用光源として利用される冷陰極蛍光ランプについても、より一層の小型化、高輝度化、長寿命化が強く望まれている。また、イメージスキャナにおいても高速化、長寿命化などが重要視されており、光源である冷陰極蛍光ランプに対しても高輝度化、長寿命化が強く望まれている。   In recent years, in backlight units used for liquid crystal displays and the like, thinness, light weight, high luminance, and long life are regarded as important. For this reason, it is strongly desired that the cold cathode fluorescent lamp used as the light source for the backlight is further reduced in size, increased in brightness, and extended in life. In image scanners, high speed and long life have been regarded as important, and high brightness and long life are strongly desired for cold cathode fluorescent lamps as light sources.

ニッケルからなる電極を具える従来の冷陰極蛍光ランプでは、点灯中、放電により生じた水銀イオンが電極に衝突することで、電極物質がガラス管内に飛散して管内壁に堆積していくスパッタリングという現象が起こる。スパッタリングが起こると、電極が消耗される。特に、電極の一部分のみが集中的に消耗してその部分に孔があくことで、電極を放電に使えなくしてしまい、蛍光ランプが寿命となる。また、スパッタリング層(蒸発した電極物質からなる層)と水銀とがアマルガムを形成する。そのため、長時間点灯していると、水銀がスパッタリング層にほとんど取り込まれることで、紫外線の放射が十分に行われず、ランプの輝度が極端に低下し、蛍光ランプが寿命となる。即ち、ニッケルからなる電極を具える従来の冷陰極蛍光ランプでは、上記スパッタリングにより比較的寿命が短くなりやすい。   In a conventional cold cathode fluorescent lamp having an electrode made of nickel, sputtering is such that mercury ions generated by discharge collide with the electrode during lighting, and the electrode material is scattered in the glass tube and deposited on the inner wall of the tube. A phenomenon occurs. When sputtering occurs, the electrode is consumed. In particular, when only a part of the electrode is intensively consumed and there is a hole in the part, the electrode cannot be used for discharge, and the fluorescent lamp has a lifetime. Further, the sputtering layer (a layer made of evaporated electrode material) and mercury form amalgam. Therefore, when the lamp is lit for a long time, mercury is almost taken into the sputtering layer, so that the ultraviolet rays are not sufficiently emitted, the brightness of the lamp is extremely reduced, and the life of the fluorescent lamp is extended. That is, in a conventional cold cathode fluorescent lamp having an electrode made of nickel, the life is likely to be relatively shortened by the sputtering.

電極の形状を有底筒状とすると、ホローカソード効果により、ある程度スパッタリングを抑制できるが、より一層の高輝度化、長寿命化の要求に対して十分な構成とは言えない。高輝度化の要求に対して、ランプ電流を大きくすることが考えられるが、電流の増大は、電極負荷を増大させるため、スパッタリングが起こり易くなる、即ち、スパッタリング速度が速くなる。その結果、電極の消耗やアマルガムの形成を速めて、蛍光ランプの寿命の低下を招く。電極を大型化すれば、スパッタリングによる不具合を低減できるが、この場合、1.薄型化、小型化の要求に逆行する、2.非発光部が大きくなるといった問題がある。   When the electrode has a bottomed cylindrical shape, sputtering can be suppressed to some extent due to the hollow cathode effect, but it cannot be said that the structure is sufficient for the demand for higher brightness and longer life. Although it is conceivable to increase the lamp current in response to the demand for higher brightness, since the increase in the current increases the electrode load, sputtering is likely to occur, that is, the sputtering rate is increased. As a result, electrode consumption and amalgam formation are accelerated, leading to a reduction in the life of the fluorescent lamp. Increasing the size of the electrode can reduce the problems caused by sputtering. Contrary to the demand for thinner and smaller devices. There is a problem that the non-light emitting portion becomes large.

一方、特許文献1や3に記載されるように電極材料にニッケル以外の材料を用いたり、ニッケルからなる本体にニッケル以外の材料からなる層を設けることで、スパッタリングを抑制することが考えられる。しかし、Mo,Nb,Taなどといった材料は、電極に加工しにくかったり、電極に加工できても、この材料からなる電極は、インナーリード線などと接合しにくいという問題がある。また、特許文献1,3に挙げられるMo,Nb,Taなどの材料は比較的高価であり、この材料からなる電極を用いる場合、かなりのコストアップになる。   On the other hand, as described in Patent Documents 1 and 3, it is conceivable to suppress sputtering by using a material other than nickel as the electrode material or providing a layer made of a material other than nickel on the main body made of nickel. However, materials such as Mo, Nb, and Ta are difficult to process into electrodes, and even if they can be processed into electrodes, there is a problem that an electrode made of this material is difficult to join with an inner lead wire or the like. Further, materials such as Mo, Nb, and Ta described in Patent Documents 1 and 3 are relatively expensive, and when an electrode made of this material is used, the cost is considerably increased.

他方、電極に電子放出を促す物質、例えば、ランタン化合物、セシウム化合物、イットリウム化合物、バリウム化合物などを塗布することが提案されている。しかし、これら電子放出物質は、ランプ点灯中、放電により生じたイオンの衝突を受けて飛散してしまうため、より一層の長寿命化が難しい。   On the other hand, it has been proposed to apply a substance that promotes electron emission, such as a lanthanum compound, a cesium compound, an yttrium compound, and a barium compound, to the electrode. However, these electron-emitting materials are scattered by receiving collision of ions generated by discharge during lamp operation, and thus it is difficult to further extend the life.

そこで、本発明の主目的は、冷陰極蛍光ランプの長寿命化、高輝度化に寄与することができる電極材料、電極、電極部材を提供することにある。また、本発明の他の目的は、より長寿命で高輝度な冷陰極蛍光ランプ、及びこの冷陰極蛍光ランプを具える液晶表示装置を提供することにある。   Therefore, a main object of the present invention is to provide an electrode material, an electrode, and an electrode member that can contribute to a long life and high luminance of a cold cathode fluorescent lamp. Another object of the present invention is to provide a cold cathode fluorescent lamp having a longer life and higher brightness, and a liquid crystal display device including the cold cathode fluorescent lamp.

より高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプを得るべく、本発明者らは、ランプの構成部材において、特に電極に注目して鋭意検討を進めた。そして、高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプを実現するために電極として必要な特性は、1.放電し易い、2.電極表面が酸化し難い、3.水銀とアマルガムを形成し難い、4.スパッタリング速度が遅いことであるとの知見を得た。   In order to obtain a cold-cathode fluorescent lamp with higher brightness and longer life, the inventors of the present invention have made extensive studies with a particular focus on the electrodes in the lamp components. The characteristics required as an electrode to realize a cold cathode fluorescent lamp with high brightness and long life are: 1. easy to discharge; 2. The electrode surface is difficult to oxidize; 3. It is difficult to form mercury and amalgam. The knowledge that the sputtering rate was slow was obtained.

電極が放電し難い場合、放出される電子が少なくなる結果、紫外線が十分に放出されず、輝度を高くすることが難しくなる。これに対して、放電し易い電極は、輝度を高くし易いことから、放電し難い電極と同じ輝度で使用する場合、より長寿命とすることができる。また、放電し易い電極は、より低電力で電子の放出を行うことができるため、消費電力を低減することもできる。従って、電極は、放電し易い材料からなるものが望まれる。   When the electrode is difficult to discharge, the number of emitted electrons is reduced. As a result, ultraviolet rays are not sufficiently emitted, and it is difficult to increase the luminance. On the other hand, an electrode that is easy to discharge can easily increase the luminance, and therefore can have a longer life when used at the same luminance as an electrode that is difficult to discharge. In addition, since an electrode that is easily discharged can emit electrons with lower power, power consumption can be reduced. Accordingly, the electrode is preferably made of a material that is easily discharged.

また、電極表面に酸化被膜があると、放電性が阻害される。即ち、電極が放電しにくくなる。ここで、電極を製造する際や得られた電極を用いて蛍光ランプを製造する際(電極とインナーリード線との接合時など)に電極材料や電極が加熱されることがある。電極材料が酸素ガスを吸着し易い場合、この加熱により、電極表面に酸化被膜が形成され易くなる。これに対して、酸素ガスを吸着し難い電極材料からなる電極は、その表面に酸化被膜が形成されにくく、放電性の低下を低減することができる。従って、電極は、酸素ガスを吸着し難い材料からなるものが望まれる。   Moreover, if there is an oxide film on the electrode surface, the discharge performance is inhibited. That is, the electrode is difficult to discharge. Here, the electrode material or the electrode may be heated when the electrode is manufactured or when the fluorescent lamp is manufactured using the obtained electrode (for example, when the electrode and the inner lead wire are joined). When the electrode material easily adsorbs oxygen gas, this heating makes it easy to form an oxide film on the electrode surface. On the other hand, an electrode made of an electrode material that hardly adsorbs oxygen gas is unlikely to form an oxide film on its surface, and can reduce a decrease in discharge performance. Therefore, the electrode is preferably made of a material that hardly adsorbs oxygen gas.

更に、電極材料が水銀とアマルガムを形成し易いと、この電極材料からなる電極は、スパッタリングの際、水銀の消費を早め、結果として蛍光ランプの寿命を短くする。これに対して、アマルガムを形成し難い電極材料からなる電極は、水銀の消費を遅くして寿命をより長くすることができる。従って、電極は、アマルガムを形成し難い材料からなるものが好ましい。   Furthermore, if the electrode material is liable to form mercury and amalgam, an electrode made of this electrode material accelerates the consumption of mercury during sputtering, and consequently shortens the life of the fluorescent lamp. On the other hand, an electrode made of an electrode material that is difficult to form amalgam can extend the life by slowing the consumption of mercury. Therefore, the electrode is preferably made of a material that hardly forms amalgam.

加えて、電極がスパッタリングを起こし易い、即ち、スパッタリング速度が速いと、電極の消費を早め、結果として蛍光ランプの寿命を短くする。これに対して、スパッタリングを起こし難い電極は、ガラス管内にスパッタリング層を形成しにくいことから輝度の低下が低減されるため、スパッタリングを生じ易い電極と比較して、長時間に亘って高輝度である。従って、電極は、スパッタリングを起こし難い、即ち、スパッタリング速度が遅い材料からなるものが望まれる。   In addition, if the electrode is prone to sputtering, that is, if the sputtering rate is high, consumption of the electrode is accelerated, and as a result, the life of the fluorescent lamp is shortened. On the other hand, an electrode that is less likely to cause sputtering is less likely to form a sputtering layer in the glass tube, and thus a reduction in luminance is reduced. is there. Therefore, it is desirable that the electrode is made of a material that hardly causes sputtering, that is, has a low sputtering rate.

上記の特性に加えて、本発明者らは、より低コストとするためにMoやNbなどといった高価な材料を単体で用いない電極材料(成分)について検討した。その結果、電極材料の成分として、比較的安価なNiを用いたNi合金が好ましいとの知見を得た。そこで、本発明電極材料は、Ni合金により構成する。   In addition to the above characteristics, the present inventors have studied electrode materials (components) that do not use expensive materials such as Mo and Nb alone in order to reduce costs. As a result, it was found that a Ni alloy using relatively inexpensive Ni is preferable as a component of the electrode material. Therefore, the electrode material of the present invention is composed of a Ni alloy.

上記Ni合金として、Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Si,Al,Y,Mg,In,希土類元素からなる基準グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上5.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなるものが挙げられる。つまり、この電極材料は、特定の添加元素を特定の範囲で含むNi合金で構成されることを特徴とする。このような特定組成のNi合金からなる電極材料で作製された電極は、放電し易く、スパッタリング速度が遅い。また、この電極材料からなる電極は、酸化被膜が形成されにくく、アマルガムを形成し難い。従って、上記電極材料からなる電極を用いることで、高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプが得られる。   From the reference group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Si, Al, Y, Mg, In, and rare earth elements as the Ni alloy A total of at least one element selected from 0.001% by mass to 5.0% by mass, with the balance being Ni and impurities. That is, this electrode material is characterized by being composed of a Ni alloy containing a specific additive element in a specific range. An electrode made of an electrode material made of a Ni alloy having such a specific composition is easy to discharge and has a low sputtering rate. Moreover, the electrode which consists of this electrode material cannot form an oxide film easily, and does not form amalgam easily. Therefore, a cold cathode fluorescent lamp with high brightness and long life can be obtained by using the electrode made of the above electrode material.

或いは、冷陰極蛍光ランプの電極に用いられる電極材料として、Ni合金からなり、仕事関数が4.7eV未満であるものが挙げられる。仕事関数とは、固体表面から一つの電子を真空中に取り出すのに必要とする最小のエネルギーである。仕事関数が小さいほど、電子を取り出し易い、つまり、放電し易い材料と言える。本発明者らは、冷陰極蛍光ランプの電極に望まれる放電特性を仕事関数で評価した結果、4.7eV未満が好ましいとの知見を得た。この知見に基づき、この電極材料は、Ni合金で構成すると共に、特定の仕事関数を満たすものとする。このような電極材料からなる電極を用いることで、高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプが得られる。   Or as an electrode material used for the electrode of a cold cathode fluorescent lamp, what consists of Ni alloy and whose work function is less than 4.7 eV is mentioned. The work function is the minimum energy required to extract one electron from the solid surface into a vacuum. It can be said that the smaller the work function, the easier it is to extract electrons, that is, a material that is easier to discharge. As a result of evaluating the discharge characteristics desired for the electrode of the cold cathode fluorescent lamp by a work function, the present inventors have found that less than 4.7 eV is preferable. Based on this knowledge, the electrode material is made of an Ni alloy and satisfies a specific work function. By using an electrode made of such an electrode material, a cold cathode fluorescent lamp with high brightness and long life can be obtained.

或いは、冷陰極蛍光ランプの電極に用いられる電極材料として、Ni合金からなり、エッチングレートが22nm/min未満であるものが挙げられる。電極がスパッタリングを起こすと、電極において水銀イオンの衝突により原子が放出された部分は、窪みが生じて表面が荒れる。スパッタリングを起こし易い電極ほど、時間当たりの窪みの深さが大きくなる。この時間当たりの窪みの平均深さをエッチングレートとし、本発明者らは、冷陰極蛍光ランプの電極に望まれるスパッタリング状態をエッチングレートで評価した結果、22nm/min未満が好ましいとの知見を得た。この知見に基づき、この電極材料は、Ni合金で構成すると共に、特定のエッチングレートを満たすものとする。このような電極材料からなる電極を用いることで、高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプが得られる。なお、エッチングレートは、スパッタリング速度と実質的に同義であり、本発明では、エッチングレートを用いる。   Alternatively, an electrode material used for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp is made of a Ni alloy and has an etching rate of less than 22 nm / min. When the electrode is sputtered, a portion of the electrode where the atoms are released by the collision of mercury ions is depressed and the surface becomes rough. As the electrode is more susceptible to sputtering, the depth of the depression per time increases. As a result of evaluating the sputtering state desired for the electrode of the cold cathode fluorescent lamp with the etching rate, the inventors obtained the knowledge that the average depth of the depressions per hour is preferably 22 nm / min or less. It was. Based on this knowledge, the electrode material is made of an Ni alloy and satisfies a specific etching rate. By using an electrode made of such an electrode material, a cold cathode fluorescent lamp with high brightness and long life can be obtained. Note that the etching rate is substantially synonymous with the sputtering rate, and the etching rate is used in the present invention.

以下、本発明をより詳しく説明する。
本発明電極材料は、Ni合金からなるものとする。特に、添加元素としては、Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Si,Al,Y,Mg,In,希土類元素からなる基準グループから選ばれた少なくとも1種の元素が好ましい。添加元素は、上記基準グループから選択される1種の元素でもよいし、2種以上の複数の元素でもよい。添加元素の含有量は、0.001質量%以上5.0質量%以下が好ましい。複数種の添加元素を含有したNi合金とする場合、合計含有量が上記範囲を満たすように調整する。添加元素の含有量が0.001質量%未満では、添加元素の含有による高輝度化、長寿命化といった特性の改善効果が得られない。一方、この特性改善効果は、添加元素の含有量の増加に伴って向上する傾向にあるが、添加元素の含有量が5.0質量%で飽和すると考えられる。また、添加元素の含有量を5.0質量%超とすると、添加元素の増加によるコスト上昇を招く。更に、添加元素の増加は、電極材料を製造する際やこの電極材料から電極を製造する際の塑性加工性を低下させる。本発明電極材料は、後述するように溶解鋳造以降に圧延加工や伸線加工といった塑性加工を鋳造材に施して作製する。また、本発明電極材料を用いて電極を作製する場合、プレス加工や後述する鍛造加工といった塑性加工を電極材料に施して作製する。従って、電極材料を作製するための素材や電極材料の塑性加工性を低下させないようにするために添加元素の含有量の上限は、5.0質量%とする。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
The electrode material of the present invention is made of a Ni alloy. In particular, the additive elements include Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Si, Al, Y, Mg, In, and a standard composed of rare earth elements. At least one element selected from the group is preferred. The additive element may be one element selected from the above reference group or a plurality of two or more elements. The content of the additive element is preferably 0.001% by mass or more and 5.0% by mass or less. When it is set as Ni alloy containing multiple types of additive elements, it adjusts so that total content may satisfy | fill the said range. If the content of the additive element is less than 0.001% by mass, the effect of improving the characteristics such as high brightness and long life due to the inclusion of the additive element cannot be obtained. On the other hand, although this characteristic improvement effect tends to improve with the increase in the content of the additive element, it is considered that the content of the additive element is saturated at 5.0% by mass. Further, when the content of the additive element is more than 5.0% by mass, the cost is increased due to the increase of the additive element. Furthermore, the increase of the additive element reduces the plastic workability when manufacturing the electrode material and when manufacturing the electrode from the electrode material. As will be described later, the electrode material of the present invention is produced by subjecting a cast material to plastic processing such as rolling and wire drawing after melt casting. Moreover, when producing an electrode using the electrode material of the present invention, the electrode material is produced by subjecting the electrode material to plastic working such as press working or forging described later. Therefore, the upper limit of the content of the additive element is set to 5.0% by mass in order not to lower the plastic workability of the electrode material or the material for producing the electrode material.

上記基準グループは、Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Mg,In,からなる第一グループと、Be,Si,Al,Y,希土類元素からなる第二グループとに分け、いずれか一方のグループに含まれる元素を添加元素としてもよい。特に、上記第一グループから選ばれた少なくとも1種の元素(以下、元素Iと呼ぶ)を添加元素とする場合、その含有量としては、0.001質量%以上2.0質量%以下が挙げられる。即ち、上記第一グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上2.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなる電極材料とすることができる。元素Iをこの範囲で含有するNi合金により電極材料を構成することで、上述した1〜4の特性を有する電極をより低コストで得られる。また、このNi合金からなる鋳造材は、圧延加工や伸線加工といった塑性加工が行える程度の加工性を有しており、上記塑性加工を施して電極材料を作製することができる。更に、この電極材料は、プレス加工や鍛造加工といった塑性加工が行える程度の加工性を十分に有しているため、上記塑性加工を施して電極を作製することができる。元素Iは、1種の元素でもよいし、2種以上の複数の元素でもよい。元素Iを複数種の元素とする場合、合計含有量が0.001〜2.0質量%となるように調整してNiに添加する。元素Iの含有量が0.001質量%未満では、元素Iの含有による特性の改善効果が得られない。一方、この特性改善効果は、元素Iの含有量が2.0質量%で飽和する傾向にある。また、2.0質量%を超えて元素Iを添加すると、製造コストを上昇させたり、塑性加工性を低下させる恐れがある。そのため、製造コストや塑性加工性を考慮すると、元素Iの含有量は、2.0質量%以下が好ましい。元素Iとしてより好ましい元素は、Mg,Ti,Hf,TiとZr,HfとZrから選択される元素である。特に、Mgの添加は、上記鋳造材の塑性加工性を改善する効果を有する。元素Iのより好ましい含有量は、合計で0.01質量%以上1.0質量%以下である。添加元素をより低減することで、電極材料のコストを低減できる。   The reference group includes a first group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Mg, In, Be, Si, Al, Y, It may be divided into a second group made of rare earth elements, and an element contained in one of the groups may be used as an additive element. In particular, when at least one element selected from the first group (hereinafter referred to as element I) is used as the additive element, the content is 0.001% by mass or more and 2.0% by mass or less. It is done. That is, it can be an electrode material containing at least one element selected from the first group in a total amount of 0.001% by mass to 2.0% by mass with the balance being Ni and impurities. By configuring the electrode material with a Ni alloy containing the element I in this range, the electrode having the above-described characteristics 1 to 4 can be obtained at a lower cost. Further, the cast material made of this Ni alloy has workability to such an extent that plastic processing such as rolling and wire drawing can be performed, and the electrode material can be produced by performing the plastic processing. Furthermore, since this electrode material has sufficient workability to such an extent that plastic working such as press working or forging can be performed, the electrode can be produced by performing the plastic working. The element I may be a single element or a plurality of two or more elements. When the element I is a plurality of kinds of elements, the total content is adjusted to 0.001 to 2.0% by mass and added to Ni. When the content of the element I is less than 0.001% by mass, the effect of improving the characteristics due to the content of the element I cannot be obtained. On the other hand, this characteristic improvement effect tends to be saturated when the content of element I is 2.0 mass%. Moreover, when element I is added exceeding 2.0 mass%, there exists a possibility that manufacturing cost may be raised or plastic workability may be reduced. For this reason, when the production cost and plastic workability are taken into consideration, the content of element I is preferably 2.0% by mass or less. More preferable elements as the element I are elements selected from Mg, Ti, Hf, Ti and Zr, and Hf and Zr. In particular, the addition of Mg has the effect of improving the plastic workability of the cast material. A more preferable content of the element I is 0.01% by mass or more and 1.0% by mass or less in total. The cost of the electrode material can be reduced by further reducing the additive elements.

上記第二グループから選ばれた少なくとも1種の元素(以下、元素IIと呼ぶ)のみを添加元素としてもよいが、上記特定範囲の元素Iと元素IIとを合わせて添加元素としてもよい。後者の場合、元素IIの含有量は、0.001質量%以上3.0質量%以下が挙げられる。即ち、電極材料は、上記第一グループから選択される1種以上の元素を合計で0.001〜2.0質量%含有し、かつ上記第二グループから選択される1種以上の元素を合計で0.001〜3.0質量%含有し、残部がNi及び不純物からなるものでもよい。元素Iに加えて、元素IIを0.001〜3.0質量%含有するNi合金により電極材料を構成し、この電極材料により製造された電極は、放電性、耐酸化性、耐スパッタリング性をより高めることができる。また、元素IIを0.001〜3.0質量%含有しても電極材料の塑性加工性にほとんど影響を与えることがない。この元素IIは、1種の元素でもよいし、2種以上の複数の元素でもよい。元素IIを複数種の元素とする場合、合計含有量が0.001〜3.0質量%となるように調整してNiに添加する。元素IIの含有量が0.001質量%未満では、元素IIの含有による効果が得られない。一方、この効果は、元素IIの含有量が3.0質量%で飽和する傾向にあり、3.0質量%を超えて添加すると、コスト上昇や電極材料の塑性加工性の低下を招く恐れがある。従って、製造コストや塑性加工性を考慮すると、元素IIの含有量は、3.0質量%以下が好ましい。元素IIとしてより好ましい元素は、Si,Al,Yである。特に、Yを添加元素とする場合、析出物が結晶粒界に存在することで、加熱時の結晶粒の成長や酸化を防止することができる。元素IIのより好ましい含有量は、合計で0.01質量%以上2.0質量%以下である。添加元素をより低減することで、電極材料のコストを低減できる。   Only at least one element selected from the second group (hereinafter referred to as element II) may be used as the additive element, but the elements I and II in the specific range may be combined as the additive element. In the latter case, the content of the element II is 0.001% by mass or more and 3.0% by mass or less. That is, the electrode material contains 0.001 to 2.0% by mass in total of one or more elements selected from the first group, and totals one or more elements selected from the second group. 0.001-3.0 mass%, and the balance may be made of Ni and impurities. In addition to element I, an electrode material is constituted by a Ni alloy containing 0.001 to 3.0% by mass of element II, and an electrode manufactured by this electrode material has discharge characteristics, oxidation resistance, and sputtering resistance. Can be increased. Further, even if the element II is contained in an amount of 0.001 to 3.0% by mass, the plastic workability of the electrode material is hardly affected. This element II may be one kind of element or two or more kinds of elements. When the element II is a plurality of types of elements, the total content is adjusted to 0.001 to 3.0% by mass and added to Ni. When the content of the element II is less than 0.001% by mass, the effect due to the content of the element II cannot be obtained. On the other hand, this effect tends to saturate when the content of the element II is 3.0% by mass, and if added over 3.0% by mass, the cost may increase and the plastic workability of the electrode material may decrease. is there. Therefore, considering the manufacturing cost and plastic workability, the content of the element II is preferably 3.0% by mass or less. More preferable elements as the element II are Si, Al, and Y. In particular, when Y is used as an additive element, the presence of precipitates at the grain boundaries can prevent the growth and oxidation of crystal grains during heating. A more preferable content of the element II is 0.01% by mass or more and 2.0% by mass or less in total. The cost of the electrode material can be reduced by further reducing the additive elements.

元素IIを添加したNi合金として、例えば、Ni−Y合金が挙げられる。酸化しやすいYをNiに添加する場合、適正な量のYをNi中に均一的に含有させることが困難であったり、Ni合金の塑性加工性を悪化させる傾向がある。そこで、Yを添加元素とする場合、脱酸、塑性加工性の劣化の抑制を目的として、Si,Mgを上記の範囲で添加することが好ましい。更に、Si,Mgの添加に加えて、後述するようにCの含有量を特定の範囲に調整することが好ましい。このようなNi−Y合金やNi−Y系合金を電極材料に利用することができる。   Examples of the Ni alloy to which the element II is added include a Ni-Y alloy. When adding easily oxidizable Y to Ni, it is difficult to uniformly contain an appropriate amount of Y in Ni, or the plastic workability of the Ni alloy tends to deteriorate. Therefore, when Y is used as an additive element, it is preferable to add Si and Mg in the above ranges for the purpose of suppressing deoxidation and deterioration of plastic workability. Furthermore, in addition to the addition of Si and Mg, it is preferable to adjust the C content to a specific range as described later. Such a Ni—Y alloy or a Ni—Y alloy can be used as an electrode material.

本発明電極材料を構成する金属であるNi合金は、主成分であるNiとして、例えば、純Ni(99.0質量%以上のNi及び不純物)を用い、この純Niに上記基準グループや第一グループ、第二グループから選択される元素を添加させて得るとよい。市販の純Niを利用してもよい。市販の純Ni(99質量%以上がNi)には、不純物としてCやSを含有したものがある。本発明者らが調べたところ、C及びSを合計で0.10質量%超含んだ電極は、輝度及び寿命の低下を招くとの知見を得た。また、Cの含有量が多い電極材料は、強度が上がる反面、塑性加工性が低下し、Sの含有量が多い電極材料は、脆化して、やはり塑性加工性が低下するとの知見を得た。従って、本発明電極材料は、CとSの含有量が合計で0.10質量%以下であることが好ましい。一方、CやSの含有量が0.001質量%未満となると、電極材料の強度が不足したり、電極材料を構成するNi合金の結晶粒が粗大化してプレス加工性や鍛造加工性に悪影響を与える恐れがある。従って、Ni合金には、CやSが合計で0.001質量%以上含まれていることが好ましい。C,Sの含有量を合計で0.001質量%以上0.10質量%以下にするには、CやSの含有量が少ないNiを利用したり、精錬により低減することが挙げられる。   The Ni alloy that is a metal constituting the electrode material of the present invention uses, for example, pure Ni (99.0% by mass or more of Ni and impurities) as Ni as a main component, and the above-mentioned reference group and first group are used for this pure Ni. An element selected from the group and the second group may be added. Commercially available pure Ni may be used. Some commercially available pure Ni (99% by mass or more is Ni) contains C and S as impurities. As a result of investigation by the present inventors, it has been found that an electrode containing C and S in total exceeding 0.10 mass% causes a decrease in luminance and life. In addition, the electrode material having a high C content increases the strength, but the plastic workability is lowered, and the electrode material having a high S content is embrittled, and the plastic workability is lowered. . Therefore, the electrode material of the present invention preferably has a total content of C and S of 0.10% by mass or less. On the other hand, when the content of C or S is less than 0.001% by mass, the strength of the electrode material is insufficient, or the crystal grains of the Ni alloy constituting the electrode material are coarsened, which adversely affects press workability and forge workability. There is a risk of giving. Therefore, it is preferable that the Ni alloy contains 0.001% by mass or more of C and S in total. In order to make the C and S contents 0.001 mass% or more and 0.10 mass% or less in total, it is possible to use Ni having a small content of C or S or to reduce it by refining.

Ni合金からなる本発明電極材料は、仕事関数が4.7eV未満であり、放電性に優れる。従って、本発明電極材料からなる電極は、放電し易く、高輝度化を実現する。また、本発明電極材料からなる電極を従来の電極と同じ輝度で利用する場合、寿命をより長くできることに加え、より小電流で高い輝度が得られるため、消費電力の低減をも図ることができる。仕事関数は、Ni合金に添加する添加元素の種類や含有量を適宜調整することで変化させることができる。上記添加元素の含有量が多くなると、仕事関数は、小さくなり易い。また、仕事関数が小さいほど電極の輝度は、高くなる傾向にある。より好ましい仕事関数は、4.3eV以下、更に好ましい仕事関数は、4.0eV以下である。仕事関数は、例えば、紫外線光電子分光分析法により測定することができる。   The electrode material of the present invention made of a Ni alloy has a work function of less than 4.7 eV and is excellent in dischargeability. Therefore, the electrode made of the electrode material of the present invention is easy to discharge and realizes high brightness. In addition, when an electrode made of the electrode material of the present invention is used with the same luminance as that of a conventional electrode, in addition to being able to have a longer lifetime, high luminance can be obtained with a smaller current, so that power consumption can be reduced. . The work function can be changed by appropriately adjusting the type and content of the additive element added to the Ni alloy. As the content of the additive element increases, the work function tends to decrease. Moreover, the luminance of the electrode tends to increase as the work function decreases. A more preferable work function is 4.3 eV or less, and a still more preferable work function is 4.0 eV or less. The work function can be measured by, for example, ultraviolet photoelectron spectroscopy.

また、Ni合金からなる本発明電極材料は、エッチングレートが22nm/min未満であり、耐スパッタリング性に優れる。従って、本発明電極材料からなる電極は、スパッタリングされにくいことから長時間の使用でも輝度の低下が少なく、長寿命化を実現する。更に、本発明電極材料からなる電極を従来の電極と同じ寿命となるように利用する場合、本発明電極材料からなる電極は、スパッタリングされにくいことから、長期に亘り輝度が高い状態を維持でき、高輝度化を実現する。加えて、スパッタリングされにくいことから、本発明電極材料からなる電極は、大電流により輝度を高めた場合にスパッタリング層が形成されにくく、輝度の低下や寿命の低下を低減することができる。エッチングレートは、Ni合金に添加する添加元素の種類や含有量を適宜調整することで変化させることができる。上記添加元素の含有量が多くなると、エッチングレートは、小さくなり易い。また、エッチングレートが小さいほど、寿命が長くなる傾向にある。より好ましいエッチングレートは、20nm/min以下、更に好ましいエッチングレートは、18nm/min以下、特に好ましいエッチングレートは、16nm/min以下である。エッチングレートは、以下のようにして測定する。電極材料を真空装置内に配置して、不活性元素のイオン照射を所定時間行い、照射後の電極材料の表面粗さを測定し、表面粗さを照射時間で割った値(表面粗さ/照射時間)をエッチングレートとする。   In addition, the electrode material of the present invention made of a Ni alloy has an etching rate of less than 22 nm / min and is excellent in sputtering resistance. Therefore, since the electrode made of the electrode material of the present invention is difficult to be sputtered, the luminance is hardly lowered even when it is used for a long time, and a long life is realized. Furthermore, when the electrode made of the electrode material of the present invention is used so as to have the same life as the conventional electrode, the electrode made of the electrode material of the present invention is difficult to be sputtered, so that it can maintain a high luminance state over a long period of time. Achieve high brightness. In addition, since it is difficult to be sputtered, in the electrode made of the electrode material of the present invention, when the luminance is increased by a large current, it is difficult to form a sputtering layer, and a reduction in luminance and a reduction in life can be reduced. The etching rate can be changed by appropriately adjusting the type and content of the additive element added to the Ni alloy. As the content of the additive element increases, the etching rate tends to decrease. Moreover, the lifetime tends to be longer as the etching rate is lower. A more preferable etching rate is 20 nm / min or less, a still more preferable etching rate is 18 nm / min or less, and a particularly preferable etching rate is 16 nm / min or less. The etching rate is measured as follows. The electrode material is placed in a vacuum device, ion irradiation of an inert element is performed for a predetermined time, the surface roughness of the electrode material after irradiation is measured, and the value obtained by dividing the surface roughness by the irradiation time (surface roughness / Irradiation time) is defined as an etching rate.

本発明電極材料は、板状材としてもよいし、線状材(ワイヤ)としてもよい。板状材は、例えば、溶解→鋳造→熱間圧延→冷間圧延及び熱処理により得られる。線状材は、例えば、溶解→鋳造→熱間圧延→冷間伸線及び熱処理により得られる。より具体的には、主成分のNi及び添加元素、特に、基準グループ、第一グループ、第二グループのいずれかのグループから選択される元素を用意し、これらを真空溶解炉や大気溶解炉などで溶解して、Ni合金の溶湯を得る。この溶湯を適宜調整し(例えば、真空溶解炉による溶解の場合、温度調整を行ったり、大気溶解炉による溶解の場合、精錬などにより不純物や介在物を除去又は低減したり、温度調整を行ったりする)、真空鋳造といった鋳造により鋳塊を得る。本発明電極材料を板状材とする場合、この鋳塊に熱間圧延を施し、圧延板材を得る。この圧延板材に冷間圧延と熱処理とを繰り返し行い、板状の本発明電極材料を得る。一方、本発明電極材料を線状材とする場合、この鋳塊に熱間圧延を施し、圧延線材を得る。この圧延線材に冷間伸線と熱処理とを繰り返し行い、線状の本発明電極材料を得る。本発明電極材料が板状材、線状材のいずれであっても、最終熱処理(軟化処理)は、水素雰囲気下、又は窒素雰囲気下で700〜1000℃、特に、800〜900℃程度で行うことが好ましい。   The electrode material of the present invention may be a plate-like material or a wire-like material (wire). The plate-like material is obtained, for example, by melting → casting → hot rolling → cold rolling and heat treatment. The linear material is obtained, for example, by melting → casting → hot rolling → cold drawing and heat treatment. More specifically, Ni as a main component and an additive element, in particular, an element selected from any one of a reference group, a first group, and a second group are prepared, and these are prepared in a vacuum melting furnace, an atmospheric melting furnace, or the like To obtain a molten Ni alloy. Adjust this molten metal as appropriate (for example, in the case of melting in a vacuum melting furnace, adjust the temperature, in the case of melting in an atmospheric melting furnace, remove or reduce impurities and inclusions by refining, etc., or adjust the temperature. Ingots are obtained by casting such as vacuum casting. When the electrode material of the present invention is a plate-like material, the ingot is hot-rolled to obtain a rolled plate material. The rolled plate material is repeatedly subjected to cold rolling and heat treatment to obtain a plate-like electrode material of the present invention. On the other hand, when the electrode material of the present invention is a linear material, the ingot is hot-rolled to obtain a rolled wire material. This rolled wire is repeatedly subjected to cold drawing and heat treatment to obtain a linear electrode material of the present invention. Regardless of whether the electrode material of the present invention is a plate-like material or a wire-like material, the final heat treatment (softening treatment) is performed at 700 to 1000 ° C., particularly about 800 to 900 ° C. in a hydrogen atmosphere or a nitrogen atmosphere. It is preferable.

上述のようにして得られた本発明電極材料に含まれる水素の含有量は、質量割合で0.1ppm以上20ppm以下であることが好ましい。電極材料の水素含有量が質量割合で20ppm超であると、この電極材料により得られた電極は、インナーリード線との接合部分が脆化し易く、接合強度の低下を起こしたり、この電極が不純物ガスを生じる発生源となり、ランプ内で不純物ガスが発生されることで、ランプの寿命低下につながる。一方、水素含有量が質量割合で0.1ppm未満の場合、この電極材料からなる電極にコバールなどからなるインナーリード線を溶接する際、電極が酸化変色し易くなる。より好ましい水素含有量は、質量割合で1ppm以上10ppm以下である。電極材料の水素含有量を質量割合で0.1ppm以上20ppm以下とするには、例えば、上記電極材料の製造にあたり上記最終熱処理の雰囲気を調整することが挙げられる。例えば、最終熱処理の雰囲気を水素雰囲気とするとき、水素含有量を調整したり、窒素雰囲気などの水素以外の雰囲気とすることが挙げられる。窒素雰囲気にて最終熱処理を行った電極材料やこの電極材料からなる電極は、水素含有量が質量割合で10ppm以下となる。   The content of hydrogen contained in the electrode material of the present invention obtained as described above is preferably 0.1 ppm to 20 ppm by mass ratio. If the hydrogen content of the electrode material is more than 20 ppm by mass, the electrode obtained from this electrode material tends to become brittle at the joint with the inner lead wire, causing a decrease in joint strength, It becomes a source for generating gas, and impurity gas is generated in the lamp, which leads to a reduction in lamp life. On the other hand, when the hydrogen content is less than 0.1 ppm by mass, when the inner lead wire made of Kovar or the like is welded to the electrode made of this electrode material, the electrode is likely to be oxidized and discolored. A more preferable hydrogen content is 1 ppm or more and 10 ppm or less by mass ratio. In order to adjust the hydrogen content of the electrode material to 0.1 ppm or more and 20 ppm or less in terms of mass ratio, for example, adjusting the atmosphere of the final heat treatment in producing the electrode material can be mentioned. For example, when the atmosphere of the final heat treatment is a hydrogen atmosphere, the hydrogen content may be adjusted, or an atmosphere other than hydrogen, such as a nitrogen atmosphere. The electrode material that has been subjected to the final heat treatment in a nitrogen atmosphere or an electrode made of this electrode material has a hydrogen content of 10 ppm or less by mass ratio.

また、本発明者らが調べたところ、電極材料を構成する合金の結晶粒が微細である場合、この電極材料からなる電極の長寿命化、高輝度化に効果があるとの知見を得た。具体的には、平均結晶粒径が70μm以下であることが好ましい。より好ましい平均結晶粒径は、50μm以下、更に好ましくは20μm以下である。電極材料を構成する合金の平均結晶粒径は、添加元素の種類や含有量を調整したり、電極材料の製造時における最終熱処理条件により調整することができる。例えば、最終熱処理において、加熱温度(熱処理温度)を比較的高い温度とし、加熱時間を短くすれば、粒成長を促進しないようにすることができる。具体的には、熱処理温度を700〜1000℃、特に800℃程度とし、板状材の場合、移動速度を50℃/sec以上、線状材の場合、線速を50℃/sec以上とすることが挙げられる。移動速度や線速を大きくすると、平均結晶粒径は小さくなる傾向にある。平均結晶粒径70μm以下の電極材料を用いて電極を製造する際、プレス加工や鍛造加工、インナーリード線の接合などにより、電極を構成するNi合金の結晶粒径が若干変化する。しかし、電極の結晶粒径は、上記電極材料の結晶粒径に基本的に依存し、概ね平均結晶粒径が70μm以下となる。   Further, as a result of investigations by the present inventors, it was found that when the crystal grains of the alloy constituting the electrode material are fine, it is effective in extending the life and increasing the brightness of the electrode made of this electrode material. . Specifically, the average crystal grain size is preferably 70 μm or less. A more preferable average crystal grain size is 50 μm or less, and further preferably 20 μm or less. The average crystal grain size of the alloy constituting the electrode material can be adjusted by adjusting the kind and content of the additive element or by the final heat treatment conditions during the production of the electrode material. For example, in the final heat treatment, if the heating temperature (heat treatment temperature) is set to a relatively high temperature and the heating time is shortened, the grain growth can be prevented from being promoted. Specifically, the heat treatment temperature is 700 to 1000 ° C., particularly about 800 ° C., the movement speed is 50 ° C./sec or more in the case of a plate-like material, and the linear velocity is 50 ° C./sec or more in the case of a linear material. Can be mentioned. When the moving speed or linear velocity is increased, the average crystal grain size tends to decrease. When an electrode is manufactured using an electrode material having an average crystal grain size of 70 μm or less, the crystal grain size of the Ni alloy constituting the electrode is slightly changed by press working, forging, joining of inner lead wires, or the like. However, the crystal grain size of the electrode basically depends on the crystal grain size of the electrode material, and the average crystal grain size is generally 70 μm or less.

本発明電極材料を板状材とする場合、この板状材を所定形状にプレス加工することでカップ状の電極を簡単に製造することができる。プレス加工によりカップ状の電極を作製すると、板状材に廃棄部分が生じるため、歩留まりを低下させ、その分コスト高を招き易い。しかし、従来の電極製造装置(プレス装置)を使用することができるため、設備コストの低減により、コストの低減を図ることができる。   When the electrode material of the present invention is a plate-like material, a cup-shaped electrode can be easily produced by pressing the plate-like material into a predetermined shape. When a cup-shaped electrode is produced by press working, a waste portion is generated in the plate-like material, so that the yield is lowered and the cost is easily increased accordingly. However, since a conventional electrode manufacturing apparatus (pressing apparatus) can be used, the cost can be reduced by reducing the equipment cost.

一方、本発明電極材料を線状材(ワイヤ)とする場合、棒状体の電極や、カップ状の電極が簡単に得られる。前者の場合、所定長にワイヤを切断することで棒状の電極を製造できる。後者の場合、ワイヤを切断して所定長の短尺材とし、この短尺材に鍛造加工を施して有底筒状に成形することで、カップ状の電極を製造できる。本発明電極材料は、Ni合金にて構成することで、高輝度化、長寿命化を図ることに加えて、上述のように添加元素による塑性加工性の低下が抑制されており、鍛造加工といった比較的強加工の塑性加工を十分施すことができる。このように線状の本発明電極材料は、切断や鍛造加工により電極を製造することができるため、棒状の電極、カップ状の電極のいずれを製造する場合であっても廃棄部分がほとんど生じないことから歩留まりがよく、電極の製造コストの低減を図ることができる。また、上記線状の本発明電極材料に鍛造加工を施してカップ状の電極を作製する場合、底部の厚さを側面部分の厚さと比較してより厚くすることが簡単にできる。底部の厚さが厚い電極を用いると、電極底面とコバールなどからなるインナーリード線との接合強度をより高めることができ、高品質の蛍光ランプを提供することができる。電極底面とインナーリード線とを溶接などにて接合するにあたり、接合強度不足を防止するためには、電極底部の厚さを電極側面部分よりも厚くすることが有効である。一般的には、電極底部の厚さが側面部分の厚さの4倍程度であると、十分な接合強度を得るのに効果がある。板状材にプレス加工を施してカップ状の電極を作製する場合、底部のみを厚くすることに限界があり、せいぜい側面部分の厚さの2倍が限度である。これに対して、線状体(短尺材)に鍛造加工を施してカップ状の電極を作製する場合、電極底部のみを2倍以上に厚くすることが容易である。従って、線状の電極材料とする場合、電極の製造に際して歩留まりの向上及び低コスト化に加えて、ランプの品質をより向上することができる。   On the other hand, when the electrode material of the present invention is a linear material (wire), a rod-shaped electrode or a cup-shaped electrode can be easily obtained. In the former case, a rod-shaped electrode can be manufactured by cutting a wire to a predetermined length. In the latter case, a cup-shaped electrode can be manufactured by cutting a wire into a short material having a predetermined length, forging the short material into a bottomed cylindrical shape. The electrode material of the present invention is made of an Ni alloy, so that the reduction in plastic workability due to the additive element is suppressed as described above, in addition to increasing the brightness and extending the service life. Relatively strong plastic processing can be performed sufficiently. As described above, since the electrode material of the present invention can be manufactured by cutting or forging, there is almost no waste portion even when either a rod-shaped electrode or a cup-shaped electrode is manufactured. Therefore, the yield is good and the manufacturing cost of the electrode can be reduced. In addition, when a cup-shaped electrode is produced by subjecting the above-described linear electrode material of the present invention to a forging process, the thickness of the bottom portion can be easily made larger than the thickness of the side surface portion. When an electrode having a thick bottom portion is used, the bonding strength between the bottom surface of the electrode and an inner lead made of Kovar can be further increased, and a high-quality fluorescent lamp can be provided. In joining the bottom surface of the electrode and the inner lead wire by welding or the like, it is effective to make the thickness of the bottom portion of the electrode thicker than the side surface portion of the electrode in order to prevent insufficient joining strength. In general, when the thickness of the electrode bottom is about four times the thickness of the side surface, it is effective to obtain a sufficient bonding strength. When producing a cup-shaped electrode by pressing a plate-like material, there is a limit to thickening only the bottom, and at most twice the thickness of the side surface. On the other hand, when forging a linear body (short material) to produce a cup-shaped electrode, it is easy to make only the electrode bottom portion more than twice as thick. Therefore, in the case of using a linear electrode material, it is possible to further improve the quality of the lamp in addition to the improvement in yield and cost reduction in the manufacture of the electrode.

上記特定組成を有するNi合金からなる電極を具えることで、より高輝度で長寿命な冷陰極蛍光ランプが得られる。即ち、内壁面に蛍光体層を有し、内部に希ガス及び水銀が封入されるガラス管、又は内壁面に蛍光体層を有し、内部に希ガスが封入されるガラス管と、この管内の端部に配置させる電極とを具える冷陰極蛍光ランプであって、電極がTi,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Si,Al,Y,Mg,In,希土類元素からなる基準グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上5.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなる冷陰極蛍光ランプは、高輝度化、長寿命化を実現する。特に、電極は、一端が開口し、他端が有底であるカップ状とすると、ホローカソード効果による耐スパッタリング性の向上を図ることができる。このカップ状の電極は、上述のように本発明電極材料にプレス加工や鍛造加工を施すことで簡単に得られる。このカップ状の電極を一対用意し、両電極の開口部が対向するようにガラス管内に両電極を配置した蛍光ランプとしてもよいし、このカップ状の電極を一つ用意してガラス管内の片端にのみ配置させた蛍光ランプとしてもよい。   By providing an electrode made of a Ni alloy having the above specific composition, a cold cathode fluorescent lamp with higher brightness and longer life can be obtained. That is, a glass tube having a phosphor layer on the inner wall and enclosing a rare gas and mercury, or a glass tube having a phosphor layer on the inner wall and enclosing a rare gas inside, A cold cathode fluorescent lamp having electrodes arranged at the ends of the electrodes, wherein the electrodes are Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Si , Al, Y, Mg, In, at least one element selected from the reference group consisting of rare earth elements in a total of 0.001% by mass to 5.0% by mass, with the balance being Ni and impurities. Cathode fluorescent lamps achieve higher brightness and longer life. In particular, when the electrode has a cup shape with one end open and the other end bottomed, the sputtering resistance can be improved by the hollow cathode effect. The cup-shaped electrode can be easily obtained by subjecting the electrode material of the present invention to press working or forging as described above. A pair of cup-shaped electrodes may be prepared, and a fluorescent lamp may be provided in which both electrodes are arranged in the glass tube so that the openings of both electrodes face each other. One cup-shaped electrode is prepared, and one end of the glass tube is prepared. It is good also as a fluorescent lamp arrange | positioned only to.

上記電極は、1.Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Mg,Inからなる第一グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上2.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなるもの、2.上記第一グループから選択される1種以上の元素を合計で0.001〜2.0質量%含有し、かつBe,Si,Al,Y,希土類元素からなる第二グループから選択される1種以上の元素を合計で0.001〜3.0質量%含有し、残部がNi及び不純物からなるものとしてもよい。   The electrodes are: 0.001 mass in total of at least one element selected from the first group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Mg, In 1 to 2.0% by mass, with the balance being Ni and impurities. One kind selected from the second group consisting of Be, Si, Al, Y and rare earth elements, containing 0.001 to 2.0% by mass in total of one or more elements selected from the first group It is good also as what contains 0.001-3.0 mass% of the above elements in total, and a remainder consists of Ni and an impurity.

上記特定の組成を有するNi合金からなる電極や本発明電極材料は、耐酸化性に優れており、電極製造時や、インナーリード線との接合時などで、酸化被膜が形成されにくい。具体的には、電極の表面に形成される酸化被膜の厚さを1μm以下とすることができる。従って、この電極は、放電性の劣化が少なく、ランプの高輝度化、長寿命化を図ることができる。酸化被膜のより好ましい厚さは、0.3μm以下である。添加元素としてTi,Zr,Hfを含むNi合金からなる電極の場合、特に酸化被膜が形成され難く、その厚さを0.3μm以下とすることができる。酸化被膜の形成され易さは、電極を構成する合金の組成に影響し、上記特定組成のNi合金にて形成された電極の場合、酸化被膜の厚さは、1μm以下となる。また、電極材料の製造時において熱処理を酸素以外の雰囲気下で行うことで、電極材料に酸化被膜が形成されることを防止できる。   The electrode made of a Ni alloy having the above specific composition and the electrode material of the present invention are excellent in oxidation resistance, and it is difficult to form an oxide film at the time of manufacturing the electrode or joining to the inner lead wire. Specifically, the thickness of the oxide film formed on the surface of the electrode can be 1 μm or less. Therefore, this electrode is less likely to be deteriorated in discharge performance, and can increase the brightness and life of the lamp. A more preferable thickness of the oxide film is 0.3 μm or less. In the case of an electrode made of a Ni alloy containing Ti, Zr, and Hf as additive elements, an oxide film is particularly difficult to form, and the thickness can be made 0.3 μm or less. The ease with which the oxide film is formed affects the composition of the alloy constituting the electrode, and in the case of an electrode formed of the Ni alloy having the specific composition, the thickness of the oxide film is 1 μm or less. Further, when the electrode material is manufactured, heat treatment is performed in an atmosphere other than oxygen, so that an oxide film can be prevented from being formed on the electrode material.

Ni合金からなる本発明電極材料は、冷陰極蛍光ランプの電極に要求される放電性、耐スパッタリング性を満たす。特に、特定組成のNi合金からなる本発明電極材料は、冷陰極蛍光ランプの電極に要求される放電性、耐酸化性、水銀に対する耐反応性、耐スパッタリング性を十分に具える。そのため、本発明電極材料から製造された電極や上記特定組成のNi合金からなる電極を具える本発明冷陰極蛍光ランプは、電極を大型化することなく、より一層の高輝度化及び長寿命化を実現することができる。   The electrode material of the present invention made of Ni alloy satisfies the discharge property and sputtering resistance required for the electrode of the cold cathode fluorescent lamp. In particular, the electrode material of the present invention made of a Ni alloy having a specific composition has sufficient discharge characteristics, oxidation resistance, resistance to mercury, and sputtering resistance required for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp. Therefore, the cold cathode fluorescent lamp of the present invention comprising an electrode manufactured from the electrode material of the present invention and an electrode made of a Ni alloy having the above specific composition can achieve higher brightness and longer life without increasing the size of the electrode. Can be realized.

また、本発明電極材料は、上記電極に要求される特性に加えて、プレス加工や鍛造加工といった塑性加工性にも優れる。特に、線状の本発明電極材料に鍛造加工を施すことで、耐スパッタリング性に優れるカップ状の電極を簡単に低コストで製造することができる。   The electrode material of the present invention is excellent in plastic workability such as press working and forging in addition to the characteristics required for the electrode. In particular, by subjecting the linear electrode material of the present invention to forging, a cup-like electrode having excellent sputtering resistance can be easily produced at low cost.

図1は、冷陰極蛍光ランプの概略構成を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a cold cathode fluorescent lamp.

以下、本発明の実施の形態を説明する。
表1,2に示す成分組成(金属No.1〜36)のNi合金を用いて、冷陰極蛍光ランプ用電極を作製した。電極は、二種類の形状の異なる電極材料から作製した。具体的には、線状の電極材料と、板状の電極材料とを用意した。線状の電極材料には、鍛造加工を施すことでカップ状の電極を作製し、板状の電極材料には、プレス加工を施すことでカップ状の電極を作製した。
Embodiments of the present invention will be described below.
Cold cathode fluorescent lamp electrodes were prepared using Ni alloys having the component compositions (metal Nos. 1-36) shown in Tables 1 and 2. The electrodes were made from two different types of electrode materials. Specifically, a linear electrode material and a plate-like electrode material were prepared. A cup-shaped electrode was manufactured by forging the linear electrode material, and a cup-shaped electrode was manufactured by pressing the plate-shaped electrode material.

<線状の電極材料>
線状の電極材料は、以下のように作製した。通常の真空溶解炉を用いて表1,2に示す成分組成を有する金属の溶湯を作製し、溶湯温度を適宜調整して真空鋳造により、鋳塊を得た。得られた鋳塊を熱間圧延により線径5.5mmφまで加工し、圧延線材を得た。この圧延線材に冷間伸線及び熱処理を組み合わせて施し、得られた線材に最終熱処理(軟化処理)を施して、線径1.6mmφの軟材を得た。軟化処理は、温度を800℃、線速を10〜150℃/secの範囲で適宜選択し、窒素雰囲気又は水素雰囲気として行った(表3〜6に示す試料のうち、水素含有量が10ppm以下の試料が窒素雰囲気)。また、主成分としたNiは、市販の純Ni(99.0質量%以上Ni)を用い、精錬具合を変化することで、C及びSの合計含有量を変化させた(この点は、後述する板状の電極材料も同様である)。
<Linear electrode material>
The linear electrode material was produced as follows. Metal melts having the component compositions shown in Tables 1 and 2 were prepared using a normal vacuum melting furnace, and the melt temperature was adjusted as appropriate to obtain an ingot by vacuum casting. The obtained ingot was processed to a wire diameter of 5.5 mmφ by hot rolling to obtain a rolled wire. The rolled wire was subjected to a combination of cold drawing and heat treatment, and the obtained wire was subjected to final heat treatment (softening treatment) to obtain a soft material having a wire diameter of 1.6 mmφ. The softening treatment was performed as a nitrogen atmosphere or a hydrogen atmosphere by appropriately selecting the temperature in the range of 800 ° C. and the linear velocity in the range of 10 to 150 ° C./sec. Sample in a nitrogen atmosphere). Moreover, as the main component Ni, a commercially available pure Ni (99.0% by mass or more Ni) was used, and the total content of C and S was changed by changing the refining condition (this point will be described later) The same applies to plate-shaped electrode materials).

<板状の電極材料>
板状の電極材料は、以下のように作製した。上記線状の電極材料と同様の手法で、表1,2に示す成分組成の金属の溶湯から鋳塊を作製した。得られた鋳塊に熱間圧延を施し、厚さ4.2mmの圧延板材を得た。この圧延板材に熱処理を施した後、表面を切削し、厚さ4.0mmの処理板材を得た。この処理板材に冷間圧延及び熱処理を繰り返し行い、得られた板材に最終熱処理(軟化処理)を施して、厚さ0.2mmの板状の軟材を得た。軟化処理は、温度を800℃、移動速度を10〜150℃/secの範囲で適宜選択し、窒素雰囲気又は水素雰囲気として行った。
<Plate-shaped electrode material>
The plate-like electrode material was produced as follows. Ingots were produced from molten metal having the component compositions shown in Tables 1 and 2 in the same manner as the above linear electrode material. The obtained ingot was hot-rolled to obtain a rolled plate material having a thickness of 4.2 mm. After heat-treating this rolled sheet material, the surface was cut to obtain a treated sheet material having a thickness of 4.0 mm. This treated plate was repeatedly subjected to cold rolling and heat treatment, and the obtained plate was subjected to final heat treatment (softening treatment) to obtain a plate-like soft material having a thickness of 0.2 mm. The softening treatment was performed as a nitrogen atmosphere or a hydrogen atmosphere by appropriately selecting a temperature in the range of 800 ° C. and a moving speed in the range of 10 to 150 ° C./sec.

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得られた線状の軟材及び板状の軟材について、水素含有量(質量割合ppm)、軟材を構成する金属の平均結晶粒径(μm)、仕事関数(eV)、エッチングレート(nm/min)を測定した。その結果を表3〜6に示す(表3,4:線状の電極材料を用いた試料、表5,6:板状の電極材料を用いた試料)。水素含有量は、不活性ガス中融解−熱伝導度法により測定した(測定装置:堀場製作所製 EMGA−620)。金属の平均結晶粒径は、JIS G 0551に示す方法に準じて測定した。仕事関数は、紫外線光電子分光分析法により測定した。具体的には、前処理として、Arイオンエッチングを数分間実施した後、複合電子分光分析装置(PHI製 ESCA−5800 付属 UV−150HI)を用い、紫外線源:He I (21.22eV)/8W,測定時の真空度:3×10−9〜6×10−9torr(0.4×10−9〜0.8×10−9kPa),測定前のベース真空度:4×10−10torr(5.3×10−11kPa),印加バイアス:約−10V,エネルギー分解能:0.13eV,分析エリア:φ800μm 楕円形,分析深さ:約1nmとして測定した。エッチングレートは、鏡面研磨した軟材に真空装置内でアルゴンイオンを照射した後、表面粗さを測定し、照射時間と表面粗さとから求めた。前処理として、軟材に部分的にマスキングを行ってからイオン照射を行った。イオン照射は、X線光電子分光分析装置(PHI製 Quantum−2000)を用い、加速電圧:4kV,イオン種:Ar,照射時間:120min,真空度:2×10−8〜4×10−8torr(2.7×10−9〜5.3×10−9kPa),アルゴン圧:約15mPa,入射角度:試料面に対して約45度として行った。表面粗さの測定は、触針式表面形状測定器(Vecco社製 Dektak−3030)を用い、触針:ダイヤモンド 半径=5μm,針圧:20mg,走査距離:2mm,走査速度:Mediumとして行った。軟材においてイオン照射により表面に窪みができた箇所(マスキングされていない箇所)について窪みの平均深さを表面粗さとし、表面粗さ/照射時間(120min)をエッチングレートとした。 About the obtained linear soft material and plate-shaped soft material, the hydrogen content (mass ratio ppm), the average crystal grain size (μm) of the metal constituting the soft material, the work function (eV), the etching rate (nm) / Min). The results are shown in Tables 3 to 6 (Tables 3 and 4: Samples using linear electrode materials, Tables 5 and 6: Samples using plate-like electrode materials). The hydrogen content was measured by melting in an inert gas-thermal conductivity method (measuring device: EMGA-620 manufactured by Horiba, Ltd.). The average crystal grain size of the metal was measured according to the method shown in JIS G 0551. The work function was measured by ultraviolet photoelectron spectroscopy. Specifically, after performing Ar ion etching for several minutes as a pretreatment, a composite electron spectrometer (UV-150HI attached to ESCA-5800 manufactured by PHI) is used, and an ultraviolet source: He I (21.22 eV) / 8W , Vacuum degree during measurement: 3 × 10 −9 to 6 × 10 −9 torr (0.4 × 10 −9 to 0.8 × 10 −9 kPa), Base vacuum degree before measurement: 4 × 10 −10 Torr (5.3 × 10 −11 kPa), applied bias: about −10 V, energy resolution: 0.13 eV, analysis area: φ800 μm oval, analysis depth: about 1 nm. The etching rate was determined from the irradiation time and the surface roughness by measuring the surface roughness after irradiating the mirror-polished soft material with argon ions in a vacuum apparatus. As a pretreatment, ion irradiation was performed after partially masking the soft material. Ion irradiation uses an X-ray photoelectron spectrometer (Quantum-2000 manufactured by PHI), acceleration voltage: 4 kV, ion species: Ar + , irradiation time: 120 min, degree of vacuum: 2 × 10 −8 to 4 × 10 −8. Torr (2.7 × 10 −9 to 5.3 × 10 −9 kPa), argon pressure: about 15 mPa, incident angle: about 45 degrees with respect to the sample surface. The surface roughness was measured using a stylus type surface shape measuring instrument (Dektak-3030, manufactured by Vecco) with stylus: diamond radius = 5 μm, needle pressure: 20 mg, scanning distance: 2 mm, scanning speed: Medium. . In the soft material, the average depth of the dent was defined as the surface roughness of the portion where the surface was dented by ion irradiation (the portion not masked), and the surface roughness / irradiation time (120 min) was defined as the etching rate.

次に、得られた線状の軟材を所定長(1.0mm)に切断し、得られた短尺材に冷間鍛造加工を施して、カップ状の電極を作製した。その結果、いずれの組成を有する軟材もカップ状の電極(外径1.6mmφ、長さ3.0mm、開口部の直径1.4mmφ、開口部の深さ2.6mm、底部の厚さ0.4mm)を得ることができた。   Next, the obtained linear soft material was cut into a predetermined length (1.0 mm), and the obtained short material was subjected to cold forging to produce a cup-shaped electrode. As a result, the soft material having any composition is a cup-shaped electrode (outer diameter 1.6 mmφ, length 3.0 mm, opening diameter 1.4 mmφ, opening depth 2.6 mm, bottom thickness 0). .4 mm) could be obtained.

また、得られた板状の軟材を所定の大きさ(10mm角)に切断し、得られた板状片に冷間プレス加工を施して、カップ状の電極を作製した。その結果、いずれの組成を有する軟材もカップ状の電極(外径1.6mmφ、長さ3.0mm、開口部の直径1.4mmφ、開口部の深さ2.8mm、底部の厚さ0.2mm)を得ることができた。   Further, the obtained plate-like soft material was cut into a predetermined size (10 mm square), and the obtained plate-like piece was subjected to cold pressing to produce a cup-shaped electrode. As a result, the soft material having any composition is a cup-shaped electrode (outer diameter 1.6 mmφ, length 3.0 mm, opening diameter 1.4 mmφ, opening depth 2.8 mm, bottom thickness 0). .2 mm) could be obtained.

得られた電極において、電極を構成する金属の酸化被膜の厚さ(μm)を測定した。その結果を表3〜6に示す(表3,4:線状の電極材料を用いた試料、表5,6:板状の電極材料を用いた試料)。酸化被膜の厚さは、電極を切断し、電極表面をオージェ電子分光法により測定して求めた。なお、得られた電極について、上記と同様にして水素含有量、平均結晶粒径を測定したところ、軟材の場合とほぼ同様であった。   In the obtained electrode, the thickness (μm) of the metal oxide film constituting the electrode was measured. The results are shown in Tables 3 to 6 (Tables 3 and 4: Samples using linear electrode materials, Tables 5 and 6: Samples using plate-like electrode materials). The thickness of the oxide film was determined by cutting the electrode and measuring the electrode surface by Auger electron spectroscopy. In addition, when the hydrogen content and the average crystal grain size of the obtained electrode were measured in the same manner as described above, it was almost the same as that of the soft material.

次に、得られた電極を用いて図1に示すような冷陰極蛍光ランプを作製した。具体的には、以下の手順で作製した。コバールからなるインナーリード線と銅被覆Ni合金線からなるアウターリード線とを溶接し、上記電極の底面にインナーリード線を溶接して接続し、インナーリード線の外周にビードガラスを溶着させる。このような電極部材を二つ用意する。また、内壁面に蛍光体層(本試験ではハロリン酸塩蛍光体層)を有し、両端が開口したガラス管を用意し、開口した管の一端に一方の電極部材を挿入し、ビードガラスと管とを溶着して、管の一端を封止すると共に、電極部材を管内に固定する。次に、開口したガラス管の他端から真空引きして希ガス(本試験ではArガス)及び水銀を導入し、同様に他方の電極部材を固定すると共にガラス管を封止する。この手順により、一対の電極の開口部が対向するように配置された冷陰極蛍光ランプを得る。各組成の電極についてそれぞれ、上記一対の電極部材を作製し、これら電極部材を用いて冷陰極蛍光ランプを作製する。これら蛍光ランプについて、輝度と寿命を調べた。本試験では、ニッケルからなる電極を具える試料No.50A,50Bの冷陰極蛍光ランプの中央輝度(43000cd/m)及び寿命を100とし、その他の試料No.1A〜38A,1B〜38Bの輝度及び寿命を相対的に表わした。その結果を表3〜6に示す。なお、寿命は、中央輝度が50%になったときとした。 Next, a cold cathode fluorescent lamp as shown in FIG. 1 was produced using the obtained electrode. Specifically, it was produced by the following procedure. An inner lead wire made of Kovar and an outer lead wire made of a copper-coated Ni alloy wire are welded, and the inner lead wire is welded and connected to the bottom surface of the electrode, and bead glass is welded to the outer periphery of the inner lead wire. Two such electrode members are prepared. In addition, a glass tube having a phosphor layer (in this test, a halophosphate phosphor layer) on the inner wall surface and having both ends opened is prepared, and one electrode member is inserted into one end of the opened tube, The tube is welded to seal one end of the tube and fix the electrode member in the tube. Next, a vacuum is drawn from the other end of the opened glass tube to introduce a rare gas (Ar gas in this test) and mercury, and similarly, the other electrode member is fixed and the glass tube is sealed. By this procedure, a cold cathode fluorescent lamp is obtained in which the openings of the pair of electrodes are opposed to each other. For each electrode of each composition, the pair of electrode members are prepared, and a cold cathode fluorescent lamp is manufactured using these electrode members. These fluorescent lamps were examined for brightness and life. In this test, Sample No. having an electrode made of nickel was used. The center luminance (43000 cd / m 2 ) and lifetime of cold cathode fluorescent lamps of 50A and 50B were set to 100. The luminance and life of 1A to 38A and 1B to 38B were expressed relatively. The results are shown in Tables 3-6. The lifetime was set when the central luminance reached 50%.

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表3,4に示すように、Ni合金からなる電極を具える試料No.1A〜38Aの蛍光ランプは、ニッケルからなる電極を具える試料No.50Aの蛍光ランプと比較して、高輝度で長寿命である。また、表5,6に示すように、Ni合金からなる電極を具える試料No.1B〜38Bの蛍光ランプは、ニッケルからなる電極を具える試料No.50Bの蛍光ランプと比較して、高輝度で長寿命である。これは、金属No.1〜36がニッケル単体の金属No.50と比較して、仕事関数及びエッチングレートが小さい材料、つまり、放電され易く、スパッタリング速度が遅い材料であるためと考えられる。また、Ni合金からなる金属No.1〜36は、ニッケル単体の金属No.50と比較して、酸化被膜が形成され難いことから放電性を劣化させにくく、水銀とアマルガムを形成し難い材料であるためと考えられる。   As shown in Tables 3 and 4, Sample No. having electrodes made of Ni alloy. The fluorescent lamps of 1A to 38A have sample Nos. 1 and 4 having electrodes made of nickel. Compared with 50A fluorescent lamp, it has high brightness and long life. In addition, as shown in Tables 5 and 6, Sample No. having electrodes made of Ni alloy. The fluorescent lamps 1B to 38B have sample No. 1 with electrodes made of nickel. Compared with 50B fluorescent lamp, it has high brightness and long life. This is a metal no. Nos. 1-36 are metal numbers of nickel simple substance. This is considered to be because the material has a lower work function and etching rate compared to 50, that is, a material that is easily discharged and has a low sputtering rate. Also, a metal No. made of Ni alloy. 1 to 36 are nickel No. metal Nos. Compared to 50, it is considered that the oxide film is hard to be formed, so that the discharge property is hardly deteriorated, and it is difficult to form mercury and amalgam.

試料No.1A〜38A,1B〜38Bの蛍光ランプのうち、軟化処理を窒素雰囲気下で行うことで水素含有量が低減されたNi合金、具体的には水素含有量が質量割合で10ppm以下のNi合金からなる電極を具えた蛍光ランプは、より長寿命、高輝度であった。更に、線速又は移動速度を50℃/sec以上とした試料は、Ni合金の平均結晶粒径が70μm以下であった。そして、試料No.1A〜38A,1B〜38Bの蛍光ランプのうち、平均結晶粒径が70μm以下のNi合金からなる電極を具えた蛍光ランプは、より長寿命、高輝度であった。加えて、試料No.1A〜38A,1B〜38Bの蛍光ランプのうち、C及びSの合計含有量が0.001〜0.1質量%のNi合金からなる電極を具えた蛍光ランプは、より長寿命、高輝度であった。   Sample No. Among the fluorescent lamps of 1A to 38A and 1B to 38B, from a Ni alloy whose hydrogen content is reduced by performing softening treatment in a nitrogen atmosphere, specifically, a Ni alloy having a hydrogen content of 10 ppm or less by mass ratio The fluorescent lamp provided with the electrode has a longer life and higher brightness. Furthermore, the sample whose linear velocity or moving velocity was 50 ° C./sec or more had an average crystal grain size of Ni alloy of 70 μm or less. And sample no. Among the fluorescent lamps of 1A to 38A and 1B to 38B, the fluorescent lamp having an electrode made of a Ni alloy having an average crystal grain size of 70 μm or less has a longer life and higher luminance. In addition, sample no. Among fluorescent lamps of 1A to 38A and 1B to 38B, a fluorescent lamp having an electrode made of a Ni alloy having a total content of C and S of 0.001 to 0.1% by mass has a longer life and higher luminance. there were.

以上説明した本発明によれば、以下の構成を得ることができる。
(付記1)
Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Si,Al,Y,Mg,In,希土類元素(Yを除く)からなる基準グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上5.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなり、
冷陰極蛍光ランプの電極に用いられることを特徴とする電極材料。
According to the present invention described above, the following configuration can be obtained.
(Appendix 1)
From a reference group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Si, Al, Y, Mg, In, rare earth elements (excluding Y) Containing at least one selected element in a total of 0.001% by mass or more and 5.0% by mass or less, with the balance being Ni and impurities,
An electrode material used for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp.

(付記2)
基準グループに含まれる元素のうち、Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Mg,Inからなる第一グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上2.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなることを特徴とする付記1に記載の電極材料。
(Appendix 2)
Among the elements included in the reference group, at least one selected from the first group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Mg, In The electrode material according to supplementary note 1, wherein the total amount of elements is 0.001% by mass or more and 2.0% by mass or less, and the balance is Ni and impurities.

(付記0)
前記基準グループのうち、Al及びYの少なくとも1種の元素を含有することを特徴とする付記1に記載の電極材料。
(Appendix 0)
The electrode material according to appendix 1, wherein the electrode material contains at least one element selected from the group consisting of Al and Y.

(付記3)
仕事関数が4.7eV未満であることを特徴とする付記0〜2のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 3)
The electrode material according to any one of appendices 0 to 2, wherein the work function is less than 4.7 eV.

(付記4)
エッチングレートが22nm/min未満であることを特徴とする付記0〜3のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 4)
The electrode material according to any one of appendices 0 to 3, wherein the etching rate is less than 22 nm / min.

(付記5)
Ni合金からなり、仕事関数が4.7eV未満であり、冷陰極蛍光ランプの電極に用いられることを特徴とする電極材料。
(Appendix 5)
An electrode material comprising a Ni alloy, having a work function of less than 4.7 eV, and being used for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp.

(付記6)
Ni合金からなり、エッチングレートが22nm/min未満であり、冷陰極蛍光ランプの電極に用いられることを特徴とする電極材料。
(Appendix 6)
An electrode material comprising an Ni alloy, having an etching rate of less than 22 nm / min, and being used for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp.

(付記7)
C及びSの含有量が合計で0.001質量%以上0.10質量%以下であることを特徴とする付記0〜6のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 7)
The electrode material according to any one of appendices 0 to 6, wherein the total content of C and S is 0.001% by mass or more and 0.10% by mass or less.

(付記8)
水素含有量が質量割合で0.1ppm以上20ppm以下であることを特徴とする付記0〜7のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 8)
8. The electrode material according to any one of appendices 0 to 7, wherein the hydrogen content is 0.1 ppm or more and 20 ppm or less by mass ratio.

(付記9)
前記電極材料を構成する金属の平均結晶粒径が70μm以下であることを特徴とする付記0〜8のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 9)
9. The electrode material according to any one of appendices 0 to 8, wherein an average crystal grain size of a metal constituting the electrode material is 70 μm or less.

(付記10)
前記電極材料は、板状材であることを特徴とする付記0〜9のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 10)
The electrode material according to any one of appendices 0 to 9, wherein the electrode material is a plate-like material.

(付記11)
前記電極材料は、線状材であることを特徴とする付記0〜9のいずれかに記載の電極材料。
(Appendix 11)
The electrode material according to any one of appendices 0 to 9, wherein the electrode material is a linear material.

(付記12)
付記11に記載の前記線状材を切断し、所定長の短尺材を得る工程と、
前記短尺材に鍛造加工を施し、有底筒状に成形して電極を得る工程とを具えることを特徴とする冷陰極蛍光ランプ用電極の製造方法。
(Appendix 12)
Cutting the linear material according to appendix 11 to obtain a short material having a predetermined length;
A method of manufacturing an electrode for a cold cathode fluorescent lamp, comprising: forging the short material, and forming the electrode by forming into a bottomed cylindrical shape.

(付記13)
付記0〜11のいずれかに記載の電極材料により形成され、
冷陰極蛍光ランプに用いられることを特徴とする電極。
(Appendix 13)
Formed of the electrode material according to any one of appendices 0 to 11,
An electrode used for a cold cathode fluorescent lamp.

(付記14)
付記13に記載の電極と、
前記電極の底面に接続されたインナーリード線、及びこのインナーリード線に接続されたアウターリード線と、
前記インナーリード線の外周に溶着されたビードガラスとを具えることを特徴とする電極部材。
(Appendix 14)
The electrode according to appendix 13,
An inner lead connected to the bottom surface of the electrode, and an outer lead connected to the inner lead;
An electrode member comprising a bead glass welded to the outer periphery of the inner lead wire.

(付記15)
内壁面に蛍光体層を有し、内部に希ガス及び水銀、又は希ガスが封入されるガラス管と、
前記ガラス管の端部に固定された付記14に記載の電極部材とを具え、
前記ガラス管と前記電極部材のビードガラスとを溶着して、前記ガラス管を封止すると共に、前記電極をガラス管内の端部に固定していることを特徴とする冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 15)
A glass tube having a phosphor layer on the inner wall surface, in which rare gas and mercury, or rare gas is enclosed;
The electrode member according to supplementary note 14 fixed to an end of the glass tube,
A cold cathode fluorescent lamp characterized in that the glass tube and a bead glass of the electrode member are welded to seal the glass tube, and the electrode is fixed to an end portion in the glass tube.

(付記16)
内壁面に蛍光体層を有し、内部に希ガス及び水銀、又は希ガスが封入されるガラス管と、
前記ガラス管内の端部に配置される電極とを具え、
前記電極は、
Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Si,Al,Y,Mg,In,希土類元素からなる基準グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上5.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなり、
一端が開口し、他端が有底のカップ状であることを特徴とする冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 16)
A glass tube having a phosphor layer on the inner wall surface, in which rare gas and mercury, or rare gas is enclosed;
Comprising an electrode disposed at an end in the glass tube,
The electrode is
At least one selected from a reference group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Si, Al, Y, Mg, In, and rare earth elements. Contains 0.001% by mass or more and 5.0% by mass or less of seed elements in total, and the balance consists of Ni and impurities,
A cold cathode fluorescent lamp characterized in that one end is open and the other end is a bottomed cup shape.

(付記17)
前記電極は、基準グループに含まれる元素のうち、Ti,Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Mg,Inからなる第一グループから選ばれた少なくとも1種の元素を合計で0.001質量%以上2.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなることを特徴とする付記16に記載の冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 17)
The electrode is selected from the first group consisting of Ti, Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Mg, and In among elements included in the reference group. The cold-cathode fluorescent lamp according to appendix 16, wherein the total amount of at least one element is 0.001% by mass or more and 2.0% by mass or less, and the balance is Ni and impurities.

(付記18)
前記電極は、C及びSの含有量が合計で0.001質量%以上0.10質量%以下であることを特徴とする付記16又は17に記載の冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 18)
The cold cathode fluorescent lamp according to appendix 16 or 17, wherein the electrode has a total content of C and S of 0.001 mass% or more and 0.10 mass% or less.

(付記19)
前記電極は、水素含有量が質量割合で0.1ppm以上20ppm以下であることを特徴とする付記16〜18のいずれかに記載の冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 19)
The cold cathode fluorescent lamp according to any one of appendices 16 to 18, wherein the electrode has a hydrogen content of 0.1 ppm to 20 ppm by mass ratio.

(付記20)
前記電極を構成する金属の平均結晶粒径が70μm以下であることを特徴とする付記16〜19のいずれかに記載の冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 20)
The cold cathode fluorescent lamp according to any one of appendices 16 to 19, wherein an average crystal grain size of a metal constituting the electrode is 70 μm or less.

(付記21)
前記電極の表面に形成される酸化被膜の厚さが1μm以下であることを特徴とする付記16〜20のいずれかに記載の冷陰極蛍光ランプ。
(Appendix 21)
The cold cathode fluorescent lamp according to any one of appendices 16 to 20, wherein the thickness of the oxide film formed on the surface of the electrode is 1 µm or less.

(付記22)
付記15〜21のいずれかに記載の冷陰極蛍光ランプを具えることを特徴とする液晶表示装置。
(Appendix 22)
A liquid crystal display device comprising the cold cathode fluorescent lamp according to any one of appendices 15 to 21.

本発明電極材料は、冷陰極蛍光ランプの電極に好適に利用することができ、本発明電極、及び本発明電極部材は、冷陰極蛍光ランプの構成部品に好適に利用することができる。また、本発明冷陰極蛍光ランプは、例えば、液晶ディスプレイのバックライト用光源、小型ディスプレイのフロントライト用光源、複写機やスキャナなどの原稿照射用光源、複写機のイレイサー用光源といった種々の電力機器の光源として好適に利用することができる。   The electrode material of the present invention can be suitably used for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp, and the electrode of the present invention and the electrode member of the present invention can be suitably used for a component of a cold cathode fluorescent lamp. In addition, the cold cathode fluorescent lamp of the present invention includes various power devices such as a light source for backlight of a liquid crystal display, a light source for front light of a small display, a light source for irradiating a document such as a copying machine or a scanner, and a light source for an eraser of a copying machine. It can be suitably used as a light source.

100 冷陰極蛍光ランプ 101 蛍光体層 102 ガラス管
103 電極 104 アウターリード線 105 インナーリード線
106 ビードガラス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Cold cathode fluorescent lamp 101 Phosphor layer 102 Glass tube 103 Electrode 104 Outer lead wire 105 Inner lead wire 106 Bead glass

Claims (13)

Si及びAlと、
Hf,Zr,V,Fe,Nb,Mo,Mn,W,Sr,Ba,B,Th,Be,Y,Mg,In,希土類元素(但し、Yを除く)からなる元素群から選ばれた少なくとも1種の元素とを合計で0.001質量%以上5.0質量%以下含有し、残部がNi及び不純物からなり、
冷陰極蛍光ランプの電極に用いられることを特徴とする電極材料。
Si and Al,
At least selected from the group consisting of Hf, Zr, V, Fe, Nb, Mo, Mn, W, Sr, Ba, B, Th, Be, Y, Mg, In, and rare earth elements (excluding Y) 1 type element and 0.001 mass% or more and 5.0 mass% or less in total, the remainder consists of Ni and impurities,
An electrode material used for an electrode of a cold cathode fluorescent lamp.
前記元素群のうち、Y,Fe,Mn,Mgから選ばれた少なくとも1種の元素を含有することを特徴とする請求項1に記載の電極材料。   2. The electrode material according to claim 1, comprising at least one element selected from Y, Fe, Mn, and Mg in the element group. Si及びAlを合計で0.2質量%以上含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の電極材料。   The electrode material according to claim 1 or 2, containing Si and Al in a total amount of 0.2% by mass or more. Si及びAlと、前記元素群の元素とを合計で0.65質量%以上5.0質量%以下含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電極材料。   The electrode material according to any one of claims 1 to 3, wherein Si and Al and the elements of the element group are contained in a total of 0.65 mass% or more and 5.0 mass% or less. C及びSの含有量が合計で0.001質量%以上0.10質量%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電極材料。   The electrode material according to any one of claims 1 to 4, wherein the total content of C and S is 0.001% by mass or more and 0.10% by mass or less. 水素含有量が質量割合で0.1ppm以上20ppm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の電極材料。   The electrode material according to claim 1, wherein the hydrogen content is 0.1 ppm to 20 ppm by mass ratio. 前記電極材料は、板状材であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の電極材料。   The electrode material according to claim 1, wherein the electrode material is a plate-like material. 前記電極材料は、線状材であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の電極材料。   The electrode material according to claim 1, wherein the electrode material is a linear material. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の電極材料により形成され、
冷陰極蛍光ランプに用いられることを特徴とする電極。
It is formed by the electrode material according to any one of claims 1 to 8,
An electrode used for a cold cathode fluorescent lamp.
請求項8に記載の電極材料により形成され、
底面部と、側面部とを有するカップ状の電極であり、
前記底面部の厚さが前記側面部の厚さの2倍以上であり、
冷陰極蛍光ランプに用いられることを特徴とする電極。
It is formed by the electrode material according to claim 8,
A cup-shaped electrode having a bottom surface portion and a side surface portion;
The thickness of the bottom portion is at least twice the thickness of the side portion;
An electrode used for a cold cathode fluorescent lamp.
請求項9又は10に記載の電極と、
前記電極の底面に接続されたインナーリード線、及びこのインナーリード線に接続されたアウターリード線と、
前記インナーリード線の外周に溶着されたビードガラスとを具えることを特徴とする電極部材。
The electrode according to claim 9 or 10,
An inner lead connected to the bottom surface of the electrode, and an outer lead connected to the inner lead;
An electrode member comprising a bead glass welded to the outer periphery of the inner lead wire.
内壁面に蛍光体層を有し、内部に希ガス及び水銀、又は希ガスが封入されるガラス管と、
前記ガラス管の端部に固定された請求項11に記載の電極部材とを具え、
前記ガラス管と前記電極部材のビードガラスとを溶着して、前記ガラス管を封止すると共に、前記電極をガラス管内の端部に固定していることを特徴とする冷陰極蛍光ランプ。
A glass tube having a phosphor layer on the inner wall surface, in which rare gas and mercury, or rare gas is enclosed;
The electrode member according to claim 11 fixed to an end of the glass tube,
A cold cathode fluorescent lamp characterized in that the glass tube and a bead glass of the electrode member are welded to seal the glass tube, and the electrode is fixed to an end portion in the glass tube.
請求項12に記載の冷陰極蛍光ランプを具えることを特徴とする液晶表示装置。   A liquid crystal display device comprising the cold cathode fluorescent lamp according to claim 12.
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