JP4609161B2 - Soldering method and soldering apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、半田付け方法、及び半田付け装置に関するものである。 The present invention relates to a soldering method and a soldering apparatus.
半田付け方法の一種として、レーザ光を用いて二つの金属部材を半田付けする方法が知られている。例えば、下記特許文献1〜4には、光源からの光を加熱対象の金属部材に照射することによって半田を溶融させて、半田付けを行なう方法が開示されている。
しかしながら、上述した従来の半田付け方法では、二つの金属部材の一方に半田が偏って付着することがある。 However, in the conventional soldering method described above, the solder may be unevenly attached to one of the two metal members.
本発明は、二つの金属部材の両者に、半田を均一に付着させることが可能な半田付け方法を提供することを目的としている。また、本発明は、当該半田付け方法に好適な半田付け装置を提供することを目的としている。 An object of the present invention is to provide a soldering method capable of uniformly attaching solder to both of two metal members. Another object of the present invention is to provide a soldering apparatus suitable for the soldering method.
本発明の一側面に係る半田付け方法は、(a)第1の基材上に設けられた第1の金属部材と、第2の基材上に設けられた第2の金属部材とに跨るように半田を供給する第1のステップと、(b)第1の金属部材上に第1の光を照射し、第2の金属部材上に第2の光を照射する第2のステップと、を含み、(c)第1の金属部材と第2の金属部材のうち一方の金属部材の温度上昇率が、他方の金属部材の温度上昇率より大きく、(d)上記一方の金属部材に照射する光のパワーと該一方の金属部材の該光の吸収率との積が、上記他方の金属部材に照射する光のパワーと該他方の金属部材の該光の吸収率との積より小さい、ことを特徴としている。なお、ここでの温度上昇率は、所定パワーの光を所定時間与えたときの温度上昇量である。 A soldering method according to one aspect of the present invention extends to (a) a first metal member provided on a first base material and a second metal member provided on a second base material. A first step of supplying solder, and (b) a second step of irradiating the first metal member with the first light and irradiating the second metal member with the second light, (C) the temperature rise rate of one metal member of the first metal member and the second metal member is greater than the temperature rise rate of the other metal member, and (d) the one metal member is irradiated The product of the power of light and the light absorption rate of the one metal member is smaller than the product of the light power applied to the other metal member and the light absorption rate of the other metal member, It is characterized by that. Here, the temperature increase rate is the amount of temperature increase when light having a predetermined power is given for a predetermined time.
この半田付け方法によれば、第1の金属部材と第2の金属部材のうち温度上昇率が大きい一方の金属部材に照射する光のパワーと当該一方の金属部材の当該光の吸収率の積、即ちエネルギー付与量が、他方の金属部材におけるエネルギー付与量より小さくなっている。したがって、第1の金属部材の温度上昇速度と第2の金属部材の温度上昇速度とを互いに近づけることができる。その結果、第1の金属部材と第2の金属部材とに均一に半田を付着させることが可能になる。 According to this soldering method, the product of the power of light applied to one of the first metal member and the second metal member having a large temperature rise rate and the light absorption rate of the one metal member. That is, the energy application amount is smaller than the energy application amount in the other metal member. Therefore, the temperature increase rate of the first metal member and the temperature increase rate of the second metal member can be made closer to each other. As a result, it is possible to uniformly apply solder to the first metal member and the second metal member.
上記第2のステップにおいて、半田に第1の光及び第2の光を更に照射してもよい。この半田付け方法によれば、半田の温度上昇を早めることができる。その結果、半田付けに要する時間が短縮される。 In the second step, the solder may be further irradiated with the first light and the second light. According to this soldering method, the temperature rise of the solder can be accelerated. As a result, the time required for soldering is shortened.
上記第2のステップにおいて、半田に第3の光を更に照射してもよい。この場合にも、半田の温度上昇を早めることができるので、半田付けに要する時間が短縮される。 In the second step, the solder may be further irradiated with a third light. Also in this case, since the temperature rise of the solder can be accelerated, the time required for soldering is shortened.
また、第2のステップにおいて、第3の光のパワーを第1の光及び第2の光のパワーより先に低下させてもよい。この場合には、半田の温度が過度に上昇することを防止することができる。その結果、半田の酸化を低減することができる。 In the second step, the power of the third light may be reduced before the power of the first light and the second light. In this case, it is possible to prevent the solder temperature from rising excessively. As a result, solder oxidation can be reduced.
上記第2のステップにおいて、第1の光を第1のパワーで照射開始時からの所定時間照射し、該所定時間の経過後に第1の光を第2のパワーで照射し、第2の光を第3のパワーで照射開始時から所定時間照射し、該所定時間の経過後に第2の光のパワーを第4のパワーで照射することが好適である。ここで、第2のパワーは、半田の溶融温度より高温に第1の金属部材を加熱するためのパワーであり、第1のパワーは、第2のパワーより大きい。また、第4のパワーは、半田の溶融温度より高温に第2の金属部材を加熱するためのパワーであり、第3のパワーは、第4のパワーより大きい。この場合には、照射開始時から所定時間において高パワーの第1の光及び第2の光が照射されるので、第1の金属部材及び第2の金属部材を目標温度に到達させるまでの時間が短縮される。その結果、半田付けに要する時間が短縮される。 In the second step, the first light is irradiated with the first power for a predetermined time from the start of irradiation, and after the predetermined time has elapsed, the first light is irradiated with the second power, and the second light Is preferably irradiated for a predetermined time from the start of irradiation with the third power, and after the predetermined time has elapsed, the second light is irradiated with the fourth power. Here, the second power is a power for heating the first metal member to a temperature higher than the melting temperature of the solder, and the first power is larger than the second power. The fourth power is a power for heating the second metal member to a temperature higher than the melting temperature of the solder, and the third power is larger than the fourth power. In this case, since the high-power first light and second light are irradiated for a predetermined time from the start of irradiation, the time until the first metal member and the second metal member reach the target temperature. Is shortened. As a result, the time required for soldering is shortened.
第2のステップにおいて、第1の光を複数の第1のスポット光として照射し、第2の光を複数の第2のスポット光として照射し、第1のスポット光のうち第2の金属部材に近い位置に照射されるスポット光から順に該スポット光のパワーを低下させ、及び第2のスポット光のうち第1の金属部材に近い位置に照射されるスポット光から順に該スポット光のパワーを低下させることが好適である。この場合には、半田が付着した部分に照射されるスポット光のパワーが順次低下されるので、半田の過剰な加熱が防止される。また、第1の金属部材及び第2の金属部材における半田の流出速度が制御されるので、より均一な半田付けが実現される。 In the second step, the first light is irradiated as a plurality of first spot lights, the second light is irradiated as a plurality of second spot lights, and the second metal member of the first spot lights The power of the spot light is decreased in order from the spot light irradiated to a position near to the position, and the power of the spot light is decreased in order from the spot light irradiated to the position near the first metal member in the second spot light. It is preferable to lower. In this case, since the power of the spot light applied to the portion to which the solder is attached is sequentially reduced, excessive heating of the solder is prevented. In addition, since the outflow speed of the solder in the first metal member and the second metal member is controlled, more uniform soldering is realized.
本発明の他の一側面に係る半田付け装置は、(a)第1の領域と、第2の領域と、該第1の領域と該第2の領域との間に位置する第3の領域のうち該第1の領域に、第1の光を出射する第1の光照射手段と、(b)第2の領域に第2の光を出射する第2の光照射手段と、(c)第1の光のパワーと第2の光のパワーを制御する制御手段と、を備える。制御手段は、第1の光照射手段に第1の光を照射開始時からの所定時間第1のパワーで照射させ、該所定時間の経過後に第1の光を第1のパワーより小さい第2のパワーで照射させ、第2の光照射手段に第2の光を照射開始時からの所定時間第3のパワーで照射させ、該所定時間の経過後に第2の光を第3のパワーより小さい第4のパワーで照射させる。 A soldering apparatus according to another aspect of the present invention includes: (a) a first region, a second region, and a third region located between the first region and the second region. (B) a second light irradiating means for emitting a second light to the second region, and (c) a first light irradiating means for emitting the first light to the first region. Control means for controlling the power of the first light and the power of the second light. The control means causes the first light irradiating means to irradiate the first light with the first power for a predetermined time from the start of irradiation, and after the predetermined time has elapsed, the first light is smaller than the first power. The second light irradiation means is irradiated with the second light at a third power for a predetermined time from the start of irradiation, and the second light is smaller than the third power after the predetermined time has elapsed. Irradiate with fourth power.
この半田付け装置によれば、照射開始時から所定時間において高パワーの第1の光及び第2の光が照射されるので、第1の領域に設けられる第1の金属部材及び第2の領域に設けられる第2の金属部材を目標温度に到達させるまでの時間が短縮される。その結果、半田付けに要する時間が短縮される。 According to this soldering apparatus, since the first light and the second light with high power are irradiated for a predetermined time from the start of irradiation, the first metal member and the second region provided in the first region The time until the second metal member provided at the target temperature is reached is shortened. As a result, the time required for soldering is shortened.
また、本発明の半田付け装置は、(a)第1の領域と、第2の領域と、該第1の領域と該第2の領域との間に位置する第3の領域のうち該第1の領域に、第1の光を出射する第1の光照射手段と、(b)第2の領域に第2の光を出射する第2の光照射手段と、(c)第1の光のパワーと第2の光のパワーを制御する制御手段と、を備える。第1の光照射手段は、第1の光を複数の第1のスポット光として照射し、第2の光照射手段は、第2の光を複数の第2のスポット光として照射する。制御手段は、第1のスポット光のうち第2の領域に近い位置に照射されるスポット光から順に該スポット光のパワーを低下させ、及び第2のスポット光のうち第1の領域に近い位置に照射されるスポット光から順に該スポット光のパワーを低下させる。 The soldering apparatus according to the present invention includes (a) the first region, the second region, and the third region among the third region located between the first region and the second region. 1st light irradiation means which radiate | emits 1st light to 1 area | region, (b) 2nd light irradiation means which radiate | emits 2nd light to 2nd area | region, (c) 1st light And control means for controlling the power of the second light. The first light irradiation unit irradiates the first light as a plurality of first spot lights, and the second light irradiation unit irradiates the second light as a plurality of second spot lights. The control means decreases the power of the spot light sequentially from the spot light irradiated to the position close to the second area of the first spot light, and the position of the second spot light close to the first area The power of the spot light is decreased in order from the spot light irradiated on the surface.
この半田付け装置によれば、第1の領域に設けられる第1の金属部材及び第2の領域に設けられる第2の金属部材において半田が付着した部分に照射されるスポット光のパワーが順次低下されるので、半田の過剰な加熱が防止される。また、第1の金属部材及び第2の金属部材における半田の流出速度が制御されるので、より均一な半田付けが実現される。 According to this soldering apparatus, the power of the spot light applied to the portion where the solder adheres in the first metal member provided in the first region and the second metal member provided in the second region is sequentially reduced. Therefore, excessive heating of the solder is prevented. In addition, since the outflow speed of the solder in the first metal member and the second metal member is controlled, more uniform soldering is realized.
本発明によれば、二つの金属部材に均一に半田を付着させることが可能な半田付け方法が提供される。また、本発明によれば、当該半田付け方法に好適な半田付け装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a soldering method capable of uniformly attaching solder to two metal members. Further, according to the present invention, a soldering apparatus suitable for the soldering method is provided.
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals.
[第1の実施の形態] [First embodiment]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半田付け装置を概略的に示す斜視図である。図1に示す半田付け装置10は、第1の基材12上に設けられた第1の金属部材12aと第2の基材14上に設けられた第2の金属部材14aとを半田16によって半田付けするための装置である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a soldering apparatus according to a first embodiment of the present invention. A
第1の基材12としては、Au製の端子を第1の金属部材12aとして有する配線基板が例示される。第2の基材14としては、Au製の端子を第2の金属部材14aとして有するチップ部品が例示される。また、半田16としては、Sn−3Ag−0.5Cuといった錫(Sn)を含む半田が例示される。
An example of the
この半田付け装置10は、第1の光照射部20、第2の光照射部22、及び制御部24を備えている。第1の光照射部20は、第1の領域に第1の光L1を照射するユニットである。第2の光照射部22は、第2の領域に第2の光L2を照射するユニットである。
The
なお、第1の領域と第2の領域との間には第3の領域があり、この半田付け装置10を用いる半田付け方法においては、後述するように、第3の領域には半田16が配置される。また、第1の領域には、第1の金属部材12aの領域12bが配置され、第2の領域には、第2の金属部材14aの領域14bが配置される。領域12bは、第1の金属部材12aに含まれている領域であって半田が供給された半田供給領域26を除く領域であり、領域14bは第2の金属部材14aに含まれている領域であって半田供給領域26を除く領域である。
Note that there is a third region between the first region and the second region, and in the soldering method using this
第1の光照射部20は、光源20a及びレンズ20bを有している。光源20aは、第1の光L1を発生する。レンズ20bは、光源20aによって発生された第1の光L1を受けて、当該第1の光L1を第1の領域に照射する。
The first
第2の光照射部22は、光源22a及びレンズ22bを有している。光源22aは、第2の光L2を発生する。レンズ22bは、光源22aによって発生された第2の光L2を受けて、当該第2の光L2を第2の領域に照射する。
The second
なお、レンズ20bとレンズ22bに代えて、一つのレンズが第1の光照射部20及び第2の光照射部22に共用されていてもよい。
In addition, instead of the
また、光源20aとレンズ20bとの間、及び光源22aとレンズ22bとの間に、光ファイバがそれぞれ設けられていてもよい。レンズ20b及びレンズ22bは無くてもよく、この場合には、光ファイバの出射端が、第1の光照射部20及び第2の光照射部22の出射端となる。
Optical fibers may be provided between the
また、光源20aに代えて複数の光源を用い、当該複数の光源とレンズ20bとの間に、当該複数の光源からの光をそれぞれ導波するバンドルファイバと、バンドルファイバの出射端に接続された大口径の光ファイバとが設けられていてもよい。同様に、光源22aに代えて複数の光源を用い、当該複数の光源とレンズ22bとの間に、当該複数の光源からの光をそれぞれ導波するバンドルファイバと、バンドルファイバの出射端に接続された大口径の光ファイバとが設けられていてもよい。
Further, a plurality of light sources are used in place of the
第1の光L1及び第2の光L2は、中心波長が波長範囲200nm〜600nm内にあることが好適である。図2は、Au、及びSn(Sn−3Ag−0.5Cuの主成分)の光の吸収率の波長依存特性を示す図である。図2に示すように、Au製の金属部材は、波長600nm以下の光の吸収率が大きい。したがって、中心波長600nm以下の光を第1の光L1及び第2の光L2として用いることによって、第1の金属部材12a及び第2の金属部材14aを効率良く加熱することが可能になる。
The first light L1 and the second light L2 preferably have a center wavelength in the wavelength range of 200 nm to 600 nm. FIG. 2 is a diagram showing the wavelength dependence characteristics of the light absorptance of Au and Sn (the main component of Sn-3Ag-0.5Cu). As shown in FIG. 2, the metal member made of Au has a large light absorptance of light having a wavelength of 600 nm or less. Therefore, the
光源20a及び光源22aは、同種の光源であってもよく、異なる光源であってもよい。光源20a及び光源22aには、半導体素子を用いた光源を用いることができる。また、光源20a及び光源22aには、レーザダイオード(LD)、発光ダイオード(LED)、LD励起固体レーザ等を用いることができる。
The
例えば、中心波長が550nm以下であれば、信号機の青用光源として用いられ大量生産されている中心波長470nmの発光ダイオードを用いることができるので、高パワーであり且つ低廉な光源を有する半田付け装置10が実現される。中心波長390nm以上420nm以下であれば、高密度記録型デジタルビデオディスク光源として用いられ大量生産されている中心波長が400nmのレーザダイオードを用いることができるので、高パワーの且つ低廉な光源を有する半田付け装置10が実現される。また、中心波長が370nm以上であれば、光は可視光となり、目視や汎用的な可視光カメラで、光の位置、ビーム径など照射状態を容易に確認できる。
For example, if the center wavelength is 550 nm or less, a light emitting diode having a center wavelength of 470 nm, which is used as a blue light source for traffic lights and is mass-produced, can be used. Therefore, a soldering apparatus having a high power and low
なお、レーザダイオードとしては、中心波長400nmの青紫色レーザダイオードが例示される。発光ダイオードとしては、中心波長430nmのGaN製のLED、中心波長500nmのInGaN製のLED,中心波長550nmのGaP製のLED等が例示される。LD励起固体レーザとしては、中心波長355nmのNd−YAG3倍波レーザ、中心波長532nmのNd−YAG2倍波レーザ等が例示される。その他の光源としては、中心波長442nmのHe−Cdガスレーザ、中心波長488nm又は515nmのAr+ガスレーザ、中心波長248nmのKrFエキシマレーザ、中心波長308nmのXeClエキシマレーザ等が例示される。 An example of the laser diode is a blue-violet laser diode having a center wavelength of 400 nm. Examples of the light emitting diode include a GaN LED having a central wavelength of 430 nm, an InGaN LED having a central wavelength of 500 nm, and a GaP LED having a central wavelength of 550 nm. Examples of the LD-pumped solid-state laser include an Nd-YAG third harmonic laser with a center wavelength of 355 nm, an Nd-YAG second harmonic laser with a center wavelength of 532 nm, and the like. Examples of other light sources include a He—Cd gas laser having a central wavelength of 442 nm, an Ar + gas laser having a central wavelength of 488 nm or 515 nm, a KrF excimer laser having a central wavelength of 248 nm, and an XeCl excimer laser having a central wavelength of 308 nm.
制御部24は、第1の光照射部20及び第2の光照射部22を制御するデバイスである。制御部24は、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aのうち温度上昇率の大きい一方の金属部材に対するエネルギー付与量が、他方の金属部材に対するエネルギー付与量より小さくなるように、第1の光照射部20の光源20a及び第2の光照射部22の光源22aを制御する。
The
ここで、エネルギー付与量とは、部材に照射される光のパワーと当該部材の光の吸収率との積である。また、温度上昇率とは、所定パワーの光を所定時間与えたときの部材の温度上昇量である。この温度上昇率は、その部材自体の形状、また、その部材が形成されている基材にも依存する。したがって、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aは、同サイズ且つ同材料からなっていても、形成されている基材が異なるので、温度上昇率が異なっている。
Here, the amount of energy applied is the product of the power of light applied to the member and the light absorption rate of the member. The temperature increase rate is the amount of temperature increase of a member when light having a predetermined power is given for a predetermined time. This rate of temperature increase also depends on the shape of the member itself and the substrate on which the member is formed. Therefore, even if the
制御部24は、第1の光照射部20及び第2の光照射部22に照射させる光のパワーを時間に応じて制御してもよい。図3は、制御部による光のパワーの時間制御を説明するための図である。図3における(a)には、第1の光のパワーの時間変化が示されており、(b)には、第2の光のパワーの時間変化が示されており、(c)には、第1の金属部材12aおよび第2の金属部材14aにおける温度変化が示されている。
The
より具体的に、制御部24は、図3における(a)に示すように、第1の光照射部20に、照射開始時から所定時間T1において第1のパワーP1で第1の光L1を照射させる。また、制御部24は、所定時間T1の経過後、第1の光照射部20に、第2のパワーP2で第1の光L1を照射させる。
More specifically, as shown in FIG. 3A, the
ここで、第2のパワーP2は、半田16の溶融温度C1より高温の目標温度C2に第1の金属部材12aを維持するための第1の光L1のパワーである。例えば、第2のパワーP2は、半田16の溶融温度C1より40℃高い目標温度C2に第1の金属部材12aを維持するためのパワーであることができる。第1のパワーP1は、この第2のパワーP2より大きいパワーである。なお、半田16がSn−3Ag−0.5Cuからなる場合には、溶融温度C1は220℃であり、目標温度C2は260℃に設定される。
Here, the second power P2 is the power of the first light L1 for maintaining the
図3における(b)に示すように、制御部24は、第2の光照射部22に、照射開始時から所定時間T1において第3のパワーP3で第2の光L2を照射させる。また、制御部24は、所定時間T1の経過後、第2の光照射部22に、第4のパワーP4で第2の光L2を照射させる。
As shown in FIG. 3B, the
ここで、第4のパワーP4は、半田16の溶融温度C1より高温の目標温度C2に第2の金属部材14aを維持するための第2の光L2のパワーである。例えば、第4のパワーP4は、半田16の溶融温度C1より40℃高い目標温度C2に第2の金属部材14aを維持するためのパワーであることができる。また、第3のパワーP3は、この第4のパワーP4より大きいパワーである。
Here, the fourth power P4 is the power of the second light L2 for maintaining the
図3の(c)において一点鎖線で示されているように、第1の金属部材12aおよび第2の金属部材14aを目標温度C2に維持するための一定のパワーで第1の光照射部20及び第2の光照射部22から光を照射すると、目標温度に安定するまでの時間が長くなる。
As shown by the alternate long and short dash line in FIG. 3C, the first
一方、図3における(c)において実線で示されているように、第1の光照射部20及び第2の光照射部22から照射する光のパワーを、照射開始時から所定時間において、目標温度C1に第1の金属部材12aおよび第2の金属部材14aを維持するためのパワーより大きくすることによって、半田付けに要する時間を短くすることができる。
On the other hand, as indicated by a solid line in (c) of FIG. 3, the power of light emitted from the first
次に、この半田付け装置10を用いた半田付け方法について説明する。以下、図1を参照する。
Next, a soldering method using the
<第1のステップ> この半田付け方法では、まず、第1の基材12上に第2の基材14を搭載することによって、第1の金属部材12a上に第2の金属部材14aを配置する。なお、第1の基材12上に第2の基材14が予め搭載された組立体が用意されてもよい。次に、第1の金属部材12aおよび第2の金属部材14aとを跨ぐように半田16を供給する。そして、第1の光照射部20によって第1の光L1が照射される第1の領域に、第1の金属部材12aの領域12bを配置する。また、第2の光照射部22によって第2の光L2が照射される第2の領域に、第2の金属部材14aの領域14bを配置する。
<First Step> In this soldering method, first, the
<第2のステップ> 次いで、第1の光照射部20から第1の光L1を照射し、第2の光照射部22から第2の光L2を照射し、第1の金属部材12a及び第2の金属部材14aを加熱することによって、半田16を溶融させる。
<Second Step> Next, the first
この第2のステップにおいては、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aのうち温度上昇率の大きい一方の金属部材に対するエネルギー付与量が、他方の金属部材に対するエネルギー付与量より小さくなるように、第1の光L1及び第2の光L2が照射される。したがって、第1の金属部材12aの温度上昇速度と、第2の金属部材14aの温度上昇速度とを近づけることが可能になっている。その結果、第1の金属部材12a上への半田16の流出速度と第2の金属部材14a上への半田16の流出速度が近くなり、第1の金属部材12a及び第2の金属部材14aに半田16が均一に付着する。
In this second step, the amount of energy applied to one of the
なお、第1の光L1及び第2の光L2は、半田16に照射されてもよい。図4は、本発明の第1の実施形態の変形態様に係る半田付け方法を説明するための図である。図4に示すように、半田16にも第1の光照射部20から照射される第1の光L1及び第2の光照射部22から照射される第2の光L2を照射することによって、半田16の温度上昇を早めることができる。その結果、半田付けに要する時間が短縮される。
Note that the first light L <b> 1 and the second light L <b> 2 may be applied to the
[第2の実施の形態] [Second Embodiment]
図5は、本発明の第2の実施に係る半田付け装置を概略的に示す斜視図である。以下、図5に示す半田付け装置10B、及びこの半田付け装置10Bを用いた半田付け方法について、第1の実施の形態と異なる点について説明する。
FIG. 5 is a perspective view schematically showing a soldering apparatus according to the second embodiment of the present invention. Hereinafter, the
半田付け装置10Bは、第1の光照射部20及び第2の光照射部22に加えて、第3の光照射部28を更に備えている。第3の光照射部28は、第3の領域に第3の光L3を照射する。この第3の領域は、第1の光照射部20からの第1の光L1が照射される第1の領域と、第2の光照射部22からの第2の光L2が照射される第2の領域との間の領域である。
The
第3の光照射部28は、光源28a及びレンズ28bを有している。光源28aは、第3の光L3を発生する。レンズ28bは、光源28aによって発生された第3の光L3を受けて、当該第3の光L3を第3の領域に照射する。
The third
なお、レンズ20b、レンズ22b、及びレンズ28bに代えて、一つのレンズが第1の光照射部20、第2の光照射部22、及び第3の光照射部28に共用されていてもよい。
In addition, instead of the
また、光源20aとレンズ20bとの間、光源22aとレンズ22bとの間、及び光源28aとレンズ28bとの間に、光ファイバがそれぞれ設けられていてもよい。レンズ20b、レンズ22b、及びレンズ28bは無くてもよく、この場合には、光ファイバの出射端が、第1の光照射部20、第2の光照射部22、及び第3の光照射部28の出射端となる。
Further, optical fibers may be provided between the
また、光源20aに代えて複数の光源を用い、当該複数の光源とレンズ20bとの間に、当該複数の光源からの光をそれぞれ導波するバンドルファイバと、バンドルファイバの出射端に接続された大口径の光ファイバとが設けられていてもよい。同様に、光源22aに代えて複数の光源を用い、当該複数の光源とレンズ22bとの間に、当該複数の光源からの光をそれぞれ導波するバンドルファイバと、バンドルファイバの出射端に接続された大口径の光ファイバとが設けられていてもよい。同様に、光源28aに代えて複数の光源を用い、当該複数の光源とレンズ28bとの間に、当該複数の光源からの光をそれぞれ導波するバンドルファイバと、バンドルファイバの出射端に接続された大口径の光ファイバとが設けられていてもよい。
Further, a plurality of light sources are used in place of the
この半田付け装置10Bを用いた半田付け方法では、第1のステップにおいて第3の領域に半田16を配置し、第2のステップにおいて当該半田16上に第3の光を照射する点が、第1の実施の形態の半田付け方法と異なる。
In the soldering method using the
この第3の光L3は、中心波長が波長範囲200nm〜600nmにあることが好適である。したがって、光源28aには、光源20a及び22aと同様の光源を用いることができる。
The third light L3 preferably has a center wavelength in the wavelength range of 200 nm to 600 nm. Therefore, a light source similar to the
図2に示すように、半田16がSn−3Ag−0.5Cuからなる場合には、中心波長が波長範囲200nm〜600nmの光の半田16の主成分であるSnにおける吸収率が、Au製の端子である第1の金属部材12aおよび第2の金属部材14aにおける同波長の光の吸収率より小さい。したがって、第3の光L3に中心波長が波長範囲200nm〜600nmにある光を採用することによって、半田16の過剰な温度上昇を抑制することが可能になる。その結果、半田16を適切に温度上昇させることが可能になる。
As shown in FIG. 2, when the
[第3の実施の形態] [Third Embodiment]
図6は、本発明の第3の実施の形態に係る半田付け装置を概略的に示す平面図である。図7は、図6に示すバンドルファイバを示す平面図である。図6及び図7に示す半田付け装置10Cは、複数の光源32、複数のレンズ34、バンドルファイバ36、及び制御部42を備えている。
FIG. 6 is a plan view schematically showing a soldering apparatus according to the third embodiment of the present invention. FIG. 7 is a plan view showing the bundle fiber shown in FIG. The
バンドルファイバ36は、出射端が二次元配列された複数の光ファイバ36a、及び、これら複数の光ファイバ36aの配置を固定するための固定部材36bを有している。
The
光源32の各々は、レンズ34のうち対応のレンズの一方の面に光学的に結合されており、レンズ34の他方の面は、光ファイバ36aのうち対応の光ファイバの入射端に光学的に結合されている。
Each of the light sources 32 is optically coupled to one surface of the corresponding lens among the
この半田付け装置10Cでは、一方側の複数列に含まれている光ファイバ36a、これらの光ファイバ36aに結合されているレンズ34及び光源32によって第1の光照射部38が構成されている。また、他方側の複数列に含まれている光ファイバ36a、これらの光ファイバ36aに結合されているレンズ34及び光源32によって第2の光照射部40が構成されている。
In the
図8は、本発明の第3の実施の形態にかかる半田付け装置を説明するための斜視図である。図8に示すように、第1の光照射部38からは、第1の光L1が複数の第1のスポット光S1として照射される。また、第2の光照射部40からは、第2の光L1が複数の第2のスポット光S2として照射される。
FIG. 8 is a perspective view for explaining a soldering apparatus according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 8, from the 1st
第1の実施の形態と同様に、第1のスポット光S1は第1の領域に照射され、第2のスポット光S2は第2の領域に照射される。 Similar to the first embodiment, the first spot light S1 is applied to the first region, and the second spot light S2 is applied to the second region.
制御部42は、第1の光照射部38及び第2の光照射部40を制御するデバイスである。制御部42は、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aのうち温度上昇率の大きい一方の金属部材に対するエネルギー付与量が、他方の金属部材に対するエネルギー付与量より小さくなるように、第1の光照射部38の光源32及び第2の光照射部40の光源32を制御する。
The
図9は、本発明の第3の実施の形態にかかる半田付け装置を説明するための斜視図である。図9には、図8に示す状態から所定時間経過後の第1のスポット光S1及び第2のスポット光S2の照射状態が示されている。図8及び図9に示すように、制御部42は、第2の金属部材14aに近い列から順に第1のスポット光S1のパワーを低下させることができる。即ち、制御部42は、第2の金属部材14aに近い列から順に第1のスポット光S1のパワーを減少させてもよく、或いは、第2の金属部材14aに近い列から順に第1のスポット光S1を消灯させてもよい。
FIG. 9 is a perspective view for explaining a soldering apparatus according to a third embodiment of the present invention. FIG. 9 shows the irradiation state of the first spot light S1 and the second spot light S2 after a predetermined time has elapsed from the state shown in FIG. As shown in FIGS. 8 and 9, the
また、図8及び図9に示すように、制御部42は、第1の金属部材12aに近い列から順に第2のスポット光S2のパワーを低下させることができる。即ち、制御部42は、第1の金属部材12aに近い列から順に第2のスポット光S2のパワーを減少させてもよく、或いは、第1の金属部材12aに近い列から順に第2のスポット光S2を消灯させてもよい。なお、パワーの低下を実行するタイミングは、予め制御部42に記憶させておくことができる。このタイミングは、半田16の流出速度に応じて予め決定されるものである。
Further, as shown in FIGS. 8 and 9, the
以下、半田付け装置10Cを用いた半田付け方法について説明する。なお、本実施の形態の半田付け方法における第1のステップは、第1の実施の形態と同様である。
Hereinafter, a soldering method using the
<第2のステップ> 第1のステップの後、第1の光照射部38から第1のスポット光S1を照射し、第2の光照射部40から第2のスポット光S2を照射し、第1の金属部材12a及び第2の金属部材14aを加熱することによって、半田16を溶融させる。
<Second Step> After the first step, the first
この第2のステップにおいては、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aのうち温度上昇率の大きい一方の金属部材に対するエネルギー付与量が、他方の金属部材に対するエネルギー付与量より小さくなるように、第1のスポット光S1及び第2のスポット光S2のパワーが調整される。
In this second step, the amount of energy applied to one of the
第2のステップにおいては、上述したように、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aとの境界に近い列から順に第1のスポット光S1のパワー及び第2のスポット光S2のパワーを低下させることが好適である。これによって、半田16が既に付着した部分に照射される第1のスポット光S1及び第2のスポット光S2のパワーが低下されるので、半田16の過剰な温度上昇が防止される。その結果、半田16の酸化が低減される。
In the second step, as described above, the power of the first spot light S1 and the power of the second spot light S2 in order from the column closest to the boundary between the
以上説明した本実施の形態によっても、第1及び第2の実施の形態同様に、第1の金属部材12a及び第2の金属部材14aに均一に半田を付着させることが可能になる。また、本実施の形態では、バンドルファイバ36が用いられているので、第1のスポット光S1及び第2のスポット光S2の照射位置のレイアウト変更を容易に行なうことが可能である。
Also according to the present embodiment described above, the solder can be uniformly attached to the
なお、制御部42は、第1の実施の形態と同様に、第1の光照射部38に、第1のパワーの第1のスポット光S1を、照射開始時からの所定時間において照射させ、当該所定時間の経過後に第2のパワーの第1のスポット光S2を照射させてもよい。なお、第2のパワーは、第1の金属部材12aを目標温度に維持するための第1のスポット光S1のパワーであり、第1のパワーは第2のパワーより大きいパワーである。
As in the first embodiment, the
また、制御部42は、第1の実施の形態と同様に、第2の光照射部40に、第3のパワーの第2のスポット光S2を、照射開始時からの所定時間において照射させ、当該所定時間の経過後に第4のパワーの第2のスポット光S2を照射させてもよい。なお、第4のパワーは、第2の金属部材14aを目標温度に維持するための第2のスポット光S2のパワーであり、第3のパワーは第4のパワーより大きいパワーである。
Further, similarly to the first embodiment, the
また、第1のスポット光S1及び第2のスポット光S2が、半田16に第照射されてもよい。この場合には、半田16の温度上昇が早められるので、半田付けに要する時間が短縮される。
Further, the first spot light S1 and the second spot light S2 may be irradiated to the
[第4の実施の形態] [Fourth Embodiment]
図10は、本発明の第4の実施の形態に係る半田付け装置を概略的に示す平面図である。図11は、図10に示すバンドルファイバを示す平面図である。図12は、本発明の第4の実施の形態にかかる半田付け装置を説明するための斜視図である。以下、図10、図11、及び図12に示す半田付け装置10D、及びこの半田付け装置10Dを用いた半田付け方法について、第3の実施の形態と異なる点を以下に説明する。
FIG. 10 is a plan view schematically showing a soldering apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 11 is a plan view showing the bundle fiber shown in FIG. FIG. 12 is a perspective view for explaining a soldering apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. Hereinafter, the
半田付け装置10Dは、第1の光照射部38及び第2の光照射部40に加えて、第3の光照射部44を有している。第3の光照射部44は、第1の光照射部38に含まれている光ファイバ36aと第2の光照射部40に含まれている光ファイバ36aとの間に配置されている複数列の光ファイバ36aと、これら光ファイバ36aに結合されたレンズ34及び光源32によって構成されている。
The
第3の光照射部44は、第3の領域に第3の光L3として複数のスポット光S3を照射する。この第3の領域は、第1の領域と第2の領域との間の領域である。第3の光照射部44に含まれる光源32には、第1の光照射部38及び第2の光照射部40に含まれている光源と同様の光源を用いることができる。
The third
以下、かかる半田付け装置10Dを用いる本実施の形態の半田付け方法について説明する。本実施の形態の半田付け方法における第1のステップは、第3の実施の形態と同様である。但し、第1のステップにおいて、第3の領域に半田16が配置される。
Hereinafter, the soldering method of the present embodiment using such a
また、本実施の形態の半田付け方法の第2のステップにおいては、第3の領域に第3のスポット光S3が照射される。この半田付け方法によれば、半田16にも第3のスポット光S3が照射されるので、半田16の温度上昇が早められる。その結果、半田付けに要する時間が短縮される。
Further, in the second step of the soldering method of the present embodiment, the third spot light S3 is irradiated to the third region. According to this soldering method, since the third spot light S3 is also irradiated to the
なお、第3の実施の形態と同様に、第1の金属部材12aと第2の金属部材14aとの境界に近い列から順に第1のスポット光S1のパワー及び第2のスポット光S2のパワーを低下させてもよい。
Note that, similarly to the third embodiment, the power of the first spot light S1 and the power of the second spot light S2 in order from the column closest to the boundary between the
また、制御部42が、第1の実施の形態と同様に、第1の光照射部38に、第1のパワーの第1のスポット光S2を、照射開始時からの所定時間において照射させ、当該所定時間の経過後に第2のパワーの第1のスポット光S2を照射させてもよい。
In addition, as in the first embodiment, the
10…半田付け装置、12…第1の基材、12a…第1の金属部材、14…第2の基材、14a…第2の金属部材、16…半田、20…第1の光照射部、22…第2の光照射部、24…制御部。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記第1の金属部材上に第1の光を照射し、前記第2の金属部材上に第2の光を照射する第2のステップと、
を含み、
前記第1の金属部材と前記第2の金属部材のうち一方の金属部材に照射する光の照射点における該光のパワーと該一方の金属部材の該光の吸収率との積に対する該一方の金属部材の温度上昇率が、他方の金属部材に照射する光の照射点における該光のパワーと該他方の金属部材の該光の吸収率との積に対する該他方の金属部材の温度上昇率より大きく、
前記一方の金属部材に照射する光の照射点における該光のパワーと該一方の金属部材の該光の吸収率との積が、前記他方の金属部材に照射する光の照射点における該光のパワーと該他方の金属部材の該光の吸収率との積より小さい、
半田付け方法。 A first step of supplying solder so as to straddle a first metal member provided on the first substrate and a second metal member provided on the second substrate;
A second step of irradiating the first metal member with a first light and irradiating the second metal member with a second light;
Including
The one of the first metal member and the second metal member with respect to the product of the power of the light at the irradiation point of light irradiating one metal member and the light absorptance of the one metal member. The rate of temperature rise of the metal member is the rate of temperature rise of the other metal member with respect to the product of the power of the light at the irradiation point of light irradiating the other metal member and the light absorption rate of the other metal member. big,
The product of the power of the light at the irradiation point of light applied to the one metal member and the absorption rate of the light of the one metal member is the product of the light at the irradiation point of light applied to the other metal member . Smaller than the product of the power and the light absorption rate of the other metal member,
Soldering method.
前記第2のパワーは、前記半田の溶融温度より高温に前記第1の金属部材を加熱するためのパワーであり、
前記第1の光の照射点において、前記第1のパワーは、前記第2のパワーより大きく、
前記第4のパワーは、前記半田の溶融温度より高温に前記第2の金属部材を加熱するためのパワーであり、
前記第2の光の照射点において、前記第3のパワーは、前記第4のパワーより大きい、
請求項1〜4の何れか一項記載の半田付け方法。 In the second step, the first light is irradiated at the irradiation point with the first power for a predetermined time from the start of irradiation, and after the predetermined time has elapsed, the first light is irradiated at the irradiation point for the second time. Irradiating with the power, irradiating the second light with the third power at the irradiation point for a predetermined time from the start of irradiation, and after the predetermined time has passed, the second light with the fourth power at the irradiation point. Irradiated,
The second power is a power for heating the first metal member to a temperature higher than the melting temperature of the solder,
In the irradiation point of the first light, the first power is larger than the second power,
The fourth power is a power for heating the second metal member to a temperature higher than the melting temperature of the solder,
In the irradiation point of the second light, the third power is larger than the fourth power.
The soldering method as described in any one of Claims 1-4.
前記第2の領域に第2の光を出射する第2の光照射手段と、
前記第1の光の照射点におけるパワーと前記第2の光の照射点におけるパワーを制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記第1の光照射手段に、前記第1の光を照射開始時から所定時間、照射点におけるパワーが第1のパワーとなるよう照射させ、該所定時間の経過後に前記第1の光を、照射点におけるパワーが前記第1のパワーより小さい第2のパワーとなるよう照射させ、前記第2の光照射手段に、前記第2の光を照射開始時から所定時間、照射点において第3のパワーとなるよう照射させ、該所定時間の経過後に前記第2の光を、照射点におけるパワーが前記第3のパワーより小さい第4のパワーとなるよう照射させる、
半田付け装置。 The first light is emitted to the first region out of the first region, the second region, and the third region located between the first region and the second region. First light irradiation means;
Second light irradiation means for emitting second light to the second region;
Control means for controlling the power at the irradiation point of the first light and the power at the irradiation point of the second light;
With
Wherein, the first light irradiating means, said first predetermined time period from the start irradiation light is irradiated to the power at the irradiation point is the first power, the following course of the predetermined time the 1 of light, is irradiated to the power at the irradiation point is the first power is less than the second power, the second light irradiating means, during a predetermined time after the start of irradiation of the second light, irradiation is irradiated to the third power at the point, the second light after the lapse of the predetermined time, and irradiates to the power at the irradiation point is the third power is less than the fourth power,
Soldering device.
前記第2の領域に第2の光を出射する第2の光照射手段と、
前記第1の光の照射点におけるパワーと前記第2の光の照射点におけるパワーを制御する制御手段と、
を備え、
前記第1の光照射手段は、前記第1の光を複数の第1のスポット光として照射し、
前記第2の光照射手段は、前記第2の光を複数の第2のスポット光として照射し、
前記制御手段は、前記第1のスポット光のうち前記第2の領域に近い位置に照射されるスポット光から順に該スポット光の照射点におけるパワーを低下させ、前記第2のスポット光のうち前記第1の領域に近い位置に照射されるスポット光から順に該スポット光の照射点におけるパワーを低下させる、
半田付け装置。
The first light is emitted to the first region out of the first region, the second region, and the third region located between the first region and the second region. First light irradiation means;
Second light irradiation means for emitting second light to the second region;
Control means for controlling the power at the irradiation point of the first light and the power at the irradiation point of the second light;
With
The first light irradiation means irradiates the first light as a plurality of first spot lights,
The second light irradiation means irradiates the second light as a plurality of second spot lights,
The control means reduces the power at the irradiation point of the spot light sequentially from the spot light irradiated to a position close to the second region of the first spot light, and the power of the second spot light Reducing the power at the point of irradiation of the spot light in order from the spot light irradiated at a position close to the first region;
Soldering device.
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2005106490A JP4609161B2 (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Soldering method and soldering apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
JP (1) | JP4609161B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009007609A (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Meidensha Corp | Method for repairing metallic member |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63309370A (en) * | 1987-06-08 | 1988-12-16 | Ushio Inc | Soldering method |
JPH01224165A (en) * | 1988-03-02 | 1989-09-07 | Fuji Electric Co Ltd | Soldering method |
JPH0437468A (en) * | 1990-05-31 | 1992-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Soldering device |
JPH09216051A (en) * | 1996-02-07 | 1997-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | Laser brazing method |
JP2003311452A (en) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | Nissan Motor Co Ltd | Laser brazing method and device |
JP2004276098A (en) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Heating method and heating device, and soldering method and soldering apparatus |
JP2004358483A (en) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Brazing device |
JP2005081406A (en) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Tdk Corp | Solder ball joining method and device |
-
2005
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63309370A (en) * | 1987-06-08 | 1988-12-16 | Ushio Inc | Soldering method |
JPH01224165A (en) * | 1988-03-02 | 1989-09-07 | Fuji Electric Co Ltd | Soldering method |
JPH0437468A (en) * | 1990-05-31 | 1992-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Soldering device |
JPH09216051A (en) * | 1996-02-07 | 1997-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | Laser brazing method |
JP2003311452A (en) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | Nissan Motor Co Ltd | Laser brazing method and device |
JP2004276098A (en) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Heating method and heating device, and soldering method and soldering apparatus |
JP2004358483A (en) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Brazing device |
JP2005081406A (en) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Tdk Corp | Solder ball joining method and device |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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