JP4601516B2 - Terahertz spectrometer - Google Patents

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Description

この発明はテラヘルツ分光装置に関する。   The present invention relates to a terahertz spectrometer.

従来、テラヘルツ波（周波数がおおよそ０．０１ＴＨｚから１００ＴＨｚまでの範囲の電磁波）を用いた分光装置が知られている。   Conventionally, a spectroscopic device using a terahertz wave (an electromagnetic wave having a frequency ranging from approximately 0.01 THz to 100 THz) is known.

例えば、試料にパルス光を照射してその試料を透過したテラヘルツ波を検出する透過測定光学系と、試料にパルス光を照射してその試料で反射したテラヘルツ波を検出する反射測定光学系とを１つの装置として構成したものがある。
特開２００４−１９１３０２号公報 For example, a transmission measurement optical system that detects a terahertz wave that irradiates a sample with pulse light and transmits the sample, and a reflection measurement optical system that detects a terahertz wave that is irradiated with pulse light and reflected by the sample. Some devices are configured as one device.
JP 2004-191302 A

しかし、上述の分光装置では、所定の試料に限って、透過測定光学系と反射測定光学系とを切り換えることにより透過スペクトル測定と反射スペクトル測定とを行なうことができるに過ぎず、種類や大きさ等が異なる各種の試料を測定することはできなかった。そのため、試料に応じて専用の分光装置を使い分けなければならなかった。   However, the above-described spectroscopic device can only perform transmission spectrum measurement and reflection spectrum measurement by switching between the transmission measurement optical system and the reflection measurement optical system only for a predetermined sample. It was not possible to measure various types of samples. Therefore, it has been necessary to use a dedicated spectroscope depending on the sample.

この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、各種の試料に対応できる汎用性の高いテラヘルツ分光装置を提供することである。   This invention is made in view of such a situation, and is providing the highly versatile terahertz spectrometer which can respond to various samples.

上記問題を解決するためこの発明のテラヘルツ分光装置は、レーザ光源からの光パルスをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタで分割された前記ポンプ光又は前記プローブ光の時間遅延を行うディレイステージと、前記光パルスの照射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ発生器と、前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ検出器と、前記テラヘルツ波を収束又は平行にして試料に導く第１のテラヘルツ光学系と、前記試料で反射され又は前記試料を透過した前記テラヘルツ波を前記テラヘルツ検出器に導く第２のテラヘルツ光学系とを備えているテラヘルツ分光装置において、前記テラヘルツ発生器、前記テラヘルツ検出器及び前記第１、第２のテラヘルツ光学系は１つのユニットとして形成され、このユニットは前記ビームスプリッタ及び前記ディレイステージを有する分光装置本体に対して着脱可能であり、前記ユニット内の前記ポンプ光の光路長と前記テラヘルツ波の光路長とを加算した光路長と、前記ユニット内の前記プローブ光の光路長との差は一定であることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a terahertz spectrometer according to the present invention includes a beam splitter that divides a light pulse from a laser light source into pump light and probe light, and a time of the pump light or the probe light divided by the beam splitter. A delay stage for performing a delay; a terahertz generator for generating a terahertz wave by irradiation of the optical pulse; a terahertz detector for detecting the terahertz wave; and a first terahertz for converging or paralleling the terahertz wave to a sample A terahertz spectrometer comprising: an optical system; and a second terahertz optical system that guides the terahertz wave reflected by the sample or transmitted through the sample to the terahertz detector. The terahertz generator, the terahertz detector And the first and second terahertz optical systems are formed as one unit. The unit is detachable with respect to the spectrometer main body having the beam splitter and the delay stage, and an optical path length obtained by adding the optical path length of the pump light and the optical path length of the terahertz wave in the unit; The difference between the optical path length of the probe light in the unit is constant.

請求項２記載の発明は、請求項１記載のテラヘルツ分光装置において、前記ユニットは前記試料に対応する複数のユニットの中から選択されたものであることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the terahertz spectrometer according to the first aspect, the unit is selected from a plurality of units corresponding to the sample.

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のテラヘルツ分光装置において、前記ユニットは前記分光装置本体の上部に配置されていることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the terahertz spectroscopic device according to the first or second aspect, the unit is disposed on an upper portion of the spectroscopic main body.

この発明によれば、各種の試料に対応できる汎用性の高いテラヘルツ分光装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a highly versatile terahertz spectrometer capable of handling various samples.

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１はこの発明の一実施形態に係るテラヘルツ分光装置の外観を示す概念図である。   FIG. 1 is a conceptual diagram showing the appearance of a terahertz spectrometer according to an embodiment of the present invention.

このテラヘルツ分光装置は分光装置本体１０とユニット９とからなる。ユニット９は分光装置本体１０の上部に配置され、分光装置本体１０に対して着脱可能である。   This terahertz spectrometer is composed of a spectrometer main body 10 and a unit 9. The unit 9 is disposed on the upper part of the spectroscopic device body 10 and is detachable from the spectroscopic device body 10.

ユニット９の位置決めは例えば分光装置本体１０のケース１０ａの上面に設けられた位置決めピン１１とこのピン１１が嵌合するユニット９のケース９ａの下面に設けられた穴（図示せず）とによって行なわれる。   The unit 9 is positioned by, for example, positioning pins 11 provided on the upper surface of the case 10a of the spectroscopic device body 10 and holes (not shown) provided on the lower surface of the case 9a of the unit 9 to which the pins 11 are fitted. It is.

ユニット９のケース９ａの下面には後述するポンプ光とプローブ光とを分光装置本体１０からユニット９内へ導くための透明な窓材１２，１３が設けられている。なお、ユニット９のケース９ａ内には試料５（図２参照）を支持するための試料支持部１４が設けられている。   Transparent window members 12 and 13 are provided on the lower surface of the case 9a of the unit 9 to guide pump light and probe light, which will be described later, from the spectroscopic main body 10 into the unit 9. A sample support portion 14 for supporting the sample 5 (see FIG. 2) is provided in the case 9a of the unit 9.

図２はこの発明の一実施形態に係るテラヘルツ分光装置の構成を示す概念図である。   FIG. 2 is a conceptual diagram showing the configuration of a terahertz spectrometer according to an embodiment of the present invention.

このテラヘルツ分光装置は、ビームスプリッタ２と、ディレイステージ８と、テラヘルツ発生器３と、テラヘルツ検出器７と、第１のテラヘルツ光学系４と、第２のテラヘルツ光学系６とを備えている。   The terahertz spectrometer includes a beam splitter 2, a delay stage 8, a terahertz generator 3, a terahertz detector 7, a first terahertz optical system 4, and a second terahertz optical system 6.

ビームスプリッタ２はレーザ光源１からのパルス光Ｐ１をポンプ光Ｐ２とプローブ光Ｐ３とに分割する。レーザ光源１としては、例えば、フェムト秒パルスレーザが用いられる。   The beam splitter 2 splits the pulsed light P1 from the laser light source 1 into pump light P2 and probe light P3. As the laser light source 1, for example, a femtosecond pulse laser is used.

ディレイステージ８はビームスプリッタ２で分割されたプローブ光Ｐ３の時間遅延を行う。ディレイステージ８は移動可能な可動鏡８ａと固定された平面反射鏡８ｂ，８ｃとを組み合わせてなる。可動鏡８ａは矢印に示すように移動してプローブ光Ｐ３の光路長を変化させる。   The delay stage 8 performs time delay of the probe light P3 divided by the beam splitter 2. The delay stage 8 is a combination of a movable movable mirror 8a and fixed planar reflecting mirrors 8b and 8c. The movable mirror 8a moves as indicated by the arrow to change the optical path length of the probe light P3.

テラヘルツ発生器３はポンプ光Ｐ２の照射によってテラヘルツ波を発生させる。テラヘルツ発生器３には、半絶縁性GaAs等で形成された半導体基板上にアンテナ形状をもつ２つの電極を付け、それらの電極間にバイアス電圧を印加した光伝導アンテナと呼ばれるものやZnTe等の非線形光学結晶が使用される。   The terahertz generator 3 generates a terahertz wave by irradiation with the pump light P2. The terahertz generator 3 has two electrodes having an antenna shape on a semiconductor substrate formed of semi-insulating GaAs or the like, and a so-called photoconductive antenna in which a bias voltage is applied between these electrodes, such as ZnTe or the like Nonlinear optical crystals are used.

テラヘルツ検出器７はテラヘルツ波を検出する。テラヘルツ検出器７には、テラヘルツ発生器３と同様の光伝導アンテナやZnTe等の電気光学結晶が使用される。   The terahertz detector 7 detects a terahertz wave. The terahertz detector 7 uses a photoconductive antenna similar to the terahertz generator 3 or an electro-optic crystal such as ZnTe.

第１のテラヘルツ光学系４はテラヘルツ波を収束して試料５に導く。第１のテラヘルツ光学系４は例えば楕円面鏡である。   The first terahertz optical system 4 converges the terahertz wave and guides it to the sample 5. The first terahertz optical system 4 is, for example, an ellipsoidal mirror.

第２のテラヘルツ光学系６は試料５を透過したテラヘルツ波をテラヘルツ検出器７に導く。第２のテラヘルツ光学系６は例えば楕円面鏡である。   The second terahertz optical system 6 guides the terahertz wave transmitted through the sample 5 to the terahertz detector 7. The second terahertz optical system 6 is, for example, an ellipsoidal mirror.

テラヘルツ発生器３、テラヘルツ検出器７及び第１、第２のテラヘルツ光学系４，６は１つのユニットとして形成されている。図２のユニット９は集光型透過測定ユニットである。   The terahertz generator 3, the terahertz detector 7, and the first and second terahertz optical systems 4 and 6 are formed as one unit. The unit 9 in FIG. 2 is a condensing transmission measurement unit.

なお、ユニット９内を真空に保持してもよいし、ユニット９内に所定のガスを充填していてもよい。このように構成することにより、大気中の水蒸気によるテラヘルツ波の吸収をなくし、更に大気中の塵埃、水分等が光学系４，６に悪影響を及ぼすことを防止できる。   Note that the inside of the unit 9 may be kept in a vacuum, or the unit 9 may be filled with a predetermined gas. With this configuration, absorption of terahertz waves by water vapor in the atmosphere is eliminated, and further, dust, moisture, and the like in the atmosphere can be prevented from adversely affecting the optical systems 4 and 6.

ポンプ光Ｐ２の光路長（窓材１２とテラヘルツ発生器３との間の光路長Ｌ１とテラヘルツ発生器３とテラヘルツ検出器７との間の光路長Ｌ２とを加算した光路長）と、プローブ光Ｐ３の光路長Ｌ３（窓材１３とテラヘルツ検出器７との間の光路長）との差は一定である。よって、ユニット９を他のユニットに取り換えても光路長の調整が不要となる。   The optical path length of the pump light P2 (the optical path length obtained by adding the optical path length L1 between the window material 12 and the terahertz generator 3 and the optical path length L2 between the terahertz generator 3 and the terahertz detector 7) and the probe light The difference between the optical path length L3 of P3 (the optical path length between the window member 13 and the terahertz detector 7) is constant. Therefore, even if the unit 9 is replaced with another unit, it is not necessary to adjust the optical path length.

ビームスプリッタ２及びディレイステージ８は分光装置本体１０のケース１０ａ内に収容されている。   The beam splitter 2 and the delay stage 8 are accommodated in a case 10 a of the spectroscopic device body 10.

レーザ光源１から放射されたパルス光Ｐ１は平面反射鏡Ｍ１を経てビームスプリッタ２で２つのパルス光に分割される。パルス光Ｐ１は、中心波長が近赤外領域のうちの７８０〜８００ｎｍ程度、繰り返し周期が数ｋＨｚから１００ＭＨｚ、パルス幅が１０〜１５０ｆｓ程度の直線偏光のパルス光である。   The pulsed light P1 emitted from the laser light source 1 is split into two pulsed lights by the beam splitter 2 through the plane reflecting mirror M1. The pulsed light P1 is linearly polarized pulsed light having a center wavelength of about 780 to 800 nm in the near infrared region, a repetition period of several kHz to 100 MHz, and a pulse width of about 10 to 150 fs.

ビームスプリッタ２で分割された一方のパルス光は、テラヘルツ発生器３を励起してテラヘルツ波を発生させるためのポンプ光Ｐ２となる。このポンプ光Ｐ２は窓材１２、平面反射鏡Ｍ２を経てテラヘルツ発生器３へ導かれる。テラヘルツ発生器３に１００フェムト秒程度のパルス光が照射されるとテラヘルツ発生器３からテラヘルツ領域の周波数を持ったテラヘルツ波Ｐ４が放射される。   One pulsed light split by the beam splitter 2 becomes pump light P2 for exciting the terahertz generator 3 to generate a terahertz wave. The pump light P2 is guided to the terahertz generator 3 through the window material 12 and the plane reflecting mirror M2. When the terahertz generator 3 is irradiated with pulsed light of about 100 femtoseconds, a terahertz wave P4 having a frequency in the terahertz region is emitted from the terahertz generator 3.

テラヘルツ波Ｐ４はおおむね０．０１×１０12から１００×１０12ヘルツまでの周波数領域の電磁波である。このテラヘルツ波Ｐ４は第１のテラヘルツ光学系４を経て試料支持部１４（図１参照）に支持された試料５に集光する。 The terahertz wave P4 is an electromagnetic wave in a frequency range from approximately 0.01 × 10 12 to 100 × 10 12 hertz. The terahertz wave P4 passes through the first terahertz optical system 4 and is condensed on the sample 5 supported by the sample support portion 14 (see FIG. 1).

試料５を透過したテラヘルツ波Ｐ５は第２のテラヘルツ光学系６を経てテラヘルツ検出器７に入射する。テラヘルツ検出器７にテラヘルツ波Ｐ５が入射すると、電場が生じる。このとき、テラヘルツ検出器７にプローブ光Ｐ３を照射すると、電場強度に応じた光電流が流れ、これを測定することにより、試料５の電気的特性や不純物濃度等が得られる。プローブ光Ｐ３は以下のようにしてテラヘルツ検出器７に入射する。   The terahertz wave P <b> 5 that has passed through the sample 5 enters the terahertz detector 7 through the second terahertz optical system 6. When the terahertz wave P5 is incident on the terahertz detector 7, an electric field is generated. At this time, if the terahertz detector 7 is irradiated with the probe light P3, a photocurrent according to the electric field strength flows, and by measuring this, the electrical characteristics, impurity concentration, etc. of the sample 5 can be obtained. The probe light P3 enters the terahertz detector 7 as follows.

ビームスプリッタ２で分割された他方のパルス光は、テラヘルツ波Ｐ５を検出するためのプローブ光Ｐ３となる。プローブ光Ｐ３はディレイステージ８、平面反射鏡Ｍ３、窓材１３、平面反射鏡Ｍ４を経てテラヘルツ検出器７に入射する。ディレイステージ８の可動鏡８ａを矢印のように移動させてプローブ光Ｐ３の光路長を変化させる。この結果、プローブ光Ｐ３がテラヘルツ検出器７へ到達する時間が変化する。そして、可動鏡８ａにより遅延時間を変更させながらテラヘルツ検出器７で検出される光電流を観測することにより、時系列テラヘルツ分光が可能となる。   The other pulse light split by the beam splitter 2 becomes probe light P3 for detecting the terahertz wave P5. The probe light P3 enters the terahertz detector 7 through the delay stage 8, the plane reflecting mirror M3, the window member 13, and the plane reflecting mirror M4. The movable mirror 8a of the delay stage 8 is moved as shown by the arrow to change the optical path length of the probe light P3. As a result, the time for the probe light P3 to reach the terahertz detector 7 changes. Then, by observing the photocurrent detected by the terahertz detector 7 while changing the delay time by the movable mirror 8a, time series terahertz spectroscopy becomes possible.

このように、テラヘルツ検出器７は、受光したテラヘルツ波の電場強度に比例する光電流を検出し、検出信号として図示しない制御・演算装置に送る。そして、制御・演算装置は、検出信号について時系列変換を実行し、試料５に関する所望の特性に応じて演算を実行する。得られたデータは図示しない液晶ディスプレイやＣＲＴ等の表示部に表示される。   Thus, the terahertz detector 7 detects a photocurrent proportional to the electric field intensity of the received terahertz wave, and sends it to a control / arithmetic apparatus (not shown) as a detection signal. Then, the control / arithmetic apparatus performs time-series conversion on the detection signal, and performs calculations according to desired characteristics regarding the sample 5. The obtained data is displayed on a display unit such as a liquid crystal display or CRT (not shown).

図３は分光装置本体に対して着脱可能な他のユニットの構成を示す概念図である。   FIG. 3 is a conceptual diagram showing the configuration of another unit that can be attached to and detached from the spectroscopic apparatus body.

ユニット１９は分光装置本体１０に対して着脱可能な平行光型透過測定ユニットである。ユニット１９は、テラヘルツ発生器３から放射されたテラヘルツ波Ｐ４を例えば放物面鏡である第１のテラヘルツ光学系４Ａで平行にして試料５に照射するようにした点でユニット９と相違する。   The unit 19 is a parallel light transmission measurement unit that can be attached to and detached from the spectroscopic apparatus body 10. The unit 19 is different from the unit 9 in that the sample 5 is irradiated with the terahertz wave P4 emitted from the terahertz generator 3 in parallel by the first terahertz optical system 4A that is a parabolic mirror, for example.

ユニット９をユニット１９に取り換える手順は次のとおりである。   The procedure for replacing the unit 9 with the unit 19 is as follows.

まず、ユニット９を持ち上げて分光装置本体１０から取り外す。その後、ユニット１９と分光装置本体１０との位置合わせを行ない、ユニット１９を分光装置本体１０に載せる。このとき、ユニット１９の窓材１２，１３が光路上に配置される。   First, the unit 9 is lifted and removed from the spectroscopic device body 10. Thereafter, the unit 19 and the spectroscopic device body 10 are aligned, and the unit 19 is placed on the spectroscopic device body 10. At this time, the window members 12 and 13 of the unit 19 are arranged on the optical path.

図４（ａ）は分光装置本体に対して着脱可能な更に他のユニットの構成を示す概念図、図４（ｂ）はそのユニットを側方から見たときの図である。   FIG. 4A is a conceptual diagram showing the configuration of still another unit that can be attached to and detached from the spectroscopic apparatus main body, and FIG. 4B is a diagram of the unit as viewed from the side.

ユニット２９は全反射減衰分光測定ユニットである。ユニット２９はケース２９ａにＡＴＲ（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ Ｔｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）プリズム２５を配置した点でユニット９と相違する。試料５はプリズム２５に密着するように配置されている。試料５内部にわずかにもぐり込んで反射された全反射光をテラヘルツ検出器７で検出して、試料５の表層部の吸収スペクトルを得ることができる。   The unit 29 is a total reflection attenuation spectroscopic measurement unit. The unit 29 is different from the unit 9 in that an ATR (Attenuated Total Reflection) prism 25 is disposed in the case 29a. The sample 5 is disposed so as to be in close contact with the prism 25. The total reflection light that has been slightly reflected inside the sample 5 is detected by the terahertz detector 7, and an absorption spectrum of the surface layer portion of the sample 5 can be obtained.

ユニット９をユニット２９に取り換える手順はユニット９をユニット１９に取り換える手順と同じである。   The procedure for replacing unit 9 with unit 29 is the same as the procedure for replacing unit 9 with unit 19.

なお、ユニットとしては上記ユニットの他に、集光型反射測定モジュール、平行型反射測定モジュール等があるが、図示を省略する。   In addition to the above units, the unit includes a concentrating reflection measurement module, a parallel reflection measurement module, and the like, which are not shown.

この実施形態によれば、各種の試料５に対応できる汎用性の高いテラヘルツ分光装置を提供することができる。また、ユニット９，１９，２９を分光装置本体１０の上部に配置するようにしたので、ユニット９，１９，２９の着脱が容易である。   According to this embodiment, it is possible to provide a highly versatile terahertz spectrometer capable of handling various types of samples 5. Further, since the units 9, 19, and 29 are arranged on the upper part of the spectroscopic device body 10, the units 9, 19, and 29 can be easily attached and detached.

なお、上記実施形態ではプローブ光Ｐ３の時間遅延を行なったが、その代わりにポンプ光Ｐ２の時間遅延を行なうようにしてもよい。   In the above embodiment, the time delay of the probe light P3 is performed. Instead, the time delay of the pump light P2 may be performed.

図１はこの発明の一実施形態に係るテラヘルツ分光装置の外観を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing the appearance of a terahertz spectrometer according to an embodiment of the present invention. 図２はこの発明の一実施形態に係るテラヘルツ分光装置の構成を示す概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram showing the configuration of a terahertz spectrometer according to an embodiment of the present invention. 図３は分光装置本体に対して着脱可能な他のユニットの構成を示す概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram showing the configuration of another unit that can be attached to and detached from the spectroscopic apparatus body. 図４（ａ）は分光装置本体に対して着脱可能な更に他のユニットの構成を示す概念図、図４（ｂ）はそのユニットを側方から見たときの図である。FIG. 4A is a conceptual diagram showing the configuration of still another unit that can be attached to and detached from the spectroscopic apparatus main body, and FIG. 4B is a diagram of the unit as viewed from the side.

符号の説明Explanation of symbols

１：レーザ光源、２：ビームスプリッタ、３：テラヘルツ発生器、４：第１のテラヘルツ光学系、５：試料、６：第２のテラヘルツ光学系、７：テラヘルツ検出器、８：ディレイステージ、９，１９，２９：ユニット、１０：分光装置本体。   1: laser light source, 2: beam splitter, 3: terahertz generator, 4: first terahertz optical system, 5: sample, 6: second terahertz optical system, 7: terahertz detector, 8: delay stage, 9 19, 29: Unit, 10: Spectroscopic apparatus main body.

Claims (3)

レーザ光源からの光パルスをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで分割された前記ポンプ光又は前記プローブ光の時間遅延を行うディレイステージと、
前記光パルスの照射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ発生器と、
前記テラヘルツ波を検出するテラヘルツ検出器と、
前記テラヘルツ波を収束又は平行にして試料に導く第１のテラヘルツ光学系と、
前記試料で反射され又は前記試料を透過した前記テラヘルツ波を前記テラヘルツ検出器に導く第２のテラヘルツ光学系と
を備えているテラヘルツ分光装置において、
前記テラヘルツ発生器、前記テラヘルツ検出器及び前記第１、第２のテラヘルツ光学系は１つのユニットとして形成され、このユニットは前記ビームスプリッタ及び前記ディレイステージを有する分光装置本体に対して着脱可能であり、前記ユニット内の前記ポンプ光の光路長と前記テラヘルツ波の光路長とを加算した光路長と、前記ユニット内の前記プローブ光の光路長との差は一定である
ことを特徴とするテラヘルツ分光装置。 A beam splitter that splits a light pulse from a laser light source into pump light and probe light;
A delay stage for performing a time delay of the pump light or the probe light divided by the beam splitter;
A terahertz generator that generates a terahertz wave by irradiation with the light pulse;
A terahertz detector for detecting the terahertz wave;
A first terahertz optical system that guides the terahertz wave to the sample in a convergent or parallel manner;
A terahertz spectrometer comprising: a second terahertz optical system that guides the terahertz wave reflected by the sample or transmitted through the sample to the terahertz detector;
The terahertz generator, the terahertz detector, and the first and second terahertz optical systems are formed as one unit, and this unit can be attached to and detached from the spectroscope main body having the beam splitter and the delay stage. The difference between the optical path length obtained by adding the optical path length of the pump light and the optical path length of the terahertz wave in the unit and the optical path length of the probe light in the unit is constant. apparatus. 前記ユニットは前記試料に対応する複数のユニットの中から選択されたものであることを特徴とする請求項１記載のテラヘルツ分光装置。   The terahertz spectrometer according to claim 1, wherein the unit is selected from a plurality of units corresponding to the sample. 前記ユニットは前記分光装置本体の上部に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のテラヘルツ分光装置。   The terahertz spectrometer according to claim 1, wherein the unit is disposed on an upper part of the spectrometer main body.
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