JP4587859B2 - Seal chamber - Google Patents
Seal chamber Download PDFInfo
- Publication number
- JP4587859B2 JP4587859B2 JP2005096243A JP2005096243A JP4587859B2 JP 4587859 B2 JP4587859 B2 JP 4587859B2 JP 2005096243 A JP2005096243 A JP 2005096243A JP 2005096243 A JP2005096243 A JP 2005096243A JP 4587859 B2 JP4587859 B2 JP 4587859B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal chamber
- furnace
- housing
- fiber
- inclination angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 41
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 38
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 32
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 19
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 19
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 16
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920002972 Acrylic fiber Polymers 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Inorganic Fibers (AREA)
Description
本発明は、炭素繊維を製造する熱処理炉の原料繊維入口部及び/又は炭素繊維出口部に形成されてなるシール室に関する。 The present invention relates to a seal chamber formed at a raw material fiber inlet portion and / or a carbon fiber outlet portion of a heat treatment furnace for producing carbon fibers.
炭素繊維の製造工程においては、アクリル繊維等の前駆体繊維を耐炎化し、得られた耐炎化繊維を原料繊維とし、これを炭素化して炭素繊維とする。原料繊維を炭素化する方法として、高温、不活性雰囲気の熱処理炉内に原料繊維を通過させる方法がある(例えば、特許文献1参照)。 In the carbon fiber manufacturing process, precursor fibers such as acrylic fibers are made flame resistant, and the obtained flame resistant fibers are used as raw material fibers, which are carbonized to form carbon fibers. As a method for carbonizing raw material fibers, there is a method of passing raw material fibers through a heat treatment furnace in a high temperature and inert atmosphere (see, for example, Patent Document 1).
熱処理炉内を不活性雰囲気に保つには、熱処理炉の原料繊維入口部及び/又は炭素繊維出口部にシール室を設けて大気が熱処理炉内に入らないように熱処理炉の気密性を保つことが従来から行われている。 In order to keep the inside of the heat treatment furnace in an inert atmosphere, a seal chamber is provided at the raw fiber inlet portion and / or the carbon fiber outlet portion of the heat treatment furnace to maintain the airtightness of the heat treatment furnace so that the atmosphere does not enter the heat treatment furnace. Has traditionally been done.
図3は従来のシール室を有する熱処理炉の一例を示す概略図であり、(A)は、その側面断面図であり、(B)は、その正面図である。 FIG. 3 is a schematic view showing an example of a heat treatment furnace having a conventional seal chamber, (A) is a side sectional view thereof, and (B) is a front view thereof.
図3中、52は熱処理炉である。原料繊維54は、300〜900℃に昇温された熱処理室56内を水平に且つ熱処理室56の側壁58に平行にパス(本図では6列のパス)を形成して走行し、熱処理室56内で熱処理(炭素化処理)されて炭素繊維にされる。
In FIG. 3, 52 is a heat treatment furnace. The
熱処理炉52において、熱処理室56の上流側の原料繊維入口部にはシール室60が形成され、同様に熱処理室56の下流側の炭素繊維出口部にもシール室62が形成されている。
In the
図3(C)は、シール室60の側面断面図であり、図3(D)は、シール室60の正面断面図である(シール室62もシール室60と同様の構造を有するので、以下、代表してシール室60について説明する)。
3C is a side cross-sectional view of the
シール室60は、
(a) 原料繊維54がシール室60に出入りすると共に同繊維54が内部を走行する走行路64を有するハウジングと、
(b) 前記ハウジング内の走行路64に沿って所定間隔互いに離れてハウジング上壁66から垂設した複数の仕切板68であって各仕切板68の板面方向が走行路64と直交している仕切板68と、
(c) 前記ハウジング内の走行路64に沿って所定間隔互いに離れてハウジング下壁70から突出した複数の仕切板72であって各仕切板72の板面方向が走行路64と直交している仕切板72と、
を有する。
The
(a) a housing having a running
(b) A plurality of
(c) A plurality of
Have
原料繊維54は、シール室60における走行路64からシール室60〜熱処理室56間の繊維走行路74を経て、熱処理室56に搬入される。
The
このシール室60の構造は、通称ラビリンスシール(例えば、上記特許文献1参照)と呼ばれ、熱処理炉52の気密性を保つのに有効である。
The structure of the
ハウジング上壁66から垂設した各仕切板68間に形成される頂部空間部76の一には、不活性ガスとして用いられる窒素の供給管78が外部から挿入されている。この窒素供給管78には複数の窒素供給孔80が穿設されている。この窒素供給孔80を通って供給される窒素により、上記ラビリンスシール構造による外気浸入防止効果に加え、熱処理炉52内への外気浸入防止効果が更に高められる。
A
ところで、熱処理炉52の運転中には、ハウジング下壁70から突出した各仕切板72間の底部空間部82に繊維由来のケバや粉末等の異物84が堆積する。そのため、熱処理炉52の休転中には、この異物84を取り除く清掃をする必要がある。しかし、このシール室60における清掃作業は作業効率が悪く、ひいては炭素繊維の生産性が低下する。
本発明者は、上記問題を解決するために種々検討しているうちに、ハウジングの下壁に複数の仕切壁を形成し、この仕切壁の走行路方向に沿う断面が上方に突出したジグザグの連続三角波をなす仕切壁とすることにより、シール室の清掃が容易になり、作業効率等の面から炭素繊維の生産性を向上することが出来ることを知得し、本発明を完成するに到った。 While the present inventor has made various studies to solve the above problem, a plurality of partition walls are formed on the lower wall of the housing, and the zigzag of the partition wall along the traveling path direction protrudes upward. By using a partition wall having a continuous triangular wave, it becomes easy to clean the seal chamber, and it is known that the productivity of carbon fibers can be improved from the viewpoint of work efficiency, etc., and the present invention is completed. It was.
従って、本発明の目的とするところは、上述した問題点を解決した熱処理炉のシール室を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a seal chamber of a heat treatment furnace that solves the above-described problems.
上記目的を達成する本発明は、以下に記載するものである。 The present invention for achieving the above object is described below.
〔1〕 炉内を水平方向に走行する原料繊維を焼成して炭素繊維にする熱処理炉の原料繊維入口部及び/又は炭素繊維出口部に形成されてなるシール室であって、
前記シール室は、
(A) 繊維がシール室に出入りすると共に同繊維が内部を走行する走行路を有するハウジングと、
(B) 前記ハウジング内の走行路に沿って所定間隔互いに離れてハウジング上壁から垂設した複数の仕切板であって各仕切板の板面方向が走行路と直交している仕切板と、
(C) 前記ハウジングの下壁に形成した複数の仕切壁であって、前記仕切壁の走行路方向に沿う断面が上方に突出したジグザグの連続三角波をなす仕切壁と
を有するシール室。
[1] A seal chamber formed in a raw material fiber inlet portion and / or a carbon fiber outlet portion of a heat treatment furnace that calcinates raw material fibers that run in the furnace in the horizontal direction to form carbon fibers,
The seal chamber is
(A) a housing having a traveling path through which the fiber enters and exits the seal chamber and inside the fiber;
(B) a plurality of partition plates that are suspended from the upper wall of the housing and spaced apart from each other by a predetermined distance along the travel path in the housing, and a partition plate in which the plate surface direction of each partition plate is orthogonal to the travel path;
(C) A seal chamber having a plurality of partition walls formed on a lower wall of the housing, and a partition wall forming a zigzag continuous triangular wave whose cross section along the traveling path direction of the partition wall protrudes upward.
〔2〕 各三角波の二斜辺のうち片方の斜辺が、走行路の面に対し45゜以下の傾斜角を有する〔1〕に記載のシール室。 [2] The seal chamber according to [1], wherein one of the two oblique sides of each triangular wave has an inclination angle of 45 ° or less with respect to the surface of the traveling path.
〔3〕 走行路の面に対し45゜以下の傾斜角を有する斜辺が、炉内に近い斜辺である〔2〕に記載のシール室。 [3] The seal chamber according to [2], wherein the hypotenuse having an inclination angle of 45 ° or less with respect to the surface of the traveling path is the hypotenuse close to the inside of the furnace.
〔4〕 シール室のほぼ中央の位置より炉外側では、各三角波の二斜辺のうち炉内に近い斜辺が走行路の面に対し45゜以下の傾斜角をなし、前記位置より炉内側では、各三角波の二斜辺のうち炉内に遠い斜辺が繊維走行面に対し45゜以下の傾斜角をなし、シール室底部の炉内側端部に異物仮置ピットが形成されてなる〔2〕に記載のシール室。 [4] On the outside of the furnace from the substantially central position of the seal chamber, the hypotenuse close to the furnace among the two hypotenuses of each triangular wave has an inclination angle of 45 ° or less with respect to the plane of the traveling path. As described in [2], of the two oblique sides of each triangular wave, the oblique side far from the furnace forms an inclination angle of 45 ° or less with respect to the fiber running surface, and foreign matter temporary placement pits are formed at the inner end of the furnace at the bottom of the seal chamber. Seal chamber.
本発明のシール室は、前記のように構成したので、シール室の清掃が容易になり、作業効率等の面から炭素繊維の生産性を向上することが出来る。 Since the seal chamber of the present invention is configured as described above, cleaning of the seal chamber becomes easy, and the productivity of carbon fibers can be improved from the viewpoint of work efficiency and the like.
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明のシール室を有する熱処理炉は、シール室以外は図3に示した従来例の熱処理炉と同様の構成である。 The heat treatment furnace having the seal chamber of the present invention has the same configuration as the heat treatment furnace of the conventional example shown in FIG. 3 except for the seal chamber.
図1は本発明のシール室の一例を示す概略図であり、(A)は、その側面断面図であり、(B)は、図1(A)中の点線部分aの拡大図である。 FIG. 1 is a schematic view showing an example of a seal chamber of the present invention, (A) is a side sectional view thereof, and (B) is an enlarged view of a dotted line portion a in FIG. 1 (A).
図1(A)中、2は上流側の原料繊維入口部に形成されたシール室である[下流側の炭素繊維出口部にもシール室(不図示)が形成されているが、上流側のシール室2と同様の構造を有するので、以下、代表してシール室2について説明する]。 In FIG. 1 (A), reference numeral 2 denotes a seal chamber formed at the upstream raw material fiber inlet [a seal chamber (not shown) is also formed at the downstream carbon fiber outlet, Since it has the same structure as the seal chamber 2, the seal chamber 2 will be described below as a representative.
原料繊維4は、シール室2に出入りすると共に同繊維4が内部を走行する走行路6からシール室〜熱処理室間の繊維走行路8を経て、熱処理室に搬入される。
The raw material fiber 4 enters and exits the seal chamber 2 and is carried into the heat treatment chamber from a running path 6 in which the fiber 4 travels through a
シール室2は、
(A) 前記走行路6を有するハウジングと、
(B) 前記ハウジング内の走行路6に沿って所定間隔互いに離れてハウジング上壁10から垂設した複数の仕切板12であって各仕切板12の板面方向が走行路6と直交している仕切板12と、
(C) 前記ハウジングの下壁14に形成した複数の仕切壁16であって、前記仕切壁16の走行路6方向に沿う断面が上方に突出したジグザグの連続三角波をなす仕切壁16と
を有する。
Seal chamber 2
(A) a housing having the travel path 6;
(B) A plurality of
(C) A plurality of
なお、図3(C)及び(D)に示した従来例のシール室と同様に、ハウジング上壁10から垂設した各仕切板12間に形成される頂部空間部18の一には、不活性ガスとして用いられる窒素の供給管20が外部から挿入されている。この窒素供給管20には複数の窒素供給孔22が穿設されている。
Similar to the seal chamber of the conventional example shown in FIGS. 3C and 3D, one of the
本例においては、上記仕切壁16の各三角波の二斜辺のうち片方の斜辺が、走行路の面に対し45゜以下の傾斜角[図1(B)中の傾斜角α]を有する。この走行路の面に対し45゜以下の傾斜角を有する斜辺は、炉内に近い斜辺である。なお、炉内に遠い斜辺の走行路の面に対する傾斜角は、傾斜角βとする[図1(B)中の例では傾斜角βはほぼ直角(90゜)である]。
In this example, one of the two oblique sides of the triangular wave of the
本例のシール室2の構成とすることにより、シール室2の清掃が容易になり、作業効率等の面から炭素繊維の生産性を向上することが出来る。 By adopting the configuration of the seal chamber 2 of this example, cleaning of the seal chamber 2 is facilitated, and the productivity of carbon fibers can be improved from the viewpoint of work efficiency and the like.
具体的には、ハウジング下壁14に形成した複数の仕切壁16間に形成される底部空間部24に堆積している繊維由来のケバや粉末等の異物26は、熱処理炉休転中に例えば熊手型の清掃具を原料繊維入口のスリットから差込んで、同スリットからシール室2外へ掻出すことにより、容易にシール室2から取り除くことが出来る。
Specifically,
図2は本発明のシール室の他の例を示す概略側面断面図である。 FIG. 2 is a schematic side sectional view showing another example of the seal chamber of the present invention.
図2中、32は上流側の原料繊維入口部に形成されたシール室である[下流側の炭素繊維出口部にもシール室(不図示)が形成されているが、上流側のシール室32と同様の構造を有するので、以下、代表してシール室32について説明する]。
In FIG. 2, 32 is a seal chamber formed at the upstream raw fiber entrance portion [a seal chamber (not shown) is also formed at the downstream carbon fiber exit portion, but the
また、図2の例について、シール室32ハウジングの下壁34の上方に突出して形成した仕切壁36及びシール室底部の炉内側端部に形成した異物仮置ピット38以外の構成は、図1の例と同様であるので、同一箇所に同一参照符号を付してその説明を省略する。
Further, in the example of FIG. 2, the configuration other than the
シール室32ハウジングの下壁34には、図1の例と同様に、複数の仕切壁36が形成され、前記仕切壁36の走行路6方向に沿う断面は上方に突出したジグザグの連続三角波をなしている。また、上記仕切壁36の各三角波の二斜辺のうち片方の斜辺は、走行路の面に対し45゜以下の傾斜角を有する。
As in the example of FIG. 1, a plurality of
更に、本例においては、シール室32のほぼ中央の位置より炉外側では、各三角波の二斜辺のうち炉内に近い斜辺が走行路の面に対し45゜以下の傾斜角αをなし、前記位置より炉内側では、各三角波の二斜辺のうち炉内に遠い斜辺が繊維走行面に対し45゜以下の傾斜角βをなし、シール室32底部の炉内側端部には異物仮置ピット38が形成されている。
Further, in this example, on the outer side of the furnace from the position approximately at the center of the
本例のシール室32の構成とすることにより、シール室32の清掃が容易になり、作業効率等の面から炭素繊維の生産性を向上することが出来る。
By adopting the configuration of the
具体的には、シール室32ハウジングの下壁34の上方に突出して形成したの各底部仕切壁36間の底部空間部40に堆積している繊維由来のケバや粉末等の異物42は、熱処理炉休転中に例えば熊手型の清掃具を原料繊維入口のスリットから差込んで、シール室32のほぼ中央の位置より炉外側では、前記スリットからシール室32外へ掻出し、前記位置より炉内側では、シール室底部の炉内側端部に異物仮置ピット38へ掻出し、異物が溜った時にピット38の底部に形成した排出蓋44から外部に排出させることにより、容易にシール室32から取り除くことが出来る。
Specifically,
なお、図1の例においては仕切壁の各三角波二斜辺のうち走行路の面に対し45゜を超える傾斜角βを有する斜辺は、その傾斜角βをほぼ直角としたが、これに限られず、45゜を超える任意の傾斜角βとすることができる。また、図1の例においては仕切壁の各三角波二斜辺のうち走行路の面に対し45゜以下の傾斜角αを有する斜辺は、その傾斜角αが20゜程度である。この20゜も含め、傾斜角αは10〜45゜とすることが好ましい。 In the example of FIG. 1, of the two oblique sides of the triangular wave of the partition wall, the oblique side having an inclination angle β exceeding 45 ° with respect to the plane of the traveling road has the inclination angle β of substantially right angle, but is not limited thereto. , An arbitrary inclination angle β exceeding 45 ° can be set. Further, in the example of FIG. 1, the oblique side having an inclination angle α of 45 ° or less with respect to the surface of the traveling road among the two oblique sides of the triangular wave of the partition wall has an inclination angle α of about 20 °. Including this 20 °, the inclination angle α is preferably 10 to 45 °.
図2の場合、三角波はほぼ対称になっているが、考え方は図1の場合と同じである。その他本発明の要旨を変更しない限り、適宜変形して差支えない。 In the case of FIG. 2, the triangular wave is substantially symmetric, but the idea is the same as in FIG. Other modifications may be made as appropriate unless the gist of the present invention is changed.
2、32、60 上流側の原料繊維入口部に形成されたシール室
4、54 原料繊維
6、64 原料繊維がシール室に出入りすると共に内部を走行する走行路
8、74 シール室〜熱処理室間の繊維走行路
10、66 ハウジング上壁
12、68 ハウジング上壁から垂設した仕切板
14、34、70 ハウジング下壁
16、36 ハウジング下壁に形成した仕切壁
18、76 シール室頂部空間部
20、78 窒素供給管
22、80 窒素供給孔
24、40、82 シール室底部空間部
26、42、84 異物
38 異物仮置ピット
44 蓋
52 熱処理炉
56 熱処理室
58 熱処理室側壁
62 下流側の炭素繊維出口部に形成されたシール室
72 ハウジング下壁から突出した仕切板
2, 32, 60 Seal chamber formed at raw material fiber inlet of
Claims (4)
前記シール室は、
(A) 繊維がシール室に出入りすると共に同繊維が内部を走行する走行路を有するハウジングと、
(B) 前記ハウジング内の走行路に沿って所定間隔互いに離れてハウジング上壁から垂設した複数の仕切板であって各仕切板の板面方向が走行路と直交している仕切板と、
(C) 前記ハウジングの下壁に形成した複数の仕切壁であって、前記仕切壁の走行路方向に沿う断面が上方に突出したジグザグの連続三角波をなす仕切壁と
を有するシール室。 A seal chamber formed at a raw material fiber inlet part and / or a carbon fiber outlet part of a heat treatment furnace that calcinates raw material fibers that run in the furnace in the horizontal direction to form carbon fibers,
The seal chamber is
(A) a housing having a traveling path through which the fiber enters and exits the seal chamber and inside the fiber;
(B) a plurality of partition plates that are suspended from the upper wall of the housing and spaced apart from each other by a predetermined distance along the travel path in the housing, and a partition plate in which the plate surface direction of each partition plate is orthogonal to the travel path;
(C) A seal chamber having a plurality of partition walls formed on a lower wall of the housing, and a partition wall forming a zigzag continuous triangular wave whose cross section along the traveling path direction of the partition wall protrudes upward.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005096243A JP4587859B2 (en) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | Seal chamber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005096243A JP4587859B2 (en) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | Seal chamber |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006274495A JP2006274495A (en) | 2006-10-12 |
JP4587859B2 true JP4587859B2 (en) | 2010-11-24 |
Family
ID=37209522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005096243A Expired - Fee Related JP4587859B2 (en) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | Seal chamber |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4587859B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101593869B1 (en) * | 2012-06-27 | 2016-02-12 | 미쯔비시 레이온 가부시끼가이샤 | Carbonization furnace for manufacturing carbon fiber bundles and method for manufacturing carbon fiber bundles |
KR101374012B1 (en) | 2013-01-25 | 2014-03-12 | 주식회사 효성 | Sealing device of furnace for manufacturing carbon fiber |
KR101711810B1 (en) * | 2015-05-29 | 2017-03-06 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | Carbon fiber fabrication equipment |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4719527U (en) * | 1971-01-27 | 1972-11-04 | ||
JPS59137562A (en) * | 1983-01-19 | 1984-08-07 | 旭化成株式会社 | Continuous steam heat-treatng apparatus |
JPH0657572A (en) * | 1991-08-01 | 1994-03-01 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Apparatus for pressurized steam treatment of yarn and treating method |
JPH1183334A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Fujitsu Ten Ltd | Labyrinth structure |
JP2004019053A (en) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Toray Ind Inc | Horizontal type carbonization furnace for producing carbon fiber and method for producing carbon fiber by using the same |
JP2004132691A (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-30 | Toray Ind Inc | Heat treatment furnace |
-
2005
- 2005-03-29 JP JP2005096243A patent/JP4587859B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4719527U (en) * | 1971-01-27 | 1972-11-04 | ||
JPS59137562A (en) * | 1983-01-19 | 1984-08-07 | 旭化成株式会社 | Continuous steam heat-treatng apparatus |
JPH0657572A (en) * | 1991-08-01 | 1994-03-01 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Apparatus for pressurized steam treatment of yarn and treating method |
JPH1183334A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Fujitsu Ten Ltd | Labyrinth structure |
JP2004019053A (en) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Toray Ind Inc | Horizontal type carbonization furnace for producing carbon fiber and method for producing carbon fiber by using the same |
JP2004132691A (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-30 | Toray Ind Inc | Heat treatment furnace |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006274495A (en) | 2006-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6034289B2 (en) | Oxidation furnace | |
JP5856082B2 (en) | Oxidation furnace | |
KR100623368B1 (en) | Direct burn-wet scrubber for semiconductor manufacture equipment | |
US11660563B2 (en) | Apparatus for collecting by-product and method for collecting by-product | |
JP4587859B2 (en) | Seal chamber | |
JP4402846B2 (en) | Continuous firing furnace for flat glass substrates | |
EP1414545B1 (en) | Apparatus for and method of trapping products in exhaust gas | |
JP4693172B2 (en) | Carbonization furnace and carbon fiber manufacturing method using the same | |
TWI589343B (en) | Dust filters installed in semiconductor exhaust gas treatment equipment | |
EP1093560A1 (en) | Ing | |
KR101037990B1 (en) | Continuous furnace | |
JP5613987B2 (en) | Continuous heat treatment apparatus and heat treatment method for porous carbon fiber sheet precursor | |
US8679213B2 (en) | Dust collector | |
KR102209662B1 (en) | Trapping apparatus for cobalt-carbon gas | |
KR100896653B1 (en) | A sintering trailer | |
JP2012207323A (en) | Carbonization furnace and method for operating the same | |
JP4386426B2 (en) | Carbonization furnace | |
JP6010182B2 (en) | Continuous diffusion processing equipment | |
JP4276669B2 (en) | Flameproof heat treatment apparatus and method of operating the apparatus | |
JP7312298B2 (en) | Binder removal furnace | |
JP2008292117A (en) | Continuous burning apparatus | |
JP4192735B2 (en) | Heat treatment furnace | |
KR20170066847A (en) | Dehumidifier for Treating Process Waste Gas | |
KR101173646B1 (en) | Chamber | |
KR101000614B1 (en) | Gas filter housing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130917 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |