JP4569109B2 - Metal-containing paste and semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、金属含有ペーストおよび半導体装置に関する。   The present invention relates to a metal-containing paste and a semiconductor device.

従来から半導体装置を製造するために、半導体素子、発光ダイオード等を金属リードフレームや基板に接着する導電性接着剤が多く用いられている(例えば、特許文献1参照)。このような導電性接着剤は、一般に導電性粉末と熱硬化性樹脂とを混合してペースト状にしたものであり、樹脂ペーストと呼ばれている。この樹脂ペーストには、接着性に加え、耐熱性、耐湿性等が要求されている。   Conventionally, in order to manufacture a semiconductor device, a conductive adhesive that adheres a semiconductor element, a light emitting diode, or the like to a metal lead frame or a substrate is often used (for example, see Patent Document 1). Such a conductive adhesive is generally a paste obtained by mixing a conductive powder and a thermosetting resin, and is called a resin paste. This resin paste is required to have heat resistance, moisture resistance and the like in addition to adhesiveness.

上述の半導体素子等を樹脂ペーストで接着するには、金属リードフレームや基板上に樹脂ペーストを供給し、この樹脂ペーストの上に半導体素子等を押し付けて乗せ、その後加熱炉等で加熱硬化することによって行われている。半導体素子等が付けられたリードフレームや基板は更にワイヤーボンデイングを施し、樹脂モールドされて半導体装置が完成する。   In order to bond the above semiconductor elements etc. with a resin paste, the resin paste is supplied on a metal lead frame or substrate, the semiconductor element etc. is pressed on this resin paste and then heated and cured in a heating furnace or the like. Has been done by. The lead frame or substrate to which the semiconductor element or the like is attached is further subjected to wire bonding and resin molding to complete the semiconductor device.

近年の電子機器の軽量化、薄型化、小型化等に伴い、これら半導体装置は屋外に設置されて使用されることが多くなり、これに伴い半導体装置に使用される樹脂ペーストにも上記の要求特性に加え、耐候性が強く求められるようになっている。
しかし、十分な耐侯性と接着性とを両立する樹脂ペーストは得られていなかった。
With recent reductions in weight, thickness, and size of electronic devices, these semiconductor devices are often installed outdoors and used, and accordingly, the above requirements are also applied to resin pastes used in semiconductor devices. In addition to the characteristics, weather resistance is strongly demanded.
However, a resin paste having both sufficient weather resistance and adhesiveness has not been obtained.

さらに発光波長380〜500nm付近の光半導体素子(青白色LED)が開発されたことにより、そのアッセンブリ工程および光半導体素子の周辺で使用される有機材料には、従来以上に耐紫外線性が強く要求されるようになった。   Furthermore, due to the development of optical semiconductor elements (blue-white LEDs) with an emission wavelength of around 380 to 500 nm, organic materials used in the assembly process and around the optical semiconductor elements are required to have higher UV resistance than before. It came to be.

特開2002−12738号公報JP 2002-12738 A

本発明の目的は、接着性および耐侯性に優れた金属含有ペーストおよびそれを用いた半導体装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a metal-containing paste excellent in adhesion and weather resistance and a semiconductor device using the same.

このような目的は、下記(1)〜(12)に記載の本発明により達成される。
(1)有機樹脂と、アルミニウムを主成分とする第1の金属粉末と、前記アルミニウムと異なる金属を主成分とする第2の金属粉末とを体積比5:95〜40:60で含む半固形状の組成物で構成される金属含有ペーストであって、280nmにおける紫外線反射率[A]が50%以上であり、かつ280nmの紫外線を250時間照射後の紫外線反射率[B]が、前記紫外線反射率[A]の80%以上であることを特徴とする金属含有ペースト。
(2)前記第1の金属粉末の含有量は、前記半固形状の組成物全体の1〜30体積%である上記(1)に記載の金属含有ペースト。
(3)前記第2の金属粉末を構成する金属は、主として銀を含むものである上記(1)または(2)に記載の金属含有ペースト。
(4)前記第1の金属粉末および前記第2の金属粉末の含有量は、前記半固形状の組成物全体の20〜70体積%である上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の金属含有ペースト。
(5)前記第1の金属粉末の平均粒子径は、前記第2の金属粉末の平均粒子径よりも大きいものである上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の金属含有ペースト。
(6)前記第1の金属粉末は、主として板状の金属粉末を含むものである上記(1)ないし(5)のいずれかに記載の金属含有ペースト。
(7)前記有機樹脂は、エポキシ樹脂を含むものである上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の金属含有ペースト。
(8)前記エポキシ樹脂は、芳香族環を有しないものである上記(7)に記載の金属含有ペースト。
(9)前記有機樹脂は、ラジカル重合性材料を含むものである上記(1)ないし(8)のいずれかに記載の金属含有ペースト。
10)半導体部材を接合するために用いるものである上記(1)ないし()のいずれかに記載の金属含有ペースト。
11)上記(1)ないし(10)のいずれかに記載の金属含有ペーストを介して、半導体部材と、支持部材とが接合されていることを特徴とする半導体装置。
12)前記半導体部材は、LEDチップである上記(11)に記載の半導体装置。
Such an object is achieved by the present invention described in the following (1) to ( 12 ).
(1) Semi-solid containing an organic resin, a first metal powder containing aluminum as a main component, and a second metal powder containing a metal different from the aluminum as a main component in a volume ratio of 5:95 to 40:60 A metal-containing paste composed of a composition having a shape, the ultraviolet reflectance [A] at 280 nm is 50% or more, and the ultraviolet reflectance [B] after irradiation with 280 nm ultraviolet rays for 250 hours is A metal-containing paste characterized by having a reflectance [A] of 80% or more .
(2) The metal-containing paste according to (1), wherein the content of the first metal powder is 1 to 30% by volume of the whole semi-solid composition.
(3) The metal-containing paste according to (1) or (2) above, wherein the metal constituting the second metal powder mainly contains silver.
(4) The content of the first metal powder and the second metal powder is 20 to 70% by volume of the whole semisolid composition, according to any one of (1) to (3) above. Metal-containing paste.
(5) The metal-containing paste according to any one of (1) to (4), wherein an average particle size of the first metal powder is larger than an average particle size of the second metal powder.
(6) The metal-containing paste according to any one of (1) to (5), wherein the first metal powder mainly includes a plate-like metal powder.
(7) The metal-containing paste according to any one of (1) to (6), wherein the organic resin includes an epoxy resin.
(8) The metal-containing paste according to (7), wherein the epoxy resin does not have an aromatic ring.
(9) The metal-containing paste according to any one of (1) to (8), wherein the organic resin includes a radical polymerizable material.
( 10 ) The metal-containing paste according to any one of (1) to ( 9 ), which is used for bonding semiconductor members.
( 11 ) A semiconductor device, wherein a semiconductor member and a support member are joined via the metal-containing paste according to any one of (1) to ( 10 ).
( 12 ) The semiconductor device according to ( 11 ), wherein the semiconductor member is an LED chip.

本発明によれば、接着性および耐侯性に優れた金属含有ペーストおよびそれを用いた半導体装置を得ることができる。
また、第1の金属粉末を特定の含有量とする場合、導電性および耐侯性の両方に優れる。
また、有機樹脂として芳香族環を有しないエポキシ樹脂を用いた場合、とくに250時間紫外線照射後の反射率を向上することができ、それによって金属含有ペーストの紫外線による劣化が少ないことが示される。
また、LEDチップに本発明の金属含有ペーストを用いた場合、特に耐侯性の低下を効果的に防止することができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the metal containing paste excellent in adhesiveness and weather resistance and a semiconductor device using the same can be obtained.
Moreover, when making 1st metal powder into specific content, it is excellent in both electroconductivity and weather resistance.
In addition, when an epoxy resin having no aromatic ring is used as the organic resin, it is possible to improve the reflectance particularly after irradiation with ultraviolet rays for 250 hours, thereby showing that the metal-containing paste is less deteriorated by ultraviolet rays.
Further, when the metal-containing paste of the present invention is used for the LED chip, it is possible to effectively prevent the deterioration of weather resistance.

以下、本発明の金属含有ペーストおよび半導体装置について説明する。
本発明の金属含有ペーストは、有機樹脂と、アルミニウムを主成分とする第1の金属粉末と、前記アルミニウムと異なる金属を主成分とする第2の金属粉末とを含む半固形状の組成物で構成される金属含有ペーストであって、前記第1の金属粉末と、第2の金属粉末とを体積比で5:95〜40:60で用いることを特徴とするものである。
また、本発明の半導体装置は、上記に記載の金属含有ペーストを介して、半導体部材と、基板とが接合されていることを特徴とするものである。
Hereinafter, the metal-containing paste and semiconductor device of the present invention will be described.
The metal-containing paste of the present invention is a semi-solid composition comprising an organic resin, a first metal powder containing aluminum as a main component, and a second metal powder containing a metal different from the aluminum as a main component. A metal-containing paste configured, wherein the first metal powder and the second metal powder are used in a volume ratio of 5:95 to 40:60.
Moreover, the semiconductor device of the present invention is characterized in that the semiconductor member and the substrate are bonded via the metal-containing paste described above.

まず、金属含有ペーストについて説明する。
前記有機樹脂は、金属含有ペーストのバインダーとしての作用および接着性を付与する作用を有するものである。また、前記第1の金属粉末は、紫外線領域の波長の反射率に優れ、金属含有ペーストの光反射性を向上する作用を有するものである。また、前記第2の金属粉末は、金属含有ペーストの導電性を向上する作用を有するものである。さらに、前記第1の金属粉末と、第2の金属粉末とを体積比で5:95〜40:60で用いることにより、金属含有ペーストの接着性と耐候性(特に紫外線領域における耐候性)との両方に優れるものである。さらには、金属含有ペーストの熱放散性をも向上するものである。
First, the metal-containing paste will be described.
The organic resin has a function as a binder of the metal-containing paste and a function of imparting adhesiveness. In addition, the first metal powder has excellent reflectivity for wavelengths in the ultraviolet region, and has an effect of improving the light reflectivity of the metal-containing paste. The second metal powder has an effect of improving the conductivity of the metal-containing paste. Further, by using the first metal powder and the second metal powder in a volume ratio of 5:95 to 40:60, adhesion and weather resistance of the metal-containing paste (especially in the ultraviolet region), Both are excellent. Furthermore, the heat dissipating property of the metal-containing paste is also improved.

以下、各成分について具体的に説明する。
1.有機樹脂
前記有機樹脂としては、接着性を有する有機樹脂であれば特に限定されず、例えば硬化性樹脂、ラジカル重合性樹脂が挙げられる。前記硬化性樹脂の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂等の臭素化型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアネートなどの複素環式エポキシ樹脂のほか、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂等の芳香族環を有するエポキシ樹脂、ブタンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル等の脂肪族エポキシ樹脂、ビニルシクロヘキセンジオキサイド、ジシクロペンタジエンジオキサイド、アリサイクリックジエポキシーアジペイト等の脂環式エポキシ樹脂、ビスフェノールA、ビスフェノールF、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等を水素添加した後にエピクロルヒドリンと反応、またはポリグリシジルエーテルを直接水素添加した水添型ポリグリシジルエーテル等の芳香族環を有しないエポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、アセタール樹脂等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂が好ましく、特にその構造中に芳香族環を有しないエポキシ樹脂が好ましい。これにより、金属含有ペーストの耐侯性を特に向上することができる。これらの硬化性樹脂は、1種類あるいは複数種を併用することができる。
Hereinafter, each component will be specifically described.
1. Organic resin The organic resin is not particularly limited as long as it is an organic resin having adhesiveness, and examples thereof include a curable resin and a radical polymerizable resin. Specific examples of the curable resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin such as bisphenol AD type epoxy resin, novolak type epoxy resin such as phenol novolac type epoxy resin and cresol novolac type epoxy resin. Resin, brominated epoxy resin such as brominated bisphenol A type epoxy resin, brominated phenol novolac type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin such as triglycidyl isocyanate, biphenyl type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester Type epoxy resin and other epoxy resins having an aromatic ring, butanediol diglycidyl ether and aliphatic epoxy resin such as neopentyl glycol diglycidyl ether, vinylcyclohex Reaction with epichlorohydrin after hydrogenation of cycloaliphatic epoxy resins such as dioxide, dicyclopentadiene dioxide, alicyclic diepoxy adipate, bisphenol A, bisphenol F, phenol novolac, cresol novolac, etc., or polyglycidyl ether Directly hydrogenated hydrogenated polyglycidyl ether and other epoxy resins that do not have an aromatic ring, such as epoxy resins such as novolak type phenol resins and resol type phenol resins, silicone resins, urethane resins, acrylic resins, and acetal resins Etc. Among these, an epoxy resin is preferable, and an epoxy resin having no aromatic ring in its structure is particularly preferable. Thereby, the weather resistance of a metal containing paste can be improved especially. These curable resins may be used alone or in combination.

前記硬化性樹脂を有機樹脂として用いる場合、硬化剤を用いることが好ましい。前記硬化剤としては、例えばイミダゾール化合物、ジカルボン酸ジヒドラジド化合物、脂肪族アミン、アミンアダクト等の変性アミン、酸無水物、ポリアミド、ジシアンジアミド、メラミン誘導体、ケチミン化合物、ポリメルカプタン等が挙げられ、これらは1種類あるいは複数種を併用することができる。   When using the said curable resin as an organic resin, it is preferable to use a hardening | curing agent. Examples of the curing agent include imidazole compounds, dicarboxylic acid dihydrazide compounds, aliphatic amines, modified amines such as amine adducts, acid anhydrides, polyamides, dicyandiamides, melamine derivatives, ketimine compounds, and polymercaptans. One kind or a plurality of kinds can be used in combination.

また、前記ラジカル重合性樹脂の具体例としては、脂環式(メタ)アクリル酸エステル、脂肪族(メタ)アクリル酸エステル、1分子内に少なくとも1つのメタクリル基或いはアクリル基を有する化合物のモノマー、アクリル酸エステル重合体やウレタンアクリレート、(メタ)アクリル変性ポリブタジエン等のオリゴマー、不飽和ポリエステルジアリルフタレート樹脂、ビニルエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂が挙げられる。これらの中でも紫外光の吸収の無い飽和脂肪鎖を有する構造を有するラジカル重合性樹脂が好ましい。これにより、吸収損失および紫外線劣化を防止することができる。これらのラジカル重合性樹脂は、1種類あるいは複数種を併用することができる。   Specific examples of the radical polymerizable resin include alicyclic (meth) acrylic acid ester, aliphatic (meth) acrylic acid ester, monomer of a compound having at least one methacryl group or acrylic group in the molecule, Examples include acrylic ester polymers, urethane acrylates, oligomers such as (meth) acryl-modified polybutadiene, unsaturated polyester diallyl phthalate resins, vinyl ester resins, and bismaleimide resins. Among these, a radical polymerizable resin having a structure having a saturated fatty chain that does not absorb ultraviolet light is preferable. Thereby, absorption loss and ultraviolet degradation can be prevented. These radically polymerizable resins can be used alone or in combination.

前記ラジカル重合性樹脂を有機樹脂として用いる場合、ラジカル重合開始触媒を併用することが好ましい。
前記ラジカル重合開始触媒としては、例えばt−ブチルパーオキシネオデカノエート、ジクミルパーオキサイド、1.1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサン、t−ブチルパーオキシネオデカノエート等が挙げられる。これらを単体で用いても、複数種を併用しても構わない。これらの中でも1.1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサンまたはt−ブチルパ−オキシネオデカノエートが好ましい。これにより、硬化性とポットライフの両立とペーストの光反射率を向上することができる。その理由は、芳香族環を構造に有しないためUV光の吸収損失を防ぐことができるからである。
When the radical polymerizable resin is used as an organic resin, it is preferable to use a radical polymerization initiation catalyst in combination.
Examples of the radical polymerization initiation catalyst include t-butylperoxyneodecanoate, dicumyl peroxide, 1.1-bis (t-butylperoxy) -2-methylcyclohexane, t-butylperoxyneodecano. Eate. These may be used alone or in combination. Among these, 1.1-bis (t-butylperoxy) -2-methylcyclohexane or t-butyl peroxyneodecanoate is preferable. Thereby, coexistence of sclerosis | hardenability and a pot life and the light reflectivity of a paste can be improved. The reason is that absorption loss of UV light can be prevented because the structure does not have an aromatic ring.

前記ラジカル重合開始触媒の分解開始温度は、特に限定されないが、40〜140℃が好ましく、特に50〜130℃が好ましい。分解開始温度が前記下限値未満であると金属含有ペーストの常温における保存性が低下する場合があり、前記上限値を超えると硬化時間が極端に長くなる場合がある。
前記分解開始温度は、例えば急速加熱試験(試料1gを電熱板上で4℃/分の昇温速度で加熱した時の分解開始温度)で評価することができる。
The decomposition initiation temperature of the radical polymerization initiation catalyst is not particularly limited, but is preferably 40 to 140 ° C, and particularly preferably 50 to 130 ° C. When the decomposition start temperature is less than the lower limit value, the storage stability of the metal-containing paste at normal temperature may be lowered, and when the upper limit value is exceeded, the curing time may become extremely long.
The decomposition start temperature can be evaluated by, for example, a rapid heating test (decomposition start temperature when 1 g of a sample is heated at a heating rate of 4 ° C./min on an electric heating plate).

前記有機樹脂は、特に限定されないが、常温で液状のものが好ましい。これにより、配合する際の作業性を向上することができる。また、金属含有ペーストの粘度を好適にできる。
なお、液状とは常温で流動性を示すものをいう。具体的には、ペーストの粘度10〜50[Pa・s]が好ましく、特に15〜40[Pa・s]が好ましい。前記粘度は、例えば常温でE型粘度計を用いて測定することができる。
The organic resin is not particularly limited, but is preferably a liquid at normal temperature. Thereby, workability | operativity at the time of mix | blending can be improved. Moreover, the viscosity of a metal containing paste can be made suitable.
In addition, liquid means what shows fluidity at normal temperature. Specifically, the viscosity of the paste is preferably 10 to 50 [Pa · s], particularly preferably 15 to 40 [Pa · s]. The viscosity can be measured using an E-type viscometer at room temperature, for example.

前記有機樹脂のイオン性不純物の含有量は、特に限定されないが、800ppm以下が好ましく、特に600ppm以下が好ましい。イオン性不純物の含有量が前記範囲を超えると半導体の導通不良を生ずる場合がある。   The content of ionic impurities in the organic resin is not particularly limited, but is preferably 800 ppm or less, particularly preferably 600 ppm or less. If the content of ionic impurities exceeds the above range, a semiconductor conduction failure may occur.

前記有機樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記半固形状の組成物全体の30〜80体積%が好ましく、特に50〜75体積%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると光の反射性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると粘度が高くなり、作業性が低下する場合がある。   Although content of the said organic resin is not specifically limited, 30-80 volume% of the whole said semi-solid composition is preferable, and 50-75 volume% is especially preferable. When the content is less than the lower limit value, the effect of improving the light reflectivity may be reduced, and when the content exceeds the upper limit value, the viscosity may be increased and workability may be reduced.

2.アルミニウムを主成分とする第1の金属粉末
前記第1の金属粉末としては、例えば金属アルミニウム単体、Al−Mg系、Al−Mg−Si系、Al−Cu系等のアルミニウム合金等が挙げられる。これらの中でも金属アルミニウム単体が好ましい。これにより、紫外線反射性を特に向上することができる。
2. The first metal powder said first metal powder containing aluminum as a main component, like for example metallic aluminum alone, A l-Mg system, Al-Mg-Si based aluminum alloys of Al-Cu-based and the like . Among these, metal aluminum simple substance is preferable. Thereby, ultraviolet reflectivity can be improved especially.

前記第1の金属粉末の形状としては、例えば球状体、フレーク状、鱗片状、薄板状等の板状体、針状体、繊維状体、樹脂枝状体等が挙げられる。これらの中でも板状の第1の金属粉末が好ましい。これにより、光の反射性を向上することができる。   Examples of the shape of the first metal powder include plate-like bodies such as spheres, flakes, scales, and thin plates, needle-like bodies, fibrous bodies, and resin branches. Among these, a plate-like first metal powder is preferable. Thereby, the light reflectivity can be improved.

前記第1の金属粉末の平均粒子径は、特に限定されないが、前記第2の金属粉末の平均粒子径よりも大きいことが好ましい。これにより、特に紫外光の反射性を向上することができる。
前記第1の金属粉末の平均粒子径は、具体的には3〜30μmが好ましく、特に5〜20μmが好ましい。平均粒子径が前記下限値未満であると耐候性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると金属含有ペーストを充填する際の作業性が低下する場合がある。
The average particle diameter of the first metal powder is not particularly limited, but is preferably larger than the average particle diameter of the second metal powder. Thereby, especially the reflectivity of ultraviolet light can be improved.
Specifically, the average particle diameter of the first metal powder is preferably 3 to 30 μm, particularly preferably 5 to 20 μm. When the average particle size is less than the lower limit, the effect of improving the weather resistance may be reduced, and when the upper limit is exceeded, workability when filling the metal-containing paste may be reduced.

前記第1の金属粉末のイオン性不純物含有量は、特に限定されないが、10ppm以下であることが好ましく、特に8ppm以下であることが好ましい。イオン性不純物の含有量が前記範囲を超えると半導体の導通不良を生ずる場合がある。前記イオン性不純物としては、例えばハロゲンイオン、アルカリ金属イオン等が挙げられる。   The ionic impurity content of the first metal powder is not particularly limited, but is preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 8 ppm or less. If the content of ionic impurities exceeds the above range, a semiconductor conduction failure may occur. Examples of the ionic impurities include halogen ions and alkali metal ions.

前記第1の金属粉末の含有量は、特に限定されないが、前記半固形状の組成物全体の1〜30体積%が好ましく、特に2〜12体積%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると耐候性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると導電性が低下する場合がある。   Although content of the said 1st metal powder is not specifically limited, 1-30 volume% of the whole said semi-solid composition is preferable, and 2-12 volume% is especially preferable. If the content is less than the lower limit, the effect of improving the weather resistance may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the conductivity may be reduced.

前記第1の金属粉末は、特に限定されないが、その表面が表面処理されていることが好ましい。これにより、長期信頼性を向上することができる。すなわち、前記第1の金属粉末の表面が酸化されることにより、耐紫外線反射性が低下するのを防止することができる。
具体的には、前記第1の金属粉末を表面処理する材料としては、ステアリン酸、オレイン酸、ラウリン酸、オクチル酸等の飽和脂肪酸または不飽和脂肪酸等の脂肪酸が挙げられる。
前記脂肪酸の炭素数は、特に限定されないが、8〜25が好ましく、特に10〜20が好ましい。炭素数が前記範囲内であると、第1の金属粉末同士の凝集を防止できると共に、金属含有ペーストの長期信頼性を特に向上することができる。
Although the said 1st metal powder is not specifically limited, It is preferable that the surface is surface-treated. Thereby, long-term reliability can be improved. That is, the surface of the first metal powder is oxidized to prevent the UV resistance from decreasing.
Specifically, examples of the material for surface-treating the first metal powder include fatty acids such as saturated fatty acids such as stearic acid, oleic acid, lauric acid, and octylic acid, and unsaturated fatty acids.
Although carbon number of the said fatty acid is not specifically limited, 8-25 are preferable and 10-20 are especially preferable. When the carbon number is within the above range, aggregation of the first metal powders can be prevented, and the long-term reliability of the metal-containing paste can be particularly improved.

3.前記アルミニウムと異なる金属を主成分とする第2の金属粉末
前記第2の金属粉末を構成する金属としては、金、銀、銅、ニッケル、鉄、ステンレス等の導電性の粉末が挙げられる。これらの中でも銀が好ましい。これにより、導電性と紫外光の反射性とを両立することができる。
3. Second metal powder mainly composed of metal different from aluminum Examples of the metal constituting the second metal powder include conductive powder such as gold, silver, copper, nickel, iron, and stainless steel. Among these, silver is preferable. Thereby, both conductivity and reflectivity of ultraviolet light can be achieved.

前記第2の金属粉末の形状としては、例えば球状体、フレーク状、鱗片状、薄板状等の板状体、針状体、繊維状体、樹脂枝状体等が挙げられる。これらの中でも板状の第2の金属粉末が好ましい。これにより、導電性を向上することができる。   Examples of the shape of the second metal powder include a plate-like body such as a spherical body, a flake shape, a scale shape, and a thin plate shape, a needle-like body, a fibrous body, and a resin branch body. Among these, a plate-like second metal powder is preferable. Thereby, electroconductivity can be improved.

前記第1の金属粉末の形状と、前記第2の金属粉末の形状とは、異なるものでも良いが、同じ形状であることが好ましい。これにより、作業性を向上することができる。   The shape of the first metal powder and the shape of the second metal powder may be different, but are preferably the same shape. Thereby, workability | operativity can be improved.

前記第2の金属粉末の平均粒子径は、特に限定されないが、0.05〜50μmが好ましく、特に0.1〜30μmが好ましい。平均粒子径が前記下限値未満であると金属含有ペーストの粘度が高くなり半導体素子へ供給するのが困難となる場合があり、前記上限値を超えると金属含有ペーストを塗布する際にブリードが発生する場合がある。
また、前記第2の金属粉末の最大粒子径は、50μm以下が好ましく、特に20μm以下が好ましい。最大粒子径が前記範囲内であると、ディスペンサーで金属含有ペーストを塗布する際の作業性に特に優れる。
The average particle diameter of the second metal powder is not particularly limited, but is preferably 0.05 to 50 μm, and particularly preferably 0.1 to 30 μm. If the average particle size is less than the lower limit, the viscosity of the metal-containing paste may increase and it may be difficult to supply to the semiconductor element. If the upper limit is exceeded, bleeding occurs when the metal-containing paste is applied. There is a case.
The maximum particle size of the second metal powder is preferably 50 μm or less, particularly preferably 20 μm or less. When the maximum particle size is within the above range, the workability when applying the metal-containing paste with a dispenser is particularly excellent.

前記第2の金属粉末のイオン性不純物の含有量は、特に限定されないが、10ppm以下であることが好ましく、特に8ppm以下であることが好ましい。イオン性不純物の含有量が前記範囲を超えると半導体の導通不良を生じる場合がある。前記イオン性不純物としては、例えばハロゲンイオン、アルカリ金属イオン等が挙げられる。   The content of ionic impurities in the second metal powder is not particularly limited, but is preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 8 ppm or less. If the content of ionic impurities exceeds the above range, a semiconductor conduction failure may occur. Examples of the ionic impurities include halogen ions and alkali metal ions.

前記第2の金属粉末の含有量は、特に限定されないが、前記半固形状の組成物全体の10〜70体積%が好ましく、特に14〜65体積%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると耐候性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると導電性が低下する場合がある。   Although content of the said 2nd metal powder is not specifically limited, 10-70 volume% of the whole said semi-solid composition is preferable, and 14-65 volume% is especially preferable. If the content is less than the lower limit, the effect of improving the weather resistance may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the conductivity may be reduced.

前述したように本発明では、前記第1の金属粉末と、第2の金属粉末とを体積比で5:95〜40:60で用いることを特徴とする。これにより、金属含有ペーストの接着性と耐候性(特に紫外線領域における耐候性)との両方に優れる。前記第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は、8:92〜35:65が好ましく、特に10:90〜30:70が好ましい。重量比が前記範囲内であると、特に導電性と紫外光反射性に優れる。   As described above, the present invention is characterized in that the first metal powder and the second metal powder are used in a volume ratio of 5:95 to 40:60. Thereby, it is excellent in both the adhesiveness of a metal containing paste, and a weather resistance (especially the weather resistance in a ultraviolet region). The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder is preferably 8:92 to 35:65, and particularly preferably 10:90 to 30:70. When the weight ratio is within the above range, the conductivity and ultraviolet light reflectivity are particularly excellent.

また、前記第1の金属粉末および第2の金属粉末の含有量は、特に限定されないが、前記半固形状の組成物全体の20〜70体積%が好ましく、特に25〜50体積%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると光反射性と導電性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると金属含有ペーストの作業性が低下する場合がある。   Moreover, the content of the first metal powder and the second metal powder is not particularly limited, but is preferably 20 to 70% by volume, and particularly preferably 25 to 50% by volume, based on the whole semisolid composition. If the content is less than the lower limit, the effect of improving light reflectivity and conductivity may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the workability of the metal-containing paste may be reduced.

また、本発明は有機樹脂と、280nmの紫外線の反射率60%以上の第3の金属粉末と、抵抗率2.0×10−8(Ω・m)以下の第4の金属粉末とを含む半固形状の組成物で構成される金属含有ペーストであって、前記第3の金属粉末と、第4の金属粉末とを体積比で5:95〜40:60で用いることもできる。
前記抵抗率は、温度20℃でのものである。
Further, the present invention includes an organic resin, a third metal powder having an ultraviolet reflectance of 280 nm of 60% or more, and a fourth metal powder having a resistivity of 2.0 × 10 −8 (Ω · m) or less. A metal-containing paste composed of a semi-solid composition, wherein the third metal powder and the fourth metal powder can be used in a volume ratio of 5:95 to 40:60.
The resistivity is at a temperature of 20 ° C.

前記第3の金属粉末としては、例えば金属アルミニウム単体等のアルミニウムを主成分とする金属粉末、ロジウムを主成分とする金属粉末等が挙げられる。これらの中でもアルミニウムを主成分とする金属粉末が好ましい。これにより、特に紫外線の反射性を向上することができ、それによって金属含有ペーストの耐侯性を向上することができる。   Examples of the third metal powder include metal powders mainly composed of aluminum such as metal aluminum alone, and metal powders mainly composed of rhodium. Among these, metal powders mainly composed of aluminum are preferable. Thereby, especially the reflectivity of ultraviolet rays can be improved, and thereby the weather resistance of the metal-containing paste can be improved.

前記第3の金属粉末の形状としては、例えば球状体、フレーク状、鱗片状、薄板状等の板状体、針状体、繊維状体、樹脂枝状体等が挙げられる。これらの中でも板状の第3の金属粉末が好ましい。これにより、光の反射性を向上することができる。   Examples of the shape of the third metal powder include plate-like bodies such as spherical bodies, flakes, scales, and thin plates, needle-like bodies, fibrous bodies, and resin branches. Among these, a plate-like third metal powder is preferable. Thereby, the light reflectivity can be improved.

前記第3の金属粉末の平均粒子径は、特に限定されないが、前記第4の金属粉末の平均粒子径よりも大きいことが好ましい。これにより、特に紫外光の反射性を向上することができる。
前記第3の金属粉末の平均粒子径は、具体的には3〜30μmが好ましく、特に5〜20μmが好ましい。平均粒子径が前記下限値未満であると耐候性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると金属含有ペーストを充填する際の作業性が低下する場合がある。
The average particle diameter of the third metal powder is not particularly limited, but is preferably larger than the average particle diameter of the fourth metal powder. Thereby, especially the reflectivity of ultraviolet light can be improved.
Specifically, the average particle diameter of the third metal powder is preferably 3 to 30 μm, and particularly preferably 5 to 20 μm. If the average particle size is less than the lower limit, the effect of improving the weather resistance may be reduced, and if it exceeds the upper limit, the workability when filling the metal-containing paste may be reduced.

前記第3の金属粉末のイオン性不純物含有量は、特に限定されないが、10ppm以下であることが好ましく、特に8ppm以下であることが好ましい。イオン性不純物の含有量が前記範囲を超えると半導体の導通不良を生ずる場合がある。前記イオン性不純物としては、例えばハロゲンイオン、アルカリ金属イオン等が挙げられる。   The ionic impurity content of the third metal powder is not particularly limited, but is preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 8 ppm or less. If the content of ionic impurities exceeds the above range, a semiconductor conduction failure may occur. Examples of the ionic impurities include halogen ions and alkali metal ions.

前記第3の金属粉末の含有量は、特に限定されないが、前記半固形状の組成物全体の1〜30体積%が好ましく、特に2〜12体積%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると耐候性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると導電性が低下する場合がある。   Although content of the said 3rd metal powder is not specifically limited, 1-30 volume% of the whole said semi-solid composition is preferable, and 2-12 volume% is especially preferable. If the content is less than the lower limit, the effect of improving the weather resistance may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the conductivity may be reduced.

前記第3の金属粉末は、特に限定されないが、その表面が表面処理されていることが好ましい。これにより、長期信頼性を向上することができる。すなわち、前記第3の金属粉末の表面が酸化されることにより、耐紫外線反射性が低下するのを防止することができる。
具体的には、前記第3の金属粉末を表面処理する材料としては、ステアリン酸、オレイン酸、ラウリン酸、オクチル酸等の飽和脂肪酸または不飽和脂肪酸等の脂肪酸が挙げられる。
前記脂肪酸の炭素数は、特に限定されないが、8〜25が好ましく、特に10〜20が好ましい。炭素数が前記範囲内であると、第1の金属粉末同士の凝集を防止できると共に、金属含有ペーストの長期信頼性を特に向上することができる。
Although the said 3rd metal powder is not specifically limited, It is preferable that the surface is surface-treated. Thereby, long-term reliability can be improved. That is, it is possible to prevent the anti-ultraviolet ray resistance from being lowered by oxidizing the surface of the third metal powder.
Specifically, examples of the material for surface-treating the third metal powder include fatty acids such as saturated fatty acids such as stearic acid, oleic acid, lauric acid, and octylic acid, and unsaturated fatty acids.
Although carbon number of the said fatty acid is not specifically limited, 8-25 are preferable and 10-20 are especially preferable. When the carbon number is within the above range, aggregation of the first metal powders can be prevented, and the long-term reliability of the metal-containing paste can be particularly improved.

前記第4の金属粉末としては、例えば銀を主成分とする金属粉末、銅を主成分とする金属粉末、金を主成分とする金属粉末等が挙げられる。これらの中でも銀を主成分とする金属粉末が好ましい。これにより、金属含有ペーストの導電性を向上することができる。   Examples of the fourth metal powder include a metal powder mainly containing silver, a metal powder mainly containing copper, and a metal powder mainly containing gold. Among these, a metal powder mainly composed of silver is preferable. Thereby, the electroconductivity of a metal containing paste can be improved.

前記第4の金属粉末の形状としては、例えば球状体、フレーク状、鱗片状、薄板状等の板状体、針状体、繊維状体、樹脂枝状体等が挙げられる。これらの中でも板状の第4の金属粉末が好ましい。これにより、導電性を向上することができる。   Examples of the shape of the fourth metal powder include plate-like bodies such as spherical bodies, flakes, scales, and thin plates, needle-like bodies, fibrous bodies, resin branch bodies, and the like. Among these, a plate-like fourth metal powder is preferable. Thereby, electroconductivity can be improved.

前記第3の金属粉末の形状と、前記第4の金属粉末の形状とは、異なるものでも良いが、同じ形状であることが好ましい。これにより、作業性を向上することができる。   The shape of the third metal powder and the shape of the fourth metal powder may be different, but are preferably the same shape. Thereby, workability | operativity can be improved.

前記第4の金属粉末の平均粒子径は、特に限定されないが、0.05〜50μmが好ましく、特に0.1〜30μmが好ましい。平均粒子径が前記下限値未満であると金属含有ペーストの粘度が高くなり半導体素子へ供給するのが困難となる場合があり、前記上限値を超えると金属含有ペーストを塗布する際にブリードが発生する場合がある。
また、前記第4の金属粉末の最大粒子径は、50μm以下が好ましく、特に20μm以下が好ましい。最大粒子径が前記範囲内であると、ディスペンサーで金属含有ペーストを塗布する際の作業性に特に優れる。
The average particle diameter of the fourth metal powder is not particularly limited, but is preferably 0.05 to 50 μm, particularly preferably 0.1 to 30 μm. If the average particle size is less than the lower limit, the viscosity of the metal-containing paste may increase and it may be difficult to supply to the semiconductor element. If the upper limit is exceeded, bleeding occurs when the metal-containing paste is applied. There is a case.
The maximum particle size of the fourth metal powder is preferably 50 μm or less, and particularly preferably 20 μm or less. When the maximum particle size is within the above range, the workability when applying the metal-containing paste with a dispenser is particularly excellent.

前記第4の金属粉末のイオン性不純物の含有量は、特に限定されないが、10ppm以下であることが好ましく、特に8ppm以下であることが好ましい。イオン性不純物の含有量が前記範囲を超えると半導体の導通不良を生じる場合がある。前記イオン性不純物としては、例えばハロゲンイオン、アルカリ金属イオン等が挙げられる。   The content of ionic impurities in the fourth metal powder is not particularly limited, but is preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 8 ppm or less. If the content of ionic impurities exceeds the above range, a semiconductor conduction failure may occur. Examples of the ionic impurities include halogen ions and alkali metal ions.

前記第4の金属粉末の含有量は、特に限定されないが、前記半固形状の組成物全体の10〜70体積%が好ましく、特に14〜65体積%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると耐候性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると導電性が低下する場合がある。   Although content of the said 4th metal powder is not specifically limited, 10-70 volume% of the whole said semi-solid composition is preferable, and 14-65 volume% is especially preferable. If the content is less than the lower limit, the effect of improving the weather resistance may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the conductivity may be reduced.

前記第3の金属粉末と、第4の金属粉末とを体積比で5:95〜40:60で用いることが好ましく、特に8:92〜35:65が好ましく、最も10:90〜30:70が好ましい。これにより、金属含有ペーストの接着性と耐候性(特に紫外線領域における耐候性)との両方に優れる。前記第3の金属粉末と、第4の金属粉末との体積比が前記範囲内であると、特に導電性と紫外光反射性に優れる。   The third metal powder and the fourth metal powder are preferably used in a volume ratio of 5:95 to 40:60, more preferably 8:92 to 35:65, and most preferably 10:90 to 30:70. Is preferred. Thereby, it is excellent in both the adhesiveness of a metal containing paste, and a weather resistance (especially the weather resistance in a ultraviolet region). When the volume ratio between the third metal powder and the fourth metal powder is within the above range, the conductivity and the ultraviolet light reflectivity are particularly excellent.

前記有機樹脂としては、上述と同様のものを用いることができる。   As the organic resin, the same ones as described above can be used.

前記半固形状の組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で希釈剤、硬化促進剤、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等のカップリング剤、顔料、染料、消泡剤、界面活性剤、nmサイズの充填材(例えば1〜100nmの充填材)、有機充填材の表面に金属を被覆した複合充填材等を添加しても良い。
特に前記有機樹脂が固形や半固形である場合、また液状でも粘度が高い場合は、希釈剤(溶剤)を用いることが好ましい。このような希釈剤としては、例えばフェニルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、エチルヘキシルグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル等で代表される反応性希釈剤、ブチルセロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール等の非反応性希釈剤、およびリン酸トリクレシル、フタル酸ジフチル、フタル酸ジオクチル等で代表される可塑剤等が挙げられる。これらは、単体で用いても、複数種を併用しても構わない。
これらの希釈剤は、金属含有ペーストを滴下するに適した粘度とする量が用いられることが好ましい。
The semi-solid composition includes a diluent, a curing accelerator, a silane coupling agent, a coupling agent such as a titanate coupling agent, a pigment, a dye, an antifoaming agent, and an interface as long as the object of the present invention is not impaired. An activator, nm-size filler (for example, 1 to 100 nm filler), a composite filler in which a metal is coated on the surface of an organic filler, and the like may be added.
In particular, when the organic resin is solid or semi-solid, or when it is liquid but has a high viscosity, it is preferable to use a diluent (solvent). Examples of such a diluent include reactive diluents such as phenyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, ethylhexyl glycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, butyl cellosolve, methyl cellosolve, butyl carbyl Examples include non-reactive diluents such as tall acetate and butyl carbitol, and plasticizers represented by tricresyl phosphate, diphtyl phthalate, dioctyl phthalate, and the like. These may be used alone or in combination.
These diluents are preferably used in an amount suitable for the viscosity suitable for dropping the metal-containing paste.

また、前記有機樹脂が、特にエポキシ樹脂である場合、その希釈剤としてはエポキシ基を有する反応性希釈剤を併用することが好ましい。これにより、金属含有ペーストの作業性を向上することができる。
前記反応性希釈剤としては、例えばn−ブチルジグリシジルエーテル、バーサティック酸ジグリシジルエステル、エチルヘキシルグリシジルエーテル等が挙げられる。これらは、単体で用いても、複数種を併用しても構わない。
Moreover, when the said organic resin is an epoxy resin especially, it is preferable to use together the reactive diluent which has an epoxy group as the diluent. Thereby, workability | operativity of a metal containing paste can be improved.
Examples of the reactive diluent include n-butyl diglycidyl ether, versatic acid diglycidyl ester, ethylhexyl glycidyl ether, and the like. These may be used alone or in combination.

本発明の金属含有ペーストは、例えば上述したような半固形状の組成物を予備混合し、ロールを用いて混練した後、真空下脱泡することにより得ることができる。   The metal-containing paste of the present invention can be obtained, for example, by premixing a semisolid composition as described above, kneading using a roll, and degassing under vacuum.

前記金属含有ペーストの280nmの紫外線反射率[A]は、特に限定されないが、50%以上が好ましく、特に60〜95%が好ましい。紫外線反射率が前記範囲内であると、特に耐侯性に優れる。   The ultraviolet reflectance [A] at 280 nm of the metal-containing paste is not particularly limited, but is preferably 50% or more, particularly preferably 60 to 95%. When the ultraviolet reflectance is within the above range, the weather resistance is particularly excellent.

前記金属含有ペーストに280nmの紫外線を250時間照射後の紫外線反射率[B]は、特に限定されないが、前記紫外線反射率[A]の80%以上であることが好ましく、特に90%以上であることが好ましい。紫外線反射率が前記範囲内であると、特に長期信頼性にも優れる。   The ultraviolet reflectance [B] after irradiating the metal-containing paste with ultraviolet rays of 280 nm for 250 hours is not particularly limited, but is preferably 80% or more of the ultraviolet reflectance [A], particularly 90% or more. It is preferable. When the ultraviolet reflectance is within the above range, the long-term reliability is particularly excellent.

前記金属含有ペーストの粘度は、特に限定されないが、5〜100[Pa・s]が好ましく、特に10〜50[Pa・s]が好ましい。粘度が前記範囲内であると、特に作業性に優れる。   The viscosity of the metal-containing paste is not particularly limited, but is preferably 5 to 100 [Pa · s], particularly preferably 10 to 50 [Pa · s]. When the viscosity is within the above range, workability is particularly excellent.

このような金属含有ペーストは、例えばIC、LSI等の半導体素子と、リードフレーム、基板等の半導体支持部材とを接合するために用いることができる。   Such a metal-containing paste can be used, for example, to join a semiconductor element such as an IC or LSI and a semiconductor support member such as a lead frame or a substrate.

次に、半導体装置について説明する。
図1は、本発明の半導体装置の一例を示す断面図である。
半導体装置1は、基板2と、金属含有ペースト3と、青白色LEDチップ4とで構成される。
基板2と、青白色LEDチップ4とは、金属含有ペースト3を介して接合される。
青白色LEDチップ4と、基板2とは、ワイヤー5で接続される。
Next, a semiconductor device will be described.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a semiconductor device of the present invention.
The semiconductor device 1 includes a substrate 2, a metal-containing paste 3, and a bluish white LED chip 4.
The substrate 2 and the blue-white LED chip 4 are joined via the metal-containing paste 3.
The blue-white LED chip 4 and the substrate 2 are connected by a wire 5.

基板2としては、例えば、42アロイリードフレーム、銅リードフレーム等のリードフレーム、ガラスエポキシ基板(ガラス繊維強化エポキシ樹脂からなる基板)、BT基板(シアネートモノマー及びそのオリゴマーとビスマレイミドからなるBTレジン使用基板)等の有機基板が挙げられる。   As the substrate 2, for example, a lead frame such as a 42 alloy lead frame, a copper lead frame, a glass epoxy substrate (a substrate made of glass fiber reinforced epoxy resin), a BT substrate (a BT resin made of cyanate monomer and its oligomer and bismaleimide) is used. Organic substrate such as a substrate).

青白色LEDチップ4と、基板2との金属含有ペースト3を用いて接合する方法としては、例えば基板2上に金属含有ペースト3をディスペンス法、スクリーン印刷法、スタンピング法等により塗布した後、青白色LEDチップ4を圧着し、その後オーブン、ヒートブロックなどの加熱装置を用いて加熱硬化する方法が挙げられる。
また、さらに、ワイヤボンド工程を経たのち、通常の方法により封止することにより完成された半導体装置とすることができる。
As a method for bonding the blue-white LED chip 4 and the substrate 2 using the metal-containing paste 3, for example, the metal-containing paste 3 is applied on the substrate 2 by a dispensing method, a screen printing method, a stamping method, or the like. There is a method in which the white LED chip 4 is pressure-bonded and then heated and cured using a heating device such as an oven or a heat block.
Furthermore, after a wire bonding step, the semiconductor device can be completed by sealing by a normal method.

本発明の半導体装置1は、接着性および耐候性に優れた金属含有ペースト3を用いているので、耐候性に優れ、かつ接続信頼性に優れている。
また、半導体装置1は、耐紫外線反射性に優れる金属含有ペースト3を用いているので、長期信頼性にも優れている。長期信頼性に優れる理由は、以下の通りである。金属含有ペースト3は青白色LEDチップ4から発光される紫外線付近の波長の光に対しての反射性に優れているため、金属含有ペースト3の劣化を防止することができるからである。さらに、金属含有ペースト3は、青白色LEDチップ4から発光される紫外線付近の波長の光に対しての反射性に優れているため青白色LEDチップ4の輝度の低下をも防止することができる。
Since the semiconductor device 1 of the present invention uses the metal-containing paste 3 having excellent adhesion and weather resistance, the semiconductor device 1 has excellent weather resistance and excellent connection reliability.
In addition, since the semiconductor device 1 uses the metal-containing paste 3 that is excellent in ultraviolet ray resistance, the semiconductor device 1 is also excellent in long-term reliability. The reason for excellent long-term reliability is as follows. This is because the metal-containing paste 3 can prevent deterioration of the metal-containing paste 3 because it is excellent in reflectivity with respect to light having a wavelength in the vicinity of ultraviolet rays emitted from the blue-white LED chip 4. Furthermore, since the metal-containing paste 3 is excellent in reflectivity with respect to light having a wavelength in the vicinity of ultraviolet rays emitted from the blue-white LED chip 4, it is possible to prevent a decrease in luminance of the blue-white LED chip 4. .

なお、本実施の形態では半導体素子として青白色LEDチップ4を用いたが、本発明はこれに限定されず、IC、LSI等の半導体素子を用いることもできる。   In the present embodiment, the blue-white LED chip 4 is used as a semiconductor element. However, the present invention is not limited to this, and a semiconductor element such as an IC or LSI can also be used.

以下、本発明の金属含有ペーストおよび半導体装置について実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは無い。まず、金属含有ペーストの実施例および比較例について説明する。
(実施例1)
有機樹脂として脂環式エポキシ樹脂(ダイセル化学工業社製、セロキサイド2021、常温での粘度0.3Pa・s)80重量%(34.5体積%)と、硬化剤として4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸(新日本理化社製、リカシッドMH−700)80重量%(34.4体積%)と、2−メチルイミダゾール0.2重量%(0.1体積%)と、第1の金属粉末としてステアリン酸で表面処理されたフレーク状のアルミニウム粉末A(平均粒子径10μm、イオン性不純物10ppm以下)33重量%(6.0体積%)と、第2の金属粉末としてフレーク状の銀粉(平均粒子径3μm、最大粒子径40μm)525重量%(25.0体積%)とを三本ロールで室温、20分間混練して金属含有ペーストを得た。この金属含有ペーストを真空チャンバーにて脱泡して、各種評価を行った。
なお、第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は19:81であった。
Hereinafter, although the metal containing paste and semiconductor device of this invention are demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited to this. First, the Example and comparative example of a metal containing paste are demonstrated.
Example 1
80% by weight (34.5% by volume) of alicyclic epoxy resin (manufactured by Daicel Chemical Industries, Celoxide 2021, viscosity 0.3 Pa · s at room temperature) as an organic resin, and 4-methylhexahydrophthalic anhydride as a curing agent 80% by weight (34.4% by volume) of acid (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd., Ricacid MH-700), 0.2% by weight (0.1% by volume) of 2-methylimidazole, and stearin as the first metal powder Flaked aluminum powder A surface-treated with acid (average particle size 10 μm, ionic impurities 10 ppm or less) 33% by weight (6.0% by volume) and flaky silver powder (average particle size) as the second metal powder 3 μm, maximum particle diameter of 40 μm) and 525 wt% (25.0 vol%) were kneaded with a three roll at room temperature for 20 minutes to obtain a metal containing paste. The metal-containing paste was defoamed in a vacuum chamber and subjected to various evaluations.
The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder was 19:81.

(実施例2)
第1の金属粉末と、第2の金属粉末との割合を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末を11重量%(2.0体積%)と、第2の金属粉末を609重量%(29.0体積%)とした。
なお、第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は6:94であった。
(Example 2)
It carried out similarly to Example 1 except having changed the ratio of the 1st metal powder and the 2nd metal powder as follows.
The first metal powder was 11% by weight (2.0% by volume), and the second metal powder was 609% by weight (29.0% by volume).
The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder was 6:94.

(実施例3)
第1の金属粉末と、第2の金属粉末との割合を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末を60重量%(11体積%)と、第2の金属粉末を380重量%(20体積%)とした。
なお、第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は35:65であった。
(Example 3)
It carried out similarly to Example 1 except having changed the ratio of the 1st metal powder and the 2nd metal powder as follows.
The first metal powder was 60% by weight (11% by volume), and the second metal powder was 380% by weight (20% by volume).
The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder was 35:65.

(実施例4)
第1の金属粉末として以下のものを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末として、ステアリン酸で表面処理されたフレーク状のアルミニウムB(平均粒子径3μm、イオン性不純物10ppm以下)を用いた。
Example 4
It carried out similarly to Example 1 except having used the following as 1st metal powder.
As the first metal powder, flaky aluminum B (average particle size of 3 μm, ionic impurities of 10 ppm or less) surface-treated with stearic acid was used.

(実施例5)
第1の金属粉末として以下のものを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末として、ステアリン酸で表面処理されたフレーク状のアルミニウムC(平均粒子径30μm、イオン性不純物10ppm以下)を用いた。
(Example 5)
It carried out like Example 1 except having used the following as the 1st metal powder.
As the first metal powder, flaky aluminum C (average particle size 30 μm, ionic impurities 10 ppm or less) surface-treated with stearic acid was used.

(実施例6)
第1の金属粉末として以下のものを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末として、ステアリン酸で表面処理された球状のアルミニウムD(平均粒子径10μm、イオン性不純物10ppm以下)を用いた。
(Example 6)
It carried out like Example 1 except having used the following as the 1st metal powder.
As the first metal powder, spherical aluminum D (average particle size 10 μm, ionic impurities 10 ppm or less) surface-treated with stearic acid was used.

(実施例7)
第1の金属粉末として以下のものを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末として、表面処理されていない球状のアルミニウムE(平均粒子径10μm、イオン性不純物10ppm以下)を用いた。
(Example 7)
It carried out like Example 1 except having used the following as the 1st metal powder.
As the first metal powder, spherical aluminum E (average particle diameter: 10 μm, ionic impurities: 10 ppm or less) not subjected to surface treatment was used.

(実施例8)
有機樹脂として以下のものを用い、第1の金属粉末および第2の金属粉末の含有量を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
有機樹脂として、ラジカル重合性オリゴマー(アクリル変性水素添加型ポリブタジエン、数平均分子量:約2250、日本曹達社製、TEAI−1000)50重量%(32.1体積%)と、ラジカル重合性モノマー(1.6−ヘキサンジオール)50重量%(30.3体積%)と、ラジカル重合触媒[1.1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサン、急速加熱試験分解温度:109℃、日本油脂社製、パーヘキサ3M]1重量%(0.6体積%)とを用い、第1の金属粉末を8重量%(2.0体積%)と、第2の金属粉末を608重量%(35.0体積%)とした。
なお、第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は5:95であった。
(Example 8)
The following was performed as in Example 1 except that the following were used as the organic resin, and the contents of the first metal powder and the second metal powder were as follows.
As the organic resin, radically polymerizable oligomer (acryl-modified hydrogenated polybutadiene, number average molecular weight: about 2250, Nippon Soda Co., Ltd., TEAI-1000) 50% by weight (32.1% by volume) and radically polymerizable monomer (1 .6-hexanediol) 50% by weight (30.3% by volume) and radical polymerization catalyst [1.1-bis (t-butylperoxy) -2-methylcyclohexane, rapid heating test decomposition temperature: 109 ° C., Japan 1% by weight (0.6% by volume) of Perhexa 3M] manufactured by Yushi Co., Ltd., 8% by weight (2.0% by volume) of the first metal powder and 608% by weight (35% of the second metal powder) 0.0 vol%).
The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder was 5:95.

(比較例1)
第1の金属粉末と、第2の金属粉末との割合を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末を6重量%(1.0体積%)と、第2の金属粉末を630重量%(30.0体積%)とした。
なお、第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は3:97であった。
(Comparative Example 1)
It carried out similarly to Example 1 except having changed the ratio of the 1st metal powder and the 2nd metal powder as follows.
The first metal powder was 6% by weight (1.0% by volume), and the second metal powder was 630% by weight (30.0% by volume).
The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder was 3:97.

(比較例2)
第1の金属粉末と、第2の金属粉末との割合を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
第1の金属粉末を81重量%(15体積%)と、第2の金属粉末を336重量%(16体積%)とした。
なお、第1の金属粉末と、第2の金属粉末との体積比は48:52であった。
(Comparative Example 2)
It carried out similarly to Example 1 except having changed the ratio of the 1st metal powder and the 2nd metal powder as follows.
The first metal powder was 81% by weight (15% by volume), and the second metal powder was 336% by weight (16% by volume).
The volume ratio of the first metal powder to the second metal powder was 48:52.

各実施例および比較例で得られた金属含有ペーストについて、以下の評価を行った。評価項目を内容と共に以下に示す。得られた結果を表1に示す。
1.紫外線反射率[A]
各実施例および比較例で得られた金属含有ペーストをガラス板上に塗布し、175℃で1時間硬化を行った。その後、紫外分光光度計(240〜800nmを測定)を用いて金属含有ペーストの硬化物表面の紫外線反射率[A]を測定した。
The following evaluation was performed about the metal containing paste obtained by each Example and the comparative example. The evaluation items are shown below together with the contents. The obtained results are shown in Table 1.
1. UV reflectance [A]
The metal-containing paste obtained in each Example and Comparative Example was applied on a glass plate and cured at 175 ° C. for 1 hour. Thereafter, the ultraviolet reflectance [A] of the cured product surface of the metal-containing paste was measured using an ultraviolet spectrophotometer (measured at 240 to 800 nm).

2.250時間紫外線照射後の紫外線反射率[B]
各実施例および比較例で得られた金属含有ペーストをガラス板上に塗布し、175℃で1時間硬化を行った後、常温で250時間紫外線照射を行った。その後、紫外分光光度計(240〜800nmを測定)を用いて金属含有ペーストの硬化物表面の紫外線反射率[B]を測定した。各符号は、以下の通りである。
◎:紫外線反射率[B]は、紫外線反射率[A]の90%を超える。
○:紫外線反射率[B]は、紫外線反射率[A]の80%以上〜90%以下である。
△:紫外線反射率[B]は、紫外線反射率[A]の70%以上〜80%未満である。
×:紫外線反射率[B]は、紫外線反射率[A]の70%未満である。
2. UV reflectance [B] after 250 hours UV irradiation
The metal-containing paste obtained in each Example and Comparative Example was applied on a glass plate, cured at 175 ° C. for 1 hour, and then irradiated with ultraviolet rays at room temperature for 250 hours. Thereafter, the ultraviolet reflectance [B] of the cured product surface of the metal-containing paste was measured using an ultraviolet spectrophotometer (measured at 240 to 800 nm). Each code is as follows.
A: The ultraviolet reflectance [B] exceeds 90% of the ultraviolet reflectance [A].
○: The ultraviolet reflectance [B] is 80% to 90% of the ultraviolet reflectance [A].
Δ: The ultraviolet reflectance [B] is 70% to less than 80% of the ultraviolet reflectance [A].
X: The ultraviolet reflectance [B] is less than 70% of the ultraviolet reflectance [A].

3.導電性(抵抗値)
各実施例および比較例で得られた金属含有ペーストを用いて、リードフレームに2mmx2mmの42アロイチップをマウントし、175℃で1時間硬化を行った。その後、テスターにて縦方向の抵抗値を測定した。
3. Conductivity (resistance value)
Using the metal-containing paste obtained in each example and comparative example, a 42 mm 2 mm × 2 mm chip was mounted on a lead frame and cured at 175 ° C. for 1 hour. Thereafter, the resistance value in the vertical direction was measured with a tester.

4.作業性
作業性は、金属含有ペーストをディスペンサーより吐出する際の作業性を評価した。各符号は、以下の通りである。
◎:金属含有ペーストの吐出速度および広がり共に問題無し。
○:金属含有ペーストの吐出速度は少し遅いが、広がりは問題無し。
△:金属含有ペーストの吐出速度は問題無いが、広がりが不十分である。
×:金属含有ペーストを吐出できず。
4). Workability As for workability, workability when discharging a metal-containing paste from a dispenser was evaluated. Each code is as follows.
A: There is no problem in both the discharge speed and spread of the metal-containing paste.
○: The discharge speed of the metal-containing paste is a little slow, but there is no problem with spreading.
Δ: There is no problem in the discharge speed of the metal-containing paste, but the spread is insufficient.
X: The metal-containing paste cannot be discharged.

5.接着性
接着性は、シリコンチップと、銀メッキ銅フレームとを各実施例および比較例で得られた金属含有ペーストで接合した後のシェア強度で評価した。
5). Adhesiveness Adhesiveness was evaluated by the shear strength after bonding a silicon chip and a silver-plated copper frame with the metal-containing paste obtained in each of Examples and Comparative Examples.

Figure 0004569109
Figure 0004569109

表1から明らかなように、実施例1〜8は、シェア強度が高く、かつ250時間照射後の紫外線反射率にも優れていた。これにより、接着強度および耐侯性の両方に優れていることが示された。
また、実施例1〜8は、特に紫外線反射性に優れており、LEDチップに用いた場合に輝度に優れることが示された。
また、実施例1〜4および6〜8は、作業性にも優れていた。
また、実施例1、2、4、6および8は、抵抗値も低く、導電性に優れていることも示された。
As is apparent from Table 1, Examples 1 to 8 had high shear strength and excellent ultraviolet reflectance after irradiation for 250 hours. Thereby, it was shown that it is excellent in both adhesive strength and weather resistance.
Moreover, Examples 1-8 were especially excellent in ultraviolet-ray reflectivity, and when used for the LED chip, it was shown that it is excellent in a brightness | luminance.
Moreover, Examples 1-4 and 6-8 were excellent also in workability | operativity.
In addition, Examples 1, 2, 4, 6 and 8 also showed a low resistance value and excellent conductivity.

次に半導体装置の実施例および比較例について説明する。
(実施例1A〜8A)
実施例1〜8で得られた金属含有ペーストを介して、リードフレームに、2mmx2mmの42アロイチップをマウントし、175℃で1時間金属含有ペーストを硬化して半導体装置を得た。
Next, examples of semiconductor devices and comparative examples will be described.
(Examples 1A-8A)
A 2 mm × 2 mm 42 alloy chip was mounted on the lead frame through the metal-containing paste obtained in Examples 1 to 8, and the metal-containing paste was cured at 175 ° C. for 1 hour to obtain a semiconductor device.

(比較例1Aおよび2A)
比較例1および2で得られた金属含有ペーストを介して、リードフレームに、2mmx2mmの42アロイチップをマウントし、175℃で1時間金属含有ペーストを硬化して半導体装置を得た。
(Comparative Examples 1A and 2A)
A 2 mm × 2 mm 42 alloy chip was mounted on the lead frame through the metal-containing paste obtained in Comparative Examples 1 and 2, and the metal-containing paste was cured at 175 ° C. for 1 hour to obtain a semiconductor device.

実施例1A〜8Aで得られた半導体装置は、いずれも正常に動作し、さらに紫外線を照射した状態で、常温通電試験(順電流30mA)、60℃、95%RH環境下での高温高湿放置試験において250時間経過後においても不良の発生個数が少なかった。
一方、比較例1Aおよび2Aで得られた半導体装置は、いずれも正常に動作したが、上述の高温高湿放置試験において250時間経過後において不良の発生個数が多かった。
Each of the semiconductor devices obtained in Examples 1A to 8A operates normally and is irradiated with ultraviolet rays, and is subjected to a normal temperature energization test (forward current 30 mA), high temperature and high humidity in an environment of 60 ° C. and 95% RH. In the standing test, the number of defectives was small even after 250 hours.
On the other hand, all of the semiconductor devices obtained in Comparative Examples 1A and 2A operated normally, but the number of defects generated was large after 250 hours in the high temperature and high humidity standing test described above.

本発明の半導体装置の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the semiconductor device of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 半導体装置
2 基板
3 金属含有ペースト
4 青白色LEDチップ
5 ワイヤー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device 2 Board | substrate 3 Metal containing paste 4 Blue white LED chip 5 Wire

Claims (12)

有機樹脂と、アルミニウムを主成分とする第1の金属粉末と、前記アルミニウムと異なる金属を主成分とする第2の金属粉末とを体積比5:95〜40:60で含む半固形状の組成物で構成される金属含有ペーストであって、
280nmにおける紫外線反射率[A]が50%以上であり、
かつ280nmの紫外線を250時間照射後の紫外線反射率[B]が、前記紫外線反射率[A]の80%以上であることを特徴とする金属含有ペースト。
A semi-solid composition comprising an organic resin, a first metal powder containing aluminum as a main component, and a second metal powder containing a metal different from aluminum as a main component in a volume ratio of 5:95 to 40:60 A metal-containing paste composed of objects,
UV reflectance [A] at 280 nm is 50% or more,
The metal-containing paste is characterized in that the ultraviolet reflectance [B] after irradiation for 280 nm ultraviolet rays for 250 hours is 80% or more of the ultraviolet reflectance [A] .
前記第1の金属粉末の含有量は、前記半固形状の組成物全体の1〜30体積%である請求項1に記載の金属含有ペースト。   2. The metal-containing paste according to claim 1, wherein the content of the first metal powder is 1 to 30% by volume of the whole semi-solid composition. 前記第2の金属粉末を構成する金属は、主として銀を含むものである請求項1または2に記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to claim 1 or 2, wherein the metal constituting the second metal powder mainly contains silver. 前記第1の金属粉末および前記第2の金属粉末の含有量は、前記半固形状の組成物全体の20〜70体積%である請求項1ないし3のいずれかに記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the first metal powder and the second metal powder is 20 to 70% by volume of the whole semi-solid composition. 前記第1の金属粉末の平均粒子径は、前記第2の金属粉末の平均粒子径よりも大きいものである請求項1ないし4のいずれかに記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to any one of claims 1 to 4, wherein an average particle diameter of the first metal powder is larger than an average particle diameter of the second metal powder. 前記第1の金属粉末は、主として板状の金属粉末を含むものである請求項1ないし5のいずれかに記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to any one of claims 1 to 5, wherein the first metal powder mainly includes a plate-like metal powder. 前記有機樹脂は、エポキシ樹脂を含むものである請求項1ないし6のいずれかに記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to claim 1, wherein the organic resin includes an epoxy resin. 前記エポキシ樹脂は、芳香族環を有しないものである請求項7に記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to claim 7, wherein the epoxy resin does not have an aromatic ring. 前記有機樹脂は、ラジカル重合性材料を含むものである請求項1ないし8のいずれかに記載の金属含有ペースト。   The metal-containing paste according to any one of claims 1 to 8, wherein the organic resin contains a radical polymerizable material. 半導体部材を接合するために用いるものである請求項1ないしのいずれかに記載の金属含有ペースト。 The metal-containing paste according to any one of claims 1 to 9 , which is used for bonding semiconductor members. 請求項1ないし10のいずれかに記載の金属含有ペーストを介して、半導体部材と、支持部材とが接合されていることを特徴とする半導体装置。 Via a metal-containing paste according to any one of claims 1 to 10, a semiconductor device which is characterized in that the semiconductor member, and the support member are joined. 前記半導体部材は、LEDチップである請求項11に記載の半導体装置。 The semiconductor device according to claim 11 , wherein the semiconductor member is an LED chip.
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4742538B2 (en) * 2004-08-25 2011-08-10 住友ベークライト株式会社 Resin composition and semiconductor product
JP4843291B2 (en) 2005-10-18 2011-12-21 東洋アルミニウム株式会社 Aluminum paste composition and solar cell element using the same
EP1965397B1 (en) * 2005-12-22 2019-03-20 Namics Corporation Thermosetting conductive paste and multilayer ceramic component having external electrode which is formed by using such thermosetting conductive paste
TWI447939B (en) * 2007-06-15 2014-08-01 Namics Corp Conductive die attach adhesive for LED
CN104962214A (en) * 2008-04-30 2015-10-07 日立化成工业株式会社 Connecting material and semiconductor device
JP2010044967A (en) * 2008-08-13 2010-02-25 Sumitomo Electric Ind Ltd Conductive adhesive and led substrate using it
JP5497001B2 (en) * 2009-03-06 2014-05-21 東洋アルミニウム株式会社 Conductive paste composition and conductive film formed using the same
JPWO2011158753A1 (en) * 2010-06-17 2013-08-19 日立化成株式会社 Resin paste composition
JP2012188622A (en) * 2011-03-14 2012-10-04 Hitachi Chemical Co Ltd Resin paste composition for bonding semiconductor device, and semiconductor device
JP5664673B2 (en) * 2013-01-28 2015-02-04 日立化成株式会社 Resin paste composition
ES2684721T3 (en) * 2013-04-02 2018-10-04 Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG Particles comprising AI, Si and Mg in electroconductive pastes and preparation of photovoltaic cells
JP6405867B2 (en) * 2013-12-16 2018-10-17 日立化成株式会社 Resin paste composition and semiconductor device
JP6383183B2 (en) * 2014-06-03 2018-08-29 太陽インキ製造株式会社 Conductive adhesive and electronic component using the same
KR20220091463A (en) * 2019-10-30 2022-06-30 린텍 가부시키가이샤 Adhesive sheet for devices

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10275522A (en) * 1997-03-28 1998-10-13 Toshiba Corp Conductive resin paste, package board using it, and semi-conductor package
JP2001076534A (en) * 1999-09-03 2001-03-23 Toshiba Chem Corp Conductive paste
JP2001234152A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Conductive adhesive
JP2002012738A (en) * 2000-06-28 2002-01-15 Hitachi Chem Co Ltd Resin paste composition and semiconductor device made therewith
JP2003347320A (en) * 2002-05-27 2003-12-05 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin paste for semiconductor and semiconductor device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10275522A (en) * 1997-03-28 1998-10-13 Toshiba Corp Conductive resin paste, package board using it, and semi-conductor package
JP2001076534A (en) * 1999-09-03 2001-03-23 Toshiba Chem Corp Conductive paste
JP2001234152A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Conductive adhesive
JP2002012738A (en) * 2000-06-28 2002-01-15 Hitachi Chem Co Ltd Resin paste composition and semiconductor device made therewith
JP2003347320A (en) * 2002-05-27 2003-12-05 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin paste for semiconductor and semiconductor device

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