JP4563560B2 - Internally treated plastic tube manufacturing apparatus and method for manufacturing internally treated plastic tube using the apparatus - Google Patents

Internally treated plastic tube manufacturing apparatus and method for manufacturing internally treated plastic tube using the apparatus Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大気圧グロー放電プラズマによりプラスチックチューブ内表面を処理するための装置ならびに該装置を用いた内面処理プラスチックチューブの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、大気圧下でグロー放電プラズマを発生させる技術が開発され、様々な用途で利用されている。この技術は、一定の間隔を以て対向する高圧側電極と接地側電極間に形成される放電部に、ヘリウムのようなプラズマ発生用ガスを大気圧もしくは大気圧近傍圧力下で導入すると共に、前記電極間に高圧交流電圧を印可することにより前記放電部にグロー放電プラズマを発生させるものである。
【0003】
このような大気圧グロー放電プラズマを用いて表面改質や薄膜形成等の表面処理を行なう方法は、従来行われてきた真空下でのプラズマ処理と比べ、低圧雰囲気の形成や圧力制御用の装備を必要としない。このため、フィルムやシートのような大面積の処理を連続的に行なう必要がある分野において好適に用いられている。このような処理を行なう場合のプラズマ発生用ガス領域を確保する方法として、電極に多数の通気孔を設け、この通気孔よりプラズマ発生用ガスを供給したり、被処理材料を導入・搬出するための最低限の開口部を有するチャンバーで処理領域を囲い、その領域へプラズマ発生用ガスを連続的に供給することが提案されている。
【0004】
しかし、このような方法では、ヘリウム等の高価なプラズマ発生用ガスを常時導入し続けなければならず、コストが高くつくため、汎用のプラスチックフィルム等の表面処理には利用されていないのが現状である。このため、より簡便で、コストが低く、応用範囲の広い大気圧グロー放電プラズマ表面処理法の開発が望まれてきた。
【0005】
一方、大気圧グロー放電プラズマによるプラスチックチューブ内面の連続処理技術として、特開平5−202481号公報あるいは特開平8−57038号公報には、チューブ内にその一端部から大気圧近傍の圧力下において、大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスと、処理ガスとの混合ガスを連続的に導入しつつ、高圧側電極と接地側電極間に高圧交流電圧を印加し大気圧グロー放電プラズマ処理を行なう方法が開示されている。しかしながら、これらの方法では、大口径のチューブの内表面処理を実施する場合には、チューブ内部に安定な大気圧グロー放電プラズマを発生させるために最適なガス流速を確保するためには、チューブ内の全ての位置においても同様のガス流速にする必要があり、多量のプラズマ発生用ガスが必要とされ、コスト的に非常に不利であった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、大気圧グロー放電プラズマを利用してプラスチックチューブ内面を処理するにあたり、ヘリウム等の高価な大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスを大量に使用しなくてもよい内面処理プラスチックチューブ製造装置を提供することを目的とする。さらに、同装置を用いた内面処理プラスチックチューブの製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは鋭意研究を行った。この結果、まず大気圧グロー放電プラズマを用いてチューブ内面を処理する場合、実際に大気圧グロー放電プラズマが発生する領域はプラスチックチューブ内面に沿った比較的狭い領域のみであり、この領域のみに大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスを最適なガス流速で供給するれば安定に処理が行え、他の領域における大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスの流速は制御する必要がないことを見いだした。次いで、グロー放電プラズマ発生領域を除いた領域のガスの流れを概ね遮断するための遮断手段をプラスチックチューブ内に配することにより前記課題を解決できることを見いだし本発明に至った。すなわち本発明は、
[1]・環状ダイスを備えた押出機(A)、
・環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブを所定の速度で引き取るための引き取り手段(B)、
・高圧側電極(C)、
・接地側電極(D)、
・高圧側電極(C)、接地側電極(D)間に高圧交流電圧を印可するための高周波電源(E)、
・運転時、環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを供給するためのガス供給ライン(F)、
を備えた装置であって、運転時、高圧側電極(C)、接地側電極(D)間に高周波電源(E)から高圧交流電圧を印可することによりプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマを発生させることができ、更に、
・運転時プラスチックチューブ内に位置し、グロー放電プラズマ発生領域を除いた領域のガスの流れを概ね遮断するための遮断手段(G)、
を備えていることを特徴とする内面処理プラスチックチューブ製造装置を提供するものである。
【0008】
[2]・運転時、環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブ内にガス供給ライン(F)を通じて供給されるガスを排出するためのガス排出ライン(H)、
を更に備えることを特徴とする[1]に記載の内面処理プラスチックチューブ製造装置を提供するものである。
【0009】
[3]ガス供給ライン(F)のガス噴き出し口とガス排出ライン(H)のガス吸入口が、運転時チューブ内に発生するグロー放電プラズマ発生領域によって隔絶されるごとく配されていることを特徴とする[2]に記載の内面処理プラスチックチューブ製造装置を提供するものである。
【0010】
[4]引き取り手段(B)が、ニップロールであることを特徴とする[1]〜[3]のいずれかに記載のプラスチックチューブ製造装置を提供するものである。
【0011】
[5][1]〜[4]のいずれかに記載のプラスチックチューブ製造装置を用いて、環状ダイスから押し出されるプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを供給し、高周波電源(E)により高圧側電極(C)と接地側電極(D)間に交流電源を印可し、プラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマを発生させ、プラスチックチューブの内面を処理することを特徴とする内面処理プラスチックチューブの製造方法を提供するものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明における大気圧グロー放電プラズマ処理(以下、大気圧グロー放電プラズマ処理を単にプラズマ処理と、大気圧グロー放電プラズマを単にプラズマと称することがある)とは、大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスのみにより発生させたプラズマによる表面の物理的及び化学的改質、プラズマ発生用ガスに目的に応じた処理ガスを少量添加することにより発生させたプラズマによる表面の物理的及び化学的改質等の各プラズマ処理、及びプラズマCVD、プラズマグラフト重合等の表面への薄膜形成を意味しており、一つに限定されるものではない。また、本発明のプラズマ処理によりチューブ内表面上に発生させたラジカルやイオン等の化学的活性種を基点とした反応性モノマー等よるグラフト化等の表面化学修飾を、プラズマ処理の後工程として実施することも可能である。なお、本発明でいう大気圧という文言は、厳密な意味での大気圧を指すものではなく、環状ダイスから押し出されて冷却固化されるプラスチックチューブの内部が到達する常識の範囲内の圧力と解されるべきである。さらに以下、大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスを単にプラズマ発生用ガスと、大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスと処理ガスとの混合ガスを単に混合ガスと称することがある。
【0013】
本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置は、通常の環状ダイスを備えた押出機(A)、環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブを所定の速度で引き取るための引き取り手段(B)、高圧側電極(C)、接地側電極(D)、高周波電源(E)、ガス供給ライン(F)、遮断手段(G)、を備えており、また好ましくはガス排出ライン(H)を備えている。
【0014】
このうち押出機(A)は、通常のインフレーション式フィルム成形、パイプ成形において用いられているものが制限なく使用可能である。
【0015】
また、引き取り手段(B)は成形されたチューブを連続的に移動させることができる装置を意味するものであり、例えば、インフレーション式フィルム成形において通常用いられる駆動手段の講じられたニップロール、あるいは、ベルトコンベア、駆動ロール等が挙げられる。
【0016】
また、高圧側電極(C)と、接地側電極(D)とは対をなすものであり両電極間に高周波電源(D)から、高圧交流電圧を印可することにより、運転時プラスチックチューブ内にプラズマを発生させることができる。通常、高圧側電極(C)と、接地側電極(D)は運転時、その一方がプラスチックチューブ内に配されるように、他方がプラスチックチューブ外に配されるようになっている。そして、これらは通常、円筒状の形状を有し同心状に互いに対向するように配される。
また、特開平8−57038号公報に示されたごとく、プラスチック、セラミックス等の絶縁体よりなる円筒状の縁体に接地側電極13高圧側電極23とを二重らせん状に装着したものを運転時プラスチックチューブの外周、あるいは内部に配するようにしてもプラスチックチューブ内にプラズマを発生させることができ、該プラズマによるチューブ内面のプラズマ処理が可能である。
【0017】
高圧側電極(C)及び接地側電極(D)の材質は、導電材料であれば特に限定されず、金属の場合、ステンレス系鋼、真鍮、炭素鋼、超鋼等の合金や、銅、アルミニウム等が挙げられ、これらを単体もしくは適宜組み合わせて使用することができる。または非導電性のプラスチック、セラミック等の表面に銅、金等をコーティングし導電化処理したもの等を使用することもできる。
【0018】
なお、高圧側電極(C)及び接地側電極(D)のお互い対向する面の少なくとも一方は固体誘電体で被覆されていることが望ましい。固体誘電体の材質としては、ガラス、セラミックス、耐熱プラスチック等のものを例示することができる。また電極表面の被覆形態として、電極の金属表面を酸化することによる金属酸化物被膜の形成も好適である。
【0019】
次いで高周波電源(E)は、高圧側電極(C)、接地側電極(D)間に高圧交流電圧を印可して運転時プラスチックチューブ内にプラズマを発生させるために用いるものである。発生させる高圧交流電圧の周波数は特に限定はされないが、0.5kHz〜100MHzが好ましい。また、前記高圧交流電圧としてパルス化された電圧を印可しても構わないし、前記高圧交流電圧に直流を重畳して用いても構わない。例としては、工業的によく用いられる13.56MHzのものを使用することができる。プラズマの発生は、電圧を電極に印可することによって発生させるが、適当な電界強度は、使用する接地側電極、高圧側電極等の材質、形状、大きさ等により変化するため、これらを考慮して適宜選定できる。電界強度が低すぎると、プラズマを発生させることができず、反対に、電界強度が高すぎるとプラズマがアーク放電に移行してしまう。
【0020】
ガス供給ライン(F)はプラスチックチューブ内にプラズマを発生させるために必要なプラズマ発生用ガスあるいは混合ガスを供給するためのガス流路を意味する。ガス供給ライン(F)は内面処理プラスチックチューブ製造装置の構造が、製造されるプラスチックチューブの最も下流側が開放されているようなものである場合には、この開放部に設けることもできる。しかし、最も有利な構造は、ガス供給ライン(F)が環状ダイス内を通過し、環状ダイスのダイスリップで囲まれた領域に出現しているというものである。この構造は、通常インフレーション成形において用いられる環状ダイスが備えているブローアップ用エアー供給ラインに類するものである。なお、ガス供給ライン(F)を通して混合ガスを供給する場合において、混合ガス中の処理ガスが熱に敏感なものである場合には、該ガス供給ライン(F)に断熱あるいは冷却手段を講じるようにしてもよい。
【0021】
次いで遮断手段(G)について説明する。遮断手段(G)は運転時プラスチックチューブ内に位置しプラズマ発生領域を除いた領域のガスの流れを概ね遮断するために講じられる。遮断手段(G)によりプラズマ発生領域を除いた領域のガスの流れが遮断されることにより、プラスチックチューブ内に供給されたガスは、そのほとんどがプラズマ発生領域を通過することとなり、プラズマ発生領域における最適なガス流速を達成するために必要とされるガス流量を大幅に削減することができる。
【0022】
また、本発明の内面処理プラスチック製造装置は、ガス排出ライン(H)を備えていることが好ましい。ガス排出ライン(H)は、前記したガス供給ライン(F)からプラスチックチューブに供給されるプラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスをプラスチックチューブ内から排出するというものである。ガス排出ライン(H)が設けられていることにより、運転時、プラズマ発生領域を通過するプラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスの流速の制御を行いやすくなる。また、内面処理プラスチック製造装置が、運転時においてプラスチックチューブがニップロールなどにより閉じられ、プラズマ処理がこの閉鎖された空間内で行われるような構造のものである場合には、プラスチックチューブのサイズの微調整に便利であるし、また、排出したプラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスの再循環も可能である。
【0023】
ガス排出ライン(H)は、内面処理プラスチックチューブ製造装置の構造が、製造されるプラスチックチューブの最も下流側が開放されているようなものである場合には、この開放部に設けることもできる。しかし、最も有利な構造はガス供給ライン(F)で述べたと同じく、環状ダイス内を通過し、環状ダイスのダイスリップで囲まれた領域に出現しているというものである。
【0024】
また、上記したガス供給ライン(F)のガス噴き出し口とガス排出ライン(H)のガス吸入口が、運転時チューブ内に発生するプラズマ発生領域によって隔絶されるごとく配されていることが望ましい。このようにガス供給ライン(F)のガス噴き出し口とガス排出ライン(H)のガス吸入口が配されていることにより、ガス供給ラインに供給したプラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスがスムーズにプラズマ発生領域を通過するようになるため、またプラスチックチューブ内面の周方向にわたるガス流速の分布を均一なものとできるため、プラズマ発生領域における最適なガス流速を達成するために必要とされるプラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスの流量を更に低く抑えることができる。
【0025】
また、プラスチックチューブ製造装置の引き取り手段(B)を、ニップロールとすることが望ましい。引き取り手段(B)を、ニップロールとすると、運転時においてプラスチックチューブがニップロールにより閉じられ、プラズマ処理がこの閉鎖された空間内で行われるようになり、プラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスの開放系への散失を防止できる。これは製造する内面処理プラスチックチューブが薄物の時に特に有効である。
【0026】
以下、本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置を、図面を参照しつつより具体的に説明する。図1は、本発明の内面処理機能を備えたプラスチックチューブ製造装置の一実施形態を示す模式図である。また、図2は図1で用いている接地側電極の斜視図である(なお、図1では理解を助けるために、プラスチックチューブの径をより大きく強調して示した)。
この実施形態において内面処理プラスチックチューブ製造装置は、環状ダイス5を装着した押出機4、チューブ冷却器、引き取り手段としてのチューブ巻き取り機等から構成される通常のパイプ製造装置が基本となっている。そしてこの装置に、環状ダイス内部を通過し、環状ダイスのダイリップで取り囲まれた領域へ出現したガス供給ライン(プラズマ発生用ガス導入ライン72、処理ガス導入ライン71)が設けられている。このような構造となっていることにより、運転時、プラスチックチューブ内にプラズマ発生用ガス、あるいは混合ガスを供給できる。なお、処理ガスによる表面処理を行わず単にプラズマによる表面処理を行う場合には、ガス供給ラインのうち処理ガス導入ライン71を設ける必要はない。
【0027】
また、本発明のプラスチックチューブ製造装置にはグロー放電プラズマを発生させるための接地された接地側電極2、及び高周波電源10に接続された高圧側電極3が装備されている。そして接地側電極2と高圧側電極3間に高圧交流電圧を印可することができる構造となっている。なお、本図では接地側電極2をプラスチックチューブ内に配する例を示したが、高圧側電極3をプラスチックチューブ内に配するようにしてもよい(後述する形態においても同様)。
【0028】
そして図2に示すように、運転時プラスチックチューブ内に配されるようになる接地側電極2には遮断手段が講じられている。この例では、円筒形状を有する接地側電極の一方の開口部に円盤状の部材(遮断板)が取り付けられており、運転時グロー放電プラズマ発生領域を除きガスの流れを概ね遮断できる。
【0029】
図3は、本発明の内面処理機能を備えたプラスチックチューブ製造装置の他の実施形態を示す模式図である。また、図4は図1のA−A’線での模式断面図である。
この実施形態において、内面処理プラスチックチューブ製造装置は、環状ダイス5を装着した押出機4、エアーリング9、安定板62、ニップロール61、及び巻き取りロール63等から構成される通常のインフレーション式チューブ成形装置が基本となっている。そしてこの装置に、環状ダイス内部を通過し、環状ダイスのダイリップで取り囲まれた領域へ出現したガス供給ライン(プラズマ発生用ガス導入ライン72、処理ガス導入ライン71)と、ガス排出ライン73が装備されている。このような構造となっていることにより、運転時、プラスチックチューブ内にガスを供給できるとともに、適宜これらのガスを排出することによりプラスチックチューブ内のガス濃度および圧力を所定の値に保つことができる。また、プラスチックチューブのサイズの微調整に便利である。さらに本例ではガス供給ラインのガス噴き出し口とガス排出ラインのガス吸入口はチューブ内に発生するプラズマ発生領域によって隔絶されるごとく配されている。なお、処理ガスによる表面処理を行わず単にプラスチックチューブ内に発生するプラズマによる表面処理を行う場合には、ガス供給ラインのうち処理ガス導入ライン71を設ける必要はなく、ガス排出ライン73の設置を省くこともできる。また、本発明のプラスチックチューブ製造装置にはプラズマを発生させるための接地された接地側電極2、及び高周波電源10に接続された高圧側電極3が装備されている。そして接地側電極2と高圧側電極3間に高圧交流電圧を印可することができる構造となっている。ここで接地側電極2、高圧側電極10、及び環状ダイスのダイスリップ、さらに運転時に形成されるプラスチックチューブは同心位置関係となるようにされている。そして図4から明らかなように、接地側電極は概ね円柱状の形状を有しており、該電極自体が遮断手段を備えたものとなっており、運転時グロー放電プラズマ発生領域を除きガスの流れを概ね遮断できる。
【0030】
一方、特開平8−57038号公報に示されたごとく、プラスチック、セラミックス等の絶縁体よりなる円筒状の縁体に接地側電極と高圧側電極とを二重らせん状あるいは櫛状に装着したものを運転時プラスチックチューブの外周に配するような形態においても、本発明が適用可能である。すなわち、この形態に対応した遮断手段として、例えば概ね円柱状の部材や一方が閉塞された円筒状の部材をプラスチックチューブの内部に位置させる装置の構造が例示できる。
【0031】
以上、本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置につき代表的な実施形態を例に取り説明してきたがこれらはあくまで例示であり、限定ではない。よって当業者によるこれらの例の変形は本発明の特許請求の範囲に示された思想範囲内にある限り、本発明の一部に含まれるものと考えられる。
【0032】
次いで以上述べた本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置を用いての内面処理プラスチックチューブ製造方法について説明する。
本発明の内面処理プラスチックチューブ製造方法は、環状ダイスから押し出されるプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを供給し、高周波電源(E)により高圧側電極(C)と接地側電極(D)間に交流電源を印可し、プラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマを発生させプラスチックチューブの内面を処理するというものである。以下その詳細を説明する。
【0033】
本発明で使用されるグロー放電プラズマ発生用ガスは、プラズマを発生させるためのガスであり、希ガスあるいは窒素ガスが好ましい。そして希ガスの中で最も好ましいのはヘリウムであり、アルゴンも好適に用いることができる。
【0034】
一方、処理効果を向上させるために前記プラズマ発生用ガスに添加する処理ガスは、表面処理の目的に応じて適宜選択される。例えば、シート状物に撥水性を付与するためには、4弗化エチレン、6弗化プロピレン等のフッ化エチレン列炭化水素化合物、4弗化メタン、6弗化エタン等のフッ素化メタン列炭化水素化合物、またはフッ素原子を含む側鎖のついた鎖状炭化水素、あるいはフッ素化芳香族炭化水素などの官能基を有する有機化合物を用いることができる。
【0035】
又、処理用ガスとして以下のような酸素元素含有化合物、窒素元素含有化合物を用いて、基材表面にカルボニル基、水酸基、アミノ基等の親水性官能基を形成させて表面エネルギーを高くし、親水性表面を得ることが出来る。
【0036】
前記酸素元素含有化合物としては、酸素、オゾン、水(水蒸気)、一酸化炭素、二酸化炭素、一酸化窒素、二酸化窒素の他、メタノール、エタノール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、メタナール、エタナール等のアルデヒド類等の酸素元素を含有する有機化合物等が挙げられる。前記酸素元素含有化合物と水素を混合して用いてもよい。さらに、前記酸素元素含有化合物と、メタン、エタン等の炭化水素化合物のガスを混合して用いてもよい。又、前記酸素元素含有化合物に50体積%以下でフッ素元素含有化合物を添加することにより親水化が促進される。フッ素元素含有化合物としては前記例示と同様のものを用いればよい。
【0037】
前記窒素元素含有化合物としては、窒素、アンモニア等が挙げられる。また、前記硫黄元素含有化合物としては、二酸化硫黄、三酸化硫黄等が挙げられる。また、硫酸を気化させて用いることも出来る。
【0038】
又、分子内に親水性基と重合性不飽和結合を有するモノマーを処理ガスとして用いることにより、親水性の重合膜を堆積させることも出来る。前記親水性基としては、水酸基、スルホン酸基、スルホン酸塩基、1級若しくは2級又は3級アミノ基、アミド基、4級アンモニウム塩基、カルボン酸基、カルボン酸塩基等の親水性基等が挙げられる。又、ポリエチレングリコール鎖を有するモノマーを用いても同様に親水性重合膜の堆積が可能である。
【0039】
前記モノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、アクリル酸ナトリウム、メタクリル酸ナトリウム、アクリル酸カリウム、メタクリル酸カリウム、スチレンスルホン酸ナトリウム、アリルアルコール、アリルアミン、ポリエチレングリコールジメタクリル酸エステル、ポリエチレングリコールジアクリル酸エステル等が挙げられる。
【0040】
前記親水性モノマーのうち固体のものは、そのままあるいは溶媒に溶解させたものを減圧等の手段により気化させて用いる。
【0041】
又、処理用ガスとして、金属含有ガスが好適に使用できる。金属としては、例えば、Al、As、Bi、B、Ca、Cd、Cr、Co、Cu、Ga、Ge、Au、In、Ir、Hf、Fe、Pb、Li、Na、Mg、Mn、Hg、Mo、Ni、P、Pt、Po、Rh、Sb、Se、Si、Sn、Ta、Te、Ti、V、W、Y、Zn、Zr等の金属が挙げられ、該金属を含有するガスとしては、金属有機化合物、金属−ハロゲン化合物、金属−水素化合物、金属アルコキシド等の処理用ガスが挙げられる。
【0042】
具体的に金属がSiである場合を例にとって説明すると、テトラメチルシラン〔Si(CH3)4〕、ジメチルシラン〔Si(CH3)22〕、テトラエチルシラン〔Si(C25)4〕等の有機金属化合物;4フッ化珪素(SiF4)、4塩化珪素(SiCl4)、2塩化珪素(SiH2Cl2)等の金属ハロゲン化合物;モノシラン(SiH4)、ジシラン(SiH3SiH3)、トリシラン(SiH3SiH2SiH3)等の金属水素化合物;テトラメトキシシラン〔Si(OCH3)4〕、テトラエトキシシラン〔Si(OC25)4〕等の金属アルコキシド等が挙げられる。
【0043】
前記の金属含有ガスが気体であれば、放電空間にそのまま導入することができるが、液体、固体状であれば、気化装置を経て放電空間に導入すればよい。このような処理ガスを用いることによりSiO2、TiO2、SnO2、ZnO等の金属酸化物薄膜を形成させ、基材表面に電気的、光学的機能を与えることが出来る。
【0044】
なお、前記した処理ガスとして用いる化合物は、単独で用いてもよく、その目的によっては2種以上を併用してもよい。また、前記処理ガスとプラズマ発生用ガス(希ガス)を混合して用いる場合の混合割合は、使用するプラズマ発生用ガスと処理ガスの種類によって適宜決定されるが、処理ガスの濃度が10体積%を超えると、高圧交流電圧を印可しても均一な放電プラズマの発生が難しくなることから、0.01〜10体積%が好ましく、より好ましくは0.01〜5体積%である。
【0045】
また、本発明において処理が可能なチューブの材質としては、押出成形が可能なものであれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン(PE)やポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン系樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエステル、シリコン樹脂、アクリル樹脂、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ポリスチレン、ポリスルフォン、ポリエチレンオキサイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォン等が上げられるが、これに限定されるものではない。
【0046】
次に、本発明の内表面処理プラスチックチューブの製造方法を、図1、3を参照しつつより詳細に説明する。なお、図1、3で示された装置の概要は前述したとおりである。
まず図1では通常のチューブ(パイプ)製造プロセスでのチューブの連続製造を開始したのちに、プラズマ発生用ガス導入ライン72を利用し、チューブ内部にヘリウム等のプラズマ発生用ガスを導入する。その後、プラズマ発生用ガス導入ライン72からプラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを連続的に導入し、高圧側電極3に高周波電源10から高圧交流電圧を印加してグロー放電プラズマ領域を形成し処理を行う。
【0047】
接地側電極2の外径寸法は製造されるプラスチックチューブ8の内径より若干小さく設定される。接地側電極とプラスチックチューブの間隔が大きすぎると安定したグロー放電が得られない。内部電極とプラスチックチューブの間隔は10mm以下、さらには5mm以下が好ましい。
【0048】
次に、本発明の内表面処理プラスチックチューブの製造方法を、図3を参照しつつ説明する。
まず通常のチューブ製造プロセスでのチューブの連続製造を開始したのちに、プラズマ発生用ガス導入ライン72及び排気ライン73を利用し、チューブ内圧を保持しながらチューブ内部をヘリウム等のプラズマ発生用ガスに置換する。その後、前記チューブ内の圧力を保持するように、排気ライン73からチューブ内のガスを排出しながらプラズマ発生用ガス導入ライン72からプラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを連続的に導入し、高圧側電極2に高周波電源10から高圧交流電圧を印加してプラズマ領域を形成し処理を行う。
【0049】
プラスチックチューブ内部に配される電極(本例では接地側電極)の外径寸法は製造されるプラスチックチューブ8の内径より若干小さく設定される。該電極とチューブの間隔が大きすぎると安定したプラズマが発生しにくい。該電極とチューブの間隔は10mm以下が好ましい。
【0050】
高圧側電極3は円筒状の形状を有しており、高圧側電極支持具32によりプラスチックチューブ製造装置のフレーム等に絶縁状態で取り付けられており、高周波電源10に接続されている。ここで、円筒状の高圧側電極3は環状ダイス5のダイリップあるいは接地電極2と同心位置に配置されており、その内径寸法は製造されるプラスチックチューブ8の外径より若干大きく設定されている。高圧側電極3はチューブの製造開始時の作業性を考慮し、分割したものを用いることもできる。
【0051】
接地電極2及び高圧側電極3は、運転時においてチューブ8が冷却固化し径が固定される線、所謂フロストラインよりも下流側の領域に、同軸中心の状態で間にチューブ8を介して対向するかたちで配置されることが望ましい。
【0052】
接地電極2と高圧側電極3の間隔はチューブの厚み以上であれば特に限定されないが、狭すぎるとチューブが各電極に接触し引取りの障害になったり、アーク放電を招いたりし、広すぎると放電に至らない。この意味合いから接地電極2と高圧側電極3の間隔は、0.5mm〜20mmが好ましい。
【0053】
本発明で提供される方法のごとく、プラズマ発生領域を除き前記ガスの流れを遮断する遮断手段を講じることにより、プラズマ発生用ガス、または混合ガスはほとんどすべてがプラズマ領域に供給される。このため、従来の方法を用いた場合に比べ、安定した放電を得るために必要とするガスの供給量を著しく抑えることができるのである。
【0054】
【実施例】
以下本発明を、実施例を用いてより詳細に説明する。
【0055】
[実施例1]
図3に概略を示した内面処理プラスチックチューブの連続製造装置を製作した。製造装置の基本となるインフレーションチューブ製造装置としては、東洋精機株式会社製ラボプラストミル50MR一軸押出機(20mm径、L/D25のフルフライトスクリュー)を用いた。これにガス導入ライン及び排気ラインを設けたダイリップ径25mmの環状ダイス、およびエアーリングを取り付け、安定板、ニップロール、及び巻き取り機等の付属機器を装備した。なお、ダイス上面からニップロールまでの距離は約700mmであった。そして外径44mm高さ50mmでアルミニウム製の円柱形状を有する接地電極を、その下端がダイス上面から約300mmの位置になるように、また、ダイスリップと同心状となるように環状ダイスのダイリップに取り囲まれた領域に取り付けられた支持具により取り付けた。さらに図3に示すごとく二分割された内径48mm厚み4mm高さ50mmのアルミニウム製の円筒形状を有する高圧側電極を、チューブ内の内部電極と同心円で対向する位置に設置した。なお、二分割された高圧側電極はいずれもスライド式に後退できる構造とし、製造スタート時の作業性の向上を図った。
さらに、13.56MHzの高周波交流電圧を印可できる高周波交流電源を高圧側電極に接続した。また環状ダイスにはガス供給ラインとガス排出ラインを設けこれらがダイスリップで囲まれた領域に出現する構造とした。そしてガス供給ラインのガス噴き出し口の位置が、接地側電極より下側で、ガス排出ラインのガス吸入口が接地側電極より上側となるようにした。このようにして本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置を製作した。
【0056】
上記した装置を用いて、住友化学工業株式会社製低密度ポリエチレンF208−0を原料とし、ニップロールの引取り速度1.5m/minでチューブ外径46mm厚み約100μmのチューブの連続製造を開始した。次にガス導入ラインおよび排気ラインを操作することでチューブ内のガス圧、ならびにチューブの外径寸法を保持したままでチューブ内をヘリウムに置換した。さらに、この状態で、ガス導入ラインおよび排気ラインを操作することで1L/分のヘリウムに加え酸素ガス5mL/minを連続導入した。次いで、二分割されスライド式に後退させていた高圧側電極を元の位置に戻し、チューブ内の接地電極と同心円で対向する位置に設置した。このとき、チューブと接地電極及び高圧側電極との間隔はそれぞれ約1mmであった。次いで、高周波交流電源より高圧側電極に13.56MHzの高圧交流電圧を印加するとチューブと接地電極間にプラズマが発生した。このようにして内表処理ポリエチレンチューブを得た。処理前のポリエチレンチューブ内面の水に対する接触角が98.5°であったのに対し、処理後のポリエチレンチューブ内表面のそれは70.6°であり明らかに処理効果が認められた。
【0057】
[比較例1]
第5図、第6図に示したしたような円筒状の内部電極を用いたことを除いては実施例と同じ試験を行なった。このとき安定なプラズマを発生させるためにはガスの供給量を5L/minとする必要があった。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、大気圧グロー放電プラズマを利用してプラスチックチューブ内面を処理するにあたり、ヘリウム等の高価なプラズマ発生用ガスを大量に使用しなくてもよい内面処理プラスチックチューブ製造装置が提供される。さらに、同装置を用いた内面処理プラスチックチューブの製造方法が提供される。本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置および、内面処理プラスチックチューブの製造方法により製造できる内面処理プラスチックチューブは従来のものに比べコスト的に有利なものであり、各用途において有用に用いられるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置の一実施形態を示す模式図である。
【図2】図1で用いている接地電極の斜視図である
【図3】本発明の内面処理プラスチックチューブ製造装置の他の実施形態を示す模式図である。
【図4】図3のA−A’線での模式断面図である。
【図5】比較例で用いた内面処理プラスチックチューブ製造装置の形態を示す模式図である。
【図6】図5のB−B’線での模式断面図である。
【符号の説明】
1.内面処理プラスチックチューブ製造装置
2. 接地側電極
22.接地側電極支持具
3. 高圧側電極
32.高圧側電極支持具
4.押出機
5.環状ダイス
61.ニップロール
62.安定板
63.巻取りロール
71.処理ガス導入ライン
72.プラズマ発生用ガス導入ライン
73.排気ライン
8.チューブ(被処理物)
9.エアーリング
10.高周波電源
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for treating an inner surface of a plastic tube with atmospheric pressure glow discharge plasma and a method for producing an inner surface-treated plastic tube using the apparatus.
[0002]
[Prior art]
In recent years, a technique for generating glow discharge plasma under atmospheric pressure has been developed and used in various applications. In this technique, a plasma generating gas such as helium is introduced into a discharge portion formed between a high-voltage electrode and a ground electrode facing each other with a certain interval at atmospheric pressure or near atmospheric pressure, and the electrode Glow discharge plasma is generated in the discharge part by applying a high-voltage AC voltage therebetween.
[0003]
Compared with the conventional plasma treatment under vacuum, the method of surface treatment such as surface modification and thin film formation using atmospheric pressure glow discharge plasma is a device for forming a low-pressure atmosphere and pressure control. Do not need. For this reason, it is used suitably in the field | area which needs to process a large area continuously like a film and a sheet | seat. As a method for securing a plasma generating gas region when performing such a process, a large number of air holes are provided in the electrode, and plasma generating gas is supplied from the air holes, or a material to be processed is introduced and carried out. It has been proposed to surround a processing region with a chamber having a minimum opening and continuously supply a plasma generating gas to the region.
[0004]
However, in such a method, an expensive plasma generating gas such as helium has to be constantly introduced, and the cost is high, so that it is not used for surface treatment of general-purpose plastic films. It is. Therefore, it has been desired to develop an atmospheric pressure glow discharge plasma surface treatment method that is simpler, lower in cost, and has a wide application range.
[0005]
On the other hand, as a continuous processing technique of the inner surface of a plastic tube by atmospheric pressure glow discharge plasma, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-202481 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-57038 discloses a tube under pressure near atmospheric pressure from one end thereof. Disclosed is a method for performing atmospheric pressure glow discharge plasma processing by applying a high-voltage AC voltage between a high-voltage side electrode and a ground-side electrode while continuously introducing a gas mixture of a gas for generating atmospheric pressure glow discharge plasma and a processing gas. Has been. However, in these methods, when the inner surface treatment of a large-diameter tube is performed, in order to ensure an optimal gas flow rate in order to generate a stable atmospheric pressure glow discharge plasma inside the tube, It is necessary to make the gas flow rate the same at all the positions, and a large amount of plasma generating gas is required, which is very disadvantageous in terms of cost.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in order to solve such problems. In treating the inner surface of a plastic tube using atmospheric pressure glow discharge plasma, a large amount of expensive atmospheric pressure glow discharge plasma generation gas such as helium is used. It is an object of the present invention to provide an inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus that does not need to be used. Furthermore, it aims at providing the manufacturing method of the inner surface treatment plastic tube using the apparatus.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present inventors conducted extensive research. As a result, when processing the inner surface of the tube using atmospheric pressure glow discharge plasma, the region where the atmospheric pressure glow discharge plasma is actually generated is only a relatively narrow region along the inner surface of the plastic tube. It was found that if the gas for generating the atmospheric pressure glow discharge plasma is supplied at an optimum gas flow rate, the process can be performed stably, and the flow rate of the gas for generating the atmospheric pressure glow discharge plasma in other regions does not need to be controlled. Next, the present inventors have found that the above problem can be solved by disposing a blocking means for blocking the gas flow in the region except the glow discharge plasma generation region in the plastic tube. That is, the present invention
[1] · Extruder (A) provided with an annular die,
A take-up means (B) for taking out the plastic tube extruded from the annular die and cooled and solidified at a predetermined speed;
・ High voltage side electrode (C),
・ Ground side electrode (D),
A high frequency power source (E) for applying a high voltage AC voltage between the high voltage side electrode (C) and the ground side electrode (D),
A gas supply line (F) for supplying an atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas or a mixed gas of the gas and a processing gas into a plastic tube extruded from an annular die and cooled and solidified during operation;
In operation, an atmospheric pressure glow discharge plasma is generated in a plastic tube by applying a high-voltage AC voltage from a high-frequency power source (E) between the high-voltage side electrode (C) and the ground-side electrode (D) during operation. Can be generated, and
-A shut-off means (G), which is located in the plastic tube during operation and substantially shuts off the gas flow in the region excluding the glow discharge plasma generation region,
An inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus is provided.
[0008]
[2]-During operation, a gas discharge line (H) for discharging gas supplied through the gas supply line (F) into the plastic tube extruded from the annular die and cooled and solidified.
The apparatus for producing an internally treated plastic tube according to [1] is further provided.
[0009]
[3] The gas outlet of the gas supply line (F) and the gas inlet of the gas discharge line (H) are arranged so as to be separated by a glow discharge plasma generation region generated in the tube during operation. It provides the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus according to [2].
[0010]
[4] The plastic tube manufacturing apparatus according to any one of [1] to [3], wherein the take-up means (B) is a nip roll.
[0011]
[5] Using the plastic tube manufacturing apparatus according to any one of [1] to [4], an atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas or a mixture of the gas and a processing gas is injected into a plastic tube extruded from an annular die. Gas is supplied, an AC power source is applied between the high-voltage side electrode (C) and the ground-side electrode (D) by the high-frequency power source (E), atmospheric pressure glow discharge plasma is generated in the plastic tube, and the inner surface of the plastic tube is The present invention provides a method for producing an internally treated plastic tube characterized by being treated.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The atmospheric pressure glow discharge plasma treatment in the present invention (hereinafter, the atmospheric pressure glow discharge plasma treatment may be simply referred to as plasma treatment, and the atmospheric pressure glow discharge plasma may be simply referred to as plasma) is only an atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas. Physical and chemical modification of the surface by the plasma generated by the plasma, physical and chemical modification of the surface by the plasma generated by adding a small amount of processing gas according to the purpose to the plasma generation gas This means plasma treatment, and thin film formation on the surface such as plasma CVD and plasma graft polymerization, and is not limited to one. Also, surface chemical modification such as grafting with reactive monomers based on chemically active species such as radicals and ions generated on the tube inner surface by the plasma treatment of the present invention is performed as a post-process of plasma treatment. It is also possible to do. The term “atmospheric pressure” as used in the present invention does not refer to atmospheric pressure in a strict sense, but the pressure and solution within the range of common sense reached by the inside of a plastic tube that is extruded from an annular die and cooled and solidified. It should be. Further, hereinafter, the atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas may be simply referred to as a plasma generating gas, and the mixed gas of the atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas and the processing gas may be simply referred to as a mixed gas.
[0013]
The inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus of the present invention includes an extruder (A) having a normal annular die, a take-up means (B) for taking out a plastic tube extruded from the annular die and cooled and solidified at a predetermined speed, and a high pressure. A side electrode (C), a ground side electrode (D), a high frequency power source (E), a gas supply line (F), and a cutoff means (G), and preferably a gas discharge line (H). .
[0014]
Among these, as the extruder (A), those used in normal inflation film forming and pipe forming can be used without limitation.
[0015]
The take-up means (B) means an apparatus capable of continuously moving the formed tube, for example, a nip roll or belt having a drive means usually used in inflation film forming. A conveyor, a drive roll, etc. are mentioned.
[0016]
In addition, the high-voltage side electrode (C) and the ground-side electrode (D) are paired. By applying a high-voltage AC voltage from the high-frequency power source (D) between both electrodes, Plasma can be generated. Normally, the high-voltage side electrode (C) and the ground-side electrode (D) are arranged so that one of them is arranged inside the plastic tube and the other is arranged outside the plastic tube during operation. These are usually arranged so as to have a cylindrical shape and concentrically face each other.
Further, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-57038, a cylindrical rim body made of an insulator such as plastic or ceramic is mounted with a ground side electrode 13 and a high voltage side electrode 23 in a double spiral shape. Even if it is arranged on the outer periphery or inside of the plastic tube, plasma can be generated in the plastic tube, and plasma processing of the inner surface of the tube by the plasma is possible.
[0017]
The material of the high-voltage side electrode (C) and the ground-side electrode (D) is not particularly limited as long as it is a conductive material. In the case of a metal, alloys such as stainless steel, brass, carbon steel, super steel, copper, aluminum These may be used alone or in combination. Alternatively, a non-conductive plastic, ceramic or the like coated with copper, gold or the like and subjected to a conductive treatment can also be used.
[0018]
It is desirable that at least one of the opposing surfaces of the high voltage side electrode (C) and the ground side electrode (D) is covered with a solid dielectric. Examples of the material of the solid dielectric include glass, ceramics, heat resistant plastics and the like. Further, as a covering form of the electrode surface, it is also preferable to form a metal oxide film by oxidizing the metal surface of the electrode.
[0019]
Next, the high frequency power source (E) is used to generate a plasma in the plastic tube during operation by applying a high voltage AC voltage between the high voltage side electrode (C) and the ground side electrode (D). The frequency of the high-voltage AC voltage to be generated is not particularly limited, but is preferably 0.5 kHz to 100 MHz. Further, a pulsed voltage may be applied as the high-voltage AC voltage, or a DC voltage may be superimposed on the high-voltage AC voltage. As an example, a 13.56 MHz one that is often used industrially can be used. Plasma is generated by applying a voltage to the electrodes, but the appropriate electric field strength varies depending on the material, shape, size, etc. of the ground side electrode and high voltage side electrode used. Can be selected as appropriate. If the electric field strength is too low, plasma cannot be generated. Conversely, if the electric field strength is too high, the plasma shifts to arc discharge.
[0020]
The gas supply line (F) means a gas flow path for supplying a plasma generating gas or a mixed gas necessary for generating plasma in the plastic tube. The gas supply line (F) can also be provided in this open portion when the structure of the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus is such that the most downstream side of the manufactured plastic tube is open. However, the most advantageous structure is that the gas supply line (F) passes through the annular die and appears in a region surrounded by the die slip of the annular die. This structure is similar to a blow-up air supply line provided in an annular die usually used in inflation molding. In the case of supplying the mixed gas through the gas supply line (F), if the processing gas in the mixed gas is sensitive to heat, heat insulation or cooling means is provided in the gas supply line (F). It may be.
[0021]
Next, the blocking means (G) will be described. The shut-off means (G) is provided in order to substantially shut off the gas flow in the region excluding the plasma generation region located in the plastic tube during operation. By blocking the gas flow in the region excluding the plasma generation region by the blocking means (G), most of the gas supplied into the plastic tube passes through the plasma generation region. The gas flow required to achieve the optimum gas flow rate can be greatly reduced.
[0022]
Moreover, it is preferable that the inner surface treatment plastic manufacturing apparatus of this invention is equipped with the gas discharge line (H). The gas discharge line (H) discharges the plasma generating gas or mixed gas supplied from the gas supply line (F) to the plastic tube from the plastic tube. By providing the gas discharge line (H), it becomes easy to control the flow rate of the plasma generating gas or mixed gas passing through the plasma generating region during operation. Further, when the inner surface treatment plastic manufacturing apparatus has a structure in which the plastic tube is closed by a nip roll or the like during operation and the plasma treatment is performed in the closed space, the plastic tube size is slightly reduced. It is convenient for adjustment, and the exhausted plasma generating gas or mixed gas can be recirculated.
[0023]
The gas discharge line (H) can also be provided in this open portion when the structure of the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus is such that the most downstream side of the manufactured plastic tube is open. However, as described in the gas supply line (F), the most advantageous structure is that it passes through the annular die and appears in a region surrounded by the die slip of the annular die.
[0024]
Further, it is desirable that the gas outlet of the gas supply line (F) and the gas inlet of the gas discharge line (H) are arranged so as to be isolated by a plasma generation region generated in the tube during operation. As described above, since the gas outlet of the gas supply line (F) and the gas inlet of the gas discharge line (H) are arranged, the plasma generating gas or mixed gas supplied to the gas supply line is smoothly plasma. Since it passes through the generation region and the distribution of gas flow velocity in the circumferential direction of the plastic tube inner surface can be made uniform, it is necessary for plasma generation required to achieve the optimum gas flow rate in the plasma generation region. The flow rate of gas or mixed gas can be further reduced.
[0025]
Moreover, it is desirable that the take-up means (B) of the plastic tube manufacturing apparatus is a nip roll. When the take-up means (B) is a nip roll, the plastic tube is closed by the nip roll during operation, and the plasma treatment is performed in this closed space, and the plasma generating gas or mixed gas is opened to the open system. Can be lost. This is particularly effective when the internally treated plastic tube to be manufactured is thin.
[0026]
Hereinafter, the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus of the present invention will be described more specifically with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a plastic tube manufacturing apparatus having an inner surface processing function of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of the ground side electrode used in FIG. 1 (in FIG. 1, the diameter of the plastic tube is emphasized more greatly to facilitate understanding).
In this embodiment, the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus is basically a normal pipe manufacturing apparatus including an extruder 4 equipped with an annular die 5, a tube cooler, a tube winder as a take-up means, and the like. . The apparatus is provided with gas supply lines (plasma generating gas introduction line 72 and processing gas introduction line 71) that pass through the inside of the annular die and appear in the region surrounded by the die lip of the annular die. With this structure, plasma generating gas or mixed gas can be supplied into the plastic tube during operation. In the case where the surface treatment is simply performed without performing the surface treatment with the processing gas, it is not necessary to provide the processing gas introduction line 71 among the gas supply lines.
[0027]
Further, the plastic tube manufacturing apparatus of the present invention is equipped with a grounded side electrode 2 for generating glow discharge plasma and a high voltage side electrode 3 connected to a high frequency power source 10. A high-voltage AC voltage can be applied between the ground-side electrode 2 and the high-voltage side electrode 3. In addition, although the example which distribute | arranges the ground side electrode 2 in a plastic tube was shown in this figure, you may make it arrange | position the high voltage | pressure side electrode 3 in a plastic tube (same also in the form mentioned later).
[0028]
As shown in FIG. 2, a blocking means is provided for the ground-side electrode 2 that is to be disposed in the plastic tube during operation. In this example, a disk-like member (blocking plate) is attached to one opening of the ground-side electrode having a cylindrical shape, and the gas flow can be largely blocked except for the glow discharge plasma generation region during operation.
[0029]
FIG. 3 is a schematic view showing another embodiment of the plastic tube manufacturing apparatus having the inner surface processing function of the present invention. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
In this embodiment, the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus is a normal inflation-type tube forming comprising an extruder 4, an air ring 9, a stabilizer plate 62, a nip roll 61, a take-up roll 63, and the like equipped with an annular die 5. The device is the basis. This apparatus is equipped with a gas supply line (plasma generating gas introduction line 72, processing gas introduction line 71) that passes through the inside of the annular die and is surrounded by the die lip of the annular die, and a gas discharge line 73. Has been. With such a structure, during operation, gas can be supplied into the plastic tube, and the gas concentration and pressure in the plastic tube can be maintained at predetermined values by appropriately discharging these gases. . It is also convenient for fine adjustment of the plastic tube size. Further, in this example, the gas outlet of the gas supply line and the gas inlet of the gas discharge line are arranged so as to be isolated by the plasma generation region generated in the tube. In addition, when performing the surface treatment with the plasma generated in the plastic tube without performing the surface treatment with the treatment gas, it is not necessary to provide the treatment gas introduction line 71 among the gas supply lines, and the gas discharge line 73 is installed. It can be omitted. The plastic tube manufacturing apparatus of the present invention is equipped with a grounded ground electrode 2 for generating plasma and a high voltage electrode 3 connected to a high frequency power source 10. A high-voltage AC voltage can be applied between the ground-side electrode 2 and the high-voltage side electrode 3. Here, the ground side electrode 2, the high voltage side electrode 10, the die slip of the annular die, and the plastic tube formed during operation are in a concentric positional relationship. As is clear from FIG. 4, the ground side electrode has a substantially cylindrical shape, and the electrode itself is provided with a blocking means. The flow can be largely blocked.
[0030]
On the other hand, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-57038, a cylindrical edge made of an insulator such as plastic or ceramic is mounted with a ground side electrode and a high voltage side electrode in a double spiral or comb shape. The present invention can also be applied to a configuration in which the is disposed on the outer periphery of the plastic tube during operation. That is, as the blocking means corresponding to this form, for example, a structure of a device in which a substantially columnar member or a cylindrical member closed on one side is positioned inside the plastic tube can be exemplified.
[0031]
As described above, the exemplary embodiment of the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus of the present invention has been described by way of example, but these are merely examples and are not limiting. Accordingly, modifications of these examples by those skilled in the art are considered to be included as part of the present invention so long as they are within the spirit and scope of the present invention.
[0032]
Next, an inner surface-treated plastic tube manufacturing method using the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus of the present invention described above will be described.
In the method for producing an internally treated plastic tube of the present invention, an atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas or a mixed gas of the gas and a processing gas is supplied into a plastic tube extruded from an annular die, and a high-frequency power source (E) is used to supply a high-pressure side. An AC power source is applied between the electrode (C) and the ground side electrode (D), and atmospheric pressure glow discharge plasma is generated in the plastic tube to treat the inner surface of the plastic tube. The details will be described below.
[0033]
The glow discharge plasma generating gas used in the present invention is a gas for generating plasma, and is preferably a rare gas or a nitrogen gas. Among the rare gases, helium is most preferable, and argon can also be suitably used.
[0034]
On the other hand, the processing gas added to the plasma generating gas in order to improve the processing effect is appropriately selected according to the purpose of the surface treatment. For example, in order to impart water repellency to a sheet-like material, fluorinated ethylene series hydrocarbon compounds such as tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene, and fluorinated methane series carbonization such as tetrafluoromethane and hexafluoroethane. An organic compound having a functional group such as a hydrogen compound, a chain hydrocarbon having a side chain containing a fluorine atom, or a fluorinated aromatic hydrocarbon can be used.
[0035]
In addition, by using the following oxygen element-containing compound and nitrogen element-containing compound as the processing gas, the surface energy is increased by forming hydrophilic functional groups such as carbonyl groups, hydroxyl groups, amino groups on the substrate surface, A hydrophilic surface can be obtained.
[0036]
Examples of the oxygen element-containing compound include oxygen, ozone, water (water vapor), carbon monoxide, carbon dioxide, nitrogen monoxide, nitrogen dioxide, alcohols such as methanol and ethanol, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, and methanol. And organic compounds containing oxygen elements such as aldehydes such as ethanal. A mixture of the oxygen element-containing compound and hydrogen may be used. Further, the oxygen element-containing compound may be mixed with a hydrocarbon compound gas such as methane or ethane. Moreover, hydrophilization is accelerated | stimulated by adding a fluorine element containing compound at 50 volume% or less to the said oxygen element containing compound. What is necessary is just to use the same thing as the said illustration as a fluorine element containing compound.
[0037]
Examples of the nitrogen element-containing compound include nitrogen and ammonia. Examples of the sulfur element-containing compound include sulfur dioxide and sulfur trioxide. Moreover, sulfuric acid can be vaporized and used.
[0038]
In addition, a hydrophilic polymer film can be deposited by using a monomer having a hydrophilic group and a polymerizable unsaturated bond in the molecule as a processing gas. Examples of the hydrophilic group include hydrophilic groups such as a hydroxyl group, a sulfonic acid group, a sulfonate group, a primary or secondary or tertiary amino group, an amide group, a quaternary ammonium base, a carboxylic acid group, and a carboxylic acid group. Can be mentioned. Similarly, a hydrophilic polymer film can be deposited using a monomer having a polyethylene glycol chain.
[0039]
Examples of the monomer include acrylic acid, methacrylic acid, acrylamide, methacrylamide, N, N-dimethylacrylamide, sodium acrylate, sodium methacrylate, potassium acrylate, potassium methacrylate, sodium styrenesulfonate, allyl alcohol, allylamine, polyethylene. Examples include glycol dimethacrylic acid ester and polyethylene glycol diacrylic acid ester.
[0040]
Among the hydrophilic monomers, solid ones used as they are or dissolved in a solvent are vaporized by means such as reduced pressure.
[0041]
In addition, a metal-containing gas can be suitably used as the processing gas. Examples of the metal include Al, As, Bi, B, Ca, Cd, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Au, In, Ir, Hf, Fe, Pb, Li, Na, Mg, Mn, Hg, Metals such as Mo, Ni, P, Pt, Po, Rh, Sb, Se, Si, Sn, Ta, Te, Ti, V, W, Y, Zn, Zr, etc. are mentioned, and the gas containing the metal is used. , Gas for treatment such as metal organic compound, metal-halogen compound, metal-hydrogen compound, metal alkoxide.
[0042]
Specifically, the case where the metal is Si will be described as an example. Tetramethylsilane [Si (CH Three ) Four ], Dimethylsilane [Si (CH Three ) 2 H 2 ], Tetraethylsilane [Si (C 2 H Five ) Four ] Organometallic compounds such as silicon tetrafluoride (SiF) Four ) Silicon tetrachloride (SiCl) Four ) Silicon dichloride (SiH) 2 Cl 2 ) Metal halide compounds; monosilane (SiH Four ), Disilane (SiH Three SiH Three ), Trisilane (SiH Three SiH 2 SiH Three Metal hydride compounds such as); tetramethoxysilane [Si (OCH Three ) Four ], Tetraethoxysilane [Si (OC 2 H Five ) Four And the like.
[0043]
If the metal-containing gas is a gas, it can be introduced into the discharge space as it is, but if it is liquid or solid, it may be introduced into the discharge space via a vaporizer. By using such a processing gas, SiO 2 TiO 2 , SnO 2 It is possible to form a metal oxide thin film such as ZnO and to give an electrical and optical function to the surface of the substrate.
[0044]
In addition, the compound used as an above-mentioned process gas may be used independently, and may use 2 or more types together depending on the objective. Further, the mixing ratio when the processing gas and the plasma generating gas (rare gas) are mixed and used is appropriately determined depending on the kind of the plasma generating gas and the processing gas to be used, but the concentration of the processing gas is 10 volumes. If it exceeds 50%, it is difficult to generate a uniform discharge plasma even when a high-voltage AC voltage is applied, so 0.01 to 10% by volume is preferable, and 0.01 to 5% by volume is more preferable.
[0045]
The material of the tube that can be treated in the present invention is not particularly limited as long as it can be extruded. For example, polyolefin resins such as polyethylene (PE) and polypropylene (PP), ethylene-vinyl alcohol Copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, polyethylene terephthalate, polyurethane, polyamide, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinylidene fluoride, polycarbonate, polyacetal, polyester, silicone resin, acrylic Resin, polyacrylic acid, polyacrylamide, polymethyl methacrylate, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, polyacrylonitrile, polystyrene, polysulfone, polyethylene oxide, polyether agent Ketone, polyether sulfone, and the like, but not limited thereto.
[0046]
Next, the manufacturing method of the inner surface treatment plastic tube of this invention is demonstrated in detail, referring FIG. The outline of the apparatus shown in FIGS. 1 and 3 is as described above.
First, in FIG. 1, after starting the continuous production of tubes in a normal tube (pipe) production process, a plasma generating gas such as helium is introduced into the tube using the plasma generating gas introduction line 72. Thereafter, a plasma generating gas or a mixed gas of the gas and the processing gas is continuously introduced from the plasma generating gas introduction line 72, and a high-voltage AC voltage is applied to the high-voltage side electrode 3 from the high-frequency power source 10 to perform glow discharge plasma. Regions are formed and processed.
[0047]
The outer diameter of the ground side electrode 2 is set slightly smaller than the inner diameter of the plastic tube 8 to be manufactured. If the distance between the ground electrode and the plastic tube is too large, stable glow discharge cannot be obtained. The distance between the internal electrode and the plastic tube is preferably 10 mm or less, more preferably 5 mm or less.
[0048]
Next, the manufacturing method of the inner surface treatment plastic tube of this invention is demonstrated, referring FIG.
First, after starting continuous production of tubes in a normal tube production process, the inside of the tube is made into a plasma generating gas such as helium while maintaining the tube internal pressure by using the gas generating line 72 and the exhaust line 73 for generating the plasma. Replace. Thereafter, the plasma generation gas or the mixed gas of the gas and the processing gas is continuously supplied from the plasma generation gas introduction line 72 while discharging the gas in the tube from the exhaust line 73 so as to maintain the pressure in the tube. Then, a high-voltage AC voltage is applied to the high-voltage side electrode 2 from the high-frequency power source 10 to form a plasma region for processing.
[0049]
The outer diameter of an electrode (ground side electrode in this example) arranged inside the plastic tube is set slightly smaller than the inner diameter of the plastic tube 8 to be manufactured. If the distance between the electrode and the tube is too large, stable plasma is hardly generated. The distance between the electrode and the tube is preferably 10 mm or less.
[0050]
The high-voltage side electrode 3 has a cylindrical shape, is attached to a frame or the like of a plastic tube manufacturing apparatus by a high-voltage side electrode support 32 in an insulated state, and is connected to the high-frequency power source 10. Here, the cylindrical high-voltage side electrode 3 is disposed concentrically with the die lip of the annular die 5 or the ground electrode 2, and the inner diameter is set slightly larger than the outer diameter of the plastic tube 8 to be manufactured. The high-voltage side electrode 3 can be divided and used in consideration of workability at the start of tube manufacture.
[0051]
The ground electrode 2 and the high-voltage side electrode 3 are opposed to a line downstream of the so-called frost line, in which the tube 8 is cooled and solidified during operation, via the tube 8 in the state of being coaxial. It is desirable to arrange in this way.
[0052]
The distance between the ground electrode 2 and the high-voltage side electrode 3 is not particularly limited as long as it is equal to or greater than the thickness of the tube, but if it is too narrow, the tube contacts each electrode and obstructs take-up, causes arc discharge, and is too wide. And does not lead to discharge. In this sense, the distance between the ground electrode 2 and the high-voltage side electrode 3 is preferably 0.5 mm to 20 mm.
[0053]
As in the method provided by the present invention, almost all of the plasma generating gas or mixed gas is supplied to the plasma region by providing a blocking means for blocking the gas flow except for the plasma generating region. For this reason, compared with the case where the conventional method is used, the supply_amount | feed_rate of gas required in order to obtain the stable discharge can be suppressed remarkably.
[0054]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
[0055]
[Example 1]
A continuous production apparatus for an internally treated plastic tube as schematically shown in FIG. 3 was produced. As an inflation tube manufacturing apparatus that is the basis of the manufacturing apparatus, a lab plast mill 50MR single screw extruder (20 mm diameter, L / D25 full flight screw) manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd. was used. An annular die having a die lip diameter of 25 mm provided with a gas introduction line and an exhaust line, and an air ring were attached thereto, and equipped with auxiliary equipment such as a stabilizer, a nip roll, and a winder. The distance from the upper surface of the die to the nip roll was about 700 mm. The ground electrode having an outer diameter of 44 mm and a height of 50 mm and having an aluminum cylindrical shape is attached to the die lip of the annular die so that the lower end thereof is located approximately 300 mm from the upper surface of the die and is concentric with the die slip. It was attached by a support attached to the enclosed area. Further, as shown in FIG. 3, a high-voltage side electrode having an aluminum cylindrical shape having an inner diameter of 48 mm, a thickness of 4 mm, and a height of 50 mm divided into two parts was installed at a position concentrically facing the internal electrode in the tube. In addition, the high-voltage side electrode divided into two parts has a structure that can be retracted in a sliding manner to improve workability at the start of manufacturing.
Furthermore, a high frequency AC power source capable of applying a 13.56 MHz high frequency AC voltage was connected to the high voltage side electrode. Further, the annular die is provided with a gas supply line and a gas discharge line so that these appear in a region surrounded by the die slip. The position of the gas outlet of the gas supply line is below the ground side electrode, and the gas inlet of the gas discharge line is above the ground side electrode. Thus, the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus of the present invention was manufactured.
[0056]
Using the above-described apparatus, continuous production of a tube having a tube outer diameter of 46 mm and a thickness of about 100 μm was started using Sumitomo Chemical Co., Ltd. low-density polyethylene F208-0 as a raw material at a nip roll take-up speed of 1.5 m / min. Next, by operating the gas introduction line and the exhaust line, the inside of the tube was replaced with helium while maintaining the gas pressure in the tube and the outer diameter of the tube. Further, in this state, by operating the gas introduction line and the exhaust line, 5 mL / min of oxygen gas was continuously introduced in addition to 1 L / min of helium. Next, the high-voltage side electrode divided into two and retracted in a sliding manner was returned to its original position, and placed at a position concentrically facing the ground electrode in the tube. At this time, the distance between the tube, the ground electrode, and the high-voltage side electrode was about 1 mm. Next, when a high voltage AC voltage of 13.56 MHz was applied from the high frequency AC power source to the high voltage side electrode, plasma was generated between the tube and the ground electrode. In this way, an inner surface-treated polyethylene tube was obtained. The contact angle of water on the inner surface of the polyethylene tube before the treatment was 98.5 °, whereas that on the inner surface of the polyethylene tube after the treatment was 70.6 °, and the treatment effect was clearly recognized.
[0057]
[Comparative Example 1]
The same test as in the example was performed except that a cylindrical internal electrode as shown in FIGS. 5 and 6 was used. At this time, in order to generate stable plasma, it was necessary to set the gas supply rate to 5 L / min.
[0058]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when processing the inner surface of a plastic tube using atmospheric pressure glow discharge plasma, it is not necessary to use a large amount of expensive plasma generating gas such as helium. A manufacturing apparatus is provided. Furthermore, the manufacturing method of the inner surface treatment plastic tube using the same apparatus is provided. The inner surface-treated plastic tube that can be manufactured by the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus and the inner surface-treated plastic tube manufacturing method of the present invention is more advantageous in cost than the conventional one, and is usefully used in each application. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of an inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a ground electrode used in FIG.
FIG. 3 is a schematic view showing another embodiment of the inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus of the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 3;
FIG. 5 is a schematic view showing a form of an inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus used in a comparative example.
6 is a schematic cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG.
[Explanation of symbols]
1. Internal treatment plastic tube manufacturing equipment
2. Ground electrode
22. Ground electrode support
3. High voltage side electrode
32. High voltage side electrode support
4). Extruder
5). Annular die
61. Nip roll
62. Stabilizer
63. Winding roll
71. Process gas introduction line
72. Gas introduction line for plasma generation
73. Exhaust line
8). Tube (object to be processed)
9. Air ring
10. High frequency power supply

Claims (5)

・環状ダイスを備えた押出機(A)、
・環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブを所定の速度で引き取るための引き取り手段(B)、
・高圧側電極(C)、
プラスチックチューブ内に設置され、かつ外径が製造されるプラスチックチューブとの間隔が10mm以下である接地側電極(D)、
・高圧側電極(C)、接地側電極(D)間に高圧交流電圧を印可するための高周波電源(E)、
・運転時、環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを供給するためのガス供給ライン(F)、を備えた装置であって、運転時、高圧側電極(C)、接地側電極(D)間に高周波電源(E)から高圧交流電圧を印可することによりプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマを発生させることができ、更に、
・運転時プラスチックチューブ内に位置し、グロー放電プラズマ発生領域を除いた領域のガスの流れを概ね遮断するための遮断手段(G)、を備えていることを特徴とする内面処理プラスチックチューブ製造装置。
An extruder (A) equipped with an annular die,
A take-up means (B) for taking out the plastic tube extruded from the annular die and cooled and solidified at a predetermined speed;
・ High voltage side electrode (C),
A ground-side electrode (D) installed within the plastic tube and having a distance of 10 mm or less from the plastic tube whose outer diameter is manufactured ;
A high frequency power source (E) for applying a high voltage AC voltage between the high voltage side electrode (C) and the ground side electrode (D),
A gas supply line (F) for supplying an atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas or a mixed gas of the gas and a processing gas into a plastic tube extruded from an annular die and cooled and solidified during operation. An apparatus for generating atmospheric pressure glow discharge plasma in a plastic tube by applying a high-voltage AC voltage from a high-frequency power source (E) between a high-voltage side electrode (C) and a ground-side electrode (D) during operation. In addition,
· An inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus, comprising: a shut-off means (G) that is located in the plastic tube during operation and substantially shuts off a gas flow in a region excluding the glow discharge plasma generation region. .
・運転時、環状ダイスから押し出され冷却固化されたプラスチックチューブ内にガス供給ライン(F)を通じて供給されるガスを排出するためのガス排出ライン(H)、を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の内面処理プラスチックチューブ製造装置。A gas discharge line (H) for discharging the gas supplied through the gas supply line (F) into the plastic tube extruded from the annular die and cooled and solidified during operation is further provided. 2. The inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus according to 1. ガス供給ライン(F)のガス噴き出し口とガス排出ライン(H)のガス吸入口が、運転時チューブ内に発生するグロー放電プラズマ発生領域によって隔絶されるごとく配されていることを特徴とする請求項2に記載の内面処理プラスチックチューブ製造装置。The gas outlet of the gas supply line (F) and the gas inlet of the gas discharge line (H) are arranged so as to be isolated by a glow discharge plasma generation region generated in the tube during operation. Item 3. The inner surface-treated plastic tube manufacturing apparatus according to Item 2. 引き取り手段(B)が、ニップロールであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のプラスチックチューブ製造装置。The plastic tube manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the take-up means (B) is a nip roll. 請求項1乃至4のいずれかに記載のプラスチックチューブ製造装置を用いて、環状ダイスから押し出されるプラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマ発生用ガスあるいは該ガスと処理ガスとの混合ガスを供給し、高周波電源(E)により高圧側電極(C)と接地側電極(D)間に高圧交流電圧を印可し、プラスチックチューブ内に大気圧グロー放電プラズマを発生させ、プラスチックチューブの内面を処理することを特徴とする内面処理プラスチックチューブの製造方法。Using the plastic tube manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 4, an atmospheric pressure glow discharge plasma generating gas or a mixed gas of the gas and a processing gas is supplied into a plastic tube extruded from an annular die, Applying a high-voltage AC voltage between the high-voltage side electrode (C) and the ground-side electrode (D) by the high-frequency power source (E), generating atmospheric pressure glow discharge plasma in the plastic tube, and treating the inner surface of the plastic tube A method for producing an internally treated plastic tube.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4861885B2 (en) * 2007-04-06 2012-01-25 東海ゴム工業株式会社 Manufacturing method of hose with sealing layer
JP2013253300A (en) * 2012-06-08 2013-12-19 Toshiba Corp Film forming method to insulator and high voltage equipment with formed film
JP2014095575A (en) * 2012-11-08 2014-05-22 Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd Ultrasonic flowmeter manufacturing method, ultrasonic flowmeter, and fluid control device with ultrasonic flowmeter
JP6292610B2 (en) * 2014-01-24 2018-03-14 株式会社潤工社 Tube inner surface hydrophilization method and apparatus

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01127315A (en) * 1987-11-12 1989-05-19 Tosoh Corp Manufacture of modified film
JPH03275137A (en) * 1990-03-23 1991-12-05 Bridgestone Corp Method for treating inner surface of tubular material
JPH0857038A (en) * 1993-06-07 1996-03-05 Agency Of Ind Science & Technol Plastic tube, anti-thrombogenic medical material, medical tool, manufacture and manufacturing device thereof, and plasma processor

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56167733A (en) * 1980-05-30 1981-12-23 Shin Etsu Chem Co Ltd Treatment of inner surface of vinyl chloride type resin tubular body
JP4430209B2 (en) * 2000-07-18 2010-03-10 大倉工業株式会社 Plastic tube manufacturing apparatus having inner surface processing function, and inner surface processing plastic tube manufacturing method using the apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01127315A (en) * 1987-11-12 1989-05-19 Tosoh Corp Manufacture of modified film
JPH03275137A (en) * 1990-03-23 1991-12-05 Bridgestone Corp Method for treating inner surface of tubular material
JPH0857038A (en) * 1993-06-07 1996-03-05 Agency Of Ind Science & Technol Plastic tube, anti-thrombogenic medical material, medical tool, manufacture and manufacturing device thereof, and plasma processor

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