JP4557904B2 - 極紫外線(euv)発生装置および方法 - Google Patents
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Description
2 第2の電極
3 絶縁体
4 放電チャンバ
6 プラズマ
7 放射線
8 高電圧パルス発生器
9 開口部
10 入口接続部分
11 入口開口部
12 注入装置
13 注入ノズル
14 個別量
14’ 過剰個別量
15 ガス入口開口部
16 液体貯蔵室
17 温度制御装置
18 荷電モジュール
19 インターセプタ
20 間引き装置
21 ピエゾアクチュエータ(圧力調整器)
22 ノズルチャンバ
23 プリチャンバ
24 ガス供給部
25 開口部
26 入口チャネル
27 蒸発レーザ
27’ 蒸発レーザ
28 出口チャネル
29 オフポンプ管
30 デブリ低減装置
31 加熱要素
32 ポンプ接続部
33 絶縁ジャケット
34 第1の予備イオン化電極
35 管状絶縁体
36 予備イオン化パルス発生器
Claims (32)
- 放電プラズマに基づいた極紫外線(EUV)発生装置であって、
所望する放射線を放射するプラズマを形成するためのガス放電用の放電領域を有する放電チャンバと、
誘電剛性を備えた絶縁体によって互いに電気的に分離された第1の電極および第2の電極と、
前記放電プラズマによって放射される放射線用の、前記第2の電極に設けられた出口開口部と、
前記2つの電極間にガス放電用の高電圧パルスを発生させるための高圧電源と
を有する発生装置において、
所望する放射線を発生させるのに供される出発材料の一連の個別量を注入するために、前記放電領域へ向けられている注入ノズルを有する注入装置と、
前記放電領域にて、前記個別量を連続的に蒸発させる手段と
を更に有し、
前記注入装置と前記連続的に蒸発させる手段とが、前記ガス放電の周波数に対応する反復率で作動されていること
を特徴とする装置。 - 前記ガス放電のために前記放電領域を通って流れる背景ガスを供給するガス供給ユニットが設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記注入装置(12)が、前記出口開口部に面している注入方向を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- 前記注入装置(12)が、前記第2の電極(2)における前記出口開口部を通って前記放電領域へ向けられていることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- 前記注入ノズル(13)が液体貯蔵室(16)に接続され、当該液体貯蔵室(16)が、温度制御装置(17)、および前記液体貯蔵室(16)に位置する前記出発材料に連続的な貯蔵圧力をもたらすための装置と連通していることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 個別量の連続的なフローから過剰個別量(14’)を除去する間引き装置(20)が、前記注入方向における前記注入ノズル(13)の下流側に配置されていることを特徴とする、請求項5に記載の装置。
- 前記間引き装置(20)が、荷電用のモジュール(18)、および荷電された過剰個別量(14’)の除去のためのインターセプタ(19)を有することを特徴とする、請求項6に記載の装置。
- 前記間引き装置(20)が、通過領域およびインターセプト領域を備えた回転隔膜を有し、当該回転隔膜は、前記個別量フローを選択的に中断することによって前記個別量(14)間の距離を増加させ、分離された個別量(14’)の付着を防ぐための手段と連通していることを特徴とする、請求項6に記載の装置。
- 前記注入ノズル(13)が、入力側ノズルチャンバ(22)を介して前記液体貯蔵室(16)に接続され、前記ノズルチャンバ(22)における前記容量を一時的に変化させるための圧力調整器(21)が、この液体貯蔵室(16)に作用すること、および
前記注入ノズル(13)のノズル出口が、プリチャンバ(23)へ開いており、当該プリチャンバ(23)には前記貯蔵圧力と等しいプリチャンバ圧力があり、かつ前記プリチャンバ(23)は前記個別量(14)の通過のために前記放電領域へ向けられている開口部(25)を含んでいること
を特徴とする、請求項5に記載の装置。 - 少なくとも1つの蒸発レーザ(27、27’)が、前記個別量(14)を連続的に蒸発させるための手段として設けられていることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 開口部(26)が前記第2の電極に作られ、前記開口部(26)を通って前記蒸発レーザ(27)によって発生したレーザビームが前記放電領域へ案内されることを特徴とする、請求項10に記載の装置。
- 前記背景ガスのガス放電が、前記個別量(14)の連続的な蒸発のための手段としてもたらされることを特徴とする、請求項2〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記蒸発したワーク媒体のためのインターセプト装置が、前記第2の電極(2)の下流側に配置されたデブリ低減装置(30)の中央に配置されていることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の装置。
- 前記インターセプト装置が、前記第2の電極(2)における前記出口開口部に面する入口開口部、およびポンプ接続部(32)を備えたオフポンプ管(29)として構成されていること、および
少なくとも1つの加熱要素(31)が、前記出発材料の元素成分の凝結を防ぐために、絶縁ジャケット(33)によって少なくとも部分的に囲まれた前記オフポンプ管に接続されていること
を特徴とする、請求項13に記載の装置。 - 前記背景ガスの予備イオン化用の予備イオン化モジュールが、前記第1の電極(1)内に配置され、前記予備イオン化モジュールが、管状絶縁体(35)によって、第2の予備イオン化電極として供される前記第1の電極(1)から電気的に絶縁されている第1の予備イオン化電極(34)と、前記予備イオン化電極(34)および前記第1の電極(1)に接続されている予備イオン化パルス発生器(36)と、を有することを特徴とする、請求項2〜14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記個別量(14)用の加速パスが、前記注入ノズル(13)と前記第2の電極(2)との間の領域に設けられていることを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一項に記載の装置。
- 放電プラズマに基づいた極紫外線(EUV)発生方法であって、所望する放射線を放射するプラズマが、パルス化されたガス放電によって、放電チャンバの放電領域にて出発材料から発生させられる方法において、
前記出発材料を、方向性のある注入を通して、前記放電領域に連続的に導入される個別量の形態で供給するステップと、
前記出発材料の個別量を蒸発させるステップと、
前記蒸発された個別量によりガス放電を点火するステップと
を備え、前記個別量の注入と蒸発とが、パルス化されたガス放電の周波数に対応する反復率で作動される方法。 - 前記蒸発した個別量が、プラズマ発生後に前記放電チャンバから排出されることを特徴とする、請求項17に記載の方法。
- 前記個別量が、連続的な注入によって前記放電空間に導入され、過剰個別量が、前記放電空間に達する前に除去されることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 前記個別量が、パルス化された注入によって前記放電空間に導入され、パルス列が、前記ガス放電の周波数に適合されることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 前記個別量が、蒸発の前に前記放電領域にて液体形状であることを特徴とする、請求項17〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記個別量が、蒸発の前に前記放電領域にて固体形状であることを特徴とする、請求項17〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記注入された個別量の移動方向と一致しない別のフローの個別量が、第1の個別量から発生した前記プラズマと後の分量との間で、前記放電チャンバを通って導かれることを特徴とする、請求項17〜22のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つのレーザビームパルスが、蒸発のために前記個別量に向けられること、および
プラズマを発生させるのに供される前記ガス放電が、前記蒸発した出発材料にて実行されること
を特徴とする、請求項17〜23のいずれか一項に記載の方法。 - 前記蒸発および前記プラズマ発生が、前記放電チャンバを通って流れる背景ガスの放電によって実行されることを特徴とする、請求項17〜23のいずれか一項に記載の方法。
- 前記蒸発が、少なくとも1つのレーザビームパルスと、前記放電チャンバを通って流れる背景ガスの放電との組み合わせによって実行されることを特徴とする、請求項17〜23のいずれか一項に記載の方法。
- 前記背景ガスが予備イオン化されることを特徴とする、請求項25に記載の方法。
- 前記出発材料が、元素であるキセノン、スズ、リチウムまたはアンチモンを少なくとも部分的に含むことを特徴とする、請求項17〜27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記出発材料が、キセノン、スズ、リチウムまたはアンチモンよりもEUV放射線への寄与が少ない他の元素、および/またはEUVを放射しない元素を含むことを特徴とする、請求項28に記載の方法。
- 前記出発材料が、SnH4としてスズを含むことを特徴とする、請求項28または29に記載の方法。
- 前記出発材料が、窒素または希ガスと混合され、かつ液化混合物として前記個別量を形成するナノ粒子の形状でスズを含むことを特徴とする、請求項28または29に記載の方法。
- 制限された量の前記個別量が、5×10−13cm3〜5×10−7cm3のサイズにわたることを特徴とする、請求項17〜31のいずれか一項に記載の方法。
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