JP4557763B2 - 光電変換装置及び放射線撮像装置 - Google Patents
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を1個のチップに形成し、20個の検出用集積回路チップ(IC1〜IC20)を使用する。
。また、上側(U)下側(D)への配線も同様に振り分ければよい。
また、本発明に係る光電変換装置のその他の態様は、前記集積回路はデコーダを含み、前記走査回路の動作方向は前記デコーダにアドレス情報を供給するコントローラにより定められることを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換装置のその他の態様は、前記集積回路は、前記基板、当該基板を支持するマザーボード、及びフレキシブル配線基板のいずれかに実装されていることを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換装置のその他の態様は、前記アレイの上部に蛍光体を有することを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換装置のその他の態様は、前記光電変換素子は、第1の電極層と第2の電極層との間に設けられた半導体層を有する素子であり、前記半導体層は非単結晶半導体層であることを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換装置のその他の態様は、前記光電変換素子は、前記第1の電極層と前記半導体層との間に絶縁層を、前記半導体層と前記第2の電極層との間に第1導電型のキャリアの注入を阻止する半導体層を、更に有することを特徴とする。
また、本発明に係る放射線撮像装置のその他の態様は、前記集積回路はデコーダを含み、前記走査回路の動作方向は前記デコーダにアドレス情報を供給するコントローラにより定められることを特徴とする。
また、本発明に係る放射線撮像装置のその他の態様は、前記集積回路は、前記基板、当該基板を支持するマザーボード、及びフレキシブル配線基板のいずれかに実装されていることを特徴とする。
また、本発明に係る放射線撮像装置のその他の態様は、前記変換素子は、前記放射線を可視光に変換する蛍光体と、前記可視光を前記電気信号に変換する光電変換素子と、を含むことを特徴とする。
また、本発明に係る放射線撮像装置のその他の態様は、第1の電極層と第2の電極層との間に設けられた半導体層を有する素子であり、前記半導体層は非単結晶半導体層であることを特徴とする。
また、本発明に係る放射線撮像装置のその他の態様は、前記光電変換素子は、前記第1の電極層と前記半導体層との間に絶縁層を、前記半導体層と前記第2の電極層との間に第1導電型のキャリアの注入を阻止する半導体層を、更に有することを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光電変換装置の全体平面図である。なお図2及び図3と同一機能の部分には同一符号を付してあり、説明を省略する場合がある。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る光電変換装置の平面図である。なお図1、図2及び図3と同一機能の部分には同一符号を付してあり、説明を適宜省略している。
図10は、本発明の第3の実施形態に係る光電変換装置の全体平面図である。なお従来例の項で説明した図2、3と同一機能の部分には同一符号を付してあり、説明を省略する場合がある。
図12は、参考実施例に係る光電変換装置の全体平面図である。なお前述した各実施例と同一機能の部分には同一符号を付してあり、適宜説明を省略する。
第4の実施形態としては、上記した第1乃至第3の各実施形態の光電変換素子の上部に蛍光体を配置し、X線レントゲン装置を構成したものである。
は光電変換モードになり同時にコンデンサC11〜C33は初期化される。この状態で走査回路SR1およびSR2により制御配線g1〜g3、s1〜s2にローレベルのパルスが印加される。すると転送用TFT・T11〜T33のスイッチM1〜M3がオフし、全受光素子S11〜S33のD電極はDC的にはオープンになるがコンデンサC11〜C33によって電位は保持される。
12で検出すれば光センサとして動作する。
前記貼り合わせる複数の基板の配置を、それぞれの基板の光電変換部となる半導体層を堆積させた時の基板配置と同じ配置として、前記複数の基板を貼り合わせて構成したことを特徴とする光電変換装置。
g1〜g1000 制御配線
sig1〜sig1000 信号配線
SR1−1〜SR1−10 走査回路チップ
IC1〜IC10 検出用集積回路チップ
Claims (14)
- 基板上に2次元状に配された複数の光電変換素子からなるアレイと、
当該アレイを走査する走査回路と、を備えた光電変換装置であって、
前記走査回路は、前記アレイの対向する2辺のうちの一方の辺に配置された複数の第1の集積回路と、前記アレイの対向する2辺のうちの他方の辺に配置された複数の第2の集積回路と、を含み、前記複数の第1及び第2の集積回路は、双方向の動作が可能な同じ構成の集積回路であり、
前記複数の第1の集積回路に第1の共通入力信号が入力され、前記複数の第2の集積回路に第2の共通入力信号が入力されることにより、前記複数の第1及び第2の集積回路が前記アレイを同一の方向で走査するように、前記複数の第1及び第2の集積回路の動作方向を決定することを特徴とする光電変換装置。 - 前記集積回路はシフトレジスタを含み、前記走査回路の動作方向は前記シフトレジスタのシフト方向により定められることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 前記集積回路はデコーダを含み、前記走査回路の動作方向は前記デコーダにアドレス情報を供給するコントローラにより定められることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 前記集積回路は、前記基板、当該基板を支持するマザーボード、及びフレキシブル配線基板のいずれかに実装されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の光電変換装置。
- 前記アレイの上部に蛍光体を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子は、第1の電極層と第2の電極層との間に設けられた半導体層を有する素子であり、前記半導体層は非単結晶半導体層であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子は、前記第1の電極層と前記半導体層との間に絶縁層を、前記半導体層と前記第2の電極層との間に第1導電型のキャリアの注入を阻止する半導体層を、更に有することを特徴とする請求項6記載の光電変換装置。
- 入射される放射線を受けて当該放射線に応じた電気信号を発生する変換素子が基板上に2次元状に複数配されたアレイと、
当該アレイを走査する走査回路と、を備えた放射線撮像装置であって、前記走査回路は、前記アレイの対向する2辺のうちの一方の辺に配置された複数の第1の集積回路と、前記アレイの対向する2辺のうちの他方の辺に配置された複数の第2の集積回路と、を含み、前記複数の第1及び第2の集積回路は、双方向の動作が可能な同じ構成の集積回路であり、
前記複数の第1の集積回路に第1の共通入力信号が入力され、前記複数の第2の集積回路に第2の共通入力信号が入力されることにより、前記複数の第1及び第2の集積回路が前記アレイを同一の方向で走査するように、前記複数の第1及び第2の集積回路の動作方向を決定することを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記集積回路はシフトレジスタを含み、前記走査回路の動作方向は前記シフトレジスタのシフト方向により定められることを特徴とする請求項8記載の放射線撮像装置。
- 前記集積回路はデコーダを含み、前記走査回路の動作方向は前記デコーダにアドレス情報を供給するコントローラにより定められることを特徴とする請求項8記載の放射線撮像装置。
- 前記集積回路は、前記基板、当該基板を支持するマザーボード、及びフレキシブル配線基板のいずれかに実装されていることを特徴とする請求項8から10のいずれか1項記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子は、前記放射線を可視光に変換する蛍光体と、前記可視光を前記電気信号に変換する光電変換素子と、を含むことを特徴とする請求項8から11のいずれか1項記載の放射線撮像装置。
- 前記光電変換素子は、第1の電極層と第2の電極層との間に設けられた半導体層を有する素子であり、前記半導体層は非単結晶半導体層であることを特徴とする請求項12記載の放射線撮像装置。
- 前記光電変換素子は、前記第1の電極層と前記半導体層との間に絶縁層を、前記半導体層と前記第2の電極層との間に第1導電型のキャリアの注入を阻止する半導体層を、更に有することを特徴とする請求項13記載の放射線撮像装置。
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