JP4553262B2 - Method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump - Google Patents

Method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump Download PDF

Info

Publication number
JP4553262B2
JP4553262B2 JP2006540230A JP2006540230A JP4553262B2 JP 4553262 B2 JP4553262 B2 JP 4553262B2 JP 2006540230 A JP2006540230 A JP 2006540230A JP 2006540230 A JP2006540230 A JP 2006540230A JP 4553262 B2 JP4553262 B2 JP 4553262B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inlet pressure
drive motor
value
pressure value
curve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006540230A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007511703A (en
Inventor
ヘルツェマー ミヒャエル
シェーンボルン フランク
ロンターラー カール−ハインツ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of JP2007511703A publication Critical patent/JP2007511703A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4553262B2 publication Critical patent/JP4553262B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/06—Control using electricity
    • F04B49/065—Control using electricity and making use of computers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F04B37/16—Means for nullifying unswept space
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/06—Control using electricity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B2203/00—Motor parameters
    • F04B2203/04—Motor parameters of linear electric motors
    • F04B2203/0409—Linear speed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B2205/00—Fluid parameters
    • F04B2205/01—Pressure before the pump inlet
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B2207/00—External parameters
    • F04B2207/02—External pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2210/00—Working fluid
    • F05B2210/10—Kind or type
    • F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2270/00—Control
    • F05B2270/30—Control parameters, e.g. input parameters
    • F05B2270/301—Pressure
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S417/00—Pumps

Description

本発明は、真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための方法ならびに駆動モータの制御装置を備えた真空容積式ポンプに関する。   The present invention relates to a method for controlling a drive motor of a vacuum positive displacement pump and a vacuum positive displacement pump including a drive motor control device.

真空容積式ポンプは、たとえばダイヤフラムポンプ、回転翼型ポンプ、ピストンポンプまたはルーツポンプであり、しばしば前真空ポンプとして高真空ポンプに組み合わされて使用される。前述した真空容積式ポンプの特質は、この真空容積式ポンプによって達成可能な最終圧、すなわち、前真空圧がかなり回転数に関連していることである。この場合、この回転数は、最適な吸込み能を実現するために、入口圧が高い場合には高くなければならず、入口圧が低い場合には低くなければならない。このことは、入口圧が低い場合に、この入口圧と作業室内の吸込み圧との間の僅かな差に基づき、吸込み室の充填が比較的緩速に行われることによって説明することができる。このことは、入口圧が低い場合に、真空容積式ポンプの好ましくない充填度を結果的に招く。この充填度は入口弁の開放時間の延長、すなわち、回転数の減少によってしか改善することができない。   The vacuum positive displacement pump is, for example, a diaphragm pump, a rotary blade pump, a piston pump or a roots pump, and is often used in combination with a high vacuum pump as a pre-vacuum pump. The characteristic of the vacuum positive displacement pump described above is that the final pressure achievable by this vacuum positive displacement pump, ie the pre-vacuum pressure, is considerably related to the rotational speed. In this case, this rotational speed must be high when the inlet pressure is high and low when the inlet pressure is low in order to achieve an optimum suction capacity. This can be explained by the fact that when the inlet pressure is low, the suction chamber is filled relatively slowly based on a slight difference between the inlet pressure and the suction pressure in the working chamber. This results in an undesirable filling degree of the vacuum positive displacement pump when the inlet pressure is low. This degree of filling can only be improved by extending the opening time of the inlet valve, i.e. reducing the rotational speed.

ドイツ連邦共和国特許第１９８１６２４１号明細書に基づき、真空容積式ポンプが公知である。この公知の真空容積式ポンプは、入口圧値に関連して２種類の回転数、つまり、排気のための高い回転数と、可能な限り低い最終圧を達成するための低い回転数とで運転される。ポンピング開始から最終圧の達成にまで、比較的多くの時間が必要となる。   A vacuum positive displacement pump is known from German Patent No. 19816241. This known vacuum positive displacement pump operates at two speeds relative to the inlet pressure value: a high speed for exhaust and a low speed to achieve the lowest possible final pressure. Is done. A relatively large amount of time is required from the start of pumping to the final pressure.

これに対して、本発明の課題は、最終圧をより迅速に達成することができる方法もしくは真空容積式ポンプを提供することである。   In contrast, an object of the present invention is to provide a method or vacuum positive displacement pump that can achieve the final pressure more quickly.

この課題は、本発明によれば、請求項１、請求項３もしくは請求項１０の特徴によって解決される。   This problem is solved according to the invention by the features of claim 1, claim 3 or claim 10.

真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための請求項１記載の本発明による方法は、圧力・回転数曲線の記憶、入口圧値の検出、曲線に基づく回転数値検出および検出された回転数値での駆動モータの運転の方法ステップを有している。   The method according to the invention for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump comprises the storage of a pressure-rotation curve, the detection of an inlet pressure value, the detection of the rotational value based on the curve and the detected rotational value. The drive motor has a method step of operation.

まず、上側の限界圧ｐ１よりも大きいかまたは上側の限界圧ｐ１に等しい入口圧値ｐに対して、ただ１つのコンスタントな上側の回転数値ｎ１が割り当てられた、上側の限界圧ｐ１よりも小さい入口圧値ｐに対する変化範囲を有する曲線が記憶される。この場合、この変化範囲では、入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎｖが割り当てられている。 First, with respect to equal the inlet pressure value p in the large or the upper limit pressure p 1 than the upper limit pressure p 1, only rotational speed value n 1 of one constant of the upper are assigned, the upper limit pressure p A curve having a change range for an inlet pressure value p smaller than 1 is stored. In this case, in this change range, different rotational numerical values nv are assigned to the inlet pressure values p.

駆動モータの運転時には、常に入口圧値ｐが検出され、この入口圧値ｐから曲線で、割り当てられた回転数ｎが検出され、駆動モータが、この検出された回転数ｎで運転される。上側の限界圧ｐ１を上回る高い入口圧値ｐでは、駆動モータが最大のコンスタントな回転数ｎ１で運転される一方、上側の限界圧ｐ１を下回る回転数に対しては、入口圧値ｐに関連して近似的に無段階に、相応の回転数値ｎｖが割り当てられる。こうして、各入口圧値に対する容積式ポンプの効果的な吸込み能を可能な限り大きなレベルに保つことができる。これによって、排気の開始から最終圧を達成するまでの時間が短縮される。入口圧値への回転数の適合によって、必要となる駆動エネルギが低減され、より低い平均的な回転数レベルによって摩耗が低減される。これによって、保守・運転コストが低減される。すなわち、真空容積式ポンプの経済性が改善される。 During operation of the drive motor, the inlet pressure value p is always detected, and the assigned rotational speed n is detected from the inlet pressure value p by a curve, and the drive motor is operated at the detected rotational speed n. At high inlet pressure values p above the upper limit pressure p 1 , the drive motor is operated at the maximum constant speed n 1 , whereas for speeds below the upper limit pressure p 1 , the inlet pressure value A corresponding rotational value n v is assigned approximately steplessly with respect to p. In this way, the effective suction capacity of the positive displacement pump for each inlet pressure value can be kept as large as possible. This shortens the time from the start of exhaust until the final pressure is achieved. Adapting the rotational speed to the inlet pressure value reduces the required drive energy, and lower average rotational speed levels reduce wear. As a result, maintenance and operation costs are reduced. That is, the economy of the vacuum positive displacement pump is improved.

曲線が、下側の限界圧ｐ２よりも小さいかまたは下側の限界圧ｐ２に等しい入口圧値ｐに対する下側の範囲を有しており、この場合、該下側の範囲にただ１つのコンスタントな下側の回転数値ｎ２が割り当てられており、変化範囲が、下側の限界圧範囲ｐ２よりも大きい入口圧値ｐに制限されていると有利である。すなわち、曲線は、コンスタントな回転数の上側の圧力範囲だけでなく、コンスタントな回転数の下側の圧力範囲も有していて、前述した両範囲の間に、コンスタントでない回転数の変化範囲を有している。このような曲線は、たとえばポンプ作用に対してある程度の最小回転数を要求する前真空ポンプにおいて必要であると共に有利である。なぜならば、最小回転数未満では、特に逆流損失によって、もはやポンプ作用が存在しないからである。このことは、たとえば回転翼型油回転ポンプに当てはまる。これによって、極めて低い入口圧でもポンプ機能がまだ保証されている回転数を上回る回転数で常に真空容積式ポンプが運転されることが確保される。 Curve has a range of lower relative equal inlet pressure values p to the limit pressure p 2 of less than or lower than the limit pressure p 2 in the lower, in this case, only one in the range of the lower side It is advantageous if one constant lower rotational value n 2 is assigned and the range of change is limited to an inlet pressure value p that is greater than the lower critical pressure range p 2 . In other words, the curve has not only the pressure range above the constant rotational speed but also the pressure range below the constant rotational speed. Have. Such a curve is necessary and advantageous, for example, in pre-vacuum pumps that require some minimum speed for pumping. This is because below the minimum speed, there is no longer any pumping action, especially due to backflow losses. This applies, for example, to a rotary vane oil rotary pump. This ensures that the vacuum positive displacement pump is always operated at a rotational speed that exceeds the rotational speed at which the pump function is still guaranteed even at very low inlet pressures.

本発明による方法請求項３によれば、曲線が、方法請求項１と異なり、上側の範囲の代わりに、下側の限界圧ｐ２よりも小さいかまたは下側の限界圧ｐ２に等しい入口圧値ｐに対する下側の範囲を有している。この場合、この下側の範囲には、ただ１つのコンスタントな下側の回転数ｎ２が割り当てられている。 According to the method claim 3 according to the invention, the curve differs from the method claim 1 in that, instead of the upper range, the inlet is smaller than or equal to the lower limit pressure p 2 instead of the lower limit pressure p 2. It has a lower range with respect to the pressure value p. In this case, only one constant lower rotation speed n 2 is assigned to this lower range.

変化範囲で、低下する入口圧値ｐに、低下する回転数ｎｖが割り当てられている、すなわち、低い入口圧値ｐに、低い回転数値ｎｖが割り当てられていると有利である。 In variation range, the inlet pressure value p to be reduced, the rotational speed n v decrease is assigned, i.e., a lower inlet pressure value p, it is advantageous if the lower rotational speed value n v is assigned.

上側の限界値ｐ１が、２０ｍｂａｒ〜１ｍｂａｒの間にあり、下側の限界値ｐ２が、１．０ｍｂａｒ〜０．００５ｍｂａｒの間にあると有利である。この場合、上側の限界圧ｐ１は下側の限界圧ｐ２よりも大きい。 Advantageously, the upper limit value p 1 is between 20 mbar and 1 mbar and the lower limit value p 2 is between 1.0 mbar and 0.005 mbar. In this case, the upper limit pressure p 1 is larger than the lower limit pressure p 2 .

有利な実施態様によれば、上側のコンスタントな回転数値ｎ１が、２２００〜１０００ｒｐｍの間にあり、下側のコンスタントな回転数値ｎ２が、３００〜１３００ｒｐｍの間にある。この場合、上側のコンスタントな回転数値ｎ１は下側のコンスタントな回転数値ｎ２よりも大きい。 According to an advantageous embodiment, the upper constant rotational speed value n 1 is between 2200 and 1000 rpm, and the lower constant rotational speed value n 2 is between 300 and 1300 rpm. In this case, the upper constant rotational value n 1 is larger than the lower constant rotational value n 2 .

容積式ポンプが、高真空ポンプに前置された前真空ポンプであり、入口圧値ｐが、高真空ポンプの吸込み側の圧力であると有利である。すなわち、入口圧値ｐは、高真空ポンプによって排気された真空容器内の圧力である。択一的には、入口圧値ｐが、前真空ポンプの入口直前の前真空圧であってもよい。   Advantageously, the positive displacement pump is a pre-vacuum pump placed in front of the high vacuum pump and the inlet pressure value p is the pressure on the suction side of the high vacuum pump. That is, the inlet pressure value p is the pressure in the vacuum vessel evacuated by the high vacuum pump. Alternatively, the inlet pressure value p may be the pre-vacuum pressure just before the inlet of the pre-vacuum pump.

有利な実施態様によれば、入口圧・回転数曲線が、特性マップメモリにファイルされている。この特性マップメモリでは、各入口圧値ｐに、相応の回転数ｎが割り当てられている。   According to an advantageous embodiment, the inlet pressure / rotation speed curve is filed in a characteristic map memory. In this characteristic map memory, a corresponding rotation speed n is assigned to each inlet pressure value p.

駆動モータが、非同期モータであると有利である。この非同期モータは、相応に制御される周波数変換器によって制御される。しかし、駆動モータは、同期モータとして形成されていてもよい。   Advantageously, the drive motor is an asynchronous motor. This asynchronous motor is controlled by a correspondingly controlled frequency converter. However, the drive motor may be formed as a synchronous motor.

本発明による真空容積式ポンプは、駆動モータと、入口圧センサと、駆動モータ制御装置とを有している。この駆動モータ制御装置は、駆動モータの回転数ｎを、入口圧センサによって検出された入口圧値ｐに関連して制御するようになっている。さらに、駆動モータ制御装置はメモリを有している。このメモリには、入口圧センサの入口圧値ｐに対して駆動モータのそれぞれ１つの回転数ｎを示す曲線が記憶されている。この場合、この曲線は、２つの範囲を有している。第１の範囲は、ただ１つのコンスタントな上側の回転数値ｎ１が割り当てられた上側の限界圧ｐ１よりも大きいかまたは上側の限界圧ｐ１に等しい入口圧値ｐに対する上側の範囲である。第２の範囲は、上側の限界圧ｐ１よりも小さい入口圧値ｐに対する変化範囲である。この場合、この変化範囲では、入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎｖが割り当てられている。 The vacuum positive displacement pump according to the present invention includes a drive motor, an inlet pressure sensor, and a drive motor control device. This drive motor control device controls the rotational speed n of the drive motor in relation to the inlet pressure value p detected by the inlet pressure sensor. Furthermore, the drive motor control device has a memory. In this memory, a curve indicating each rotation speed n of the drive motor with respect to the inlet pressure value p of the inlet pressure sensor is stored. In this case, the curve has two ranges. The first range is in the upper range for equal inlet pressure value p in the large or the upper limit pressure p 1 than the upper limit pressure p 1 that only one constant of the upper rotational speed value n 1 is assigned . The second range is the variation range for the smaller inlet pressure value p than the upper limit pressure p 1. In this case, in this change range, different rotational numerical values nv are assigned to the inlet pressure values p.

駆動モータ制御装置が、プロセッサを有しており、該プロセッサに入口圧センサが接続されており、プロセッサが、入口圧センサの信号を評価するようになっていると有利である。評価された入口圧センサ信号は、真空容積式ポンプに対応配置された圧力表示器に供給され得る。すなわち、入口圧センサ信号は駆動モータ制御装置によって、駆動モータの制御に関して評価されるだけでなく、表示フォーマットにも変換され、最終的に、真空ポンプに対応配置された表示器に供給される。これによって、入口圧の表示のための別個の評価・表示装置が不要となる。   Advantageously, the drive motor controller has a processor, an inlet pressure sensor connected to the processor, and the processor is adapted to evaluate the signal of the inlet pressure sensor. The estimated inlet pressure sensor signal can be supplied to a pressure indicator located corresponding to the vacuum positive displacement pump. That is, the inlet pressure sensor signal is not only evaluated by the drive motor control device with respect to the control of the drive motor, but also converted into a display format, and finally supplied to a display device arranged corresponding to the vacuum pump. This eliminates the need for a separate evaluation / display device for displaying the inlet pressure.

以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。   In the following, embodiments of the invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１には、概略的にポンプアッセンブリ１０が示してある。このポンプアッセンブリ１０は、高真空を真空容器１２内に発生させるために働く。高真空を真空容器１２内に発生させるためには、２つのポンプ、つまり、高真空ポンプ１４、たとえばターボ分子ポンプと、前真空ポンプとしての真空容積式ポンプ１６、たとえばダイヤフラムポンプ、ピストンポンプまたは回転翼型ポンプとが直列に接続されている。   FIG. 1 schematically shows a pump assembly 10. The pump assembly 10 serves to generate a high vacuum in the vacuum vessel 12. In order to generate a high vacuum in the vacuum vessel 12, two pumps are used: a high vacuum pump 14, such as a turbomolecular pump, and a vacuum positive displacement pump 16 as a pre-vacuum pump, such as a diaphragm pump, piston pump or rotation. A wing pump is connected in series.

真空容積式ポンプ１６は、主として、ポンプ室に設けられた押退け体を備えたポンプ装置１８と、このポンプ装置１８を駆動するための駆動モータ２０と、この駆動モータ２０を制御しかつ駆動モータ２０にエネルギ供給するための駆動モータ制御装置２２とを有している。駆動モータ２０は同期モータとして形成されている。   The vacuum positive displacement pump 16 mainly includes a pump device 18 provided with a displacement member provided in a pump chamber, a drive motor 20 for driving the pump device 18, and a drive motor for controlling the drive motor 20. And a drive motor control device 22 for supplying energy to 20. The drive motor 20 is formed as a synchronous motor.

さらに、ポンプアッセンブリ１０は２つの入口圧センサ２４，２６を有している。この場合、一方の入口圧センサ２４は前真空圧を真空容積式ポンプ１６の入口で直接検出し、他方の入口圧センサ２６は真空容器１２内の高真空圧を検出する。両入口圧センサ２４，２６は駆動モータ制御装置２２のプロセッサ２８に接続されている。このプロセッサ２８には、入口圧センサ２４，２６が連続的に入口圧値ｐを供給する。さらに、駆動モータ制御装置２２は周波数変換器３０を有している。この周波数変換器３０はプロセッサ２８によって制御され、駆動モータ２０に接続されている。真空容積式ポンプ１６に対応配置された入口圧センサ２４は真空容積式ポンプ１６に組み込まれていてもよい。   In addition, the pump assembly 10 has two inlet pressure sensors 24, 26. In this case, one inlet pressure sensor 24 directly detects the pre-vacuum pressure at the inlet of the vacuum positive displacement pump 16, and the other inlet pressure sensor 26 detects the high vacuum pressure in the vacuum vessel 12. Both inlet pressure sensors 24 and 26 are connected to the processor 28 of the drive motor controller 22. The processor 28 is supplied with inlet pressure values p continuously by inlet pressure sensors 24 and 26. Further, the drive motor control device 22 has a frequency converter 30. The frequency converter 30 is controlled by the processor 28 and is connected to the drive motor 20. The inlet pressure sensor 24 arranged corresponding to the vacuum positive displacement pump 16 may be incorporated in the vacuum positive displacement pump 16.

プロセッサ２８は特性マップメモリを有している。この特性マップメモリには、入口圧値ｐに駆動モータ２０のそれぞれ１つの回転数ｎが割り当てられた曲線３２がファイルされている。   The processor 28 has a characteristic map memory. In this characteristic map memory, a curve 32 in which one rotational speed n of each drive motor 20 is assigned to the inlet pressure value p is filed.

この曲線３２は上側の範囲３４を有している。この上側の範囲３４は１０１３ｍｂａｒの大気圧から最大１０ｍｂａｒの上側の限界圧ｐ１まで延びている。曲線３２の上側の範囲３４には、ただ１つのコンスタントな上側の回転数値ｎ１が割り当てられている。上側の限界圧ｐ１と、約０．０１ｍｂａｒである下側の限界圧ｐ２との間には、曲線３２が変化範囲３６を有している。この変化範囲３６では、入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎｖが割り当てられている。曲線３２の変化範囲３６では、低下する入口圧値ｐに、低下する回転数ｎｖが割り当てられている。各入口圧値ｐには、変化範囲３６で、異なる回転数値ｎｖが割り当てられている。さらに、曲線３２は、下側の限界圧ｐ２よりも小さいかまたは下側の限界圧ｐ２に等しい入口圧値ｐに対する下側の範囲３８を有している。曲線３２のこの下側の範囲３８では、全ての入口圧値ｐにただ１つの回転数値ｎ２が割り当てられている。 This curve 32 has an upper range 34. This upper range 34 extends from an atmospheric pressure of 1013 mbar to an upper limit pressure p 1 of up to 10 mbar. The upper range 34 of the curve 32 is assigned only one constant upper rotational value n 1 . The curve 32 has a change range 36 between the upper limit pressure p 1 and the lower limit pressure p 2 which is about 0.01 mbar. In the variation range 36, the rotational speed value n v respectively different to the inlet pressure value p is assigned. In the change range 36 of the curve 32, the decreasing rotation speed nv is assigned to the decreasing inlet pressure value p. Each inlet pressure value p is assigned a different rotational numerical value n v within a change range 36. Curve 32 has a lower range 38 for the same inlet pressure values p to the limit pressure p 2 of less than or lower than the limit pressure p 2 in the lower. In the range 38 of the lower curve 32, only one speed value n 2 is assigned to all the inlet pressure values p.

ピストンポンプとして形成されたポンプ装置１８では、上側の回転数値ｎ１が、たとえば約１８００ｒｐｍであり、下側の回転数値ｎ２が５００ｒｐｍである。回転翼型油回転ポンプとしてのポンプ装置１８の構成では、上側の回転数値ｎ１が、たとえば２１００ｒｐｍであり、下側の回転数値ｎ２が１０００ｒｐｍである。 In the pump device 18 is formed as a piston pump, the upper rotational speed value n 1 is, for example, about 1800 rpm, rotational speed value n 2 of the lower side is 500 rpm. In the configuration of the pump device 18 as a rotary blade type oil rotary pump, the upper rotation value n 1 is 2100 rpm, for example, and the lower rotation value n 2 is 1000 rpm.

入口圧値ｐとして高真空圧が使用される。この高真空圧は、真空容器１２にかつ高真空ポンプ１４の吸込み側に配置された入口圧センサ２６によって供給される。しかし、択一的には、入口圧センサ２４の前真空圧が入口圧値ｐの検出のために使用されてもよい。   A high vacuum pressure is used as the inlet pressure value p. This high vacuum pressure is supplied to the vacuum vessel 12 by an inlet pressure sensor 26 disposed on the suction side of the high vacuum pump 14. However, alternatively, the pre-vacuum pressure of the inlet pressure sensor 24 may be used for detecting the inlet pressure value p.

曲線３２の経過と、限界圧ｐ１，ｐ２と、上側のかつ下側の回転数値ｎ１，ｎ２とが、各入口圧値ｐに対して、容積式ポンプ１６の最大の効果的な吸込み能が達成される駆動モータ２０の回転数を検出するために、一連の実験によって検出される。次いで、検出された曲線がプロセッサ２８の特性マップメモリに記憶される。ポンプアッセンブリ１０の運転時には、駆動モータ制御装置２２によって駆動モータ２０の回転数ｎが高真空入口圧値ｐに関連して、特性マップメモリにファイルされた曲線３２から検出される。検出された回転数値ｎは周波数変換器３０に送出される。この周波数変換器３０は相応の回転磁界を、非同期モータまたは同期モータとして形成された駆動モータ２０のステータコイルに発生させ、検出された回転数で運転される。こうして、容積式ポンプ１６を常に最大の効果的な吸込み能で運転することができる。 The course of the curve 32, the limit pressures p 1 , p 2 and the upper and lower rotational values n 1 , n 2 are the most effective of the positive displacement pump 16 for each inlet pressure value p. In order to detect the rotation speed of the drive motor 20 at which the suction ability is achieved, it is detected by a series of experiments. The detected curve is then stored in the characteristic map memory of the processor 28. During operation of the pump assembly 10, the drive motor control device 22 detects the rotational speed n of the drive motor 20 from the curve 32 filed in the characteristic map memory in relation to the high vacuum inlet pressure value p. The detected rotational numerical value n is sent to the frequency converter 30. The frequency converter 30 generates a corresponding rotating magnetic field in the stator coil of the drive motor 20 formed as an asynchronous motor or a synchronous motor, and is operated at the detected rotational speed. Thus, the positive displacement pump 16 can always be operated with the maximum effective suction capacity.

さらに、駆動モータ制御装置２２のプロセッサ２８は、入口圧センサ２４の信号の評価および表示フォーマットへの入口圧センサ２４の信号の変換を引き受ける。表示フォーマットに変換された入口圧は表示装置に供給される。この表示装置は真空容積式ポンプ１６、たとえば駆動モータ制御装置２２のハウジングに配置されている。表示装置は、回転数の表示のために使用されてもよい。   In addition, the processor 28 of the drive motor controller 22 takes care of evaluating the signal of the inlet pressure sensor 24 and converting the signal of the inlet pressure sensor 24 into a display format. The inlet pressure converted into the display format is supplied to the display device. This display device is disposed in the housing of the vacuum positive displacement pump 16, for example, the drive motor control device 22. The display device may be used for displaying the rotation speed.

前真空ポンプとしての本発明による真空容積式ポンプと、高真空ポンプとを備えたポンプアッセンブリの概略図である。1 is a schematic view of a pump assembly including a vacuum positive displacement pump according to the present invention as a pre-vacuum pump and a high vacuum pump. FIG. 真空容積式ポンプの駆動モータの回転数を制御する入口圧／回転数曲線を示す図である。It is a figure which shows the inlet pressure / rotation speed curve which controls the rotation speed of the drive motor of a vacuum positive displacement pump.

符号の説明Explanation of symbols

１０ ポンプアッセンブリ、 １２ 真空容器、 １４ 高真空ポンプ、 １６ 真空容積式ポンプ、 １８ ポンプ装置、 ２０ 駆動モータ、 ２２ 駆動モータ制御装置、 ２４ 入口圧センサ、 ２６ 入口圧センサ、 ２８ プロセッサ、 ３０ 周波数変換器、 ３２ 曲線、 ３４ 上側の範囲、 ３６ 変化範囲、 ３８ 下側の範囲、 ｎ，ｎ１，ｎ２，ｎｖ 回転数値、 ｐ 入口圧値、 ｐ１，ｐ２ 限界圧 10 pump assembly, 12 vacuum vessel, 14 high vacuum pump, 16 vacuum positive displacement pump, 18 pump device, 20 drive motor, 22 drive motor controller, 24 inlet pressure sensor, 26 inlet pressure sensor, 28 processor, 30 frequency converter , 32 curve, 34 upper range, 36 change range, 38 lower range, n, n 1 , n 2 , nv rotation value, p inlet pressure value, p 1 , p 2 limit pressure

Claims (11)

真空容積式ポンプ（１６）の駆動モータ（２０）を制御するための方法において、当該方法が、以下のステップ：すなわち、
入口圧値ｐに対して駆動モータ（２０）のそれぞれ１つの回転数ｎを示す曲線（３２）を記憶し、この場合、該曲線（３２）が、：
−ただ１つのコンスタントな上側の回転数値ｎ１が割り当てられた上側の限界圧ｐ１よりも大きいかまたは上側の限界圧ｐ１に等しい入口圧値ｐに対する上側の範囲（３４）を有しており、
−上側の限界圧ｐ１よりも小さい入口圧値ｐに対する変化範囲（３６）を有しており、この場合、該変化範囲で入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎｖが割り当てられており、
入口圧値ｐを検出し、
該入口圧値ｐに曲線（３２）で割り当てられた回転数ｎを検出し、
駆動モータ（２０）を、検出された回転数ｎで運転する
を備えていることを特徴とする、真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための方法。In a method for controlling a drive motor (20) of a vacuum positive displacement pump (16), the method comprises the following steps:
A curve (32) is stored for each of the drive motors (20) with respect to the inlet pressure value p, indicating a rotation speed n, in which case the curve (32) is:
- Just a single constant of the upper rotational speed value or n 1 is greater than the limit pressure p 1 of the upper assigned or upper upper range for equal inlet pressure value p in the limit pressure p 1 (34) And
A change range (36) with respect to the inlet pressure value p smaller than the upper limit pressure p 1 , in which case a different rotational value n v is assigned to the inlet pressure value p in the change range;
The inlet pressure value p is detected,
A rotational speed n assigned to the inlet pressure value p by the curve (32) is detected;
A method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump, characterized in that it comprises operating the drive motor (20) at a detected rotational speed n. 曲線（３２）が、下側の限界圧ｐ２よりも小さいかまたは下側の限界圧ｐ２に等しい入口圧値ｐに対する下側の範囲（３８）を有しており、該下側の範囲（３８）にただ１つのコンスタントな下側の回転数値ｎ２が割り当てられており、変化範囲（３６）が、下側の限界圧ｐ２よりも大きい入口圧値ｐに制限されている、請求項１記載の方法。Curve (32) has a lower range (38) with respect to equal the inlet pressure value p in the limit pressure p 2 of less than or lower than the limit pressure p 2 in the lower range of the lower side (38) is assigned only one constant lower rotational value n 2 and the variation range (36) is limited to an inlet pressure value p greater than the lower limit pressure p 2. Item 2. The method according to Item 1. 真空容積式ポンプ（１６）の駆動モータ（２０）を制御するための方法において、当該方法が、以下のステップ：すなわち、
入口圧値ｐに対して駆動モータ（２０）のそれぞれ１つの回転数ｎを示す曲線（３２）を記憶し、この場合、該曲線（３２）が、：
−ただ１つのコンスタントな下側の回転数ｎ２が割り当てられた下側の限界圧ｐ２よりも小さいかまたは下側の限界圧ｐ２に等しい入口圧値ｐに対する下側の範囲（３８）を有しており、
−下側の限界圧ｐ２よりも大きい入口圧値ｐに対する変化範囲（３６）を有しており、この場合、該変化範囲（３６）で入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎｖが割り当てられており、
入口圧値ｐを検出し、
該入口圧値ｐに曲線（３２）で割り当てられた回転数ｎを検出し、
駆動モータ（２０）を、検出された回転数ｎで運転する
を備えていることを特徴とする、真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための方法。In a method for controlling a drive motor (20) of a vacuum positive displacement pump (16), the method comprises the following steps:
A curve (32) is stored for each of the drive motors (20) with respect to the inlet pressure value p, indicating a rotation speed n, in which case the curve (32) is:
- only one constant of the lower range of the lower side with respect to equal the inlet pressure value p in the limit pressure p 2 of the rotational speed n 2 is assigned the lower smaller or lower than the limit pressure p 2 in (38) Have
- it has a change to high inlet pressure value p than the limit pressure p 2 in the lower range (36), in this case, different rotational speed value, respectively to the inlet pressure value p in said alteration range (36) n v is assigned And
The inlet pressure value p is detected,
A rotational speed n assigned to the inlet pressure value p by the curve (32) is detected;
A method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump, characterized in that it comprises operating the drive motor (20) at a detected rotational speed n. 変化範囲（３６）で、低下する入口圧値ｐに、低下する回転数ｎｖが割り当てられている、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。4. The method according to claim 1, wherein a decreasing rotational speed nv is assigned to the decreasing inlet pressure value p in the change range (36). 5. 上側の限界値ｐ１が、２０ｍｂａｒ〜１ｍｂａｒの間にあり、下側の限界値ｐ２が、１．０ｍｂａｒ〜０．００５ｍｂａｒの間にある、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。The upper limit value p 1 is between 20 mbar and 1 mbar and the lower limit value p 2 is between 1.0 mbar and 0.005 mbar. Method. 上側のコンスタントな回転数値ｎ１が、２２００〜１０００ｒｐｍの間にあり、下側のコンスタントな回転数値ｎ２が、３００〜１３００ｒｐｍの間にある、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。The upper constant rotational value n 1 is between 2200 and 1000 rpm, and the lower constant rotational value n 2 is between 300 and 1300 rpm. Method. 真空容積式ポンプ（１６）が、高真空ポンプ（１４）に前置された前真空ポンプであり、入口圧値ｐが、高真空ポンプ（１４）の吸込み側の圧力である、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。  The vacuum positive displacement pump (16) is a pre-vacuum pump placed in front of the high vacuum pump (14), and the inlet pressure value p is the pressure on the suction side of the high vacuum pump (14). The method according to any one of 6 to 6. 曲線（３２）が、特性マップメモリにファイルされている、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。  8. The method according to claim 1, wherein the curve (32) is filed in a characteristic map memory. 駆動モータ（２０）が、非同期モータである、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。  9. A method according to any one of claims 1 to 8, wherein the drive motor (20) is an asynchronous motor. 真空容積式ポンプ（１６）において、駆動モータ（２０）と、入口圧センサ（２４）と、駆動モータ制御装置（２２）とが設けられており、該駆動モータ制御装置（２２）が、駆動モータ（２０）の回転数ｎを、入口圧センサ（２４）によって検出された入口圧値ｐに関連して制御するようになっており、
駆動モータ制御装置（２２）が、メモリを有しており、該メモリに、入口圧センサ（２４）の入口圧値ｐに対して駆動モータ（２０）のそれぞれ１つの回転数ｎを示す曲線（３２）が記憶されており、該曲線（３２）が、：
ただ１つのコンスタントな上側の回転数値ｎ１が割り当てられた上側の限界圧ｐ１よりも大きいかまたは上側の限界圧ｐ１に等しい入口圧値ｐに対する上側の範囲（３４）を有しており、
上側の限界圧ｐ１よりも小さい入口圧値ｐに対する変化範囲（３６）を有しており、該変化範囲（３６）で入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎｖが割り当てられている
ことを特徴とする、真空容積式ポンプ。The vacuum positive displacement pump (16) is provided with a drive motor (20), an inlet pressure sensor (24), and a drive motor control device (22), and the drive motor control device (22) is provided with the drive motor. The rotational speed n of (20) is controlled in relation to the inlet pressure value p detected by the inlet pressure sensor (24),
The drive motor control device (22) has a memory, in which a curve (1) indicating the number of rotations n of the drive motor (20) with respect to the inlet pressure value p of the inlet pressure sensor (24). 32) is stored and the curve (32) is:
It has an upper range (34) with respect to equal the inlet pressure value p to only one larger or upper limit pressure p 1 than the limit pressure p 1 of the constant of the upper rotation numeric n 1 of the upper are assigned ,
Have changes to the small entrance pressure value p than the upper limit pressure p 1 ranges (36), that the rotational speed values n v respectively different to the inlet pressure value p is allocated by said alteration range (36) A vacuum positive displacement pump. 駆動モータ制御装置（２２）が、プロセッサ（２８）を有しており、該プロセッサ（２８）に入口圧センサ（２４）が接続されており、プロセッサ（２８）が、入口圧センサ（２４）の信号を評価するようになっている、請求項１０記載の真空容積式ポンプ。  The drive motor controller (22) has a processor (28), and an inlet pressure sensor (24) is connected to the processor (28), and the processor (28) is connected to the inlet pressure sensor (24). 11. The vacuum positive displacement pump according to claim 10, wherein the signal is evaluated.
JP2006540230A 2003-11-20 2004-11-05 Method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump Expired - Fee Related JP4553262B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10354205A DE10354205A1 (en) 2003-11-20 2003-11-20 Method for controlling a drive motor of a vacuum displacement pump
PCT/EP2004/012529 WO2005050021A1 (en) 2003-11-20 2004-11-05 Method for controlling the drive motor of a positive-displacement vacuum pump

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007511703A JP2007511703A (en) 2007-05-10
JP4553262B2 true JP4553262B2 (en) 2010-09-29

Family

ID=34609147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006540230A Expired - Fee Related JP4553262B2 (en) 2003-11-20 2004-11-05 Method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20070071610A1 (en)
EP (1) EP1697639B1 (en)
JP (1) JP4553262B2 (en)
KR (1) KR20060097741A (en)
CN (1) CN100460676C (en)
CA (1) CA2546063A1 (en)
DE (2) DE10354205A1 (en)
WO (1) WO2005050021A1 (en)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4737770B2 (en) * 2006-09-12 2011-08-03 アネスト岩田株式会社 Vacuum pump operation control device and method
DE102006050943B4 (en) * 2006-10-28 2020-04-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump and method for operating the same
ATE552423T1 (en) 2010-02-12 2012-04-15 Allweiler Ag OPERATIONAL CONTROL DEVICE FOR A DISPLACEMENT PUMP, PUMP SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING SAME
DE102011086572B4 (en) 2010-11-17 2019-08-14 KSB SE & Co. KGaA Method and control device for variable-speed control of a positive displacement pump assembly and positive displacement pump assembly
DE102011050017A1 (en) 2011-04-29 2012-10-31 Allweiler Gmbh Control means for driving a frequency converter and driving method
CN102278310A (en) * 2011-07-14 2011-12-14 温州市欧弗斯机械有限公司 Intelligently-regulated vacuum system
DE102014214952A1 (en) * 2014-07-30 2016-02-04 Ksb Aktiengesellschaft Method for motor control of a synchronous reluctance motor for a pump and pump with synchronous reluctance motor
EP3067560B1 (en) * 2015-03-12 2020-11-18 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump with at least one pump stage
DE102017203474A1 (en) * 2017-03-03 2018-09-06 KSB SE & Co. KGaA Method for controlling a variable-speed circulating pump and circulating pump
EP3438460B1 (en) * 2017-08-04 2024-03-20 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump
JP7019513B2 (en) * 2018-06-05 2022-02-15 株式会社荏原製作所 Control devices, control systems, control methods, programs and machine learning devices
GB2592573A (en) * 2019-12-19 2021-09-08 Leybold France S A S Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method.
DE102020128369A1 (en) * 2020-10-28 2022-04-28 Leybold Gmbh Process for operating a scroll pump and scroll pump
GB2603892A (en) * 2021-02-03 2022-08-24 Edwards Ltd Pump apparatus and system
DE102022100843A1 (en) 2022-01-14 2023-07-20 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Method, control device, storage medium and vacuum arrangement
CN116641881B (en) * 2023-04-25 2024-01-23 北京通嘉宏瑞科技有限公司 Vacuum pump control method, device, computer equipment and storage medium

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3788076A (en) * 1972-03-20 1974-01-29 Parker Hannifin Corp Hydraulic system with series wound pump drive motor
US4091617A (en) * 1977-05-11 1978-05-30 Eaton Corporation Hydraulic controller
US4174724A (en) * 1977-07-11 1979-11-20 Borg-Warner Corporation Flow valve
US4728869A (en) * 1985-12-18 1988-03-01 Anicon, Inc. Pulsewidth modulated pressure control system for chemical vapor deposition apparatus
DE3828608A1 (en) * 1988-08-23 1990-03-08 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh Vacuum-pump device
CN2118836U (en) * 1992-05-12 1992-10-14 沈太福 Adjustable vacuum pump
US5624394A (en) * 1994-10-28 1997-04-29 Iolab Corporation Vacuum system and a method of operating a vacuum system
JPH0968169A (en) * 1995-08-31 1997-03-11 Hitachi Constr Mach Co Ltd Hydraulic transmission for construction machine
IT1288737B1 (en) * 1996-10-08 1998-09-24 Varian Spa VACUUM PUMPING DEVICE.
US5947692A (en) * 1997-10-30 1999-09-07 Baxter International Inc. Peristaltic pump controller with scale factor that varies as a step function of pump inlet pressure
DE19816241C1 (en) * 1998-04-11 1999-10-28 Vacuubrand Gmbh & Co Suction pressure regulation method for membrane or piston pump
US6425883B1 (en) * 1998-05-08 2002-07-30 Circuit Tree Medical, Inc. Method and apparatus for controlling vacuum as a function of ultrasonic power in an ophthalmic phaco aspirator
US6045331A (en) * 1998-08-10 2000-04-04 Gehm; William Fluid pump speed controller
US6464464B2 (en) * 1999-03-24 2002-10-15 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Apparatus and method for controlling a pump system
EP1043645B1 (en) * 1999-04-07 2004-10-20 Alcatel Pressure control system for a vacuum chamber, vacuum pumping unit provided with such a system
JP2001207984A (en) * 1999-11-17 2001-08-03 Teijin Seiki Co Ltd Evacuation device
US6537033B2 (en) * 2000-04-11 2003-03-25 Western Dairies Incorporation Open loop control apparatus for vacuum controlled systems
DE10196072T1 (en) * 2000-04-14 2003-07-03 Actuant Corp Variable speed hydraulic pump
DE10023523C1 (en) * 2000-05-13 2001-12-13 Vacuubrand Gmbh & Co Kg Run-up control for membrane and/or piston vacuum pump uses short-term reversal of pump when initial maximum torque in forwards rotation direction is not overcome
JP4109405B2 (en) * 2000-05-19 2008-07-02 日立建機株式会社 Engine control device for construction machinery
DE10043783A1 (en) * 2000-09-06 2002-03-14 Leybold Vakuum Gmbh Method and device for regulating the vacuum in a chamber
US6539714B1 (en) * 2002-03-19 2003-04-01 Cummins, Inc. System for estimating turbocharger rotational speed
DE10222130B4 (en) * 2002-05-17 2007-06-06 Knf Neuberger Gmbh Method for generating a vacuum

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060097741A (en) 2006-09-14
CA2546063A1 (en) 2005-06-02
CN100460676C (en) 2009-02-11
DE502004009187D1 (en) 2009-04-30
EP1697639B1 (en) 2009-03-18
JP2007511703A (en) 2007-05-10
US20070071610A1 (en) 2007-03-29
WO2005050021A1 (en) 2005-06-02
CN1882782A (en) 2006-12-20
DE10354205A1 (en) 2005-06-23
EP1697639A1 (en) 2006-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4553262B2 (en) Method for controlling the drive motor of a vacuum positive displacement pump
US6056510A (en) Multistage vacuum pump unit
JP5189842B2 (en) How the pump system works
TWI224175B (en) Pump unit
CN101166902B (en) Pumping system and method of operation
JP5424550B2 (en) Vacuum pump and operating method thereof
JP5657846B1 (en) Liquid ring vacuum pump to regulate cavitation
JP5684894B2 (en) Vacuum pump, evacuation device and operation method of vacuum pump
KR100632689B1 (en) Apparatus and method for controlling torque of motor
EP1477679A2 (en) Method of controlling a plurality of compressors
US9017040B2 (en) Roughing pump method for a positive displacement pump
JPH03107599A (en) Control system of axial-flow pump device
CN114396399A (en) Control method and control system for slewing mechanism and engineering equipment
EP3199813B1 (en) Load/unload control method for compressor system
JP6947413B2 (en) Exhaust system and exhaust system control method
US20230296096A1 (en) Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method
JP6954642B2 (en) Exhaust system and exhaust system control method
KR910000097B1 (en) Motor-driven compressor provided with torque control device
SU688708A1 (en) Method of regulating displacement of turbo-molecular vacuum pump
JP2009007975A (en) Inverter drive control method for hydraulic pump
KR100621877B1 (en) Control device of a rotary compressor and method thereof
JP4189180B2 (en) Electronic governor engine output monitoring device for hydraulic working machines
JPH08266937A (en) Centrifugal separator
JPH04159487A (en) Suction structure for screw vacuum pump

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070919

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100610

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100708

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees