JP4552424B2 - Manufacturing method of full-color organic EL display panel - Google Patents

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Description

本発明は、カラー有機EL(エレクトロルミネッセンス)ディスプレイパネルに関するものであり、特に、カラーフィルタに起因する障害のない、優れた発光寿命を有するフルカラー有機ELディスプレイパネル及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a color organic EL (electroluminescence) display panel, and more particularly to a full-color organic EL display panel having an excellent light emission lifetime free from obstacles caused by color filters and a method for manufacturing the same.

自己発光機能を有するEL(エレクトロルミネッセンス)素子は、視認性が高く、発光装置の構造を薄くでき、且つ、フレキシブル基板に対応できる特徴を有しており、現在、無機、有機化合物を発光層に用いた様々なEL素子を利用したディスプレイが提案されている。提案の一例として、フルカラー有機ELディスプレイを挙げることができる。   An EL (electroluminescence) element having a self-luminous function has high visibility, can reduce the structure of a light-emitting device, and can be used for a flexible substrate. At present, inorganic and organic compounds are used as a light-emitting layer. A display using various EL elements used has been proposed. An example of the proposal is a full-color organic EL display.

このフルカラー有機ELディスプレイのカラー化技法の一つとして、白色発光のEL素子を光源とし、三原色(赤色、緑色、青色)のカラーフィルタを設置したパネル構造が提案されている。   As one of the colorization techniques for this full-color organic EL display, a panel structure is proposed in which a white light-emitting EL element is used as a light source and three primary color (red, green, and blue) color filters are installed.

例えば、特開昭64−40888号公報には、図1に示すように、支持基板(1)上に第1電極(2)と透明第2電極(4)とによって挟まれた有機材料層(3)を設け、前記透明第2電極(4)を介して取り出されたEL光を、前記透明第2電極(4)と対向して支持基板(8)上に設けられたカラーフィルタ(7)を介して前記支持基板(8)外に取り出すことを特徴とするカラーELディスプレイが開示されている。   For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-40888, as shown in FIG. 1, an organic material layer (a material layer sandwiched between a first electrode (2) and a transparent second electrode (4) on a support substrate (1) ( 3), and a color filter (7) provided on the support substrate (8) with the EL light extracted through the transparent second electrode (4) facing the transparent second electrode (4) A color EL display is disclosed in which it is taken out of the support substrate (8) through the substrate.

しかし、上記カラーELディスプレイでは、EL素子とカラーフィルタが対向するため、カラーフィルタから水蒸気、酸素または有機物のモノマー、低分子成分等のガスが発生して、EL素子の発光寿命を低下させる一因となっていた。   However, in the color EL display, since the EL element and the color filter face each other, gas such as water vapor, oxygen or an organic monomer, a low molecular component, etc. is generated from the color filter, which is a cause of reducing the light emission lifetime of the EL element. It was.

この不具合を是正する手段として、例えば、特開平10−12383号公報には、図2に示すように、上記カラーフィルタ(7)に平坦化層(6)とパシベーション層(5)を形成する方法が提案されている。   As a means for correcting this problem, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 10-12383, as shown in FIG. 2, a method for forming a flattening layer (6) and a passivation layer (5) on the color filter (7) is shown. Has been proposed.

しかしながら、画素状のカラーフィルタ(7)上に平坦化層(6)を形成する際に、平坦化層(6)表面に微小突起ができ、また、工程中の異物が混入すると、これらが原因でEL素子の発光寿命が低下することは避けることができなかった。
特開昭64−40888号公報 特開平10−12383号公報
However, when the flattening layer (6) is formed on the pixel-like color filter (7), microprojections are formed on the surface of the flattening layer (6), and foreign matters in the process are mixed. Thus, it has been unavoidable that the light emission lifetime of the EL element is lowered.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 64-40888 Japanese Patent Laid-Open No. 10-12383

本発明は、上記問題点を鑑み考案されたもので、白色発光のEL素子を光源とし、三原色(赤色、緑色、青色)のカラーフィルタを介して色光を取り出すカラーELディスプレイパネルにおいて、カラーフィルタからの水蒸気などが、また、微小突起がEL素子の発光寿命を低下させることのない、すなわち、優れた発光寿命を有するフルカラー有機ELディスプレイパネル、及びその製造方法を提供することを課題とする。   The present invention has been devised in view of the above problems. In a color EL display panel that uses a white light-emitting EL element as a light source and extracts color light through three color filters (red, green, and blue), It is an object of the present invention to provide a full-color organic EL display panel that does not reduce the light emission lifetime of an EL element, that is, has an excellent light emission lifetime, and a method for manufacturing the same.

また、本発明は、第1電極と高分子発光材料からなる有機材料層と第2電極とから構成される画素状の白色有機EL素子と、その白色有機EL素子に対応した画素状のカラーフィルタとでカラー表示をするフルカラー有機ELディスプレイパネルの製造方法であって、前記カラーフィルタの基材としてCh−LCP(コレステリック液晶ポリマー)が用いられており、前記カラーフィルタの画素は、前記Ch−LCPの螺旋ピッチの調節、固定によって透過光色が設定された画素であり、且つ、複数の異なった透過光色に設定された画素で構成されており、前記白色有機EL素子と前記カラーフィルタとの間に酸化ケイ素又は窒化ケイ素からなるパッシベーション膜が設けられ、前記カラーフィルタ上に前記パッシベーション膜が接するよう形成され、前記パッシベーション膜上に前記白色有機EL素子が接するよう形成されているフルカラー有機ELディスプレイパネルの製造方法において、下記の工程1)〜7)を順に行うことを特徴とするフルカラー有機ELディスプレイパネルの製造方法である。
1)支持基板上にCh−LCP層を所望の膜厚で平坦に形成する工程、
2)Ch−LCP層の透過光色が青色を呈するように、温度によってCh−LCP層の螺旋ピッチを調節し、画素に対応した開口部を有するマスクを介したUV又はEB露光によってCh−LCP層を硬化して螺旋ピッチを固定し、透過光色を青色に設定したカラーフィルタの青色画素を形成する工程、
3)該青色画素が形成されたCh−LCP層の、青色画素以外の部分の透過光色が緑色を呈するように、温度によってCh−LCP層の螺旋ピッチを調節し、青色画素に隣接する画素位置に画素に対応した開口部を有するマスクを介したUV又はEB露光によってCh−LCP層を硬化して螺旋ピッチを固定し、透過光色を緑色に設定したカラーフィルタの緑色画素を形成する工程、
4)該青色画素及び緑色画素が形成されたCh−LCP層の、青色画素及び緑色画素以外の部分の透過光色が赤色を呈するように、温度によってCh−LCP層の螺旋ピッチを調節し、緑色画素に隣接する画素位置に画素に対応した開口部を有するマスクを介したUV又はEB露光によってCh−LCP層を硬化して螺旋ピッチを固定し、透過光色を赤色に設定したカラーフィルタの赤色画素を形成する工程、
5)上記青色画素、緑色画素、及び赤色画素が形成されていないCh−LCP層の部分の螺旋ピッチを固定する工程、
6)該Ch−LCP層上に酸化ケイ素又は窒化ケイ素からなるパッシベーション膜をスパッタリング法又はプラズマCVD法により設ける工程、
7)該パッシベーション膜上に高分子発光材料からなる画素状の白色有機EL素子を形成する工程。
The present invention also provides a pixel-like white organic EL element composed of a first electrode, an organic material layer made of a polymer light emitting material, and a second electrode, and a pixel-like color filter corresponding to the white organic EL element. And manufacturing a full-color organic EL display panel that displays a color, and Ch-LCP (cholesteric liquid crystal polymer) is used as a base material of the color filter, and the pixel of the color filter is the Ch-LCP. A pixel whose transmitted light color is set by adjusting and fixing the spiral pitch of the pixel, and a plurality of pixels set to different transmitted light colors. The white organic EL element and the color filter A passivation film made of silicon oxide or silicon nitride is provided therebetween, so that the passivation film is in contact with the color filter. Made is, the method of manufacturing a full-color organic EL display panel, wherein the white organic EL device on the passivation film is formed so that the contact, full-color organic EL display and performing step 1) to 7) below in order It is a manufacturing method of a panel.
1) A step of flatly forming a Ch-LCP layer with a desired film thickness on a support substrate;
2) As transmitted light color of the Ch-LCP layer exhibits a blue color, by adjusting the helical pitch of the Ch-LCP layer by temperature, the by UV or EB exposure through a mask having an opening corresponding to the pixel Curing the Ch-LCP layer to fix the helical pitch and forming a blue pixel of a color filter in which the transmitted light color is set to blue;
3) of the blue pixel is the Ch-LCP layer formed as transmitted light color in the portion other than the blue pixel exhibits a green to adjust the helical pitch of the Ch-LCP layer with temperature, adjacent to the blue pixel by curing the Ch-LCP layers to secure the helical pitch by UV or EB exposure through a mask having an opening corresponding to the pixel to pixel positions, green pixels of the color filters to set the transmitted light color to green Forming step,
4) of the blue pixel and the Ch-LCP layer green pixels are formed, as transmitted light color in the portion other than the blue pixel and green pixel exhibits red, adjusting the helical pitch of the Ch-LCP layer by temperature and, by curing the Ch-LCP layers to secure the helical pitch by UV or EB exposure through a mask having an opening corresponding to the pixel to pixel position adjacent to the green pixel, and sets the transmitted light color to red Forming a red pixel of the color filter;
5) the blue pixel, green pixel, and red pixel are not formed step of fixing the helical pitch of the portion of the Ch-LCP layer,
6) A step of providing a passivation film made of silicon oxide or silicon nitride on the Ch-LCP layer by a sputtering method or a plasma CVD method ,
7) A step of forming a pixel-like white organic EL element made of a polymer light emitting material on the passivation film.

支持基板上にCh−LCP(コレステリック液晶ポリマー)を使ってカラーフィルタを形成することで、カラーフィルタ表面が平坦になり平坦化層は不要となる。また、カラーフィルタ上にパシベーション膜を設けることで、水分などの影響を防ぐことができる。よって、優れた発光寿命を有するフルカラー有機ELディスプレイパネルとなる。   By forming a color filter using Ch-LCP (cholesteric liquid crystal polymer) on the support substrate, the surface of the color filter becomes flat, and a flattening layer becomes unnecessary. In addition, by providing a passivation film over the color filter, the influence of moisture and the like can be prevented. Therefore, a full color organic EL display panel having an excellent light emission lifetime is obtained.

以下に本発明によるフルカラー有機ELディスプレイパネル、及びその製造方法を、その一実施の形態に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, a full color organic EL display panel according to the present invention and a method for manufacturing the same will be described in detail based on an embodiment thereof.

本発明によるフルカラー有機ELディスプレイパネルにおいては、カラーフィルタの基材としてCh−LCP(コレステリック液晶ポリマー)を用いているので、カラーフィルタの表面は平坦に形成されている。カラーフィルタは特定の透過光色を有する画素の部分と、特定の透過光色を有しない画素間の部分とで構成されているが、両部分ともに同一の厚さである。   In the full color organic EL display panel according to the present invention, since the Ch-LCP (cholesteric liquid crystal polymer) is used as the base material of the color filter, the surface of the color filter is formed flat. The color filter is composed of a pixel portion having a specific transmitted light color and a portion between pixels not having the specific transmitted light color, and both portions have the same thickness.

従って、平坦化層は不要なものとなり微小突起は発生しない。これにより、微小突起に起因するEL素子の発光寿命の低下は防止されたものとなる。   Therefore, the planarization layer becomes unnecessary and no fine protrusion is generated. As a result, a decrease in the light emission lifetime of the EL element due to the minute protrusions is prevented.

また、本発明によるフルカラー有機ELディスプレイパネルは、カラーフィルタの基材としてCh−LCPを用い、Ch−LCPの螺旋構造による選択透過光を色光として利用し、赤色、緑色、青色の色光を有する各画素が白色有機EL素子の各画素電極に対応して設けられている。   In addition, the full color organic EL display panel according to the present invention uses Ch-LCP as the base material of the color filter, uses selectively transmitted light due to the spiral structure of Ch-LCP as color light, and has red, green, and blue color lights. A pixel is provided corresponding to each pixel electrode of the white organic EL element.

図3は、本発明によるフルカラー有機ELディスプレイパネルの一実施例を示す断面図である。図3に示すように、フルカラー有機ELディスプレイパネルは、支持基板(1)上に第1電極(2)、有機材料層(3)、透明第2電極(4)、パッシベーション膜(5)、Ch−LCPを用いて形成されたCh液晶カラーフィルタ1(21’)及びCh液晶カラーフィルタ2(22’)、支持基板(8)が順次に設けられたものである。尚、このフルカラー有機ELディスプレイパネルの支持基板(8)上には光学フィルム(9)も設けられている。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing an embodiment of a full color organic EL display panel according to the present invention. As shown in FIG. 3, the full-color organic EL display panel includes a first electrode (2), an organic material layer (3), a transparent second electrode (4), a passivation film (5), Ch on a support substrate (1). A Ch liquid crystal color filter 1 (21 ′), a Ch liquid crystal color filter 2 (22 ′), and a support substrate (8) formed using -LCP are sequentially provided. An optical film (9) is also provided on the support substrate (8) of the full color organic EL display panel.

カラーフィルタの基材として使用できるCh−LCPに要求される特性は、その層が支持基板上に平坦に、且つ微小突起のない状態で所望の厚みに形成されることである。また、Ch−LCPの螺旋ピッチに温度依存性があり、更に、光照射による光硬化反応を呈することである。   A characteristic required for Ch-LCP that can be used as a base material of a color filter is that the layer is formed on a supporting substrate to have a desired thickness in a state without flat projections. Further, the helical pitch of Ch-LCP has temperature dependence, and further exhibits a photocuring reaction by light irradiation.

Ch−LCPの螺旋形成能を有するコレステリック液晶としては、分子自身にコレステリック螺旋形成能を有するコレステリック液晶、ネマチック液晶もしくはスメクチックC液晶に対して螺旋構造を導入する目的で光学活性な成分を配合したカイラルネマチック液晶もしくはカイラルスメクチック液晶組成物が挙げられる。   The cholesteric liquid crystal having the helix-forming ability of Ch-LCP includes a chiral compound containing an optically active component for the purpose of introducing a helical structure into the cholesteric liquid crystal, nematic liquid crystal or smectic C liquid crystal having the cholesteric helix-forming ability in the molecule itself. A nematic liquid crystal or a chiral smectic liquid crystal composition may be used.

上記Ch−LCPの代表的な例としては、高分子主鎖中に光学活性な基を有する、例えばポリエステル、ポリペプチド、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリエステルイミド、セルロースなど、又は高分子の側鎖に光学活性な基を有する例えばポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリマロネート、ポリシロキサン等が挙げられる。   Representative examples of the Ch-LCP include an optically active group in the polymer main chain, for example, polyester, polypeptide, polyimide, polyamide, polycarbonate, polyesterimide, cellulose, or the like in the polymer side chain. Examples of the optically active group include polyacrylate, polymethacrylate, polymalonate, and polysiloxane.

また、カイラルネマチック液晶の末端基として2−メチルブチル基、2−メチルブトキシ基、4−メチルヘキシル基等のキラル部位を有する基含有ネマチック液晶誘導体、例えば、4−シアノ−4'−(2−メチルブチル)ビフェニル、4−シアノ−4'−(2−メチルブトキシ)ビフェニル、4−シアノ−4'−(4−メチルヘキシル)ターフェニル等が挙げられる。   Further, a group-containing nematic liquid crystal derivative having a chiral moiety such as 2-methylbutyl group, 2-methylbutoxy group, 4-methylhexyl group as a terminal group of chiral nematic liquid crystal, for example, 4-cyano-4 ′-(2-methylbutyl ) Biphenyl, 4-cyano-4 ′-(2-methylbutoxy) biphenyl, 4-cyano-4 ′-(4-methylhexyl) terphenyl, and the like.

更には、カイラルスメクチック液晶で選択反射特性を生じる、4−(4−n−ヘプチルオキシフェニル)安息香酸−2−メチルブチルエステル、4−(4−メチルヘキシルオキシ)安息香酸−4'−n−ヘプチルオキシフェニルエステル等も挙げられる。   Furthermore, 4- (4-n-heptyloxyphenyl) benzoic acid-2-methylbutyl ester, 4- (4-methylhexyloxy) benzoic acid-4'-n-, which produces selective reflection characteristics in a chiral smectic liquid crystal Examples also include heptyloxyphenyl ester.

尚、分子自身にコレステリック螺旋形成能を有するコレステリック液晶の場合は反応性液晶組成物とはその分子自身に、複数成分の液晶混合物の場合は、少なくとも1つの成分
に反応性基として導入し、また、この反応性基が光照射により反応するように開始剤を添加したものである。
In the case of a cholesteric liquid crystal having the ability to form a cholesteric helix in the molecule itself, the reactive liquid crystal composition is introduced into the molecule itself, and in the case of a multi-component liquid crystal mixture, it is introduced as a reactive group into at least one component. The initiator is added so that this reactive group reacts by light irradiation.

上記コレステリック液晶組成物を構成するネマチック液晶としては、4−置換安息香酸−4'−置換フェニルエステル、4−置換シクロヘキサンカルボン酸−4'−置換フェニルエステル、4−置換シクロヘキサンカルボン酸−4'−置換ビフェニルエステル、4−(4−置換シクロヘキサンカルボニルオキシ)安息香酸−4'−置換フェニルエステル、4−(4−置換シクロヘキルシル)安息香酸−4'−置換フェニルエステル、4−(4−置換シクロヘキルシル)安息香酸−4'−置換シクロヘキシルエステル、4−置換−4'−置換ビフェニル、4−置換フェニル−4'置換シクロヘキサン、4−置換−4'−置換ターフェニル、4−置換ビフェニル−4'−置換シクロヘキサン、2−(4−置換フェニル)−5−置換ピリミジン等が挙げられる。   As the nematic liquid crystal constituting the cholesteric liquid crystal composition, 4-substituted benzoic acid-4′-substituted phenyl ester, 4-substituted cyclohexanecarboxylic acid-4′-substituted phenyl ester, 4-substituted cyclohexanecarboxylic acid-4′- Substituted biphenyl ester, 4- (4-substituted cyclohexanecarbonyloxy) benzoic acid-4′-substituted phenyl ester, 4- (4-substituted cyclohexylsyl) benzoic acid-4′-substituted phenyl ester, 4- (4-substituted cyclohexyl) Lucyl) benzoic acid-4′-substituted cyclohexyl ester, 4-substituted-4′-substituted biphenyl, 4-substituted phenyl-4′-substituted cyclohexane, 4-substituted-4′-substituted terphenyl, 4-substituted biphenyl-4 ′ -Substituted cyclohexane, 2- (4-substituted phenyl) -5-substituted pyrimidine and the like.

また、上記コレステリック液晶組成物を構成するスメクチックC液晶としては、4−(4−n−ヘキシルオキシフェニル)安息香酸、4−n−オクチルオキシ安息香酸−4'−n−ヘプチルオキシフェニルエステル、5−n−オクチル−2−(4−n−オクチルオキシフェニル)ピリミジン等が挙げられる。   Examples of smectic C liquid crystals constituting the cholesteric liquid crystal composition include 4- (4-n-hexyloxyphenyl) benzoic acid, 4-n-octyloxybenzoic acid-4′-n-heptyloxyphenyl ester, 5 -N-octyl-2- (4-n-octyloxyphenyl) pyrimidine and the like.

上記コレステリック液晶組成物は、コレステリック液晶組成物の塗液を作り、例えば、スピンレスコート法、インクジェット法、ディップコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、スプレーコート法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビアコート法等のウェットプロセスで成膜することが可能である。また、塗液の塗布性能等の改良材として、レベリング剤や添加剤等を添加していても良い。   The cholesteric liquid crystal composition forms a coating liquid of the cholesteric liquid crystal composition, for example, spinless coating method, ink jet method, dip coating method, doctor blade method, discharge coating method, spray coating method, letterpress printing method, intaglio printing method It is possible to form a film by a wet process such as a screen printing method or a micro gravure coating method. In addition, a leveling agent, an additive, or the like may be added as an improving material such as a coating liquid coating performance.

本発明において、パッシベーション層は、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNy)などのケイ素化合物によって形成することができるが、酸化ケイ素単体、窒化ケイ素単体、あるいは窒化酸化ケイ素の膜や酸化ケイ素単体膜と窒化ケイ素単体膜の多層膜などが挙げられる。   In the present invention, the passivation layer can be formed of a silicon compound such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNy), but silicon oxide alone, silicon nitride alone, silicon nitride oxide film, or silicon oxide simple film And a multilayer film of a single silicon nitride film.

尚、上記パッシベーション層は、有機発光層から発せられた光の80%以上を透過する透過率を有していることが好ましい。   In addition, it is preferable that the said passivation layer has the transmittance | permeability which permeate | transmits 80% or more of the light emitted from the organic light emitting layer.

また、上記パッシベーション層を形成するには、スパッタリング法、プラズマCVD法等を使用できる。   Moreover, in order to form the said passivation layer, sputtering method, plasma CVD method, etc. can be used.

更に、後工程による形成されたパッシベーション層の破壊を保護するために、有機系の透明樹脂あるいは無機系の透明樹脂などによって、パッシベーション層上に、保護膜を形成することもできる。   Further, a protective film can be formed on the passivation layer with an organic transparent resin or an inorganic transparent resin in order to protect the destruction of the passivation layer formed in the subsequent process.

EL発光材料としては、公知の有機EL素子用の発光材料を使用することができる。   As the EL light emitting material, known light emitting materials for organic EL elements can be used.

低分子発光材料としては、例えば、4,4'−ビス(2,2'−ジフェニルビニル)−ビフェニル(DPVBi)などの芳香族ジメチリデェン化合物、5−メチル−2−[2−[4−(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾオキサゾールなどのオキサジアゾール化合物、3−(4−ビフェニルイル)−4−フェニル−5−t−ブチルフェニル−1,2,4−トリアゾール(TAZ)などのトリアゾール誘導体、1,4−ビス(2−メチルスチリル)ベンゼンなどのスチリルベンゼン化合物、チオピラジンジオキシド誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体などの蛍光性有機材料、アゾメチン亜鉛錯体、(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム錯体(Alq3)などの蛍光性有機金属化合
物などを挙げることができる。
Examples of the low-molecular light emitting material include aromatic dimethylidene compounds such as 4,4′-bis (2,2′-diphenylvinyl) -biphenyl (DPVBi), 5-methyl-2- [2- [4- (5 Oxadiazole compounds such as -methyl-2-benzoxazolyl) phenyl] vinyl] benzoxazole, 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-t-butylphenyl-1,2,4-triazole Fluorescence of triazole derivatives such as (TAZ), styrylbenzene compounds such as 1,4-bis (2-methylstyryl) benzene, thiopyrazine dioxide derivatives, benzoquinone derivatives, naphthoquinone derivatives, anthraquinone derivatives, diphenoquinone derivatives, fluorenone derivatives, etc. Organic material, azomethine zinc complex, (8-hydroxyquinolinato) , And the like aluminum complex (Alq3) fluorescent organic metal compound such.

結着用樹脂としては、ポリカーボネート、ポリエステルなどを挙げることができる。溶剤としては、上記発光材料を溶解、または、分散できる溶剤であればよく、例えば、純水、メタノール、エタノール、THF、クロロホルム、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼンなどやこれらの混合溶液を挙げることができる。   Examples of the binding resin include polycarbonate and polyester. The solvent may be any solvent that can dissolve or disperse the light emitting material, and examples thereof include pure water, methanol, ethanol, THF, chloroform, toluene, xylene, trimethylbenzene, and a mixed solution thereof. .

一方、高分子発光材料としては、ポリ[2,5−ビス−[2−(N,N,N−トリエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニル−アルト−1,4−フェニルレン]ジプロマイド(PPP−NEt3+)、ポリ(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)DO−PPP、ポリ[5−メトキシ−(2−プロパノキシサルフォニド)−1,4−フェニレンビニレン](MPS−PPV)、ポリ[2,5−ビス−(へキシルオキシ)−1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)](CN−PPV)、ポリ[2−(2'−エチルへキシルオキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン](MEH−PPV)、(ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン))(PDAF)などを挙げることができ、高分子発光材料の前駆体としては、例えば、PPV前駆体、PNV前駆体、PPP前駆体などを挙げることができる。   On the other hand, as a polymer light-emitting material, poly [2,5-bis- [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy] -1,4-phenyl-alt-1,4-phenyllene] dipromide ( PPP-NEt3 +), poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) DO-PPP, poly [5-methoxy- (2-propanoxysulfonide) -1,4-phenylenevinylene] (MPS-PPV), Poly [2,5-bis- (hexyloxy) -1,4-phenylene- (1-cyanovinylene)] (CN-PPV), poly [2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1, 4-phenylene vinylene] (MEH-PPV), (poly (9,9-dioctylfluorene)) (PDAF), and the like. Examples of the precursor of the polymer light-emitting material include For example, a PPV precursor, a PNV precursor, a PPP precursor, etc. can be mentioned.

有機EL素子を構成する第1電極層と第2電極層の間の有機材料層としては、単層構造でも多層構造でも良く、下記の構成を挙げることができる。
1.有機発光層
2.正孔輸送層/有機発光層
3.有機発光層/電子輸送層
4.正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層
5.正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層
6.正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/ブロッキング層/電子輸送層
正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層などの電荷輸送層は、1層であっても良いし、多層構造であっても良い。ここで電荷輸送材料としては、有機EL素子用や有機光導電体用の公知の電荷輸送材料が使用できる。
As an organic material layer between the 1st electrode layer and 2nd electrode layer which comprises an organic EL element, a single layer structure or a multilayer structure may be sufficient, and the following structures can be mentioned.
1. 1. Organic light emitting layer 2. hole transport layer / organic light emitting layer 3. Organic light emitting layer / electron transport layer 4. hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer 5. Hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer Hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / blocking layer / electron transport layer The charge transport layer such as the hole injection layer, the hole transport layer, and the electron transport layer may be a single layer or a multilayer. It may be a structure. Here, as the charge transport material, known charge transport materials for organic EL elements and organic photoconductors can be used.

電荷輸送層は従来の方法で成膜することが可能であり、電荷輸送材料を直接、真空蒸着法、EB法、MBE法、スパッタリング法等のドライプロセスで成膜することが可能である。或は、電荷輸送層形成用塗液を用いて、スピンコート法、ディップコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、スプレーコート法、インクジェット法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビアコート法等のウェットプロセスで成膜することも可能である。少なくとも電荷輸送材料を含有した溶液であり、1種或は多種類の電荷輸送材料を含有していても良く、さらに結着用の樹脂を含有していても良い。また、レベリング剤、その他添加剤等を添加していても良い。   The charge transport layer can be formed by a conventional method, and the charge transport material can be directly formed by a dry process such as a vacuum evaporation method, an EB method, an MBE method, or a sputtering method. Alternatively, using a coating solution for forming a charge transport layer, spin coating method, dip coating method, doctor blade method, discharge coating method, spray coating method, ink jet method, letterpress printing method, intaglio printing method, screen printing method, micro It is also possible to form a film by a wet process such as a gravure coating method. It is a solution containing at least a charge transport material, and may contain one or more kinds of charge transport materials, and may further contain a binding resin. Moreover, a leveling agent, other additives, etc. may be added.

尚、視野角、視認性と輝度向上のために、ガラス基板を挟んでCh−LCPを基材としたカラーフィルタと反対側に、各種光学機能性層の使用ができる。視野角向上のためには、WVフィルム、VAモード用光学補償フィルム、IPSモード用光学フィルムやOBCモード用光学補償フィルム等が挙げられ、視認性向上のためには、AG膜、AR膜やLR膜が挙げられ、輝度向上のためには、屈折率異方性薄膜の多層膜やコレステリック液晶に1/4λ板を貼合フィルムが挙げられる。また、偏光板として1/4波長位相差フィルムと1/2波長位相差フィルムの併用も挙げられる。   In order to improve the viewing angle, visibility, and brightness, various optical functional layers can be used on the opposite side of the color filter using Ch-LCP as a base material with a glass substrate interposed therebetween. In order to improve the viewing angle, WV film, VA mode optical compensation film, IPS mode optical compensation film, OBC mode optical compensation film and the like can be mentioned. In order to improve visibility, AG film, AR film and LR In order to improve the brightness, a multilayer film of refractive index anisotropic thin film or a cholesteric liquid crystal laminated ¼λ plate can be used. Moreover, combined use of a 1/4 wavelength phase difference film and a 1/2 wavelength phase difference film is also mentioned as a polarizing plate.

以下に、この発明を実施例1により詳細に説明する。但し、この実施例によってこの発明が限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Example 1. However, the present invention is not limited to the embodiments.

図4(1)〜(4)、及び図5(1)〜(5)は、フルカラー有機ELディスプレイパネルの製造工程の説明図である。   4 (1) to 4 (4) and FIGS. 5 (1) to 5 (5) are explanatory diagrams of the manufacturing process of the full-color organic EL display panel.

コーニングジャパン(株)製の#7059ガラス基板を支持基板とし、また、温度によりCh−LCPの螺旋ピッチを調節することによって、可視領域全体に渡ってその選択反射波長領域を制御することが可能であり、紫外線照射によりその液晶状態を凍結することが出来る紫外線硬化型Ch−LCPを使用した。   The # 7059 glass substrate manufactured by Corning Japan Co., Ltd. is used as a support substrate, and the selective reflection wavelength region can be controlled over the entire visible region by adjusting the spiral pitch of the Ch-LCP according to the temperature. Yes, an ultraviolet curable Ch-LCP that can freeze its liquid crystal state by ultraviolet irradiation was used.

図4(1)に示すように、支持基板(8)を洗浄し乾燥後、Ch−LCPを用いたCh液晶2(22)がベイク後で5μmの厚さになるようにスピンコーターにて印刷し乾燥した。   As shown in FIG. 4 (1), the support substrate (8) is washed and dried, and then printed by a spin coater so that the Ch liquid crystal 2 (22) using Ch-LCP has a thickness of 5 μm after baking. And dried.

次に、図4(2)に示すように、上記Ch液晶2(22)が印刷された支持基板(8)をホットプレート(30)上に設置し、赤色を反射する螺旋ピッチになる温度46℃に加熱し、その赤色反射が所望の位置で固定されるように設計されたマスク(31)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Next, as shown in FIG. 4 (2), the support substrate (8) on which the Ch liquid crystal 2 (22) is printed is placed on the hot plate (30), and the temperature 46 becomes a spiral pitch that reflects red. The mixture was heated to 0 ° C. and irradiated with ultraviolet rays 2 J / cm 2 through a mask (31) designed so that the red reflection was fixed at a desired position.

続いて、緑色を反射する螺旋ピッチになる温度を63℃にホットプレート(30)を加熱し、その緑色反射が所望の位置で固定されるように設計されたマスク(32)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to a temperature of 63 [deg.] C. at which the spiral pitch for reflecting green is heated, and ultraviolet rays 2J are passed through a mask (32) designed so that the green reflection is fixed at a desired position. / Cm 2 was irradiated.

続いて、青色を反射する螺旋ピッチになる温度を87℃にホットプレート(30)を加熱し、その青色反射が所望の位置で固定されるように設計されたマスク(33)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to 87 ° C. at a spiral pitch that reflects blue, and ultraviolet rays 2J are passed through a mask (33) designed so that the blue reflection is fixed at a desired position. / Cm 2 was irradiated.

次に、ホットプレートを外し、支持基板(8)と形成したCh液晶2(22)を30℃以下に冷却し、Ch液晶2(22)に紫外線2J/cm2を照射して、未硬化部分を固定化し、Ch液晶カラーフィルタ2(22’)を得た。 Next, the hot plate is removed, the support substrate (8) and the formed Ch liquid crystal 2 (22) are cooled to 30 ° C. or lower, and the Ch liquid crystal 2 (22) is irradiated with ultraviolet rays 2 J / cm 2 to obtain an uncured portion. Was fixed to obtain a Ch liquid crystal color filter 2 (22 ′).

次に、図4(3)に示すように、上記Ch液晶カラーフィルタ2(22’)上にCh液晶1(21)がベイク後で5μmの厚さになるようにスピンコーターにて印刷し乾燥した。   Next, as shown in FIG. 4 (3), the Ch liquid crystal 1 (21) is printed on the Ch liquid crystal color filter 2 (22 ′) by a spin coater so that the thickness becomes 5 μm after baking. did.

上記Ch液晶1(21)が印刷された支持基板(8)をホットプレート(30)上に設置し、赤色を反射する螺旋ピッチになる温度46℃に加熱し、その赤色反射を反射光が緑色を呈する画素上に固定できるるよう設計されたマスク(32)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 The support substrate (8) on which the Ch liquid crystal 1 (21) is printed is placed on a hot plate (30) and heated to a temperature of 46 ° C. at a spiral pitch that reflects red, and the reflected light is reflected in green. Irradiation with ultraviolet rays of 2 J / cm 2 was performed through a mask (32) designed to be fixed on a pixel exhibiting the above.

続いて、緑色を反射する螺旋ピッチになる温度を63℃にホットプレート(30)を加熱し、その緑色反射を反射光が青色を呈する画素上に固定できるよう設計されたマスク(33)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to a temperature of 63 ° C. at a spiral pitch for reflecting green, and the green reflection is passed through a mask (33) designed so that the reflected light can be fixed on a pixel exhibiting a blue color. Then, ultraviolet rays of 2 J / cm 2 were irradiated.

続いて、青色を反射する螺旋ピッチになる温度を87℃にホットプレート(30)を加熱し、その青色反射を反射光が赤色を呈する画素上に固定できるように設計されたマスク(31)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to a temperature of a spiral pitch for reflecting blue light at 87 ° C., and a mask (31) designed so that the blue reflection can be fixed onto the pixel whose reflected light is red. Then, ultraviolet rays of 2 J / cm 2 were irradiated.

次に、ホットプレートを外し、支持基板(8)とCh液晶カラーフィルタ2(22’)に積層され画素化されたCh液晶1(21)を30℃以下に冷却し、Ch液晶1(21)に紫外線2J/cm2を照射して、未硬化部分を固定化し、Ch液晶カラーフィルタ1(
21’)を得た。
Next, the hot plate is removed, and the Ch liquid crystal 1 (21) layered on the support substrate (8) and the Ch liquid crystal color filter 2 (22 ′) is cooled to 30 ° C. or lower to obtain the Ch liquid crystal 1 (21). Is irradiated with ultraviolet rays 2 J / cm 2 to immobilize the uncured portion, and the Ch liquid crystal color filter 1 (
21 ′) was obtained.

上記Ch液晶カラーフィルタ1(21’)の表面粗さを測定した。結果を表1に示す。   The surface roughness of the Ch liquid crystal color filter 1 (21 ') was measured. The results are shown in Table 1.

Figure 0004552424
次に、図5(1)〜(2)に示すように、上記Ch液晶カラーフィルタ1(21’)上に酸化ケイ素からなるパシベーション膜(5)をCVDにより形成し、更に、上記パシベーション膜(5)上に蒸着器により透明第2電極膜を形成し、エッチングして透明第2電極(4)を形成した。
Figure 0004552424
Next, as shown in FIGS. 5 (1) to (2), a passivation film (5) made of silicon oxide is formed on the Ch liquid crystal color filter 1 (21 ′) by CVD, and the passivation film ( 5) A transparent second electrode film was formed on the top by a vapor deposition device and etched to form a transparent second electrode (4).

次に、図5(3)〜(5)に示すように、上記積層体を洗浄した後、真空蒸着装置にセットし、正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/ブロッキング層/電子輸送層の順で積層した。更に第1電極(2)を成膜形成し、有機材料層が封止できる支持基板を積層して、フルカラー有機ELディスプレイパネルを形成した。 上記フルカラー有機ELディスプレイパネルに5Vの電圧を流したが、ダークスポットの発生はなかった。また、1,000時間の5Vの電圧を流し続けたが、ダークスポットの発生と成長は観察されなかった。   Next, as shown in FIGS. 5 (3) to (5), after washing the above laminate, it is set in a vacuum deposition apparatus, and a hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / blocking layer / electron. They were laminated in the order of the transport layer. Furthermore, the first electrode (2) was formed and formed, and a support substrate capable of sealing the organic material layer was laminated to form a full-color organic EL display panel. Although a voltage of 5 V was applied to the full color organic EL display panel, no dark spots were generated. Further, although the voltage of 5 V was continuously applied for 1,000 hours, the generation and growth of dark spots were not observed.

コーニングジャパン(株)製の#7059ガラス基板を支持基板とし、また、温度によりCh−LCPの螺旋ピッチを調節することによって、可視領域全体に渡ってその選択反射波長領域を制御することが可能であり、紫外線照射によりその液晶状態を凍結することが出来る紫外線硬化型Ch−LCPを使用した。   The # 7059 glass substrate manufactured by Corning Japan Co., Ltd. is used as a support substrate, and the selective reflection wavelength region can be controlled over the entire visible region by adjusting the spiral pitch of the Ch-LCP according to the temperature. Yes, an ultraviolet curable Ch-LCP that can freeze its liquid crystal state by ultraviolet irradiation was used.

支持基板(8)を洗浄し、乾燥後、Ch液晶2(22)がベイク後で5μmの厚さになるようにマイクログラビアコーターにて印刷し乾燥した。   The support substrate (8) was washed and dried, and then printed with a microgravure coater so that the Ch liquid crystal 2 (22) had a thickness of 5 μm after baking, and dried.

上記Ch液晶2(22)が印刷された支持基板(8)をホットプレート(30)上に設置し、赤色を反射する螺旋ピッチになる温度46℃に加熱し、その赤色反射が所望の位置で固定されるように設計されたマスク(31)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 The support substrate (8) on which the Ch liquid crystal 2 (22) is printed is placed on a hot plate (30), and heated to a temperature of 46 ° C. at a spiral pitch that reflects red, and the red reflection is at a desired position. Ultraviolet light 2 J / cm 2 was irradiated through a mask (31) designed to be fixed.

続いて、緑色を反射する螺旋ピッチになる温度を63℃にホットプレート(30)を加熱し、その緑色反射が所望の位置で固定されるように設計されたマスク(32)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to a temperature of 63 [deg.] C. at which the spiral pitch for reflecting green is heated, and ultraviolet rays 2J are passed through a mask (32) designed so that the green reflection is fixed at a desired position. / Cm 2 was irradiated.

続いて、青色を反射する螺旋ピッチになる温度を87℃にホットプレート(30)を加熱し、その青色反射が所望の位置で固定されるように設計されたマスク(33)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to 87 ° C. at a spiral pitch that reflects blue, and ultraviolet rays 2J are passed through a mask (33) designed so that the blue reflection is fixed at a desired position. / Cm 2 was irradiated.

次に、ホットプレートを外し、支持基板(8)と形成したCh液晶2(22)を30℃以下に冷却し、Ch液晶2(22)に紫外線2J/cm2を照射して、未硬化部分を固定化し、Ch液晶カラーフィルタ2(22’)を得た。 Next, the hot plate is removed, the support substrate (8) and the formed Ch liquid crystal 2 (22) are cooled to 30 ° C. or lower, and the Ch liquid crystal 2 (22) is irradiated with ultraviolet rays 2 J / cm 2 to obtain an uncured portion. Was fixed to obtain a Ch liquid crystal color filter 2 (22 ′).

次に、上記Ch液晶カラーフィルタ2(22’)上にCh液晶1(21)がベイク後で5μmの厚さになるようにマイクログラビアコーターにて印刷し乾燥した。   Next, the Ch liquid crystal 1 (21) was printed on the Ch liquid crystal color filter 2 (22 ') by a micro gravure coater so as to have a thickness of 5 μm after baking and dried.

上記Ch液晶1(21)が印刷された支持基板(8)をホットプレート(30)上に設置し、赤色を反射する螺旋ピッチになる温度46℃に加熱し、その赤色反射を反射光が緑色を呈する画素上に固定できるるよう設計されたマスク(32)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 The support substrate (8) on which the Ch liquid crystal 1 (21) is printed is placed on a hot plate (30) and heated to a temperature of 46 ° C. at a spiral pitch that reflects red, and the reflected light is reflected in green. Irradiation with ultraviolet rays of 2 J / cm 2 was performed through a mask (32) designed to be fixed on a pixel exhibiting the above.

続いて、緑色を反射する螺旋ピッチになる温度を63℃にホットプレート(30)を加熱し、その緑色反射を反射光が青色を呈する画素上に固定できるよう設計されたマスク(33)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to a temperature of 63 ° C. at a spiral pitch for reflecting green, and the green reflection is passed through a mask (33) designed so that the reflected light can be fixed on a pixel exhibiting a blue color. Then, ultraviolet rays of 2 J / cm 2 were irradiated.

続いて、青色を反射する螺旋ピッチになる温度を87℃にホットプレート(30)を加熱し、その青色反射を反射光が赤色を呈する画素上に固定できるように設計されたマスク(31)を介して紫外線2J/cm2を照射した。 Subsequently, the hot plate (30) is heated to a temperature of a spiral pitch for reflecting blue light at 87 ° C., and a mask (31) designed so that the blue reflection can be fixed onto the pixel whose reflected light is red. Then, ultraviolet rays of 2 J / cm 2 were irradiated.

次に、ホットプレートを外し、支持基板(8)とCh液晶カラーフィルタ2(22’)上に積層され画素化されたCh液晶1(21)を30℃以下に冷却し、Ch液晶1(21)に紫外線2J/cm2を照射して、未硬化部分を固定化し、Ch液晶カラーフィルタ1(21’)を得た。 Next, the hot plate is removed, and the Ch liquid crystal 1 (21) layered on the support substrate (8) and the Ch liquid crystal color filter 2 (22 ′) is cooled to 30 ° C. or lower, and the Ch liquid crystal 1 (21 ) Was irradiated with ultraviolet rays 2 J / cm 2 to immobilize the uncured portion, and Ch liquid crystal color filter 1 (21 ′) was obtained.

上記Ch液晶カラーフィルタ1(21’)の表面粗さを測定した。結果を表2に示す。   The surface roughness of the Ch liquid crystal color filter 1 (21 ') was measured. The results are shown in Table 2.

Figure 0004552424
次に、上記Ch液晶カラーフィルタ1(21’)上に酸化ケイ素からなるパシベーション膜(5)をCVDにより形成し、更に、上記パシベーション膜(5)上に蒸着器により透明第2電極膜を形成し、エッチングして透明第2電極(4)を形成した。
Figure 0004552424
Next, a passivation film (5) made of silicon oxide is formed on the Ch liquid crystal color filter 1 (21 ') by CVD, and further a transparent second electrode film is formed on the passivation film (5) by a vapor deposition device. Then, the transparent second electrode (4) was formed by etching.

次に、上記積層体を洗浄した後、真空蒸着装置にセットし、正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/ブロッキング層/電子輸送層の順で積層した。更に第1電極(2)を成膜形成し、有機材料層が封止できる支持基板を積層して、フルカラー有機ELディスプレイパネルを形成した。   Next, after washing the laminated body, it was set in a vacuum vapor deposition apparatus, and laminated in the order of hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / blocking layer / electron transport layer. Furthermore, the first electrode (2) was formed and formed, and a support substrate capable of sealing the organic material layer was laminated to form a full-color organic EL display panel.

上記フルカラー有機ELディスプレイパネルに5Vの電圧を流したが、ダークスポットの発生はなかった。また、1,000の5Vの電圧を流し続けたが、ダークスポットの発生と成長は観察されなかった。   Although a voltage of 5 V was applied to the full color organic EL display panel, no dark spots were generated. In addition, although a voltage of 5 V of 1,000 was continuously applied, generation and growth of dark spots were not observed.

コーニングジャパン(株)製の#7059ガラス基板を支持基板とし、支持基板上に顔料分散型カラーフィルタを1.5μmの厚みで作成した。平坦化を目的で、乾燥後、総膜厚で3μmになるように平坦化膜をスピンコーターで印刷乾燥した。   A # 7059 glass substrate manufactured by Corning Japan Co., Ltd. was used as a support substrate, and a pigment-dispersed color filter having a thickness of 1.5 μm was formed on the support substrate. For the purpose of flattening, after drying, the flattened film was printed and dried with a spin coater so that the total film thickness was 3 μm.

上記顔料分散型カラーフィルタ上の平坦化膜の表面粗さを測定した。結果を表3に示す。   The surface roughness of the flattened film on the pigment-dispersed color filter was measured. The results are shown in Table 3.

Figure 0004552424
次に、上記平坦化膜上に酸化ケイ素からなるパシベーション膜をCVDにより形成し、更に、上記パシベーション膜上に蒸着器により透明第2電極膜を形成し、エッチングして透明第2電極を形成した。
Figure 0004552424
Next, a passivation film made of silicon oxide was formed on the flattening film by CVD, and a transparent second electrode film was formed on the passivation film by a vapor deposition device, and then etched to form a transparent second electrode. .

次に、上記積層体を洗浄した後、真空蒸着装置にセットし、正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/ブロッキング層/電子輸送層の順で積層した。更に第1電極を成膜形成し、有機材料層が封止できる支持基板を積層して、フルカラー有機ELディスプレイパネルを形成した。   Next, after washing the laminated body, it was set in a vacuum vapor deposition apparatus, and laminated in the order of hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / blocking layer / electron transport layer. Further, a first electrode was formed and a support substrate capable of sealing the organic material layer was laminated to form a full color organic EL display panel.

上記フルカラー有機ELディスプレイパネルに5Vの電圧を流したところ、ダークスポットの発生した。また、1,000時間の5Vの電圧を流し続けたが、ダークスポットが時間の経過に伴ない新たに発生し、また、既存のダークスポットの成長が観察された。   When a voltage of 5 V was passed through the full color organic EL display panel, dark spots were generated. In addition, although a voltage of 5 V was continuously applied for 1,000 hours, dark spots were newly generated with the passage of time, and the growth of existing dark spots was observed.

カラーELディスプレイの一例の断面図である。It is sectional drawing of an example of a color EL display. カラーELディスプレイの一例の断面図である。It is sectional drawing of an example of a color EL display. 本発明によるフルカラー有機ELディスプレイパネルの一実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Example of the full-color organic electroluminescent display panel by this invention. (1)〜(4)は、フルカラー有機ELディスプレイパネルの製造工程の説明図である。(1)-(4) is explanatory drawing of the manufacturing process of a full-color organic electroluminescent display panel. (1)〜(5)は、フルカラー有機ELディスプレイパネルの製造工程の説明図である。(1)-(5) is explanatory drawing of the manufacturing process of a full-color organic electroluminescent display panel.

符号の説明Explanation of symbols

1、8・・・支持基板
2・・・第1電極
3・・・有機材料層
4・・・透明第2電極
5・・・パッシベーション膜
6・・・平坦化層
7・・・カラーフィルタ
9・・・光学フィルム
21・・・Ch液晶1
22・・・Ch液晶2
21’・・・Ch液晶カラーフィルタ1
22’・・・Ch液晶カラーフィルタ2
30・・・ホットプレート
31、32、33・・・マスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 8 ... Support substrate 2 ... 1st electrode 3 ... Organic material layer 4 ... Transparent 2nd electrode 5 ... Passivation film 6 ... Flattening layer 7 ... Color filter 9 ... Optical film 21 ... Ch liquid crystal 1
22 ... Ch liquid crystal 2
21 '... Ch liquid crystal color filter 1
22 '... Ch liquid crystal color filter 2
30 ... Hot plates 31, 32, 33 ... Mask

Claims (1)

第1電極と高分子発光材料からなる有機材料層と第2電極とから構成される画素状の白色有機EL素子と、その白色有機EL素子に対応した画素状のカラーフィルタとでカラー表示をするフルカラー有機ELディスプレイパネルの製造方法であって、前記カラーフィルタの基材としてCh−LCP(コレステリック液晶ポリマー)が用いられており、前記カラーフィルタの画素は、前記Ch−LCPの螺旋ピッチの調節、固定によって透過光色が設定された画素であり、且つ、複数の異なった透過光色に設定された画素で構成されており、前記白色有機EL素子と前記カラーフィルタとの間に酸化ケイ素又は窒化ケイ素からなるパッシベーション膜が設けられ、前記カラーフィルタ上に前記パッシベーション膜が接するよう形成され、前記パッシベーション膜上に前記白色有機EL素子が接するよう形成されているフルカラー有機ELディスプレイパネルの製造方法において、下記の工程1)〜7)を順に行うことを特徴とするフルカラー有機ELディスプレイパネルの製造方法。
1)支持基板上にCh−LCP層を所望の膜厚で平坦に形成する工程、
2)Ch−LCP層の透過光色が青色を呈するように、温度によってCh−LCP層の螺旋ピッチを調節し、画素に対応した開口部を有するマスクを介したUV又はEB露光によってCh−LCP層を硬化して螺旋ピッチを固定し、透過光色を青色に設定したカラーフィルタの青色画素を形成する工程、
3)該青色画素が形成されたCh−LCP層の、青色画素以外の部分の透過光色が緑色を呈するように、温度によってCh−LCP層の螺旋ピッチを調節し、青色画素に隣接する画素位置に画素に対応した開口部を有するマスクを介したUV又はEB露光によってCh−LCP層を硬化して螺旋ピッチを固定し、透過光色を緑色に設定したカラーフィルタの緑色画素を形成する工程、
4)該青色画素及び緑色画素が形成されたCh−LCP層の、青色画素及び緑色画素以外の部分の透過光色が赤色を呈するように、温度によってCh−LCP層の螺旋ピッチを調節し、緑色画素に隣接する画素位置に画素に対応した開口部を有するマスクを介したUV又はEB露光によってCh−LCP層を硬化して螺旋ピッチを固定し、透過光色を赤色に設定したカラーフィルタの赤色画素を形成する工程、
5)上記青色画素、緑色画素、及び赤色画素が形成されていないCh−LCP層の部分の螺旋ピッチを固定する工程、
6)該Ch−LCP層上に酸化ケイ素又は窒化ケイ素からなるパッシベーション膜をスパッタリング法又はプラズマCVD法により設ける工程、
7)該パッシベーション膜上に高分子発光材料からなる画素状の白色有機EL素子を形成する工程。
Color display is performed by a pixel-like white organic EL element composed of a first electrode, an organic material layer made of a polymer light emitting material, and a second electrode, and a pixel-like color filter corresponding to the white organic EL element. A method for manufacturing a full color organic EL display panel, wherein Ch-LCP (cholesteric liquid crystal polymer) is used as a base material of the color filter, and the pixel of the color filter is a spiral pitch adjustment of the Ch-LCP, It is a pixel whose transmitted light color is set by fixing, and is composed of a plurality of pixels set to different transmitted light colors, and silicon oxide or nitridation is provided between the white organic EL element and the color filter. A passivation film made of silicon is provided, and is formed so that the passivation film is in contact with the color filter. The method of manufacturing a full-color organic EL display panel on Shibeshon film wherein is formed so that the white organic EL element is in contact, the production of full-color organic EL display panel, wherein the carrying out step 1) to 7) below in order Method.
1) A step of flatly forming a Ch-LCP layer with a desired film thickness on a support substrate;
2) As transmitted light color of the Ch-LCP layer exhibits a blue color, by adjusting the helical pitch of the Ch-LCP layer by temperature, the by UV or EB exposure through a mask having an opening corresponding to the pixel Curing the Ch-LCP layer to fix the helical pitch and forming a blue pixel of a color filter in which the transmitted light color is set to blue;
3) of the blue pixel is the Ch-LCP layer formed as transmitted light color in the portion other than the blue pixel exhibits a green to adjust the helical pitch of the Ch-LCP layer with temperature, adjacent to the blue pixel by curing the Ch-LCP layers to secure the helical pitch by UV or EB exposure through a mask having an opening corresponding to the pixel to pixel positions, green pixels of the color filters to set the transmitted light color to green Forming step,
4) of the blue pixel and the Ch-LCP layer green pixels are formed, as transmitted light color in the portion other than the blue pixel and green pixel exhibits red, adjusting the helical pitch of the Ch-LCP layer by temperature and, by curing the Ch-LCP layers to secure the helical pitch by UV or EB exposure through a mask having an opening corresponding to the pixel to pixel position adjacent to the green pixel, and sets the transmitted light color to red Forming a red pixel of the color filter;
5) the blue pixel, green pixel, and red pixel are not formed step of fixing the helical pitch of the portion of the Ch-LCP layer,
6) A step of providing a passivation film made of silicon oxide or silicon nitride on the Ch-LCP layer by a sputtering method or a plasma CVD method ,
7) A step of forming a pixel-like white organic EL element made of a polymer light emitting material on the passivation film.
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