JP4533998B2 - 高融点異種金属材の高温等方加圧接合法 - Google Patents
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Description
斎藤滋、深谷清、石山新太郎、衛藤基邦、及び秋場真人著、「HIP法によるプラズマ対向機器用のW−Cu合金接合技術の開発(I)」、JAERI−Research 99−049 (1999年8月) 斎藤滋、深谷清、石山新太郎、衛藤基邦、及び秋場真人著、「HIP法によるプラズマ対向機器用のW−Cu合金接合技術の開発(II)」、JAERI−Research 2000−006 (2000年2月)
同じく、モリブデン/無酸素銅を構造体も一工程で製造できる。
間挿材にAuフォイル、無酸素銅ディスクを用いて直径×高さ、20mm×20mmのタングステンとアルミナ分散銅とを重ねて、これをSUS(ステンレス)製の真空キャプセルに封入し、1173〜1273K×100〜200MPa×2時間のHIP(高温等方加圧処理:窒素ガス中)を実施した。その結果、表1に示すHIP条件で両材料の接合が行われた。その接合形態は、W(タングステン)/無酸素銅、W/無酸素銅/アルミナ分散銅、W/Au/無酸素銅/アルミナ分散銅、及びW/Au/無酸素銅/Au/アルミナ分散銅である。
(1)高融点金属/DS
(2)高融点金属/間挿材/DS
a)間挿材:無酸素銅(OF)薄膜
b)間挿材: Au/OF(Dsの銅とOFの銅は同じものである。)
(3)OF材同士
その結果、上記(1)の場合は、表1に示されるように、良好な結合が得られなかった。上記(2) a)の場合は、上記(2)b)の場合と同程度の接合強度が得られたことから、これらの間挿材を入れることにより、高融点金属とDSとの接合がHIPで可能であることを示している。ここでは、高融点金属/OF/DSの組合せ(即ち、DSの銅と高融点金属がろう材なしに直接接合できること)により無ろう材接合が可能であることを示したことになる。この場合、間挿材であるOF(無酸素銅)はDSと同一銅材料(友材)であることから、従来のろう接合材(他の元素が添加されているもの)と異なり、接合面での物性の差異による材料劣化の要因がない。
本来、異種材接合の場合、できるだけ異種材接合界面に第III層を生じさせないことが好ましい。その理由は、この接合体を伝熱構造体として設計する場合、異種材の物性だけで設計するため、もし第III層が存在し、それが伝熱性能や強度性能を劣化(悪くする)することを極力避けるためである。
(実施例2)
直径×高さ、20mm×20mmのモリブデンと無酸素銅とを重ねて、これをSUS(ステンレス)製の真空キャプセルに封入し、1173 〜1273K×100〜200MPa×2時間のHIP(高温等方加圧処理:窒素ガス中)を実施した。その結果、図2に示すHIP条件で両材料の接合が行われた。
Claims (1)
- SUS(ステンレス)製のキャプセルに真空封入されたモリブデン/無酸素銅の実寸法ターゲットプレートを、900〜1000℃及び100〜200MPaの均一な高温及び高圧環境下で、溶融性ろう材を使用することなく、Moと無酸素銅とを直接接合させる高温等方加圧接合法により直接接合することを含む、核融合炉用ダイバータターゲットプレートの作製方法。
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Citations (9)
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---|---|---|---|---|
JPS63275987A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Toshiba Corp | ダイバ−タ板 |
JPH01237086A (ja) * | 1988-03-17 | 1989-09-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 異材接合方法 |
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JPH05146920A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-06-15 | Toshiba Corp | 金属接合方法 |
JPH08188872A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-07-23 | Japan Energy Corp | スパッタリングターゲットとバッキングプレートの接合方法 |
JPH107467A (ja) * | 1996-06-21 | 1998-01-13 | Nippon Steel Corp | 超高温用熱間等方加圧処理カプセルによる熱間等方加圧処理方法 |
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Patent Citations (9)
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---|---|---|---|---|
JPS63275987A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Toshiba Corp | ダイバ−タ板 |
JPH01237086A (ja) * | 1988-03-17 | 1989-09-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 異材接合方法 |
JPH04143268A (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-18 | Fujitsu Ltd | ターゲットの製造方法 |
JPH05146920A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-06-15 | Toshiba Corp | 金属接合方法 |
JPH08188872A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-07-23 | Japan Energy Corp | スパッタリングターゲットとバッキングプレートの接合方法 |
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