JP4529809B2 - Electronic component manufacturing method and electronic component manufacturing apparatus - Google Patents
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Description
本願発明は、電子部品の製造方法および電子部品の製造装置に関し、詳しくは外部電極の形成方法に改良を加えた電子部品の製造方法およびそれに用いられる電子部品の製造装置に関する。 The present invention relates to an electronic component manufacturing method and an electronic component manufacturing apparatus, and more particularly to an electronic component manufacturing method obtained by improving the external electrode forming method and an electronic component manufacturing apparatus used therefor.
代表的なチップ型の電子部品である積層セラミックコンデンサは、通常、図13に示すように、複数の内部電極層52a,52bがセラミック層(誘電体層)53を介して互いに対向するように配設され、かつ、その一端側が交互に異なる側の端面に引き出されたセラミック素子(電子部品素子)51の両端面54a,54bに、内部電極層52a,52bと導通するように一対の外部電極55a,55bが配設された構造を有している。
A multilayer ceramic capacitor, which is a typical chip-type electronic component, is usually arranged such that a plurality of
そして、このような積層セラミックコンデンサを製造する場合、外部電極は、通常、セラミック素子(電子部品素子)51の両端面54a,54bを外部電極形成用の導電ペースト中に浸漬することによって塗布した後、焼き付けることにより形成されている。このとき、電子部品素子51のコーナー部および稜線部は導電ペーストが付着しにくく、電子部品素子51のコーナー部および稜線部の外部電極55a,55bの厚みは、電子部品素子51の端面54a,54bの中央領域に比べて薄くなるのが一般的である。
When manufacturing such a multilayer ceramic capacitor, the external electrode is usually applied by immersing both
ところで、電子部品の特性を確保するためには、通常、電子部品素子のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みとして、ある程度の厚みが確保されることが必要となる。そこで従来は、電子部品素子への導電ペーストの塗布を複数回繰り返すことにより、電子部品素子のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みを確保するようにしている。 By the way, in order to ensure the characteristics of the electronic component, it is usually necessary to ensure a certain thickness as the thickness of the external electrode in the corner portion and the ridge line portion of the electronic component element. Therefore, conventionally, the application of the conductive paste to the electronic component element is repeated a plurality of times to ensure the thickness of the external electrode at the corner portion and the ridge line portion of the electronic component element.
しかしながら、コーナー部および稜線部における外部電極の厚みを確保することを優先させると、端面の中央領域における外部電極の厚みが過度に厚くなり、形状精度や寸法精度の低下、実装信頼性の低下などの不具合を生じるという問題点がある。また、製品の寸法を同じとすると、外部電極の体積が大きくなる分だけ、製品全体における電子部品素子の体積率が低下するという問題点がある。
一方、端面の厚みが厚くなり過ぎることを抑制しようとすると、コーナー部および稜線部の厚みが不足し、導通信頼性や密閉性などの特性が低下するという問題点がある。
However, if priority is given to securing the thickness of the external electrodes at the corners and ridge lines, the thickness of the external electrodes in the center region of the end face becomes excessively thick, resulting in a decrease in shape accuracy, dimensional accuracy, and mounting reliability. There is a problem that this problem occurs. Further, if the dimensions of the product are the same, there is a problem that the volume ratio of the electronic component element in the entire product is reduced by the increase in the volume of the external electrode.
On the other hand, if it is attempted to suppress the thickness of the end face from becoming too thick, the corner portions and the ridge line portions are insufficient in thickness, and there is a problem that characteristics such as conduction reliability and sealing performance are deteriorated.
そこで、このような問題点を解決するために、図14(a),(b),(c)に示すように、漏斗状の治具61の内周面に外部電極形成用の導電ペースト62を塗布し(図14(a))、電子部品素子51のコーナー部71を接触させ(図14(b))て、コーナー部71のみに導電ペースト62を付着させ(図14(c))、その後、図15に示すように、電子部品素子51の端面54a(54b)の全体に導電ペースト62を塗布するようにした電子部品の製造方法が開示されている(特許文献1参照)。
In order to solve such problems, as shown in FIGS. 14A, 14B, and 14C, a
しかしながら上記特許文献1の方法では、品種ごとに専用の治具を用意する必要があるほか、治具の内側に電子部品素子を挿入するために位置決めを行う必要があるなどの、生産性に関する問題点を有していた。
本願発明は、上記課題を解決するものであり、電子部品素子の端面の中央領域において外部電極の厚みが大きくなり過ぎることを抑制しつつ、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部において外部電極に必要な厚みを持たせることが可能で、接続信頼性や密閉性に優れた外部電極を備えた信頼性の高い電子部品を効率よく製造することが可能な電子部品の製造方法および該製造方法を実施するための電子部品の製造装置を提供することを目的とする。 The invention of the present application solves the above-described problem, and suppresses the external electrode from becoming too thick in the central region of the end face of the electronic component element, while preventing the external electrode from being formed at the corner and ridge line portions of the end face of the electronic component element. A method for manufacturing an electronic component capable of efficiently manufacturing a highly reliable electronic component having an external electrode excellent in connection reliability and hermeticity, which can have a necessary thickness, and the manufacturing method An object of the present invention is to provide an electronic component manufacturing apparatus for carrying out the above.
上記課題を解決するために、本願発明(請求項1)の電子部品の製造方法は、
電子部品素子の端面を含む領域に導電ペーストを塗布し、焼き付けることにより外部電極を形成する方法において、
(a)前記電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面を外部電極形成用の導電ペーストに浸漬して、前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させる第1の導電ペースト付与工程と、
(b)前記電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を、導電ペーストが塗布されていない平坦面に押し付けた後、前記電子部品素子の端面を前記平坦面から引き離すことにより、前記電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、前記端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去する第1の導電ペースト除去工程と、
(c)前記第1の導電ペースト除去工程において、前記端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストが除去され、前記端面のコーナー部および稜線部に導電ペーストが付着した電子部品素子の該端面を導電ペーストに浸漬して該端面全体に導電ペーストを付着させる第2の導電ペースト付与工程と
を具備することを特徴としている。
In order to solve the above problems, a method for manufacturing an electronic component of the present invention (Claim 1) includes:
In a method of forming an external electrode by applying and baking a conductive paste on a region including an end face of an electronic component element,
(a) a first conductive paste applying step of immersing an end face on which the external electrode of the electronic component element is to be formed in a conductive paste for forming an external electrode, and attaching the conductive paste to the end face of the electronic component element;
(b) After pressing the end surface of the electronic component element to which the conductive paste is attached to a flat surface to which the conductive paste is not applied , the end surface of the electronic component element is separated from the flat surface. A first conductive paste removing step of removing the conductive paste attached to a portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face among the conductive paste attached to the end face;
(c) An electronic component element in which, in the first conductive paste removing step, the conductive paste attached to a portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face is removed , and the conductive paste is attached to the corner portion and the ridge line portion of the end face And a second conductive paste applying step of immersing the end face of the conductive paste in a conductive paste to adhere the conductive paste to the entire end face.
また、請求項2の電子部品の製造方法は、請求項1記載の発明の構成において、前記第2の導電ペースト付与工程において前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させた後、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去する第2の導電ペースト除去工程を備えていることを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an electronic component according to the first aspect of the present invention, wherein the conductive paste is attached to the end face of the electronic component element in the second conductive paste applying step, It is characterized by including a second conductive paste removing step for removing surplus portions including the raised portions.
また、請求項3の電子部品の製造方法は、請求項1または2記載の発明の構成において、前記電子部品素子の、外部電極を形成すべき端面の稜線部が面取り加工されている場合において、前記第1の導電ペースト付与工程における、前記電子部品素子の導電ペーストへの浸漬深さを、前記面取り加工部分の、前記外部電極が形成されるべき端面に隣接する側面の、前記面取り加工部分の終了する位置までの深さとすることを特徴としている。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the electronic component manufacturing method according to the first or second aspect of the invention, wherein the edge of the electronic component element where the external electrode is to be formed is chamfered. In the first conductive paste applying step, the immersion depth of the electronic component element in the conductive paste is set to the chamfered portion of the side surface adjacent to the end surface where the external electrode is to be formed. It is characterized by the depth to the end position.
また、請求項4の電子部品の製造方法は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明の構成において、
前記第1の導電ペースト付与工程においては、前記平坦面上に所定の厚みとなるように導電ペーストを塗布した後、前記電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面を導電ペーストに浸漬して、前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させ、
前記第1の導電ペースト除去工程においては、前記平坦面上の導電ペーストを除去した後、導電ペーストが除去された前記平坦面に、前記電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を押し付けた後、前記電子部品素子の端面を前記平坦面から引き離すことにより、前記電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、前記端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去すること
を特徴としている。
Moreover, the manufacturing method of the electronic component of
In the first conductive paste applying step, the conductive paste is applied on the flat surface to have a predetermined thickness, and then the end surface on which the external electrode of the electronic component element is to be formed is immersed in the conductive paste. , Attaching a conductive paste to the end face of the electronic component element,
In the first conductive paste removal step, after removing the conductive paste on the flat surface, after pressing the end surface to which the conductive paste of the electronic component element is attached to the flat surface from which the conductive paste has been removed, By removing the end face of the electronic component element from the flat surface, the conductive paste attached to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face is removed from the conductive paste attached to the end surface of the electronic component element. It is a feature.
また、請求項5の電子部品の製造方法は、請求項2〜4のいずれかに記載の発明の構成において、前記第2の導電ペースト除去工程において、前記第2の導電ペースト付与工程において導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面を、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面に押し付けた後、引き離すことにより、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去することを特徴としている。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an electronic component according to any one of the second to fourth aspects, wherein the second conductive paste is removed in the second conductive paste application step. After pressing the end surface of the electronic component element to which the surface is attached to the surplus conductive paste removal surface having irregularities formed on the surface, the surplus portion including the raised portion of the conductive paste is removed by separating the end surface. Yes.
また、請求項6の電子部品の製造方法は、請求項5記載の発明の構成において、前記第1の導電ペースト付与工程において、前記平坦面に移行した導電ペーストを除去して、次の第1の導電ペースト除去工程に備え、かつ、
前記第2の導電ペースト付与工程において、前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去して、次の第2の導電ペースト除去工程に備えること
を特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an electronic component according to the fifth aspect of the present invention, wherein in the first conductive paste application step, the conductive paste transferred to the flat surface is removed, In preparation for the conductive paste removal step, and
In the second conductive paste application step, the conductive paste transferred to the surplus conductive paste removal surface is removed to prepare for the next second conductive paste removal step.
また、本願発明(請求項7)の電子部品の製造装置は、
(a)電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面が浸漬される導電ペーストを保持する平坦面を備えた導電ペースト保持手段と、前記導電ペースト保持手段の平坦面上に導電ペーストを供給する導電ペースト供給手段とを備え、電子部品素子の端面を、前記導電ペースト保持手段の前記平坦面に保持された導電ペーストに浸漬することにより、前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させることができるように構成された第1の導電ペースト付与手段と、
(b)導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面が押し付けられる平坦面を備え、前記電子部品素子の端面を該平坦面に押し付けた後、引き離すことにより、前記電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、コーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去することが可能で、かつ、前記電子部品素子の端面から前記平坦面に移行した導電ペーストを除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第1の導電ペースト除去手段と、
(c)導電ペーストを保持する平坦面を備えた導電ペースト保持手段と、前記平坦面上に導電ペーストを供給する導電ペースト供給手段とを備え、前記第1の導電ペースト除去手段によりコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去した電子部品素子の端面を、前記導電ペースト保持手段の前記平坦面に保持された導電ペーストに浸漬して、前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させることができるように構成された第2の導電ペースト付与手段と、
(d)前記第2の導電ペースト付与手段を用いて端面に導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面が押し付けられる、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面を有する第2の導電ペースト除去手段であって、前記第2の導電ペースト付与手段により導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面を、前記余剰導電ペースト除去面に押し付けた後、引き離すことにより、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去することが可能で、かつ、前記電子部品素子の端面から前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第2の導電ペースト除去手段と、
(e)前記(a)の第1の導電ペースト付与手段、前記(b)の第1の導電ペースト除去手段、前記(c)の第2の導電ペースト付与手段、および前記(d)の第2の導電ペースト除去手段を用いて、導電ペーストの付与および除去を行うにあたって、電子部品素子を、保持し、所定の経路で移動させる電子部品素子保持取扱手段と
を具備することを特徴としている。
In addition, the electronic component manufacturing apparatus of the present invention (Claim 7)
(a) Conductive paste holding means having a flat surface for holding a conductive paste in which an end surface on which an external electrode of an electronic component element is to be formed is immersed, and supplying the conductive paste on the flat surface of the conductive paste holding means A conductive paste supplying means, and the conductive paste is attached to the end face of the electronic component element by immersing the end face of the electronic component element in the conductive paste held on the flat surface of the conductive paste holding means. First conductive paste applying means configured to be capable of:
(b) a flat surface on which the end surface of the electronic component element to which the conductive paste is attached is pressed, and the end surface of the electronic component element is pressed against the flat surface and then pulled away to adhere to the end surface of the electronic component element Of the conductive paste, it is possible to remove the conductive paste attached to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion, and by removing the conductive paste transferred from the end surface of the electronic component element to the flat surface, A first conductive paste removing means configured to be prepared for the next conductive paste removing step;
(c) a conductive paste holding means having a flat surface for holding the conductive paste; and a conductive paste supply means for supplying the conductive paste on the flat surface; and a corner portion and a ridge line by the first conductive paste removing means. The end face of the electronic component element from which the conductive paste attached to the portion excluding the portion is removed is immersed in the conductive paste held on the flat surface of the conductive paste holding means, and the conductive paste is attached to the end face of the electronic component element. A second conductive paste applying means configured to be able to be
(d) Second conductive having a surplus conductive paste removal surface with irregularities formed on the surface, on which the end surface of the electronic component element having the conductive paste attached to the end surface using the second conductive paste applying means is pressed. Paste removing means for pressing the end surface of the electronic component element, to which the conductive paste is attached by the second conductive paste applying means, against the surplus conductive paste removing surface, and then pulling it apart to raise the conductive paste. It is possible to remove a surplus portion including a portion, and to prepare for the next step of removing the conductive paste by removing the conductive paste transferred from the end face of the electronic component element to the surplus conductive paste removal surface. A second conductive paste removing means configured to be capable of:
(e) the first conductive paste applying means (a), the first conductive paste removing means (b), the second conductive paste applying means (c), and the second conductive paste applying means (d) In the application and removal of the conductive paste using the conductive paste removing means, the electronic component element holding and handling means for holding and moving the electronic component element along a predetermined path is provided.
また、請求項8の電子部品の製造装置は、請求項7記載の発明の構成において、前記第1の導電ペースト付与手段が、前記第2の導電ペースト付与手段としても用いられていることを特徴としている。 According to an eighth aspect of the present invention, in the electronic component manufacturing apparatus according to the seventh aspect of the invention, the first conductive paste applying means is also used as the second conductive paste applying means. It is said.
また、請求項9の電子部品の製造装置は、請求項7または8記載の発明の構成において、
(a)前記第1の導電ペースト除去手段において、前記平坦面に移行した導電ペーストを除去するための除去手段、および、
(b)前記第2の導電ペースト除去手段において、前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去するための除去手段
として、スキージが用いられていることを特徴としている。
An electronic component manufacturing apparatus according to claim 9 is the configuration of the invention according to claim 7 or 8,
(a) In the first conductive paste removing means, a removing means for removing the conductive paste that has moved to the flat surface; and
(b) In the second conductive paste removing means, a squeegee is used as the removing means for removing the conductive paste transferred to the surplus conductive paste removing surface.
本願発明(請求項1)の電子部品の製造方法は、(a)電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面を外部電極形成用の導電ペーストに浸漬して、電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させる第1の導電ペースト付与工程と、(b)電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を、導電ペーストが塗布されていない平坦面に押し付けた後、電子部品素子の端面を平坦面から引き離すことにより、電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去する第1の導電ペースト除去工程と、(c)第1の導電ペースト除去工程において、端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストが除去され、端面のコーナー部および稜線部に導電ペーストが付着した電子部品素子の該端面を導電ペーストに浸漬して該端面全体に導電ペーストを付着させる第2の導電ペースト付与工程とを具備しているので、電子部品素子のコーナー部および稜線部において必要な厚みを有する、導通信頼性や密閉性に優れた外部電極を備えた電子部品を効率よく製造することが可能になる。 In the method of manufacturing an electronic component according to the present invention (claim 1), (a) an end surface on which an external electrode of an electronic component element is to be formed is immersed in a conductive paste for forming an external electrode, and the end surface of the electronic component element is electrically conductive. A first conductive paste applying step for attaching a paste; and (b) pressing an end surface of the electronic component element to which the conductive paste is attached to a flat surface to which the conductive paste is not applied, and then setting the end surface of the electronic component element to a flat surface. A first conductive paste removing step of removing the conductive paste adhering to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end surface from among the conductive paste adhering to the end surface of the electronic component element, in the conductive paste removal step, the conductive paste deposited on the corner portion and the portion except the ridge portion of the end surface is removed, the conductive paste is adhered to the corner portion and the ridge line portion of the end face A second conductive paste applying step of immersing the end face of the child component element in the conductive paste and attaching the conductive paste to the entire end face, so that the necessary thickness at the corner portion and the ridge line portion of the electronic component element It is possible to efficiently manufacture an electronic component having an external electrode having excellent conduction reliability and sealing performance.
すなわち、第1の導電ペースト付与工程で導電ペーストを付与した後、第1の導電ペースト除去工程で、電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を、導電ペーストが塗布されていない平坦面に押し付けた後、引き離すことにより、端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを効率よく除去することが可能になるとともに、第2の導電ペースト付与工程において、電子部品素子の該端面を導電ペーストに浸漬して該端面全体に導電ペーストを付着させるようにしているので、電子部品の端面のコーナー部および稜線部には導電ペーストが二度付与され、端面の中央領域には導電ペーストが一度だけ付与された状態となる。その結果、電子部品素子の端面の中央領域において厚みが厚くなりすぎることがなく、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部においては必要な厚みを有する外部電極を備えた、導通信頼性や密閉性に優れた外部電極を備えた信頼性の高い電子部品を効率よく製造することが可能になる。
また、本願発明(請求項1)の電子部品の製造方法によれば、外部電極が厚くなり過ぎることを抑制して、電極の体積および重量を減らすことが可能になることから、電子部品全体としての大きさを同じとした場合における電子部品素子の体積率を向上させることが可能になり、小型高性能化を図ることが可能になる。
That is, after applying the conductive paste in the first conductive paste applying step, the end surface to which the conductive paste of the electronic component element is attached is pressed against the flat surface where the conductive paste is not applied in the first conductive paste removing step. Thereafter, by separating, it becomes possible to efficiently remove the conductive paste adhering to the portions other than the corner portion and the ridge line portion of the end face, and in the second conductive paste applying step, the end face of the electronic component element is made conductive. Since the conductive paste is soaked in the paste to adhere to the entire end face, the conductive paste is applied twice to the corner and ridge line portions of the end face of the electronic component, and the conductive paste is once applied to the central area of the end face. It will be in a state where only is granted. As a result, the thickness of the central region of the end face of the electronic component element is not excessively thick, and the corner portion and the ridge line portion of the end face of the electronic component element are provided with external electrodes having the necessary thickness, and are reliable in conduction and sealed. It is possible to efficiently manufacture a highly reliable electronic component including an external electrode having excellent properties.
Further, according to the method for manufacturing an electronic component of the present invention (Claim 1), it is possible to suppress the external electrode from becoming too thick and reduce the volume and weight of the electrode. It is possible to improve the volume ratio of the electronic component element when the sizes are the same, and it is possible to improve the size and performance.
また、請求項2の電子部品の製造方法のように、請求項1記載の発明の構成において、第2の導電ペースト付与工程において電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させた後、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去する第2の導電ペースト除去工程を備えた構成とした場合、導電ペーストが盛り上がって付着しやすい電子部品素子の端面の中央領域の余剰部分を除去して、端面の中央領域における導電ペーストの塗布厚みが厚くなり過ぎることを確実に抑制し、厚みを均一化することが可能になり、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部において必要な厚みを有し、かつ、端面の中央領域における厚みが均一で適正な外部電極を備えた電子部品を効率よく製造することが可能になる。
Further, as in the method of manufacturing an electronic component of
また、請求項3の電子部品の製造方法のように、請求項1または2記載の発明の構成において、電子部品素子の、外部電極を形成すべき端面の稜線部が面取り加工されている場合において、第1の導電ペースト付与工程における、電子部品素子の導電ペーストへの浸漬深さを、面取り加工部分の、外部電極が形成されるべき端面に隣接する側面の、面取り加工部分の終了する位置までの深さとした場合、電子部品素子の端面の中央領域においては厚みが適正かつ均一で、コーナー部および稜線部においては必要な厚みを有する外部電極をより確実に形成することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
Further, as in the method for manufacturing an electronic component according to
すなわち、第1の導電ペースト付与工程における浸漬深さが不十分な場合、コーナー部および稜線部に付着する導電ペースト量が不足し、また、浸漬深さが深すぎると、導電ペーストが外部電極が形成されるべき端面と隣接する側面にまで回り込む量(導電ペーストの回り込み量)が多くなり、側面の導電ペーストの膜厚が厚くなり過ぎて、好ましくない状態となるが、電子部品素子の導電ペーストへの浸漬深さを、面取り加工部分の、外部電極が形成されるべき端面に隣接する側面の、面取り加工部分の終了する位置までの深さとすることにより、適正な量の導電ペーストをコーナー部および稜線部に付与することが可能になり、本願発明を実効あらしめることができる。 That is, when the immersion depth in the first conductive paste application step is insufficient, the amount of conductive paste adhering to the corner portion and the ridge line portion is insufficient, and when the immersion depth is too deep, the conductive paste is not attached to the external electrode. The amount of wrapping around to the side surface adjacent to the end surface to be formed (the amount of wrapping of the conductive paste) increases, and the thickness of the conductive paste on the side surface becomes too thick, which is not preferable, but the conductive paste of the electronic component element By setting the immersion depth in the chamfered portion to the depth of the side surface adjacent to the end surface where the external electrode is to be formed up to the position where the chamfered portion ends, an appropriate amount of conductive paste is added to the corner portion. It can be applied to the ridgeline portion, and the present invention can be effectively presented.
また、請求項4の電子部品の製造方法のように、請求項1〜3のいずれかに記載の発明の構成において、第1の導電ペースト付与工程で、平坦面上に所定の厚みとなるように導電ペーストを塗布した後、電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面を導電ペーストに浸漬して、電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させるようにした場合、容易かつ確実に第1の導電ペースト付与工程で適正な量の導電ペーストを電子部品素子に付与することが可能になり、また、第1の導電ペースト除去工程で、平坦面上の導電ペーストを除去した後、導電ペーストが除去された平坦面に、電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を押し付けた後、電子部品素子の端面を平坦面から引き離すようにした場合、電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを効率よく除去して、電子部品素子の端面の中央領域における外部電極の厚みを均一にすることが可能になる。
また、上述のような構成とした場合、平坦面を構成する機構部として同じ機構部を用いて、第1の導電ペーストの付与工程と、第1の導電ペーストの除去工程を実施することが可能になり、設備コストの低減を図ることが可能になる。
Further, as in the method for manufacturing an electronic component according to
Moreover, when it is set as the above structure, it is possible to carry out the first conductive paste applying step and the first conductive paste removing step by using the same mechanism portion as the mechanism portion constituting the flat surface. Thus, the equipment cost can be reduced.
また、請求項5の電子部品の製造方法のように、請求項2〜4のいずれかに記載の発明の構成において、第2の導電ペースト除去工程で、第2の導電ペースト付与工程において導電ペーストを付着させた電子部品素子の端面を、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面に押し付けた後、引き離すようにした場合、必要な導電ペーストを残しつつ、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を効率よく除去することが可能になる。
Moreover, like the manufacturing method of the electronic component of
なお、余剰導電ペースト除去面は、上述のように表面に凹凸が形成されており、この表面に形成された凹凸のうち、凸部は電子部品素子の端面と当接するが、凹部は電子部品素子の端面と接触しないため、同じ平面面積の平坦面に比べて、凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面は、電子部品素子の端面と当接する部分の面積が小さくなる。したがって、第2の導電ペースト除去工程においては、端面の導電ペーストが除去される程度が、第1の導電ペースト除去工程の場合よりも小さくなり、所望の特性を備えた外部電極として必要な導電ペーストを端面に残留させ、余剰の導電ペーストのみを除去することができる。 The surplus conductive paste removal surface has irregularities formed on the surface as described above, and among the irregularities formed on the surface, the convex portion comes into contact with the end surface of the electronic component element, but the concave portion is the electronic component element. Therefore, as compared with a flat surface having the same plane area, the surplus conductive paste removal surface on which the irregularities are formed has a smaller area of the portion in contact with the end surface of the electronic component element. Therefore, in the second conductive paste removal step, the degree to which the conductive paste on the end face is removed is smaller than that in the first conductive paste removal step, and the conductive paste necessary as an external electrode having desired characteristics. Can be left on the end face and only the excess conductive paste can be removed.
表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面の具体的な構成としては、表面に格子状に凸条部が設けられた構成、先端が平坦な突起部が規則的にあるいは不規則に多数配設された構成、剣山のように先端が尖った突起部が多数配設された構成など種々の構成を採用することが可能である。 As a specific configuration of the surplus conductive paste removal surface with irregularities formed on the surface, a configuration in which ridges are provided in a lattice pattern on the surface, and a large number of protrusions with flat tips are regularly or irregularly arranged. It is possible to adopt various configurations such as an installed configuration and a configuration in which a large number of protrusions with sharp tips are arranged like a sword mountain.
また、請求項6の電子部品の製造方法のように、請求項5記載の発明の構成において、前記第1の導電ペースト付与工程において、前記平坦面に移行した導電ペーストを除去して、次の第1の導電ペースト除去工程に備え、前記第2の導電ペースト付与工程において、前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去して、次の第2の導電ペースト除去工程に備えるようにした場合、連続的に安定して第1の導電ペースト除去工程、および、第2の導電ペースト除去工程を実施することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることが可能になる。
Moreover, like the manufacturing method of the electronic component of Claim 6, in the structure of
また、本願発明(請求項7)の電子部品の製造装置は、(a)電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面が浸漬される導電ペーストを保持する平坦面を備えた導電ペースト保持手段と、導電ペースト保持手段の平坦面上に導電ペーストを供給する導電ペースト供給手段とを備え、電子部品素子の端面を、導電ペースト保持手段の平坦面に保持された導電ペーストに浸漬することにより、電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させることができるように構成された第1の導電ペースト付与手段と、(b)導電ペーストを付着させた電子部品素子の端面が押し付けられる平坦面を備え、電子部品素子の端面を該平坦面に押し付けた後、引き離すことにより、電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、コーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去することが可能で、かつ、電子部品素子の端面から平坦面に移行した導電ペーストを除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第1の導電ペースト除去手段と、(c)導電ペーストを保持する平坦面を備えた導電ペースト保持手段と、平坦面上に導電ペーストを供給する導電ペースト供給手段とを備え、第1の導電ペースト除去手段によりコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去した電子部品素子の端面を、導電ペースト保持手段の平坦面に保持された導電ペーストに浸漬して、電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させることができるように構成された第2の導電ペースト付与手段と、(d)第2の導電ペースト付与手段を用いて端面に導電ペーストを付着させた電子部品素子の端面が押し付けられる、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面を有する第2の導電ペースト除去手段であって、第2の導電ペースト付与手段により導電ペーストを付着させた電子部品素子の端面を、余剰導電ペースト除去面に押し付けた後、引き離すことにより、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去することが可能で、かつ、電子部品素子の端面から余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第2の導電ペースト除去手段と、(e) (a)の第1の導電ペースト付与手段、 (b)の第1の導電ペースト除去手段、 (c)の第2の導電ペースト付与手段、および (d)の第2の導電ペースト除去手段を用いて、導電ペーストの付与および除去を行うにあたって、電子部品素子を、保持し、所定の経路で移動させる電子部品素子保持取扱手段とを備えているので、電子部品素子の端面を含む領域に導電ペーストを塗布する第1の導電ペースト付与工程と、電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去する第1の導電ペースト除去工程と、第1の導電ペースト除去工程で端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去した後の端面に導電ペーストを塗布する第2の導電ペースト付与工程と、第2の導電ペースト付与工程において電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させた後、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去する第2の導電ペースト除去工程を効率よく実施することが可能になる。その結果、端面の中央領域における厚みが均一で、適正な厚みを有し、かつ、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部において必要な厚みを備えた、導通信頼性および密封性が良好な外部電極を有する信頼性の高い電子部品を効率よく製造することが可能になる。 Further, the electronic component manufacturing apparatus of the present invention (Claim 7) includes: (a) a conductive paste holding means having a flat surface for holding a conductive paste in which an end surface on which an external electrode of an electronic component element is to be formed is immersed; And a conductive paste supply means for supplying a conductive paste on the flat surface of the conductive paste holding means, and immersing the end face of the electronic component element in the conductive paste held on the flat surface of the conductive paste holding means, A first conductive paste applying means configured to allow the conductive paste to adhere to the end face of the electronic component element; and (b) a flat surface against which the end face of the electronic component element to which the conductive paste is attached is pressed. The portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the conductive paste attached to the end surface of the electronic component element by pressing and separating the end surface of the electronic component element against the flat surface It is possible to remove the conductive paste adhering to the minute, and by removing the conductive paste transferred from the end surface of the electronic component element to the flat surface, it is possible to prepare for the next conductive paste removal step First conductive paste removing means, (c) conductive paste holding means having a flat surface for holding the conductive paste, and conductive paste supply means for supplying the conductive paste on the flat surface, The end face of the electronic component element from which the conductive paste attached to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion is removed by the conductive paste removing means is immersed in the conductive paste held on the flat surface of the conductive paste holding means. A second conductive paste applying means configured to allow the conductive paste to adhere to the end face; and (d) an end using the second conductive paste applying means. A second conductive paste removing means having an excess conductive paste removal surface with irregularities formed on the surface, to which the end face of the electronic component element having the conductive paste attached to the surface is pressed, After the end surface of the electronic component element to which the conductive paste is attached is pressed against the surplus conductive paste removing surface and then separated, the surplus portion including the raised portion of the conductive paste can be removed, and the electronic component element is removed. A second conductive paste removing means configured to remove the conductive paste transferred from the end face of the first conductive paste to the surplus conductive paste removal surface, thereby preparing for the next conductive paste removal step; and (e) (a ) First conductive paste applying means; (b) first conductive paste removing means; (c) second conductive paste applying means; and (d) second conductive paste applying means. When the conductive paste is applied and removed using the electric paste removing means, the electronic component element is provided with an electronic component element holding and handling means for holding and moving the electronic component element along a predetermined path. a first conductive paste application step of applying a conductive paste in a region including the out of the conductive paste adhering to the end surface of the electronic component element, the removing conductive paste adhered to the corner portion and the portion except the ridge portion of the end face The first conductive paste removing step and the second conductive paste applying step of applying the conductive paste to the end face after removing the conductive paste attached to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face in the first conductive paste removing step And a portion where the conductive paste is raised after the conductive paste is attached to the end face of the electronic component element in the second conductive paste application step It is possible to efficiently carry out the second conductive paste removing step for removing the surplus portion including. As a result, the thickness in the center region of the end face is uniform, has an appropriate thickness, and has the necessary thickness at the corner and ridge line portions of the end face of the electronic component element, and has good conduction reliability and sealing performance. A highly reliable electronic component having an external electrode can be efficiently manufactured.
また、請求項8の電子部品の製造装置のように、請求項7記載の発明の構成において、第1の導電ペースト付与手段を、第2の導電ペースト付与手段としても用いることにより、機器の有効利用と設備構成の簡略化を実現して、コストの低減を図ることが可能になる。 Further, as in the electronic device manufacturing apparatus according to claim 8, in the configuration of the invention according to claim 7, by using the first conductive paste applying means as the second conductive paste applying means, the device can be effectively used. It is possible to reduce the cost by simplifying the use and equipment configuration.
なお、第1の導電ペースト付与手段の、導電ペーストが保持された平坦面から導電ペーストを、例えばスキージなどを用いて除去することにより、該平坦面を、第1の導電ペースト除去手段の平坦面として用いるように構成することも可能である。このように、第1の導電ペースト付与手段を第1の導電ペースト除去手段としても利用できるようにした構成も本願発明の範囲内に含まれるものである。 The first conductive paste applying unit removes the conductive paste from the flat surface holding the conductive paste using, for example, a squeegee so that the flat surface becomes the flat surface of the first conductive paste removing unit. It can also be configured to be used as As described above, a configuration in which the first conductive paste applying unit can be used as the first conductive paste removing unit is also included in the scope of the present invention.
また、請求項9の電子部品の製造装置のように、請求項7または8記載の発明の構成において、(a)第1の導電ペースト除去手段において、平坦面に移行した導電ペーストを除去するための除去手段、および、(b)第2の導電ペースト除去手段において、余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去するための除去手段として、スキージを用いることにより、上記第1および第2の導電ペースト除去手段における導電ペーストの除去を効率よく行うことが可能になりさらに本願発明を実効あらしめることができる。 Further, as in the electronic component manufacturing apparatus according to claim 9, in the configuration of the invention according to claim 7 or 8, (a) the first conductive paste removing means removes the conductive paste transferred to the flat surface. And (b) in the second conductive paste removing means, by using a squeegee as the removing means for removing the conductive paste transferred to the surplus conductive paste removal surface, the first and second It is possible to efficiently remove the conductive paste in the conductive paste removing means, and the present invention can be effectively realized.
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。 The features of the present invention will be described in more detail below with reference to examples of the present invention.
この実施例1では、図2に示すように、セラミック素子(電子部品素子)1中に、複数の内部電極2(2a,2b)がセラミック層3を介して積層、配設され、かつ、セラミック層3を介して互いに対向する内部電極2(2a,2b)が交互にセラミック素子(電子部品素子)1の逆側の端面に引き出されて、セラミック素子1の両端面4(4a,4b)に形成された一対の外部電極5(5a,5b)に接続された構造を有する積層セラミックコンデンサ(電子部品)10を製造する場合において、セラミック素子(電子部品素子)1の両端部に外部電極5(5a,5b)を形成する方法を例にとって説明する。
In the first embodiment, as shown in FIG. 2, a plurality of internal electrodes 2 (2a, 2b) are laminated and disposed in a ceramic element (electronic component element) 1 via a
この実施例1では、図2に示すようなセラミック素子(電子部品素子)1の両端部に外部電極5を形成するにあたって、図1に示すような構成を有する装置を用いた。
この装置は、電子部品素子1を、保持し、移動させる電子部品素子保持取扱手段11と、電子部品素子1の外部電極が形成されるべき端面4(4a,4b)(図2)が浸漬される導電ペースト12を保持する平坦面13aを備えた導電ペースト保持手段(プレート)13と、導電ペースト保持手段13の平坦面13a上に導電ペースト12を所定の厚みとなるように供給する導電ペースト供給手段14とを備え、電子部品素子保持取扱手段11により保持された、電子部品素子1の端面4を、導電ペースト保持手段13の平坦面13aに所定の厚みで塗布された導電ペースト12に浸漬し(図3(a),(b))、引き上げる(図3(c))ことにより、電子部品素子1の端面4に導電ペースト12を付着させることができるように構成された第1の導電ペースト付与手段16を備えている。
In Example 1, when the
In this apparatus, an electronic component element holding / handling means 11 for holding and moving the
この第1の導電ペースト付与手段16は、本願発明の電子部品の製造装置における第1の導電ペースト除去手段17としても機能するように構成されている。
すなわち、この第1の導電ペースト付与手段16は、導電ペースト12が付着した電子部品素子1の端面4が押し付けられる平坦面13aを備え(図4(a),(b))、電子部品素子保持取扱手段11により保持された電子部品素子1の端面4を該平坦面13aに押し付けた後、引き離す(図4(c))ことにより、電子部品素子1の端面4に付着した導電ペースト12のうち、コーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペースト12を平坦面13aに移行させ、その後平坦面13a上に付着した導電ペーストをスキージ15(図1)により実質的に除去することが可能である。また、電子部品素子1の端面4から平坦面13aに移行した導電ペースト12を除去することにより、次の導電ペーストの付与工程に備える第1の導電ペースト除去手段17としても機能するように構成されている。
The first conductive
That is, the first conductive
さらに、第1の導電ペースト付与手段16は、本願発明の電子部品の製造方法における第2の導電ペースト付与手段18としても機能するように構成されている。
すなわち、この第2の導電ペースト付与手段18は、電子部品素子1の外部電極が形成されるべき端面4が浸漬される導電ペースト12を保持する平坦面13aを備えた導電ペースト保持手段13と、導電ペースト保持手段13の平坦面13a上に所定の厚みとなるように導電ペースト12を供給する導電ペースト供給手段14とを備え、電子部品素子保持取扱手段11に保持された電子部品素子1を、導電ペースト保持手段13の平坦面13a上の導電ペースト12に浸漬し(図5(a)、(b))、引き上げる(図5(c))ことにより、電子部品素子1の端面4に導電ペースト12を付着させることができるように構成された第2の導電ペースト付与手段18としても機能するように構成されている。
Further, the first conductive
That is, the second conductive paste applying means 18 includes a conductive paste holding means 13 having a
また、この実施例1の電子部品の製造装置は、第2の導電ペースト付与手段18を用いて第2の導電ペースト付与工程を実施することにより、端面4に導電ペーストを付着させた電子部品素子1の端面4が押し付けられる、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面21を有し、第2の導電ペースト付与工程において導電ペースト12を付着させた電子部品素子1の端面4を、余剰導電ペースト除去面21に押し付けた後、引き離すことにより、導電ペースト12の盛り上がった部分12aを含む余剰部分を除去することが可能で(図6(a)、(b)、(c))、かつ、電子部品素子1の端面4から余剰導電ペースト除去面21に移行した導電ペースト12(図6(c))をスキージ25(図1)により除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第2の導電ペースト除去手段22を備えている。
In addition, the electronic component manufacturing apparatus according to the first embodiment performs the second conductive paste applying step using the second conductive paste applying unit 18, thereby allowing the electronic component element to adhere the conductive paste to the
次に、上記のように構成された製造装置を用いて電子部品を製造する方法(外部電極を形成する方法)について説明する。 Next, a method for manufacturing an electronic component (a method for forming an external electrode) using the manufacturing apparatus configured as described above will be described.
(1)まず、外部電極を形成すべき端面の稜線部に、丸みのある面取り加工がなされた電子部品素子1を用意する。
(1) First, the
(2)導電ペースト供給手段14(図1)により、図3(a)に示すように、導電ペースト保持手段(プレート)13上に、一定の厚みとなるように、導電ペースト12を供給する。このとき、導電ペースト12の厚みは電子部品素子1の稜線部の面取り加工部の曲率半径とほぼ同じ厚みとすることが望ましい。これは、導電ペースト12の厚みを稜線部の面取り加工部の曲率半径とほぼ同じとすることにより、電子部品素子1の側面部に回り込んだ導電ペーストの塗布厚みが過度に厚くなることを防止して、外部電極の厚み(導電ペーストの塗布厚み)のばらつきを抑制しつつ、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みを確保しやすくなることによる。
(2) The conductive paste supply means 14 (FIG. 1) supplies the
(3)次に、図3(b)に示すように、電子部品素子1の端面4を、導電ペースト保持手段(プレート)13上に塗布された導電ペースト12に浸漬し、引き上げる(図3(c))ことにより、電子部品素子1の端面4に導電ペースト12を付着させる(第1の導電ペーストの付与工程)。
(3) Next, as shown in FIG. 3B, the
(4)それから、スキージ15(図1)により、導電ペースト保持手段(プレート)13の平坦面13aの導電ペースト12を除去し、図4(a)、(b)に示すように、導電ペースト12の除去された状態の平坦面13aに、前記(3)の工程で導電ペースト12が塗布された直後の電子部品素子1の端面4を押し付ける。そして、図4(c),(d)に示すように、電子部品素子1を引き上げることにより、電子部品素子1の端面4に付着した導電ペースト12のうち、端面4のコーナー部1aおよび稜線部1bを除く部分に付着した導電ペースト12を実質的に除去する(第1の導電ペーストの除去工程)。このとき、端面4のコーナー部1aおよび稜線部1bを除く部分に付着した導電ペースト12は平坦面13a上に転写され、端面4のコーナー部1aおよび稜線部1bに付着した導電ペースト12はほぼそのまま残留する。
なお、図4(c)は、端面4全体に導電ペースト12が付着している状態を示す図4(a)との対比を明瞭に示すため、端面3のコーナー部1aのみに導電ペーストを付着している状態を示しているが、実際には、図4(c)の段階では、端面4のコーナー部1aのみではなく稜線部1bにも導電ペーストが付着している。
なお、端面4のコーナー部1aおよび稜線部1bを除く部分に付着した導電ペースト12の主要部が除去できればよく、少量残存しても問題はない。
(4) Then, the
4 (c) shows the state where the
It should be noted that the main portion of the
(5)それから、端面4のコーナー部1aおよび稜線部1bに付着した導電ペースト12を一旦乾燥させる。このときの乾燥は、導電ペースト中の溶剤成分を完全に乾燥させる必要はなく、コーナー部1aおよび稜線部1bに導電ペースト12が定着し、流動性がなくなる程度でよい。
(5) Then, the
(6)その後、図5(a)に示すように、導電ペースト保持手段(プレート)13の平坦面13a上に、一定の厚みとなるように、導電ペースト12を供給する。このときの導電ペーストの厚みは、製品において、電子部品素子の側面に回り込ませることが必要な距離E(図2参照)に略対応する厚みとすることが望ましい。それから、図5(b)に示すように、導電ペースト12中に、上記(4)の工程で予めコーナー部1aおよび稜線部1bに導電ペースト12を付着させた電子部品素子1の端面4を浸漬し、引き上げる(図5(c))ことによって端面4に導電ペースト12を付着させる(第2の導電ペースト付与工程)。
(6) Thereafter, as shown in FIG. 5A, the
(7)次に、前記(6)の工程において、導電ペースト12が塗布された直後の電子部品素子1の端面4を、図6(a),(b)に示すように、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面21に押し付けた後、図6(c)に示すように、引き離すことにより、端面に塗布された導電ペースト12の盛り上がった部分12aを含む余剰部分を除去する(第2の導電ペーストの除去工程)。
(7) Next, in the step (6), the
これにより、電子部品素子1の端面4のコーナー部1aおよび稜線部1bにおいては導電ペーストが必要な厚みを有するとともに、端面4の中央領域1cにおいては導電ペースト12の厚みがほぼ均一で、かつ、必要な厚みを有するような態様で電子部品素子1の端面4に導電ペースト12を塗布することが可能になる。
Thereby, the
そして、このようにして、端面4に外部電極形成用の導電ペーストが塗布された電子部品素子を、導電ペーストの乾燥後に所定の条件で熱処理して導電ペーストを焼き付けることにより、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部において必要な厚みを有し、導通信頼性に優れた密閉性の高い外部電極を形成することが可能になる。
In this way, the electronic component element having the
また、この実施例1の電子部品の製造方法(製造装置)によれば、特許文献1の製造装置の場合のように、治具の内側に電子部品素子を挿入するための位置決め作業が不要で、生産性を向上させることができる。
Further, according to the electronic component manufacturing method (manufacturing apparatus) of the first embodiment, the positioning operation for inserting the electronic component element inside the jig is not required as in the case of the manufacturing apparatus of
なお、図1の製造装置では、第2の導電ペースト除去手段22が他の手段とは別に構成されているが、図7に示すように、第2の導電ペースト除去手段22を他の手段と一体に構成することも可能である。なお、図7において、図1と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
In the manufacturing apparatus of FIG. 1, the second conductive
図8は、本願発明の他の実施例(実施例2)にかかる電子部品の製造装置の構成を示す図である。
なお、上記実施例1では、第2の導電ペースト除去手段を備えた構成の電子部品の製造装置を例にとって説明したが、本願発明においては、この実施例2の場合のように、第2の導電ペースト除去手段を備えていない構成、すなわち、図8に示すように、電子部品素子1を保持し、移動させる電子部品素子保持取扱手段11と、第1の導電ペースト付与手段16と、第1の導電ペースト除去手段17と、第2の導電ペースト付与手段18とを備えた構成とすることも可能である。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of an electronic component manufacturing apparatus according to another embodiment (second embodiment) of the present invention.
In the first embodiment, the electronic component manufacturing apparatus having the second conductive paste removing means has been described as an example. However, in the present invention, as in the case of the second embodiment, the second As shown in FIG. 8, the electronic component element holding / handling means 11 for holding and moving the
この実施例2の構成の場合にも、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部において必要な厚みを有し、導通信頼性、密閉性に優れた外部電極を形成することができるという本願発明の基本的な効果を奏する。 Even in the case of the configuration of the second embodiment, the present invention can form an external electrode having a necessary thickness at the corner portion and the ridge line portion of the end face of the electronic component element and excellent in conduction reliability and sealing performance. Has the basic effect of.
なお、図9は上記実施例1の方法により製造した電子部品(積層セラミックコンデンサ)の要部を示す図、図10は上記実施例2の方法により製造した電子部品(積層セラミックコンデンサ)の要部を示す図、図11は、参考例として、第2の導電ペーストの付与工程のみを実施して(第1の導電ペースト付与工程、第1の導電ペースト除去工程、および第2の導電ペースト除去工程は実施せず)製造した電子部品(積層セラミックコンデンサ)の要部を示す図、図12は、従来の、導電ペースト除去工程を設けずに、導電ペーストの塗布を繰り返す方法によりコーナー部および稜線部の厚みを確保する方法により製造した電子部品(積層セラミックコンデンサ)の要部を示す図である。 FIG. 9 is a diagram showing the main part of an electronic component (multilayer ceramic capacitor) manufactured by the method of Example 1, and FIG. 10 is the main part of the electronic component (multilayer ceramic capacitor) manufactured by the method of Example 2. FIG. 11 shows, as a reference example, only the second conductive paste applying step (first conductive paste applying step, first conductive paste removing step, and second conductive paste removing step) FIG. 12 is a diagram showing a main part of a manufactured electronic component (multilayer ceramic capacitor), and FIG. 12 shows a corner portion and a ridge line portion by a conventional method of repeatedly applying a conductive paste without providing a conductive paste removing step. It is a figure which shows the principal part of the electronic component (multilayer ceramic capacitor) manufactured by the method of ensuring the thickness of this.
図9に示すように、上記実施例1の方法により製造した電子部品においては、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みAが必要な厚みを有し、かつ、電子部品素子の端面の中央領域における外部電極の厚みBがほぼ均一な、導通信頼性に優れた密閉性の高い外部電極が形成されることが確認された。
なお、ここでいう、コーナー部および稜線部における外部電極の厚みAは、内部電極2の最外層が端面4に導出されている部分(内部電極引出部)の厚みのことであり、文字どおりのコーナー部および稜線部の外部電極の厚みではない。ただし、外部電極の厚みAは、コーナー部および稜線部の外部電極の実際の厚みと相関があり、かつ、近似した値であり、コーナー部および稜線部の外部電極の実際の厚みを表すものとして使用できる値である。
なお、この実施例1の電子部品(図9)の外部電極の厚みは、端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みAが10〜12μm、端面の中央領域における外部電極の厚みBが最大部分で25〜30μmであった。
上記外部電極の厚みAおよび厚みBは、セラミック素子1を、内部電極2の引き出し方向(図9の矢印Cの方向)と平行で、かつ、内部電極の主面と直交する方向に、内部電極の幅方向に異なる位置(複数の位置)で切断し、各切断端面について測定した値の最小値と最大値の範囲を示している。
As shown in FIG. 9, in the electronic component manufactured by the method of the first embodiment, the thickness A of the external electrode at the corner portion and the ridge line portion of the end surface of the electronic component element has a necessary thickness, and the electronic component It was confirmed that an external electrode having a substantially uniform outer electrode thickness B in the central region of the end face of the element and having a high sealing property with excellent conduction reliability was formed.
Here, the thickness A of the external electrode at the corner portion and the ridge line portion is the thickness of the portion (internal electrode lead-out portion) where the outermost layer of the
The thickness of the external electrode of the electronic component (FIG. 9) of Example 1 is 10 to 12 μm at the corners and ridges of the end face, and the maximum thickness B of the external electrode at the center area of the end face. The portion was 25-30 μm.
The thickness A and the thickness B of the external electrode are such that the
また、図10に示すように、実施例2の方法により製造した電子部品においては、上記実施例1の場合よりも、電子部品素子の端面の中央領域における外部電極の厚みBがいくらか大きくなるが、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みAが必要な厚みを有し、導通信頼性の高い外部電極が形成されることが確認された。
なお、この実施例2の電子部品の外部電極の厚みは、端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みAが10〜15μm、端面の中央領域における外部電極の厚みBが最大部分で60〜70μmであった。
Also, as shown in FIG. 10, in the electronic component manufactured by the method of Example 2, the thickness B of the external electrode in the central region of the end surface of the electronic component element is somewhat larger than in the case of Example 1 above. It was confirmed that the external electrode thickness A at the corner portion and the ridge line portion of the end face of the electronic component element had a necessary thickness, and an external electrode with high conduction reliability was formed.
In addition, the thickness of the external electrode of the electronic component of Example 2 is 10 to 15 μm at the corners and ridges of the end faces, and the maximum thickness B of the external electrodes at the center area of the end faces is 60 to 60 μm. It was 70 μm.
また、図11に示すように、第2の導電ペーストの付与工程のみを実施して(第1の導電ペースト付与工程、第1の導電ペースト除去工程、および第2の導電ペースト除去工程は実施せず)製造した参考例の電子部品においては、上記実施例1および2の場合に比べて、端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みAが実施例1および2の場合よりも小さく、密閉性の極めて不十分な外部電極しか形成できないことが確認された。
なお、この参考例の電子部品の外部電極の厚みは、端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚みAが3〜8μm、端面の中央領域における外部電極の厚みBが最大部分で60〜70μmであった。
Further, as shown in FIG. 11, only the second conductive paste applying step is performed (the first conductive paste applying step, the first conductive paste removing step, and the second conductive paste removing step are not performed). In the manufactured electronic component of the reference example, the thickness A of the external electrode at the corner portion and the ridge line portion of the end face is smaller than that in the case of the first and second embodiments, and the sealing is hermetically sealed. It was confirmed that only external electrodes with extremely insufficient properties could be formed.
In addition, the thickness of the external electrode of the electronic component of this reference example is 3 to 8 μm at the corners and ridges of the end face, and 60 to 70 μm at the maximum thickness B of the external electrode in the center area of the end face. Met.
また、図12に示すように、導電ペースト除去工程を設けずに、導電ペーストの塗布を繰り返す方法によりコーナー部および稜線部の外部電極の厚みAを確保するように構成された従来の方法により製造した電子部品においては、電子部品素子の端面の中央領域における外部電極の厚みBが著しく大きく、外部電極の膜厚が不均一で好ましくない外部電極しか形成されないことが確認された。
なお、この従来例の電子部品の外部電極の厚みは、端面のコーナー部および稜線部の外部電極の厚みAが10〜15μm、端面の中央領域における外部電極の厚みBが最大部分で120μm以上であった。
In addition, as shown in FIG. 12, without providing a conductive paste removal step, the manufacturing method is performed by a conventional method configured to ensure the thickness A of the external electrode at the corner portion and the ridge line portion by a method of repeatedly applying the conductive paste. In the electronic component, it was confirmed that the thickness B of the external electrode in the central region of the end face of the electronic component element is remarkably large, and only the external electrode that is not preferable because the thickness of the external electrode is uneven is formed.
In addition, the thickness of the external electrode of the electronic component of this conventional example is 10 to 15 μm for the external electrode at the corner portion and the ridge line portion of the end surface, and the maximum thickness B of the external electrode in the central region of the end surface is 120 μm or more. there were.
また、上記実施例1および2と同様の製造方法において作製した別の電子部品素子について、以下のX断面およびY断面における
(1)側面に回り込んだ外部電極の厚み
(2)稜線部における外部電極の厚み
(3)最外層の内部電極引出部における外部電極の厚み
(4)中央領域における外部電極の厚み
を測定した。
Further, regarding another electronic component element manufactured by the same manufacturing method as in Examples 1 and 2, the following X cross section and Y cross section
(1) The thickness of the external electrode that wraps around the side
(2) External electrode thickness at the ridge
(3) External electrode thickness at the outermost internal electrode lead-out part
(4) The thickness of the external electrode in the central region was measured.
なお、X断面とは、セラミック素子1を、内部電極2の引き出し方向(図9の矢印Cの方向)と平行で、かつ、内部電極の主面と直交する方向に、内部電極の幅方向の中央部で切断したときの切断面であり、Y断面とは、内部電極2の引き出し方向(図9の矢印Cの方向)と平行で、かつ、内部電極の主面と直交する方向に、内部電極の幅方向の端部側の位置で、かつ内部電極の端部が切断される位置で切断したときの切断面である。
上記の外部電極の各部位の厚みは表1の通りであった。
The X cross section means that the
The thickness of each part of the external electrode was as shown in Table 1.
表1において、稜線部における外部電極の厚み(平均値)が、最外層の内部電極引出部における外部電極の厚み(平均値)よりも小さくなっている場合があるが、最外層の内部電極引出部における外部電極の厚みがある程度以上(例えば10μm以上)であれば十分な導通信頼性を確保することが可能であり、また、稜線部における外部電極の厚みがその値(例えば10μm)をいくらか下回る程度であれば、外部電極に要求される密閉性を満足することが可能である。したがって、表1のデータから、実施例1および2の方法によれば、実用上必要な特性を備えた外部電極を形成することが可能であると判断することができる。 In Table 1, the thickness (average value) of the external electrode in the ridge line portion may be smaller than the thickness (average value) of the external electrode in the internal electrode extraction portion of the outermost layer. If the thickness of the external electrode in the portion is at least a certain level (for example, 10 μm or more), sufficient conduction reliability can be ensured, and the thickness of the external electrode in the ridge line portion is somewhat less than that value (for example, 10 μm). If it is about the extent, it is possible to satisfy the sealing performance required for the external electrode. Therefore, it can be determined from the data in Table 1 that according to the methods of Examples 1 and 2, it is possible to form an external electrode having practically necessary characteristics.
なお、上記実施例1および2では、積層セラミックコンデンサを例にとって説明したが、本願発明は積層セラミックコンデンサに限られるものではなく、インダクタ、バリスタ、その他の外部電極を備えた種々の電子部品を製造する場合に広く適用することが可能である。 In the first and second embodiments, the multilayer ceramic capacitor has been described as an example. However, the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and various electronic components including an inductor, a varistor, and other external electrodes are manufactured. It is possible to apply widely when doing.
本願発明は、さらにその他の点においても、上記実施例に限定されるものではなく、電子部品素子保持取扱手段、第1の導電ペースト付与手段(第1の導電ペースト付与工程)、第1の導電ペースト除去手段(第1の導電ペースト除去工程)、第2の導電ペースト付与手段(第2の導電ペースト付与工程)、第2の導電ペースト除去手段(第2の導電ペースト除去工程)の具体的な構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。 The invention of the present application is not limited to the above-described embodiment in other points as well, and the electronic component element holding / handling means, the first conductive paste applying means (first conductive paste applying step), and the first conductive Specifics of paste removing means (first conductive paste removing step), second conductive paste applying means (second conductive paste applying step), and second conductive paste removing means (second conductive paste removing step) Various applications and modifications can be added to the configuration and the like within the scope of the invention.
上述のように、本願発明によれば、電子部品の端面の中央領域において外部電極の厚みが大きくなり過ぎることを抑制しつつ、電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部において外部電極に必要な厚みを持たせることが可能で、接続信頼性や密閉性に優れた外部電極を備えた信頼性の高い電子部品を効率よく製造することが可能になる。
したがって、本願発明は、積層セラミックコンデンサ、インダクタ、バリスタをはじめとする、外部電極を備えた種々の電子部品を製造する場合に広く適用することが可能である。
As described above, according to the present invention, it is necessary for the external electrode in the corner portion and the ridge line portion of the end surface of the electronic component element while suppressing the thickness of the external electrode from becoming too large in the central region of the end surface of the electronic component. It is possible to increase the thickness, and it is possible to efficiently manufacture a highly reliable electronic component including an external electrode having excellent connection reliability and sealing performance.
Therefore, the present invention can be widely applied to the production of various electronic components including external electrodes such as multilayer ceramic capacitors, inductors, and varistors.
1 セラミック素子(電子部品素子)
1a 端面のコーナー部
1b 端面の稜線部
1c 端面の中央領域
2(2a,2b) 内部電極
3 セラミック層
4(4a,4b) セラミック素子の端面
5(5a,5b) 外部電極
10 積層セラミックコンデンサ(電子部品)
11 電子部品素子保持取扱手段
12 導電ペースト
12a 導電ペーストの盛り上がった部分
13 導電ペースト保持手段(プレート)
13a 平坦面
14 導電ペースト供給手段
15 スキージ
16 第1の導電ペースト付与手段
17 第1の導電ペースト除去手段
18 第2の導電ペースト付与手段
21 余剰導電ペースト除去面
22 第2の導電ペースト除去手段
25 スキージ
A 電子部品素子の端面のコーナー部および稜線部における外部電極の厚み
B 電子部品素子の端面の中央領域における外部電極の厚み
C 内部電極の引き出し方向
1 Ceramic element (electronic component element)
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
13a
Claims (9)
(a)前記電子部品素子の外部電極が形成されるべき端面を外部電極形成用の導電ペーストに浸漬して、前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させる第1の導電ペースト付与工程と、
(b)前記電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を、導電ペーストが塗布されていない平坦面に押し付けた後、前記電子部品素子の端面を前記平坦面から引き離すことにより、前記電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、前記端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去する第1の導電ペースト除去工程と、
(c)前記第1の導電ペースト除去工程において、前記端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストが除去され、前記端面のコーナー部および稜線部に導電ペーストが付着した電子部品素子の該端面を導電ペーストに浸漬して該端面全体に導電ペーストを付着させる第2の導電ペースト付与工程と
を具備することを特徴とする電子部品の製造方法。 In a method of forming an external electrode by applying and baking a conductive paste on a region including an end face of an electronic component element,
(a) a first conductive paste applying step of immersing an end face on which the external electrode of the electronic component element is to be formed in a conductive paste for forming an external electrode, and attaching the conductive paste to the end face of the electronic component element;
(b) After pressing the end surface of the electronic component element to which the conductive paste is attached to a flat surface to which the conductive paste is not applied , the end surface of the electronic component element is separated from the flat surface. A first conductive paste removing step of removing the conductive paste attached to a portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face among the conductive paste attached to the end face;
(c) An electronic component element in which, in the first conductive paste removing step, the conductive paste attached to a portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face is removed , and the conductive paste is attached to the corner portion and the ridge line portion of the end face And a second conductive paste applying step of immersing the end face of the conductive paste in a conductive paste to attach the conductive paste to the entire end face.
前記第1の導電ペースト除去工程においては、前記平坦面上の導電ペーストを除去した後、導電ペーストが除去された前記平坦面に、前記電子部品素子の導電ペーストが付着した端面を押し付けた後、前記電子部品素子の端面を前記平坦面から引き離すことにより、前記電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、前記端面のコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去すること
を特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電子部品の製造方法。 In the first conductive paste applying step, the conductive paste is applied on the flat surface to have a predetermined thickness, and then the end surface on which the external electrode of the electronic component element is to be formed is immersed in the conductive paste. , Attaching a conductive paste to the end face of the electronic component element,
In the first conductive paste removal step, after removing the conductive paste on the flat surface, after pressing the end surface to which the conductive paste of the electronic component element is attached to the flat surface from which the conductive paste has been removed, By removing the end face of the electronic component element from the flat surface, the conductive paste attached to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion of the end face is removed from the conductive paste attached to the end surface of the electronic component element. The manufacturing method of the electronic component in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
前記第2の導電ペースト付与工程において、前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去して、次の第2の導電ペースト除去工程に備えること
を特徴とする請求項5記載の電子部品の製造方法。 In the first conductive paste application step, the conductive paste transferred to the flat surface is removed to prepare for the next first conductive paste removal step; and
6. The electronic component according to claim 5, wherein in the second conductive paste application step, the conductive paste transferred to the surplus conductive paste removal surface is removed to prepare for the next second conductive paste removal step. Production method.
(b)導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面が押し付けられる平坦面を備え、前記電子部品素子の端面を該平坦面に押し付けた後、引き離すことにより、前記電子部品素子の端面に付着した導電ペーストのうち、コーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去することが可能で、かつ、前記電子部品素子の端面から前記平坦面に移行した導電ペーストを除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第1の導電ペースト除去手段と、
(c)導電ペーストを保持する平坦面を備えた導電ペースト保持手段と、前記平坦面上に導電ペーストを供給する導電ペースト供給手段とを備え、前記第1の導電ペースト除去手段によりコーナー部および稜線部を除く部分に付着した導電ペーストを除去した電子部品素子の端面を、前記導電ペースト保持手段の前記平坦面に保持された導電ペーストに浸漬して、前記電子部品素子の端面に導電ペーストを付着させることができるように構成された第2の導電ペースト付与手段と、
(d)前記第2の導電ペースト付与手段を用いて端面に導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面が押し付けられる、表面に凹凸が形成された余剰導電ペースト除去面を有する第2の導電ペースト除去手段であって、前記第2の導電ペースト付与手段により導電ペーストを付着させた前記電子部品素子の端面を、前記余剰導電ペースト除去面に押し付けた後、引き離すことにより、導電ペーストの盛り上がった部分を含む余剰部分を除去することが可能で、かつ、前記電子部品素子の端面から前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去することにより、次の導電ペーストの除去工程に備えることができるように構成された第2の導電ペースト除去手段と、
(e)前記(a)の第1の導電ペースト付与手段、前記(b)の第1の導電ペースト除去手段、前記(c)の第2の導電ペースト付与手段、および前記(d)の第2の導電ペースト除去手段を用いて、導電ペーストの付与および除去を行うにあたって、電子部品素子を、保持し、所定の経路で移動させる電子部品素子保持取扱手段と
を具備することを特徴とする電子部品の製造装置。 (a) Conductive paste holding means having a flat surface for holding a conductive paste in which an end surface on which an external electrode of an electronic component element is to be formed is immersed, and supplying the conductive paste on the flat surface of the conductive paste holding means A conductive paste supplying means, and the conductive paste is attached to the end face of the electronic component element by immersing the end face of the electronic component element in the conductive paste held on the flat surface of the conductive paste holding means. First conductive paste applying means configured to be capable of:
(b) a flat surface on which the end surface of the electronic component element to which the conductive paste is attached is pressed, and the end surface of the electronic component element is pressed against the flat surface and then pulled away to adhere to the end surface of the electronic component element Of the conductive paste, it is possible to remove the conductive paste attached to the portion excluding the corner portion and the ridge line portion, and by removing the conductive paste transferred from the end surface of the electronic component element to the flat surface, A first conductive paste removing means configured to be prepared for the next conductive paste removing step;
(c) a conductive paste holding means having a flat surface for holding the conductive paste; and a conductive paste supply means for supplying the conductive paste on the flat surface; and a corner portion and a ridge line by the first conductive paste removing means. The end face of the electronic component element from which the conductive paste attached to the portion excluding the portion is removed is immersed in the conductive paste held on the flat surface of the conductive paste holding means, and the conductive paste is attached to the end face of the electronic component element. A second conductive paste applying means configured to be able to be
(d) Second conductive having a surplus conductive paste removal surface with irregularities formed on the surface, on which the end surface of the electronic component element having the conductive paste attached to the end surface using the second conductive paste applying means is pressed. Paste removing means for pressing the end surface of the electronic component element, to which the conductive paste is attached by the second conductive paste applying means, against the surplus conductive paste removing surface, and then pulling it apart to raise the conductive paste. It is possible to remove a surplus portion including a portion, and to prepare for the next step of removing the conductive paste by removing the conductive paste transferred from the end face of the electronic component element to the surplus conductive paste removal surface. A second conductive paste removing means configured to be capable of:
(e) the first conductive paste applying means (a), the first conductive paste removing means (b), the second conductive paste applying means (c), and the second conductive paste applying means (d) An electronic component comprising: an electronic component element holding and handling means for holding and moving the electronic component element in a predetermined path when applying and removing the conductive paste using the conductive paste removing means of Manufacturing equipment.
(b)前記第2の導電ペースト除去手段において、前記余剰導電ペースト除去面に移行した導電ペーストを除去するための除去手段
として、スキージが用いられていることを特徴とする請求項7または8記載の電子部品の製造装置。 (a) In the first conductive paste removing means, a removing means for removing the conductive paste that has moved to the flat surface; and
9. The squeegee is used as the removing means for removing the conductive paste transferred to the surplus conductive paste removing surface in the second conductive paste removing means. Electronic component manufacturing equipment.
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