JP4517778B2 - Fine hole drilling method and liquid jet head manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、プレス加工により金属基板に直径や長辺が0.5mm以下程度の円形や矩形等の微細穴を穿設加工する微細穴の穿設加工方法およびそれに用いる工具および液体噴射ヘッドの製造方法ならびに液体噴射ヘッドの製造装置に関するものである。   The present invention relates to a fine hole drilling method for punching a circular hole or a rectangular hole having a diameter and long side of about 0.5 mm or less on a metal substrate by press working, and a tool used therefor and manufacturing of a liquid jet head The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a liquid jet head.

液体噴射ヘッドの一例として用いられているインクジェット式記録ヘッド(以下「記録ヘッド」という)は、共通インク室から圧力発生室を経てノズル開口に至る一連の流路を、ノズル開口に対応して複数備えている。そして、小型化の要請から各圧力発生室は、記録密度に対応した細かいピッチで形成する必要がある。このため、隣り合う圧力発生室同士を区画する隔壁部の肉厚は極めて薄くなっている。また、圧力発生室と共通インク室とを連通するインク供給口は、圧力発生室内のインク圧力をインク滴の吐出に効率よく使用するため、その流路幅が圧力発生室よりもさらに絞られている。   An ink jet recording head (hereinafter referred to as “recording head”) used as an example of a liquid ejecting head has a plurality of flow paths corresponding to the nozzle openings from a common ink chamber to a nozzle opening through a pressure generation chamber. I have. In order to reduce the size, each pressure generating chamber needs to be formed with a fine pitch corresponding to the recording density. For this reason, the wall thickness of the partition wall that partitions adjacent pressure generation chambers is extremely thin. In addition, the ink supply port that connects the pressure generation chamber and the common ink chamber uses the ink pressure in the pressure generation chamber more efficiently for ejecting ink droplets, so that the flow path width is further narrowed than the pressure generation chamber. Yes.

そして、これらの圧力発生室や圧力発生室をノズル開口に連通する連通口等は、金属製基板に塑性加工を行なって成形されている。特に、上記連通口は、圧力発生室を成形した後から加工されるので、圧力発生室成形時に発生した圧力発生室形成板の変形状態に適合した加工が望まれる。
特開2004−98164号公報
The pressure generating chambers and the communication ports that connect the pressure generating chambers to the nozzle openings are formed by performing plastic working on the metal substrate. In particular, the communication port is processed after the pressure generating chamber is formed, and therefore processing suitable for the deformation state of the pressure generating chamber forming plate generated at the time of forming the pressure generating chamber is desired.
JP 2004-98164 A

ところで、雄型と雌型との間に圧力発生室形成板を配置し、雄型と雌型との動作ストロークが最大値になって金属製基板の塑性変形が完了した状態から、雄型と雌型が元位置に復帰すると、雄型と雌型から開放された圧力発生室形成板は内部応力によって、圧力発生室の列設方向で見て緩やかな湾曲形状となる。この湾曲形状は、圧力発生室が開口している側を上側に圧力発生室の底部を下側にして圧力発生室形成板を略水平状態にした場合、列設された圧力発生室の列設端部が上位に位置し、この列設端部から中央部に向って徐々に下位になって行く形状となっている。   By the way, the pressure generating chamber forming plate is arranged between the male mold and the female mold, and the state in which the operation stroke between the male mold and the female mold becomes the maximum value and the plastic deformation of the metal substrate is completed, When the female mold returns to the original position, the pressure generation chamber forming plate released from the male mold and the female mold becomes a gentle curved shape when viewed in the direction in which the pressure generation chambers are arranged due to internal stress. When the pressure generation chamber forming plate is in a substantially horizontal state with the open side of the pressure generation chamber on the upper side and the bottom of the pressure generation chamber on the lower side, this curved shape is arranged in a row. The end portion is located at the upper portion, and the shape gradually becomes lower from the row end portion toward the central portion.

このように湾曲形状に沿って配列されている圧力発生室の底部に上記連通口を成形するため、圧力発生室の列設ピッチと同じピッチを有する列状のポンチが準備される。しかし、この多数列設されたいわゆるポンチ列の先端位置が一直線状に配列されているため、ポンチを溝状窪部の深さ方向押込んで行くと、ポンチ列の端部もしくは端部近傍のポンチが最初に列設端部またはその近傍の溝状窪部の底部に食込み、その後、各ポンチが中央側の溝状窪部の底部に順次食込んで行く。   Thus, in order to form the communication port at the bottom of the pressure generating chambers arranged along the curved shape, a row of punches having the same pitch as the row pitch of the pressure generating chambers is prepared. However, since the tip positions of so-called punch rows arranged in multiple rows are arranged in a straight line, when the punch is pushed in the depth direction of the groove-like recess, punches at or near the end of the punch row First, the punches bite into the bottom of the groove-like recesses at or near the row end, and then each punch sequentially bites into the bottom of the central groove-like recess.

このようなポンチの食込みは、端部もしくは端部近傍のポンチに対してポンチ列の中央部側に寄せ付けようとする力が作用する。このため、端部もしくは端部近傍のポンチがポンチ列の中央部側に曲がったり折損したりするおそれがある。このようにポンチが曲がったりすると、連通口の加工位置がずれて加工精度の低下を招くことになる。また、端部または端部近傍のポンチの耐久性が低下し、ポンチとしての寿命が短くなり不経済である。さらに、ポンチが折損するようなことが発生した場合には、交換のために生産が一時休止したり種々な処理費用がかかったりして不経済である。また、圧力発生室に設けられる連通口の大きさが著しく微細であるために、各ポンチは非常に細く、また、所定の長さが長くなり、それに伴って加工抵抗に対する剛性が不足しやすく、上記の問題点が一層重要なものとなる。   Such punch encroachment acts on a punch near the end or in the vicinity of the end to exert a force toward the center of the punch row. For this reason, there exists a possibility that the punch of an edge part or an edge part may bend or break to the center part side of a punch row | line | column. When the punch is bent in this manner, the processing position of the communication port is shifted, and the processing accuracy is lowered. Further, the durability of the punch at or near the end is lowered, and the life as a punch is shortened, which is uneconomical. Furthermore, when the punch breaks, production is temporarily suspended for replacement and various processing costs are incurred, which is uneconomical. In addition, since the size of the communication port provided in the pressure generating chamber is remarkably fine, each punch is very thin, and the predetermined length becomes long, and accordingly, the rigidity against the processing resistance is likely to be insufficient, The above problems become even more important.

上記の問題点は、溝状窪部の列設方向における各ポンチの剛性に関するものであるが、他方、溝状窪部すなわち圧力発生室の長手方向における各ポンチの剛性を確保することも重要な課題である。   The above problem relates to the rigidity of the punches in the direction in which the groove-like recesses are arranged. On the other hand, it is also important to ensure the rigidity of each punch in the longitudinal direction of the groove-like recesses, that is, the pressure generating chamber. It is a problem.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、塑性加工により微細穴を精度よく形成することができる微細穴の穿設加工方法およびそれに用いる工具および液体噴射ヘッドの製造方法ならびに液体噴射ヘッドの製造装置の提供を目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and a method for drilling a microhole capable of accurately forming a microhole by plastic working, a tool used therefor, a method for manufacturing a liquid jet head, and a liquid An object is to provide an apparatus for manufacturing an ejection head.

上記目的を達成するため、本発明の微細穴の穿設加工方法は、プレス加工により金属基板に微細穴を穿設加工する方法であって、微細穴が列状に穿設される金属基板と、列状に配置されたポンチのポンチ列を有するとともに上記ポンチ列の少なくとも端部近傍のポンチの先端面に、ポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面を形成した雄型とを準備し、上記金属基板に向って雄型を進出させることにより、上記金属基板に微細穴を穿設して金属基板に列状に並んだ微細穴列を形成することを要旨とする。   In order to achieve the above-described object, the micro-hole drilling method of the present invention is a method of drilling micro-holes in a metal substrate by press working, wherein the micro-holes are drilled in rows, A male punch having a row of punches arranged in a row and having an inclined surface in which the central side of the punch row is retracted with respect to the pushing-in direction of the punch at the tip end surface of the punch at least near the end of the punch row. The gist is to prepare a mold and advance a male mold toward the metal substrate, thereby drilling fine holes in the metal substrate to form a row of fine holes arranged in a row on the metal substrate. .

また、上記目的を達成するため、本発明の微細穴の穿設加工用工具は、プレス加工により金属基板に微細穴を穿設加工する工具であって、雄型の先端部にポンチを所定ピッチで列設してポンチ列を形成し、上記ポンチ列の少なくとも端部近傍のポンチの先端面に、ポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面を形成したことを要旨とする。   In order to achieve the above object, the fine hole drilling tool of the present invention is a tool for punching a fine hole in a metal substrate by press working, and a punch is provided at a predetermined pitch at the tip of the male mold. The punch line is formed in a row, and at the tip end surface of the punch in the vicinity of at least the end part of the punch line, an inclined surface in which the central part side of the punch line recedes with respect to the pushing direction of the punch is formed. To do.

さらに、上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧力発生室となる溝状窪部が列設されると共に、各溝状窪部の一端に板厚方向に貫通する連通口を形成した金属製の圧力発生室形成板と、上記連通口と対応する位置にノズル開口を穿設した金属製のノズルプレートと、上記溝状窪部の開口面を封止する金属材製の封止板とを備え、上記圧力発生室形成板における溝状窪部側に封止板を、反対側にノズルプレートをそれぞれ接合してなる液体噴射ヘッドの製造方法であって、上記圧力発生室形成板の連通口を請求項1〜15のいずれか一項に記載の微細穴の穿設加工方法によって形成することを要旨とする。   Furthermore, in order to achieve the above object, according to the method of manufacturing a liquid jet head of the present invention, groove-like recesses serving as pressure generation chambers are arranged in parallel and penetrate through one end of each groove-like recess in the thickness direction. A metal pressure generating chamber forming plate having a communication port, a metal nozzle plate having a nozzle opening formed at a position corresponding to the communication port, and a metal material for sealing the opening surface of the groove-like recess A pressure-generating chamber forming plate, and a pressure-sensitive chamber forming plate having a sealing plate on the groove-like recess side and a nozzle plate on the opposite side. The gist is that the communication port of the generation chamber forming plate is formed by the fine hole drilling method according to any one of claims 1 to 15.

さらに、上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置は、圧力発生室となる溝状窪部が列設されると共に、各溝状窪部の一端に板厚方向に貫通する連通口を形成した金属製の圧力発生室形成板と、上記連通口と対応する位置にノズル開口を穿設した金属製のノズルプレートと、上記溝状窪部の開口面を封止する金属製の封止板とを有し、上記圧力発生室形成板における溝状窪部側に封止板を、反対側にノズルプレートをそれぞれ接合してなる液体噴射ヘッドの製造装置であって、上記溝状窪部が形成された圧力発生室形成板を支持する第1型と、上記溝状窪部内に連通口を穿設するポンチが列設されたポンチ列を有する雄型が取り付けられた第2型とを備え、上記ポンチ列の少なくとも端部近傍のポンチの先端面にポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面を形成したポンチを溝状窪部内に押込むことを要旨とする。   Furthermore, in order to achieve the above object, in the liquid jet head manufacturing apparatus of the present invention, groove-like recesses serving as pressure generation chambers are arranged in parallel and penetrate through one end of each groove-like recess in the thickness direction. A metal pressure generating chamber forming plate having a communication opening, a metal nozzle plate having a nozzle opening formed at a position corresponding to the communication opening, and a metal sealing the opening surface of the groove-shaped recess. A liquid ejecting head manufacturing apparatus in which the sealing plate is joined to the groove-like recess side of the pressure generating chamber forming plate and the nozzle plate is joined to the opposite side. A first mold for supporting a pressure generating chamber forming plate in which a hollow is formed, and a second mold having a punch line in which punches are formed in the groove-shaped hollow to form a communication port. A punch line on the tip surface of the punch near at least the end of the punch line. The punch center portion side is formed an inclined surface retracted relative to the push-in direction of the punch and gist of pushing it into the groove-like recess portion.

すなわち、本発明の微細穴の穿設加工方法によれば、何等かの原因で、例えば、金属基板に所定のピッチで列状に並んだ窪み状部が形成される際に、金属基板の成形局部に発生する内部応力等が列状であることにより集積されて、窪み状部の列状の配列形態が、窪み状部の列設方向で見て、金属基板が湾曲したような異形形態を呈することがある。しかし、少なくともポンチ列の端部近傍のポンチの先端面に、ポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面が付与してあるので、上記異形形態によって端部近傍のポンチにポンチ列中央部側への曲げ力が作用しても、この曲げ力に対向する曲げ力が発生する。したがって、傾斜面によって得られた曲げ力が上記曲げ力を相殺または大幅に減殺するので、ポンチに作用する曲げ力を問題にならないレベルに低減することができる。このようにして、ポンチ列の端部近傍のポンチに傾き等が発生しないので、金属基板の所定の箇所に正確に微細穴列を形成することができる。   That is, according to the fine hole drilling method of the present invention, for example, when the depressions aligned in a row at a predetermined pitch are formed on the metal substrate, the metal substrate is molded. The internal stress generated in the local portion is accumulated by being in a row, and the row-like arrangement form of the depression-like portions is a deformed shape in which the metal substrate is curved when viewed in the direction of arrangement of the depression-like portions. May present. However, since at least the tip end surface of the punch row near the end of the punch row is provided with an inclined surface in which the central portion side of the punch row is retracted with respect to the pushing direction of the punch, Even if a bending force is applied to the center of the punch line, a bending force opposite to the bending force is generated. Therefore, since the bending force obtained by the inclined surface cancels or greatly reduces the bending force, the bending force acting on the punch can be reduced to a level that does not cause a problem. In this way, since no inclination or the like occurs in the punches near the end of the punch row, the fine hole row can be accurately formed at a predetermined location on the metal substrate.

したがって、異形形態による加工精度の低下を防止して良好な精度品質が得られる。さらに、上記端部近傍のポンチに対する曲げ負荷が軽減されるので、特定の部分のポンチが曲がったり折損したりすることがなく、ポンチの耐久性を向上することができる。上記のような利点は、例えば、液体噴射ヘッドにおける微細穴を列状に設ける場合において、とくに有効なものである。   Accordingly, it is possible to prevent a decrease in machining accuracy due to the irregular shape and obtain a good accuracy quality. Further, since the bending load on the punch in the vicinity of the end portion is reduced, the punch in a specific portion is not bent or broken, and the durability of the punch can be improved. The above advantages are particularly effective when, for example, the fine holes in the liquid ejecting head are provided in a line.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記金属基板に所定のピッチで列状に並んだ窪み状部が形成され、上記ピッチと同ピッチのポンチを上記窪み状部に押込む場合には、緻密に列設されている窪み状部の所定位置に対して、列設端部近傍に位置する窪み状部においても、正確に微細穴を形成することができる。   In the fine hole drilling method according to the present invention, when the hollow portions formed in a line at a predetermined pitch are formed on the metal substrate, and punches having the same pitch as the pitch are pushed into the hollow portions, A minute hole can be accurately formed also in the depression-like portion located in the vicinity of the arrangement end portion with respect to the predetermined position of the depression-like portion arranged in a dense manner.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチ列におけるポンチ先端列が、ポンチ列の端部近傍が端部にいくほど雄型の進出方向に向かって突出する傾斜を有している場合には、雄型の進出にともなって端部近傍のポンチに初期段階の加工を高精度のもとで行なわせることができる。そして、雄型の進出にともなって端部近傍のポンチにポンチ列中央側への曲げ力が作用したり、端部近傍のポンチが最初に金属基板に押込まれ加工時間が長くなって加工負荷が大きくなっても、上記傾斜面によって端部近傍のポンチに作用する曲げ力が緩和されているので、金属基板の所定の箇所に正確に微細穴を形成することができ、端部近傍のポンチだけが早期のうちに損耗するようなことがなく、ポンチの耐久性を向上することができる。   In the fine hole drilling method of the present invention, when the punch tip row in the punch row has an inclination that protrudes toward the male advance direction as the vicinity of the end portion of the punch row goes to the end portion As a result, the punch near the end can be machined with high accuracy with the advancement of the male mold. With the advance of the male mold, bending force acts on the punch in the vicinity of the end of the punch near the end, or the punch in the vicinity of the end is first pushed into the metal substrate, resulting in a longer processing time and a processing load. Even if it becomes larger, the bending force acting on the punch near the end is relaxed by the inclined surface, so that a fine hole can be accurately formed at a predetermined position on the metal substrate, and only the punch near the end is formed. Is not worn out at an early stage, and the durability of the punch can be improved.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチ列におけるポンチ先端列が、ポンチ列の中央部よりも端部近傍が、雄型の進出方向に向かって突出している場合には、金属基板に上記異形形態が生じていても、端部近傍のポンチがポンチ列中央側のポンチに先駆けて加工を開始してからポンチ列全域にわたる加工がなされ、金属基板上の所定の位置に正確に微細穴の穴あけ加工が行なわれる。   In the fine hole drilling method according to the present invention, when the punch tip row in the punch row protrudes in the vicinity of the end portion from the center portion of the punch row in the male advance direction, the metal substrate Even if the above-mentioned deformed form occurs, the punch near the end starts processing prior to the punch in the center of the punch line, and then the entire punch line is processed. Hole drilling is performed.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチ列におけるポンチ先端列が、滑らかな曲線状である場合には、ポンチ列の端部近傍のポンチが正確に穴あけ加工をするのに連続して、徐々にポンチ列中央部に穴あけ加工が移行して行き、滑らかな連続的加工が行なうことができ、ポンチの耐久性向上にとって有効である。   In the fine hole drilling method according to the present invention, when the punch front end row in the punch row has a smooth curved shape, the punch in the vicinity of the end portion of the punch row can be continuously drilled. As a result, the drilling process gradually shifts to the center of the punch row, and smooth continuous processing can be performed, which is effective for improving the durability of the punch.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチ列におけるポンチ先端列が、ポンチ列の端部近傍部分が傾斜する直線状に形成されている場合には、端部近傍のポンチが加工を開始してから、上記直線状の傾斜度合いに応じて徐々にポンチ列中央側へ加工が移行する。このように直線状の傾斜度合いを所定の角度に選定することにより、端部近傍のポンチの加工負荷をポンチの耐久性や加工深さに適応させて設定することができ、ポンチの耐久性向上にとって有効である。   In the punching method for fine holes according to the present invention, when the punch tip row in the punch row is formed in a straight line in which the portion near the end of the punch row is inclined, the punch near the end is processed. After starting, the processing gradually shifts to the center of the punch row in accordance with the linear inclination degree. In this way, by selecting the linear inclination degree to a predetermined angle, the punching load near the end can be set according to the punch durability and processing depth, improving the punch durability. It is effective for.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチ列におけるポンチ先端列が、ポンチ列の端部近傍部分が傾斜する直線状に形成されるとともに、ポンチ列の中央近傍は列方向に延びる直線状に形成されている場合には、端部近傍のポンチが加工を開始してから、上記直線状の傾斜度合いに応じて徐々にポンチ列中央側へ加工が移行する。このように直線状の傾斜度合いを所定の角度に選定することにより、端部近傍のポンチの加工負荷をポンチの耐久性や加工深さに適応させて設定することができ、また、傾斜した直線状の部分から傾斜のない直線状の部分へ加工が移行するので、ポンチ列全域の加工を円滑に行なうことができる。   In the fine hole drilling method according to the present invention, the punch tip row in the punch row is formed in a straight line in which the vicinity of the end of the punch row is inclined, and the vicinity of the center of the punch row is a straight line extending in the row direction. In the case where the punch is formed in a shape, after the punch near the end starts processing, the processing gradually moves toward the center of the punch row in accordance with the linear inclination degree. In this way, by selecting the linear inclination degree to a predetermined angle, the processing load of the punch near the end can be set according to the durability and processing depth of the punch, and the inclined straight line Since the processing shifts from the shape portion to the straight portion having no inclination, the entire punch row can be processed smoothly.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチ列におけるポンチ先端列が、ポンチ列の端部近傍部分が滑らかな曲線状に形成されるとともに、ポンチ列の中央近傍は列方向に延びる直線状に形成されている場合には、端部近傍のポンチが加工を開始してから、上記曲線状態に応じて徐々にポンチ列中央側へ加工が移行する。このように曲線状態を所定の曲率に選定することにより、端部近傍のポンチの加工負荷をポンチの耐久性や加工深さに適応させて設定することができ、また、曲線状の部分から直線状の部分へ加工が移行するので、ポンチ列全域の加工を円滑に行なうことができる。   In the punching method for fine holes according to the present invention, the punch leading end row in the punch row is formed in a smooth curved shape in the vicinity of the end portion of the punch row, and the vicinity of the center of the punch row is a straight line extending in the row direction. In the case where the punch is formed in a shape, the punch gradually moves toward the center of the punch row in accordance with the curved state after the punch near the end starts processing. By selecting the curved state as a predetermined curvature in this way, the machining load of the punch near the end can be set according to the durability and machining depth of the punch. Since the processing shifts to the shape portion, the entire punch row can be processed smoothly.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチの長さが、ポンチ列の端部近傍が端部にいくほど長くなるよう設定されている場合には、雄型の進出にともなって端部近傍のポンチにポンチ列中央側への曲げ力が作用したり、端部近傍のポンチが最初に金属基板に押込まれ加工時間が長くなって加工負荷が大きくなっても、上記傾斜面によって端部近傍のポンチに作用する曲げ力が緩和されているので、金属基板の所定の箇所に正確に微細穴を形成することができ、端部近傍のポンチだけが早期のうちに損耗するようなことがなく、ポンチの耐久性を向上することができる。   In the fine hole drilling method according to the present invention, when the length of the punch is set so that the vicinity of the end portion of the punch row becomes closer to the end portion, the end of the punch is advanced with the advancement of the male mold. Even if a punching force is applied to the punch near the center of the punch, or when the punch near the end is first pushed into the metal substrate and the processing time is increased and the processing load is increased, the inclined surface causes an end. Since the bending force acting on the punch near the part is relaxed, it is possible to accurately form a fine hole at a predetermined location on the metal substrate, and only the punch near the end is worn out early. The durability of the punch can be improved.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチの長さが、ポンチ列の端部近傍のポンチが、ポンチ列の略中央部のポンチよりも長くなるよう設定されている場合には、金属基板に上記異形形態が生じていても、端部近傍のポンチがポンチ列中央側のポンチに先駆けて加工を開始してからポンチ列全域にわたる加工がなされ、金属基板上の所定の位置に正確に微細穴の穴あけ加工が行なわれる。   In the fine hole drilling method of the present invention, when the length of the punch is set so that the punch in the vicinity of the end of the punch row is longer than the punch in the substantially central portion of the punch row, Even if the above-mentioned deformed shape is generated on the metal substrate, the punch near the end starts processing before the punch on the center side of the punch row, and then the entire punch row is processed. A fine hole is drilled.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチの長さが、ポンチ列の端部近傍が端部にいくほど長くなるよう設定されているとともに、ポンチ列の中央部近傍がポンチの押込み方向に向かって突出する長さに設定されている場合には、雄型の進出にともなって端部近傍のポンチにポンチ列中央側への曲げ力が作用したり、端部近傍のポンチが最初に金属基板に押込まれ加工時間が長くなって加工負荷が大きくなっても、上記傾斜面によって端部近傍のポンチに作用する曲げ力が緩和されているので、金属基板の所定の箇所に正確に微細穴を形成することができ、端部近傍のポンチだけが早期のうちに損耗するようなことがなく、ポンチの耐久性を向上することができる。そして、ポンチ列の中央部近傍が押込み方向に向って突出する長さに設定されているので、端部近傍の加工が終了するのに略連続した状態で中央部近傍の加工が進行し、ポンチ列全体にわたってムラのない加工が行なえる。   In the fine hole drilling method of the present invention, the length of the punch is set so that the vicinity of the end portion of the punch row becomes longer toward the end portion, and the vicinity of the center portion of the punch row is pushed by the punch. When the length is set to protrude in the direction, a bending force acts on the punch near the end as the male die advances, or the punch near the end Even if it is pushed into the metal substrate and the processing time becomes longer and the processing load increases, the bending force acting on the punch near the end is relaxed by the inclined surface, so that it can be accurately applied to a predetermined location on the metal substrate. A minute hole can be formed, and only the punch near the end portion is not worn out at an early stage, and the durability of the punch can be improved. Then, since the vicinity of the central portion of the punch row is set to a length that protrudes in the pushing direction, the processing in the vicinity of the central portion proceeds in a substantially continuous state after the processing in the vicinity of the end is completed. Uneven processing can be performed over the entire line.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記ポンチの断面形状が矩形である場合には、ポンチ列の端部近傍のポンチにより加工初期段階で高精度の加工が行なわれるので、形状精度の高い矩形の微細穴が得られる。   In the fine hole drilling method according to the present invention, when the cross-sectional shape of the punch is rectangular, high-precision processing is performed at the initial stage of processing by the punch in the vicinity of the end of the punch row. High rectangular fine holes are obtained.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、第1ポンチにより金属基板に非貫通状の窪部を形成する第1工程と、第2ポンチにより上記窪部の底部を膨出させて非貫通状の窪部を形成する第2工程と、上記膨出した箇所を切除する第3工程を含んでいる場合には、各ポンチ列の端部近傍のポンチによる加工が先行的にしかも高精度で実行されるので、第1工程および第2工程における各窪部が正確な形状となり、上記膨出箇所の膨出量も略均一となる。したがって、第3工程における切除厚さも各窪部毎に一定となり、切除工程が簡素化され、微細穴の長さが均一なものとなる。   In the fine hole drilling method of the present invention, the first step of forming a non-penetrating recess in the metal substrate by the first punch, and the bottom of the recess is bulged by the second punch so as to be non-penetrating. When the second step of forming the recess and the third step of cutting out the bulged portion are included, the processing by the punch near the end of each punch row is executed with high accuracy. Therefore, each recess in the first step and the second step has an accurate shape, and the bulge amount at the bulge portion is substantially uniform. Therefore, the excision thickness in the third step is also constant for each recess, the excision step is simplified, and the lengths of the fine holes are uniform.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記窪み状部が溝状窪部である場合には、ポンチ列の端部近傍における穴あけ加工が溝状窪部に対して先行的に高精度のもとで実行され、それに引続いて溝状窪部のピッチに適合させて溝状窪部の所定の箇所に正確に微細穴を列状に形成することができる。   In the fine hole drilling method of the present invention, when the hollow portion is a groove-like recess portion, the drilling process in the vicinity of the end portion of the punch row is performed with high accuracy in advance for the groove-like recess portion. The process is performed originally, and subsequently, the fine holes can be accurately formed in a row at a predetermined position of the groove-like recess by adapting to the pitch of the groove-like recess.

本発明の微細穴の穿設加工方法において、上記溝状窪部がV字状の底部を有している場合には、V字状の底部を有する溝状窪部に微細穴を穿設する場合、溝状窪部が列設方向に異形形態であると、V字状の傾斜面によってポンチの曲がりや逃げが発生しやすく加工精度が低下しがちであるが、ポンチ列の端部近傍の溝状窪部において、異常な傾斜角度のV字状の傾斜面に対して先行的に所定の箇所に正確な穴あけ加工が実行されるので、このような加工精度の問題を解消することができる。   In the fine hole drilling method according to the present invention, when the groove-shaped recess has a V-shaped bottom, the micro-hole is formed in the groove-shaped recess having the V-shaped bottom. In this case, if the groove-like recesses are irregularly shaped in the row direction, the punching is likely to bend or escape due to the V-shaped inclined surface, but the machining accuracy tends to be lowered. In the groove-like recess, accurate drilling is executed in advance at a predetermined position on the V-shaped inclined surface having an abnormal inclination angle, so that such a problem of processing accuracy can be solved. .

また、本発明の微細穴の穿設加工用工具によれば、上記金属基板が、例えば、湾曲した異形形態であっても、ポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面が付与してあるので、上記異形形態によって端部近傍のポンチにポンチ列中央部側への曲げ力が作用しても、この曲げ力に対向する曲げ力が発生する。したがって、傾斜面によって得られた曲げ力が上記曲げ力を相殺または大幅に減殺するので、ポンチに作用する曲げ力を問題にならないレベルに低減することができる。このようにして、ポンチ列の端部近傍のポンチに傾き等が発生しないので、金属基板の所定の箇所に正確に微細穴列を形成することができる。したがって、異形形態による加工精度の低下を防止して良好な精度品質が得られる。さらに、上記端部近傍のポンチに対する曲げ負荷が軽減されるので、特定の部分のポンチが曲がったり折損したりすることがなく、ポンチの耐久性を向上することができる。上記のような利点は、例えば、液体噴射ヘッドにおける微細穴を列状に設ける場合において、とくに有効なものである。   According to the fine hole drilling tool of the present invention, even if the metal substrate has, for example, a curved deformed shape, the inclined surface in which the central portion side of the punch row recedes with respect to the punch pressing direction. Therefore, even if a bending force toward the center of the punch row acts on the punch in the vicinity of the end due to the deformed shape, a bending force opposite to this bending force is generated. Therefore, since the bending force obtained by the inclined surface cancels or greatly reduces the bending force, the bending force acting on the punch can be reduced to a level that does not cause a problem. In this way, since no inclination or the like occurs in the punches near the end of the punch row, the fine hole row can be accurately formed at a predetermined location on the metal substrate. Accordingly, it is possible to prevent a decrease in machining accuracy due to the irregular shape and obtain a good accuracy quality. Further, since the bending load on the punch in the vicinity of the end portion is reduced, the punch in a specific portion is not bent or broken, and the durability of the punch can be improved. The above advantages are particularly effective when, for example, the fine holes in the liquid ejecting head are provided in a line.

さらに、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法によれば、上記圧力発生室形成板の連通口を請求項1〜15のいずれか一項に記載の微細穴の穿設加工方法によって形成するものであるから、圧力発生室形成板に上記異形形態が生じても、精密構造部である溝状窪部の連通口がきわめて高い精度で形成することができ、液体噴射ヘッドとしての噴射特性を良好に保つことができる。   Furthermore, according to the method for manufacturing a liquid jet head of the present invention, the communication port of the pressure generating chamber forming plate is formed by the microhole drilling method according to any one of claims 1 to 15. Therefore, even if the above-mentioned deformed form occurs in the pressure generating chamber forming plate, the communication port of the groove-like recess that is a precision structure can be formed with extremely high accuracy, and the ejection characteristics as a liquid ejection head are excellent. Can keep.

さらに、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置によれば、上記ポンチ列の少なくとも端部近傍のポンチの先端面にポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面を形成したポンチを溝状窪部内に押込むものであるから、溝状窪部の配列が異形形態であっても、ポンチ列の端部近傍のポンチを先行的に溝状窪部に押込むことができる。よって、精密構造部である溝状窪部の連通口がきわめて高い精度で形成することができ、液体噴射ヘッドとしての噴射特性を良好に保つことができる。   Furthermore, according to the apparatus for manufacturing a liquid jet head of the present invention, a punch in which an inclined surface in which the central portion side of the punch row recedes with respect to the pushing direction of the punch is formed on the front end surface of the punch in the vicinity of at least the end portion of the punch row. Therefore, even if the arrangement of the groove-like recesses is irregular, the punches near the end of the punch row can be pushed into the groove-like recesses in advance. Therefore, the communication port of the groove-like recess that is a precision structure portion can be formed with extremely high accuracy, and the ejection characteristics as the liquid ejection head can be kept good.

つぎに、本発明の微細穴の穿設加工方法およびそれに用いる工具および液体噴射ヘッドの製造方法ならびに液体噴射ヘッドの製造装置を実施するための最良の形態を説明する。以下、本発明の実施例として、本発明の微細穴の穿設加工方法を用いた液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。以下の説明では、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッドを例示するが、本発明がこれに限定されるものでないことはいうまでもない。   Next, the best mode for carrying out the fine hole drilling method of the present invention, the tool used therefor, the method of manufacturing the liquid jet head, and the apparatus for manufacturing the liquid jet head will be described. Hereinafter, as an embodiment of the present invention, a method for manufacturing a liquid jet head using the micro-hole drilling method of the present invention will be described. In the following description, an ink jet recording head is exemplified as the liquid ejecting head, but it goes without saying that the present invention is not limited to this.

図1および図2は、インクジェット式記録ヘッド(以下「記録ヘッド」という)を示す図であり、記録ヘッド1は、ケース2と、このケース2内に収納される振動子ユニット3と、ケース2の先端面に接合される流路ユニット4と、先端面とは反対側のケース2の取付面上に配置される接続基板5と、ケース2の取付面側に取り付けられる供給針ユニット6等から概略構成されている。   1 and 2 are diagrams showing an ink jet recording head (hereinafter referred to as “recording head”). The recording head 1 includes a case 2, a vibrator unit 3 housed in the case 2, and a case 2. From the flow path unit 4 joined to the front end surface, the connection substrate 5 disposed on the attachment surface of the case 2 opposite to the front end surface, the supply needle unit 6 attached to the attachment surface side of the case 2, and the like. It is roughly structured.

上記の振動子ユニット3は、図3に示すように、圧電振動子群7と、この圧電振動子群7が接合される固定板8と、圧電振動子群7に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル9とから概略構成される。   As shown in FIG. 3, the vibrator unit 3 includes a piezoelectric vibrator group 7, a fixed plate 8 to which the piezoelectric vibrator group 7 is joined, and a drive signal for supplying the piezoelectric vibrator group 7. The flexible cable 9 is schematically configured.

圧電振動子群7は、列状に形成された複数の圧電振動子10…を備える。各圧電振動子10…は、本発明の圧力発生素子の一種であり、電気機械変換素子の一種でもある。これらの各圧電振動子10…は、列の両端に位置する一対のダミー振動子10a,10aと、これらのダミー振動子10a,10aの間に配置された複数の駆動振動子10b…とから構成されている。そして、各駆動振動子10b…は、例えば、50μm〜100μm程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられ、180本設けられる。   The piezoelectric vibrator group 7 includes a plurality of piezoelectric vibrators 10 formed in a row. Each of the piezoelectric vibrators 10 is a kind of the pressure generating element of the present invention, and is also a kind of electromechanical conversion element. Each of these piezoelectric vibrators 10 is composed of a pair of dummy vibrators 10a and 10a located at both ends of the row and a plurality of drive vibrators 10b arranged between the dummy vibrators 10a and 10a. Has been. Each of the drive vibrators 10b... Is divided into, for example, comb teeth having a very narrow width of about 50 μm to 100 μm, and 180 are provided.

また、ダミー振動子10aは、駆動振動子10bよりも十分広い幅であり、駆動振動子10bを衝撃等から保護する保護機能と、振動子ユニット3を所定位置に位置付けるためのガイド機能とを有する。   The dummy vibrator 10a is sufficiently wider than the drive vibrator 10b, and has a protection function for protecting the drive vibrator 10b from impact and the like, and a guide function for positioning the vibrator unit 3 at a predetermined position. .

各圧電振動子10…は、固定端部を固定板8上に接合することにより、自由端部を固定板8の先端面よりも外側に突出させている。すなわち、各圧電振動子10…は、所謂片持ち梁の状態で固定板8上に支持されている。そして、各圧電振動子10…の自由端部は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成されており、対向する電極間に電位差を与えることで素子長手方向に伸縮する。   Each of the piezoelectric vibrators 10... Has its free end protruding outward from the front end surface of the fixed plate 8 by bonding its fixed end onto the fixed plate 8. That is, each piezoelectric vibrator 10 is supported on the fixed plate 8 in a so-called cantilever state. The free ends of the piezoelectric vibrators 10 are configured by alternately stacking piezoelectric bodies and internal electrodes, and expand and contract in the longitudinal direction of the element by applying a potential difference between the opposing electrodes.

フレキシブルケーブル9は、固定板8とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子10と電気的に接続されている。そして、このフレキシブルケーブル9の表面には、圧電振動子10の駆動等を制御するための制御用IC11が実装されている。また、各圧電振動子10…を支持する固定板8は、圧電振動子10からの反力を受け止め得る剛性を備えた板状部材であり、ステンレス板等の金属板が好適に用いられる。   The flexible cable 9 is electrically connected to the piezoelectric vibrator 10 on the side surface of the fixed end opposite to the fixed plate 8. A control IC 11 for controlling driving of the piezoelectric vibrator 10 and the like is mounted on the surface of the flexible cable 9. Further, the fixing plate 8 that supports the piezoelectric vibrators 10 is a plate-like member having rigidity capable of receiving a reaction force from the piezoelectric vibrators 10, and a metal plate such as a stainless steel plate is preferably used.

上記のケース2は、例えば、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂で成型されたブロック状部材である。ここで、ケース2を熱硬化性樹脂で成型しているのは、この熱硬化性樹脂は、一般的な樹脂よりも高い機械的強度を有しており、線膨張係数が一般的な樹脂よりも小さく、周囲の温度変化による変形が小さいからである。そして、このケース2の内部には、振動子ユニット3を収納可能な収納空部12と、インクの流路の一部を構成するインク供給路13とが形成されている。また、ケース2の先端面には、共通インク室(リザーバ)14となる先端凹部15が形成されている。   Said case 2 is a block-shaped member shape | molded, for example with thermosetting resins, such as an epoxy resin. Here, the case 2 is molded with a thermosetting resin. This thermosetting resin has higher mechanical strength than a general resin, and the linear expansion coefficient is higher than that of a general resin. This is because the deformation due to a change in ambient temperature is small. In the case 2, a storage space 12 that can store the vibrator unit 3 and an ink supply path 13 that forms a part of the ink flow path are formed. In addition, a front end recess 15 serving as a common ink chamber (reservoir) 14 is formed on the front end surface of the case 2.

収納空部12は、振動子ユニット3を収納可能な大きさの空部である。この収納空部12の先端側部分はケース内壁が側方に向けて部分的に突出しており、この突出部分の上面が固定板当接面として機能する。そして、振動子ユニット3は、各圧電振動子10の先端が開口から臨む状態で収納空部12内に収納される。
この収納状態において、固定板8の先端面は固定板当接面に当接した状態で接着されている。
The storage space 12 is a space having a size capable of storing the transducer unit 3. The inner wall of the case protrudes partially toward the side of the front end side portion of the housing empty portion 12, and the upper surface of the protruding portion functions as a fixed plate contact surface. The vibrator unit 3 is housed in the housing space 12 with the tip of each piezoelectric vibrator 10 facing the opening.
In this stored state, the front end surface of the fixed plate 8 is bonded in a state of being in contact with the fixed plate contact surface.

先端凹部15は、ケース2の先端面を部分的に窪ませることにより作製されている。本実施例の先端凹部15は、収納空部12よりも左右外側に形成された略台形状の凹部であり、収納空部12側に台形の下底が位置するように形成されている。   The tip recess 15 is produced by partially denting the tip surface of the case 2. The front-end | tip recessed part 15 of a present Example is a substantially trapezoid-shaped recessed part formed in the left-right outer side rather than the storage empty part 12, and is formed so that the trapezoid lower bottom may be located in the storage empty part 12 side.

インク供給路13は、ケース2の高さ方向を貫通するように形成され、先端が先端凹部15に連通している。また、インク供給路13における取付面側の端部は、取付面から突設した接続口16内に形成されている。   The ink supply path 13 is formed so as to penetrate the height direction of the case 2, and the tip communicates with the tip recess 15. Further, the end portion on the attachment surface side in the ink supply path 13 is formed in a connection port 16 protruding from the attachment surface.

上記の接続基板5は、記録ヘッド1に供給する各種信号用の電気配線が形成されると共に、信号ケーブルを接続可能なコネクタ17が取り付けられた配線基板である。そして、この接続基板5は、ケース2における取付面上に配置され、フレキシブルケーブル9の電気配線が半田付け等によって接続される。また、コネクタ17には、制御装置(図示せず)からの信号ケーブルの先端が挿入される。   The connection board 5 is a wiring board on which electrical wiring for various signals to be supplied to the recording head 1 is formed and a connector 17 to which a signal cable can be connected is attached. And this connection board | substrate 5 is arrange | positioned on the attachment surface in case 2, and the electrical wiring of the flexible cable 9 is connected by soldering etc. FIG. In addition, the tip of a signal cable from a control device (not shown) is inserted into the connector 17.

上記の供給針ユニット6は、インクカートリッジ(図示せず)が接続される部分であり、針ホルダ18と、インク供給針19と、フィルタ20とから概略構成される。   The supply needle unit 6 is a part to which an ink cartridge (not shown) is connected, and is generally constituted by a needle holder 18, an ink supply needle 19, and a filter 20.

インク供給針19は、インクカートリッジ内に挿入される部分であり、インクカートリッジ内に貯留されたインクを導入する。このインク供給針19の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針19の内外を連通するインク導入孔が複数穿設されている。そして、本実施例の記録ヘッド1は2種類のインクを吐出可能であるため、このインク供給針19を2本備えている。   The ink supply needle 19 is a portion inserted into the ink cartridge, and introduces ink stored in the ink cartridge. The tip of the ink supply needle 19 has a conical shape and is easy to insert into the ink cartridge. In addition, a plurality of ink introduction holes communicating with the inside and outside of the ink supply needle 19 are formed at the tip portion. Since the recording head 1 of this embodiment can eject two types of ink, the recording head 1 includes two ink supply needles 19.

針ホルダ18は、インク供給針19を取り付けるための部材であり、その表面にはインク供給針19の根本部分を止着するための台座21を2本分横並びに形成している。この台座21は、インク供給針19の底面形状に合わせた円形状に作製されている。また、台座底面の略中心には、針ホルダ18の板厚方向を貫通するインク排出口22を形成している。また、この針ホルダ18には、フランジ部を側方に延出している。   The needle holder 18 is a member for attaching the ink supply needle 19, and two pedestals 21 for fixing the base portion of the ink supply needle 19 are formed side by side on the surface thereof. The pedestal 21 is formed in a circular shape that matches the shape of the bottom surface of the ink supply needle 19. In addition, an ink discharge port 22 that penetrates the needle holder 18 in the plate thickness direction is formed substantially at the center of the pedestal bottom surface. The needle holder 18 has a flange extending laterally.

フィルタ20は、埃や成型時のバリ等のインク内の異物の通過を阻止する部材であり、例えば、目の細かな金属網によって構成される。このフィルタ20は、台座21内に形成されたフィルタ保持溝に接着されている。   The filter 20 is a member that blocks the passage of foreign matter in the ink such as dust or burrs during molding, and is configured by a fine metal mesh, for example. The filter 20 is bonded to a filter holding groove formed in the pedestal 21.

そして、この供給針ユニット6は、図2に示すように、ケース2の取付面上に配設される。この配設状態において、供給針ユニット6のインク排出口22とケース2の接続口16とは、パッキン23を介して液密状態で連通する。   The supply needle unit 6 is disposed on the mounting surface of the case 2 as shown in FIG. In this arrangement state, the ink discharge port 22 of the supply needle unit 6 and the connection port 16 of the case 2 communicate with each other in a liquid-tight state via the packing 23.

次に、上記の流路ユニット4について説明する。この流路ユニット4は、圧力発生室形成板30の一方の面にノズルプレート31を、圧力発生室形成板30の他方の面に弾性板32を接合した構成である。   Next, the flow path unit 4 will be described. The flow path unit 4 has a configuration in which a nozzle plate 31 is bonded to one surface of the pressure generating chamber forming plate 30 and an elastic plate 32 is bonded to the other surface of the pressure generating chamber forming plate 30.

圧力発生室形成板30は、図4に示すように、溝状窪部33と、連通口34と、逃げ凹部35とを形成した金属製の板状部材である。本実施例では、この圧力発生室形成板30を、厚さ0.35mmのニッケル製の金属基板を加工することで作製している。   As shown in FIG. 4, the pressure generation chamber forming plate 30 is a metal plate-like member in which a groove-like recess 33, a communication port 34, and an escape recess 35 are formed. In this embodiment, the pressure generating chamber forming plate 30 is manufactured by processing a nickel metal substrate having a thickness of 0.35 mm.

ここで、金属基板としてニッケルを選定した理由について説明する。第1の理由は、このニッケルの線膨張係数が、ノズルプレート31や弾性板32の主要部を構成する金属(本実施例では後述するようにステンレス)の線膨張係数と略等しいからである。すなわち、流路ユニット4を構成する圧力発生室形成板30、弾性板32およびノズルプレート31の線膨張係数が揃うと、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、接着温度を高温に設定しても各部材を支障なく接着することができる。また、記録ヘッド1の作動時に圧電振動子10が発熱し、この熱によって流路ユニット4が加熱されたとしても、流路ユニット4を構成する各部材30,31,32が均等に膨張する。このため、記録ヘッド1の作動に伴う加熱と作動停止に伴う冷却とが繰り返し行なわれても、流路ユニット4を構成する各部材30,31,32に剥離等の不具合は生じ難い。   Here, the reason why nickel is selected as the metal substrate will be described. The first reason is that the linear expansion coefficient of nickel is substantially equal to the linear expansion coefficient of the metal (stainless steel as will be described later in this embodiment) that constitutes the main part of the nozzle plate 31 and the elastic plate 32. That is, when the linear expansion coefficients of the pressure generating chamber forming plate 30, the elastic plate 32, and the nozzle plate 31 that constitute the flow path unit 4 are aligned, the respective members expand evenly when these members are heat bonded. For this reason, it is difficult for mechanical stress such as warpage due to the difference in expansion rate to occur. As a result, each member can be bonded without hindrance even if the bonding temperature is set to a high temperature. Further, when the recording head 1 is operated, the piezoelectric vibrator 10 generates heat, and even when the flow path unit 4 is heated by this heat, the members 30, 31, 32 constituting the flow path unit 4 are evenly expanded. For this reason, even if the heating associated with the operation of the recording head 1 and the cooling associated with the operation stop are repeated, problems such as peeling are unlikely to occur in the members 30, 31, and 32 constituting the flow path unit 4.

第2の理由は、防錆性に優れているからである。すなわち、この種の記録ヘッド1では水性インクが好適に用いられているので、長期間に亘って水が接触しても錆び等の変質が生じないことが肝要である。その点、ニッケルは、ステンレスと同様に防錆性に優れており、錆び等の変質が生じ難い。   The second reason is that it is excellent in rust prevention. That is, since this type of recording head 1 uses water-based ink suitably, it is important that no deterioration such as rust occurs even if water contacts over a long period of time. In that respect, nickel is excellent in rust prevention property like stainless steel, and is unlikely to be altered such as rust.

第3の理由は、展性に富んでいるからである。すなわち、圧力発生室形成板30を作製するにあたり、本実施例では後述するように塑性加工(例えば、鍛造加工)で行なっている。そして、圧力発生室形成板30に形成される溝状窪部33や連通口34は、極めて微細な形状であり、且つ、高い寸法精度が要求される。そして、金属基板にニッケルを用いると、展性に富んでいることから塑性加工であっても溝状窪部33や連通口34を高い寸法精度で形成することができる。   The third reason is that it is highly malleable. That is, in producing the pressure generating chamber forming plate 30, in this embodiment, plastic working (for example, forging) is performed as described later. The groove-like recess 33 and the communication port 34 formed in the pressure generating chamber forming plate 30 are extremely fine and require high dimensional accuracy. When nickel is used for the metal substrate, the groove-like recess 33 and the communication port 34 can be formed with high dimensional accuracy even in plastic processing because of excellent malleability.

なお、圧力発生室形成板30に関し、上記した各要件、すなわち、線膨張係数の要件、防錆性の要件、および、展性の要件を満たすならば、ニッケル以外の金属で構成してもよい。   The pressure generation chamber forming plate 30 may be made of a metal other than nickel as long as it satisfies the above-described requirements, that is, the linear expansion coefficient requirement, the rust prevention property requirement, and the malleability requirement. .

溝状窪部33は、圧力発生室29となる溝状の窪部であり、図5に拡大して示すように、直線状の溝によって構成されている。本実施例では、幅約0.1mm,長さ約1.5mm,深さ約0.1mmの溝を溝幅方向に180個列設している。この溝状窪部33の底面は、深さ方向(すなわち、奥側)に進むに連れて縮幅されてV字状に窪んでいる。底面をV字状に窪ませたのは、隣り合う圧力発生室29,29同士を区画する隔壁部28の剛性を高めるためである。すなわち、底面をV字状に窪ませることにより、隔壁部28の根本部分(底面側の部分)の肉厚が厚くなって隔壁部28の剛性が高まる。そして、隔壁部28の剛性が高くなると、隣の圧力発生室29からの圧力変動の影響を受け難くなる。すなわち、隣の圧力発生室29からのインク圧力の変動が伝わり難くなる。また、底面をV字状に窪ませることにより、溝状窪部33を塑性加工によって寸法精度よく形成することもできる(後述する)。そして、このV字の角度は、加工条件によって規定されるが、例えば90度前後である。   The groove-shaped recess 33 is a groove-shaped recess that serves as the pressure generating chamber 29, and is configured by a linear groove as shown in an enlarged view in FIG. In this embodiment, 180 grooves having a width of about 0.1 mm, a length of about 1.5 mm, and a depth of about 0.1 mm are arranged in the groove width direction. The bottom surface of the groove-like recess 33 is reduced in width as it advances in the depth direction (that is, the back side) and is recessed in a V shape. The reason why the bottom surface is recessed in a V shape is to increase the rigidity of the partition wall 28 that partitions the adjacent pressure generating chambers 29 and 29 from each other. That is, by denting the bottom surface in a V shape, the thickness of the base portion (bottom side portion) of the partition wall portion 28 is increased and the rigidity of the partition wall portion 28 is increased. If the rigidity of the partition wall portion 28 increases, it becomes difficult to be affected by pressure fluctuations from the adjacent pressure generation chamber 29. That is, the ink pressure fluctuation from the adjacent pressure generation chamber 29 is hardly transmitted. Further, by recessing the bottom surface in a V shape, the groove-like recess 33 can be formed with high dimensional accuracy by plastic working (described later). The V-shaped angle is defined by the processing conditions and is, for example, around 90 degrees.

さらに、隔壁部28における先端部分の肉厚が極く薄いことから、各圧力発生室29…を密に形成しても必要な容積を確保することができる。   Furthermore, since the thickness of the tip portion of the partition wall 28 is extremely thin, a necessary volume can be ensured even if the pressure generating chambers 29 are formed densely.

また、本実施例における溝状窪部33に関し、その長手方向両端部は、奥側に進むにつれて内側に下り傾斜している。すなわち、溝状窪部33の長手方向両端部は、面取形状に形成されている。このように構成したのも、溝状窪部33を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。   Moreover, regarding the groove-like recess 33 in the present embodiment, both end portions in the longitudinal direction are inclined downward inward as proceeding to the back side. That is, both ends in the longitudinal direction of the groove-like recess 33 are formed in a chamfered shape. The reason for this configuration is to form the groove-like recess 33 with high dimensional accuracy by plastic working.

さらに、両端部の溝状窪部33,33に隣接させてこの溝状窪部33よりも幅広なダミー窪部36を1つずつ形成している。このダミー窪部36は、インク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室となる溝状の窪部である。本実施例のダミー窪部36は、幅約0.2mm,長さ約1.5mm,深さ約0.1mmの溝によって構成されている。そして、このダミー窪部36の底面は、W字状に窪んでいる。これも、隔壁部28の剛性を高めるため、および、ダミー窪部36を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。   Further, one dummy recess 36 wider than the groove recess 33 is formed adjacent to the groove recesses 33 at both ends. The dummy recess 36 is a groove-like recess that serves as a dummy pressure generating chamber that is not involved in ink droplet ejection. The dummy recess 36 of this embodiment is constituted by a groove having a width of about 0.2 mm, a length of about 1.5 mm, and a depth of about 0.1 mm. The bottom surface of the dummy recess 36 is recessed in a W shape. This is also for increasing the rigidity of the partition wall 28 and for forming the dummy recess 36 with high dimensional accuracy by plastic working.

そして、各溝状窪部33…および一対のダミー窪部36,36によって窪部列が構成される。本実施例では、この窪部列を横並びに2列形成している。   Each groove-like recess 33... And the pair of dummy recesses 36, 36 constitute a recess array. In the present embodiment, two rows of the recess portions are formed side by side.

連通口34は、溝状窪部33の底部の一端から板厚方向を貫通する微細貫通孔として形成している。この連通口34は、溝状窪部33毎に形成されており、1つの窪部列に180個形成されている。本実施例の連通口34は、図5に示すように、開口形状が矩形状であり、圧力発生室形成板30における溝状窪部33側から板厚方向の途中まで形成した第1連通口37と、この第1連通口37に連続して圧力発生室形成板30の裏面に開口している第2連通口38とから構成されている。   The communication port 34 is formed as a fine through-hole penetrating in the thickness direction from one end of the bottom of the groove-like recess 33. The communication port 34 is formed for each groove-like depression 33, and 180 pieces are formed in one depression row. As shown in FIG. 5, the communication port 34 of the present embodiment has a rectangular opening shape, and is formed from the groove-shaped recess 33 side of the pressure generation chamber forming plate 30 to the middle in the plate thickness direction. 37 and a second communication port 38 that is continuous with the first communication port 37 and opens on the back surface of the pressure generating chamber forming plate 30.

そして、第1連通口37と第2連通口38とは断面積が異なっており、第2連通口38の内寸法が第1連通口37の内寸法よりも僅かに小さく設定されている。これは、連通口34をプレス加工によって作製していることに起因する。すなわち、この圧力発生室形成板30は、厚さ0.35mmのニッケル板を加工することで作製しているため、連通口34の長さは、溝状窪部33の深さを差し引いても0.25mm以上となる。そして、連通口34の幅は、溝状窪部33の溝幅よりも狭くする必要があるので、0.1mm未満に設定される。このため、連通口34を1回の加工で打ち抜こうとすると、アスペクト比の関係で雄型(ポンチ)が座屈するなどしてしまう。   The first communication port 37 and the second communication port 38 have different cross-sectional areas, and the inner dimension of the second communication port 38 is set slightly smaller than the inner dimension of the first communication port 37. This is because the communication port 34 is produced by press working. That is, since the pressure generating chamber forming plate 30 is manufactured by processing a nickel plate having a thickness of 0.35 mm, the length of the communication port 34 can be reduced by subtracting the depth of the groove-like recess 33. It becomes 0.25 mm or more. And since it is necessary to make the width | variety of the communicating port 34 narrower than the groove width of the groove-shaped recessed part 33, it is set to less than 0.1 mm. For this reason, if it tries to punch out the communication port 34 by one process, a male type | mold (punch) will buckle by the relationship of an aspect ratio.

そこで、本実施例では、加工を2回に分け、1回目の加工では第1連通口37を板厚方向の途中まで形成し、2回目の加工で第2連通口38を形成している。なお、この連通口34の加工手順については、後で説明する。   Therefore, in this embodiment, the processing is divided into two times, the first communication port 37 is formed partway in the plate thickness direction in the first processing, and the second communication port 38 is formed in the second processing. The processing procedure for the communication port 34 will be described later.

また、ダミー窪部36にはダミー連通口39が形成されている。このダミー連通口39は、上記の連通口34と同様に、第1ダミー連通口40と第2ダミー連通口41とから構成されており、第2ダミー連通口41の内寸法が第1ダミー連通口40の内寸法よりも小さく設定されている。   A dummy communication port 39 is formed in the dummy recess 36. Similar to the communication port 34, the dummy communication port 39 includes a first dummy communication port 40 and a second dummy communication port 41. The inner dimension of the second dummy communication port 41 is the first dummy communication port. The inner dimension of the mouth 40 is set smaller.

なお、本実施例では、上記の連通口34およびダミー連通口39に関し、開口形状が矩形状の微細貫通孔によって構成されたものを例示したが、この形状に限定されるものではない。例えば、円形に開口した貫通孔や多角形状の貫通孔によって構成してもよい。   In the present embodiment, the communication port 34 and the dummy communication port 39 described above are exemplified by a rectangular through-hole, but the present invention is not limited to this shape. For example, you may comprise by the through-hole opened circularly and the polygonal through-hole.

図2および図4に示すように、逃げ凹部35は、共通インク室14におけるコンプライアンス部の作動用空間を形成する。本実施例では、ケース2の先端凹部15と略同じ形状であって、深さが溝状窪部33と等しい台形状の凹部によって構成している。   As shown in FIGS. 2 and 4, the escape recess 35 forms a working space for the compliance portion in the common ink chamber 14. In the present embodiment, it is constituted by a trapezoidal recess having substantially the same shape as the tip recess 15 of the case 2 and the depth being equal to the groove-shaped recess 33.

次に、上記の弾性板32について説明する。この弾性板32は、封止板の一種であり、例えば、支持板42上に弾性体膜43を積層した二重構造の複合材(本発明の金属材の一種)によって作製される。本実施例では、支持板42としてステンレス板を用い、弾性体膜43としてPPS(ポリフェニレンサルファイド)を用いている。   Next, the elastic plate 32 will be described. The elastic plate 32 is a kind of sealing plate, and is made of, for example, a double-layer composite material (a kind of metal material of the present invention) in which an elastic film 43 is laminated on a support plate 42. In the present embodiment, a stainless steel plate is used as the support plate 42, and PPS (polyphenylene sulfide) is used as the elastic film 43.

図6に示すように、弾性板32には、ダイヤフラム部44と、インク供給口45と、コンプライアンス部46とを形成している。   As shown in FIG. 6, the elastic plate 32 is formed with a diaphragm portion 44, an ink supply port 45, and a compliance portion 46.

ダイヤフラム部44は、圧力発生室29の一部を区画する部分である。すなわち、ダイヤフラム部44は溝状窪部33の開口面を封止し、この溝状窪部33と共に圧力発生室29を区画形成する。このダイヤフラム部44は、図7(a)に示すように、溝状窪部33に対応した細長い形状であり、溝状窪部33を封止する封止領域に対し、各溝状窪部33…毎に形成されている。具体的には、ダイヤフラム部44の幅は溝状窪部33の溝幅と略等しく設定され、ダイヤフラム部44の長さは溝状窪部33の長さよりも多少短く設定されている。長さに関し、本実施例では、溝状窪部33の長さの約2/3に設定されている。そして、形成位置に関し、図2に示すように、ダイヤフラム部44の一端を、溝状窪部33の一端(連通口34側の端部)に揃えている。   The diaphragm portion 44 is a portion that divides a part of the pressure generating chamber 29. That is, the diaphragm portion 44 seals the opening surface of the groove-like recess portion 33 and partitions the pressure generating chamber 29 together with the groove-like recess portion 33. As shown in FIG. 7A, the diaphragm portion 44 has an elongated shape corresponding to the groove-like recess portion 33, and each groove-like recess portion 33 with respect to the sealing region for sealing the groove-like recess portion 33. ... is formed every time. Specifically, the width of the diaphragm portion 44 is set to be substantially equal to the groove width of the groove-like recess portion 33, and the length of the diaphragm portion 44 is set to be slightly shorter than the length of the groove-like recess portion 33. In this embodiment, the length is set to about 2/3 of the length of the groove-like recess 33. Then, with respect to the formation position, as shown in FIG. 2, one end of the diaphragm portion 44 is aligned with one end of the groove-like recess portion 33 (an end portion on the communication port 34 side).

このダイヤフラム部44は、図7(b)に示すように、溝状窪部33に対応する部分の支持板42をエッチング等によって環状に除去して弾性体膜43のみとすることで作製され、この環内には島部47を形成している。この島部47は、圧電振動子10の先端面が接合される部分である。   As shown in FIG. 7B, the diaphragm portion 44 is produced by removing the support plate 42 corresponding to the groove-like recess portion 33 in an annular shape by etching or the like to make only the elastic film 43, An island portion 47 is formed in the ring. The island portion 47 is a portion to which the tip surface of the piezoelectric vibrator 10 is joined.

インク供給口45は、圧力発生室29と共通インク室14とを連通するための孔であり、弾性板32の板厚方向を貫通している。このインク供給口45も、ダイヤフラム部44と同様に、溝状窪部33に対応する位置に各溝状窪部33…毎に形成されている。このインク供給口45は、図2に示すように、連通口34とは反対側の溝状窪部33の他端に対応する位置に穿設されている。また、このインク供給口45の直径は、溝状窪部33の溝幅よりも十分に小さく設定されている。本実施例では、23ミクロンの微細な貫通孔によって構成している。   The ink supply port 45 is a hole for communicating the pressure generating chamber 29 and the common ink chamber 14, and penetrates the elastic plate 32 in the plate thickness direction. The ink supply port 45 is also formed for each groove-like recess 33... At a position corresponding to the groove-like recess 33, similarly to the diaphragm 44. As shown in FIG. 2, the ink supply port 45 is formed at a position corresponding to the other end of the groove-like recess 33 on the side opposite to the communication port 34. The diameter of the ink supply port 45 is set to be sufficiently smaller than the groove width of the groove-like recess 33. In this embodiment, it is constituted by a fine through hole of 23 microns.

このようにインク供給口45を微細な貫通孔にした理由は、圧力発生室29と共通インク室14との間に流路抵抗を付与するためである。すなわち、この記録ヘッド1では、圧力発生室29内のインクに付与した圧力変動を利用してインク滴を吐出させている。このため、インク滴を効率よく吐出させるためには、圧力発生室29内のインク圧力をできるだけ共通インク室14側に逃がさないようにすることが肝要である。この観点から本実施例では、インク供給口45を微細な貫通孔によって構成している。   The reason why the ink supply port 45 is formed as a fine through hole in this manner is to provide a flow path resistance between the pressure generation chamber 29 and the common ink chamber 14. That is, in the recording head 1, ink droplets are ejected using pressure fluctuation applied to the ink in the pressure generation chamber 29. For this reason, in order to eject ink droplets efficiently, it is important that the ink pressure in the pressure generating chamber 29 is not released to the common ink chamber 14 as much as possible. From this point of view, in this embodiment, the ink supply port 45 is constituted by a fine through hole.

そして、本実施例のように、インク供給口45を貫通孔によって構成すると、加工が容易であり、高い寸法精度が得られるという利点がある。すなわち、このインク供給口45は貫通孔であるため、レーザー加工による作製が可能である。従って、微細な直径であっても高い寸法精度で作製でき、作業も容易である。   If the ink supply port 45 is constituted by a through hole as in this embodiment, there are advantages that processing is easy and high dimensional accuracy can be obtained. That is, since the ink supply port 45 is a through hole, it can be manufactured by laser processing. Therefore, even a minute diameter can be produced with high dimensional accuracy and the operation is easy.

コンプライアンス部46は、共通インク室14の一部を区画する部分である。すなわち、コンプライアンス部46と先端凹部15とで共通インク室14を区画形成する。このコンプライアンス部46は、先端凹部15の開口形状と略同じ台形状であり、支持板42の部分をエッチング等によって除去し、弾性体膜43だけにすることで作製される。   The compliance unit 46 is a part that divides a part of the common ink chamber 14. That is, the common ink chamber 14 is partitioned by the compliance portion 46 and the tip recess 15. The compliance portion 46 has a trapezoidal shape that is substantially the same as the opening shape of the tip recess 15, and is produced by removing the portion of the support plate 42 by etching or the like so that only the elastic film 43 is formed.

なお、弾性板32を構成する支持板42および弾性体膜43は、この例に限定されるものではない。例えば、弾性体膜43としてポリイミドを用いてもよい。また、この弾性板32を、ダイヤフラム部44になる厚肉部および該厚肉部周辺の薄肉部と、コンプライアンス部46になる薄肉部とを設けた金属板で構成してもよい。   Note that the support plate 42 and the elastic film 43 constituting the elastic plate 32 are not limited to this example. For example, polyimide may be used as the elastic film 43. Further, the elastic plate 32 may be formed of a metal plate provided with a thick portion that becomes the diaphragm portion 44, a thin portion around the thick portion, and a thin portion that becomes the compliance portion 46.

次に、上記のノズルプレート31について説明する。ノズルプレート31は、ノズル開口48を列設した金属製の板状部材である。本実施例ではステンレス板を用い、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口48…を開設している。本実施例では、合計180個のノズル開口48…を列設してノズル列を構成し、このノズル列を2列横並びに形成している。   Next, the nozzle plate 31 will be described. The nozzle plate 31 is a metal plate-like member in which nozzle openings 48 are arranged. In this embodiment, a stainless plate is used, and a plurality of nozzle openings 48 are opened at a pitch corresponding to the dot formation density. In this embodiment, a total of 180 nozzle openings 48 are arranged to form a nozzle row, and two nozzle rows are formed side by side.

そして、このノズルプレート31を圧力発生室形成板30の他方の表面、すなわち、弾性板32とは反対側の表面に接合すると、対応する連通口34に各ノズル開口48が連通した状態となる。   When this nozzle plate 31 is joined to the other surface of the pressure generating chamber forming plate 30, that is, the surface opposite to the elastic plate 32, each nozzle opening 48 is in communication with the corresponding communication port 34.

そして、上記の弾性板32を、圧力発生室形成板30の一方の表面、すなわち、溝状窪部33の形成面に接合すると、ダイヤフラム部44が溝状窪部33の開口面を封止して圧力発生室29が区画形成される。同様に、ダミー窪部36の開口面も封止されてダミー圧力発生室が区画形成される。また、上記のノズルプレート31を圧力発生室形成板30の他方の表面に接合するとノズル開口48が対応する連通口34に臨む。この状態で島部47に接合した圧電振動子10を伸縮すると、島部周辺の弾性体膜43が変形し、島部47が溝状窪部33側に押されたり、溝状窪部33側から離隔する方向に引かれたりする。この弾性体膜43の変形により、圧力発生室29が膨張したり収縮したりして圧力発生室29内のインクに圧力変動が付与される。   When the elastic plate 32 is joined to one surface of the pressure generation chamber forming plate 30, that is, the formation surface of the groove-like recess 33, the diaphragm portion 44 seals the opening surface of the groove-like recess 33. Thus, the pressure generation chamber 29 is defined. Similarly, the opening surface of the dummy recess 36 is also sealed to form a dummy pressure generating chamber. When the nozzle plate 31 is joined to the other surface of the pressure generating chamber forming plate 30, the nozzle opening 48 faces the corresponding communication port 34. When the piezoelectric vibrator 10 bonded to the island portion 47 is expanded or contracted in this state, the elastic film 43 around the island portion is deformed, and the island portion 47 is pushed toward the groove-like recess 33 side or the groove-like recess 33 side. It is pulled away from the direction. Due to the deformation of the elastic film 43, the pressure generating chamber 29 expands or contracts, and pressure fluctuation is applied to the ink in the pressure generating chamber 29.

さらに、弾性板32(すなわち、流路ユニット4)をケース2に接合すると、コンプライアンス部46が先端凹部15を封止する。このコンプライアンス部46は、共通インク室14に貯留されたインクの圧力変動を吸収する。すなわち、貯留されたインクの圧力に応じて弾性体膜43が膨張したり収縮したりして変形する。そして、上記の逃げ凹部35は、弾性体膜43の膨張時において、弾性体膜43が膨らむための空間を形成する。   Furthermore, when the elastic plate 32 (that is, the flow path unit 4) is joined to the case 2, the compliance portion 46 seals the tip recess 15. The compliance unit 46 absorbs pressure fluctuations in the ink stored in the common ink chamber 14. That is, the elastic film 43 expands or contracts according to the pressure of the stored ink and deforms. The escape recess 35 forms a space for the elastic film 43 to expand when the elastic film 43 expands.

上記構成の記録ヘッド1は、インク供給針19から共通インク室14までの共通インク流路と、共通インク室14から圧力発生室29を通って各ノズル開口48…に至る個別インク流路とを有する。そして、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク供給針19から導入されて共通インク流路を通って共通インク室14に貯留される。この共通インク室14に貯留されたインクは、個別インク流路を通じてノズル開口48から吐出される。   The recording head 1 configured as described above has a common ink flow path from the ink supply needle 19 to the common ink chamber 14 and an individual ink flow path from the common ink chamber 14 through the pressure generation chamber 29 to each nozzle opening 48. Have. The ink stored in the ink cartridge is introduced from the ink supply needle 19 and stored in the common ink chamber 14 through the common ink flow path. The ink stored in the common ink chamber 14 is discharged from the nozzle opening 48 through the individual ink flow path.

例えば、圧電振動子10を収縮させると、ダイヤフラム部44が振動子ユニット3側に引っ張られて圧力発生室29が膨張する。この膨張により圧力発生室29内が負圧化されるので、共通インク室14内のインクがインク供給口45を通って各圧力発生室29に流入する。その後、圧電振動子10を伸張させると、ダイヤフラム部44が圧力発生室形成板30側に押されて圧力発生室29が収縮する。この収縮により、圧力発生室29内のインク圧力が上昇し、対応するノズル開口48からインク滴が吐出される。   For example, when the piezoelectric vibrator 10 is contracted, the diaphragm portion 44 is pulled toward the vibrator unit 3 and the pressure generating chamber 29 expands. Due to this expansion, the inside of the pressure generation chamber 29 is reduced to a negative pressure, so that the ink in the common ink chamber 14 flows into the pressure generation chambers 29 through the ink supply ports 45. Thereafter, when the piezoelectric vibrator 10 is expanded, the diaphragm portion 44 is pushed toward the pressure generating chamber forming plate 30 side, and the pressure generating chamber 29 contracts. Due to this contraction, the ink pressure in the pressure generating chamber 29 rises, and ink droplets are ejected from the corresponding nozzle openings 48.

そして、この記録ヘッド1では、圧力発生室29(溝状窪部33)の底面がV字状に窪んでいる。このため、隣り合う圧力発生室29,29同士を区画する隔壁部28は、その根本部分の肉厚が先端部分の肉厚よりも厚く形成される。これにより、隔壁部28の剛性を従来よりも高めることができる。従って、インク滴の吐出時において、圧力発生室29内にインク圧力の変動が生じたとしても、その圧力変動を隣の圧力発生室29に伝わり難くすることができる。その結果、所謂隣接クロストークを防止でき、インク滴の吐出を安定化できる。   In the recording head 1, the bottom surface of the pressure generating chamber 29 (groove-shaped recess 33) is recessed in a V shape. For this reason, the partition wall portion 28 that partitions the adjacent pressure generation chambers 29 and 29 is formed such that the thickness of the base portion is thicker than the thickness of the tip portion. Thereby, the rigidity of the partition wall portion 28 can be increased as compared with the prior art. Therefore, even when the ink pressure fluctuates in the pressure generation chamber 29 when ink droplets are ejected, the pressure fluctuation can be hardly transmitted to the adjacent pressure generation chamber 29. As a result, so-called adjacent crosstalk can be prevented and ink droplet ejection can be stabilized.

また、本実施例では、共通インク室14と圧力発生室29とを連通するインク供給口45を、弾性板32の板厚方向を貫通する微細孔によって構成したので、レーザー加工等によって高い寸法精度が容易に得られる。これにより、各圧力発生室29…へのインクの流入特性(流入速度や流入量等)を高いレベルで揃えることができる。さらに、レーザー光線によって加工を行なった場合には、加工も容易である。   In this embodiment, since the ink supply port 45 that communicates the common ink chamber 14 and the pressure generation chamber 29 is formed by a fine hole that penetrates the thickness direction of the elastic plate 32, high dimensional accuracy is achieved by laser processing or the like. Is easily obtained. Thereby, the inflow characteristics (inflow speed, inflow amount, etc.) of the ink into each pressure generating chamber 29 can be aligned at a high level. Furthermore, when processing is performed with a laser beam, processing is also easy.

また、本実施例では、列端部の圧力発生室29,29に隣接させてインク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室(すなわち、ダミー窪部36と弾性板32とによって区画される空部)を設けたので、これらの両端の圧力発生室29,29に関し、片側には隣りの圧力発生室29が形成され、反対側にはダミー圧力発生室が形成されることになる。これにより、列端部の圧力発生室29,29に関し、その圧力発生室29を区画する隔壁の剛性を、列途中の他の圧力発生室29…における隔壁の剛性に揃えることができる。その結果、一列全ての圧力発生室29のインク滴吐出特性を揃えることができる。   Further, in this embodiment, a dummy pressure generating chamber (that is, an empty portion defined by the dummy recess 36 and the elastic plate 32) adjacent to the pressure generating chambers 29, 29 at the end of the row and not involved in ink droplet ejection. ), The adjacent pressure generating chambers 29 are formed on one side and the dummy pressure generating chambers are formed on the opposite side. Thereby, regarding the pressure generation chambers 29 and 29 at the end of the row, the rigidity of the partition walls defining the pressure generation chamber 29 can be made equal to the rigidity of the partition walls in the other pressure generation chambers 29. As a result, the ink droplet ejection characteristics of all the pressure generating chambers 29 in one row can be made uniform.

さらに、このダミー圧力発生室に関し、列設方向側の幅を各圧力発生室29…の幅よりも広くしている。換言すれば、ダミー窪部36の幅を溝状窪部33の幅よりも広くしている。これにより、列端部の圧力発生室29と列途中の圧力発生室29の吐出特性をより高い精度で揃えることができる。   Further, with respect to the dummy pressure generating chambers, the width in the row direction is made wider than the width of each pressure generating chamber 29. In other words, the width of the dummy recess 36 is wider than the width of the groove-like recess 33. Thereby, the discharge characteristics of the pressure generating chamber 29 at the end of the row and the pressure generating chamber 29 in the middle of the row can be aligned with higher accuracy.

さらに、本実施例では、ケース2の先端面を部分的に窪ませて先端凹部15を形成し、この先端凹部15と弾性板32とにより共通インク室14を区画形成しているので、共通インク室14を形成するための専用部材が不要であり、構成の簡素化が図れる。また、このケース2は樹脂成型によって作製されているので、先端凹部15の作製も比較的容易である。   Furthermore, in the present embodiment, the front end surface of the case 2 is partially recessed to form the front end concave portion 15, and the common ink chamber 14 is defined by the front end concave portion 15 and the elastic plate 32. A dedicated member for forming the chamber 14 is not required, and the configuration can be simplified. Further, since the case 2 is manufactured by resin molding, it is relatively easy to manufacture the tip recess 15.

次に、上記記録ヘッド1の製造方法について説明する。なお、この製造方法では、上記の圧力発生室形成板30の製造工程に特徴を有しているので、圧力発生室形成板30の製造工程を中心に説明することにする。   Next, a method for manufacturing the recording head 1 will be described. In addition, since this manufacturing method has the characteristic in the manufacturing process of said pressure generation chamber formation board 30, it demonstrates centering on the manufacturing process of the pressure generation chamber formation board 30. FIG.

なお、この圧力発生室形成板30は、順送り型による鍛造加工によって作製される。また、圧力発生室形成板30の素材として使用される帯状の金属基板55(図10参照)は、上記したようにニッケル製である。   The pressure generating chamber forming plate 30 is produced by forging using a progressive die. Further, the band-shaped metal substrate 55 (see FIG. 10) used as a material for the pressure generating chamber forming plate 30 is made of nickel as described above.

圧力発生室形成板30の製造工程は、窪み状部である溝状窪部33を形成する溝状窪部形成工程と、連通口34を溝状窪部33の底部に形成する連通口形成工程とからなり、順送り型によって行なわれる。   The manufacturing process of the pressure generating chamber forming plate 30 includes a groove-shaped recess forming process for forming the groove-shaped recess 33 that is a recess-shaped part, and a communication port forming process for forming the communication port 34 at the bottom of the groove-shaped recess 33. It consists of and is performed by a progressive feed type.

溝状窪部形成工程では、図8に示す第1雄型51と図9に示す雌型52とを用いる。この第1雄型51は、溝状窪部33を形成するための金型である。この雄型には、溝状窪部33を形成するための突条部53を、溝状窪部33と同じ数だけ列設してある。また、列設方向両端部の突条部53に隣接させてダミー窪部36を形成するためのダミー突条部(図示せず)も設ける。突条部53の先端部分53aは先細りしており、例えば図8(b)に示すように、幅方向の中心から45度程度の角度で面取りされている。これにより、長手方向から見てV字状に尖っている。また、先端部分53aにおける長手方向の両端は、図8(a)に示すように、45度程度の角度で面取りしてある。このため、突条部53の先端部分53aは、三角柱の両端を面取りした形状となっている。   In the groove-shaped recess forming step, a first male mold 51 shown in FIG. 8 and a female mold 52 shown in FIG. 9 are used. The first male mold 51 is a mold for forming the groove-like recess 33. In this male mold, the same number of ridges 53 for forming the groove-like depressions 33 as the groove-like depressions 33 are arranged. Further, dummy ridges (not shown) for forming the dummy recesses 36 adjacent to the ridges 53 at both ends in the row direction are also provided. The tip 53a of the ridge 53 is tapered, and is chamfered at an angle of about 45 degrees from the center in the width direction as shown in FIG. 8B, for example. Thereby, it is sharp in V shape seeing from the longitudinal direction. Further, both ends in the longitudinal direction of the tip portion 53a are chamfered at an angle of about 45 degrees as shown in FIG. For this reason, the front-end | tip part 53a of the protrusion part 53 becomes a shape which chamfered both ends of the triangular prism.

また、図9に示すように、雌型52には、その上面に筋状突起54が複数形成されている。この筋状突起54は、隣り合う圧力発生室29,29同士を区画する隔壁の形成を補助するものであり、突条部53に対向した位置に突条部53の長手方向と同方向に設けられている。そして、筋状突起54は、図9,図10に示すように、断面が楔形とされ尖った部分が突条部53の先端部分53aに対向している。また、筋状突起54の長さは溝状窪部33(突条部53)の長さと同程度に設定されている。   Further, as shown in FIG. 9, the female mold 52 has a plurality of streak projections 54 formed on the upper surface thereof. The streak 54 assists the formation of a partition partitioning the adjacent pressure generating chambers 29 and 29, and is provided at a position facing the protrusion 53 in the same direction as the longitudinal direction of the protrusion 53. It has been. As shown in FIGS. 9 and 10, the streak 54 is wedge-shaped in cross section and has a pointed portion facing the tip portion 53 a of the ridge 53. Further, the length of the streak-like projection 54 is set to be approximately the same as the length of the groove-like recess 33 (the ridge 53).

そして、溝状窪部形成工程では、まず、図10(a)に示すように、雌型52の上面に金属基板55を載置し、金属基板55の上方に第1雄型51を配置する。次に、図10(b)に示すように、第1雄型51を下降させて突条部53の先端部を金属基板55内に押し込む。このとき、突条部53の先端部分53aをV字状に尖らせているので、突条部53を座屈させることなく先端部分53aを金属基板55内に確実に押込むことができる。この突条部53の押込みは、図10(c)に示すように、金属基板55の板厚方向の途中まで行なう。   In the groove-like recess forming step, first, as shown in FIG. 10A, the metal substrate 55 is placed on the upper surface of the female die 52, and the first male die 51 is placed above the metal substrate 55. . Next, as shown in FIG. 10B, the first male mold 51 is lowered and the tip of the protrusion 53 is pushed into the metal substrate 55. At this time, since the tip portion 53a of the ridge portion 53 is sharpened in a V shape, the tip portion 53a can be surely pushed into the metal substrate 55 without buckling the ridge portion 53. As shown in FIG. 10C, the protrusion 53 is pushed halfway in the thickness direction of the metal substrate 55.

突条部53の押込みにより、金属基板55の一部分が流動し、溝状窪部33が形成される。ここで、突条部53の先端部分53aがV字状に尖っているので、微細な形状の溝状窪部33であっても、高い寸法精度で形成することができる。すなわち、先端部分53aで押された部分が円滑に流れるので、形成される溝状窪部33は突条部53の形状に倣った形状に形成される。さらに、先端部分53aにおける長手方向の両端も面取りしてあるので、当該部分で押圧された金属基板55も円滑に流れる。従って、溝状窪部33の長手方向両端部についても高い寸法精度で形成できる。   Due to the pushing of the protrusion 53, a part of the metal substrate 55 flows and the groove-like recess 33 is formed. Here, since the tip end portion 53a of the ridge 53 is pointed in a V-shape, even the fine groove-shaped recess 33 can be formed with high dimensional accuracy. That is, since the portion pressed by the tip portion 53 a flows smoothly, the formed groove-like recess 33 is formed in a shape that follows the shape of the protrusion 53. Furthermore, since both ends in the longitudinal direction of the tip portion 53a are also chamfered, the metal substrate 55 pressed by the portion also flows smoothly. Therefore, both end portions in the longitudinal direction of the groove-like recess 33 can be formed with high dimensional accuracy.

上記のように先端部分53aが金属基板55に食込むと、先端部分53aに対向している筋状突起54と先端部分53aとの間で金属素材が挟みつけられ、それに伴う素材の流動が突条部53,53の間の空間内に向ってなされる。   When the tip portion 53a bites into the metal substrate 55 as described above, the metal material is sandwiched between the streak-like projection 54 facing the tip portion 53a and the tip portion 53a, and the flow of the material accompanying this is projected. It is made in the space between the strips 53, 53.

また、突条部53の押込みを板厚方向の途中で止めているので、貫通孔として形成する場合よりも厚い金属基板55を用いることができる。これにより、圧力発生室形成板30の剛性を高めることができ、インク滴の吐出特性の向上が図れる。また、圧力発生室形成板30の取り扱いも容易となるうえ、平面精度の向上にも有利である。   Moreover, since pushing of the protrusion 53 is stopped in the middle of the plate thickness direction, a metal substrate 55 that is thicker than when formed as a through hole can be used. As a result, the rigidity of the pressure generating chamber forming plate 30 can be increased, and the ink droplet ejection characteristics can be improved. In addition, handling of the pressure generating chamber forming plate 30 is facilitated, and it is advantageous for improving the planar accuracy.

また、突条部53で押圧されたことにより、金属基板55の一部は隣り合う突条部53,53の空間内に隆起する。ここで、雌型52に設けた筋状突起54は、突条部53,53と対向するよう配置されているので、この空間内への金属基板55の流れを補助する。これにより、突条部53間の空間に対して効率よく金属基板55を導入することができ、隆起部を高く形成できる。   Further, as a result of being pressed by the ridge 53, a part of the metal substrate 55 is raised in the space between the adjacent ridges 53, 53. Here, the streak 54 provided on the female mold 52 is arranged so as to face the protrusions 53, 53, and therefore assists the flow of the metal substrate 55 into this space. Thereby, the metal board | substrate 55 can be efficiently introduce | transduced with respect to the space between the protrusion parts 53, and a raised part can be formed highly.

つぎに、金属基板に窪み状部を多数形成した場合における金属基板の変形挙動について説明する。   Next, the deformation behavior of the metal substrate when a large number of depressions are formed on the metal substrate will be described.

図10(c)は第1雄型51が進出し切って最大ストロークとなっている状態である。この状態では、金属基板55は第1雄型51と雌型52との間で完全に拘束された状態になっている。ここで、第1雄型51が元の位置に復帰すると、金属基板55は開放状態となる。このときに金属基板55の内部応力によって、圧力発生室形成板30は図10(d)に示すように、中央部が低く端部側が高い位置をとるような滑らかな曲線状の変形を呈する。この変形は略円弧状である。上記のように湾曲するのは、金属基板55の多肉部55aが内部応力によって溝状窪部33の列設方向に延びる現象と、多肉部55aの上側に位置する溝状窪部33が空間部になっていて上記列設方向の延びを制約できない現象とが複合して発生しているものと考えられる。   FIG. 10C shows a state in which the first male mold 51 has advanced to the maximum stroke. In this state, the metal substrate 55 is completely restrained between the first male mold 51 and the female mold 52. Here, when the first male mold 51 returns to the original position, the metal substrate 55 is opened. At this time, due to the internal stress of the metal substrate 55, the pressure generating chamber forming plate 30 exhibits a smooth curved deformation such that the center portion is low and the end portion side is high as shown in FIG. This deformation is substantially arcuate. The reason why the metal plate 55 is curved as described above is that the thick portions 55a of the metal substrate 55 extend in the direction in which the groove-like recesses 33 are arranged due to internal stress, and the groove-like recesses 33 located above the thick portions 55a This phenomenon is considered to occur in combination with the phenomenon that the extension in the row direction cannot be restricted.

換言すると、上述のように、この湾曲形状は、溝状窪部33が開口している側を上側に溝状窪部33の底部を下側にして圧力発生室形成板30を略水平状態にした場合、列設された溝状窪部33の列設端部が上位に位置し、この列設端部から中央部に向って徐々に下位になって行く形状となっている。   In other words, as described above, the curved shape is such that the pressure generating chamber forming plate 30 is in a substantially horizontal state with the side where the groove-like recess 33 is open on the upper side and the bottom of the groove-like recess 33 on the lower side. In this case, the lined end portions of the line-shaped groove-like recesses 33 are positioned at the upper level, and the shape gradually decreases from the lined end toward the center.

このようにして溝状窪部33を形成したならば、連通口形成工程に移行して溝状窪部33の底部に微細穴である連通口34を形成する。   When the groove-like recess 33 is formed in this way, the process proceeds to a communication port forming step, and the communication port 34 that is a fine hole is formed at the bottom of the groove-like recess 33.

この連通口形成工程では、図11に示すように、第2雄型57と第3雄型59とを用いる。ここで、第2雄型57は、第1連通口37の形状に対応する角柱状の第1ポンチ56を複数本櫛歯状に設けたもの、すなわち、複数の第1ポンチ56…をベース部材に所定ピッチで列設したものである。そして、このポンチ56の先端面56fは、図11(d)に示すように、その押込み方向線O1に対して垂直となるように形成されている。また、第3雄型59は、第2連通口38の形状に対応した角柱状の第2ポンチ58を複数本櫛歯状に形成したものであり、同様に、複数の第2ポンチ58…をベース部材に所定ピッチで列設したものである。そして、このポンチ58の先端面58fは、図11(b)に示すように、その押込み方向線O1に対して垂直となるように形成されている。なお、第2ポンチ58は、第1ポンチ56よりも一回り細い形状に作製されている。   In this communication port forming step, a second male mold 57 and a third male mold 59 are used as shown in FIG. Here, the second male die 57 is provided with a plurality of prismatic first punches 56 corresponding to the shape of the first communication port 37 in a comb tooth shape, that is, a plurality of first punches 56. Are arranged at a predetermined pitch. And the front end surface 56f of this punch 56 is formed so that it may become perpendicular | vertical with respect to the pushing direction line O1, as shown in FIG.11 (d). The third male mold 59 is formed by forming a plurality of prismatic second punches 58 corresponding to the shape of the second communication port 38 in a comb-teeth shape. Similarly, a plurality of second punches 58. The base members are arranged at a predetermined pitch. And the front end surface 58f of this punch 58 is formed so that it may become perpendicular | vertical with respect to the pushing direction line O1, as shown in FIG.11 (b). The second punch 58 is formed in a shape that is slightly thinner than the first punch 56.

図10(d)に示すように、溝状窪部33の底部も略円弧状の線上に配列されているので、溝状窪部33の列設端部のものは、図11(d)に示すように、ポンチ56の押込み方向線O1に対して溝状窪部33の中心線O2が角度θ分だけ傾斜している。したがって、図11(d)に示す状態でポンチ56を押込み方向線O1の方向に押込むと、ポンチ先端面56fの片側の角部だけが溝状窪部33のV字状底部の片側傾斜面に押し付けられるので、ポンチ56には矢線P1に示す曲げ力が作用する。上記曲げ力P1は、ポンチ列56aの端部からポンチ列56aの中央部に向って作用する。したがって、1本のポンチ56としては、その付根部分に曲げ応力が集中することになる。   As shown in FIG. 10 (d), since the bottom of the groove-like recess 33 is also arranged on a substantially arc-shaped line, the end of the row-like recess 33 is shown in FIG. 11 (d). As shown, the center line O2 of the groove-like recess 33 is inclined by the angle θ with respect to the pushing direction line O1 of the punch 56. Therefore, when the punch 56 is pushed in the direction of the pushing direction line O1 in the state shown in FIG. 11D, only one corner of the punch tip surface 56f is the one-side inclined surface of the V-shaped bottom of the groove-like recess 33. Therefore, a bending force indicated by an arrow P1 acts on the punch 56. The bending force P1 acts from the end of the punch row 56a toward the center of the punch row 56a. Therefore, bending stress concentrates on the root portion of one punch 56.

このような曲げ力P1が作用することにより、ポンチ56の溝状窪部33の底部に対する押込み位置が図(d)の右側にずれることとなり、第1連通口37の開口位置の精度が低下することになる。このような現象は、角度θが大きい箇所において顕著に発生し、溝状窪部33の列の端部へいくほど顕著になり、逆にポンチ列56aの中央部近傍では問題視されないようになる。すなわち、角度θは、溝状窪部33の端部近傍において大きくなっているので、端部近傍におけるポンチ56の押込み位置のずれが問題になる。そして、このような現象は、上記角度θが溝状窪部33の列設中央部に向って徐々に小さくなるので、曲げ力P1も徐々に小さくなっている。上記のポンチ56の位置ずれは、ポンチ56が弾性的に変形する場合と塑性変形をする場合があり、いずれにおいても第1連通口37の開口位置の精度が低下する。上記のような現象は、ポンチ列56aの端部もしくは端部近傍において強く現われるので、ポンチ列の端部付近のポンチ56が損耗しやすくなり、工具としての耐久性が低下している。   When such a bending force P1 acts, the pushing position of the punch 56 with respect to the bottom of the groove-like recess 33 is shifted to the right in FIG. 4D, and the accuracy of the opening position of the first communication port 37 is lowered. It will be. Such a phenomenon occurs remarkably at a position where the angle θ is large, and becomes more prominent as it goes to the end of the row of the groove-like depressions 33, and conversely, it is not regarded as a problem near the center of the punch row 56a. . That is, since the angle θ is large in the vicinity of the end portion of the groove-like recess 33, a shift in the pushing position of the punch 56 in the vicinity of the end portion becomes a problem. In such a phenomenon, the angle θ is gradually reduced toward the center line of the groove-like recesses 33, so that the bending force P1 is also gradually reduced. The positional deviation of the punch 56 may cause the punch 56 to be elastically deformed or plastically deformed, and in any case, the accuracy of the opening position of the first communication port 37 is lowered. Since the phenomenon as described above appears strongly at or near the end of the punch row 56a, the punch 56 near the end of the punch row is likely to be worn out, and the durability as a tool is reduced.

上記のような問題を解消するために、図11(e)に示すように、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56の先端面に、ポンチ列56aの中央側がポンチ56の押込み方向に対して後退する傾斜面56gを形成した。上記傾斜面56gは、図11(f)に示すように、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど雄型(ポンチ56)の進行方向に向って突出する傾斜が付与されている。また、ポンチ列56aの各ポンチ56の先端面が形成するポンチ先端列56bは、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど雄型57の進出方向に向って突出する傾斜を有している。すなわち、図(f)に示した2点鎖線は、ポンチ56(雄型)の押込み方向に対して垂直な状態で存在する仮想平面Sであり、ポンチ列56aの中央部側(図の右側)にいくほどこの仮想平面Sと傾斜面56gとの間隔が大きくなっている。なお、上記ポンチ先端列56bは、各ポンチ56の先端部をポンチの配列方向に連ねることによって形成される形状線を意味している。   In order to solve the above problem, as shown in FIG. 11 (e), the center side of the punch row 56 a faces the pushing direction of the punch 56 on the tip surface of the punch 56 near the end of the punch row 56 a. A receding inclined surface 56g was formed. As shown in FIG. 11 (f), the inclined surface 56 g is provided with an inclination that protrudes toward the traveling direction of the male mold (punch 56) as the vicinity of the end of the punch row 56 a goes to the end. Further, the punch front end row 56b formed by the front end surface of each punch 56 of the punch row 56a has an inclination that protrudes toward the advancing direction of the male mold 57 as the vicinity of the end of the punch row 56a goes to the end. Yes. That is, the two-dot chain line shown in FIG. 5 (f) is a virtual plane S that exists in a state perpendicular to the pushing direction of the punch 56 (male), and the central portion side (the right side in the drawing) of the punch row 56a. The distance between the virtual plane S and the inclined surface 56g increases as the distance increases. The punch tip row 56b means a shape line formed by connecting the tip portions of the punches 56 in the punch arrangement direction.

図11(g)に示すように、傾斜面56gを形成することにより、ポンチ56の先端面の角部に鋭角部56hが形成される。この鋭角部56hが溝状窪部33の底部の斜面に突き当たると、上記のような曲げ力P1が発生する。それと同時に鋭角部56hが溝状窪部33の底部に食込むので、曲げ力P1に対向する曲げ力P2が発生する。この曲げ力P2の発生により、対向する曲げ力P1が全面的または部分的に相殺されるので、ポンチ56をポンチ列56aの中央部側に寄せ付けようとする曲げ力P1が消滅または減殺される。上記曲げ力P2の発生は、金属基板55に食い込んだ傾斜面56gが金属基板55から反力を受けることによって、生じているものと考えられる。   As shown in FIG. 11G, by forming the inclined surface 56g, an acute angle portion 56h is formed at the corner portion of the tip surface of the punch 56. When the acute angle portion 56h hits the slope of the bottom of the groove-like recess 33, the bending force P1 as described above is generated. At the same time, the acute angle portion 56h bites into the bottom of the groove-like recess 33, so that a bending force P2 that opposes the bending force P1 is generated. Due to the generation of the bending force P2, the opposing bending force P1 is canceled out entirely or partially, so that the bending force P1 that tries to bring the punch 56 closer to the center of the punch row 56a disappears or is reduced. The generation of the bending force P <b> 2 is considered to be caused by the reaction of the inclined surface 56 g biting into the metal substrate 55 from the metal substrate 55.

図11(f)に示された各ポンチ56は、溝状窪部33の列設ピッチと同じピッチとされ、雄型57が進出すると、各ポンチ56が溝状窪部33の底部の所定箇所に押し込まれる。上述のように、ポンチ列56aの各ポンチ56の先端面が形成するポンチ先端列56bは、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど雄型57の進出方向に向って突出する傾斜を有している。このような原則にしたがって、ポンチ先端列56bの形状には、つぎのような種々な変形例を構成することができる。すなわち、図11(h)は、ポンチ先端列56bが滑らかな曲線状とされ、この例ではポンチ先端列56bは円弧線を描いている。なお、図11(h)〜(l)においては、圧力発生室形成板30(金属基板55)にあらかじめ成形されている溝状窪部33は、短い線を細かく並べて簡略的に図示してある。   Each punch 56 shown in FIG. 11 (f) has the same pitch as the arrangement pitch of the groove-like recesses 33, and when the male mold 57 advances, each punch 56 becomes a predetermined position at the bottom of the groove-like recess 33. Is pushed into. As described above, the punch front end row 56b formed by the front end surface of each punch 56 of the punch row 56a has an inclination that protrudes toward the advancing direction of the male mold 57 as the vicinity of the end of the punch row 56a goes to the end. Have. In accordance with such a principle, the following various modifications can be made in the shape of the punch leading end row 56b. That is, in FIG. 11H, the punch tip end row 56b has a smooth curved shape, and in this example, the punch tip end row 56b draws an arc line. In FIGS. 11 (h) to 11 (l), the groove-shaped recess 33 formed in advance on the pressure generating chamber forming plate 30 (metal substrate 55) is illustrated by arranging short lines finely. .

図11(i)は、ポンチ先端列56bが、ポンチ列56aの端部近傍部分が傾斜する直線状部分56cとされるとともに、ポンチ列の中央近傍は列方向に延びる直線状部分56dとされている。この図(i)の例において、上記直線状部分56dを滑らかな曲線状にすることも可能である。この曲線状の部分は、後述の図(k)に示す円弧形状部56iと同様にして形成される。また、図(j)は、上記(i)の中央近傍の直線状部分56dがポンチ56の押込み方向に突出している場合である。図(k)は、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ先端列56bが円弧形状部56iとされ、中央近傍が直線状部分56dとされている。   In FIG. 11 (i), the punch front end row 56b is a straight portion 56c in which the vicinity of the end of the punch row 56a is inclined, and the vicinity of the center of the punch row is a linear portion 56d extending in the row direction. Yes. In the example of FIG. (I), the linear portion 56d can be formed into a smooth curved shape. This curved portion is formed in the same manner as an arc-shaped portion 56i shown in FIG. Further, FIG. (J) shows a case where the linear portion 56d in the vicinity of the center of (i) protrudes in the pushing direction of the punch 56. In the drawing (k), the punch tip row 56b near the end of the punch row 56a is an arc-shaped portion 56i, and the vicinity of the center is a straight portion 56d.

また、ポンチ先端列56bの変形例は上述のとおりであるが、ポンチ56の長さは、上記ポンチ先端列56bの形状に応じて設定されている。すなわち、上記ポンチの長さは、各例に示すように、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど長くなるよう設定されている。また、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56が、ポンチ列56aの略中央部のポンチ56よりも長くなるよう設定されている(図11(h),(i),(l)等)。さらに、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど長くなるよう設定されているとともに、ポンチ列56aの中央部近傍がポンチ56の押込み方向に向かって突出する長さに設定されている(図11(j),(k)等)。なお、図11(m)に示すように、ポンチ56の先端部が上記仮想平面S上に配列されるようにして、上記曲げ力P2を得ることも可能である。   The modification of the punch tip row 56b is as described above. The length of the punch 56 is set according to the shape of the punch tip row 56b. That is, as shown in each example, the length of the punch is set so that the vicinity of the end of the punch row 56a becomes longer toward the end. Further, the punch 56 in the vicinity of the end portion of the punch row 56a is set to be longer than the punch 56 in the substantially central portion of the punch row 56a (FIGS. 11 (h), (i), (l), etc.). Further, the vicinity of the end portion of the punch row 56a is set so as to become longer toward the end portion, and the length in the vicinity of the center portion of the punch row 56a is set to protrude in the pushing direction of the punch 56 ( FIG. 11 (j), (k), etc.). Note that, as shown in FIG. 11 (m), the bending force P2 can be obtained by arranging the front ends of the punches 56 on the virtual plane S.

この連通口形成工程では、ベース部材を昇降させて列設された第1ポンチ56および第2ポンチ58を一斉に上下させて、列状に並んだ微細穴である連通口34を同時に穿設加工する。すなわち、まず、図11(a)に示すように、第2雄型57の第1ポンチ56を金属基板55における溝状窪部33側の底部から板厚方向の途中まで押し込んで第1連通口37となる非貫通状の窪部を形成する(第1連通口形成工程)。この第1連通口形成工程においては、ポンチ先端列56bが図11(g)に示すように、曲げ力P1とP2とが対向して、ポンチ56の曲がり防止や押込み位置のずれ防止がなされている。   In this communication port forming step, the first punch 56 and the second punch 58 arranged in a row by raising and lowering the base member are moved up and down all at once, and the communication ports 34 that are fine holes arranged in a row are simultaneously drilled. To do. That is, first, as shown in FIG. 11 (a), the first punch 56 of the second male mold 57 is pushed in from the bottom of the metal substrate 55 on the groove-like recess 33 side to the middle in the plate thickness direction. A non-penetrating recess that becomes 37 is formed (first communication port forming step). In this first communication port forming step, as shown in FIG. 11G, the punch leading end row 56b is opposed to the bending forces P1 and P2, thereby preventing the punch 56 from being bent and the pushing position from being displaced. Yes.

上記のように、曲げ力P1とP2とが対向して、ポンチ56の曲がり防止や押込み位置のずれ防止がなされているので、連通口34が所定の箇所に正確に形成される。また、ポンチ56に対する曲げ力が対向する曲げ力P1とP2によって相殺または大幅に減殺されるので、ポンチ56の耐久性が向上する。   As described above, the bending forces P1 and P2 face each other to prevent the punch 56 from bending and to prevent the pushing position from being displaced, so that the communication port 34 is accurately formed at a predetermined location. Further, since the bending force against the punch 56 is offset or greatly reduced by the opposing bending forces P1 and P2, durability of the punch 56 is improved.

第3雄型59の第2ポンチ58においても、図11(b)に示すように、上記ポンチ56と同様に、ポンチ列58aと各ポンチ58の先端部で形成されるポンチ先端列58bが形成されている。そして、ポンチ先端列58bの列形状やポンチの長さは、上記ポンチ先端列56bやポンチ56の長さと同様に構成されている。上記のように、第1連通口37となる窪部を形成したならば、図11(b)に示すように、第3雄型59の第2ポンチ58を溝状窪部33側から押込んで第1連通口37の底部に押込み、第2連通口38となる非貫通状の窪部を形成する(第2連通口形成工程)。この第2連通口形成工程において、金属基板55の裏面に膨出部38aが形成される。   Also in the second punch 58 of the third male mold 59, as shown in FIG. 11B, a punch tip row 58b formed by the punch row 58a and the tip portion of each punch 58 is formed as in the punch 56. Has been. The shape of the punch tip row 58b and the length of the punch are configured in the same manner as the length of the punch tip row 56b and the punch 56. As described above, when the recess serving as the first communication port 37 is formed, the second punch 58 of the third male mold 59 is pushed in from the groove-like recess 33 side as shown in FIG. It pushes into the bottom part of the 1st communicating port 37, and the non-penetrating recessed part used as the 2nd communicating port 38 is formed (2nd communicating port formation process). In the second communication port forming step, the bulging portion 38 a is formed on the back surface of the metal substrate 55.

その後、上記膨出部38aを図11(b)に2点鎖線で示す仮想平面30aのところまで研磨して、第2連通口38を圧力発生室形成板30の裏面側に開通させる(第3連通口形成工程)。   Thereafter, the bulging portion 38a is polished to a virtual plane 30a indicated by a two-dot chain line in FIG. 11B, and the second communication port 38 is opened to the back side of the pressure generating chamber forming plate 30 (third Communication port forming process).

上記微細穴の穿設加工方法の実施例の作用効果を列記すると、つぎのとおりである。   It is as follows when the effect of the Example of the said fine hole drilling processing method is listed.

すなわち、本発明の微細穴の穿設加工方法によれば、何等かの原因で、例えば、金属基板55に所定のピッチで列状に並んだ溝状窪部33が形成される際に、金属基板55の成形局部に発生する内部応力等が列状であることにより集積されて、溝状窪部33の列状の配列形態が、溝状窪部33の列設方向で見て、金属基板55が湾曲したような異形形態を呈することがある。しかし、少なくともポンチ列56aの端部近傍のポンチ56の先端面に、ポンチ列56aの中央部側がポンチ56の押込み方向に対して後退する傾斜面56gが付与してあるので、上記異形形態によって端部近傍のポンチ56にポンチ列中央部側への曲げ力P1が作用しても、この曲げ力P1に対向する曲げ力P2が発生する。したがって、傾斜面56gによって得られた曲げ力P2が上記曲げ力P1を相殺または大幅に減殺するので、ポンチ56に作用する曲げ力P1を問題にならないレベルに低減することができる。このようにして、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56に傾き等が発生しないので、溝状窪部33底部の所定の箇所に正確に連通口34を列状に形成することができる。   That is, according to the fine hole drilling method of the present invention, when the groove-like recesses 33 arranged in a row at a predetermined pitch are formed on the metal substrate 55 for some reason, for example, The internal stress generated in the forming local part of the substrate 55 is accumulated in a row, and the row-like arrangement form of the groove-like recesses 33 is viewed in the direction in which the groove-like recesses 33 are arranged. May have a deformed shape such as 55 curved. However, since the inclined surface 56g in which the central portion side of the punch row 56a recedes with respect to the pushing direction of the punch 56 is provided at least on the front end surface of the punch 56 in the vicinity of the end portion of the punch row 56a, the end shape is changed according to the above-described variant. Even if a bending force P1 toward the center of the punch row acts on the punch 56 in the vicinity of the portion, a bending force P2 opposite to the bending force P1 is generated. Therefore, since the bending force P2 obtained by the inclined surface 56g cancels or greatly reduces the bending force P1, the bending force P1 acting on the punch 56 can be reduced to a level that does not cause a problem. In this way, since no inclination or the like occurs in the punches 56 near the ends of the punch rows 56a, the communication ports 34 can be accurately formed in rows at predetermined locations on the bottom of the groove-like recesses 33.

したがって、異形形態による加工精度の低下を防止して良好な精度品質が得られる。さらに、上記端部近傍のポンチ56に対する曲げ負荷が軽減されるので、特定の部分のポンチ56が曲がったり折損したりすることがなく、ポンチ工具の耐久性を向上することができる。上記のような利点は、例えば、液体噴射ヘッドにおける連通口34を列状に設ける場合において、とくに有効なものである。   Accordingly, it is possible to prevent a decrease in machining accuracy due to the irregular shape and obtain a good accuracy quality. Furthermore, since the bending load on the punch 56 in the vicinity of the end portion is reduced, the punch 56 in a specific portion is not bent or broken, and the durability of the punch tool can be improved. The above advantages are particularly effective when, for example, the communication ports 34 in the liquid ejecting head are provided in a line.

上記金属基板55に所定のピッチで列状に並んだ溝状窪部33が形成され、上記ピッチと同ピッチのポンチ56を上記溝状窪部33に押込むものであるから、緻密に列設されている溝状窪部33の所定位置に対して、列設端部近傍に位置する溝状窪部33においても、正確に連通口34を形成することができる。   Groove-shaped recesses 33 arranged in a row at a predetermined pitch are formed on the metal substrate 55, and punches 56 having the same pitch as the pitch are pushed into the groove-shaped recesses 33, so that they are closely arranged. With respect to the predetermined position of the groove-like recess 33, the communication port 34 can be accurately formed also in the groove-like recess 33 located in the vicinity of the row end.

上記ポンチ列56aにおけるポンチ先端列56bが、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど雄型57の進出方向に向かって突出する傾斜を有しているため、、雄型57の進出にともなって端部近傍のポンチ56に初期段階の加工を高精度のもとで行なわせることができる。そして、雄型57の進出にともなって端部近傍のポンチ56にポンチ列中央側への曲げ力P1が作用したり、端部近傍のポンチ56が最初に溝状窪部33に押込まれ加工時間が長くなって加工負荷が大きくなっても、上記傾斜面56gによって端部近傍のポンチ56に作用する曲げ力P1が緩和されているので、溝状窪部33の所定の箇所に正確に連通口34を形成することができ、端部近傍のポンチ56だけが早期のうちに損耗するようなことがなく、ポンチ工具の耐久性を向上することができる。   The punch leading end row 56b in the punch row 56a has an inclination that protrudes toward the advancing direction of the male die 57 as the vicinity of the end of the punch row 56a goes to the end portion. At the same time, the punch 56 near the end can be processed with high accuracy at the initial stage. Then, as the male mold 57 advances, a bending force P1 toward the center of the punch row acts on the punch 56 near the end, or the punch 56 near the end is first pushed into the groove-like recess 33, and the processing time is increased. Since the bending force P1 acting on the punch 56 in the vicinity of the end portion is alleviated by the inclined surface 56g even if the machining load increases and the machining load increases, the communication port can be accurately connected to a predetermined portion of the groove-like recess 33. 34 can be formed, and only the punch 56 in the vicinity of the end portion is not worn out at an early stage, and the durability of the punch tool can be improved.

上記ポンチ列56aにおけるポンチ先端列56bが、ポンチ列56aの中央部よりも端部近傍が、雄型57の進出方向に向かって突出しているため、圧力発生室形成板30に上記異形形態が生じていても、端部近傍のポンチ56がポンチ列中央側のポンチ56に先駆けて加工を開始してからポンチ列全域にわたる加工がなされ、溝状窪部33の所定の位置に正確に連通口34の穴あけ加工が行なわれる。   In the punch row 56a, the punch leading end row 56b protrudes toward the advancing direction of the male mold 57 in the vicinity of the end portion of the punch row 56a rather than the central portion, so that the deformed shape is generated in the pressure generating chamber forming plate 30. Even if the punch 56 in the vicinity of the end portion starts processing prior to the punch 56 in the center of the punch row, the entire punch row is processed, and the communication port 34 is accurately positioned at a predetermined position of the groove-like recess 33. Is drilled.

上記ポンチ列56aにおけるポンチ先端列56bが、滑らかな曲線状であることにより、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56が正確に穴あけ加工をするのに連続して、徐々にポンチ列中央部に穴あけ加工が移行して行き、滑らかな連続的加工が行なうことができ、ポンチ56の耐久性向上にとって有効である。   Since the punch leading end row 56b in the punch row 56a has a smooth curved shape, the punch 56 in the vicinity of the end of the punch row 56a is continuously drilled accurately and gradually in the center of the punch row. The drilling process shifts and smooth continuous machining can be performed, which is effective for improving the durability of the punch 56.

上記ポンチ列56aにおけるポンチ先端列56bが、ポンチ列56aの端部近傍部分が傾斜する直線状部分56cに形成されていることにより、端部近傍のポンチ56が加工を開始してから、上記直線状部分56cの傾斜度合いに応じて徐々にポンチ列中央側へ加工が移行する。このように直線状部分56cの傾斜度合いを所定の角度に選定することにより、端部近傍のポンチ56の加工負荷をポンチ56の耐久性や加工深さに適応させて設定することができ、ポンチ工具の耐久性向上にとって有効である。   Since the punch leading end row 56b in the punch row 56a is formed in the linear portion 56c in which the portion in the vicinity of the end of the punch row 56a is inclined, the straight line after the punch 56 in the vicinity of the end starts processing. The processing gradually moves toward the center of the punch row in accordance with the degree of inclination of the shaped portion 56c. Thus, by selecting the inclination of the linear portion 56c to a predetermined angle, the machining load of the punch 56 near the end can be set in accordance with the durability and machining depth of the punch 56. This is effective for improving the durability of the tool.

上記ポンチ列56aにおけるポンチ先端列56bが、ポンチ列56aの端部近傍部分が傾斜する直線状部分56cに形成されるとともに、ポンチ列56aの中央近傍は列方向に延びる直線状部分56dに形成されていることにより、端部近傍のポンチ56が加工を開始してから、上記直線状部分56cの傾斜度合いに応じて徐々にポンチ列中央側へ加工が移行する。このように直線状部分56cの傾斜度合いを所定の角度に選定することにより、端部近傍のポンチ56の加工負荷をポンチ56の耐久性や加工深さに適応させて設定することができ、また、傾斜した直線状部分56cから傾斜のない直線状部分56dへ加工が移行するので、ポンチ列全域の加工を円滑に行なうことができる。   The punch leading end row 56b of the punch row 56a is formed as a linear portion 56c in which a portion near the end of the punch row 56a is inclined, and the vicinity of the center of the punch row 56a is formed as a linear portion 56d extending in the row direction. Therefore, after the punch 56 in the vicinity of the end portion starts processing, the processing gradually shifts to the center side of the punch row according to the inclination degree of the linear portion 56c. Thus, by selecting the inclination of the linear portion 56c at a predetermined angle, the processing load of the punch 56 near the end can be set according to the durability and processing depth of the punch 56, and Since the processing shifts from the inclined linear portion 56c to the linear portion 56d having no inclination, the entire punch row can be processed smoothly.

上記ポンチ列56aにおけるポンチ先端列56bが、ポンチ列56aの端部近傍部分が滑らかな円弧形状部56iに形成されるとともに、ポンチ列56aの中央近傍は列方向に延びる直線状部分56dに形成されていることにより、端部近傍のポンチ56が加工を開始してから、上記円弧形状部56iの曲線状態に応じて徐々にポンチ列中央側へ加工が移行する。このように円弧形状部56iの曲線状態を所定の曲率に選定することにより、端部近傍のポンチ56の加工負荷をポンチ56の耐久性や加工深さに適応させて設定することができ、また、円弧形状部56iから直線状部分56dへ加工が移行するので、ポンチ列全域の加工を円滑に行なうことができる。   The punch leading end row 56b in the punch row 56a is formed into a smooth arc-shaped portion 56i in the vicinity of the end portion of the punch row 56a, and the central portion of the punch row 56a is formed in a linear portion 56d extending in the row direction. Therefore, after the punch 56 in the vicinity of the end portion starts processing, the processing gradually moves toward the center of the punch row in accordance with the curved state of the arc-shaped portion 56i. Thus, by selecting the curved state of the arc-shaped portion 56i to a predetermined curvature, the processing load of the punch 56 near the end can be set in accordance with the durability and processing depth of the punch 56, and Since the processing shifts from the arc-shaped portion 56i to the linear portion 56d, the processing of the entire punch row can be performed smoothly.

上記ポンチ56の長さが、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど長くなるよう設定されていることにより、雄型57の進出にともなって端部近傍のポンチ56にポンチ列中央側への曲げ力P1が作用したり、端部近傍のポンチ56が最初に圧力発生室形成板30に押込まれ加工時間が長くなって加工負荷が大きくなっても、上記傾斜面56gによって端部近傍のポンチ56に作用する曲げ力P1が緩和されているので、圧力発生室形成板30の所定の箇所に正確に連通口34を形成することができ、端部近傍のポンチ56だけが早期のうちに損耗するようなことがなく、ポンチ工具の耐久性を向上することができる。   The length of the punch 56 is set so that the vicinity of the end portion of the punch row 56a becomes longer toward the end portion, so that the punch 56 in the vicinity of the end portion moves toward the center of the punch row as the male mold 57 advances. Even if the bending force P1 is applied to the punch 56 or the punch 56 in the vicinity of the end is first pushed into the pressure generating chamber forming plate 30 and the processing time becomes longer and the processing load increases, the inclined surface 56g increases the vicinity of the end. Since the bending force P1 acting on the punch 56 is relaxed, the communication port 34 can be accurately formed at a predetermined position of the pressure generating chamber forming plate 30, and only the punch 56 in the vicinity of the end portion is in an early stage. Therefore, the durability of the punch tool can be improved.

上記ポンチ56の長さが、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56が、ポンチ列56aの略中央部のポンチ56よりも長くなるよう設定されていることにより、圧力発生室形成板30に上記異形形態が生じていても、端部近傍のポンチ56がポンチ列中央側のポンチ56に先駆けて加工を開始してからポンチ列全域にわたる加工がなされ、溝状窪部33底部の所定の位置に正確に連通口34の穴あけ加工が行なわれる。   The length of the punch 56 is set so that the punch 56 in the vicinity of the end of the punch row 56a is longer than the punch 56 in the substantially central portion of the punch row 56a. Even if a deformed shape is generated, the punch 56 near the end starts processing before the punch 56 in the center of the punch row, and then processing is performed over the entire punch row, and at a predetermined position at the bottom of the groove-like recess 33. Drilling of the communication port 34 is performed accurately.

上記ポンチ56の長さが、ポンチ列56aの端部近傍が端部にいくほど長くなるよう設定されているとともに、ポンチ列56aの中央部近傍がポンチ56の押込み方向に向かって突出する長さに設定されていることにより、雄型57の進出にともなって端部近傍のポンチ56にポンチ列中央側への曲げ力P1が作用したり、端部近傍のポンチ56が最初に圧力発生室形成板30に押込まれ加工時間が長くなって加工負荷が大きくなっても、上記傾斜面56gによって端部近傍のポンチ56に作用する曲げ力P1が緩和されているので、溝状窪部33底部の所定の箇所に正確に連通口34を形成することができ、端部近傍のポンチ56だけが早期のうちに損耗するようなことがなく、ポンチ工具の耐久性を向上することができる。そして、ポンチ列56aの中央部近傍が押込み方向に向って突出する長さに設定されているので、端部近傍の加工が終了するのに略連続した状態で中央部近傍の加工が進行し、ポンチ列56a全体にわたってムラのない加工が行なえる。   The length of the punch 56 is set so that the vicinity of the end portion of the punch row 56 a becomes longer toward the end portion, and the length in which the vicinity of the center portion of the punch row 56 a protrudes in the pushing direction of the punch 56. Accordingly, the bending force P1 toward the center of the punch row acts on the punch 56 near the end as the male mold 57 advances, or the punch 56 near the end first forms a pressure generating chamber. Even if the processing time is increased due to being pushed into the plate 30 and the processing load is increased, the bending force P1 acting on the punch 56 in the vicinity of the end is relieved by the inclined surface 56g. The communication port 34 can be accurately formed at a predetermined location, and only the punch 56 in the vicinity of the end portion is not worn out at an early stage, and the durability of the punch tool can be improved. And, since the vicinity of the central portion of the punch row 56a is set to a length that protrudes in the pushing direction, the processing in the vicinity of the central portion proceeds in a substantially continuous state to finish the processing in the vicinity of the end portion, Uneven processing can be performed over the entire punch row 56a.

上記ポンチ56の断面形状が形状精度を所定値に求めにくい矩形であっても、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56により加工初期段階で高精度の加工が行なわれるので、形状精度の高い矩形の連通口34が得られる。   Even if the cross-sectional shape of the punch 56 is a rectangle whose shape accuracy is difficult to obtain at a predetermined value, the punch 56 in the vicinity of the end of the punch row 56a performs high-precision machining at an early stage of machining. The communication port 34 is obtained.

第1ポンチ56により圧力発生室形成板30に非貫通状の窪部37を形成する第1工程と、第2ポンチ58により上記窪部37の底部を膨出させて非貫通状の窪部38を形成する第2工程と、上記膨出した箇所38aを切除する第3工程を含んでいるため、各ポンチ列56a,58aの端部近傍のポンチ56,58による加工が先行的にしかも高精度で実行され、第1工程および第2工程における各窪部37,38が正確な形状となり、上記膨出部38aの膨出量も略均一となる。したがって、第3工程における切除厚さも各窪部毎に一定となり、切除工程が簡素化され、連通口34の長さが均一なものとなる。   A first step of forming a non-penetrating recess 37 in the pressure generating chamber forming plate 30 by the first punch 56, and a non-penetrating recess 38 by expanding the bottom of the recess 37 by the second punch 58. 2 and the third step of cutting out the bulged portion 38a, the machining by the punches 56 and 58 in the vicinity of the end portions of the punch rows 56a and 58a is advanced and highly accurate. In the first step and the second step, the recesses 37 and 38 have an accurate shape, and the bulging amount of the bulging portion 38a is substantially uniform. Therefore, the excision thickness in the third process is also constant for each recess, the excision process is simplified, and the length of the communication port 34 is uniform.

上記窪み状部が溝状窪部33であることにより、ポンチ列56aの端部近傍における穴あけ加工が溝状窪部33に対して先行的に高精度のもとで実行され、それに引続いて溝状窪部33のピッチに適合させて溝状窪部33の所定の箇所に正確に連通口34を列状に形成することができる。   Since the recess-like portion is the groove-like recess portion 33, the drilling process in the vicinity of the end portion of the punch row 56a is performed on the groove-like recess portion 33 with high accuracy in advance, and subsequently. The communication ports 34 can be accurately formed in rows at predetermined positions of the groove-like recess 33 so as to be adapted to the pitch of the groove-like recess 33.

上記溝状窪部33がV字状の底部を有していることにより、V字状の底部を有する溝状窪部33に連通口34を穿設する場合、溝状窪部33が列設方向に異形形態であると、V字状の傾斜面によってポンチ56の曲がりや逃げが発生しやすく加工精度が低下しがちであるが、ポンチ列56aの端部近傍の溝状窪部33において、異常な傾斜角度のV字状の傾斜面に対して先行的に所定の箇所に正確な穴あけ加工が実行されるので、このような加工精度の問題を解消することができる。   Since the groove-shaped recess 33 has a V-shaped bottom, when the communication port 34 is formed in the groove-shaped recess 33 having the V-shaped bottom, the groove-shaped recess 33 is arranged in a line. If the shape is irregularly shaped, the punch 56 is likely to bend or escape due to the V-shaped inclined surface, and the processing accuracy tends to be reduced. However, in the groove-like recess 33 near the end of the punch row 56a, Since accurate drilling is executed in advance at a predetermined location on the V-shaped inclined surface having an abnormal inclination angle, such a problem of processing accuracy can be solved.

また、本発明の微細穴の穿設加工用工具によれば、上記圧力発生室形成板30が湾曲した異形形態であっても、ポンチ列56aの中央部側がポンチ56の押込み方向に対して後退する傾斜面56gが付与してあるので、上記異形形態によって端部近傍のポンチ56にポンチ列中央部側への曲げ力P1が作用しても、この曲げ力P1に対向する曲げ力P2が発生する。したがって、傾斜面56gによって得られた曲げ力P2が上記曲げ力P1を相殺または大幅に減殺するので、ポンチ56に作用する曲げ力P1を問題にならないレベルに低減することができる。このようにして、ポンチ列56aの端部近傍のポンチ56に傾き等が発生しないので、溝状窪部33の所定の箇所に正確に連通口34を列状に形成することができる。したがって、異形形態による加工精度の低下を防止して良好な精度品質が得られる。さらに、上記端部近傍のポンチ56に対する曲げ負荷が軽減されるので、特定の部分のポンチ56が曲がったり折損したりすることがなく、ポンチ工具の耐久性を向上することができる。上記のような利点は、例えば、液体噴射ヘッドにおける連通口34を列状に設ける場合において、とくに有効なものである。   Further, according to the fine hole drilling tool of the present invention, even if the pressure generating chamber forming plate 30 has a curved shape, the central portion side of the punch row 56a retreats with respect to the pushing direction of the punch 56. Since the inclined surface 56g is provided, even if the bending force P1 toward the center of the punch row acts on the punch 56 in the vicinity of the end due to the above-described irregular shape, the bending force P2 opposite to the bending force P1 is generated. To do. Therefore, since the bending force P2 obtained by the inclined surface 56g cancels or greatly reduces the bending force P1, the bending force P1 acting on the punch 56 can be reduced to a level that does not cause a problem. In this way, no inclination or the like occurs in the punches 56 in the vicinity of the ends of the punch rows 56a, so that the communication ports 34 can be accurately formed in rows at predetermined locations of the groove-like recesses 33. Accordingly, it is possible to prevent a decrease in machining accuracy due to the irregular shape and obtain a good accuracy quality. Furthermore, since the bending load on the punch 56 in the vicinity of the end portion is reduced, the punch 56 in a specific portion is not bent or broken, and the durability of the punch tool can be improved. The above advantages are particularly effective when, for example, the communication ports 34 in the liquid ejecting head are provided in a line.

つぎに、図12に示すように、上記櫛歯状の両ポンチ56,58でのプレス加工による連通口34を穿設加工する第1連通口形成工程および第2連通口形成工程において、第1ポンチ56および第2ポンチ58をそれぞれガイド部材70a,70bで挟持してガイドしながら加工することが行なわれる。以下、この点について説明する。   Next, as shown in FIG. 12, in the first communication port forming step and the second communication port forming step in which the communication port 34 is formed by press working in the comb-like punches 56 and 58, Processing is performed while the punch 56 and the second punch 58 are sandwiched and guided by the guide members 70a and 70b, respectively. Hereinafter, this point will be described.

図12(a)は、所定ピッチで櫛歯状に列設されたポンチ56,58と、各ポンチ56,58をガイドするガイド部材70a,70bを示す模式図である。これを実際のポンチに適用した状態が図12(b)に示されている。   FIG. 12A is a schematic diagram showing punches 56 and 58 arranged in a comb shape at a predetermined pitch, and guide members 70a and 70b for guiding the punches 56 and 58, respectively. A state in which this is applied to an actual punch is shown in FIG.

図13(a)は図12(a)の横断面図、(b)は列設方向の縦断面図である。なお、図ではポンチ56,58を5つしか示していないが、実際には、圧力発生室29となる溝状窪部33と同じ数だけ列設される。   13A is a cross-sectional view of FIG. 12A, and FIG. 13B is a vertical cross-sectional view in the row direction. Although only five punches 56 and 58 are shown in the figure, in practice, the same number of grooves 33 as the pressure generating chambers 29 are arranged.

上記第1および第2ポンチ56,58は、図14に示すように、それぞれ断面形状が矩形であり、上記矩形の平行な2辺を含む面A,Bが、それぞれ列設方向Lに沿うよう所定ピッチで列設されている。そして、上記列設された各ポンチ56,58の列設方向に沿った両側面A,Bを2方向からガイド部材70a,70bにより挟持してガイドしている(図13(a)参照)。   As shown in FIG. 14, the first and second punches 56 and 58 each have a rectangular cross-sectional shape, and the surfaces A and B including two parallel sides of the rectangle are along the row direction L, respectively. They are arranged at a predetermined pitch. Then, both side surfaces A and B along the direction in which the punches 56 and 58 are arranged are sandwiched and guided by guide members 70a and 70b from two directions (see FIG. 13A).

上記ガイド部材70a,70bは、ポンチ56,58の列設方向Lに延びる一対の角棒状であり、ガイド部材70a,70bの対面する内側面で各ポンチ56,58の列設方向に沿った両側面A,Bをガイドするようになっている。   The guide members 70a and 70b have a pair of square bars extending in the direction L in which the punches 56 and 58 are arranged, and both sides of the inner surfaces facing the guide members 70a and 70b along the direction in which the punches 56 and 58 are arranged. The surfaces A and B are guided.

上記各ガイド部材70a,70bには、列設されたポンチ56,58同士の間隙72に面するポンチ56,58の側面C,D(図14参照)をガイドする突部71が設けられている。上記突部71は、ガイド部材70a,70bの対面する内側面に、ガイド部材70a,70bの上端から下端にわたって上下方向に延びるよう形成されている。また、列設されたポンチ56,58の両端部に位置するポンチ56,58の列設方向Lの外側面をガイドする突部71は、いわゆる凸状ではなく段状に形成されている。本実施例において、上記間隙72に面するポンチ56,58の側面C,Dをガイドする突部71は、この両端部の突部71も含むものとする。   Each of the guide members 70a and 70b is provided with a protrusion 71 that guides the side surfaces C and D (see FIG. 14) of the punches 56 and 58 facing the gap 72 between the punches 56 and 58 arranged in a row. . The protrusion 71 is formed on the inner surfaces of the guide members 70a and 70b facing each other so as to extend in the vertical direction from the upper end to the lower end of the guide members 70a and 70b. In addition, the protrusions 71 that guide the outer surfaces of the punches 56 and 58 in the row direction L of the punches 56 and 58 that are located at both ends of the punches 56 and 58 that are arranged in a row are formed in a step shape rather than a so-called convex shape. In the present embodiment, the protrusions 71 that guide the side surfaces C and D of the punches 56 and 58 facing the gap 72 include the protrusions 71 at both ends.

このような突部71は、ガイド部材70a,70bの対面する内側面に研削による溝加工を施すことにより、溝と溝の間に残される突条により形成される。このように、比較的安価な加工手段である研削による溝加工によって突部71を形成することによりガイド部材70a,70bの加工コストを低減し、全体的な加工コストの低減を図ることができる。しかも、突部71を高い加工精度で加工することが可能で、ポンチ56,58のガイド精度を十分確保し、連通口34の加工精度も確保できる。   Such a protrusion 71 is formed by a protrusion left between the grooves by performing groove processing by grinding the facing inner surfaces of the guide members 70a and 70b. Thus, by forming the protrusion 71 by grooving by grinding, which is a relatively inexpensive processing means, the processing cost of the guide members 70a and 70b can be reduced, and the overall processing cost can be reduced. In addition, the projection 71 can be machined with high machining accuracy, the guide accuracy of the punches 56 and 58 can be sufficiently secured, and the machining accuracy of the communication port 34 can also be secured.

上記突部71は、一方のガイド部材70aにおいて、列設されたポンチ56,58同士の間隙72の1つおきに設けられ、他方のガイド部材70bにおいても、上記間隙72の1つおきに設けられている。そして、上記1つおきに設けられた突部71は、列設されたポンチ56,58の一側面A側に配置された一方のガイド部材70aと、他側面B側に配置された他方のガイド部材70bとの間においては、千鳥状に配置されている。   The protrusion 71 is provided in every other gap 72 between the punches 56 and 58 arranged in a row in one guide member 70a, and is provided in every other gap 72 in the other guide member 70b. It has been. And the said every other protrusion 71 is provided with one guide member 70a arrange | positioned at the one side A side of the punches 56 and 58 arranged in a row, and the other guide arrange | positioned at the other side B side. Between the members 70b, they are arranged in a staggered manner.

そして、一方のガイド部材70aでは突部71同士の間にポンチ56,58が2つずつ配置され、他方のガイド部材70bでは、一方のガイド部材70aと1つずれた位置において同様に2つずつ配置されている。   In one guide member 70a, two punches 56 and 58 are disposed between the protrusions 71, and in the other guide member 70b, two punches are similarly provided at a position shifted by one from the one guide member 70a. Has been placed.

上記ガイド部材70a,70bによる下記の作用効果と、上述の本発明によるパンチ列56a,58aやパンチ先端列56b,58b等の作用効果が複合することにより、より一層優れた微細穴の穿設加工方法や工具が確保でき、さらには、品質的に安定した記録ヘッド1の製造やその装置が得られるのである。   By combining the following functions and effects of the guide members 70a and 70b and the functions and effects of the punch rows 56a and 58a and the punch tip rows 56b and 58b according to the present invention, further finer hole drilling is achieved. Thus, a method and a tool can be ensured, and furthermore, the recording head 1 can be manufactured and its apparatus can be obtained with stable quality.

上記突部71をこのような配置とすることにより、ポンチを列設方向Lに沿った2面A,Bの2方向だけからガイドするだけでなく、千鳥状に配置された突部71により、1つのポンチ56,58の間隙72に対応する面C,Dを含めた4方向からガイドすることができ、加工途中のポンチ56,58の曲がりや逃げを大幅に抑え、各連通口34の形状精度や寸法精度ならびに連通口34の配列精度を飛躍的に向上させることができる。   By arranging the protrusions 71 in such an arrangement, the punches are not only guided from the two directions of the two surfaces A and B along the arrangement direction L, but by the protrusions 71 arranged in a staggered manner, The guides can be guided from four directions including the surfaces C and D corresponding to the gap 72 between the punches 56 and 58, and the bending and escape of the punches 56 and 58 during processing are greatly suppressed, and the shape of each communication port 34 Accuracy, dimensional accuracy, and arrangement accuracy of the communication ports 34 can be dramatically improved.

しかも、上記突部71をポンチ56,58同士の間隙72の1つおきに設けたことにより、ガイド部材70a,70bに形成される突部71の数をそれだけ少なくすることができ、突部71を形成させるガイド部材70a,70bの研削加工を簡略化でき、加工コストが比較的安価な研削の加工コストをさらに低減し、全体的なコストの低減を図ることができる。   Moreover, by providing the protrusions 71 at every other gap 72 between the punches 56 and 58, the number of protrusions 71 formed on the guide members 70a and 70b can be reduced accordingly. Grinding of the guide members 70a and 70b for forming the shape can be simplified, the processing cost of the grinding with a relatively low processing cost can be further reduced, and the overall cost can be reduced.

このようなガイド部材70a,70bにより、列設されたポンチ56,58の列設方向Lに沿った両側面A,Bをガイド部材70a,70bにより挟持し、断面矩形の各ポンチ56,58の4面をガイド部材70a,70bの内側面および各突部71でガイドし、ガイドされた状態で各ポンチ56,58を金属基板55に押込むことにより、列状に並んだ開口形状矩形の連通口34を形成する。   With such guide members 70a and 70b, both side surfaces A and B along the arrangement direction L of the arranged punches 56 and 58 are sandwiched by the guide members 70a and 70b. The four surfaces are guided by the inner surfaces of the guide members 70a and 70b and the projections 71, and the punches 56 and 58 are pushed into the metal substrate 55 in the guided state, so that the rectangular communication in the form of openings arranged in a line is formed. Mouth 34 is formed.

このように、列設された各ポンチ56,58の列設方向Lに沿った両側面A,Bおよび間隙72に対応する面C,Dをガイドしながらプレス加工を行なうため、加工によって生じる応力によるポンチ56,58の曲がりや逃げが防止され、1つ1つの連通口34の形状精度や寸法精度を向上させるとともに、列状の並んだ連通口34の配列精度も向上させることができる。また、ポンチ56,58の曲がりや逃げが防止された状態で加工できることから、ポンチ56,58の磨耗や損傷を大幅に低減でき、工具寿命を大幅に延長することができ、連通口34の精度を長期間にわたって維持でき、工程管理や精度管理の面でも有利である。そして、隣接する溝状窪部33やV字状底部の加工形状を損なうことなく寸法精度良く加工でき、高精度の加工が比較的困難な所定ピッチで多数列設された微細穴を高精度で加工できる。   As described above, the press working is performed while guiding the side faces A and B along the arranging direction L of the punches 56 and 58 and the faces C and D corresponding to the gap 72, so that the stress generated by the processing Therefore, it is possible to improve the shape accuracy and dimensional accuracy of each communication port 34 and the arrangement accuracy of the communication ports 34 arranged in a row. Further, since the punches 56 and 58 can be machined in a state in which the punches 56 and 58 are prevented from being bent, the wear and damage of the punches 56 and 58 can be greatly reduced, the tool life can be greatly extended, and the accuracy of the communication port 34 can be greatly improved. Can be maintained over a long period of time, which is advantageous in terms of process control and accuracy control. And it can process with high dimensional accuracy without impairing the processing shape of the adjacent groove-shaped recess 33 or V-shaped bottom, and it is highly accurate to form a large number of micro holes arranged at a predetermined pitch, which is relatively difficult to perform with high accuracy. Can be processed.

また、上記連通口形成工程では、金属基板55における塑性加工による加工部である溝状窪部33のV字状の底部をプレス加工により打ち抜いて微細な連通口34を形成する。このように、塑性加工による加工部は加工硬化によって加工性が低下し、微細な連通口34を形成する加工を行なう場合に精度や型寿命をあげるのがより困難であるが、ポンチ56,58をガイドしながら加工することにより、ポンチの曲がりや逃げを防止して高精度の加工ができる。また、V字状の底部を有する溝状窪部33に微細な連通口34を穿設する場合、ポンチ56,58の曲がりや逃げを起こしやすく、加工精度が低下しがちであるが、本実施例によれば、ポンチの曲がりや逃げを防止して高精度の加工ができる。   Further, in the communication port forming step, the V-shaped bottom portion of the groove-like recess 33, which is a processed portion by plastic processing in the metal substrate 55, is punched out by press working to form a fine communication port 34. As described above, the workability of the processed portion by plastic working is lowered by work hardening, and it is more difficult to increase the accuracy and mold life when performing the processing to form the fine communication port 34. By machining while guiding the guide, bending or escape of the punch can be prevented and high-precision machining can be performed. Further, when the fine communication port 34 is formed in the groove-shaped recess 33 having the V-shaped bottom portion, the punches 56 and 58 are likely to bend and escape and the processing accuracy tends to be lowered. According to the example, the punch can be prevented from bending or escaping and high-precision machining can be performed.

さらに、図15に示す一般的な手法である丸穴74によりガイド部75を形成するガイド部材73によって断面形状矩形のポンチ56,58をガイドする場合、ガイド部75の摺動面積が極めて微小なものとなり、ガイド部75の磨耗や損傷が激しく、ガイド部材73の寿命が極めて短いが、本実施例のように列設されたポンチ56,58を列設方向Lに沿った両面から一対のガイド部材70a,70bで挟持してガイドすることにより、ガイド面の摺動面積を広く確保でき、ガイド部材70a,70bの寿命を大幅に延長することができる。   Further, when the punches 56 and 58 having a rectangular cross section are guided by the guide member 73 which forms the guide portion 75 by the round hole 74 which is a general method shown in FIG. 15, the sliding area of the guide portion 75 is extremely small. The guide portion 75 is severely worn and damaged, and the life of the guide member 73 is extremely short. However, the punches 56 and 58 arranged in the same manner as in this embodiment are paired from both sides along the arrangement direction L. By sandwiching and guiding between the members 70a and 70b, a large sliding area of the guide surface can be secured, and the life of the guide members 70a and 70b can be greatly extended.

また、上記のような丸穴74によるガイドによって列設されたポンチ56,58をガイドしようとすると、ピッチ寸法Pがある程度必要で、微小ピッチで列状に並ぶ穴を同時に穿設加工することができなかったが、本実施例によれば、ピッチ寸法Pを微小にしても、安定してガイドすることができ、高い加工精度を確保することができるのである。   Further, when trying to guide the punches 56 and 58 arranged by the guide by the round hole 74 as described above, a pitch dimension P is required to some extent, and it is possible to simultaneously drill holes arranged in a line at a minute pitch. However, according to this embodiment, even if the pitch dimension P is small, it is possible to guide stably and to ensure high processing accuracy.

本実施例では、上記第1および第2ポンチ56,58のピッチ寸法Pは、0.3mm以下に設定し、このピッチで列設された連通口34を形成する場合に効果的であり、上記ピッチ寸法Pは0.25mm以下であるときにより効果的で、0.2mm以下であれば一層効果的である。   In the present embodiment, the pitch dimension P of the first and second punches 56 and 58 is set to 0.3 mm or less, which is effective when forming the communication ports 34 arranged at this pitch. The pitch dimension P is more effective when it is 0.25 mm or less, and more effective when it is 0.2 mm or less.

また、本実施例は、特に、開口の大きさが0.2mm以下の連通口34を形成させる場合や、連通口34の開口寸法に対する金属基板55の厚みすなわち貫通寸法の比が0.5以上の微細穴を形成する場合に効果的である。また、上記比として0.8以上の微細穴を形成するのであればなお効果的であり、1以上の微細穴の加工であれば一層効果的である。なお、上記実施例では、連通口34の開口寸法は、0.095mm×0.16mmの矩形である。   Further, in this embodiment, in particular, when the communication opening 34 having an opening size of 0.2 mm or less is formed, or the ratio of the thickness of the metal substrate 55, that is, the penetration dimension to the opening dimension of the communication opening 34 is 0.5 or more This is effective when forming a fine hole. Moreover, it is still effective if a fine hole of 0.8 or more is formed as the above ratio, and it is more effective if processing of one or more fine holes. In the above embodiment, the opening size of the communication port 34 is a rectangle of 0.095 mm × 0.16 mm.

さらに、本実施例では、太さの異なるポンチ56,58を用い、複数回の加工によって連通口34を作製しているので、極く微細な連通口34であっても寸法精度良く作製することができる。しかも、溝状窪部33側から作製する第1連通口37を板厚方向の途中までしか作製しないので、第1連通口37の作製時において、圧力発生室29の隔壁部28等が過度に引っ張られてしまう不具合を防止できる。これにより、溝状窪部33のV字状底部や隔壁部28の形状を損なうことなく寸法精度良く作製することができる。   Furthermore, in the present embodiment, the communication ports 34 are produced by a plurality of processes using punches 56 and 58 having different thicknesses, so that even the extremely fine communication ports 34 are produced with high dimensional accuracy. Can do. In addition, since the first communication port 37 manufactured from the groove-shaped recess 33 side is only manufactured up to the middle of the plate thickness direction, the partition wall portion 28 of the pressure generating chamber 29 is excessively formed when the first communication port 37 is manufactured. The problem of being pulled can be prevented. As a result, the V-shaped bottom portion of the groove-like recess portion 33 and the shape of the partition wall portion 28 can be manufactured with good dimensional accuracy without impairing the shape.

なお、本実施例では、2回の加工によって連通口34を作製する工程を例示したが、3回以上の加工によって連通口34を作製してもよい。また、上記の不具合が生じなければ、1回の加工で連通口34を作製してもよい。   In addition, although the process which produced the communicating port 34 by two processes was illustrated in a present Example, you may produce the communicating port 34 by three or more processes. Further, if the above problem does not occur, the communication port 34 may be manufactured by a single process.

連通口34を作製したならば、金属基板55における溝状窪部33側の表面および反対側の表面を研磨して平坦化する(研磨工程)。すなわち、図11(c)に一点鎖線で示すように、溝状窪部33側の表面、および、溝状窪部33とは反対側の表面を研磨し、これらの各表面を平坦化すると共に、板厚を所定厚さ(本実施例では0.3mm)に調整する。   If the communication port 34 is produced, the surface of the metal substrate 55 on the groove-like recess 33 side and the surface on the opposite side are polished and flattened (polishing step). That is, as shown by the alternate long and short dash line in FIG. 11C, the surface on the groove-like recess 33 side and the surface on the opposite side to the groove-like recess 33 are polished to flatten each of these surfaces. The plate thickness is adjusted to a predetermined thickness (0.3 mm in this embodiment).

なお、上記の溝状窪部形成工程と連通口形成工程は、別ステージで行なってもよく、同一ステージで行なってもよい。そして、同一ステージで行なった場合には、両工程において金属基板55が移動しないため、溝状窪部33内に連通口34を位置精度良く作製することができる。   The groove-shaped recess forming step and the communication port forming step may be performed on separate stages or on the same stage. And when it carries out on the same stage, since the metal substrate 55 does not move in both processes, the communication port 34 can be produced in the groove-like recess 33 with high positional accuracy.

以上の各工程により圧力発生室形成板30を作製したならば、別途作製された弾性板32とノズルプレート31とを圧力発生室形成板30に接合して流路ユニット4を作製する。本実施例では、これらの各部材の接合を接着により行なっている。この接着時において、上記の研磨工程で圧力発生室形成板30の表面を平坦化しているので、弾性板32やノズルプレート31を確実に接着できる。   If the pressure generating chamber forming plate 30 is manufactured through the above steps, the elastic plate 32 and the nozzle plate 31 separately manufactured are joined to the pressure generating chamber forming plate 30 to manufacture the flow path unit 4. In this embodiment, these members are joined by bonding. At the time of bonding, the surface of the pressure generating chamber forming plate 30 is flattened in the above polishing step, so that the elastic plate 32 and the nozzle plate 31 can be bonded securely.

また、弾性板32はステンレス板を支持板42とする複合材であるので、その線膨張率は支持板42であるステンレスによって規定される。そして、ノズルプレート31もステンレス板によって作製されている。さらに、圧力発生室形成板30を構成するニッケルは、上記したように、線膨張率がステンレスと略等しい。以上から、接着温度を高めても線膨張率の差に起因する反りが発生しない。その結果、シリコン基板を用いていた時よりも接着温度を高めることができ、接着時間の短縮化が図れて製造効率が向上する。   Further, since the elastic plate 32 is a composite material using a stainless steel plate as a support plate 42, the linear expansion coefficient is defined by the stainless steel as the support plate 42. The nozzle plate 31 is also made of a stainless steel plate. Furthermore, as described above, nickel constituting the pressure generating chamber forming plate 30 has a linear expansion coefficient substantially equal to that of stainless steel. From the above, even when the bonding temperature is increased, no warpage due to the difference in linear expansion coefficient occurs. As a result, the bonding temperature can be increased more than when a silicon substrate is used, the bonding time can be shortened, and the manufacturing efficiency is improved.

流路ユニット4を作製したならば、別途作製されたケース2に、振動子ユニット3と流路ユニット4とを接合する。この場合にも、これらの各部材の接合は接着によって行なわれている。従って、接着温度を高めても流路ユニット4には反りが発生せず、接着時間の短縮化が図れる。   If the flow path unit 4 is manufactured, the vibrator unit 3 and the flow path unit 4 are joined to the separately manufactured case 2. Also in this case, these members are joined by bonding. Therefore, even if the bonding temperature is increased, the flow path unit 4 is not warped, and the bonding time can be shortened.

ケース2に、振動子ユニット3と流路ユニット4とを接合したならば、振動子ユニット3のフレキシブルケーブル9と接続基板5とを半田付けし、その後、供給針ユニット6を取り付け、液体噴射ヘッドが得られる。   If the vibrator unit 3 and the flow path unit 4 are joined to the case 2, the flexible cable 9 and the connection substrate 5 of the vibrator unit 3 are soldered, and then the supply needle unit 6 is attached to the liquid jet head. Is obtained.

図16は、連通口形成工程の第2例を示す。この例では、ガイド部材70a,70b内面の突部71をポンチ56,58同士の間隙72の1つおきに設けるのではなく、上記間隙72の全てに設けている。このようにすることにより、断面矩形の各ポンチ56,58の4側面をしっかりとガイドでき、より高精度の加工が可能となる。   FIG. 16 shows a second example of the communication port forming step. In this example, the protrusions 71 on the inner surfaces of the guide members 70a and 70b are not provided in every other gap 72 between the punches 56 and 58, but are provided in all the gaps 72. By doing so, the four side surfaces of each of the punches 56 and 58 having a rectangular cross section can be firmly guided, and processing with higher accuracy is possible.

図17は、連通口形成工程の第3例を示す。この例では、ガイド部材70a,70b内面に突部71が形成されておらず、断面矩形の各ポンチ56,58の列設方向Lに沿った2面A,Bをガイドしている。この例によれば、列設されたポンチ56,58の列設方向Lに沿った両側面を2方向から挟持することにより、ガイド部材70a,70bのガイド面が平面状であっても各ポンチ56,58の被ガイド面である両側面A,Bと面接触することから、ガイド効果を確保しながらガイド部材70a,70bの形状を単純化し、コストを節減できる。   FIG. 17 shows a third example of the communication port forming step. In this example, the protrusions 71 are not formed on the inner surfaces of the guide members 70a and 70b, and the two surfaces A and B along the arrangement direction L of the punches 56 and 58 having a rectangular cross section are guided. According to this example, by sandwiching both side surfaces of the arranged punches 56 and 58 along the arrangement direction L from two directions, each punch is formed even if the guide surfaces of the guide members 70a and 70b are planar. Since the side surfaces A and B, which are guided surfaces of 56 and 58, are in surface contact, the shape of the guide members 70a and 70b can be simplified and the cost can be reduced while ensuring the guide effect.

上述のような金属基板55すなわち圧力発生室形成板30に、溝状窪部33を列設し、この列設された溝状窪部33に対して上記の各加工方法により、連通口34が形成されることによって、本発明の記録ヘッド1の製造方法が実施される。したがって、圧力発生室形成板30に上記異形形態が生じても、精密構造部である溝状窪部33の連通口34がきわめて高い精度で形成することができ、記録ヘッド1としてのインク吐出特性を良好に保つことができる。   A groove-like recess 33 is arranged on the metal substrate 55, that is, the pressure generating chamber forming plate 30 as described above, and the communication port 34 is formed by the above-described processing methods for the arranged groove-like recess 33. By being formed, the manufacturing method of the recording head 1 of the present invention is carried out. Therefore, even if the above-described irregular shape is generated in the pressure generating chamber forming plate 30, the communication port 34 of the groove-like recess 33, which is a precision structure portion, can be formed with extremely high accuracy, and the ink ejection characteristics as the recording head 1 can be achieved. Can be kept good.

つぎに、上記連通口の穿設加工方法を実施するための液体噴射ヘッドの製造装置について説明する。   Next, an apparatus for manufacturing a liquid jet head for carrying out the above-described method for drilling a communication port will be described.

図19〜図23は、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置の第1の実施例を示す。   19 to 23 show a first embodiment of a liquid jet head manufacturing apparatus according to the present invention.

符号76は記録ヘッド1あるいは図18に示す記録ヘッド1'の製造装置全体を示す断面図である。上記製造装置76は、主としてプレス装置を形成する上側動作部77と下側動作部78と、上記下側動作部78に固定された第1型79と、上記上側動作部77に固定された第2型80と、上記第2型80に固定された雄型と、上記雄型81をガイドし第2型80に取り付けられているガイド部材82とによって構成されている。   Reference numeral 76 is a sectional view showing the entire manufacturing apparatus of the recording head 1 or the recording head 1 'shown in FIG. The manufacturing apparatus 76 includes an upper operation unit 77 and a lower operation unit 78 that mainly form a press device, a first mold 79 fixed to the lower operation unit 78, and a first mold fixed to the upper operation unit 77. The second die 80, a male die fixed to the second die 80, and a guide member 82 that guides the male die 81 and is attached to the second die 80.

上記上側動作部77と下側動作部78からなるプレス装置は、一般的に使用されている形式のもので、上側動作部77が駆動装置(図示していない)によって進退動作をする。   The press device composed of the upper operation unit 77 and the lower operation unit 78 is of a commonly used type, and the upper operation unit 77 moves forward and backward by a drive device (not shown).

上記第1型79は、前述の金属基板55に相当する圧力発生室形成板30を、第1型79に固定した位置決めピン83で所定位置に位置決めして支持すると共に、図10(b)に示した上記膨出部38aを形成する凹部84が設けられている。なお、上記圧力発生室形成板30には、溝状窪部33が図10に示した溝状窪部形成工程であらかじめ成形されている。   The first die 79 positions and supports the pressure generating chamber forming plate 30 corresponding to the metal substrate 55 at a predetermined position with a positioning pin 83 fixed to the first die 79, as shown in FIG. A recess 84 is provided to form the bulging portion 38a shown. Note that a groove-like recess 33 is formed in the pressure generating chamber forming plate 30 in advance in the groove-like recess forming step shown in FIG.

上記に第2型80は、上側動作部77に結合されているベース部材85と、上記ベース部材85に結合されているパンチプレート86によって構成されている。パンチプレート86には雄型81が固定片87を介して取り付けてある。雄型81は、列設された溝状窪部33の列の2つの列にそれぞれ連通口を成形するために、2つ取り付けてある。   The second mold 80 includes the base member 85 coupled to the upper operation unit 77 and the punch plate 86 coupled to the base member 85. A male die 81 is attached to the punch plate 86 via a fixing piece 87. Two male molds 81 are attached in order to form communication ports in the two rows of the groove-like recesses 33 arranged in a row.

上記ガイド部材82は、ガイドプレート88とガイドベース部材89が一体化されたものであり、固定片87との干渉を避け後述の相対変位を許容する空間部90が設けてある。このガイド部材82は、前述のガイド部材70a,70bに相当するものであり、また、ガイドプレート88とガイドベース部材89の2部材を図示のボルトで一体化した構造とされているが、これらを単一の部材で構成してもよく、あるいは、3部材以上で構成してもよい。   The guide member 82 is formed by integrating a guide plate 88 and a guide base member 89, and is provided with a space portion 90 that avoids interference with the fixed piece 87 and allows relative displacement described later. The guide member 82 corresponds to the above-described guide members 70a and 70b, and has a structure in which two members of the guide plate 88 and the guide base member 89 are integrated with the illustrated bolt. A single member may be used, or three or more members may be used.

上記ガイド部材82は、雄型81の進退方向と同方向に相対移動ができる状態で第2型80に対して取り付けられている。進退部材である断面円形の進退軸91が上側動作部77の進退方向と同方向の状態でガイドベース部材89に固定され、その上部はベース部材85に形成した進退室92内に進入させてある。上記進退室92は断面円形のシリンダ状の空間であり、その内径は進退軸91の直径よりも大きく設定されている。進退軸91の上端にはストッパ片93が固定され、上記ストッパ片93がピストンのようにして進退室92内を上下に摺動できるようになっている。進退室92内に付勢手段である圧縮コイルスプリング94が挿入され、そのばね力がストッパ片93に作用している。そして、上記ばね力は、ガイド部材82が第2型から離れる方向に作用している。ストッパ片93に作用するばね力を調整するために、ばね座95とばね座95の位置を調整する調整ボルト96が設けられている。なお、圧縮コイルスプリング94に代えて弾性ゴム片を採用することもできる。   The guide member 82 is attached to the second mold 80 in a state in which the guide member 82 can be relatively moved in the same direction as the forward and backward movement of the male mold 81. An advancing / retracting shaft 91 having a circular cross section, which is an advancing / retracting member, is fixed to the guide base member 89 in the same direction as the advancing / retreating direction of the upper operation portion 77, and its upper part is advanced into an advancing / retreating chamber 92 formed in the base member 85. . The advance / retreat chamber 92 is a cylindrical space having a circular cross section, and its inner diameter is set larger than the diameter of the advance / retreat shaft 91. A stopper piece 93 is fixed to the upper end of the advance / retreat shaft 91, and the stopper piece 93 can slide up and down in the advance / retreat chamber 92 like a piston. A compression coil spring 94 as an urging means is inserted into the advance / retreat chamber 92, and the spring force acts on the stopper piece 93. The spring force acts in a direction in which the guide member 82 is separated from the second mold. In order to adjust the spring force acting on the stopper piece 93, an adjustment bolt 96 for adjusting the position of the spring seat 95 and the spring seat 95 is provided. An elastic rubber piece may be used instead of the compression coil spring 94.

第2型80に対するガイド部材82の相対移動を行なわせるために、第2型80とガイド部材82との間に変位空間Sが設けられている。また、上記の空間部90にも固定片87の下面とガイドプレート88の上面との間に、同様な変位空間Sが設けられている。   In order to cause the guide member 82 to move relative to the second mold 80, a displacement space S is provided between the second mold 80 and the guide member 82. In addition, a similar displacement space S is provided also in the space portion 90 between the lower surface of the fixed piece 87 and the upper surface of the guide plate 88.

図22および図23は、雄型81の全体形状とポンチ部分を示す斜視図である。雄型81は、前述の第2雄型57または第3雄型59に相当し、その先端部に多数のポンチ97が一列に設けてあり、上記ポンチ97の固定部側に連続させて高剛性部98が設けてある。上記高剛性部98の断面積は、ポンチ97の部分の断面積よりも大きく設定してある。さらに、上記高剛性部98の固定部側に連続させて固定基部99が設けてある。上記固定基部99の断面積は、高剛性部98の部分の断面積よりも大きく設定してある。ここで組み込まれている雄型81は、図12に示したものと同じである。図22にポンチ列やポンチ先端列を示すために、図12と同じ符号、すなわちポンチ列56a,58a,ポンチ先端列56b,58b,直線状部分56cおよび直線状部分56dが付してある。   22 and 23 are perspective views showing the overall shape of the male mold 81 and the punched portion. The male mold 81 corresponds to the second male mold 57 or the third male mold 59 described above, and a large number of punches 97 are provided in a row at the front end portion thereof, and is continuous with the fixed portion side of the punch 97 so as to have high rigidity. A portion 98 is provided. The cross-sectional area of the high-rigidity portion 98 is set larger than the cross-sectional area of the punch 97 portion. Further, a fixed base 99 is provided continuously to the fixed portion side of the high-rigidity portion 98. The cross-sectional area of the fixed base 99 is set larger than the cross-sectional area of the high-rigidity portion 98. The male mold 81 incorporated here is the same as that shown in FIG. In order to show the punch row and the punch tip row in FIG. 22, the same reference numerals as in FIG. 12, ie, punch rows 56a and 58a, punch tip rows 56b and 58b, a straight portion 56c and a straight portion 56d are attached.

そして、固定基部99に、雄型81の進退方向に略直交する向きの押圧面100が形成してある。上記の固定片87(図19参照)には、固定基部99が挿入される細長い挿入穴101と上記押圧面100を押える固定面102が設けてある。また、ポンチ97と高剛性部98との間および高剛性部98と固定基部99との間は、図22に示すように、それぞれ曲面103,104で滑らかに連続してある。   A pressing surface 100 is formed on the fixed base 99 in a direction substantially perpendicular to the advancing / retreating direction of the male mold 81. The fixing piece 87 (see FIG. 19) is provided with an elongated insertion hole 101 into which the fixing base 99 is inserted and a fixing surface 102 for pressing the pressing surface 100. Further, between the punch 97 and the high-rigidity portion 98 and between the high-rigidity portion 98 and the fixed base 99, the curved surfaces 103 and 104 are smoothly continuous as shown in FIG.

図23に示すように、隣合うポンチ97の間には分離スリット105が設けられ、各ポンチ97のピッチは列設された溝状窪部33のピッチと同じである。   As shown in FIG. 23, separation slits 105 are provided between adjacent punches 97, and the pitch of each punch 97 is the same as the pitch of the groove-like recesses 33 arranged in a row.

雄型81は、ポンチ97が列設された溝状窪部33の端部を押し込む位置すなわちポンチ97の列が溝状窪部33の長手方向に直交するように、その取り付け位置が設定されている。この例では、雄型81をガイドしている箇所がポンチ97の部分であり、そのために図21に示すように、ポンチ97が貫通するスリット穴106が設けられている。上記スリット穴106の対向する内面が規制面107a,107bとされ、ポンチ97が溝状窪部33の長手方向に変位するのを抑止している。この抑止機能を確実に達成するために、上記規制面107a,107bがポンチ97の両側部に摺動する状態とされている。もしくは、規制面107a,107bとポンチ97の両側部の間にわずかな間隙を設けてある。なお、図19および図21等には、上記間隙がかなり大きく図示されているが、実際には上記のような摺動関係とされている。また、ガイドプレート88には、高剛性部98を受け入れる細長い凹溝108が、スリット穴106に連通した状態で形成してある。   The mounting position of the male mold 81 is set so that the end of the groove-like recess 33 in which the punch 97 is arranged is pushed, that is, the row of the punch 97 is orthogonal to the longitudinal direction of the groove-like recess 33. Yes. In this example, the portion that guides the male die 81 is a portion of the punch 97, and therefore, as shown in FIG. 21, a slit hole 106 through which the punch 97 passes is provided. The opposing inner surfaces of the slit hole 106 are the restricting surfaces 107a and 107b, and the punch 97 is prevented from being displaced in the longitudinal direction of the groove-like recess 33. In order to reliably achieve this deterring function, the restricting surfaces 107 a and 107 b slide on both sides of the punch 97. Alternatively, a slight gap is provided between the restricting surfaces 107 a and 107 b and both sides of the punch 97. In FIG. 19 and FIG. 21 and the like, the gap is shown to be quite large, but in actuality, the sliding relationship is as described above. The guide plate 88 is formed with a long and narrow groove 108 that receives the high-rigidity portion 98 so as to communicate with the slit hole 106.

図19は、ガイド部材82と雄型81との成形動作開始前の状態を示しており、この状態のときには、圧縮コイルスプリング94のばね力でストッパ片93が進退室92の下面に密着し、ガイドプレート88とポンチ97との相対位置が設定されている。この例では、上記成形動作開始前の状態は、ガイドプレート88の下面とポンチ97の先端部の端面とが、一仮想平面上に存在するようになっている。   FIG. 19 shows a state before the molding operation of the guide member 82 and the male die 81 is started. In this state, the stopper piece 93 is brought into close contact with the lower surface of the advance / retreat chamber 92 by the spring force of the compression coil spring 94. A relative position between the guide plate 88 and the punch 97 is set. In this example, the state before the start of the molding operation is such that the lower surface of the guide plate 88 and the end surface of the front end portion of the punch 97 are on one virtual plane.

図24は、上記押圧面100の形成箇所を雄型81の両端部に変更した場合である。   FIG. 24 shows a case where the formation location of the pressing surface 100 is changed to both end portions of the male die 81.

上記記録ヘッドの製造装置76の動作を説明する。   The operation of the recording head manufacturing apparatus 76 will be described.

図19に示した状態から第2型80が進出し、これとともにガイドプレート88とポンチ97は両者の相対位置が不変のまま移動すると、最初にガイドプレート88が圧力発生室形成板30に密着して、ガイド部材82は停止する。その後、さらに第2型80が進出すると、今度は、圧縮コイルスプリング94が圧縮されながらポンチ97がガイドプレート88から相対的に突出し、溝状窪部33の端部に押し込まれる。ポンチ97の押し込み長さが所定長さに達すると、第2型80が復帰動作を開始し、ガイドプレート88が圧縮コイルスプリング94で圧力発生室形成板30を加圧したままポンチ97が圧力発生室形成板30から引き抜かれる。   When the second mold 80 advances from the state shown in FIG. 19 and the guide plate 88 and the punch 97 move with the relative position of the second mold 80 unchanged, the guide plate 88 first comes into close contact with the pressure generating chamber forming plate 30. Then, the guide member 82 stops. Thereafter, when the second die 80 is further advanced, the punch 97 is relatively projected from the guide plate 88 while the compression coil spring 94 is compressed, and is pushed into the end of the groove-like recess 33. When the push-in length of the punch 97 reaches a predetermined length, the second die 80 starts to return, and the punch 97 generates pressure while the guide plate 88 pressurizes the pressure generating chamber forming plate 30 with the compression coil spring 94. The chamber forming plate 30 is pulled out.

上記記録ヘッドの製造装置76によれば、上記ポンチ列56a,58aの少なくとも端部近傍のポンチ56,58の先端面にポンチ列56a,58aの中央部側がポンチ56,58の押込み方向に対して後退する傾斜面56gを形成したポンチ56,58を溝状窪部33内に押込むものであるから、溝状窪部33の配列が異形形態であっても、ポンチ列56a,58aの端部近傍のポンチ56,58を先行的に溝状窪部33の底部に押込むことができる。よって、精密構造部である溝状窪部33の連通口34がきわめて高い精度で形成することができ、記録ヘッド1,1’としてのインク吐出特性を良好に保つことができる。   According to the recording head manufacturing apparatus 76, the center side of the punch rows 56 a, 58 a is at the front end surface of the punches 56, 58 near at least the ends of the punch rows 56 a, 58 a with respect to the pushing direction of the punches 56, 58. Since the punches 56 and 58 having the inclined surfaces 56g that are retracted are pushed into the groove-like recesses 33, the punches near the ends of the punch rows 56a and 58a even if the groove-like recesses 33 are arranged in an irregular shape. 56 and 58 can be pushed into the bottom of the groove-shaped recess 33 in advance. Therefore, the communication port 34 of the groove-like recess 33, which is a precision structure, can be formed with extremely high accuracy, and the ink ejection characteristics of the recording heads 1 and 1 'can be kept good.

さらに、本装置によれば、ポンチ97の両側部をガイドプレート88に形成したスリット穴106の規制面107a,107bでガイドしながらプレス加工を行なう装置構造であるから、加工によって生じる応力によるポンチ97の曲がりや逃げが防止され、1つ1つの微細な連通口34の形状精度や寸法精度を向上させるとともに、列状の並んだ連通口34の配列精度も向上させることができる。また、ポンチ97の曲がりや逃げが防止された状態で加工できることから、ポンチ97の磨耗や損傷を大幅に低減でき、工具寿命を大幅に延長することができ、連通口34の精度を長期間にわたって維持でき、工程管理や精度管理の面でも有利である。そして、隣接する連通口34や加工形状を損なうことなく寸法精度良く加工でき、高精度の加工が比較的困難な所定ピッチで多数列設された連通口34を高精度で加工できる。   Furthermore, according to the present apparatus, the punch 97 has a structure in which press working is performed while guiding both side portions of the punch 97 with the restriction surfaces 107a and 107b of the slit hole 106 formed in the guide plate 88. Bends and escapes can be prevented, and the shape accuracy and dimensional accuracy of each minute communication port 34 can be improved, and the alignment accuracy of the communication ports 34 arranged in a row can also be improved. Further, since the punch 97 can be machined in a state in which the punch 97 is prevented from being bent and escaped, the wear and damage of the punch 97 can be greatly reduced, the tool life can be greatly extended, and the accuracy of the communication port 34 can be extended over a long period of time. This is advantageous in terms of process control and accuracy control. And it can process with sufficient dimensional accuracy, without impairing the adjacent communicating port 34 or a process shape, and can process the communicating port 34 arranged in many rows by the predetermined pitch which is comparatively difficult to process with high precision.

さらに、あらかじめ成形される溝状窪部33は、塑性加工による加工硬化によって加工性が低下し、微細な連通口34を形成する加工を行なう場合に精度や型寿命をあげるのがより困難であるが、ポンチ97をガイドしながら加工することにより、ポンチ97の曲がりや逃げを防止して高精度の加工ができる。   In addition, the groove-shaped recess 33 formed in advance is deteriorated in workability due to work hardening by plastic working, and it is more difficult to increase accuracy and mold life when processing to form a fine communication port 34 is performed. However, when the punch 97 is processed while being guided, the punch 97 is prevented from being bent or escaped, and high-precision processing can be performed.

雄型81のポンチ97は進退可能なガイドプレート88にガイドされているので、圧力発生室形成板30に対するポンチ97の押し込み長さが長くなっても、ガイドプレート88が、圧力発生室形成板30の表面に密着しているかまたは圧力発生室形成板30のごく近傍に位置している。このため、加工によって生じる応力の発生箇所にできるだけ近い箇所でガイドプレート88のガイド機能が果たされ、加工応力によるポンチ97の曲がりや逃げがより一層確実に防止される。   Since the punch 97 of the male mold 81 is guided by a guide plate 88 which can be moved back and forth, even if the pushing length of the punch 97 with respect to the pressure generating chamber forming plate 30 is increased, the guide plate 88 is used as the pressure generating chamber forming plate 30. Or close to the pressure generating chamber forming plate 30. For this reason, the guide function of the guide plate 88 is fulfilled at a place as close as possible to the place where the stress generated by the machining is generated, and the bending and escape of the punch 97 due to the machining stress can be prevented more reliably.

上記規制面107a,107bが、ポンチ97が上記溝状窪部33の長手方向に変位するのを抑止する。したがって、ポンチ97は、その列設方向よりもこれに略直交する上記長手方向に曲がりや逃げが発生しやすいのであるが、そのようなポンチ97の変位を規制面107a,107bで抑止することにより、ポンチ97の曲がりや逃げを防止し、加工精度の高い連通口34の形成がなされる。   The restricting surfaces 107 a and 107 b prevent the punch 97 from being displaced in the longitudinal direction of the groove-like recess 33. Therefore, the punch 97 is likely to bend and escape in the longitudinal direction substantially orthogonal to the arrangement direction of the punch 97, but by suppressing such displacement of the punch 97 by the regulating surfaces 107a and 107b. Therefore, the punch 97 is prevented from being bent or escaping, and the communication port 34 is formed with high processing accuracy.

上記規制面107a,107bが、スリット穴106の対向する内面によって形成されているので、上記内面が大きな荷重に耐えられる高い剛性の下で存在する。したがって、規制面107a,107bに安定したガイド機能を行なわせることができる。また、上記スリット穴106の形成により直ちに規制面107a,107bが確保できるので、規制面107a,107bが簡単な構成によって得られる。   Since the regulating surfaces 107a and 107b are formed by the opposed inner surfaces of the slit hole 106, the inner surfaces exist with high rigidity capable of withstanding a large load. Therefore, a stable guide function can be performed on the regulating surfaces 107a and 107b. Further, since the regulation surfaces 107a and 107b can be secured immediately by forming the slit hole 106, the regulation surfaces 107a and 107b can be obtained with a simple configuration.

第2型80が進出してガイドプレート88が圧力発生室形成板30に押し付けられると、ポンチ97が相対的にガイドプレート88から突出して圧力発生室形成板30に押し込まれ、圧力発生室形成板30に対するポンチ97の押し込み長さが長くなっても、ガイドプレート88が、圧力発生室形成板30の表面に密着しているかまたは圧力発生室形成板30のごく近傍に位置している。このため、加工によって生じる応力の発生箇所にできるだけ近い箇所でガイドプレート88のガイド機能が果たされ、加工応力によるポンチ97の曲がりや逃げがより一層確実に防止される。   When the second mold 80 is advanced and the guide plate 88 is pressed against the pressure generating chamber forming plate 30, the punch 97 is relatively protruded from the guide plate 88 and pressed into the pressure generating chamber forming plate 30, and the pressure generating chamber forming plate is pressed. Even if the length of pushing of the punch 97 with respect to 30 is increased, the guide plate 88 is in close contact with the surface of the pressure generating chamber forming plate 30 or is located very close to the pressure generating chamber forming plate 30. For this reason, the guide function of the guide plate 88 is fulfilled at a place as close as possible to the place where the stress generated by the machining is generated, and the bending and escape of the punch 97 due to the machining stress can be prevented more reliably.

上記ポンチ97,高剛性部98,固定基部99にかけての断面積が順次大きくなって、雄型81全体の剛性が固定基部99において最も大きく設定されている。したがって、雄型81の剛性系が徐々に固定部側に向って大きくなっているので、押し込み時や引き抜き時に雄型81の特定個所に応力が異常に集中することがなく、雄型81の全体構造の耐久性を向上することができる。また、雄型81の第2型80に対する取り付け剛性が安定した状態で確保でき、頻繁に行なわれる加圧成形にとって十分な耐久性が得られる。   The cross-sectional area from the punch 97 to the high-rigidity portion 98 and the fixed base portion 99 sequentially increases, so that the rigidity of the entire male die 81 is set to be the largest in the fixed base portion 99. Therefore, since the rigidity system of the male mold 81 gradually increases toward the fixed portion, the stress does not abnormally concentrate on a specific portion of the male mold 81 when pushing or withdrawing, and the entire male mold 81 is The durability of the structure can be improved. In addition, the mounting rigidity of the male mold 81 with respect to the second mold 80 can be secured in a stable state, and sufficient durability can be obtained for pressure molding that is frequently performed.

上記固定片87で上記押圧面100を強く加圧した状態で雄型81が取り付けられるので、雄型81の第2型80に対する取り付け剛性を高めることができる。特に、圧力発生室形成板30に押し込まれているポンチ97を引き抜くときには、大きな引き抜き力を第2型80から雄型81に伝達する必要があり、このような際に上記押圧面100を固定片87の固定面102が押え付けているので、雄型81と第2型80とは確実な一体性をもって引き抜くことができ、このような面からも動作安定性のよい製造装置76が得られる。   Since the male die 81 is attached in a state where the pressing surface 100 is strongly pressed by the fixing piece 87, the attachment rigidity of the male die 81 to the second die 80 can be increased. In particular, when the punch 97 pushed into the pressure generating chamber forming plate 30 is pulled out, it is necessary to transmit a large pulling force from the second mold 80 to the male mold 81. In such a case, the pressing surface 100 is fixed to the fixed piece. Since the fixing surface 102 of 87 is pressed down, the male mold 81 and the second mold 80 can be pulled out with certainty, and the manufacturing apparatus 76 with good operation stability can be obtained from such a surface.

複数の上記雄型81により、1回の成形ストロークで、列設された複数の溝状窪部33の列の各々に、連通口34を一時に成形することができ、生産性の向上が図れる。また、上記連通口を2列平行に形成できるよう上記雄型を2つ配置した場合においても、同様に生産性の向上が図れる。   With the plurality of male dies 81, the communication ports 34 can be formed at a time in each of the rows of the plurality of groove-shaped recess portions 33 arranged in one molding stroke, thereby improving productivity. . Further, when two male molds are arranged so that the communication ports can be formed in two rows in parallel, productivity can be improved in the same manner.

なお、ガイドプレート88には、ガイド機能を果たすスリット穴106と、圧力発生室形成板30を押える面との2機能部位分が設けてあるので、簡単な構造のガイド部材で多機能化を果たすことができる。   The guide plate 88 is provided with two functional parts, that is, a slit hole 106 that performs a guide function and a surface that presses the pressure generation chamber forming plate 30, so that a multi-functionality is achieved with a guide member having a simple structure. be able to.

図25および図26は、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置の第2の実施例を示す。   25 and 26 show a second embodiment of the liquid jet head manufacturing apparatus of the present invention.

この実施例は、溝状窪部33の端部に傾斜面109が形成され、上記傾斜面109にポンチ97が押し込まれるものである。上記傾斜面109を成形するために、図25に示した突条部53の先端部分53aの長手方向端部に、面取りをして斜面成形部53bが設けられている。上記の突条部53が圧力発生室形成板30に押し込まれると、長手方向の端部に傾斜面109を有する溝状窪部33が成形される。上記傾斜面109を有する圧力発生室形成板30を第1型79の所定位置に支持し、傾斜面109にポンチ97が圧入されるよう、ポンチ97と圧力発生室形成板30との相対位置が設定される。この状態で雄型81を進出させて傾斜面109に連通口34が成形される。それ以外は、上記実施例と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。   In this embodiment, an inclined surface 109 is formed at the end of the groove-like recess 33, and the punch 97 is pushed into the inclined surface 109. In order to form the inclined surface 109, the inclined surface forming portion 53b is chamfered at the longitudinal end portion of the tip portion 53a of the ridge portion 53 shown in FIG. When the protrusion 53 is pushed into the pressure generating chamber forming plate 30, a groove-like recess 33 having an inclined surface 109 at the end in the longitudinal direction is formed. The pressure generating chamber forming plate 30 having the inclined surface 109 is supported at a predetermined position of the first mold 79, and the punch 97 and the pressure generating chamber forming plate 30 are positioned relative to each other so that the punch 97 is press-fitted into the inclined surface 109. Is set. In this state, the male die 81 is advanced to form the communication port 34 on the inclined surface 109. Other than that, it is the same as that of the said Example, and attaches | subjects the same code | symbol to the same part.

上記構成により、ポンチ97の先端部が押し込み初期の段階で上記傾斜面109に加圧されるので、ポンチ97には大きな曲げモーメントが作用するのであるが、ポンチ97の部分がガイドプレート88でガイドされているので、上記曲げモーメントがガイドプレート88で確実に受け止められ、上記のような傾斜面109であっても、ポンチ97に曲がりや逃げが発生することなく、正常な状態で連通口34が形成できる。さらに、上記のような傾斜面109にポンチが正確に圧入できるので、圧入によって流動する素材は傾斜面109から滑らかに押し込まれて行き、溝状窪部33の空間部分に突出した「返り」等の発生が防止でき、インク中の気泡が滑らかに流下して行き、インク噴射ヘッドのインク滴の吐出状態を正常に維持できる。それ以外は、上記実施例と同様の作用効果を奏する。   With the above configuration, the tip of the punch 97 is pressed against the inclined surface 109 at the initial stage of pushing, so that a large bending moment acts on the punch 97, but the portion of the punch 97 is guided by the guide plate 88. Therefore, the bending moment is reliably received by the guide plate 88, and even if the inclined surface 109 is as described above, the communication port 34 does not bend or escape in the punch 97 in a normal state. Can be formed. Furthermore, since the punch can be accurately press-fitted into the inclined surface 109 as described above, the material that flows by the press-fitting is smoothly pushed from the inclined surface 109 and protrudes into the space portion of the groove-like recess 33, etc. Can be prevented, the bubbles in the ink flow down smoothly, and the ink ejection state of the ink ejection head can be maintained normally. Other than that, there exists an effect similar to the said Example.

なお、溝状窪部33はV字型の断面形状とされているので、図23に示すように、四角い断面のポンチ97を溝状窪部33の端部に押し込むときには、ポンチ97の先端部が上記V字型の傾斜面と上記傾斜面109の両方に対して押し込まれる。したがって、V字型の傾斜面においても上記のような「返り」等の発生が防止できる。   Since the groove-like recess 33 has a V-shaped cross-sectional shape, when the punch 97 having a square cross section is pushed into the end of the groove-like recess 33, as shown in FIG. Is pushed into both the V-shaped inclined surface and the inclined surface 109. Accordingly, the occurrence of the “return” as described above can be prevented even on the V-shaped inclined surface.

図27は、本発明の液体噴射ヘッドの製造装置の第3の実施例を示す。   FIG. 27 shows a third embodiment of the liquid jet head manufacturing apparatus of the present invention.

この実施例は、上記高剛性部98をガイドプレート88でガイドするものである。それ以外は、上記各実施例と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。   In this embodiment, the high rigidity portion 98 is guided by a guide plate 88. Other than that, it is the same as that of each said Example, and attaches | subjects the same code | symbol to the same part.

上記構成により、雄型81の剛性の高い部分である高剛性部98をガイドしているので、雄型81のガイド状態が安定したものとなる。これと同時に、ポンチ部分には、ガイドに要する長さを確保することなく、ポンチ97の圧入に要するポンチ長さだけを確保すればよいので、実質的にポンチ97の長さを短くすることができて、ポンチ97自体の曲げや逃げ等に対する剛性を高めることができる。それ以外は、上記各実施例と同様の作用効果を奏する。   With the above configuration, the high rigidity portion 98 that is a highly rigid portion of the male mold 81 is guided, so that the guide state of the male mold 81 becomes stable. At the same time, it is only necessary to secure the punch length required for press-fitting the punch 97 in the punch portion without securing the length required for the guide, so that the length of the punch 97 can be substantially shortened. Thus, the rigidity of the punch 97 itself against bending, escape, etc. can be increased. Other than that, there exists an effect similar to each said Example.

ところで、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。   By the way, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims.

例えば、隔壁部28に関し、その根本部分が先端部分よりも厚肉であれば、隔壁部28の剛性を従来よりも高めることができ、圧力発生室29として必要な容積を確保できる。この観点からすれば、溝状窪部底面の窪み形状はV字状に限られない。例えば、溝状窪部33の底面を円弧状に窪ませてもよい。そして、このような底面形状の溝状窪部33を作製するためには、先端部分が円弧状に先細りした突条部53を有する第1雄型51を用いればよい。   For example, regarding the partition wall portion 28, if the base portion is thicker than the tip portion, the rigidity of the partition wall portion 28 can be increased as compared with the related art, and a necessary volume as the pressure generating chamber 29 can be secured. From this point of view, the shape of the recess at the bottom of the groove-like recess is not limited to the V shape. For example, the bottom surface of the groove-shaped recess 33 may be recessed in an arc shape. In order to produce such a bottom-shaped groove-like recess 33, the first male mold 51 having the protruding portion 53 whose tip is tapered in an arc shape may be used.

また、圧力発生素子に関し、圧電振動子10以外の素子を用いてもよい。例えば、静電アクチュエータや磁歪素子等の電気機械変換素子を用いてもよい。さらに、圧力発生素子として発熱素子を用いてもよい。   Further, regarding the pressure generating element, an element other than the piezoelectric vibrator 10 may be used. For example, an electromechanical transducer element such as an electrostatic actuator or a magnetostrictive element may be used. Further, a heat generating element may be used as the pressure generating element.

図18に例示した記録ヘッド1'は、圧力発生素子として発熱素子61を用いたものである。この例では、上記の弾性板32に代えて、コンプライアンス部46とインク供給口45とを設けた封止基板62(本発明の封止板の一種)を用い、この封止基板62によって圧力発生室形成板30における溝状窪部33側を封止している。また、この例では、圧力発生室29内における封止基板62の表面に発熱素子61を取り付けている。この発熱素子61は電気配線を通じて給電されて発熱する。   The recording head 1 ′ illustrated in FIG. 18 uses a heating element 61 as a pressure generating element. In this example, instead of the elastic plate 32, a sealing substrate 62 (a kind of the sealing plate of the present invention) provided with a compliance portion 46 and an ink supply port 45 is used, and pressure is generated by the sealing substrate 62. The groove-shaped recess 33 side of the chamber forming plate 30 is sealed. In this example, the heating element 61 is attached to the surface of the sealing substrate 62 in the pressure generation chamber 29. The heating element 61 is supplied with power through the electrical wiring and generates heat.

なお、圧力発生室形成板30やノズルプレート31等、その他の構成は上記実施例と同様であるので、その説明は省略する。   Since the other components such as the pressure generating chamber forming plate 30 and the nozzle plate 31 are the same as those in the above embodiment, the description thereof is omitted.

この記録ヘッド1'では、発熱素子61への給電により、圧力発生室29内のインクが突沸し、この突沸によって生じた気泡が圧力発生室29内のインクを加圧する。この加圧により、ノズル開口48からインク滴が吐出される。   In the recording head 1 ′, the ink in the pressure generating chamber 29 bumps due to the power supply to the heating element 61, and the bubbles generated by the bumping pressurize the ink in the pressure generating chamber 29. By this pressurization, ink droplets are ejected from the nozzle openings 48.

そして、この記録ヘッド1'でも、圧力発生室形成板30を金属の塑性加工で作製しているので、上記した実施例と同様の作用効果を奏する。   Also in this recording head 1 ′, since the pressure generating chamber forming plate 30 is produced by metal plastic working, the same operational effects as the above-described embodiments can be obtained.

なお、上記各実施例において、微細穴の穿設加工方法,圧力発生室形成板30における圧力発生室形成工程および連通口形成工程において行なわれる鍛造加工やプレス加工等の塑性加工は、所望の精度を得るために冷間加工を行なうのが好適であり、高精度の加工を行なうためには、ワークの温度が一定範囲内になるよう温度管理を行なうのが好ましい。   In each of the above-described embodiments, the fine hole drilling method, the pressure generating chamber forming plate 30 in the pressure generating chamber forming step, and the plastic forming such as press forming performed in the communication port forming step have a desired accuracy. In order to obtain high temperature, it is preferable to perform cold working, and in order to perform highly accurate machining, it is preferable to perform temperature management so that the temperature of the workpiece is within a certain range.

また、圧力発生室形成板30の加工に関し、上記実施例では塑性加工の一種である鍛造加工で作製した例について説明したが、これに限らない。さらに、圧力発生室形成板30を作製するための素材に関し、隔壁部28の根本部分を先端部分よりも厚肉に形成する観点においては、単一の金属板に限定されるものではない。例えば、複数の板材を積層して作製した積層板材を用いても良く、金属基板の表面に樹脂をコーティングしたコーティング板材によって作製してもよい。   In addition, regarding the processing of the pressure generating chamber forming plate 30, in the above-described embodiment, an example of manufacturing by forging which is a kind of plastic processing has been described, but the present invention is not limited thereto. Further, the material for producing the pressure generating chamber forming plate 30 is not limited to a single metal plate in terms of forming the base portion of the partition wall portion 28 thicker than the tip portion. For example, a laminated plate material produced by laminating a plurality of plate materials may be used, or a coated plate material obtained by coating the surface of a metal substrate with a resin.

また、連通口34に関し、上記実施例では、溝状窪部33の一端部に設けた例を説明したが、これに限らない。例えば、連通口34を溝状窪部33における長手方向略中央に形成して、溝状窪部33の長手方向両端にインク供給口45及びそれと連通する共通インク室14を配置してもよい。このようにすることにより、インク供給口45から連通口34に至る圧力発生室29内におけるインクの淀みを防止できるので、好ましい。   Moreover, although the example provided in the one end part of the groove-shaped recessed part 33 was demonstrated in the said Example regarding the communication port 34, it is not restricted to this. For example, the communication port 34 may be formed at substantially the center in the longitudinal direction of the groove-like recess 33, and the ink supply port 45 and the common ink chamber 14 communicating with the ink supply port 45 may be disposed at both ends in the longitudinal direction of the groove-like recess 33. This is preferable because it is possible to prevent ink stagnation in the pressure generation chamber 29 from the ink supply port 45 to the communication port 34.

上記各実施例は、インクジェット式記録装置を対象にしたものであるが、本発明によってえられた液体噴射ヘッドは、インクジェット式記録装置用のインクだけを対象にするのではなく、グルー,マニキュア,導電性液体(液体金属)等を噴射することができる。さらに、上記実施例では、液体の一つであるインクを用いたインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド,液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド,有機ELディスプレー,FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド,バイオチップ製造に用いられる生体有機噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド全般に適用することも可能である。   Each of the above embodiments is directed to an ink jet recording apparatus. However, the liquid ejecting head obtained according to the present invention is not only intended for ink for an ink jet recording apparatus, but includes glue, nail polish, Conductive liquid (liquid metal) or the like can be ejected. Furthermore, in the above-described embodiments, the ink jet recording head using ink that is one of the liquids has been described. However, the colors used for the manufacture of color filters such as recording heads and liquid crystal displays used in image recording apparatuses such as printers. Applied to all liquid ejecting heads for ejecting liquids, such as material ejecting heads, organic EL displays, electrode material ejecting heads used for electrode formation such as FED (surface emitting display), and bio-organic ejecting heads used in biochip manufacturing. Is also possible.

さらに、上述した各実施例では、本発明の微細穴の穿設加工方法を液体噴射ヘッドの製造に適用した例を示したが、本発明の適用範囲がこれに限定されるものではないことはいうまでもない。   Furthermore, in each of the above-described embodiments, an example in which the fine hole drilling method of the present invention is applied to the manufacture of a liquid jet head has been described. However, the scope of the present invention is not limited to this. Needless to say.

インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of an ink jet recording head. FIG. インクジェット式記録ヘッドの断面図である。2 is a cross-sectional view of an ink jet recording head. FIG. 振動子ユニットを説明する図である。It is a figure explaining a vibrator unit. 圧力発生室形成板の平面図である。It is a top view of a pressure generation chamber formation board. 圧力発生室形成板の説明図であり、(a)は図4におけるX部分の拡大図、(b)は(a)におけるA−A断面図、(c)は(a)におけるB−B断面図である。It is explanatory drawing of a pressure generation chamber formation board, (a) is an enlarged view of the X section in FIG. 4, (b) is AA sectional drawing in (a), (c) is BB sectional drawing in (a). FIG. 弾性板の平面図である。It is a top view of an elastic board. 弾性板の説明図であり、(a)は図6におけるY部分の拡大図、(b)は(a)におけるC−C断面図である。It is explanatory drawing of an elastic board, (a) is an enlarged view of the Y part in FIG. 6, (b) is CC sectional drawing in (a). 溝状窪部の形成に用いる第1雄型を説明する図である。It is a figure explaining the 1st male type | mold used for formation of a groove-shaped recessed part. 溝状窪部の形成に用いる雌型を説明する図である。It is a figure explaining the female type | mold used for formation of a groove-shaped recessed part. 溝状窪部を形成する工程を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the process of forming a groove-shaped recessed part. 連通口を形成する工程のポンチ挙動や工具形状の模式図である。It is a schematic diagram of the punch behavior and tool shape of the process of forming the communication port. 微細穴の穿設加工方法を適用した連通口の形成工程を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the formation process of the communicating port to which the drilling method for fine holes is applied. 上記工程を説明する図であり、(a)は横断面図、(b)は縦断面図である。It is a figure explaining the said process, (a) is a cross-sectional view, (b) is a longitudinal cross-sectional view. 被ガイド面を説明する図である。It is a figure explaining a to-be-guided surface. 丸穴によるガイド部材を示す図である。It is a figure which shows the guide member by a round hole. 本発明の微細穴の穿設加工方法の第2例を説明する横断面図である。It is a cross-sectional view explaining the 2nd example of the drilling method of the micro hole of this invention. 本発明の微細穴の穿設加工方法の第3例を説明する横断面図である。It is a cross-sectional view explaining the 3rd example of the drilling method of the fine hole of this invention. 変形例のインクジェット式記録ヘッドを説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the inkjet recording head of a modification. インク噴射ヘッドの製造装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing apparatus of an ink jet head. 図19の〔20〕−〔20〕断面図である。It is [20]-[20] sectional drawing of FIG. ガイド部分の部分的な拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of a guide part. 雄型単体の斜視図である。It is a perspective view of a male simple substance. ポンチ部分の部分的な拡大斜視図である。It is a partial expansion perspective view of a punch part. 他の雄型単体の斜視図である。It is a perspective view of another male type simple substance. 溝状窪部の形成に用いる第1雄型を説明する図である。It is a figure explaining the 1st male type | mold used for formation of a groove-shaped recessed part. 傾斜面が成形された溝状窪部の平面図と断面図である。It is the top view and sectional drawing of the groove-shaped recessed part by which the inclined surface was shape | molded. 高剛性部をガイドした場合の断面図である。It is sectional drawing at the time of guiding a highly rigid part.

符号の説明Explanation of symbols

1 記録ヘッド,1' 記録ヘッド,2 ケース,3 振動子ユニット,4 流路ユニット,5 接続基板,6 供給針ユニット,7 圧電振動子群,8 固定板,9 フレキシブルケーブル,10 圧電振動子,10a ダミー振動子,10b 駆動振動子,11 制御用IC,12 収納空部,13 インク供給路,14 共通インク室,15 先端凹部,16 接続口,17 コネクタ,18 針ホルダ,19 インク供給針,20 フィルタ,21 台座,22 インク排出口,23 パッキン,28 隔壁部,29 圧力発生室,30 圧力発生室形成板,30a 仮想平面,31 ノズルプレート,32 弾性板,33 溝状窪部,34 連通口,35 逃げ凹部,36 ダミー窪部,37 第1連通口,38 第2連通口,38a 膨出部,39 ダミー連通口,40 第1ダミー連通口,41 第2ダミー連通口,42 支持板,43 弾性体膜,44 ダイヤフラム部,45 インク供給口,46 コンプライアンス部,47 島部,48 ノズル開口,51 第1雄型,52 雌型,53 突条部,53a 先端部分,53b 斜面成形部,54 筋状突起,55 金属基板,55a 多肉部,56 第1ポンチ,56a ポンチ列,56b ポンチ先端列,56c 直線状部分,56d 直線状部分,56f ポンチ先端面,56g 傾斜面,56h 鋭角部,56i 円弧形状部,57 第2雄型,58 第2ポンチ,58a ポンチ列,58b ポンチ先端列,58f ポンチ先端面,59 第3雄型,61 発熱素子,62 封止基板,70a ガイド部材,70b ガイド部材,71 突部,72 間隙,73 ガイド部材,74 丸穴,P ピッチ寸法,75 ガイド部,76 インク噴射ヘッドの製造装置,77 上側動作部,78 下側動作部,79 第1型,80 第2型,81 雄型,82 ガイド部材,83 位置決めピン,84 凹部,85 ベース部材,86 パンチプレート,87 固定片,88 ガイドプレート,89 ガイドベース部材,90 空間部,S 変位空間,91 進退軸,92 進退室,93 ストッパ片,94 圧縮コイルスプリング,95 ばね座,96 調整ボルト,97 ポンチ,98 高剛性部,99 固定基部,100 押圧面,101 挿入穴,102 固定面,103 曲面,104 曲面,105 分離スリット,106 スリット穴,107a 規制面,107b 規制面,108 凹溝,109 傾斜面,O1 押込み方向線,O2 中心線,P1 曲げ力,P2 曲げ力,S 仮想平面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 recording head, 1 'recording head, 2 case, 3 vibrator unit, 4 flow path unit, 5 connection board, 6 supply needle unit, 7 piezoelectric vibrator group, 8 fixing plate, 9 flexible cable, 10 piezoelectric vibrator, 10a dummy vibrator, 10b drive vibrator, 11 control IC, 12 storage empty part, 13 ink supply path, 14 common ink chamber, 15 tip recess, 16 connection port, 17 connector, 18 needle holder, 19 ink supply needle, 20 Filter, 21 Base, 22 Ink discharge port, 23 Packing, 28 Bulkhead, 29 Pressure generating chamber, 30 Pressure generating chamber forming plate, 30a Virtual plane, 31 Nozzle plate, 32 Elastic plate, 33 Grooved recess, 34 Communication Mouth, 35 relief recess, 36 dummy recess, 37 first communication port, 38 second communication port, 38a bulge, 39 dummy communication 40, first dummy communication port, 41 second dummy communication port, 42 support plate, 43 elastic film, 44 diaphragm portion, 45 ink supply port, 46 compliance portion, 47 island portion, 48 nozzle opening, 51 first Male type, 52 Female type, 53 Projection part, 53a Tip part, 53b Slope forming part, 54 Streaks, 55 Metal substrate, 55a Succulent part, 56 First punch, 56a Punch row, 56b Punch tip row, 56c Straight line , 56d linear portion, 56f punch tip surface, 56g inclined surface, 56h acute angle portion, 56i arc-shaped portion, 57 second male type, 58 second punch, 58a punch row, 58b punch tip row, 58f punch tip surface 59 third male type, 61 heating element, 62 sealing substrate, 70a guide member, 70b guide member, 71 protrusion, 72 gap, 7 3 guide member, 74 round hole, P pitch size, 75 guide portion, 76 ink jet head manufacturing apparatus, 77 upper operation portion, 78 lower operation portion, 79 first type, 80 second type, 81 male type, 82 Guide member, 83 Positioning pin, 84 Recess, 85 Base member, 86 Punch plate, 87 Fixed piece, 88 Guide plate, 89 Guide base member, 90 Space part, S Displacement space, 91 Advance / retract shaft, 92 Advance / retreat chamber, 93 Stopper piece , 94 Compression coil spring, 95 Spring seat, 96 Adjustment bolt, 97 Punch, 98 High rigidity part, 99 Fixed base, 100 Press surface, 101 Insertion hole, 102 Fixed surface, 103 Curved surface, 104 Curved surface, 105 Separation slit, 106 slit Hole, 107a Restricting surface, 107b Restricting surface, 108 Groove, 109 Inclined surface, O1 push Viewed direction line, O2 centerline, P1 bending force, P2 bending force, S imaginary plane

Claims (4)

プレス加工により金属基板に微細穴を穿設加工する方法であって、
微細穴が列状に穿設される金属基板と、列状に配置されたポンチのポンチ列を有するとともに上記ポンチ列の少なくとも端部のポンチの先端面に、ポンチ列の中央部側がポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面を形成した雄型とを準備し、上記金属基板に向って雄型を進出させることにより、上記金属基板に微細穴を穿設して金属基板に列状に並んだ微細穴列を形成し、
上記金属基板に所定のピッチで列状に並んだ窪み状部が形成され、上記ピッチと同ピッチの上記ポンチを上記窪み状部に押込む微細穴の穿設加工方法。
A method of drilling fine holes in a metal substrate by pressing,
It has a metal substrate on which fine holes are formed in a row, and punch rows of punches arranged in a row, and at the end of the punch row at the end of the punch row, the central portion side of the punch row pushes the punch. A male mold having an inclined surface that recedes with respect to the direction is prepared, and the male mold is advanced toward the metal substrate so that fine holes are formed in the metal substrate and arranged in rows on the metal substrate. Forming fine hole rows,
A method of drilling fine holes in which depressions arranged in a row at a predetermined pitch are formed on the metal substrate, and the punches having the same pitch as the pitch are pushed into the depressions.
上記窪み状部が溝状窪部である請求項1に記載の微細穴の穿設加工方法。   The method for drilling fine holes according to claim 1, wherein the hollow portion is a groove-like hollow portion. 上記溝状窪部がV字状の底部を有している請求項2記載の微細穴の穿設加工方法。 3. The method for drilling fine holes according to claim 2 , wherein the groove-like recess has a V-shaped bottom. 圧力発生室となる溝状窪部が列設されると共に、各溝状窪部の一端に板厚方向に貫通する連通口を形成した金属製の圧力発生室形成板と、上記連通口と対応する位置にノズル開口を穿設した金属製のノズルプレートと、上記溝状窪部の開口面を封止する金属製の封止板とを有し、上記圧力発生室形成板における溝状窪部側に封止板を、反対側にノズルプレートをそれぞれ接合してなる液体噴射ヘッドの製造装置であって、上記溝状窪部が形成された圧力発生室形成板を支持する第1型と、上記溝状窪部内に連通口を穿設するポンチが列設されたポンチ列を有する雄型が取り付けられた第2型を備え、上記ポンチ列の少なくとも端部の上記ポンチの先端面にポンチ列の中央部側が上記ポンチの押込み方向に対して後退する傾斜面を形成した上記ポンチを溝状窪部内に押込むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造装置。   Corresponding to the metal pressure generating chamber forming plate in which groove-like recesses to be pressure generation chambers are arranged and a communication port penetrating in the thickness direction is formed at one end of each groove-like recess. A grooved recess in the pressure generating chamber forming plate, and a metal sealing plate that seals the opening surface of the grooved recess. A liquid ejecting head manufacturing apparatus in which a sealing plate is joined to the side and a nozzle plate is joined to the opposite side, the first mold supporting the pressure generating chamber forming plate in which the groove-like recess is formed; A second die attached with a male die having a punch row in which punches are formed in the groove-shaped recess to form a communication port, and the punch row is formed on the front end surface of the punch at least at the end of the punch row; The central part side of the above formed an inclined surface that recedes with respect to the pushing direction of the punch Apparatus for manufacturing a liquid-jet head, characterized in pushing it into the groove-like recesses the wrench.
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